JP2007059856A - マッピングセンサシステム - Google Patents

Abstract

【課題】 電源重畳共通データ信号線に監視信号を重畳し、電源、信号線の接続を減ずるとともに、各々のセンサ子局の動作時期を時分割することによって、当該マッピングセンサシステムの動作時の電力量を減らし、かつ取付け調整を容易にする。
【解決手段】 マッピングセンサシステムは、被検出体８を監視するセンサ部を含む複数のセンサ子局９、７ａ〜７ｈを有する。これらのセンサ子局９、７ａ〜７ｈは共通データ信号（１１，１２）に接続され、センサ部からの監視信号を、共通データ信号線（１１，１２）を解して制御部に伝送するように構成される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、平板状の物品や定形状の物品等の有無又は保管位置を検出するマッピングセンサシステムに関する。特に、液晶工場における薄板の有無又は保管位置あるいは、半導体工場における半導体ウエーハの有無又は保管位置を検出するマッピングセンサシステムに関するものである。

平板上の物品、定形状の物品の保管や管理において、上記平板状の物品や定形状の物品等の有無又は保管位置を検出することは、これらの物品の製造工程や使用時における物の保管や管理を行う上で重要な要件であり、これらの情報をホストシステムや次工程の自動化機械に伝えることで、製造ラインや検査ライン又は保管管理における工程の自動化を実現することができる。例えば、半導体工場における半導体ウエーハの有無や保管位置をマッピングセンサにより検出し、上記検出結果データを自動化された製造機器や検査設備、保管管理機器に受け渡してラインを自動化し、或いは液晶用ガラス、ディスク用ガラス板、プリント基板等の生産においても、上記と同様にマッピングセンサが使用されている。更に定形の医療器具の保管管理においても、物品の有無又は保管位置をマッピングセンサにより検出している。

上記マッピングセンサは投光素子及び受光素子を有する検出ヘッドを備え、このマッピングセンサ、或いはマッピングセンサを用いたウエーハ等の検出装置は特許文献１〜４に開示されている。特許文献１及び２には、一対のプリズムを含むプリズム構造体を主体として背反する２方向に投光若しくは受光することができるコンパクトな両方向性検出ヘッドを用い、これらを投光用及び受光用として交互に配列したウエーハ等の検出装置が開示されている。このように構成されたウエーハ等の検出装置では、１個の投光素子又は受光素子を一直線上に背反した２本の検出光軸に対応させるため、即ちファイバホルダに支持された一対の反射プリズムにおける入射光軸又は出射光軸が１本の直線に沿うため、投光素子及び受光素子の数を節約でき、かつ厳密なウエーハ等の位置を検出することができるようになっている。

また特許文献３には、透明樹脂により一対のプリズムを含むプリズム構造体を形成し、１個のファイバ用検出ヘッドにおいて背反する２方向に投光若しくは受光することができるコンパクトな両方向性検出ヘッドを構成し、投光用及び受光用の両方向性ヘッドを交互に配列したファイバセンサ用検出ヘッドが開示されている。このように構成されたファイバセンサ用検出ヘッドでは、１個の投光素子又は受光素子で２本の検出光軸に対応させることができるので、直列配列された多数の薄物を検出できるようになっている。
更に特許文献４には、検出ヘッドに設けられた投光部及び受光部を介して本体ケースの投光素子と受光素子とを光結合するウエーハセンサが開示されている。このように構成されたウエーハセンサでは、電気的な配線を極めて容易に行うことができるとともに、個々の検出ヘッドが故障したときでも、配線作業を行うことなく検出ヘッドのみを差し替え交換するだけで済むので、日常の保守点検を簡単に行えるようになっている。
特開平１１−０７４３３１号公報（段落［０００６］、段落［００１９］） 特開平１１−０７４３３２号公報（段落［０００６］、段落［００１９］） 特開平１１−０６４１０１号公報（段落［００１８］） 特開平１０−０７０１７６号公報（段落［００１４］）

しかし、上記特許文献１〜４に示された検出装置等では、１個の投光素子又は受光素子を一直線上に背反した２本の検出光軸に対応させることにより、投光素子及び受光素子の数を節約し、或いは投光素子と受光素子とを光結合することにより、電気的な配線を容易に行うことができるけれどもマッピングセンサの数が増えると、電気信号配線の本数が増大するため、電気信号線の配線作業が煩わしくなる問題があった。
例えば、マッピングセンサの周辺は、各々のマッピングセンサー組毎に信号線や電源線が配線されており、これらの信号を受けてホストシステムや自動化機器に接続する端末箇所は、各々のマッピングセンサ毎に配線をする必要があった。その結果、配線数が多く、端子台や配線の増加が問題であると共に、配線作業工数の増加、組立て検査、各センサの調整などに著しく時間や労力を払う必要があった。また配線工数の増加する分、工期の伸張やコストアップや、設備の容積増に繋がる問題があった。
またマッピングセンサの故障が上記配線の断線である場合、配線の多さに比例して、保守作業が煩雑になり、多くの作業時間を要すると共に、装置の小型化における配線の取り回しが問題となっており、多くの配線数が、信頼性の低下にも繋がっていた。
また信号処理も同時に複数のセンサが動作している場合、他のマッピングセンサから出る光の漏れや、マッピングセンサ近傍の照明などの光による信号ノイズを拾い易く、微調整を要するなどの扱いの煩雑さが伴っていた。また被検出体の検出感度を上げると他の照明などが発する光を誤って検知し、或いは他のマッピングセンサの光を拾って、誤動作するなどの不具合が発生するため、感度の微調整を要する不具合が生じていた。
更にそれぞれの検出ヘッドは、同時に作動しており、マッピングセンサの数に比例して、回路の消費電力が増加し、電源容量も増加すると共に、検出ヘッドであるマッピングセンサの間での回りこみによる誤動作の不具合もあった。

