JP4796405B2 - 距離測定装置 - Google Patents
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Description
この発明では、選択手段は、操作者の操作により選択切替可能に構成されるものであるため、自動で選択を切り替える判定などは装置の制御構成に組み込む必要がなく、装置の制御構成の簡素化することができる。
図1は、本実施の形態の距離測定装置1を示す。距離測定装置1は、液晶やプラズマ等のフラットパネルディスプレイに用いられ2枚のガラス基板W1,W2を貼り合わせた貼合せ基板Wにおいて、各ガラス基板W1,W2の厚みD1,D2(図3参照)や各ガラス基板W1,W2間の隙間距離Lを測定する時などに用いられるものである。この距離測定装置1は、使用時に被測定物(貼合せ基板W)の上方に配設されるセンサヘッド2と各種制御を行うコントローラ3とを備え、互いにケーブル4にて電気的に接続されて構成されている。
(1)本実施の形態では、コントローラ3に切替スイッチ15を設け、該切替スイッチ15によりCCD6で得た反射光の受光分布の受光ピーク位置と今回被測定物とした貼合せ基板Wの表裏面a〜dの位置とを対応付ける基準がセンサヘッド2(投光素子5)の近接側か離間側かのいずれかから選択することが可能に構成されている。つまり、被測定物が特に複数部材で構成され各部材の表面及び裏面が複数となる貼合せ基板Wといったものの測定時に、例えば貼合せ基板Wが上方(センサヘッド2の近接側)に位置ずれし易い環境で使用するような場合では、貼合せ基板Wの一部が測定レンジから外れてしまい、貼合せ基板Wの上ガラス基板W1の表面aなど近接側の一部の受光ピークが検出できなくなる。このような場合であっても、センサヘッド2の離間側に位置する下ガラス基板W2の裏面d位置を基準として貼合せ基板Wの各面a〜dと受光ピーク位置とを対応付けるように切替スイッチ15にて切り替えを行う(選択する)ことで、受光ピーク位置と貼合せ基板Wの各面b〜d(表面aが外れた場合)とを的確に対応付けすることができる。これにより、各ガラス基板W2の厚みD2や各ガラス基板W1,W2間の隙間距離Lといった測定対象部分を的確に測定することができる。
・上記実施の形態では、ディスプレイ10のタッチパネル機能に切替スイッチ15を加えたが、切替スイッチを機械的な接点を有する構成とし、例えばコントローラ3側に設けてもよい。
例えば、投光素子をセンサヘッドとは別の場所に配置して光ケーブルでセンサヘッドに設けた照射部に光を供給し、その照射部から被測定物に光を照射する構成としてもよい。
また、受光分布検出手段としてCCD6を用いたが、CCD以外で受光分布が得られる手段に置き換えてもよい。
(イ) 請求項1〜3のいずれか1項に記載の距離測定装置において、
前記受光分布検出手段は、CCDであることを特徴とする距離測定装置。
(ロ) 光透過性を有する被測定物に光を照射し、その光の照射に基づく前記被測定物の表面及び裏面の各反射光を受光して測定レンジ内の受光分布を検出し、その受光分布における複数の受光ピーク位置から前記被測定物の表面位置及び裏面位置を対応付けるとともに、その受光ピーク位置から前記被測定物に関する測定対象部分の測定値を算出するようにした距離測定方法であって、
前記受光ピーク位置と前記被測定物の表面位置及び裏面位置とを対応付ける基準を、前記被測定物の各面のいずれかから選択するようにしたことを特徴とする距離測定方法。
Claims (3)
- 光透過性を有する被測定物に光を照射する投光手段と、
前記投光手段からの光の照射に基づく前記被測定物の表面及び裏面の各反射光を受光可能に配置され、測定レンジ内の受光分布を検出する受光分布検出手段と、
前記受光分布検出手段で検出した受光分布における複数の受光ピーク位置から前記被測定物の表面位置及び裏面位置を対応付けるとともに、その受光ピーク位置から前記被測定物に関する測定対象部分の測定値を算出する測定値算出手段と
を備えた距離測定装置であって、
前記複数の受光ピーク位置と前記被測定物の表面位置及び裏面位置とを対応付ける基準を、予め記憶された測定対象とする全ての前記被測定物の各面のいずれかから選択する選択手段を備え、
前記選択手段は、前記複数の受光ピーク位置について、前記投光手段の近接側の受光ピークを基準として離間側に向かって順次前記被測定物の表面位置及び裏面位置との対応付けを行うか、又は前記投光手段の離間側の受光ピークを基準として近接側に向かって順次前記被測定物の表面位置及び裏面位置とを対応付けを行うかを切り替えるものであることを特徴とする距離測定装置。 - 請求項1に記載の距離測定装置において、
前記選択手段は、操作者の操作により選択切替可能に構成されたことを特徴とする距離測定装置。 - 請求項1又は2に記載の距離測定装置において、
前記測定値算出手段は、前記測定対象部分として前記被測定物の厚み又は複数の前記被測定物間の隙間距離の測定値を算出することを特徴とする距離測定装置。
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