JPH0831768B2 - 縦水晶振動子 - Google Patents
縦水晶振動子Info
- Publication number
- JPH0831768B2 JPH0831768B2 JP1333770A JP33377089A JPH0831768B2 JP H0831768 B2 JPH0831768 B2 JP H0831768B2 JP 1333770 A JP1333770 A JP 1333770A JP 33377089 A JP33377089 A JP 33377089A JP H0831768 B2 JPH0831768 B2 JP H0831768B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating
- vibration
- vertical
- electrode
- crystal unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は周波数が3MHz〜15MHzと中周波数から高周波
数を有する縦水晶振動子、特に、ICカード、ポケットベ
ルや移動無線等の携帯機器の基準信号源として最適な縦
水晶振動子に関する。
数を有する縦水晶振動子、特に、ICカード、ポケットベ
ルや移動無線等の携帯機器の基準信号源として最適な縦
水晶振動子に関する。
本発明は周波数が約3MHz〜15MHzで、振動モレが非常
に小さく、且つ、等価直列抵抗R1の小さい新形状の縦水
晶振動子を提供することにある。本発明の目的を達成す
るために、振動子の振動部にブリッジ部を介して支持部
を付加接続し、さらに、支持部には振動部の振動を抑圧
しない屈曲部が設けられている。そして、この屈曲部の
両端部は穴を設けるようにフレームと接続され、マウン
ト部まで延びている形状となっている。それ故、振動部
のエネルギーは屈曲部内に閉じ込められ、マウント部で
リード線等に支持固定しても振動モレがなく、等価直列
抵抗R1の小さい縦水晶振動子が得られる。次に、振動部
に配置される効率の良い励振電極配置について説明す
る。本発明では第５次高調波振動が効率良く引き起こす
電極配置であるから、このためには、振動部の中央部と
両端部が同極となる配置方法を採用すれば良い。従っ
て、振動部の一方の側面に同極となる３分割された電極
を、又、他方は同様に３分割されるが、前記電極とは異
極となるように配置される。その結果、基本波振動が抑
圧され、第５次高調波振動が効率良く励振されることに
なる。本発明では振動子形状と励振配置法の両方から振
動子を改善しているので、R1の小さいＱ値の高い、耐衝
撃性に優れた縦水晶振動子が得られる。
に小さく、且つ、等価直列抵抗R1の小さい新形状の縦水
晶振動子を提供することにある。本発明の目的を達成す
るために、振動子の振動部にブリッジ部を介して支持部
を付加接続し、さらに、支持部には振動部の振動を抑圧
しない屈曲部が設けられている。そして、この屈曲部の
両端部は穴を設けるようにフレームと接続され、マウン
ト部まで延びている形状となっている。それ故、振動部
のエネルギーは屈曲部内に閉じ込められ、マウント部で
リード線等に支持固定しても振動モレがなく、等価直列
抵抗R1の小さい縦水晶振動子が得られる。次に、振動部
に配置される効率の良い励振電極配置について説明す
る。本発明では第５次高調波振動が効率良く引き起こす
電極配置であるから、このためには、振動部の中央部と
両端部が同極となる配置方法を採用すれば良い。従っ
て、振動部の一方の側面に同極となる３分割された電極
を、又、他方は同様に３分割されるが、前記電極とは異
極となるように配置される。その結果、基本波振動が抑
圧され、第５次高調波振動が効率良く励振されることに
なる。本発明では振動子形状と励振配置法の両方から振
動子を改善しているので、R1の小さいＱ値の高い、耐衝
撃性に優れた縦水晶振動子が得られる。
振動部と支持部をエッチング法によって一体に形成さ
れた従来の縦水晶振動子は支持部のフレームの幅が一
様、且つ、同一方向に形成され、その端部でリード線等
にマウントされていた、又、第５次高調波振動を効率良
く励振する電極は提供されておらず、未だ実用化に至っ
ていない。
れた従来の縦水晶振動子は支持部のフレームの幅が一
様、且つ、同一方向に形成され、その端部でリード線等
にマウントされていた、又、第５次高調波振動を効率良
く励振する電極は提供されておらず、未だ実用化に至っ
ていない。
以上述べたように、従来のエッチング法による振動子
では、振動部のエネルギーがマウント部まで伝わり、振
動モレの原因となっていた。そのために、等価直列抵抗
R1の小さい縦水晶振動子を得ることができなかった。
又、第５次高調波振動を用いた縦水晶振動子は実現され
ていない。
では、振動部のエネルギーがマウント部まで伝わり、振
動モレの原因となっていた。そのために、等価直列抵抗
R1の小さい縦水晶振動子を得ることができなかった。
又、第５次高調波振動を用いた縦水晶振動子は実現され
ていない。
それ故、本発明では以下の方法により従来の問題点を
解決するものである。すなわち、振動部と支持部をエッ
チング法によって、一体に形成された縦水晶振動子で、
振動部はブリッジ部を介して屈曲部に接続され、更に、
穴の両端部を介してフレームに接続されるとともに、マ
ウント部まで延びる平面形状の縦振動子において、前記
振動部には３分割された励振電極が配置され、中央部電
極と端部電極との間の側面には励振電極が配置されず、
これら一方の側面の中央部電極と端部電極は同極となる
ように接続され、振動部の対向電極は異極となるように
配置して構成することにより、本発明の目的を達成して
いる。
解決するものである。すなわち、振動部と支持部をエッ
チング法によって、一体に形成された縦水晶振動子で、
