JPH0830654B2 - 位置測定器 - Google Patents

位置測定器

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JPH0830654B2
JPH0830654B2 JP2210445A JP21044590A JPH0830654B2 JP H0830654 B2 JPH0830654 B2 JP H0830654B2 JP 2210445 A JP2210445 A JP 2210445A JP 21044590 A JP21044590 A JP 21044590A JP H0830654 B2 JPH0830654 B2 JP H0830654B2
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俊繁 永尾
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Mitsubishi Electric Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、例えば光学式などの非接触で物体の位置
を測定する位置測定器に関するものである。
[従来の技術] 従来例の構成を第6図を参照しながら説明する。
第6図は、例えば特公昭56−10561号公報、特公昭59
−762号公報等に示された従来の位置測定器を示すブロ
ック図である。
第6図において、従来の位置測定器は、検出ヘッド部
(1)と、この検出ヘッド部(1)に接続されたコント
ローラ部(2)とから構成されている。
検出ヘッド部(1)は、レーザ、LEDなどの光源(1
0)と、投光レンズ(11)と、受光レンズ(12)と、SPD
と称される光位置検出素子(13)と、増幅器(14)及び
(15)とから構成されている。
コントローラ部(2)は、光源駆動回路(20)と、こ
の光源駆動回路(20)に接続されたA/Dコンバータ(2
1)及び(22)と、これらA/Dコンバータ(21)及び(2
2)に接続されたCPU(23)とから構成されている。
なお、光源(10)は光源駆動回路(20)に接続されて
パルス駆動され、A/Dコンバータ(21)及び(22)は増
幅器(14)及び(15)にもそれぞれ接続されている。
つぎに、前述した従来例の動作を説明する。
光源(10)は、光源駆動回路(20)によってパルス駆
動され、時間的に点灯、消灯を繰り返すような光を発生
する。光源(10)から出射された光は、投光レンズ(1
1)で集束されて被測定物体Xの面上に面に対して垂直
に投射される。
理想的な鏡面以外の一般の物体表面では散乱を起こ
し、種々の角度から明るい光のスポット、すなわち光点
が観測できる。
投射ビームと所定の角度θをなす光軸上に、受光レン
ズ(12)を置いて前記光点の像を光位置検出素子(13)
の受光面上に形成させれば、光位置検出素子(13)から
の2つの出力電流i1及びi2が受光面上の光点の位置に対
応したものとなる。これらを増幅器(14)及び(15)で
増幅し、それぞれ出力電流i1及びi2に比例した電圧VA1
及びVA2を得る。
これらの電圧を各々別々のA/Dコンバータ(21)及び
(22)に入力する。これらA/Dコンバータ(21)及び(2
2)は、光源駆動回路(20)の駆動パルスに同期して入
力信号をサンプリングしディジタル電圧VD1及びVD2に変
換する。CPU(23)は、これらを入力し、 (VD1−VD2)/(VD1+VD2) の計算を行い、光位置検出素子(13)の受光面上に形成
されたスポット光の光量重心位置に比例した信号を得
て、さらにこれをリニア補正して被測定物体Xの位置d
を求め、これを出力する。
[発明が解決しようとする課題] 位置測定値は、基本的にディジタル信号で出力される
が、用途によってはアナログ出力、絶縁された接点出
力、RS−232C出力などが要求されることがあり、また測
定値を表示したり、位置測定値をもとに平均処理、最
大、最小値検出、微分計算などの演算を行ったり、これ
らの測定、演算に関するパラメータを設定する必要が生
じる場合がある。
前述したような従来の位置測定器では、コントローラ
部(2)は1つのブロックとして構成されているので、
これらいずれの要求に対しても対応できるようにするた
めには、全ての機能達成手段を備えておかなければなら
ず、高価かつサイズの大きいものになり、また、これら
