JPH0832262A - Lsiの冷却モジュール - Google Patents

Lsiの冷却モジュール

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JPH0832262A
JPH0832262A JP16109094A JP16109094A JPH0832262A JP H0832262 A JPH0832262 A JP H0832262A JP 16109094 A JP16109094 A JP 16109094A JP 16109094 A JP16109094 A JP 16109094A JP H0832262 A JPH0832262 A JP H0832262A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】冷却効率を向上させ冷却に必要な空間および騒
音を小さくし水冷ヒートシンクの着脱の容易にした。 【構成】配線基板22上に搭載された複数のLSIケー
スと、発熱量の大きなLSIを実装したLSIケース上
に固着された取付板と、この取付け板上の固着された放
熱シートと、これら取付け板および放熱シートを介して
ネジにより固定されるチャンバー9を有する水冷ヒート
シンク10と、複数の水冷ヒートシンク10を接続する
ホース11とを含み水冷ヒートシンクおよびホース11
と熱交換器とは入口配管12および出口配管13で接続
される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はLSIの冷却モジュール
に関し、特に配線基板上に実装されたLSIをファンに
よって強制空冷する構造と、水等の冷媒によって水冷す
る構造とを伴せ持たせた冷却モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】配線基板に実装されたLSIは発熱量が
大きくなるにつれて、自然空冷からファンを用いた強制
空冷に、そして水等を冷媒にした水冷へと冷却構造は変
化した。具体的にはLSIの発熱量が10W(ワット)
くらいまでの場合は、LSIの放熱面にヒートシンクが
設置され、ヒートシンクに風を送るようにファンを設置
することで強制空冷が行われる。電力がこれ以上になる
とヒートシンクに水等の冷媒が循環できるような装置を
設置して、水冷が行われてきた。
【0003】ところが最近はLSI一個の集積度が大幅
に向上しており、一枚の配線基板の上で一部のLSIの
発熱量が10W(ワット)を越えるようになってきてい
る。しかし、従来の水冷はマルチチップモジュールな
ど、形状の揃ったLSIに対して冷却するモジュール構
造となっている。このため、形状の異なる様々なLSI
ケースが実装される配線基板に適用するには、LSIの
発熱を冷媒に伝える熱伝導ブロックを、個々のLSIの
高さに合わせて精密に加工しなくてはならないなどの問
題がある。また、発熱量の小さい、空冷で十分なLSI
にまで水冷を行うとすると、コストや保守の面でも不利
となる。そこでこの問題を解決するための対策が刊行物
「日経バイト1993年8月号」第144頁記載の写真
4に示されている。この写真の下に示された記載「Ac
erのAcer Frame 3000 MPは独自の
放熱法を採用した。薄い金属板がヒートシンクとして働
く」という説明がある写真のに巨大なヒートシンクを
設置して伝熱面積を増大させている例が示されている。
また写真の下に示された記載「ヒートシンクとファンを
搭載したPewtiumプロセッサ」という説明がある
写真のに発熱量の大きなLSIに取り付けたヒートシ
ンクに、さらに専用の小型ファンをヒートシンクの上面
や下面に設置する例が示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、巨大な
ヒートシンクを設置した場合、数枚の配線基板を使用す
る計算機では配線基板間のピッチが拡大して、計算速度
という性能面に悪影響を与える。また、ヒートシンクを
通過する風速を確保するためにファンの回転数を増大し
た場合は騒音が増大するという問題が生じる。
【0005】LSI専用のファンを使用する例において
も、ヒートシンクの上面にファンを設置した場合は、フ
ァンの厚みとファンの空気吸入に必要な空間の高さだけ
配線基板間のピッチが拡大し、ファンをヒートシンクの
側面に設置の場合も同様の空間だけ、配線基板の部品搭
載エリアが減るため不利となる。またファンはモータが
内蔵されている中央付近は、得られる風速減少するた
め、LSIやLSIに設置したヒートシンクからの熱の
除去が場所によって異なり、このため冷却効率が減少す
る。
【0006】また上記の例においても、冷却可能なLS
Iの発熱量は20数W(ワット)までが限度である。
【0007】本発明の目的は、発熱量の大きなLSIの
みを水冷し他のLSIを強制空冷することにより冷却効
率を向上するようにしたLSIの冷却モジュールを提供
することにある。
【0008】本発明の他の目的は、冷却に必要な空間を
狭くするようにしたLSIの冷却モジュールを提供する
ことにある。
【0009】本発明の他の目的は、空冷部分も発熱量の
小さなLSIのみにすることにより強制空冷用ファンの