本発明は、共通の信号線、即ちターミナルが作動するための電力を搬送する線に、被検出体の検出情報を重畳し、電源及び信号線の接続を減ずると共に、各々のマッピングセンサの投光および受光動作時期を時分割することによって、相互のマッピングセンサの干渉を抑制する投光駆動回路及び受光タイミング調整回路を有すると共に、各々のセンサ感度調整を左右両方向から簡潔に行い得る構造及び調整回路を有する。これによりセンサ感度調整が完了し、回路動作が正常であることを示す表示を多方位から確認でき、また当該マッピングセンサシステムの動作時の電力量を減らすことができると共に、マッピングセンサの取付け調整を容易にすることができ、省配線化及び配線作業の簡素化を図ることができる。
即ち、本発明の第１の目的は、電源や信号線の配線と接続を低減することができるとともに、マッピングセンサ数が増加しても、配線と接続が簡単な渡り配線を接続することにより、相互のマッピングセンサの干渉を抑制することができる、マッピングセンサシステムを提供することにある。
本発明の第２の目的は、各々のセンサ感度調整を左右両方向から簡潔に行うことができ、センサ感度調整が完了したときに、回路動作が正常であることを示す表示を多方向から確認できる、マッピングセンサシステムを提供することにある。
本発明の第３の目的は、マッピングセンサ群の動作時の電力量を低減することができるとともに、取付け調製を容易に行うことができ、更に配線を省くことにより配線作業を簡素化することができる、マッピングセンサシステムを提供することにある。

請求項１に係る発明は、図１〜図３、図７、図９、図１１、図１２、図１３、図１７に示すように、各々が被制御部のセンサ部１２４を監視する複数の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）を有し、複数の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）が共通データ信号線（１１，１２）に接続され、センサ部１２４からの監視信号を、共通データ信号線（１１，１２）を介して、制御部２４に伝送することを特徴とするマッピングセンサシステムである。
この請求項１に記載されたマッピングセンサシステムでは、電源からの電力にマッピングセンサ（１１１）の信号を重畳し、それぞれの信号をシフトレジスタ構造で信号を転送すると共に、それぞれのマッピングセンサ（１１１）間を渡り配線で接続するか、或いはそれぞれのマッピングセンサ（１１１）間を光により信号伝達する方法を用いることによって、信号線の数を電源線２本（共通データ信号線Ｄ＋（１１）及びＤ−（１２））にまとめることが可能となり配線の数を大幅に減ずることが可能となる。特に半導体工場設備や、液晶工場設備においては、設備の小型化、省スペース化を図ることができる。

請求項２に係る発明は、図１〜図３及び図７、図９、図１１、図１２、図１３、図１７に示すように、所定の同期伝送クロックに同期した投光タイミング移動信号６０又はタイミング移動信号を発生するためのタイミング移動信号発生回路１１３，１２０，１２１，１２２と、投光タイミング移動信号６０又はタイミング移動信号の制御下で、被検出体８を検出する各々の複数の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）の中に構成される単一の検出用投光器１８或いは複数の検出用投光器を、同期伝送クロックに基づいて順次個別のマッピングセンサ中の検出用投光器１８を発光させる投光信号発生回路（１１４）と、単一の検出用投光器１８或いは複数の検出用投光器の発光タイミングに応じ、単一の検出用受光信号５或いは複数の検出用受光信号を保持する動作表示回路（１１８）と、単一の検出用受光信号５或いは複数の検出用受光信号を監視信号として共通データ信号線（１１，１２）に送出する伝送出力信号回路（１１７）とを備えたことを特徴とするマッピングセンサシステムである。
この請求項２に記載されたマッピングセンサシステムでは、それぞれのマッピングセンサ（１１１）を時分割して動作させることにより、それぞれの他のマッピングセンサ（１１１）からの光の干渉問題が解消でき、同時に回路動作電流の増加を抑えることが可能となり、設備の小型化や設備コストの削減ができる。具体的には、所定の同期伝送クロックに同期した投光タイミング移動信号６０又はタイミング移動信号を発生するためのタイミング移動信号発生回路１１３と、タイミング移動信号６０又はタイミング移動信号の制御下で、被検出体を検出する各々の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）の中に構成される検出用投光器１８を、同期伝送クロックに基づいて順次個別に発光させ、その発光タイミングに応じ、検出用受光信号を保持し、この検出受光信号を監視信号として、共通データ信号線（１１，１２）に送出するので、上記時分割して投光動作することによる電流の最小化を図ることができると共に、及び光の干渉問題を解消できる。

請求項３に係る発明は、図１、図２、図３又は図７、図９、図１１、図１２、図１３、図１７に示すように、請求項１又は２記載のマッピングセンサシステムにおいて、当該検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）の順次アドレス番地のタイミング移動信号を、次の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）に順次電気信号として送ることにより、複数の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）からセンサ信号を取り込めることを特徴とするマッピングセンサシステムである。
この請求項３に記載されたマッピングセンサシステムでは、それぞれのマッピングセンサ（１１１）を時分割動作させることにより、他のセンサ動作との干渉がなくなり、投光輝度を上げることにより、外部からの光ノイズの強度比率を改善でき、それぞれの被検出体に対する検出感度を高めると共に、感度調整を容易に行える。また感度調整が適切に行われていることを表示するセンサ動作表示を多方向から見易い多方位表示に変えることで、表示器の数も減ずることができ、回路電流及び回路コストを低減できる。従って、配線数と接続を減ずることができると共に、動作調整の簡潔化や、無調整化を可能とし、設置作業や、定期的な調整の負担を著しく軽減できる。

