JPH08313303A - モーターエンコーダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ユニット間の位置調整や組立てが容易にな
り、また、可動長さや推進力の変更も容易になる。 【構成】 電磁駆動のために磁束発生手段と相まって作
用する電流印加手段としての、ガイドプレート上の積層
されたはしご状回路１２を用いて、可動部１１をローラ
１５で移動ガイド部１４に沿って移動駆動させると共
に、前記はしご状回路１２を位置計測のためのスケール
としての手段として用いて、光学的位置読み取り部５１
により可動部１１とはしご状回路１２との相対位置を検
出することが可能になっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、精密な位置決めを行う
駆動装置に利用されるモーターエンコーダに関する。例
えば直動ステージの位置制御、回転ステージの角度制
御、シリアルプリンタの印字ヘッド送り位置決め機構、
各種コンベア等の搬送系などに好適に利用される。

【０００２】

【従来の技術】図２２は、従来のリニアモーターエンコ
ーダの一構成例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面
図、（ｃ）は側面図である図２２に示されるリニアモー
タエンコーダは、主に銅、アルミ等の線材を利用して、
円柱状に巻き線されたコイル１１５（図２４参照）を有
する。コイル１１５の内側には、磁石１１３と内ヨーク
１１７が挿入されている。コイル１１５の外側には、磁
石１１３を介して内ヨーク１１７と対向するように外ヨ
ーク１１４が配され、内ヨーク１１７と外ヨーク１１４
の間には柱部材が設けられている。

【０００３】磁石１１３は図中Ｚ方向に着磁されてお
り、磁石１１３表面から外ヨーク１１４に向けて主にＺ
方向に磁束を発生している。内ヨーク１１７、外ヨーク
１１４、および柱部材１１６は強磁性体、例えば、鉄、
電磁軟鉄等で成形されている。

【０００４】また、コイル１１５には可動部材１２０が
接着等により固定されている。可動部材１２０にはガイ
ド軸１１９を挿入するための貫通穴があり、ガイド軸１
１９は可動部材１２０を図中Ｘ方向に移動可能に支持し
ている。可動部材１２０の端部にはスケール１１８が一
体的に支持されており、エンコーダユニット１４０によ
って可動部材１２０の移動距離を測定する。

【０００５】エンコーダユニット１４０は主に光源１２
２、明暗センサ１２３、レンズ１２１、１２４で構成さ
れている。ここで内ヨーク１１７、外ヨーク１１４、柱
部材１１６、磁石１１３、エンコーダユニット１４０、
ガイド軸１１９は固定側、コイル１１５、可動部材１２
０、スケール１１８は可動側となる。

【０００６】図２３は、従来のリニアモーターエンコー
ダの他の構成例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面
図である図２３に示されるリニアモーターエンコーダは
ベース１２８を備えている。ベース１２８上には、主に
銅、アルミ等の線材を利用して、扁平状に巻き線された
複数個のコイル１２７（図２５参照）が一列に配され、
かつ接着等によって固定されている。

【０００７】コイル１２７上には、磁石１２５、１２６
とヨーク１４２を一体に支持している可動部材１３２が
配設されている。磁石１２５は図中Ｚ方向に着磁されて
おり、磁石１２６は図中Ｚ方向と反対に着磁されてい
る。ヨーク１４２は強磁性体、例えば、鉄、電磁軟鉄等
で成形されている。可動部材１３２にはガイド軸１３０
を挿入するための貫通穴があり、ガイド軸１３０は可動
部材１３２を図中Ｘ方向に移動可能に支持している。ガ
イド部材の両端は柱部材１２９により支持されている。

【０００８】可動部材１３２の端部にはスケール１３１
が一体的に支持されており、エンコーダユニット１４３
によって可動部材１３２の移動距離を測定する。

【０００９】エンコーダユニット１４３は主に光源１３
４、明暗センサ１３５、レンズ１３３、１３６で構成さ
れている。ここでヨーク１４２、磁石１２５、１２６、
スケール１３１は可動側、ガイド軸１３０、コイル１２
７、ベース１２８は固定側となる。