のうち1つの機能のみを使用することは非常に無駄が多
いという問題点があった。
この発明は、前述した問題点を解決するためになされ
たもので、価格、サイズを押さえ、かつ必要な機能を選
択利用することができる位置測定器を得ることを目的と
する。
[課題を解決するための手段] 第1請求項に係るこの発明の位置測定器は、検出ヘッ
ド部の光源を駆動する光源駆動回路、前記検出ヘッド部
からのアナログ信号をデジタル信号へ変換する2個のA/
Dコンバータ、第1のパラメータ設定値を記憶する第1
の不揮発性メモリ、及び前記第1のパラメータ設定値に
基づいて前記デジタル信号から被測定物体の位置を求め
測定値として出力する第1のCPUを有する測定ユニット
と、表示器、各種パラメータの設定を行う設定入力キー
ボード、全ユニット分の設定関連情報を記憶するROM、
及び前記測定値を取り込んで所定の処理を行いその結果
を前記表示器に出力する第2のCPUを有するマスターユ
ニットと、第2のパラメータ設定値を記憶する第2の不
揮発性メモリ、及び前記測定値を取り込んで前記第2の
パラメータ設定値に基づいて所定の処理を行う第3のCP
Uを有する機能ユニットと、前記各ユニットが任意の接
続位置に取り付けられ、前記測定ユニットから出力され
た前記測定値を他の各ユニットへ伝送するとともに前記
マスターユニットの設定入力キーボードにより設定され
たパラメータを他の各ユニットへ伝送する双方向データ
バスとを備えたものである。また、第2請求項に係るこ
の発明の位置測定器は、検出ヘッド部の光源を駆動する
光源駆動回路、前記検出ヘッド部からのアナログ信号を
デジタル信号へ変換する2個のA/Dコンバータ、第1の
パラメータ設定関連情報を記憶する第1のROM、及び前
記第1のパラメータ設定関連情報に基づいて前記デジタ
ル信号から被測定物体の位置を求め測定値として出力す
る第1のCPUを有する測定ユニットと、表示器、各種パ
ラメータの設定を行う設定入力キーボード、パラメータ
設定値を記憶する不揮発性メモリ、及び前記測定値を取
り込んで所定の処理を行いその結果を前記表示器に出力
する第2のCPUを有するマスターユニットと、第2のパ
ラメータ設定関連情報を記憶する第2のROM、及び前記
測定値を取り込んで前記第2のパラメータ設定関連情報
に基づいて所定の処理を行う第3のCPUを有する機能ユ
ニットと、前記各ユニットが任意の接続位置に取り付け
られ、前記測定ユニットから出力された前記測定値を他
の各ユニットへ伝送するとともに前記マスターユニット
の要求により前記各ユニットのROMに記憶されたパラメ
ータを前記マスターユニットの不揮発性メモリへ伝送す
る双方向データバスとを備えたものである。さらに、第
3請求項に係るこの発明の位置測定器は、検出ヘッド部
の光源を駆動する光源駆動回路、前記検出ヘッド部から
のアナログ信号をデジタル信号へ変換する2個のA/Dコ
ンバータ、第1のパラメータ設定値を記憶する第1の不
揮発性メモリ、及び前記第1のパラメータ設定値に基づ
いて前記デジタル信号から被測定物体の位置を求め測定
値として出力する第1のCPUを有する測定ユニットと、
表示器、各種パラメータの設定を行う設定入力キーボー
ド、全ユニット分の設定関連情報を記憶するROM、及び
前記測定値を取り込んで所定の処理を行いその結果を前
記表示器に出力する第2のCPUを有するマスターユニッ
トと、第2のパラメータ設定値を記憶する第2の不揮発
性メモリ、及び前記測定値を取り込んで前記第2のパラ
メータ設定値に基づいて所定の処理を行う第3のCPUを
有する機能ユニットと、前記各ユニットが任意の接続位
置に取り付けられ、前記測定ユニットから出力された前
記測定値を他の各ユニットへ伝送するとともに前記マス
ターユニットの設定入力キーボードにより設定されたパ
ラメータを他の各ユニットへ伝送する双方向データバス
と、前記測定ユニットと前記機能ユニットを接続し前記
測定ユニットから出力された前記測定値を前記機能ユニ
ットへ伝送する片方向データバスとを備えたものであ
る。
[作用] 第1請求項に係るこの発明においては、測定ユニット
によって、第1の不揮発性メモリに記憶された第1のパ
ラメータ設定値に基づいて前記デジタル信号から被測定
物体の位置が求められ測定値として出力される。また、
マスターユニットによって、前記測定値が取り込まれ所
