JPH03195111A - 縦水晶振動子 - Google Patents
縦水晶振動子Info
- Publication number
- JPH03195111A JPH03195111A JP33377089A JP33377089A JPH03195111A JP H03195111 A JPH03195111 A JP H03195111A JP 33377089 A JP33377089 A JP 33377089A JP 33377089 A JP33377089 A JP 33377089A JP H03195111 A JPH03195111 A JP H03195111A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal resonator
- electrode
- vibration
- vibrating
- longitudinal crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 14
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野ｊ
本発明は周波数が３ＭＨｚ−１５ＭＨｚと中周波数から
高周波数を有する縦水晶振動子、特に。
高周波数を有する縦水晶振動子、特に。
ＩＣカード、ポケットベルや移動無線等の携帯機器の基
準信号源として最適な縦水晶振動子に関する。
準信号源として最適な縦水晶振動子に関する。
［発明の概要］
本発明は周波数が約３ＭＨｚ〜１５ＭＨｚで、振動モレ
が非常に小さく、且つ、等個直列抵抗Ｒ１の小さい新形
状の縦水晶振動子を提供することにある０本発明の目的
を達成するために、振動子の振動部にブリッジ部を介し
て支持部を付加接続し、さらに、支持部には振動部の振
動を抑圧しない屈曲部が設けられている。そして、この
屈曲部の両端部は穴を設けるようにフレームと接続され
、マウント部まで延びている形状となっている。それ故
、振動部のエネルギーは屈曲部内に閉じ込められ、マウ
ント部でリード線等に支持固定しても振動モレがなく、
等個直列抵抗Ｒ１の小さい縦水晶振動子が得られる１次
に、振動部に配置される効率の良い励振電極配置につい
て説明する０本発明では第５次高調波振動を効率良く引
き起こす電極配置であるから、このためには、振動部の
中央部と両端部が同極となる配置方法を採用すれば良い
、従って、振動部の一方の側面に同極となる３分割され
た電極を、又、他方は同様に３分割されるが、前記電極
とは異極となるように配置される。その結果、基本波振
動が抑圧され、第５次高調波振動が効率良く励振される
ことになる。本発明では振動子形状と励振電極配置法の
両方から振動子を改善しているので、Ｒ３の小さいＱ値
の高い、耐衝撃性に優れた縦水晶振動子が得られる。
が非常に小さく、且つ、等個直列抵抗Ｒ１の小さい新形
状の縦水晶振動子を提供することにある０本発明の目的
を達成するために、振動子の振動部にブリッジ部を介し
て支持部を付加接続し、さらに、支持部には振動部の振
動を抑圧しない屈曲部が設けられている。そして、この
屈曲部の両端部は穴を設けるようにフレームと接続され
、マウント部まで延びている形状となっている。それ故
、振動部のエネルギーは屈曲部内に閉じ込められ、マウ
ント部でリード線等に支持固定しても振動モレがなく、
等個直列抵抗Ｒ１の小さい縦水晶振動子が得られる１次
に、振動部に配置される効率の良い励振電極配置につい
て説明する０本発明では第５次高調波振動を効率良く引
き起こす電極配置であるから、このためには、振動部の
中央部と両端部が同極となる配置方法を採用すれば良い
、従って、振動部の一方の側面に同極となる３分割され
た電極を、又、他方は同様に３分割されるが、前記電極
とは異極となるように配置される。その結果、基本波振
動が抑圧され、第５次高調波振動が効率良く励振される
ことになる。本発明では振動子形状と励振電極配置法の
両方から振動子を改善しているので、Ｒ３の小さいＱ値
の高い、耐衝撃性に優れた縦水晶振動子が得られる。
［従来の技術］
振動部と支持部をエツチング法によって一体に形成され
た従来の縦水晶振動子は支持部のフレームの幅が一様、
且つ、同一方向に形成され、その端部でリード線等にマ
ウントされていた、又、第５次高調波振動を効率良く励
振する電極は提案されておらず、未だ実用化に至ってい
ない。
た従来の縦水晶振動子は支持部のフレームの幅が一様、
且つ、同一方向に形成され、その端部でリード線等にマ
ウントされていた、又、第５次高調波振動を効率良く励
振する電極は提案されておらず、未だ実用化に至ってい
ない。
〔発明が解決しようとする課題１
以上述べたように、従来のエツチング法による振動子で
は、振動部のエネルギーがマウント部まで伝わり、振動
モレの原因となっていた。そのために、等個直列抵抗Ｒ
１の小さい縦水晶振動子を得ることができなかった。又
、第５次高調波振動を用いた縦水晶振動子は実現されて
いない。
は、振動部のエネルギーがマウント部まで伝わり、振動
モレの原因となっていた。そのために、等個直列抵抗Ｒ
１の小さい縦水晶振動子を得ることができなかった。又
、第５次高調波振動を用いた縦水晶振動子は実現されて
いない。
〔課題を解決するための手段］
それ故、本発明では以下の方法により従来の問題点を解