【００１０】図２６は従来の回転型モーターエンコーダ
を示す構成図である。

【００１１】図２６に示される回転型モーターエンコー
ダはモータユニット１０１とエンコーダユニット１０２
からなる。

【００１２】このエンコーダは、一組の軸受け１０８に
よって回動自在に支持されている支軸１１２を有し、支
軸１１２はロータヨーク１１１が固定されている。ロー
タヨーク１１１の周りには、円弧状の形状の磁石１１０
が接着等によって固定されている。磁石１１０は偶数
個、隣同士の極が異なるように配設されている。

【００１３】磁石１１０の外側にはコイル群１０９がハ
ウジング（不図示）に固定されており、信号入力によっ
て支軸１１２が回転駆動される。支軸１１２の端部には
円盤状のスケール１０３が一体的に配設されている。

【００１４】エンコーダ１０２には前記スケール１０３
と光源１０４、受光素子１０７、レンズ１０５、１０６
が配設されている。支軸１１２の回転角度をスケール１
０３に形成されたパターンを読み取り測定する。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のモータ
ーエンコーダは、モータユニットの可動部、固定部と、
エンコーダユニットのヘッド、スケールの４ユニットか
ら構成されており、各ユニット同士の位置合わせが複雑
かつ困難であり、各ユニット及びそれらを構成する各部
品の精度を高く製造する必要があった。このために従来
のモーターエンコーダは価格的に高価なものであった。
また、可動長さ（角度）や推進力（トルク）を変更する
ためには磁石、コイル、スケールをその都度設計し直す
必要があった。

【００１６】そこで本発明は、上記従来技術の問題点に
鑑み、各ユニットの位置調整や組立てが容易になり、ま
た、可動長さや推進力の変更も容易になるモーターエン
コーダを提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、電磁駆動部と光学式位置読み取り部と運動
支持部により構成されたモーターエンコーダにおいて、
前記電磁駆動部の可動側に磁束発生手段と前記光学式位
置読み取り部を有し、かつ前記電磁駆動部の固定側に前
記磁束発生手段による磁束に対して直交する方向に電流
を印加するためのはしご状にパターン形成されたはしご
状回路を有し、前記光学式位置読み取り部は、前記はし
ご状回路表面の形状的、または光学的情報を検出するも
のである事を特徴とする。

【００１８】前記はしご状回路は、弾性的な材料により
構成されたベース部の上に導体により略平行に配設され
た誘導部と、該誘導部と同一平面内で略直角に配設さ
れ、前記誘導部間をはしご状に接続する複数の動作部と
からなり、前記誘導部の電気抵抗は前記動作部の電気抵
抗に対して微小であり、前記複数の動作部はそれぞれ等
間隔に配列されていることを特徴とする。

【００１９】前記光学式位置読み取り部は、少なくとも
光源と、光束を成形する光学部品と、明暗センサとを備
え、前記光源および前記光学部品により前記はしご状回
路表面に入反射させた光束を前記明暗センサで計測する
ことにより、前記電磁駆動部の可動側と固定側の相対位
置を検出するものである事を特徴とし、この場合の前記
光学式位置読み取り部は、前記明暗センサを同一面内に
２個並べて配置し、前記明暗センサと前記はしご状回路
との光路上に１枚の遮光板を設けたものであって、前記
遮光板は、一周期の正弦波曲線を半周期の位置で折り返
した形状を外形とする穴を２個有し、該２個の穴の位置
は前記はしご状回路表面より反射された光束が一方が全
面に、他方が一方に照射された面積の３／４になるよう
に前記電磁駆動部の移動方向にずれており、前記電磁駆
動部の等速移動によって、前記はしご状回路表面により
反射されて前記明暗センサ上に入射される光量が略正弦
波となる事を特徴とするものであってもよい。

