JPH04242311A - 捩り水晶振動子 - Google Patents
捩り水晶振動子Info
- Publication number
- JPH04242311A JPH04242311A JP341491A JP341491A JPH04242311A JP H04242311 A JPH04242311 A JP H04242311A JP 341491 A JP341491 A JP 341491A JP 341491 A JP341491 A JP 341491A JP H04242311 A JPH04242311 A JP H04242311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- vibration
- face
- electrode
- crystal resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 17
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動部と支持部を化学的
エッチング法によって、一体に形成した棒状捩り水晶振
動子の形状と励振電極構成に関する。特に、超薄型、小
型化の要求の強いＩＣカード、ポケットベルや移動無線
等の携帯機器の基準信号源として最適な捩り水晶振動子
に関する。
エッチング法によって、一体に形成した棒状捩り水晶振
動子の形状と励振電極構成に関する。特に、超薄型、小
型化の要求の強いＩＣカード、ポケットベルや移動無線
等の携帯機器の基準信号源として最適な捩り水晶振動子
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の捩り水晶振動子は、一般的に機械
加工による方法が採られ、丸棒形状をしている。そして
、その丸棒の中心で対向する２本のリード線で支持固定
されていた。それ故、このようにして作られる振動子の
周波数は高くても数十ｋＨｚであった。又、周波数を高
めるために、エッチング法によって形成する音叉形状が
提案されている。しかし、２次元振動の屈曲モードの振
動と異なり、３次元振動の捩りモードの振動であるが故
に、リード線等に支持、固定した場合に、振動エネルギ
ーがリード線に伝わり、振動漏れを引き起こし、新しい
形状の捩り水晶振動子が切望されていた。
加工による方法が採られ、丸棒形状をしている。そして
、その丸棒の中心で対向する２本のリード線で支持固定
されていた。それ故、このようにして作られる振動子の
周波数は高くても数十ｋＨｚであった。又、周波数を高
めるために、エッチング法によって形成する音叉形状が
提案されている。しかし、２次元振動の屈曲モードの振
動と異なり、３次元振動の捩りモードの振動であるが故
に、リード線等に支持、固定した場合に、振動エネルギ
ーがリード線に伝わり、振動漏れを引き起こし、新しい
形状の捩り水晶振動子が切望されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】機械加工による振動子
では、高周波数化すると支持方法が難しく、一方、音叉
形状では、３次元振動であるために、支持、固定部での
振動漏れが多く、振動子として十分な特性が得られず、
極めて根本的な課題が残されていた。又、音叉形状では
音叉腕の４面に励振電極を配置するので、電界効率が小
さく、Ｒ１ が比較的大きかった。このように、高周波
数化に伴う振動漏れの増大とＲ１ が大きいという課題
が残されていた。
では、高周波数化すると支持方法が難しく、一方、音叉
形状では、３次元振動であるために、支持、固定部での
振動漏れが多く、振動子として十分な特性が得られず、
極めて根本的な課題が残されていた。又、音叉形状では
音叉腕の４面に励振電極を配置するので、電界効率が小
さく、Ｒ１ が比較的大きかった。このように、高周波
数化に伴う振動漏れの増大とＲ１ が大きいという課題
が残されていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は以下の
方法で従来の課題を解決するものである。すなわち、振
動部と支持部を化学的エッチング法にて一体に形成した
棒状捩り水晶振動子で、振動部の中央でブリッジ部を介
して支持部に接続され、該支持部は一体的にマウント部
を形成し、前記振動部のエッチング面には互いに異極と
なる励振電極が配置されるように振動子を構成すること
により、従来の課題が解決される。
方法で従来の課題を解決するものである。すなわち、振
動部と支持部を化学的エッチング法にて一体に形成した
棒状捩り水晶振動子で、振動部の中央でブリッジ部を介
して支持部に接続され、該支持部は一体的にマウント部
を形成し、前記振動部のエッチング面には互いに異極と
なる励振電極が配置されるように振動子を構成すること
により、従来の課題が解決される。
【０００５】
【作用】このように本発明の捩り水晶振動子は、棒状振
動部、ブリッジ部と支持部から構成されている。特に、
励振電極は振動部の側面となるエッチング面に互いに異
極となる電極を各面に設けるので、Ｒ１ の小さい、Ｑ
値の高い捩り水晶振動子が得られる。又、支持部の端部
は一体的にマウント部を形成しているので、高周波数化
