JP2008076118A - 変位センサ及びセンサシステム - Google Patents

Abstract

【課題】変位センサから取得した受光量により受光波形を表示可能な変位センサを提供すること。
【解決手段】コントローラ１０にコンソール３０が外部接続可能であり、該コンソール３０は、検出条件設定の際に検出条件を表示する表示画面を有し、コンソール３０の表示画面上に受光信号から各画素の受光量をグラフ表示した受光波形を表示させるＣＰＵを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、変位センサ及びセンサシステムに関するものである。

光を用いた変位センサは、コントローラと、発光素子とラインセンサ又は二次元センサとを有するヘッドとを備える。ヘッドはセンサの各画素における受光量を出力し、コントローラは各画素の受光量に基づき測定対象物の反射面の変位などを検出する。コントローラには、設定及びヘッドのセンサ出力を確認するために、パーソナルコンピュータが接続される。パーソナルコンピュータでは、コントローラからヘッドのセンサにおける受光量を受信し波形表示する。従って、検出物の表面状態などを、表示画面を見て確認することができる（例えば、特許文献１参照）。
特許第３７９７４２２号公報

しかしながら、変位センサは受光波形確認のためのパーソナルコンピュータを持ち込むことができない場所にも設置される。また、コントローラに直接接続するパーソナルコンピュータを用意できない場合がある。従って、設置場所において受光量を容易に確認することができないという問題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、変位センサから取得した受光量により受光波形を表示可能な変位センサ及びセンサシステムを提供することにある。

上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、被検出物へ向けて光を照射する投光手段と、複数の画素から構成され、前記被検出物からの反射光を受光し、各画素の受光量に応じた受光信号を順次出力するイメージセンサと、前記イメージセンサより出力される受光信号から各画素の受光量に基づいて被検出物の変位を検出する検出手段と、を備える変位センサにおいて、前記検出手段の検出条件を設定可能なコンソールが外部接続可能であり、該コンソールは、検出条件設定の際に前記検出条件を表示する表示画面を有し、前記コンソールの表示画面上に前記受光信号から各画素の受光量をグラフ表示した受光波形を表示させる表示制御手段より構成される。この構成により、コンソールの表示画面上に受光波形の表示を可能としたため、コンソールで設定を行なう場合においても、作業者の手元で受光波形を表示し、設定を行なうことができる。従って、変位センサから取得した受光量により受光波形を表示可能な変位センサが提供される。

請求項２によれば、請求項１に記載の変位センサにおいて、前記表示制御手段は、全画素のうち所定範囲の画素の受光波形を前記表示画面上に表示させるよう構成され、前記所定範囲を選択的に切替可能な表示範囲切替手段を備える。この構成により、全画素のうち所定範囲の画素の受光波形のみを表示するため、表示画面を大型化する必要が無い。さらに、表示範囲切替手段を備えることで、全画素の受光波形を所定範囲ごとに切替表示可能となり、小型なコンソールにより全画素の受光波形を確認することができる。

請求項３によれば、請求項２に記載の多光軸光電センサにおいて、前記表示制御手段は、前記表示範囲切替手段にて切り替えられた範囲が全画素のうちのいずれの範囲かを示す範囲情報を前記表示画面上に前記受光波形とともに表示させる。これにより、選択された範囲に対応する情報が表示され、全画素においてどの範囲の受光波形が表示されているかを容易に確認することができる。

請求項４によれば、請求項２又は３のいずれか一項に記載の変位センサにおいて、前記表示画面はタッチパネルであり、前記表示範囲切替手段は、前記表示画面上で選択された範囲を前記所定範囲として切替可能とされる。これにより、表示画面上から表示範囲を切替えることができるため、作業者にとって切替作業が容易になる。