【００２０】また、前記はしご状回路部を円筒状に湾曲
させ回転方向のトルクを発生し、かつ回転角度を検出す
る事を特徴したり、前記はしご状回路部を、直線部と湾
曲部を任意に有する形状に配設する事を特徴としたりす
るモーターエンコーダであってもよい。

【００２１】

【作用】上記のとおりに構成された本発明では、可動側
に磁石とヨークからなる磁束発生手段と、少なくとも光
源、光学部品および明暗センサからなる光学式位置読み
取り部を有し、固定側に前記磁束発生手段による磁束に
直交する方向に電流を印加するためのはしご状に配線さ
れたはしご状回路を複数個積層して配設する。

【００２２】そして、はしご状回路と磁束発生手段とが
相まって可動側が駆動されると、可動側の光学式位置読
み取り部によりはしご状回路表面の形状的、または光学
的情報が検知され、固定側と可動側との相対位置が出力
される。

【００２３】このようにはしご状回路は、モーターエン
コーダにおいてモータのコイルの役割とエンコーダ用の
スケールの役割とを同一部品で同時に機能させることが
可能になる。

【００２４】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００２５】（第１の実施例）図１乃至図３に基づき、
本発明によるモーターエンコーダの駆動用コイル及び位
置検出用スケールの役割を行うはしご状回路について説
明する。

【００２６】図１は、はしご状回路の平面図を示す。は
しご状回路は、樹脂等の柔軟な絶縁材料からなるベース
１の片面に銅、アルミ、金等の導電性金属材料を用いて
形成した回路であり、ベース１の長手方向に平行に延び
る２本の誘導部２と、ベース１表面で２本の誘導部２を
はしご状に接続する複数本の動作部３と、２本の誘導部
２の各一端部であって電圧引加を行う為に使用される端
子部４とから一体的に形成されている。

【００２７】図２に前記のはしご状回路の部分拡大図
を、図３にその断面図を示す。ベース１の片面には、印
刷技術、エッチング技術等を利用して導電性金属材料か
らなる誘導部２、動作部３が形成されている。ここで動
作部３の幅ｑは誘導部２の幅ｐより小さく、ｐ＞（１０
〜１０００）×ｑ、例えばｐ＝２０ｍｍ、ｑ＝０．１ｍ
ｍ等の関係が好ましい。したがって誘導部２の電気抵抗
は動作部３の電気抵抗２に対して微小である。動作部３
同士の隙間ｒは動作部３の幅ｑと略同一幅である。ま
た、ベース１の、前記はしご状回路を形成した一面には
保護層６が施され、それと反対面には接着層７が施され
ている。

【００２８】図４は、前記はしご状回路を積層する状態
を示す斜視図である。この図に示すように、一枚目のは
しご状回路８は端子部を右側に、２枚目のはしご状回路
８は端子部を左側に、３枚目のはしご状回路８は端子部
を右側に、４枚目のはしご状回路８は端子部を左側にな
るように積層、配置する。

【００２９】この際、はしご状回路８の裏面に設けられ
た接着層により互いに固定する。図中矢印９は図示しな
い磁束発生手段により発生された磁束方向を示す。それ
ぞれのはしご状回路８は端子部を介して、動作部に流れ
る電流の方向が全て図中矢印１０方向になるよう結線さ
れている。フレミングの左手の法則に従って、はしご状
回路８と磁束９を発生する磁束発生手段との間にははし
ご状回路８と平行方向に推進力が発生される。

【００３０】図５は、各動作部上での前記推進力の様子
を示すグラフである。この図より、上述したようにはし
ご状回路を互い違いに積層する方法によってほぼ均一の
推進力が得られる事が判る。

【００３１】図６は、前記のはしご状回路の端子部４に
電圧を印加した際の各動作部３を流れる電流値を示すグ
ラフである。この図は動作部が２５００本の場合のもの
で、動作部番号２５００番が端子部４から最も離れた動
作部を示す。この図６より、各電流値は端子部４から離
れるに従って、緩やか勾配を持って少なくなることが判
る。