を図っても、振動部の振動エネルギーがマウント部まで
伝わらない。それ故、支持、固定による振動漏れがなく
なる。
動部、ブリッジ部と支持部から構成されている。特に、
励振電極は振動部の側面となるエッチング面に互いに異
極となる電極を各面に設けるので、Ｒ１ の小さい、Ｑ
値の高い捩り水晶振動子が得られる。又、支持部の端部
は一体的にマウント部を形成しているので、高周波数化
を図っても、振動部の振動エネルギーがマウント部まで
伝わらない。それ故、支持、固定による振動漏れがなく
なる。
【０００６】
【実施例】次に、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。図１は本発明の捩り水晶振動子形状と励振電極
配置の一実施例を示す斜視図（Ａ）と同図のＡ−Ａ’部
の断面図（Ｂ）である。振動子１は、励振電極７、８、
１１、１２と接続電極９、１０を有する振動部２とブリ
ッジ部４を介して接続されている支持部３から構成され
ている。又、支持部３は振動部２のほぼ中央部に設けた
ブリッジ部４と接続されるフレーム５とマウント部６か
ら構成されている。このように、本発明の振動子は複雑
な形状をしているが、化学的エッチング法によって、容
易に、かつ、１枚の水晶ウエハから同時に多数個が形成
できる。更に、振動部２の側面のエッチング面２ａに配
置された励振電極７は振動部の上面に設けられた接続電
極９を介して励振電極８の対向面のエッチング面２ａに
設けた励振電極１２に接続されている。全く同様に、異
極となるエッチング面２ａに配置された励振電極８は振
動部の上面に設けられた接続電極１０を介して励振電極
７の対向面のエッチング面２ａに設けた励振電極１１に
接続されている。これら異極となる励振電極７、１２と
８、１１は、外部端子との接続を図るために、フレーム
５を介してマウント部６まで延びて配置されている。そ
れ故、この両端子間に交番電圧を印加することにより、
容易に捩り振動を引き起こすことができる。このように
振動子を構成することにより、Ｒ１ の低減が図れると
ともに、振動エネルギーを振動部内部に閉じ込めること
がさらにできるので、振動漏れのない、優れた捩り水晶
振動子が得られる。
明する。図１は本発明の捩り水晶振動子形状と励振電極
配置の一実施例を示す斜視図（Ａ）と同図のＡ−Ａ’部
の断面図（Ｂ）である。振動子１は、励振電極７、８、
１１、１２と接続電極９、１０を有する振動部２とブリ
ッジ部４を介して接続されている支持部３から構成され
ている。又、支持部３は振動部２のほぼ中央部に設けた
ブリッジ部４と接続されるフレーム５とマウント部６か
ら構成されている。このように、本発明の振動子は複雑
な形状をしているが、化学的エッチング法によって、容
易に、かつ、１枚の水晶ウエハから同時に多数個が形成
できる。更に、振動部２の側面のエッチング面２ａに配
置された励振電極７は振動部の上面に設けられた接続電
極９を介して励振電極８の対向面のエッチング面２ａに
設けた励振電極１２に接続されている。全く同様に、異
極となるエッチング面２ａに配置された励振電極８は振
動部の上面に設けられた接続電極１０を介して励振電極
７の対向面のエッチング面２ａに設けた励振電極１１に
接続されている。これら異極となる励振電極７、１２と
８、１１は、外部端子との接続を図るために、フレーム
５を介してマウント部６まで延びて配置されている。そ
れ故、この両端子間に交番電圧を印加することにより、
容易に捩り振動を引き起こすことができる。このように
振動子を構成することにより、Ｒ１ の低減が図れると
ともに、振動エネルギーを振動部内部に閉じ込めること
がさらにできるので、振動漏れのない、優れた捩り水晶
振動子が得られる。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の振動子は振
動部と支持部からなり、かつ、エッチング法によって一
体に形成される新形状の捩り水晶振動子を提案すること
により、次の著しい効果を有する。■ 振動部側面の
エッチング面に隣接する励振電極が異極となるように配
置しているので、電界効率に優れ、等価直列抵抗Ｒ１
が小さくなる。■ 本振動子は振動部と支持部をエッ
チング法によって、一体に形成されるので、小型化、薄
型化ができる。■ 支持部の形状を改善することによ
り、振動漏れのない捩り水晶振動子が得られる。それ故
、マウント部でリード線等に支持、固定してもＲ１ の
小さい振動子が得られる。■ 片側でリード線等にマ
ウントするので、製造が容易、安価にできる。
動部と支持部からなり、かつ、エッチング法によって一
体に形成される新形状の捩り水晶振動子を提案すること
により、次の著しい効果を有する。■ 振動部側面の
エッチング面に隣接する励振電極が異極となるように配
置しているので、電界効率に優れ、等価直列抵抗Ｒ１
が小さくなる。■ 本振動子は振動部と支持部をエッ
チング法によって、一体に形成されるので、小型化、薄
型化ができる。■ 支持部の形状を改善することによ
り、振動漏れのない捩り水晶振動子が得られる。それ故
、マウント部でリード線等に支持、固定してもＲ１ の
小さい振動子が得られる。■ 片側でリード線等にマ
ウントするので、製造が容易、安価にできる。