定の処理が行われその結果が表示器に出力される。さら
に、機能ユニットによって、前記測定値が取り込まれ第
2の不揮発性メモリに記憶された第2のパラメータ設定
値の基づいて所定の処理が行われる。また、前記各ユニ
ットが任意の接続位置に取り付けられた双方向データバ
スによって、前記測定ユニットから出力された前記測定
値が他の各ユニットへ伝送されるとともに前記マスター
ユニットの設定入力キーボードにより設定されたパラメ
ータが他の各ユニットへ伝送される。また、第2請求項
に係るこの発明においては、測定ユニットによって、第
1のROMに記憶された第1のパラメータ設定関連情報に
基づいて前記デジタル信号から被測定物体の位置が求め
られ測定値として出力される。また、マスターユニット
によって、前記測定値が取り込まれ所定の処理が行われ
その結果が表示器に出力される。さらに、機能ユニット
によって、前記測定値が取り込まれ第2のROMに記憶さ
れた第2のパラメータ設定関連情報に基づいて所定の処
理が行われる。また、前記各ユニットが任意の接続位置
に取り付けられた双方向データバスによって、前記測定
ユニットから出力された前記測定値が他の各ユニットへ
伝送されるとともに前記マスターユニットの要求により
前記各ユニットのROMに記憶されたパラメータが前記マ
スターユニットの不揮発性メモリへ伝送される。さら
に、第3請求項に係るこの発明においては、測定ユニッ
トによって、第1の不揮発性メモリに記憶された第1の
パラメータ設定値に基づいて前記デジタル信号から被測
定物体の位置が求められ測定値として出力される。ま
た、マスターユニットによって、前記測定値が取り込ま
れ所定の処理が行われその結果が表示器に出力される。
さらに、機能ユニットによって、前記測定値が取り込ま
れ第2の不揮発性メモリに記憶された第2のパラメータ
設定値に基づいて所定の処理が行われる。また、前記各
ユニットが任意の接続位置に取り付けられた双方向デー
タバスによって、前記測定ユニットから出力された前記
測定値が他の各ユニットへ伝送されるとともに前記マス
ターユニットの設定入力キーボードにより設定されたパ
ラメータが他の各ユニットへ伝送される。また、前記測
定ユニットと前記機能ユニットを接続する片方向データ
バスによって、前記測定ユニットから出力された前記測
定値が前記機能ユニットへ伝送される。
[実施例] 第1請求項に係るこの発明の実施例の構成を第1図を
参照しながら説明する。
第1図は、第1請求項に係るこの発明の一実施例を示
すブロック図であり、検出ヘッド部(1)は前記従来例
のものと全く同一である。
第1図において、第1請求項に係るこの発明の一実施
例は、前述した従来例のものと全く同一のものと、双方
向データバス(6)で各々接続された、測定ユニット
(2A)と、マスターユニット(3)と、アナログ出力ユ
ニット(4)と、ディジタル入出力ユニット(5)とか
ら構成されている。
測定ユニット(2A)は、光源駆動回路(20)と、この
光源駆動回路(20)並びに検出ヘッド部(1)の増幅器
(14)及び(15)にそれぞれ接続されたA/Dコンバータ
(21)及び(22)と、これらA/Dコンバータ(21)及び
(22)並びに双方向データバス(6)に接続されたCUP
(23)と、このCPU(23)に接続された不揮発性メモリ
(24)とから構成されている。なお、光源駆動回路(2
0)は駆動パルスを供給するために検出ヘッド部(1)
の光源(10)にも接続している。
マスターユニット(3)は、双方向データバス(6)
に接続されたCUP(30)と、このCPU(30)に接続された
表示器(31)、設定入力キーボード(32)及びROM(3
3)とから構成されている。
アナログ出力ユニット(4)は、双方向データバス
(6)に接続されたCPU(40)と、このCPU(40)に接続
されたD/Aコンバータ(41)及び不揮発性メモリ(42)
とから構成されている。
ディジタル入出力ユニット(5)は、双方向データバ
ス(6)に接続されたCPU(50)と、このCPU(50)に接
続されたI/F(51)及び不揮発性メモリ(52)とから構
成されている。なお、I/F(51)はTTLパラレル、RS−23
2C、フォトカプラーなどのうちいずれか1つのディジタ
ル信号インターフェイスである。
双方向データバス(6)はユニット間のデータ交換を
行い、またユニットの接続位置が所定数分あり、各ユニ