【００３２】図７は、積層されたはしご状回路を用い
て、リニア型のモーターエンコーダを構成した概略図で
ある。

【００３３】図７において、積層したはしご状回路１２
は、剛性が高い材料によって成型された板状のガイドプ
レート１３に固定されている。また、ガイドプレート１
３と平行して軸または板状の移動ガイド部１４が設けら
ている。これらガイドプレート１３と移動ガイド部１４
とは図示しない筐体に固定されている。

【００３４】可動部１１は底面に、移動ガイド部１４を
挟持するローラ１５を有し、ローラ１５により移動ガイ
ド部１４に沿って直線方向に移動可能に支持されてい
る。また、可動部１１には光学的位置読み取り部５１が
配設され、この光学的位置読み取り部５１は前記はしご
状回路１１の表面の形状、または光学的情報を読み取
り、前記はしご状回路１１と可動部１０との相対的な位
置を割り出す。

【００３５】また、図８に可動部１１の断面図を、図９
にその側面図を示す。

【００３６】可動部１１は厚み方向に着磁された磁石１
７，１８と、ヨーク１６、支柱１９と光学的位置読み取
り部５１によって構成されている。磁石１７，１８は互
いに吸引する様に対向して配置され、ヨーク１６に接着
等によって保持されている。ヨーク１６及び支柱１９は
鉄等の強磁性体からなり、前記磁石１７，１８が発生す
る磁束によって閉磁気回路を形成している。磁石１７と
磁石１８との間には図示するような垂直方向の磁束が発
生する。光学的位置読み取り部５１は可動部１１の側面
に取り付けられている。

【００３７】ここで、推進力が略２倍のモータユニット
に変更する場合は前記はしご状回路の積層枚数を２倍に
構成するだけで良い。また、可動長さを半分に変更する
ためには前記はしご状回路を切断して構成するだけで良
い。

【００３８】次に、前記光学的位置読み取り部５１の詳
細を説明する。

【００３９】図１０は前記光学的位置読み取り部の一例
を示す概略構成図である。

【００４０】前記光学的位置読み取り部５１は、はしご
状回路表面に形成された動作部３及びベース１に、光源
２０からの拡散光をレンズ２２により集光させて照射
し、その反射光をレンズ２３により集光させて明暗セン
サ２１に投射する構成である。このような構成では、は
しご状回路と可動部との相対的な移動に伴って反射光量
が変化し、これによって可動部とはしご状回路の相対的
な移動量が測定できる。図１１は明暗センサ２１の出力
信号を示したものである。

【００４１】また、図１２に基づき、上記の光学的位置
読み取り部の別の例の詳細を説明する。

【００４２】図１２は前記光学的位置読み取り部の別の
例を示す概略構成図である。

【００４３】図１２において、光源２４からの拡散光を
レンズ２５によって平行光束に成形し、ビームスプリッ
タ５５によって２光束に分離する。それぞれの光束は反
射ミラー５６を介して、はしご状回路の表面に角度を持
って照射される。ベース１上に構成された動作部３は図
１０に示した例よりも間隔が狭く、例えば１．６μｍ、
３．２μｍ、あるいは６．４μｍ間隔に配設されてお
り、前記はしご状回路の表面に照射された光束は回折現
象を起こし、それぞれ±ｎ次の回折光を持つ。このうち
の片側はプラス１次、片側はマイナス１次の回折光を干
渉させ、偏光ビームスプリッタ６１によってＰ波、Ｎ波
を分離し、２個の明暗センサ５７により干渉縞の明暗を
測定する。これによって図１３に示すような位相が９０
度ずれた正弦波状の信号を得ることができる。