請求項４に係る発明は、図１〜図３、図７又は図９に示すように、請求項１又は２記載のマッピングセンサシステムにおいて、順次アドレス番地のタイミング移動信号を次の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）に投光信号として順次送ることにより、複数の任意の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）からセンサ信号を取り込めることを特徴とするマッピングセンサシステムである。
この請求項４に記載されたマッピングセンサシステムでは、順次アドレス番地のタイミング移動信号を次の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）に投光信号として順次送ることにより、複数の任意の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）からセンサ信号を取り込むことができる。この結果、それぞれのマッピングセンサ（１１１）を時分割動作させることにより、他のセンサ動作との干渉がなくなり、投光輝度を上げることにより、外部からの光ノイズの強度比率を改善でき、それぞれの被検出体に対する検出体感度を高めると共に、感度調整を容易に行える。

請求項５に係る発明は、図１、図２、図７或いは図９、図１１、図１２、図１３、図１７に示すように、請求項１又は２記載のマッピングセンサシステムにおいて、検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）の左右に検出感度調整用可変抵抗器（１９，２０）を有し、多方向から確認できる位置に単一のセンサ動作表示（２３）が設けられたことを特徴とするマッピングセンサシステムである。
この請求項５に記載されたマッピングセンサシステムでは、単一のセンサ動作表示２３を多方向から確認できる。またそれぞれのマッピングセンサ（１１１）は、規格化された長さの渡り配線の使用或いは電源線への信号重畳により、電源重畳共通データ信号線への接続が同時にマッピングセンサ（１１１）の固定を兼ねることができるため、配線数低減により、配線工数も低減できる。

なお、図１１〜図１４に示すように、複数の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）を取付け板９７に取付け、各々のマッピングセンサ（１１１）間を順次渡り配線９６を使用して、タイミング移動信号、検出ヘッド共通の回路用供給電源の電力及び伝送データ信号を伝送するように構成することができる。
また、図２に示すように、複数の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）を取付ける取付け板１に共通の導体１３を設け、この導体１３に検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）を取付ける導電性固定具１６を使用し、検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）共通の回路用供給電源の電力及び伝送データ信号を伝送するように構成してもよい。

本発明によれば、マッピングセンサによる被検出体の検出信号を電源線に載せる、即ち上記検出信号と電源からの電力とを重畳することにより、信号配線を省略し、これによってマッピングセンサ間の配線や、マッピングセンサと親局との配線を省略することができ、配線工数の低減や配線スペースの小型化が実現できる。
またマッピングセンサ間の間隔を容易に調整変更でき、かつマッピングセンサ数を容易に増減できる利点がある。またマッピングセンサがそれぞれ異なるタイミングで被検出体に対し、投光するタイミングに同期して受光することから、他のマッピングセンサ信号の影響を全く受けないため、投光量を増大し、高感度の検知が可能であり、同時に投光しないために、投光時の電力消費を低減することできる。また各マッピングセンサ間の信号伝達を同一規格の渡り配線を用いて行えば、各マッピングセンサ間の間隔を容易に設定変更することができる。更に隣同士のマッピングセンサ間の信号伝達を光によって行えば、マッピングセンサ間の配線を更に低減できる。

以下に本発明を実施するための最良の形態を実施例に基づき説明する。
＜第１の実施の形態＞
本発明の第１の実施形態を図１から図１７によって説明する。
図１７に、本発明のマッピングセンサシステム全体を示す。ここで、図１７中の符号１２４は従来の被制御部のセンサ部であるが、この部分がマッピングセンサ（１１１）に置き換わったものが、本発明に係るマッピングセンサシステムである。
図１に、本発明に係るマッピングセンサシステムの側面図を示す。マッピングセンサ（１１１）は、複数のマッピングセンサ子局（９、７ａ〜７ｈ）と、これらのセンサ子局（９、７ａ〜７ｈ）を取付ける取付け板（１）とを備える。取付け板（１）は、鉛直方向に延びて設けられた板状の絶縁体（１４）と、鉛直方向に所定の間隔をあけてそれぞれ延びて設けられかつ絶縁体（１４）に表面が露出するようにそれぞれ埋設された２本の角柱状の導体（１３，１３）とを有する（図２）。上記複数のマッピングセンサ子局（９、７ａ〜７ｈ）は取付け板（１）にその長手方向に所定の間隔をあけて固定される。また２本の導体（１３，１３）は、電源からの電力を電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）及び電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）を介してマッピングセンサ子局（９、７ａ〜７ｈ）に供給すると共に、センサ部（１２４）の監視信号を電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）及び電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）に送出する役割を果たしている。

摸式図である図１の事例において、９セットのマッピングセンサ子局（９、７ａ〜７ｈ）を取付け板（１）に固定した例である。実際の使用においては、２５セット、３２セット、５０セットと言うように、より多くのマッピングセンサを取付け板に取付けて使用するのであるが、説明を容易にするため、数を減らして、図示したものである。図１において、例えば、最下段に位置するセンサ子局Ａ（９）のみに、その上方に配置されたセンサ子局Ｂ（７ａ〜７ｈ）の回路（図９）と信号の伝送回路が異なる回路（図７）が用いられる。また図１は、被検出体（８）が歯抜け状態に存在する場合の事例である。
図１の事例は、下から上へと信号を伝えているが、上から下へ信号を伝える場合は、最上部にセンサ子局Ａ（９）を設け、その下方にセンサ子局Ｂ（７ａ〜７ｈ）を使用することもできる。

