JP5141000B2 - 位置検出方法及び位置検出装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る位置検出方法は、固定子となる磁気回路の表面に凹凸を設けて磁気抵抗の周期的な変化を用いて可動子の推力を発生させるリニアモータにおける前記可動子の位置を検出する位置検出方法であって、励磁コイル及び検出コイルを有する2個のセンサ素子をλ/2(λ:前記凹凸の1周期分の長さ)離隔させてなる磁気センサでの前記2個のセンサ素子の検出コイルにおける出力の差分を求め、前記2個のセンサ素子の検出コイルにおける出力の振幅を求め、求めた振幅が一定となるように前記励磁コイルへの励磁信号の大きさを調整することとし、前記求めた出力の差分に基づいて前記可動子の位置情報を得ることを特徴とする。
(第1実施の形態)
図1は、第1実施の形態に係る位置検出装置の構成図である。本発明の位置検出装置は、磁気センサ1と、磁気センサ1に接続される検出回路とから構成されている。
各センサ素子11a,11b(コア12a,12b)の固定子3に近接する部分の幅(図2のw)をNλ(Nは自然数)としている。このようにしておくと、固定子3上方に磁気センサ1を設けた場合に、目的の検出方向(図3のy方向)と直角な方向(図3のx方向)における各センサ素子11a,11b(コア12a,12b)の長さが凹凸の1周期分の長さの整数倍となる。
図5は、第3実施の形態に係る位置検出装置の構成図である。図5における磁気センサ1の構成は、前述した第1実施の形態における磁気センサ1の構成と同じである。
固定子3と磁気センサ1(可動子)との距離が変動すると、その変動に応じて検出出力(同期検波器22の出力)が変動する。一次元方向のみの駆動が可能であるリニアモータでは、可動子がリニアガイドに固設されているので、固定子,可動子間の距離が変動することはほとんどないが、二次元方向での駆動が可能であるリニアモータにあっては、可動子がエアーで浮き上がって移動されるため、固定子,可動子間の距離は変動しやすくなる。よって、特に二次元方向での駆動が可能なリニアモータにおいて、固定子,可動子間の距離変動への対策が必要である。
以下、本発明者が作製した磁気センサ1の具体的な構成と、作製した磁気センサ1を用いて得られた位置検出結果とについて説明する。
3 固定子
11a,11b センサ素子
12a,12b コア
13a,13b 検出コイル
14 励磁コイル
21 交流電源
22 同期検波器
23,24,32,34,35 増幅器
31 ゲイン制御増幅器
33 反転増幅器
36 振幅検出器
42 振幅検出器
43 ゲイン制御増幅器
44 導磁板
Claims (5)
- 固定子となる磁気回路の表面に凹凸を設けて磁気抵抗の周期的な変化を用いて可動子の推力を発生させるリニアモータにおける前記可動子の位置を検出する位置検出装置であって、励磁コイル及び検出コイルを有する2個のセンサ素子をλ/2(λ:前記凹凸の1周期分の長さ)離隔させてなる磁気センサと、前記2個のセンサ素子の検出コイルにおける出力の差分を求める差分手段と、前記2個のセンサ素子の検出コイルにおける出力の振幅を求める手段と、求めた振幅が一定となるように前記励磁コイルへの励磁信号の大きさを調整する手段とを備えることを特徴とする位置検出装置。
- 前記検出コイルが巻回されてλ/2離隔させた前記2個のセンサ素子に共通の励磁コイルを巻回して前記磁気センサを構成していることを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
- 前記2個のセンサ素子の幅をNλ(N:自然数)としてあることを特徴とする請求項1または2記載の位置検出装置。
- 前記励磁コイルの両端の電圧に基づいて、前記差分手段の出力を補正する手段を備えることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の位置検出装置。
- 固定子となる磁気回路の表面に凹凸を設けて磁気抵抗の周期的な変化を用いて可動子の推力を発生させるリニアモータにおける前記可動子の位置を検出する位置検出方法であって、励磁コイル及び検出コイルを有する2個のセンサ素子をλ/2(λ:前記凹凸の1周期分の長さ)離隔させてなる磁気センサでの前記2個のセンサ素子の検出コイルにおける出力の差分を求め、前記2個のセンサ素子の検出コイルにおける出力の振幅を求め、求めた振幅が一定となるように前記励磁コイルへの励磁信号の大きさを調整することとし、前記求めた出力の差分に基づいて前記可動子の位置情報を得ることを特徴とする位置検出方法。
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