【００４４】また、図１４乃至図１７に基づき、前記光
学的位置読み取り部のさらに別の例の詳細を説明する。

【００４５】図１４は前記光学的位置読み取り部のさら
に別の例を示す概略構成図である。

【００４６】図１４において、光源２９からの拡散光を
レンズ３０、６２によって図１５に示すような楕円形状
に成形し、はしご状回路３３の表面に角度を持って照射
される。その反射光はマスク３２を介して所定の面内に
並んだ２個の明暗センサ３１に至る。図１５に、前記光
源２９からの光を前記レンズ３０、６２によって成形し
た光束をはしご状回路３３上に照射した状態を示す。図
１５において、符号３４は動作部、符号２６は動作部３
４より高さが低い非導電部を指し示している。符号３５
は前記レンズ３０、６２によりはしご状回路３３上に形
成された光束照射部３５を指し示している。。

【００４７】図１６はマスク３２に関する説明図であ
る。マスク３２は図１６（Ａ）に示すように中央に２個
の穴があり、穴の形状は図１６（Ｂ）に示すＣＯＳカー
ブを外形とするように形成されている。また２個の穴は
それぞれ、照射された光束が一方は全面、他方はその面
積が３／４になるように位置している。これにより、は
しご状回路３３の移動に伴って２個の明暗センサ３１に
入射する光量が正弦波状に変化し、可動部と整列回路の
相対的な移動量を検出する。図１７は明暗センサ３１の
出力信号を示したものである。

【００４８】（第２の実施例）図１８は、本発明による
モーターエンコーダの第２の実施例の構成部品を示す分
解斜視図である。

【００４９】本実施例のモーターエンコーダにおいて
は、図１８に示すように、はしご状回路３７はフレキシ
ブル基板等のような柔軟な材料で構成されている。この
ようなはしご状回路３７は端子部が互い違いになるよう
に２個積層された後、円筒状に湾曲させられて、鉄等の
強磁性体から成るロータ３７を囲み、さらには強磁性体
からなるヨーク４１により囲まれる。

【００５０】ロータ３７の外周には２個の円弧状磁石３
８が対向するように配設されると共に、はしご状回路４
０に対する出射穴、入射穴を有する光学的位置読み取り
部３９が配設されている。円弧状磁石３８と内側のはし
ご状回路４０の間隙は微小であり、外側のはしご状回路
４０とヨーク４１は接している。

【００５１】円弧状磁石３８の発生する磁束は、はしご
状回路４０に対して放射線を描きヨーク４１に達する。
はしご状回路４０には動作部での電流方向が２個とも同
一方向になるように結線されており、フレミング左手の
法則に従って、ロータ３７は回転駆動される。

【００５２】光学的位置読み取り部３９は図１０、図１
２または図１４に示したような構成をしており、前記は
しご状回路４０内面の形状的、光学的情報を読み取り、
前記ロータ３７と前記はしご状回路４０の相対的な角度
変位を計測する。

【００５３】図１９は、図１８に示した部品を用いて回
転型のモーターエンコーダを構成した構成図である。こ
の図において、図１８に示した部品を用い、軸受け４３
に支持された軸４２に一体的に配設されたロータ４４の
回りにはしご状回路４５を複数枚積層して構成されてい
る。

【００５４】（第３の実施例）図２０は、本発明による
直動型モーターエンコーダを利用したシリアルプリンタ
の構成例を示す斜視図である。

【００５５】本実施例のシリアルプリンタは、図２０に
示すように、インクタンクを具備した記録用ヘッド８４
を着脱自在に保持するキャリッジ８３を有する。キャリ
ッジ８３はシャフト８２により一直線上を往復移動する
ように摺動自在に支持されている。キャリッジ８３に
は、端子８７の位置を互い違いにして積層されたはしご
状回路８１をシャフト８２と略平行な方向に挿入する貫
通孔が形成されている。キャリッジ８３の貫通孔内に
は、はしご状回路８１を挟むように二つの磁束発生手段
８５が配設されると共に、はしご状回路８１とキャリッ
ジ８３の相対位置を計測する不図示のエンコーダユニッ
トが保持されている。