図２に、本発明におけるマッピングセンサを取付け板（１）にネジ止めによって固定する模式図を示す。図２において、各部品の取付け状態を示す。２本の導体（１３，１３）の表面には、これらの導体の長手方向に所定の間隔をあけて複数のネジ穴（１５）がそれぞれ形成され、導体（１３，１３）のうちネジ穴（１５）の形成された面以外の３面は絶縁体（１４）で覆われて電気的に絶縁されると共に、これらの導体（１３，１３）はセンサ子局Ａ（９）又は、センサ子局Ｂ（７ａ〜７ｈ）を固定するに十分な強度を有する。マッピングセンサ子局（９、７ａ〜７ｈ）は、検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）を取付けるための取付けネジ（１６）を上記ネジ穴（１５）に螺合することにより、センサ子局（９、７ａ〜７ｈ）が取付け板（１）に固定される。またマッピングセンサ子局（９、７ａ〜７ｈ）の回路（図７及び図）は、導体（１３）を介して、電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）及び電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）に接続されることによって、マッピングセンサ情報、即ちセンサ部（１２４）の検出した被検出体（８）の有無の情報を親局（２９）に伝達できるようになっている。具体的には、所定の場所に被検出体（８）が位置する場合には、センサ部（１２４）の投光用ＬＥＤ（１８）が発した光が被検出体（８）で反射し、その反射光をセンサ部（１２４）の受光用フォトトランジスタＰＨＴＲｓ（１７）によって受けて、被検出体（８）が存在することを検出し、所定の場所に被検出体（８）が位置しない場合には、センサ部（１２４）の投光用ＬＥＤ（１８）が発した光が被検出体（８）で反射されず、センサ部（１２４）の受光用フォトトランジスタＰＨＴＲｓ（１７）が反射光を受光せず、被検出体（８）が存在しないことを検出するように構成される。

この場合、投光用ＬＥＤ（１８）及び受光用フォトトランジスタＰＨＴＲｓ（１７）は、被検出体の種類によって取付け数を加減することにより、最適検出感度を得ることができる。またセンサ部（１２４）の検出感度は検出感度調整回路（１１９）により調整できるように構成される。この検出感度調整回路（１１９）は、各センサ子局（９、７ａ〜７ｈ）の右側縁に設けられた右側検出感度調整ボリュームＶＲｒ（１９）と、各センサ子局（９、７ａ〜７ｈ）の左側縁に設けられた左側検出感度調整ボリュームＶＲｌ（２０）とを有する。各センサ子局（９、７ａ〜７ｈ）の初期設定や、センサ子局（９、７ａ〜７ｈ）の交換時の検出感度設定は、右側検出感度調整ボリュームＶＲｒ（１９）、又は左側検出感度調整ボリュームＶＲｌ（２０）によってどちらの側からもセンサ動作表示ＬＥＤ（２３）を見ながら容易に行える。アドレス投光用ＬＥＤａ（２１）により次のアドレスのセンサ子局にアドレス信号を送出し、これをアドレス受光用フォトトランジスタＰＨＴＲａ（２２）によって受信する。

図３には、本発明における複数のセンサ子局（９、７ａ〜７ｈ）と電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）及び電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）と親局（２９）との接続状況と、親局（２９）と制御部（２４）の外部入力ユニット（２５）及び外部出力ユニット（２６）とのデータのやり取りのための接続状況を示すブロック図を示す。図３は、本発明におけるセンサ子局（９、７ａ〜７ｈ）間を光信号で、信号の伝達を行う場合のブロックダイヤグラムを現したもので、これによって、信号伝達線を省略できるようになっている。
図４には、図３における親局（２９）の具体的な構構成を示す。親局（２９）は、複数のセンサ子局からのマッピングセンサ情報を電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）及び電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）を経由して受け取る。親局（２９）のインタフェイス回路である伝送ブリーダ電流回路（４０）は、親局出力部（３２）内のラインドライバ（３４）に接続されており、制御データ発生手段（３３）から受けた制御データをタイミング発生手段（３６）から送られるクロック信号と共に外部信号接続部（４１）を経由して、電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）に、また外部信号接続部（４２）を経由して電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）に送出する。

ラインドライバ（３４）からは、親局入力部（３７）の監視信号検出手段（３９）にデータ信号が渡され、監視データ抽手段（３８）によって、タイミング発生手段（３６）から受けたクロック信号と同期して監視データ信号を得る。この監視データ信号を入力データ部（３０）に渡し、制御部（２４）の入力ユニット（２５）に親局送信信号（２７）として伝送する。一方、制御部（２４）の出力ユニット（２６）は親局受信信号（２８）を親局の出力データ部（３１）に伝送し、その信号成分をタイミング発生手段（３６）から受けるクロック信号により親局出力部（３２）の中の制御信号発生手段（３３）において制御データを発生し、ラインドライバ（３４）を通り、外部信号接続部（４２）を経由して電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）に送出する。ＤＣ電源（３５）は、親局（２９）に電力を供給するために接続される。