振動部はブリッジ部を介して屈曲部に接続され、更に、
穴の両端部を介してフレームに接続されるとともに、マ
ウント部まで延びる平面形状の縦振動子において、前記
振動部には３分割された励振電極が配置され、中央部電
極と端部電極との間の側面には励振電極が配置されず、
これら一方の側面の中央部電極と端部電極は同極となる
ように接続され、振動部の対向電極は異極となるように
配置して構成することにより、本発明の目的を達成して
いる。
このように、本発明は振動部、ブリッジ部と支持部か
ら構成され、エッチング法によって形成される縦水晶振
動子の支持部の形状寸法を改善することにより、等価直
列抵抗R1の小さい、且つ、高いＱ値を有する縦水晶振動
子を得ることができる。同時に、支持部の振動モードを
解析することにより、振動モレの小さい縦水晶振動子が
得られる。更に、励振電極配置を新規にすることによ
り、第５次高調波振動を効率よく引き起こし、R1の小さ
い、より高い周波数を得ることができる。
ら構成され、エッチング法によって形成される縦水晶振
動子の支持部の形状寸法を改善することにより、等価直
列抵抗R1の小さい、且つ、高いＱ値を有する縦水晶振動
子を得ることができる。同時に、支持部の振動モードを
解析することにより、振動モレの小さい縦水晶振動子が
得られる。更に、励振電極配置を新規にすることによ
り、第５次高調波振動を効率よく引き起こし、R1の小さ
い、より高い周波数を得ることができる。
次に、本発明の実施例と、その結果を具体的に述べ
る。第１図は本発明の縦水晶振動子の一実施例を示す平
面図（Ａ）と、振動部のみの上面図（Ｂ）である。振動
子１は振動部２と支持部３からブリッジ部４を介して構
成されていて、エッチング法によって一体に形成されて
いる。尚、支持部３は屈曲部５、穴７、フレーム６とマ
ウント部８から成っている。振動部２は外部端子ａ、ｂ
からの電界駆動、即ち、励振電極９、10に交番電圧を印
加することにより、振動子は長手方向に伸縮運動をする
が、それと同時に、その垂直方向、即ち、ブリッジ部４
の方向にも同様の振動をする。この時、まず、振動部２
の長手方向の振動を自由に励振するには、ブリッジ部４
の方向の振動を十分に自由にすることが大切である。そ
のために、本発明では支持部３の屈曲部５が十分に自由
に振動できるように、穴７が設けられている。次に、振
動モレについては、振動子１は振動部２からブリッジ部
４を介して屈曲部５へと一体にエッチング法によって形
成され、屈曲部５の振動を十分に自由にさせるために、
穴７が設けられている。更に、穴７の両端部はフレーム
６に接続され、マウント部８まで延びている。それ故、
振動部２のブリッジ部４の方向に振動は屈曲モードに変
換され、且つ、穴７の両端部を介してフレーム６に接
続、マウント部８まで延びているので、マウント部８で
リード線等に支持固定しても、全く振動モレのない縦水
晶振動子が得られる。次に、第５次高調波振動の励振方
法について述べる。第５次高調波振動は長手方向に伸び
る変位と縮む変位が共存してモードで、節点は５個存在
するモードで振動する。すなわち、振動部２はその中央
部と両端部が同じ変位を示し、中央部と両端部間が異方
向の変異を示す。従って、このモードを効率よく励振さ
せるには、中央部と両端部に同極となる励振電極を配置
すればよく、中央部と両端部間には励振電極を配置しな
ければよい。このように電極配置をすることによって、
R1の小さい第５次高調波振動の縦水晶振動子を得ること
ができる。
る。第１図は本発明の縦水晶振動子の一実施例を示す平
面図（Ａ）と、振動部のみの上面図（Ｂ）である。振動
子１は振動部２と支持部３からブリッジ部４を介して構
成されていて、エッチング法によって一体に形成されて
いる。尚、支持部３は屈曲部５、穴７、フレーム６とマ
ウント部８から成っている。振動部２は外部端子ａ、ｂ
からの電界駆動、即ち、励振電極９、10に交番電圧を印
加することにより、振動子は長手方向に伸縮運動をする
が、それと同時に、その垂直方向、即ち、ブリッジ部４
の方向にも同様の振動をする。この時、まず、振動部２
の長手方向の振動を自由に励振するには、ブリッジ部４
の方向の振動を十分に自由にすることが大切である。そ
のために、本発明では支持部３の屈曲部５が十分に自由
に振動できるように、穴７が設けられている。次に、振
動モレについては、振動子１は振動部２からブリッジ部
４を介して屈曲部５へと一体にエッチング法によって形
成され、屈曲部５の振動を十分に自由にさせるために、
穴７が設けられている。更に、穴７の両端部はフレーム
６に接続され、マウント部８まで延びている。それ故、
振動部２のブリッジ部４の方向に振動は屈曲モードに変
換され、且つ、穴７の両端部を介してフレーム６に接
続、マウント部８まで延びているので、マウント部８で
リード線等に支持固定しても、全く振動モレのない縦水
晶振動子が得られる。次に、第５次高調波振動の励振方
法について述べる。第５次高調波振動は長手方向に伸び
る変位と縮む変位が共存してモードで、節点は５個存在
するモードで振動する。すなわち、振動部２はその中央
部と両端部が同じ変位を示し、中央部と両端部間が異方
向の変異を示す。従って、このモードを効率よく励振さ
せるには、中央部と両端部に同極となる励振電極を配置
すればよく、中央部と両端部間には励振電極を配置しな
ければよい。このように電極配置をすることによって、
R1の小さい第５次高調波振動の縦水晶振動子を得ること
ができる。
以上述べたように、本発明は振動部と支持部をエッチ
ング法によって一体に形成する縦水晶振動子に於いて、
新形状の縦水晶振動子と第５次高調波振動を効率よく励
振する電極配置を提案することにより、次の著しい効果
を有する。
ング法によって一体に形成する縦水晶振動子に於いて、