【００５６】また、キャリッジ８３の移動方向と略垂直
な方向に、記録用ヘッド８４により記録される記録媒体
８８を搬送する紙送りローラ８６も備えている。なお、
はしご状回路８１およびシャフト８２は、不図示の筐体
により支持されている。

【００５７】（第４の実施例）図２１は、本発明による
モーターエンコーダを利用したロボットの構成例を示す
斜視図である。

【００５８】本実施例のロボットは、図２１に示すよう
に、アームロボット９５が搭載された可動体９４を有す
る。可動体９４には、積層されたはしご状回路９１を挿
入する貫通孔が形成されている。この貫通孔内には、は
しご状回路を挟むように二つの不図示の磁束発生手段が
配設されると共に、はしご状回路９１と可動体９４の相
対位置を計測する不図示のエンコーダユニットが保持さ
れている。また、可動体９４はガイドローラ９３を用い
てシャフト９２に移動可能に支持されている。

【００５９】さらに、はしご状回路９１は直線部と湾曲
部を複合して配設されている。これによって、任意の軌
道上にはしご状回路９１を配設し、可動体９４を任意の
位置まで移動せしめることが可能となる。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によるモータ
ーエンコーダは、はしご状に成形した回路を、電磁駆動
のために磁束発生手段と相まって作用する電流印加手段
と位置計測のためのスケールとしての手段とに利用した
ので、モーターエンコーダの構成部品を簡略化する事が
可能となった。これに伴って、各ユニットの位置調整や
組立が容易になった。

【００６１】また、はしご状回路を用いることにより、
可動長さまたは角度、推進力またはトルクを容易に変更
できるモーターエンコーダを提供するに至った。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるモーターエンコーダの特徴部であ
るはしご状回路を示す平面図である。

【図２】図１に示したはしご状回路の部分拡大図であ
る。

【図３】図２に拡大して示したはしご状回路の断面図で
ある。

【図４】本発明の特徴的な構成部であるはしご状回路を
積層する状態を示す斜視図である。

【図５】図４に示した、積層されたはしご状回路の各動
作部上での推進力の様子を示すグラフである。

【図６】本発明の特徴的な構成部であるはしご状回路の
端子部に電圧を印加した際の各動作部を流れる電流値を
示すグラフである。

【図７】積層されたはしご状回路を用いて、リニア型の
モーターエンコーダを構成した概略図である。

【図８】図７に示したリニア型のモーターエンコーダの
可動部の断面図である。

【図９】図８に示した可動部の側面図である。

【図１０】図７および図８に示した光学的位置読み取り
部の一例を示す概略構成図である。

【図１１】図１０に示した光学的位置読み取り部の信号
出力を示す図である。

【図１２】図７および図８に示した光学的位置読み取り
部の別の例を示す概略構成図である。

【図１３】図１２に示した光学的位置読み取り部の信号
出力を示す図である。

【図１４】図７および図８に示した光学的位置読み取り
部のさらに別の例を示す概略構成図である。

【図１５】図１４の、光源からの光をレンズによって成
形した光束をはしご状回路上に照射した状態を示す図で
ある。

【図１６】図１４のマスクに関する説明図である。

【図１７】図１４に示した光学的位置読み取り部の信号
出力を示す図である。

【図１８】本発明によるモーターエンコーダの第２の実
施例の構成部品を示す分解斜視図である。

【図１９】図１８に示した部品を用いて回転型のモータ
ーエンコーダを構成した構成図である。

【図２０】本発明による直動型モーターエンコーダを利
用したシリアルプリンタの構成例を示す斜視図である。

【図２１】本発明によるモーターエンコーダを利用した
ロボットの構成例を示す斜視図である。

【図２２】従来のリニアモーターエンコーダの一構成例
を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側
面図である。

【図２３】従来のリニアモーターエンコーダの他の構成
例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。