図５には、図４における親局内部の詳細な配線及びブロック図の構成を示す。
タイミング発生手段（３６）は、クロック信号Ｄｃｋ（４８）を出力データ部（３１）に送出すると共に、入力データ部（３０）にデータ入力クロック信号Ｄｉｃｋ（５１）を送出する。
またタイミング発生手段（３６）は、制御データ発生（３３）のスタート信号ＳＴ（５０）を送出し、この信号を用いて、出力データ部（３１）の並列・直列変換のプリセット信号とすると共に、入力データ部（３０）の直列・並列変換入力データ部シフトレジスタのプリセット信号となっている。

制御部（２４）の出力ユニット（２６）から親局（２９）の出力データ部（３１）に送出される親局受信信号（２８）は、親局出力データ部（３１）において、信号が並列・直列変換され、直列データ信号Ｄ（４９）として、制御データ発生部（３３）に送出され、制御データ発生部（３３）において、信号Ｐｃｋ（５３）としてラインドライバ（３４）に送られる。伝送ブリーダ電流回路（４０）は、電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）と電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）に並列に接続されており、ラインドライバ（３４）の出力電流とブリーダ電流回路から流れ出る信号Ｉｐ（５５）と電流信号Ｉｉｓ（５７）の合成電流が電流信号Ｉｓ（５６）として監視信号検出手段（３９）の回路に流れる監視信号が検出され、インバータ（４７）を介して監視データ抽出手段であるフリップフロップに信号Ｄｉｉｐ（５４）として伝達される。このフリップフロップの出力はデータ入力監視信号Ｄｉｉｓ（５２）として、入力データ部に伝えられる。

各マッピングセンサの状態信号である直列のデータ入力監視信号Ｄｉｉｓ（５２）は、一旦入力データ部（３０）のシフトレジスタに蓄えられる。直列データであるシフトレジスタの各セルのデータは、そのまま並列データとして、入力ポートｉ番“０”（４３）から入力ポートｉ番“３１”（４４）に渡され、制御部の入力ユニットに対し、並列データとして送出される。一方、制御部の出力ユニットから送出された親局受信信号（２８）は、出力ポートｐ番“０”（４５）から出力ポートｐ番“３１”（４６）に送り込まれ、出力データ部（３１）内部で並列データの直列変換がなされ、直列データ信号Ｄ（４９）として、制御データ発生部（３３）に送出される。

図６には、図５における親局（２９）の配線機能ブロック図の各部の信号波形を示す。クロック信号Ｄｃｋ（４８）は、スタート信号ＳＴ（５０）の立ち上がり信号後、次のスタート信号の立ち上がりまでの間、一定周期のクロック信号を継続的に送出する。またデータ入力クロック信号Ｄｉｃｋ（５１）は、入力データ部（３０）の信号処理の行う上でのクロック信号であり、クロック信号Ｄｃｋ（４８）のクロック開始点よりクロック一周期分シフトし、マッピングシステムの監視信号を待って信号処理する。

データ入力監視信号Ｄｉｉｓ（５２）は、監視信号が“０”、“１”、“０”、“１”の状態である場合の信号事例を示す。信号Ｐｃｋ（５３）は、クロック信号Ｄｃｋ（４８）の逆相を呈するクロック信号であり、（変更する）ラインドライバ（３４）から電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）、電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）に送出され、マッピングセンサの状態信号処理を行う。信号Ｄｉｉｐ（５４）は、監視信号検出手段（３９）において検出された監視信号をインバータ（４７）で反転させた入力電流信号であり、監視データ抽出手段であるフリップフロップの入力に監視信号情報を伝達する。当該監視データ抽出手段であるフリップフロップには、データ入力クロック信号Ｄｉｃｋ（５１）に同期し、データ入力監視信号Ｄｉｉｓ（５２）を入力データ部（３０）に送出する。信号電流Ｉｐ（５５）は、電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）、電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）に載っている信号に従い伝送ブリーダ電流回路の信号電流である。

図７には、センサ子局Ａ（＃０）（９）の内部の配線図を示す。センサ子局Ａ（＃０）は、マッピングセンサシステムにおいて、最下段にのみ使用する回路構成である。ここで、親局から共通データ信号線Ｄ＋（１１）及びＤ−（１２）を介して送られるクロック信号はクロック検知回路１１２において検出される。クロック検知回路１１２において検出されたクロック信号は、投光タイミング移動信号発生回路Ａ（１１３）において、投光タイミング移動信号（６０）を自局内で発信する機能を有する。また投光信号発生回路（１１４）は、被検出体（８）を検出する投光用ＬＥＤ（１８）から発せられた検出投光信号を受光用フォトトランジスタＰＨＴＲｓ（１７）により検出受光信号を受光し、被検出体（８）の有無、状態を親局に、電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）と電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）を介して伝送する。

マッピングセンサ（１１１）による被検出体（８）の検出感度の調整は、検出感度調整回路（１１９）において、直列に接続された右側検出感度調整ボリュームＶＲｒ（１９）及び左側検出感度調整ボリュームＶＲｌ（２０）によって、マッピングセンサシステムの左右両側から調整できるようになっている。これにより当該マッピングセンサシステム（１１０）が取付けられた比較的大きな設備の周辺を回って一々反対側へ移動しなくても検出感度を調整できるという利点がある。上記検出感度の調整における動作状態は、動作表示回路（１１８）において、センサ動作表示ＬＥＤ（２３）によって行う。センサ動作表示ＬＥＤ（２３）は、多方向から動作確認できるように多面反射板を有しており、これにより検出感度及び不感帯などの動作範囲の調整確認作業を容易にしている。