大きさや騒音も小さくするようにしたLSIの冷却モジ
ュールを提供することにある。
【0010】本発明の他の目的は水冷ヒートシンクを各
LSI毎に独立してネジ止めし水冷ヒートシンク同士ま
たは冷媒循環用の配管を柔軟なホースで接続することに
より水冷ヒートシンクの着脱を簡単にできるようにした
LSIの冷却モジュールを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の第1のモジュー
ルは、発熱量の大きいLSIを冷媒で冷却する液冷ヒー
トシンクと、発熱量の大きくないLSIおよびこの液冷
ヒートシンクで冷却される発熱量の大きいLSIを搭載
する配線基板と、この配線基板上の発熱量の大きくない
LSIを強制空冷するためのファンとを含む。
【0012】本発明の第2のモジュールは、第1のモジ
ュールにおいて前記液冷ヒートシンクを複数有し、複数
の液冷ヒートシンクのうちある液冷ヒートシンクから流
出した冷媒を他の液冷ヒートシンクに流入させるため複
数の液冷ヒートシンクとともに冷媒の流路を形成するホ
ースを含む。
【0013】本発明の第3のモジュールは第2のモジュ
ールにおいて複数の液冷ヒートシンクのうち流入口およ
び流出口の両方を前記ホースで接続していない液冷ヒー
トシンクおよび熱交換器の間で冷媒を循環させる配管を
含む。
【0014】本発明の第4のモジュールは第2のモジュ
ールにおいて液冷ヒートシンクから流出された冷媒を他
の液冷ヒートシンクに流すための流路を形成する配管お
よびこの配管を強制空冷するファンを備えた熱交換器
と、前記配管内で冷媒を循環させるためのポンプとを含
む。
【0015】本発明の第5のモジュールは第1から第4
のモジュールのいずれかにおける液冷ヒートシンクが前
記配線基板に搭載された複数のLSIケースと、これら
複数のLSIケースにおいて発熱量の大きなLSIを収
納するLSIケース上に固着された取付け板と、この取
付け板に固着された放熱シートと、これら取付け板およ
び放熱シートにネジ止めされた冷却室(以下チャンバ
ー)とを含む。
【0016】本発明の第6のモジュールは第5のモジュ
ールにおける前記チャンバー内に、冷媒の流入側配管に
接続され前記チャンバーの底面に冷媒を噴流するような
向きにノズルを設置することを特徴とする。
【0017】本発明の第7のモジュールは第5のモジュ
ールにおける前記チャンバー内に冷媒の流れる方向に平
行に、平板で形成したフィンを有することを特徴とす
る。
【0018】本発明の第8のモジュールは第5のモジュ
ールにおける前記チャンバー内部底面に冷媒の流れる方
向に垂直に立てられた突起(以下スタッド)を有するこ
とを特徴とする。
【0019】
【実施例】次に本発明の一実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
【0020】図1を参照すると、本発明の第1の実施例
は、水冷ヒートシンク10を筐体内配線基板に実装し、
この筐体内配線基板に実装された空冷可能なLSI14
を冷却するための空気を吸収しあたためられた空気を排
出するファン15を備えている。
【0021】図1,図3および図4を参照すると、本発
明の第1の実施例は、配線基板22上に搭載された複数
のLSIケース2と、これら複数のLSIケース2のう
ち発熱量の大きいLSI1を実装した一部のLSIケー
ス2上に接着剤3で固着された取付け板4と、この取付
け板4上に固着された放熱シート5と、取付け板4およ
び放熱シート5を介してネジ6により固定されるチャン
バー9を有する水冷ヒートシンク10と、ある水冷ヒー
トシンク10の流路出口8および他の水冷ヒートシンク
10の流路入口7とを柔軟なホース11で接続し水等の
冷媒を水冷ヒートシンク10に流入出させる流路を形成
する配管と、冷媒を水冷ヒートシンク10および筐体外
部の熱交換器(図示せず)の間で循環させる入口配管1
2および出口配管13とを含む。
【0022】配線基板22上には発熱量の大きなLSI
とファン15にて冷却可能なLSI14が搭載されてい
る、発熱量の大きなLSIには水冷ヒートシンク10が
設置されている。図3に示されたように水冷ヒートシン
ク10はネジ6にて取付け板4にネジ止めされているた
め、ヒートシンクの着脱が容易にでき、製造・組立・保
守の面で優れている。水等の冷媒は図中矢印の方向に流
れ、入口配管12から複数の配線基板に実装された、そ
れぞれの水冷ヒートシンク10に柔軟なホース11を介
して分配され、LSIの熱を奪って出口配管13に集ま
った後、外部に流出する。その後冷媒は筐体外部に設け
られた熱交換器を通過して、再び入口配管12へ供給さ
れて循環する。水冷ヒートシンク10は柔軟なホース1
1と接続しているため、配線基板上のLSIの配置に左
右されず柔軟に対応できる。水は空気に比べ熱伝達係数
が二桁大きく、ヒートシンクの大きさは空冷の場合より
小型化できる。このため配線基板間のピッチを小さくで
き、計算速度等の性能が向上する。また、発熱量の大き
なLSIを水冷することでファン15からの風速を小さ
くでき、ファンの大きさやそればかりでなく騒音も小さ
くできる。
【0023】図3を参照すると、本発明の第1および第
2の実施例で用いられる水平ヒートシンクモジュールは