ットは任意の位置に取り付けて動作させることができ
る。
前述した不揮発性メモリ(24)、(42)及び(52)
は、EEPROMや電池バックアップされたRAMなどの書き換
え可能なメモリである。
ところで、第1請求項に係るこの発明の機能ユニット
は、前述した第1請求項に係るこの発明の一実施例では
アナログ出力ユニット(4)又はディジタル入出力ユニ
ット(5)から構成されている。
つぎに、前述した実施例の動作を説明する。
測定ユニット(2A)で求められた測定値は、双方向デ
ータバス(6)に出力される。
マスターユニット(3)は、双方向データバス(6)
上の測定値を取り込み、平均処理を行って表示器(31)
に出力する。
同様に、アナログ出力ユニット(4)は、双方向デー
タバス(6)上の測定値を取り込み、D/Aコンバータ(4
1)によりアナログ電圧又は電流に変換して出力する。
また、ディジタル入出力ユニット(5)は、双方向デ
ータバス(6)上の測定値を取り込み、I/F(51)を通
して測定値を外部に出力する。
マスターユニット(3)では、設定入力キーボード
(32)を通じて各種パラメータの設定を行うことがで
き、その設定内容は双方向データバス(6)を通じて対
象ユニットに送られ、そのユニットの不揮発性メモリ
(24)、(42)又は(52)内に記録される。すなわち、
CPU(30)の動作は、ユニット内のROM(33)内に納めら
れたプログラムにより制御され、各ユニットの各種パラ
メータの設定に関する情報、例えば、全設定項目数、そ
れぞれの設定項目に対応する設定項目番号、設定項目名
称、使用キー種類、…、デフォルト値もこのプログラム
として全て納められている。
また、ディジタル入出力ユニット(5)に外部から入
力されたディジタル信号は、双方向データバス(6)を
介してマスターユニット(3)に送られ、設定入力キー
ボード(32)からと同様の設定動作を可能にする。
前述した各ユニットは、位置測定器としての動作上全
てが必要ではなく、また双方向データバス(6)上に設
けられた任意の接続位置に取り付けることで動作させる
ことができる。
第1請求項に係るこの発明の一実施例は、前述したよ
うに、機能毎に分割してユニットを構成し、これらユニ
ット間の信号伝送用双方向データバス(6)を設け、こ
の双方向データバス(6)上に任意の種類、個数のユニ
ットを取り付けられるようにしたので、必要な機能をも
ったユニットのみを組み合わせて多種類の機能を使用す
ることできる上に、無駄がなく、低価格、小サイズを実
現することができるという効果を奏する。
つづいて、第2請求項に係るこの発明の実施例の構成
を第2図を参照しながら説明する。
第2図は、第2請求項に係るこの発明の一実施例を示
すブロック図であり、検出ヘッド部(1)は前記従来例
のものと全く同一である。
第2図において、第2請求項に係るこの発明の一実施
例は、前述した従来例のものと全く同一のものと、双方
向データバス(6)で各々接続された、測定ユニット
(2B)と、マスターユニット(3A)と、アナログ出力ユ
ニット(4A)と、ディジタル入出力ユニット(5A)とか
ら構成されている。
マスターユニット(3A)は、第1請求項に係る発明の
実施例のマスターユニット(3)に不揮発性メモリ(3
4)を追加したものである。
測定ユニット(2B)、アナログ出力ユニット(4A)及
びディジタル入出力ユニット(5A)は、第1請求項に係
る発明の実施例の測定ユニット(2A)、アナログ出力ユ
ニット(4)及びディジタル入出力ユニット(5)のそ
れぞれの不揮発性メモリ(24)、(42)及び(52)の代
わりにROM(25)、(43)及び(53)を備えている。
ところで、第2請求項に係るこの発明の機能ユニット
は、前述した第2請求項に係るこの発明の一実施例では
アナログ出力ユニット(4A)又はディジタル入出力ユニ
ット(5A)から構成されている。
つぎに、前述した実施例の動作を第3図を参照しなが
ら説明する。
第3図は、第2請求項に係るこの発明の一実施例の測
定ユニット(2B)、アナログ出力ユニット(4A)及びデ
ィジタル入出力ユニット(5A)におけるROMの内容を示
すテーブル図である。
第3図において、各ROMには、パラメータ設定関連情
報として全設定項目数、各設定項目に対応する設定項目
番号、設定項目名称、使用キー種類、…、デフォルト値
があらかじめ記憶されている。
基本的な動作は、第1請求項に係る発明の実施例と同