センサ子局Ａ（＃０）（９）のセンサ動作が終了した後、次のアドレスに相当するセンサ子局Ｂ（７ａ）のアドレス受光用フォトトランジスタＰＨＴＲａ（２２）に対し、アドレス投光用ＬＥＤａ（２１）がアドレス投光信号を発して動作信号を送信し、伝達する（図７及び図９）。またクロック検知回路（１１２）において、ツェナーダイオードＺＤ（７８）は、２１Ｖをスレショールド値として、クロックを検出し、センサ子局クロック信号ＣＫ（５８）を得る（図７）。更に子局制御電源ＣＶ（６４）は、センサ子局Ａの制御電源を形成する。
一方、投光タイミング移動信号発生回路（１１３）において、センサ子局クロック信号ＣＫ（５８）は、トランジスタＴＲｃ（６５）により増幅され、その出力信号の一部がインバータ（６６）を通った後に、ＲＣ回路により時定数３ｔ_０オンディリレー信号（６８）となる。またダイオード及び抵抗により１／４Ｔ_０オフディリレー信号（６７）が得られる。この信号がセンサ子局スタート信号ＳＴ（５９）となる。

スタート信号ＳＴ（５９）とクロック信号ＣＫ（５８）の立ち下りのタイミングでフリップフロップ（６９）がセットされ、出力として投光タイミング移動信号（６０）が得られる。
投光信号発生回路（１１４）は、投光タイミング移動信号（６０）をトランジスタＴＲｌ（７０）により増幅し、投光用ＬＥＤ（１８）および直列に接続されているアドレス投光回路（１１５）のアドレス投光用ＬＥＤａ（２１）からアドレス投光信号（３）を発生する。
右側検出感度調整ボリュームＶＲｒ（１９）及び左側検出感度調整ボリュームＶＲｌ（２０）によって調整された検出信号は、検出受光回路（１１６）のオペアンプ（７４）の入力電圧として調整され、コンパレータ（７５）の出力信号Ｓ（６１）が動作表示回路（１１８）のフリップフロップ（７２）に伝えられ、同時にアンドゲート（７１）の出力がフリップフロップ（７２）のＳ端子に入る。フリップフロップ（７２）の出力は、トランジスタＴＲ（７６）に対する駆動信号ＳＤ（６２）としてセンサ動作表示ＬＥＤ（２３）を投光動作させる。伝送出力信号回路（１１７）のアンドゲート（７３）は、フリップフロップ（７２）の出力信号とトランジスタＴＲｃ（６５）の出力信号であるクロック信号及び投光タイミング移動信号（６０）との論理積をとって信号Ｄｉｐ（６３）をトランジスタＴＲｉ（７７）に伝達し、当該センサ子局Ａ（９）の出力信号をトランジスタＴＲｉ（７７）から電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）と電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）間に送出する。

図８には、図７に示すセンサ子局Ａ（９）内部の各部の信号をタイミングチャートとして示す。伝送ラインである電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）と電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）間には、２４Ｖの信号電圧とパルス信号が重畳されており、２１Ｖをスレショールド電圧として、センサ子局クロック信号ＣＫ（５８）が検出される。
図８では、センサ子局クロック信号ＣＫ（５８）の最初の立ち下り及びセンサ子局スタート信号ＳＴ（５９）の反転信号が投光タイミング移動信号（６０）のオンタイミングとなり、またクロックの１周期後の立ち下り信号によって投光タイミング移動信号（６０）がオフとなることを示している。
図８において、コンパレータ（７５）の出力である信号Ｓ（６１）は、投光タイミング移動信号（６０）に僅かにフォトトランジスタ検出により遅延して立ち上がり、投光タイミング移動信号（６０）と共に遅延して立ち下がる信号である。信号ＳＤ（６２）は、センサ動作表示ＬＥＤ（２３）のドライブ信号である。信号Ｄｉｐ（６３）は、センサ子局Ａの出力トランジスタＴＲｉをドライブし、電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）と電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）を介して親局に伝送する信号である。

図９には、マッピングセンサで例えば、最下段のみに用いるセンサ子局Ａ以外のセンサ子局であるセンサ子局Ｂ（７ａ〜７ｈ）の回路構成図を示す。センサ子局Ｂ（７ａ〜７ｈ）は、最下段のセンサ子局Ａ或いは当該センサ子局Ｂ（７ａ〜７ｈ）よりアドレスの若いセンサ子局Ｂ（７ａ〜７ｈ）のアドレス投光用ＬＥＤａ（２１）から投光されるアドレス投光信号をアドレス受光用フォトトランジスタＰＨＴＲａ（２２）によって受信し、当該センサ子局Ｂ（７ａ〜７ｈ）の作動を開始する。受光用フォトトランジスタＰＨＴＲａ（２２）がアドレス信号を受け取り、インバータ（７９）を介してフリップフロップ（８０）に信号ＡＤ（８１）を送出するように構成される。
フリップフロップ（８０）は、上記信号ＡＤ（８１）及びセンサ子局Ｂクロック信号ＣＫ（８２）をトランジスタＴＲｃ経由で受けたタイミングで投光タイミング移動信号ＬＴを生成する。その後の回路動作は、前記センサ子局Ａと同様であるので、全ては記載しないが、コンパレータ出力信号であるセンサ子局Ｂ信号Ｓ（８３）は、フリップフロップＦＦの入力信号となり、センサ子局Ｂ信号ＳＤ（８４）は、センサ動作表示ＬＥＤをドライブするトランジスタＴＲの駆動信号となる。信号Ｄｉｐ（８５）は、当該センサ子局Ｂ（７ａ〜７ｈ）の出力信号を電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）と電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）を介して親局に伝送するためのトランジスタＴＲｉのドライブ信号となる。