以下のような構造となっている。
【0024】LSI1は、フェイスダウンに実装され、
ケース2とともに図1に示された配線基板22に搭載さ
れる。LSI1の放熱面は熱伝導性が良く、ネジ強度が
ある、例えばジュラルミンや銅−モリブデンのような金
属材料からなる取付け板4と半田あるいは熱伝導性の接
着剤3を介して密着している。その上に水冷ヒートシン
ク10は、間に鉛等の柔らかい金属シリコーンなどの放
熱シート5を挟んで、取付け板4とネジ6でネジ止めさ
れる。水等の冷媒は図中の矢印の方向に進み、流路入口
7から流入した冷媒は水冷ヒートシンク10のチャンバ
ー9を循環し、流路出口8から流出する。
【0025】図4を参照すると、各水冷ヒートシンクに
は水等の冷媒の流路入口7と流路出口8とにそれぞれ柔
軟なホース11等がはめられ、リング23でシールされ
ている。このため各水冷ヒートシンクは隣合うヒートシ
ンクとは独立して、各々のケースに取り付けられる。従
ってケース2を配線基板に実装する際に生じる、高さの
バラツキや傾きなどの誤差や熱膨張による高さの変化な
どにも十分追随できる。これは柔軟なホースの代わりに
ベローズ等を使用しても同様である。
【0026】図2,図3および図4を参照すると、本発
明の第2の実施例は、第1の実施例で示すように筐体外
部に熱交換器を設ける代わりに、筐体内に空冷可能なL
SI14を冷却するためのファン15および配管13を
有する熱交換器16と、水等の冷媒を配管7,11,1
2および13に循環させるためのポンプ18とを含むこ
とを特徴とする。本発明の第2の実施例の他の構成要素
は第1の実施例の対応する要素と同一である。
【0027】本発明の第2の実施例において水等の冷媒
は図中の矢印の方向に流れ、入口配管12から複数の水
冷ヒートシンク10に流入し、LSIの熱を奪った後、
出口配管13へと向かう。その後筐体内に設置されてい
る空冷用ファン15を利用した熱交換器16において、
LSIから奪った熱を放出した後、やはり筐体内に設置
されたポンプ18において、入口配管12に再び供給さ
れる。この実施例では空冷用のファンを有効に利用でき
るため、熱交換器用の筐体が不用となる。熱交換器の設
置位置やフィンは、配線基板に実装されているLSIの
発熱量やファンの性能、水冷ヒートシンクに流入する冷
媒の入口温度と流速等を考慮して決定する必要がある。
【0028】図5を参照すると、本発明の第1の実施例
および第2の実施例における水冷ヒートシンクモジュー
ル構造の第1の変形例は以下の通りである。
【0029】すなわち、第1の変形例は、水冷ヒートシ
ンク10のチャンバー9内にノズル19を有することを
特徴とする。このノズル19は冷媒の流路入口7に接続
されチャンバー9の内底面に冷媒を噴流するような向き
に設置されている。冷媒はノズル19を通過することに
よって加速され、チャンバー9の内底面に噴出される。
冷媒が衝突することによって得られる熱伝達係数は対流
だけの時に比べさらに一桁増大するため、冷却効率を上
げることができる。
【0030】図6を参照すると、本発明の第1の実施例
および第2の実施例における水冷ヒートシンクモジュー
ル構造の第2の変形例は以下の通りである。
【0031】すなわち、第2の変形例は水冷ヒートシン
ク10チャンバー9内部に冷媒の流れる方向と平行に、
平板で形成したフィン20を有することを特徴とする。
この第2の変形例では、フィン20を設置したことによ
り、伝熱面積が増えるため冷媒とヒートシンク間の熱交
換をスムーズに行え、冷却効率が増大する。
【0032】図7を参照すると、本発明の第1の実施例
および第2の実施例における水冷ヒートシンクモジュー
ル構造の第3の変形例は以下の通りである。
【0033】すなわち、第3の変形例は水冷ヒートシン
ク10のチャンバー9内部底面に、冷媒の流れる方向に
垂直に立てたスタッド21を有することを特徴とする。
第3の変形例は、スタッド21を設けた分だけ伝熱面積
が増えるため、冷却効率が増大する。
【0034】
【発明の効果】本発明は発熱量の大きなLSIのみを水
冷し他のLSIを強制空冷することにより冷却効率を向
上し、冷却に必要な空間を狭くできるという効果があ
る。
【0035】さらに本発明は強制空冷による空冷部分を
発熱量の大きくないLSIのみに限定することにより強
制空冷用ファンの大きさや騒音も小さくできるという効
果がある。
【0036】本発明は水冷ヒートシンクを各LSI毎に
独立してネジ止めし水冷ヒートシンク同士または冷媒循
環用の配管を柔軟なホースで接続することにより着脱を
簡単にできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示す図である。
【図3】本発明の第1および第2の実施例を用いられる
水冷ヒートシンクモジュールを示す図である。
【図4】図3で示した水冷ヒートシンクモジュールの直
列接続状態を示す図である。
【図5】図3で示した水冷ヒートシンクモジュールの第
1の変形例を示す図である。
【図6】図3で示した水冷ヒートシンクモジュールの第
2の変形例を示す図である。
【図7】図3で示した水冷ヒートシンクモジュールの第
3の変形例を示す図である。
【符号の説明】