決するものである。すなわち、振動部と支持部をエツチ
ング法によって、一体に形成された縦水晶振動子で、振
動部はブリッジ部を介して屈曲部に接続され、更に、穴
の両端部を介してフレームに接続されるとともに、マウ
ント部まで延びる平面形状の縦振動子において、前記振
動部には３分割された励振電極が配置され、中央部電極
と端部電極との間の側面には励振電極が配置されず、こ
れら一方の側面の中央部電極と端部電極は同極となるよ
うに接続され、振動部の対向電極は異極となるように配
置して構成することにより、本発明の目的を達成してい
る。
決するものである。すなわち、振動部と支持部をエツチ
ング法によって、一体に形成された縦水晶振動子で、振
動部はブリッジ部を介して屈曲部に接続され、更に、穴
の両端部を介してフレームに接続されるとともに、マウ
ント部まで延びる平面形状の縦振動子において、前記振
動部には３分割された励振電極が配置され、中央部電極
と端部電極との間の側面には励振電極が配置されず、こ
れら一方の側面の中央部電極と端部電極は同極となるよ
うに接続され、振動部の対向電極は異極となるように配
置して構成することにより、本発明の目的を達成してい
る。
［作用］
このように、本発明は振動部、ブリッジ部と支持部から
構成され、エツチング法によって形成される縦水晶振動
子の支持部の形状寸法を改善することにより、等個直列
抵抗Ｒ，の小さい、且つ、高いＱ値を有する縦水晶振動
子を得ることができる。同時に、支持部の振動モードを
解析することにより、振動モレの小さい縦水晶振動子が
得られる。更に、励振電極配置を新規にすることにより
、第５次高調波振動を効率よく引き起こし、Ｒ，の小さ
い、より高い周波数を得ることができる。
構成され、エツチング法によって形成される縦水晶振動
子の支持部の形状寸法を改善することにより、等個直列
抵抗Ｒ，の小さい、且つ、高いＱ値を有する縦水晶振動
子を得ることができる。同時に、支持部の振動モードを
解析することにより、振動モレの小さい縦水晶振動子が
得られる。更に、励振電極配置を新規にすることにより
、第５次高調波振動を効率よく引き起こし、Ｒ，の小さ
い、より高い周波数を得ることができる。
［実施例］
次に、本発明の実施例と、その結果を具体的に述べる。
第１図は本発明の縦水晶振動子の一実施例を示す平面図
（Ａ）と、振動部のみの上面図（Ｂ）である、振動子１
は振動部２と支持部３からブリッジ部４を介して構成さ
れていて、エツチング法によって一体に形成されている
。尚、支持部３は屈曲部５、穴７、フレーム６とマウン
ト部８から成っている。振動部２は外部端子ａ、ｂから
の電界駆動、即ち、励振電極９．１ｏに交番電圧を印加
することにより、振動子は長平方向に伸縮運動をするが
、それと同時に、その垂直方向、即ち、ブリッジ部４の
方向にも同様の振動をする。この時、まず、振動部２の
長平方向の振動を自由に励振するには、ブリッジ部４の
方向の振動を十分に自由にすることが大切である。その
ために、本発明では支持部３の屈曲部５が十分に自由に
振動できるように、穴７が設けられている６次に、振動
モレについては、振動子ｌは振動部２からブリッジ部４
を介して屈曲部５へと一体にエツチング法によって形成
され、屈曲部５の振動を十分に自由にさせるために、穴
７が設けられている。更に、穴フの両端部はフレーム６
に接続され、マウント部８まで延びている。それ故、振
動部２のブリッジ部４の方向の振動は屈曲モードに変換
され、且つ、穴フの両端部を介してフレーム６に接続、
マウント部８まで延びているので、マウント部８でリー
ド線等に支持固定しても、全く振動モレのない縦水晶振
動子が得られる０次に。
（Ａ）と、振動部のみの上面図（Ｂ）である、振動子１
は振動部２と支持部３からブリッジ部４を介して構成さ
れていて、エツチング法によって一体に形成されている
。尚、支持部３は屈曲部５、穴７、フレーム６とマウン
ト部８から成っている。振動部２は外部端子ａ、ｂから
の電界駆動、即ち、励振電極９．１ｏに交番電圧を印加
することにより、振動子は長平方向に伸縮運動をするが
、それと同時に、その垂直方向、即ち、ブリッジ部４の
方向にも同様の振動をする。この時、まず、振動部２の
長平方向の振動を自由に励振するには、ブリッジ部４の
方向の振動を十分に自由にすることが大切である。その
ために、本発明では支持部３の屈曲部５が十分に自由に
振動できるように、穴７が設けられている６次に、振動
モレについては、振動子ｌは振動部２からブリッジ部４
を介して屈曲部５へと一体にエツチング法によって形成
され、屈曲部５の振動を十分に自由にさせるために、穴
７が設けられている。更に、穴フの両端部はフレーム６
に接続され、マウント部８まで延びている。それ故、振
動部２のブリッジ部４の方向の振動は屈曲モードに変換
され、且つ、穴フの両端部を介してフレーム６に接続、
マウント部８まで延びているので、マウント部８でリー
ド線等に支持固定しても、全く振動モレのない縦水晶振
動子が得られる０次に。
第５次高調波振動の励振方法について述べる。第５次高
調波振動は長手方向に伸びる変位と縮む変位が共存する
モードで、節点は５個存在するモードで振動する。すな
わち、振動部２はその中央部と両端部が同じ変位を示し
、中央部と両端部間が異方向の変異を示す、従って、こ
のモードを効率よく励振させるには、中央部と両端部に