【図２４】図２２のコイルを示す斜視図である。

【図２５】図２３のコイルを示す斜視図である。

【図２６】従来の回転型モーターエンコーダを示す構成
図である。

【符号の説明】

１ ベース ２ 誘導部 ３ 動作部 ４ 端子部 ６ 保護層 ７ 接着層 ８，３３，４０，４５，８１，９１ はしご状回路 ９ 磁束方向 １０ 電流方向 １１ 可動部 １２ 積層したはしご状回路 １３ ガイドプレート １４ 移動ガイド部 １５ ローラ １６，４１ ヨーク １７，１８ 磁石 １９ 支柱 ２０，２４，２９ 光源 ２１，５７，３１ 明暗センサ ２２，２３，２５，３０，６２ レンズ ３４ 動作部 ３５ 光束照射部 ３６ 非導電部 ３７，４４ ロータ ３８ 円弧状磁石 ４２ 軸 ４３ 軸受け ３９，５１ 光学的位置読み取り部 ５５ ビームスプリッタ ５６ 反射ミラー ８２，９２ シャフト ８３ キャリッジ ８４ 記録用ヘッド ８５ 磁束発生手段 ８６ 紙送りローラ ８７ 端子 ８８ 記録媒体 ９３ ガイドローラ ９４ 可動体 ９５ アームロボット

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電磁駆動部と光学式位置読み取り部と運
   動支持部により構成されたモーターエンコーダにおい
   て、 前記電磁駆動部の可動側に磁束発生手段と前記光学式位
   置読み取り部を有し、かつ前記電磁駆動部の固定側に前
   記磁束発生手段による磁束に対して直交する方向に電流
   を印加するためのはしご状にパターン形成されたはしご
   状回路を有し、 前記光学式位置読み取り部は、前記はしご状回路表面の
   形状的、または光学的情報を検出するものである事を特
   徴とするモーターエンコーダ。
2. 【請求項２】 前記はしご状回路は、弾性的な材料によ
   り構成されたベース部の上に導体により略平行に配設さ
   れた誘導部と、該誘導部と同一平面内で略直角に配設さ
   れ、前記誘導部間をはしご状に接続する複数の動作部と
   からなり、 前記誘導部の電気抵抗は前記動作部の電気抵抗に対して
   微小であり、 前記複数の動作部はそれぞれ等間隔に配列されているこ
   とを特徴とする請求項１記載のモーターエンコーダ。
3. 【請求項３】 前記光学式位置読み取り部は、少なくと
   も光源と、光束を成形する光学部品と、明暗センサとを
   備え、前記光源および前記光学部品を用いて前記はしご
   状回路表面に入反射させた光束を前記明暗センサで計測
   することにより、前記電磁駆動部の可動側と固定側の相
   対位置を検出するものである事を特徴とする請求項１記
   載のモーターエンコーダ。
4. 【請求項４】 前記光学式位置読み取り部は、前記明暗
   センサを同一面内に２個並べて配置し、前記明暗センサ
   と前記はしご状回路との光路上に１枚の遮光板を設けた
   ものであって、前記遮光板は、一周期の正弦波曲線を半
   周期の位置で折り返した形状を外形とする穴を２個有
   し、該２個の穴の位置は前記はしご状回路表面より反射
   された光束が一方が全面に、他方が一方に照射された面
   積の３／４になるように前記電磁駆動部の移動方向にず
   れており、前記電磁駆動部の等速移動によって、前記は
   しご状回路表面により反射されて前記明暗センサ上に入
   射される光量が略正弦波となる事を特徴とする請求項３
   記載のモーターエンコーダ。
5. 【請求項５】 前記はしご状回路部を円筒状に湾曲させ
   回転方向のトルクを発生し、かつ回転角度を検出する事
   を特徴とする請求項１記載のモーターエンコーダ。
6. 【請求項６】 前記はしご状回路部を、直線部と湾曲部
   を任意に有する形状に配設する事を特徴とする請求項１
   記載のモーターエンコーダ。