1 LSI 2 LSIケース 3 接着剤 4 取付け板 5 放熱シート 6 ネジ 7 流路入口 8 流路出口 9 チャンバー 10 水冷ヒートシンク 11 ホース 12 入口配管 13 出口配管 14 発熱量の小さい空冷可能なLSI 15 ファン 16 熱交換器 17 冷媒配管 18 ポンプ 19 ノズル 20 フィン 21 スタッド 22 配線基板 23 リング

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発熱量の大きいLSIを冷媒で冷却する
    液冷ヒートシンクと、 発熱量の大きくないLSIおよびこの液冷ヒートシンク
    で冷却する発熱量の大きいLSIを搭載する配線基板
    と、 この配線基板上の発熱量の大きくないLSIを強制空冷
    するためのファンとを含むことを特徴とするLSIの冷
    却モジュール。
  2. 【請求項2】 前記液冷ヒートシンクを複数有し複数の
    液冷ヒートシンクのうちある液冷ヒートシンクから流出
    した冷媒を他の液冷ヒートシンクに流入させるための複
    数の液冷ヒートシンクとともに冷媒の流路を形成するホ
    ースを含むことを特徴とする請求項1記載のLSIの冷
    却モジュール。
  3. 【請求項3】 前記複数の液冷ヒートシンクのうち流入
    口および流出口の両方を前記ホースで接続していない液
    冷ヒートシンクおよび熱交換器の間で冷媒を循環させる
    配管を備えたことを特徴とする請求項2記載のLSIの
    冷却モジュール。
  4. 【請求項4】 前記液冷ヒートシンクから流出された冷
    媒を他の前記液冷ヒートシンクに流すための流路を形成
    する配管およびこの配管を強制空冷するファンを備えた
    熱交換器と、前記配管内で冷媒を循環させるためのポン
    プとを含むことを特徴とする請求項2記載のLSIの冷
    却モジュール。
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6023413A (en) * 1997-02-03 2000-02-08 Nec Corporation Cooling structure for multi-chip module
EP1524692A2 (en) * 2003-10-08 2005-04-20 Hitachi, Ltd. Liquid cooled jacket for an electronic device
JP2007227576A (ja) * 2006-02-23 2007-09-06 Nec Engineering Ltd 冷却構造
WO2009157080A1 (ja) * 2008-06-26 2009-12-30 三菱電機株式会社 電源ユニット
US7934539B2 (en) 2005-10-24 2011-05-03 Fujitsu Limited Electronic apparatus and cooling module
JP2013003636A (ja) * 2011-06-13 2013-01-07 Ntt Facilities Inc サーバラック冷却装置
EP2559964A1 (de) * 2011-08-15 2013-02-20 Pierburg GmbH Kühlvorrichtung für ein thermisch belastetes Bauteil
KR101325569B1 (ko) * 2011-12-12 2013-11-05 주식회사 씨엔제이 공냉식과 수냉식으로 열을 방열시켜 주는 방열싱크 어셈블리
KR200477833Y1 (ko) * 2014-05-02 2015-07-28 매니코어소프트주식회사 냉각장치
WO2015199410A1 (en) * 2014-06-23 2015-12-30 Manycoresoft Co., Ltd. Cooling device
US9247674B2 (en) 2012-08-03 2016-01-26 Fujitsu Limited Heat sink and electronic apparatus provided with heat sink
US10342164B2 (en) 2016-11-04 2019-07-02 Fujitsu Limited Rack mount-type information processing apparatus and rack mount-type information processing system
CN110418553A (zh) * 2019-07-19 2019-11-05 天津七所精密机电技术有限公司 一种级联式机柜分液器
KR20220008955A (ko) * 2020-07-14 2022-01-24 주식회사 엑시콘 반도체 테스트 시스템용 하이브리드 방열 장치
US11725886B2 (en) 2021-05-20 2023-08-15 Coolit Systems, Inc. Modular fluid heat exchange systems
US11994350B2 (en) 2007-08-09 2024-05-28 Coolit Systems, Inc. Fluid heat exchange systems