図１０は、図９に示すセンサ子局Ｂ内部の各部の信号をタイミングチャートとして示す。センサ子局Ｂクロック信号ＣＫ（８２）は、上記センサ子局Ａの動作と同様に、伝送ラインから２１Ｖをスレショールド電圧としてクロック信号として検出されたものである。信号ＡＤ（８１）は、当該センサ子局Ｂのアドレス信号であり、フリップフロップを経由して当該センサ子局Ｂの投光タイミング移動信号ＬＴを生成する。
図１０において、ＬＴ（＃１）、ＬＴ（＃２）、ＬＴ（＃３）、・・・・・ＬＴ（＃ｎ）は、当該センサ子局Ｂの投光タイミング移動信号ＬＴ（＃１）、このセンサ子局Ｂに隣接するセンサ子局Ｂの投光タイミング移動信号ＬＴ（＃２）、その次のセンサ子局Ｂに隣接する投光タイミング移動信号ＬＴ（＃３）、・・・・・ｎ番目のセンサ子局Ｂの投光タイミング移動信号ＬＴ（＃ｎ）をそれぞれ示す。
センサ子局Ｂ信号Ｓ（８３）は、投光タイミング移動信号ＬＴ（＃１）の立ち上り後にオンとなり、クロック信号ＣＫ（８２）の一周期の立ち下りと共に立ち下がる。センサ子局Ｂ信号ＳＤ（８４）は、センサ子局Ｂ信号Ｓ（８３）と共に立ち上がる。信号Ｄｉｐ（８５）は、センサ子局Ｂ信号Ｓ（８３）と共に立ち上がり、クロック半サイクルで立ち下がる。

＜第２の実施の形態＞
図１１には、各センサ子局間を渡り配線（８６）で、投光信号及び受光信号の伝達する例を示す。センサ子局間渡り配線（８６）が、各センサ子局間を接続する渡り配線である。それぞれのセンサ子局の間は、センサ子局間バスケーブルユニット（１０９）によって、標準長のコネクタケーブルで接続される。従って、標準長のケーブル長さを変えることで、センサ子局の間隔を自由に変更でき、また配線のゆとり分で、間隔の多少の変更も可能になっている。このように、複数のセンサ子局を最適に配列することにより、マッピングセンサシステム（１１０）が構成される。なお、渡り配線により、隣接するセンサ子局同士を接続することに限るだけではなく、例えば、センサ子局Ａを中断に設定した場合であっても、このセンサ子局Ａを渡り配線によりセンサ子局Ａの直上のセンサ子局Ｂに接続し、このセンサ子局Ｂを渡り配線によりセンサ子局Ａの直下のセンサ子局Ｂに接続し、更に上下のセンサ子局Ｂに順に接続してもよい。位置関係において順位付けを行いたい場合には、この方法によることもできる。
このように、渡り配線部分まで含め、それぞれが一定形状、一定形態で作製できているため、それぞれを事前に作製しておき、必要時に単純作業、短納期で組み立てるストック方式の生産も容易である。

図１２には、渡り配線型のセンサ子局Ａの回路図を示す。タイミング移動信号発生回路ＡＷ（１２１）によって、当該センサ子局Ａの検出投光信号の投光タイミングが設定されると共に、渡り線によってセンサ子局Ｂにタイミング移動信号８７が渡される。図１２において、センサ子局Ａに続き、次のセンサ子局Ｂに投光タイミング移動信号を送信するためのタイミング移動信号（８７）が付加されている。このように、タイミング移動信号（８７）を光により送信する方式を用いずとも、渡り配線により、容易に実現できる。しかし、図２に示すように、電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）、電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）に導体（１３）を使って、接続とセンサ子局の固定を両立させるためには、渡り配線を用いず、光による投光タイミング移動信号で繋ぐ方式を用いる利点は大きい。

図１３には、渡り配線型のセンサ子局Ｂの回路図を示す。図１２に示すセンサ子局Ａに続くセンサ子局Ｂ、その後に続くセンサ子局Ｂは、いずれも図１３に示す回路と同じ構成であり、タイミング移動信号発生回路ＢＷ（１２２）において、前のセンサ子局から信号ＡＤ（８８）を受け取り、当該子局が投光及び受光動作が完了した後、続くセンサ子局に対し、タイミング移動信号（８７）を送出する。このタイミング移動信号（８７）の発生回路、センサ子局から信号ＡＤ（８８）を受け取る回路を除き、全て光を用いてアドレス投光信号を受け渡す方式と変わらず、タイミング移動信号（８７）を送る端子とタイミング移動信号発生回路ＢＷ（１２２）の一部を除き、回路動作は変わらず、プリント基板配線の部分共用が可能である。

図１４には、マッピングセンサモジュール（８９）のマッピングセンサベース（９２）への組立て手順を示す。先ずマッピングセンサモジュール（８９）をマッピングセンサモジュール固定ネジ（９０）によりマッピングセンサベース（９２）に固定する。次にマッピングセンサベース固定ネジ（９１）を、マッピングセンサモジュール（８９）が固定されたマッピングセンサベース（９２）の通孔に挿通した後に、取付け板（９７）のマッピングセンサベース固定雌ネジ（９８）に螺合する。これによりマッピングセンサシステム（１１０）が完成する。この場合、各モジュール間の繋ぎは、バスケーブルコネクタ（９５）からマッピングセンサモジュール間渡り配線（９６）により接続されている。またスペーサ（９３）を用いることにより、マッピングセンサアッセンブリ（９４）の間隔を容易に割り出し、正確な間隔調整を行い得る。