請求項５によれば、請求項１〜４の何れか一項に記載の変位センサにおいて、コンソールの表示画面上に前記検出手段の設定条件を表示する設定表示モードと、前記受光波形を表示する受光波形表示モードとを切り替えるモード切替手段を備え、前記表示制御手段は、前記モード切替手段によって、前記設定表示モードとされた場合、前記設定条件をコンソールの表示画面上に表示させ、さらに前記受光波形表示モードとされた場合、前記受光波形をコンソールの表示画面上に表示させる構成を備える。この構成により、モードに応じて表示を受光波形と設定条件とに切り替えて表示することができるため、コンソールの表示サイズを変更することなく受光波形の表示を行なうことができる。

請求項６によれば、請求項５記載の変位センサにおいて、前記受光波形表示モードにおいて、前記表示制御手段は、前記表示範囲切替手段にて切替可能な範囲を、前記受光波形とともに前記表示画面上に表示させる。このため、表示範囲を切り替える際、設定表示モードへとモード切替を行なわなくても良いため、作業者の手間を省くことができる。

請求項７によれば、請求項１〜６の何れか一項に記載の変位センサにおいて、前記変位センサは、前記投光手段及び前記イメージセンサを備えるヘッド部と、前記検出手段及び前記表示制御手段を備え、且つ前記コンソールが接続されるコントロール部と、を備え、１つのコントロール部に対して複数のヘッド部を接続可能とされ、前記表示画面上に、前記複数のヘッド部のうち何れか１つのヘッド部の受光波形を表示させるかを選択することが可能な選択手段を備えることを特徴とする。この構成により、複数のセンサヘッドのうち、１つのセンサヘッドの受光波形を選択的に表示させるため、表示画面を大型化せず複数のセンサヘッドの受光波形を表示画面上に表示し、作業者は受光波形を確認し設定することができる。

請求項８によれば、請求項１〜７のうちの何れか一項に記載の変位センサと、前記変位センサに接続され、受光波形が表示され表示画面を有するコンソールより構成される。この構成により、コンソールの表示画面上に受光波形の表示を可能としたため、コンソールで設定を行なう場合においても、作業者の手元で受光波形を表示し、設定を行なうことができる。従って、変位センサから取得した受光量により受光波形を表示可能なセンサシステムが提供される。

請求項９によれば、請求項８に記載のセンサシステムにおいて、前記コンソールの表示画面はタッチパネルであり、該タッチパネルへの入力により前記表示画面に表示される受光波形を表示する範囲が切り替えられる。このため作業者はパソコンを用いなくても容易に受光波形を確認することができる。前記変位センサは、前記投光手段及び前記イメージセンサを有するヘッド部と、前記検出手段及び前記表示制御手段を有するコントロール部とを備え、１つのコントロール部に対して複数のヘッド部を接続可能とされ、前記表示画面上に、複数のヘッド部のうち何れか１つのヘッド部の受光波形を表示させるかを選択することが可能な選択手段を備える。この構成により、複数のヘッド部のうち、１つのヘッド部の受光波形を選択的に表示させるため、表示画面を大型化せず複数のヘッド部の受光波形を表示画面上に表示し、確認することができる。

従って、上記記載の発明によれば、変位センサから取得した受光量により受光波形を表示可能な変位センサ及びセンサシステムを提供することが出来る。

以下、本発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１は、本実施形態の変位センサを示す概略構成図である。
変位センサのコントローラ１０には複数のケーブル接続端子１０ａ〜１０ｄが設けられ、そのケーブル接続端子１０ａにはヘッド部としてのセンサヘッド２０ａのケーブルＣ１ａが接続されている。センサヘッド２０ａは、測定台Ｔの上方に図示しない固定具により配置され、コントローラ１０の制御により測定台Ｔ上に載置された被検出物としてのワークＷに対してレーザ光を照射し、受光した反射光に応じた信号を出力する。

コントローラ１０のケーブル接続端子１０ｃには表示画面としてのコンソール３０がケーブルＣ２を介して接続されている。コンソール３０は、入力部と、ＬＣＤ等のドットマトリクスにて表示可能な表示画面とを有し、文字及び線画を表示することができる。また、コンソール３０はパーソナルコンピュータよりも小型であり、パーソナルコンピュータが持ち込めない場所にも持ち込むことが可能である。コントローラ１０は、センサヘッド２０ａから入力された信号に基づいて表示データをコンソール３０に出力し、コンソール３０には、表示データに基づいて受光量の数値や、受光量の波形が表示される。