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63289999A (ja) * 1987-05-22 1988-11-28 Hitachi Ltd 情報処理装置の実装構造
JPH01191917A (ja) * 1988-01-27 1989-08-02 Nec Corp 電子装置の冷却構造
JPH05264139A (ja) * 1992-03-18 1993-10-12 Fujitsu Ltd 冷媒供給システム

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63289999A (ja) * 1987-05-22 1988-11-28 Hitachi Ltd 情報処理装置の実装構造
JPH01191917A (ja) * 1988-01-27 1989-08-02 Nec Corp 電子装置の冷却構造
JPH05264139A (ja) * 1992-03-18 1993-10-12 Fujitsu Ltd 冷媒供給システム

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6023413A (en) * 1997-02-03 2000-02-08 Nec Corporation Cooling structure for multi-chip module
EP1524692A2 (en) * 2003-10-08 2005-04-20 Hitachi, Ltd. Liquid cooled jacket for an electronic device
EP1524692A3 (en) * 2003-10-08 2009-12-23 Hitachi, Ltd. Liquid cooled jacket for an electronic device
US7934539B2 (en) 2005-10-24 2011-05-03 Fujitsu Limited Electronic apparatus and cooling module
JP2007227576A (ja) * 2006-02-23 2007-09-06 Nec Engineering Ltd 冷却構造
JP4652249B2 (ja) * 2006-02-23 2011-03-16 Necエンジニアリング株式会社 屋内無線基地局装置の冷却構造
US11994350B2 (en) 2007-08-09 2024-05-28 Coolit Systems, Inc. Fluid heat exchange systems
WO2009157080A1 (ja) * 2008-06-26 2009-12-30 三菱電機株式会社 電源ユニット
JP2013003636A (ja) * 2011-06-13 2013-01-07 Ntt Facilities Inc サーバラック冷却装置
EP2559964A1 (de) * 2011-08-15 2013-02-20 Pierburg GmbH Kühlvorrichtung für ein thermisch belastetes Bauteil
KR101325569B1 (ko) * 2011-12-12 2013-11-05 주식회사 씨엔제이 공냉식과 수냉식으로 열을 방열시켜 주는 방열싱크 어셈블리
US9247674B2 (en) 2012-08-03 2016-01-26 Fujitsu Limited Heat sink and electronic apparatus provided with heat sink
KR200477833Y1 (ko) * 2014-05-02 2015-07-28 매니코어소프트주식회사 냉각장치
WO2015167295A1 (en) * 2014-05-02 2015-11-05 Manycoresoft Co., Ltd. Cooling device
WO2015199410A1 (en) * 2014-06-23 2015-12-30 Manycoresoft Co., Ltd. Cooling device
US10342164B2 (en) 2016-11-04 2019-07-02 Fujitsu Limited Rack mount-type information processing apparatus and rack mount-type information processing system
CN110418553A (zh) * 2019-07-19 2019-11-05 天津七所精密机电技术有限公司 一种级联式机柜分液器
KR20220008955A (ko) * 2020-07-14 2022-01-24 주식회사 엑시콘 반도체 테스트 시스템용 하이브리드 방열 장치
US11725886B2 (en) 2021-05-20 2023-08-15 Coolit Systems, Inc. Modular fluid heat exchange systems

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