一である。
マスターユニット(3A)のCPU(30)は、ROM(33)に
書かれたプログラムに従って動作する。ただし、各ユニ
ットのパラメータ設定に関する情報はほとんど内蔵して
おらず、不揮発性メモリ(34)に設定されたパラメータ
の値だけを記録する機能をもっている。
測定ユニット(2B)、アナログ出力ユニット(4A)及
びディジタル入出力ユニット(5A)は、それぞれ自身の
パラメータ設定に必要な情報をそれぞれのROM(25)、
(43)及び(53)にもっているい。第3図は、各ユニッ
ト毎のROM内にあるパラメータ設定に関する情報の内容
を具体的に示したもので、それぞれ数値又は文字列とし
て記録されている。
マスターユニット(3A)は、設定操作開始に先立ち、
双方向データバス(6)を介して順に各ユニットに対
し、第3図に示した情報を送信するように命令を出し、
各ユニットからその情報を受け取って不揮発性メモリ
(34)内に記憶しておく。この交信は、通常電源ON時に
行われる。したがって、この記憶内容は電源をOFFにし
た時に消えてもかまわない。
マスターユニット(3A)は、キーボード又はディジタ
ル入力から設定動作要求があったとき、前記のようにし
て取り寄せた設定情報に基づいてパラメータ設定動作を
行う。そして、設定された値は、全てマスターユニット
(3A)内の不揮発性メモリ(34)に記録され、各ユニッ
トから必要に応じて要求を受けると、双方向データバス
(6)を通じてマスターユニット(3A)から当該ユニッ
トに転送される。
第2請求項に係るこの発明の一実施例は、前述したよ
うに、パラメータ設定に関する情報を各ユニット自身に
持たせたので、マスターユニット(3A)を交換すること
なく、新たな仕様のユニットを追加したり、設定項目を
仕様変更することが可能となり、バージョンアップの適
応性に優れ、また、設定内容の記憶は全てのユニット分
をマスターユニット(3A)内の不揮発性メモリ(34)で
行うので、各ユニット毎に不揮発性メモリをもつ必要が
なく、価格、大きさの点で有利である。
つづいて、第3請求項に係るこの発明の実施例の構成
を第4図を参照しながら説明する。
第4図は、第3請求項に係るこの発明の一実施例を示
すブロック図であり、検出ヘッド部(1)は前記従来例
のものと全く同一である。
第4図において、第3請求項に係るこの発明の一実施
例は、前述した従来例のものと全く同一のものと、双方
向データバス(6)で各々接続された、測定ユニット
(2C)と、マスターユニット(3)と、演算ユニット
(7)と、ディジタル入出力ユニット(5B)とから構成
されている。また、測定ユニット(2C)と演算ユニット
(7)とは片方向データバス(8A)により相互に接続さ
れ、演算ユニット(8A)とディジタル入出力ユニット
(5B)とは片方向データバス(8B)により相互に接続さ
れ、ディジタル入出力ユニット(5B)と図示しない他の
ユニットとは片方向データバス(8C)により相互に接続
されている。なお、ベース(9)は、各ユニットを機械
的に保持すると共に、、双方向データバス(6)及び片
方向データバス(8A)〜(8C)を有している。
マスターユニット(3)は、第1請求項に係る発明の
一実施例と同一である。
測定ユニット(2C)、演算ユニット(7)及びディジ
タル入出力ユニット(5B)は、双方向データバス(6)
との入出力ポートの他に、入力ポート(25)、(71)及
び(53)と出力ポート(26)、(72)及び(54)とを各
々1個づつもち、1つのユニットの出力ポートと隣接す
るユニットの入力ポートとは片方向データバス(8A)〜
(8C)によって接続されるようになっている。ただし、
測定ユニット(2C)の入力ポート(25)には何も接続さ
れない。測定ユニット(2C)は、測定値を出力するた
め、通常このように端に設置する。
なお、測定ユニット(2C)、演算ユニット(7)及び
ディジタル入出力ユニット(5B)は、図示しないがそれ
ぞれのパラメータ用の不揮発性メモリを備えている。
また、測定ユニット(2C)及び演算ユニット(7)で
は、入力データを処理できるように一旦CPUを経由して
出力ポートに出力されるが、ディジタル入出力ユニット
(5B)では、測定データを処理せずそのまま次のユニッ
トへ送るため、入力ポート(53)は出力ポート(54)に
直結されている。
ところで、第3請求項に係るこの発明の機能ユニット