次に、コントローラ１０及びセンサヘッド２０ａの電気的構成を説明する。
図２に示すようにコントローラ１０には、表示制御手段、検出手段及びボタン操作に対応する設定、選択又は切替の制御を行うＣＰＵ１１が内蔵され、該ＣＰＵ１１にはヘッド通信部１２が接続されている。そのヘッド通信部１２はケーブル接続端子１０ａ，１０ｂと接続されている。ケーブル接続端子１０ａにはセンサヘッド２０ａが接続されている。また、ケーブル接続端子１０ｂには破線で示すセンサヘッド２０ｂを、ケーブルＣ１ｂを介して接続することができる。即ち、コントローラ１０には２つのセンサヘッド２０ａ，２０ｂを接続することができ、ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２を介して各センサヘッド２０ａ，２０ｂと通信することができる。ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２に制御信号を出力し、そのヘッド通信部１２は各センサヘッド２０ａ，２０ｂに制御信号を送信する。ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２にて各センサヘッド２０ａ，２０ｂから受信した受光量データを入力する。

ＣＰＵ１１には、第１の記憶部１３（メモリ１と表示）と第２の記憶部１４（メモリ２と表示）が接続されている。ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２を介してセンサヘッド２０ａから受信した受光量データ、センサヘッド２０ａに係わる設定値、などを第１の記憶部１３に記憶する。また、ＣＰＵ１１は、ヘッド通信部１２を介してセンサヘッド２０ｂから受信した受光量データ、センサヘッド２０ｂに係わる設定値、などを第２の記憶部１４に記憶する。

更に、ＣＰＵ１１には、コンソール通信部１５とパソコン通信部１６が接続されている。コンソール通信部１５はケーブル接続端子１０ｃに接続され、そのケーブル接続端子１０ｃには、コンソール（ＣＳ）３０が接続されている。ＣＰＵ１１は、コンソール通信部１５を介してコンソール３０と通信する。パソコン通信部１６は、ケーブル接続端子１０ｄと接続されており、そのケーブル接続端子１０ｄには破線で示すパーソナルコンピュータ（ＰＣ）４０がケーブルＣ３を介して接続される。

センサヘッド２０ａは、コントローラ１０と通信するための通信部２１を備え、該通信部２１はＣＰＵ２２に接続されている。ＣＰＵ２２は、通信部２１にて受信した制御信号を入力し、該制御信号に基づいてセンサヘッド２０ａを制御する。ＣＰＵ２２は、表示部２３及び投光手段としてのレーザダイオード（ＬＤ）２４が接続されている。表示部２３はセンサヘッド２０ａの外部から視認可能に設けられたＬＥＤなどからなり、ＣＰＵ２２は、表示部２３に信号を出力し、動作状態を表示部２３に表示させる。ＣＰＵ２２は、レーザダイオード２４を制御し、ワークＷにレーザ光を照射させる。

ワークＷなどによる反射光はイメージセンサ（ＩＳ）２５に入射される。イメージセンサ２５は例えば二次元ＣＣＤであり、各画素における受光量に応じた電圧の受光信号をアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器２６に出力する。Ａ／Ｄ変換機２６は、受光信号を受光量データにアナログ−デジタル変換し、その受光量データをＣＰＵ２２に出力する。ＣＰＵ２２は、受光量データを通信部２１に出力し、通信部２１は受光量データをコントローラ１０に送信する。

上記したように、コントローラ１０のＣＰＵ１１は、センサヘッド２０ａからヘッド通信部１２を介して受信した受光量データを第１の記憶部１３に記憶する。そして、ＣＰＵ１１は、第１の記憶部１３に記憶した受光量データに基づいて、反射面の変位などを測定する。