【図１】本発明の捩り水晶振動子形状と励振電極配置の
一実施例の斜視図（Ａ）と、（Ａ）図のＡ−Ａ’部の断
面図（Ｂ）である。
一実施例の斜視図（Ａ）と、（Ａ）図のＡ−Ａ’部の断
面図（Ｂ）である。
１ 振動子
２ 振動部
２ａ エッチング面
３ 支持部
４ ブリッジ部
５ フレーム
６ マウント部
７、８、１１、１２ 励振電極
９、１０ 接続電極
Ｘ、Ｙ、Ｚ 電気軸、機械軸、光軸
Claims (1)
- 【請求項１】 振動部と支持部を化学的エッチング法
にて一体に形成した棒状捩り水晶振動子で、振動部の中
央でブリッジ部を介して支持部に接続され、該支持部は
一体的にマウント部を形成し、前記振動部のエッチング
面には互いに異極となる励振電極が配置されていること
を特徴とする捩り水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP341491A JPH04242311A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 捩り水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP341491A JPH04242311A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 捩り水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04242311A true JPH04242311A (ja) | 1992-08-31 |
Family
ID=11556728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP341491A Pending JPH04242311A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 捩り水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04242311A (ja) |
-
1991
- 1991-01-16 JP JP341491A patent/JPH04242311A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5311096A (en) | KT cut width-extensional mode quartz crystal resonator | |
| JPH06112760A (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| US6545394B2 (en) | Lame mode quartz crystal resonator | |
| JP2004135357A (ja) | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器とそれらの製造方法 | |
| JPH0522070A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH04242311A (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| JPH0821828B2 (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JP5130502B2 (ja) | 圧電振動子と圧電発振器 | |
| JP6263719B2 (ja) | 圧電振動子と圧電ユニットと圧電発振器と電子機噐 | |
| JPH04217109A (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| JPH0124368B2 (ja) | ||
| JP6131445B2 (ja) | 圧電振動子と圧電ユニット | |
| JP2003273703A (ja) | 水晶振動子と水晶振動子の製造方法 | |
| JPH0310511A (ja) | 音叉型屈曲水晶振動子 | |
| JP2709315B2 (ja) | 両端自由型屈曲水晶振動子 | |
| JPH03192810A (ja) | Ｈ型屈曲水晶振動子 | |
| JP5526312B2 (ja) | 圧電振動子、圧電ユニット、圧電発振器と電子機器 | |
| JPH0522072A (ja) | 音叉型捩り水晶振動子 | |
| JPH03192913A (ja) | 音叉型屈曲水晶振動子 | |
| JPH03195111A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH07254839A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH0310509A (ja) | 縦水晶振動子 | |
| JPH0310507A (ja) | 屈曲水晶振動子 | |
| JP2003115747A (ja) | ラーメモード水晶振動子 | |
| JPH0310510A (ja) | 屈曲水晶振動子 |