同極となる励振電極を配置すればよく、中央部と両端部
間には励振電極を配置しなければよい、このように電極
配置をすることによって、Ｒ１の小さい第５次高調波振
動の縦水晶振動子を得ることができる。
調波振動は長手方向に伸びる変位と縮む変位が共存する
モードで、節点は５個存在するモードで振動する。すな
わち、振動部２はその中央部と両端部が同じ変位を示し
、中央部と両端部間が異方向の変異を示す、従って、こ
のモードを効率よく励振させるには、中央部と両端部に
同極となる励振電極を配置すればよく、中央部と両端部
間には励振電極を配置しなければよい、このように電極
配置をすることによって、Ｒ１の小さい第５次高調波振
動の縦水晶振動子を得ることができる。
〔発明の効果１
以上述べたように、本発明は振動部と支持部をエツチン
グ法によって一体に形成する縦水晶振動子に於いて、新
形状の縦水晶振動子と第５次高調波振動を効率よく励振
する電極配置を提案することにより、次の著しい効果を
有する。
グ法によって一体に形成する縦水晶振動子に於いて、新
形状の縦水晶振動子と第５次高調波振動を効率よく励振
する電極配置を提案することにより、次の著しい効果を
有する。
■ 支持部の形状、寸法を規定することにより、振動を
自由にさせることができるので、等価直列抵抗Ｒ１が小
さくなる。
自由にさせることができるので、等価直列抵抗Ｒ１が小
さくなる。
■ 屈曲部とフレームの間に穴を設けているので、振動
部の振動を自由にさせることができると同時に、屈曲部
のエネルギーはフレームに伝わらないので、振動モレが
なくなり、マウント部で支持固定しても、Ｒ１の小さい
振動子が得られる。
部の振動を自由にさせることができると同時に、屈曲部
のエネルギーはフレームに伝わらないので、振動モレが
なくなり、マウント部で支持固定しても、Ｒ１の小さい
振動子が得られる。
■ 振動部の中央部と両端部に同極となる励振電極を配
置し、中央部と両端部との間には側面の励振電極を配置
しないので、第５次高調波振動を効率よく引き起こし、
Ｒ１の小さいより高い周波数を得ることができる。
置し、中央部と両端部との間には側面の励振電極を配置
しないので、第５次高調波振動を効率よく引き起こし、
Ｒ１の小さいより高い周波数を得ることができる。
■ 片側で振動子をマウントするので、製造が容易、且
つ、小型化できる。
つ、小型化できる。
第１図は本発明の縦水晶振動子の一実施例を示す平面図
（Ａ）と、振動部のみを示した上面図（Ｂ）である。 ・振動子 ・振動部 ・支持部 ・ブリッジ部 ・屈曲部 ・フレーム ・穴 ・マウント部 ・励振電極 ・電極端子 以 上
（Ａ）と、振動部のみを示した上面図（Ｂ）である。 ・振動子 ・振動部 ・支持部 ・ブリッジ部 ・屈曲部 ・フレーム ・穴 ・マウント部 ・励振電極 ・電極端子 以 上
Claims (1)
- 振動部と支持部をエッチング法によって、一体に形成
された縦水晶振動子で、振動部はブリッジ部を介して屈
曲部に接続され、更に、穴の両端部を介してフレームに
接続されるとともに、マウント部まで延びる平面形状の
縦水晶振動子において、前記振動部の側面には３分割さ
れた励振電極が対向して配置され、中央部電極と端部電
極との間の側面には励振電極が配置されず、これら同じ
側面の中央部電極と端部電極は同極となるように接続さ
れ、振動部の対向電極は異極となるように配置されてい
ることを特徴とする縦水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1333770A JPH0831768B2 (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | 縦水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1333770A JPH0831768B2 (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | 縦水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03195111A true JPH03195111A (ja) | 1991-08-26 |
| JPH0831768B2 JPH0831768B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=18269762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1333770A Expired - Lifetime JPH0831768B2 (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 | 縦水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831768B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969463A (en) * | 1996-07-10 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Energy trapping piezoelectric device and producing method thereof |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57138212A (en) * | 1981-01-15 | 1982-08-26 | Asulab Sa | Microminiature piezoelectric resonator |