詳述すると、センサヘッド２０ａから出射されるレーザ光は反射面（例えばワークＷの表面）にて反射し、その反射光がイメージセンサ２５に入射され、その入射位置はセンサヘッド２０ａから反射面までの距離に応じて変化する。コントローラ１０のＣＰＵ１１は、第１の記憶部１３に記憶した受光量データにおけるピーク値を検出し、そのピーク値の受光量データを出力する画素の位置（ピーク位置）の変化により、反射面の変位を測定する。また、ガラスなどの透明体の場合、複数の反射面（ガラスのおもて面と裏面）からの反射光による複数のピーク位置に基づいて、反射面間の距離（ガラスの厚み）を測定する。

コントローラ１０は、コンソール３０からの要求信号に応答して、検出したピーク値、反射面の変動量や記憶部１３，１４に記憶した受光量データ、検出条件などをコンソール３０に送信する。また、コントローラ１０は、コンソール３０から出力される設定データに基づいて、各種設定を行なう。

次に、コンソール３０を説明する。
コンソール３０は液晶表示装置と、その液晶表示装置の表面に配置されたタッチパネルとを備え、画面操作と表示とを同時に行なうことができる。コンソール３０は液晶表示装置に文字を表示させ、その文字が表示された範囲に対する接触をタッチパネルにて検出することで、操作ボタンを構成している。以下、液晶表示装置に表示される画面と、その画面上にタッチパネルにて構成される操作ボタンを説明する。

コンソール３０は、起動されると図３（ａ）に示すトップ画面３１を表示する。このトップ画面３１には、設定表示モードを選択するために複数の操作ボタン３１ａ〜３１ｅが表示されている。

例えば、測定値表示ボタン３１ａは、測定値を数値として表示画面に表示するためのボタンである。受光波形ボタン３１ｂは、受光量のデータを波形として表示画面に表示する受光波形表示モードへ表示画面を切り替えるためのボタンである。ピーク受光量ボタン３１ｃは受光波形のピーク値を表示するためのボタンである。メモリ切替ボタン３１ｄはＣＰＵ１１に接続された第２の記憶部１４に記憶された別の受光量データへ切り替えるためのボタンである。設定ボタン３１ｅは投光量の設定及びサンプリング周期の設定など変位センサの検出条件設定を行なう別画面へと表示を検出条件に切り替えるためのボタンである。

コンソール３０は、作業者が触れた操作ボタン３１ａ〜３１ｅに応じた画面を表示する。受光波形ボタン３１ｂに対する接触をタッチパネルにて検出すると、コンソール３０は、図３（ｂ）に示す波形表示画面３２を表示する。この波形表示画面３２の左上に設けられた選択ヘッド表示範囲３３には、表示する波形を測定したセンサヘッドを区別するための文字「ヘッドＡ」と、表示する波形の範囲を示す文字「１」を表示する。

コンソール３０には、センサヘッド２０ａから出力される受光量データの一部が表示される。これは、センサヘッド２０ａに備えたイメージセンサ２５の画素数と、コンソール３０の表示能力（表示画素数）との違いに基づく。イメージセンサ２５は、反射面の変位を精度良く測定するために、反射面の変位によって反射光が入射する位置が変化する方向に沿った画素数が多い（例えば、１０２４画素）。一方、コンソール３０の表示画素はイメージセンサ２５の画素数よりも少ない（例えば１００画素）。従って、イメージセンサ２５から出力される受光量データの全てを一度にコンソール３０に表示することができない。このため、受光量データを所定画素数（例えば１００画素）毎の範囲に分割し、コンソール３０は選択された１つの範囲のデータを表示する。

さらに、波形表示画面３２には、表示範囲切替手段としての切替ボタン３２ａ〜３２ｋが下部に表示される。コンソール３０は波形表示画面３２に表示を切り替えるとき、所定範囲（例えば一番目の範囲）の受光量データをコントローラ１０から取得し、対応する情報である範囲の波形を波形表示画面３２に表示する。従って、切替ボタンは現在表示されている範囲以外が選択可能であれば良く、それぞれの切替ボタン３２ａ〜３２ｋには、２番目から１１番目の範囲を示す文字「２」〜「１１」が表示される。この構成により、表示能力が低いコンソール３０において受光量データの波形表示を行い、波形の確認を行なうことができる。また、任意の範囲の波形を容易に表示することができる。従って、作業者はパーソナルコンピュータが無くても受光波形の確認を行なうことができる。このように、コンソール３０にはモード切替手段となる操作ボタン３１ａ〜３１ｅ及び切替ボタン３２ａ〜３２ｋが設けられている。