新形状の縦水晶振動子と第５次高調波振動を効率よく励
振する電極配置を提案することにより、次の著しい効果
を有する。
支持部の形状、寸法を規定することにより、振動を
自由にさせることができるので、等価直列抵抗R1が小さ
くなる。
自由にさせることができるので、等価直列抵抗R1が小さ
くなる。
屈曲部とフレームの間に穴を設けているので、振動
部の振動を自由にさせることができると同時に、屈曲部
のエネルギーはフレームに伝わらないので、振動モレが
なくなり、マウント部で支持固定しても、R1の小さい振
動子が得られる。
部の振動を自由にさせることができると同時に、屈曲部
のエネルギーはフレームに伝わらないので、振動モレが
なくなり、マウント部で支持固定しても、R1の小さい振
動子が得られる。
振動部の中央部と両端部に同極となる励振電極を配
置し、中央部と両端部との間には側面の励振電極を配置
しないので、第５次高調波振動を容易に引き起こし、R1
の小さいより高い周波数を得ることができる。
置し、中央部と両端部との間には側面の励振電極を配置
しないので、第５次高調波振動を容易に引き起こし、R1
の小さいより高い周波数を得ることができる。
片側で振動子をマウントするので、製造が容易、且
つ、小型化できる。
つ、小型化できる。
第１図は本発明の縦水晶振動子の一実施例を示す平面図
（Ａ）と、振動部のみを示した上面図（Ｂ）である。 １……振動子 ２……振動部 ３……支持部 ４……ブリッジ部 ５……屈曲部 ６……フレーム ７……穴 ８……マウント部 ９、10……励振電極 ａ、ｂ……電極端子
（Ａ）と、振動部のみを示した上面図（Ｂ）である。 １……振動子 ２……振動部 ３……支持部 ４……ブリッジ部 ５……屈曲部 ６……フレーム ７……穴 ８……マウント部 ９、10……励振電極 ａ、ｂ……電極端子
Claims (1)
- 【請求項１】振動部と支持部をエッチング法によって、
一体に形成された縦水晶振動子で、振動部はブリッジ部
を介して屈曲部に接続され、更に、屈曲部は穴の両端部
を介してフレームに接続され、前記フレームはマウント
部まで延びる平面形状の第５次高調波縦水晶振動子にお
いて、前記振動部の側面には３分割された励振電極が対
向して配置され、中央部電極と端部電極との間の側面に
は励振電極が配置されず、これら同じ側面の中央部電極
と端部電極は同極となるように接続され、振動部の対応
電極は異極なるように配置されていることを特徴とする
縦水晶振動子
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1333770A JPH0831768B2 (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | 縦水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1333770A JPH0831768B2 (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | 縦水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03195111A JPH03195111A (ja) | 1991-08-26 |
| JPH0831768B2 true JPH0831768B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=18269762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1333770A Expired - Lifetime JPH0831768B2 (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | 縦水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831768B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0818882A3 (en) * | 1996-07-10 | 1999-12-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Energy trapping piezoelectric device and producing method thereof |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH641632B (fr) * | 1981-01-15 | Asulab Sa | Micro-resonateur piezo-electrique. | |
| DE3379623D1 (en) * | 1982-06-04 | 1989-05-18 | Statek Corp | Extensional mode piezoelectric microresonator |
| JPH0622311B2 (ja) * | 1986-02-21 | 1994-03-23 | セイコ−電子部品株式会社 | 輪郭すべり水晶振動子 |
| JPS63260311A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
-
1989
- 1989-12-22 JP JP1333770A patent/JPH0831768B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03195111A (ja) | 1991-08-26 |
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