| JPS58220515A (ja) * | 1982-06-04 | 1983-12-22 | ステイテツク・コ−ポレイシヨン | 伸長モ−ド圧電形マイクロ共振器 |
| JPS62194720A (ja) * | 1986-02-21 | 1987-08-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 輪郭すべり水晶振動子 |
| JPS63260311A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
-
1989
- 1989-12-22 JP JP1333770A patent/JPH0831768B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57138212A (en) * | 1981-01-15 | 1982-08-26 | Asulab Sa | Microminiature piezoelectric resonator |
| JPS58220515A (ja) * | 1982-06-04 | 1983-12-22 | ステイテツク・コ−ポレイシヨン | 伸長モ−ド圧電形マイクロ共振器 |
| JPS62194720A (ja) * | 1986-02-21 | 1987-08-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 輪郭すべり水晶振動子 |
| JPS63260311A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969463A (en) * | 1996-07-10 | 1999-10-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Energy trapping piezoelectric device and producing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0831768B2 (ja) | 1996-03-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06112760A (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| KR20020038462A (ko) | 라메 모드 수정 진동자 | |
| JPH0522070A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH03195111A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JP2005123828A (ja) | 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス | |
| JPH0821828B2 (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH0124368B2 (ja) | ||
| JPH0310507A (ja) | 屈曲水晶振動子 | |
| JP2709315B2 (ja) | 両端自由型屈曲水晶振動子 | |
| JP2011010248A (ja) | 圧電振動子と圧電発振器 | |
| JP2017143571A (ja) | 圧電振動子と圧電ユニットと圧電発振器と電子機噐 | |
| JPH03192913A (ja) | 音叉型屈曲水晶振動子 | |
| JPH07254839A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH04217109A (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| JPH03192810A (ja) | Ｈ型屈曲水晶振動子 | |
| JPH04242311A (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| JPH0310511A (ja) | 音叉型屈曲水晶振動子 | |
| JPH0310509A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH02186815A (ja) | 短辺水晶振動子 | |
| JP2003110400A (ja) | 輪郭水晶振動子 | |
| JPH0310510A (ja) | 屈曲水晶振動子 | |
| JP2004023780A (ja) | 幅縦水晶振動子と水晶ユニット | |
| JP2001185987A (ja) | 音叉型圧電振動子 | |
| JPH03192911A (ja) | 短辺水晶振動子 | |
| JPH03191607A (ja) | 厚みすべり水晶振動子 |