また、図３（ｂ）において、波形表示画面３２の右下には、選択されたセンサヘッドへと表示を切り替える選択手段としてのヘッド選択ボタン３４と、表示された受光波形のピーク値を表示するメッセージボタン３５とが表示され、右上にはトップ画面３１に表示を切り替えるためのＴｏｐボタン３６が表示されている。図２に示すように、コントローラ１０には２つのセンサヘッド２０ａ，２０ｂを接続することができ、それぞれの受光量データが第１の記憶部１３と第２の記憶部１４に記憶される。このため、作業者が図３（ｂ）に示すヘッド選択ボタン３４に触れると、コンソール３０は波形が表示されているセンサヘッドと異なるセンサヘッドの受光量データを要求する。例えば、センサヘッド２０ａの波形を表示している場合、コンソール３０はセンサヘッド２０ｂの１番目の範囲の受光量データを要求する。その受光量データを受信したコンソール３０は、図４に示すように、選択ヘッド表示範囲３３に文字「Ｂ−１」を表示するとともに、受信した受光量データを波形表示する。

尚、図２に示すように、コントローラ１０にはパーソナルコンピュータ４０を接続することができ、そのパーソナルコンピュータ４０の画面上でも受光波形を表示することができる。パーソナルコンピュータ４０は表示能力が高い（表示画素数が多い）ため、図５（ａ）に示すように、センサヘッド２０ａから出力される受光量データの全てを波形表示することができる。尚、図５（ｂ）はコンソール３０の波形表示画面３２を示し、この波形表示画面３２には、図５（ａ）に示す表示画面４１の範囲６０における受光量データの波形が表示されている。このように、センサヘッド２０ａのイメージセンサ２５における受光状態を容易に確認することができる。

また、図２に示すパーソナルコンピュータ４０からコントローラ１０の各種設定を行なうことができる。そして、コンソール３０からもコントローラ１０の各種設定を行なうことができる。コントローラ１０のＣＰＵ１１は、パーソナルコンピュータ４０による設定と、コンソール３０による設定とを、交互に反映させる。例えば、コントローラ１０は、各種設定値を第２の記憶部１４に記憶している。コントローラ１０のＣＰＵ１１は、パーソナルコンピュータ４０からパソコン通信部１６を介して入力した設定値を第２の記憶部１４に記憶する。更に、ＣＰＵ１１は、コンソール通信部１５を介して入力した設定値により、第２の記憶部１４に記憶した設定値に変更する。そして、ＣＰＵ１１は、変更した設定値をパーソナルコンピュータ４０に送信する。この結果、パーソナルコンピュータ４０の設定値に、コンソール３０の設定値が反映される。パーソナルコンピュータ４０の設定値にて第２の記憶部１４に記憶した設定値を変更した場合も同様である。

次に、本実施の形態の特徴的な作用効果を記載する。
（１）コントローラ１０にコンソール３０が外部接続可能であり、該コンソール３０は、検出条件設定の際に検出条件を表示する表示画面を有し、コンソール３０の表示画面上に受光信号から各画素の受光量をグラフ表示した受光波形を表示させるＣＰＵ１１を備える。この構成により、コンソールの表示画面上に受光波形の表示を可能としたため、コンソールで設定を行なう場合においても、作業者の手元で受光波形を表示することができる。即ち、作業者は受光波形を確認しながら設定を行なうことができる。従って、変位センサから取得した受光量により受光波形を表示可能な変位センサが提供される。