は、前述した第3請求項に係るこの発明の一実施例では
演算ユニット(7)又はディジタル入出力ユニット(5
B)から構成されている。
つぎに、前述した実施例の動作を説明する。
基本的な動作は、第1請求項に係る発明の実施例と同
一である。
測定ユニット(2C)の測定データは、出力ポート(2
6)から片方向データバス(8A)へ出力され、この片方
向データバス(8A)を経由して隣接する演算ユニット
(7)の入力ポート(71)へ伝送される。
演算ユニット(7)は、入力ポート(71)の測定デー
タを読込み、指定された演算処理を行った結果を出力ポ
ート(72)へ出力する。このデータは片方向データバス
(8B)を経由して隣接するディジタル入出力ユニット
(5B)の入力ポート(53)へ伝送される。
ディジタル入出力ユニット(5B)は、入力ポート(5
3)のデータを読込み、I/F(51)を介して外部に出力す
る。入力ポート(53)は出力ポート(54)に直結されて
いるため、このユニットへの入力データはそのまま次の
片方向データバス(8C)上に出力され、次のユニットへ
送られる。
片方向データバス(8A)〜(8C)は、隣合う1組のユ
ニットの出力−入力間だけを結ぶもので、複数個で構成
されているため、それぞれのユニットからデータを出力
して隣のユニットへ入力される動作を各々のユニットが
同時に行うことが可能である。したがって、これら測定
データの処理と伝送は、各ユニットに同期用クロックを
与えることにより並列に実行させることができる。
これに対し、ディジタル入出力ユニット(5B)に入力
される外部からの指令は、I/F(51)、CPU(50)を経由
して双方向データバス(6)に出力され、マスターユニ
ット(3)のCPU(30)に読み込まれる。また、マスタ
ーユニット(3)から各ユニットへの設定、動作制御の
指令も双方向データバス(6)を通じて対象ユニットへ
伝送される。さらに、測定データを表示器(31)に表示
する場合は、測定ユニット(2C)から測定データが双方
向データバス(6)上へ出力され、マスターユニット
(3)はこれを読み取って平均処理等を行い表示する。
上記の3つの動作は、全て双方向データバス(6)が
使用されるため、各ユニットを経由して行われている測
定データの処理、出力動作を中断させることはない。ま
た、双方向データバス(6)を使用する動作は、全てマ
スターユニット(3)に関する動作であるため、並列処
理の必要はなく、マスターユニット(3)が管理して双
方向データバス(6)を時分割使用すれば十分である。
第3請求項に係るこの発明の一実施例は、前述したよ
うに、隣合うユニット同士専用の片方向データバス(8
A)〜(8C)を設けたので、隣合うユニット間の測定デ
ータ伝送が同時に行え、測定データを複数のユニットを
通じて処理を行う場合の処理時間が短縮できる。
また、外部から入力される指令、マスターユニット
(3)からの設定指令などの伝送用双方向データバス
(6)が別に設けられているため、これらの指令伝送時
に測定データの処理が中断されることがない。
さらに、隣合うユニット同士専用の片方向データバス
を設けたため、ユニットを組み替えて途中に演算処理を
行う演算ユニットを挿入し測定データに対する処理を簡
単に追加することができる利点がある。このようなユニ
ットの組替例を第5図(a)〜(d)に示す。
なお、前記各実施例で述べたユニット以外に、位置測
定値を入力としてフォトカプラーなどを介した絶縁信号
として出力したり、動作制御ディジタル信号を絶縁信号
で入力する機能をもつ絶縁入出力ユニット等も双方向デ
ータバス(6)及び片方向データバス(8A)〜(8C)に
コネクタ等で容易に着脱可能に接続できる。
ところで前記説明では、光学式三角測量法の位置測定
器に利用する場合について述べたが、その他の方式、例
えば超音波式の位置測定器にも利用できることはいうま
でもない。
[発明の効果] 第1請求項に係るこの発明の位置測定器は、以上説明
したとおり、検出ヘッド部の光源を駆動する光源駆動回
路、前記検出ヘッド部からのアナログ信号をデジタル信
号へ変換する2個のA/Dコンバータ、第1のパラメータ
設定値を記憶する第1の不揮発性メモリ、及び前記第1
のパラメータ設定値に基づいて前記デジタル信号から被
測定物体の位置を求め測定値として出力する第1のCPU
を有する測定ユニットと、表示器、各種パラメータの設