（２）ＣＰＵ１１は、全画素のうち所定範囲の画素の受光波形をコンソール３０の表示画面上に表示させる。そして、コンソール３０は所定範囲を選択的に切替可能な切替ボタン３２ａ〜３２ｋを備える。この構成により、全画素のうち所定範囲の画素の受光波形のみを表示するため、表示画面を大型化する必要が無い。さらに、表示範囲を切り替える切替ボタン３２ａ〜３２ｋを備えることで、全画素の受光波形を所定範囲ごとに切替表示可能となり、小型なコンソールにより全画素の受光波形を確認することができる。

（３）コンソール３０の表示画面はタッチパネルであり、ＣＰＵ１１は、切替ボタン３２ａ〜３２ｋは、前記表示画面上で選択された範囲を所定範囲として切替可能とされる。これにより、表示画面上から表示範囲を切替えることができるため、作業者にとって切替作業が容易になる。

（４）コンソール３０の表示画面上にセンサヘッド２０ａ，２０ｂの設定条件を表示する設定表示モードと、受光波形を表示する受光波形表示モードとを切り替える操作ボタン３１ｂ，３１ｅを備え、ＣＰＵ１１は、操作ボタン３１ｅによって、設定表示モードとされた場合、設定条件をコンソールの表示画面上に表示させる。さらに受光波形表示モードが操作ボタン３１ｂにより切り替えられた場合、受光波形をコンソール３０の表示画面上に表示させる構成を備える。この構成により、モードに応じて表示を受光波形と設定条件とに切り替えて表示することができるため、コンソールの表示サイズを変更することなく受光波形の表示を行なうことができる。

（５）前記受光波形表示モードにおいて、前記表示制御手段は、前記表示範囲切替手段にて切替可能な範囲を、前記受光波形とともに前記表示画面上に表示させる。このため、表示範囲を切り替える際、設定表示モードへとモード切替を行なわなくても良いため、作業者の手間を省くことができる。

（６）変位センサは、レーザダイオード２４及びイメージセンサ２５を有するセンサヘッドと、ＣＰＵ１１を有するコントロール部とを備え、且つ前記コンソールが接続されるコントロール部に対して複数のセンサヘッド２０ａ，２０ｂを接続可能である。そして、コンソール３０の表示画面上に、複数のセンサヘッド２０ａ，２０ｂのうち何れか１つのセンサヘッドの受光波形を表示させるかを選択することが可能なヘッド選択ボタン３４を備える。この構成により、複数のセンサヘッド２０ａ，２０ｂのうち、１つのセンサヘッドの受光波形を選択的に表示させるため、表示画面を大型化せず複数のセンサヘッド２０ａ，２０ｂの受光波形を表示画面上に表示し、作業者は受光波形を確認し設定することができる。

尚、本発明の実施の形態は、以下のように変更してもよい。
・切替ボタン３２ａ〜３２ｋのいずれか１つを選択することより切り替えられた受光波形の表示範囲は、例えば切替ボタン３２ａを選択した場合に１〜１００画素、切替ボタン３２ｂを選択した場合に１０１〜２００画素と連続した受光量データの表示として変化する。このため、表示箇所を選択する切替ボタン３２ｂ〜３２ｋを図６のようにスクロールバー３７として連続表示できるようにしてもよい。

・センサヘッド２０ａ，２０ｂは２個だけではなく、３個以上設けてもよい。
・第１の記憶部１３と、第２の記憶部１４とで記憶するデータ（受光量データ及びセンサヘッド２０ａ，２０ｂに係わる設定値など）を分けて説明を行なったが、データはどちらの記憶部に記憶されてもよい。

・センサヘッド２０ａ，２０ｂのヘッド通信部１２は、図２において１つのブロックで表されているが、接続されるセンサヘッド毎に通信部を設けてもよい。
・コンソール３０は外部接続された例を示したが、これはコントローラ１０と一体型となってもよい。

・本実施形態における変位センサを用いて、センサシステムを構築しても良い。
このシステムは、変位センサに接続され、受光波形が表示され表示画面を有するコンソール３０より構成される。この構成により、コンソール３０の表示画面上に受光波形の表示を可能としたため、コンソール３０で設定を行なう場合においても、作業者の手元で受光波形を表示し、設定を行なうことができる。従って、変位センサから取得した受光量により受光波形を表示可能なセンサシステムが提供される。

このセンサシステムにおけるコンソール３０の表示画面はタッチパネルであり、該タッチパネルへの入力により表示画面に表示される受光波形を表示する範囲が切り替えられる。このため作業者はパソコンを用いなくても容易に受光波形を確認することができる。

本実施形態の変位センサを示す概略構成図。 変位センサの電気的構成を示すブロック図。 （ａ）（ｂ）はコンソール画面の表示例及び操作例を表す説明図。 コンソールの表示例を表す説明図。 （ａ）（ｂ）はコンソール画面及びパーソナルコンピュータ画面での表示を表す説明図。 コンソールの表示例及び操作例を表す説明図。

符号の説明

１０…コントローラ、１１…コントローラのＣＰＵ、１３…第１の記憶部、１４…第２の記憶部、２０ａ，２０ｂ…センサヘッド、２２…センサヘッドのＣＰＵ、２４…レーザダイオード、２５…イメージセンサ、３０…コンソール、Ｗ…ワーク。

Claims (9)

1. 被検出物へ向けて光を照射する投光手段と、
   複数の画素から構成され、前記被検出物からの反射光を受光し、各画素の受光量に応じた受光信号を順次出力するイメージセンサと、
   前記イメージセンサより出力される受光信号から各画素の受光量に基づいて被検出物の変位を検出する検出手段と、
   を備える変位センサにおいて、
   前記検出手段の検出条件を設定可能なコンソールが外部接続可能であり、該コンソールは、検出条件設定の際に前記検出条件を表示する表示画面を有し、
   前記コンソールの表示画面上に前記受光信号から各画素の受光量をグラフ表示した受光波形を表示させる表示制御手段を備えることを特徴とする変位センサ。
2. 前記表示制御手段は、全画素のうち所定範囲の画素の受光波形を前記表示画面上に表示させるよう構成され、
   前記所定範囲を選択的に切替可能な表示範囲切替手段を備えることを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
3. 前記表示制御手段は、前記表示範囲切替手段にて切り替えられた範囲が全画素のうちのいずれの範囲かを示す範囲情報を前記表示画面上に前記受光波形とともに表示させることを特徴とする請求項２記載の変位センサ。
4. 前記表示画面はタッチパネルであり、
   前記表示範囲切替手段は、前記表示画面上で選択された範囲を前記所定範囲として切替可能とされる
   ことを特徴とする請求項２又は３に記載の変位センサ。
5. コンソールの表示画面上に前記検出手段の設定条件を表示する設定表示モードと、前記受光波形を表示する受光波形表示モードとを切り替えるモード切替手段を備え、
   前記表示制御手段は、前記モード切替手段によって、前記設定表示モードとされた場合、前記設定条件をコンソールの表示画面上に表示させ、さらに前記受光波形表示モードとされた場合、前記受光波形をコンソールの表示画面上に表示させることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の変位センサ。
6. 前記受光波形表示モードにおいて、
   前記表示制御手段は、前記表示範囲切替手段にて切替可能な範囲を、前記受光波形とともに前記表示画面上に表示させる
   ことを特徴とする請求項５記載の変位センサ。
7. 前記変位センサは、前記投光手段及び前記イメージセンサを備えるヘッド部と、
   前記検出手段及び前記表示制御手段を備え、且つ前記コンソールが接続されるコントロール部と、
   を備え、
   １つのコントロール部に対して複数のヘッド部を接続可能とされ、
   前記表示画面上に、前記複数のヘッド部のうち何れか１つのヘッド部の受光波形を表示させるかを選択することが可能な選択手段を備えることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の変位センサ。
8. 請求項１〜７のうちの何れか一項に記載の変位センサと、
   前記変位センサに接続され、受光波形が表示され表示画面を有するコンソールと、
   を備えたことを特徴とするセンサシステム。
9. 前記コンソールの表示画面はタッチパネルであり、該タッチパネルへの入力により前記表示画面に表示される受光波形を表示する範囲が切り替えられる、
   ことを特徴とする請求項８記載のセンサシステム。

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