定を行う設定入力キーボード、全ユニット分の設定関連
情報を記憶するROM、及び前記測定値を取り込んで所定
の処理を行いその結果を前記表示器に出力する第2のCP
Uを有するマスターユニットと、第2のパラメータ設定
値を記憶する第2の不揮発性メモリ、及び前記測定値を
取り込んで前記第2のパラメータ設定値に基づいて所定
の処理を行う第3のCPUを有する機能ユニットと、前記
各ユニットが任意の接続位置に取り付けられ、前記測定
ユニットから出力された前記測定値を他の各ユニットへ
伝送するとともに前記マスターユニットの設定入力キー
ボードにより設定されたパラメータを他の各ユニットへ
伝送する双方向データバスとを備え、また、第2請求項
に係るこの発明の位置測定器は、以上説明したとおり、
検出ヘッド部の光源を駆動する光源駆動回路、前記検出
ヘッド部からのアナログ信号をデジタル信号へ変換する
2個のA/Dコンバータ、第1のパラメータ設定関連情報
を記憶する第1のROM、及び前記第1のパラメータ設定
関連情報に基づいて前記デジタル信号から被測定物体の
位置を求め測定値として出力する第1のCPUを有する測
定ユニットと、表示器、各種パラメータの設定を行う設
定入力キーボード、パラメータ設定値を記憶する不揮発
性メモリ、及び前記測定値を取り込んで所定の処理を行
いその結果を前記表示器に出力する第2のCPUを有する
マスターユニットと、第2のパラメータ設定関連情報を
記憶する第2のROM、及び前記測定値を取り込んで前記
第2のパラメータ設定関連情報に基づいて所定の処理を
行う第3のCPUを有する機能ユニットと、前記各ユニッ
トが任意の接続位置に取り付けられ、前記測定ユニット
から出力された前記測定値を他の各ユニットへ伝送する
とともに前記マスターユニットの要求により前記各ユニ
ットのROMに記憶されたパラメータを前記マスターユニ
ットの不揮発性メモリへ伝送する双方向データバスとを
備え、さらに、第3請求項に係るこの発明の位置測定器
は、以上説明したとおり、検出ヘッド部の光源を駆動す
る光源駆動回路、前記検出ヘッド部からのアナログ信号
をデジタル信号へ変換する2個のA/Dコンバータ、第1
のパラメータ設定値を記憶する第1の不揮発性メモリ、
及び前記第1のパラメータ設定値に基づいて前記デジタ
ル信号から被測定物体の位置を求め測定値として出力す
る第1のCPUを有する測定ユニットと、表示器、各種パ
ラメータの設定を行う設定入力キーボード、全ユニット
分の設定関連情報を記憶するROM、及び前記測定値を取
り込んで所定の処理を行いその結果を前記表示器に出力
する第2のCPUを有するマスターユニットと、第2のパ
ラメータ設定値を記憶する第2の不揮発性メモリ、及び
前記測定値を取り込んで前記第2のパラメータ設定値に
基づいて所定の処理を行う第3のCPUを有する機能ユニ
ットと、前記各ユニットが任意の接続位置に取り付けら
れ、前記測定ユニットから出力された前記測定値を他の
各ユニットへ伝送するとともに前記マスターユニットの
設定入力キーボードにより設定されたパラメータを他の
各ユニットへ伝送する双方向データバスと、前記測定ユ
ニットと前記機能ユニットを接続し前記測定ユニットか
ら出力された前記測定値を前記機能ユニットへ伝送する
片方向データバスとを備えたので、価格、サイズを押さ
え、かつ必要な機能を選択利用することができるという
効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図は第1請求項に係るこの発明の一実施例を示すブ
ロック図、第2図は第2請求項に係るこの発明の一実施
例を示すブロック図、第3図は第2請求項に係るこの発
明の一実施例のROMに記憶されている内容を示すテーブ
ル図、第4図は第3請求項に係るこの発明の一実施例を
示すブロック図、第5図は第3請求項に係るこの発明の
他の実施例を示すブロック図、第6図は従来の位置測定
器を示すブロック図である。 図において、 (1)……検出ヘッド部、 (2A)、(2B)、(2C)……測定ユニット、 (3)、(3A)……マスターユニット、 (4)、(4A)……アナログ出力ユニット、 (5)、(5A)、(5B)……ディジタル入出力ユニッ
ト、 (6)……双方向データバス、 (7)……演算ユニット、 (8A)、(8B)、(8C)……片方向データバス、 (9)……ベースである。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】検出ヘッド部の光源を駆動する光源駆動回
    路、前記検出ヘッド部からのアナログ信号をデジタル信
    号へ変換する2個のA/Dコンバータ、第1のパラメータ
    設定値を記憶する第1の不揮発性メモリ、及び前記第1
    のパラメータ設定値に基づいて前記デジタル信号から被
    測定物体の位置を求め測定値として出力する第1のCPU
    を有する測定ユニットと、 表示器、各種パラメータの設定を行う設定入力キーボー
    ド、全ユニット分の設定関連情報を記憶するROM、及び
    前記測定値を取り込んで所定の処理を行いその結果を前
    記表示器に出力する第2のCPUを有するマスターユニッ
    トと、 第2のパラメータ設定値を記憶する第2の不揮発性メモ
    リ、及び前記測定値を取り込んで前記第2のパラメータ
    設定値に基づいて所定の処理を行う第3のCPUを有する
    機能ユニットと、 前記各ユニットが任意の接続位置に取り付けられ、前記
    測定ユニットから出力された前記測定値を他の各ユニッ
    トへ伝送するとともに前記マスターユニットの設定入力
    キーボードにより設定されたパラメータを他の各ユニッ
    トへ伝送する双方向データバスと を備えたことを特徴とする位置測定器。
  2. 【請求項2】検出ヘッド部の光源を駆動する光源駆動回
    路、前記検出ヘッド部からのアナログ信号をデジタル信
    号へ変換する2個のA/Dコンバータ、第1のパラメータ
    設定関連情報を記憶する第1のROM、及び前記第1のパ
    ラメータ設定関連情報に基づいて前記デジタル信号から
    被測定物体の位置を求め測定値として出力する第1のCP
    Uを有する測定ユニットと、 表示器、各種パラメータの設定を行う設定入力キーボー
    ド、パラメータ設定値を記憶する不揮発性メモリ、及び
    前記測定値を取り込んで所定の処理を行いその結果を前
    記表示器に出力する第2のCPUを有するマスターユニッ
    トと、 第2のパラメータ設定関連情報を記憶する第2のROM、
    及び前記測定値を取り込んで前記第2のパラメータ設定
    関連情報に基づいて所定の処理を行う第3のCPUを有す
    る機能ユニットと、 前記各ユニットが任意の接続位置に取り付けられ、前記
    測定ユニットから出力された前記測定値を他の各ユニッ
    トへ伝送するとともに前記マスターユニットの要求によ
    り前記各ユニットのROMに記憶されたパラメータを前記
    マスターユニットの不揮発性メモリへ伝送する双方向デ
    ータバスと を備えたことを特徴とする位置測定器。
  3. 【請求項3】検出ヘッド部の光源を駆動する光源駆動回
    路、前記検出ヘッド部からのアナログ信号をデジタル信
    号へ変換する2個のA/Dコンバータ、第1のパラメータ
    設定値を記憶する第1の不揮発性メモリ、及び前記第1
    のパラメータ設定値に基づいて前記デジタル信号から被
    測定物体の位置を求め測定値として出力する第1のCPU
    を有する測定ユニットと、 表示器、各種パラメータの設定を行う設定入力キーボー
    ド、全ユニット分の設定関連情報を記憶するROM、及び
    前記測定値を取り込んで所定の処理を行いその結果を前
    記表示器に出力する第2のCPUを有するマスターユニッ
    トと、 第2のパラメータ設定値を記憶する第2の不揮発性メモ
    リ、及び前記測定値を取り込んで前記第2のパラメータ
    設定値に基づいて所定の処理を行う第3のCPUを有する
    機能ユニットと、 前記各ユニットが任意の接続位置に取り付けられ、前記
    測定ユニットから出力された前記測定値を他の各ユニッ
    トへ伝送するとともに前記マスターユニットの設定入力
    キーボードにより設定されたパラメータを他の各ユニッ
    トへ伝送する双方向データバスと、 前記測定ユニットと前記機能ユニットを接続し前記測定
    ユニットから出力された前記測定値を前記機能ユニット
    へ伝送する片方向データバスと を備えたことを特徴とする位置測定器。
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