図１５には、ＤＩＮ規格のレール（９９）にマッピングセンサモジュール（１０３）を固定したマッピングセンサシステムの事例を示す。マッピングセンサモジュール（１０３）は、マッピングセンサベース固定ネジ（１０５）により、ラックマウントマッピングセンサベース（１０１）に固定される。位置決めスペーサ（１０２）を用いることにより、レール（９９）にマッピングセンサモジュール（１０３）を一定の間隔をあけて簡便に固定することができる。レール（９９）にはレールの長手方向に延びる複数の自在穴（１００）が形成され、これらの自在穴（１００）を用いて、マッピングセンサシステムを支柱又はラック等の構造物に取付け固定することにより、被検出体（８）との位置関係を容易に調整できるようになっている。ラックマウントマッピングセンサベース（１０１）は、ＤＩＮ規格のレール（９９）に簡易的に取付けることができ、更に固定ネジにより、角度振れなどが生じることなく固定することができる。またラックマウントマッピングセンサベース（１０１）にはバスケーブルコネクタ（１０４）が設けられ、このバスケーブルコネクタ（１０４）により、マッピングセンサモジュール（１０３）のラックマウントマッピングセンサベース（１０１）への取付け作業や、マッピングモジュール（１０３）の交換作業を容易におこなえるようになっている。

図１６には、複数の検出投光フォトダイオードＬＥＤｓｎ（１０７）及び複数の受光検出フォトトランジスタＰＨＴＲｓｎ（１０８）を用いたセンサ子局Ａの回路構成図を示す。複数の検出投光フォトダイオードＬＥＤｓｎ（１０７）及び複数の受光検出フォトトランジスタＰＨＴＲｓｎ（１０８）は符号１２３で示される。複数の検出投光フォトダイオードＬＥＤｓｎ（１０７）を具備し、また、複数の検出受光フォトトランジスタＰＨＴＲｓｎ（１０８）を具備することにより、被検出体（８）を高感度で検出でき、また外乱信号に対する信号対ノイズ比であるＳ／Ｎ比を改善できるようになっている。図１６において、複数の検出投光フォトダイオードＬＥＤｓｎ（１０７）には、これらの検出投光フォトダイオードＬＥＤｓｎ（１０７）に信号電流を供給するための抵抗（１０６）が接続される。
複数の検出投光フォトダイオードＬＥＤｓｎ（１０７）及び複数の検出受光フォトトランジスタＰＨＴＲｓｎ（１０８）を作動させても、マッピングセンサシステム全体では、同時発光せず、時分割動作しているため、回路使用電力は最小化できており、装置の小型化、省電力を実現できる。

本発明の利用は、板状の被検出体である液晶ガラス、シリコンウエーハ、半導体実装基板を生産する工程で使用されるが、形状が定形の部品類の生産、加工、保管等においても広く使用が可能である。

本発明第１実施形態の複数のマッピングセンサ（１１１）及び被検出体（８）を示す側面図である。 それらのマッピングセンサ（１１１）を取付け板（１）にネジ止めによって固定する模式図であり、各部品の取付け状態を示す斜視図である。 複数のマッピングセンサが、電源重畳共通データ信号線Ｄ＋（１１）及び電源重畳共通データ信号線Ｄ−（１２）に接続され、更に親局と接続され、外部入力ユニット及び外部出力ユニットとデータのやり取りのための接続を示すブロック図である。 親局内部の機能ブロック及び電源重畳共通データ信号線との接続と制御部とのデータのやり取りを示すブロック図である。 親局内部の機能ブロックの詳細を示すブロック図である。 親局内部の各信号の変化を示すタイミングチャートである。 センサ子局Ａの回路図である。 センサ子局Ａ内部の各信号の変化を示すタイミングチャートである。 センサ子局Ｂの回路図である。 センサ子局Ｂ内部の各信号の変化を示すタイミングチャートである。 センサ子局の渡り配線による投光信号及び受光信号の伝達を行う例を示すブロック図である。 センサ子局Ａに続き、次のセンサ子局Ｂに投光タイミング移動信号を送信するためのタイミング移動信号（８７）が付加された渡り配線型のセンサ子局Ａの回路図である。 前のセンサ子局から信号ＡＤを受け取り、当該子局が投光および受光動作が完了した後、続くセンサ子局に対し、タイミング移動信号（８７）を送出する渡り配線型のセンサ子局Ｂの回路図である。 マッピングセンサモジュール（８９）をマッピングセンサベース（９２）に固定し、マッピングセンサモジュール（８９）をマッピングセンサベース（９２）と共に取付け板（９７）に固定し、各モジュール間の繋ぎを、バスケーブルコネクタ（９５）及びマッピングセンサモジュール間渡り配線（９６）にて接続する直前の状態を示す要部斜視図である。 ＤＩＮ規格レール（９９）にマッピングセンサモジュール（１０３）を固定し、マッピングセンサを構成する事例を示す要部斜視図である。 複数の検出投光フォトダイオードＬＥＤｓｎ（１０７）及び複数の検出受光フォトトランジスタＰＨＴＲｓｎ（１０８）を具備したセンサ子局Ａの回路構成図である。 従来の制御系の被制御部のセンサ部（１２４）を、このセンサ部を含む複数のマッピングセンサ（１１１）に置き換えたことを示す構成図である。

符号の説明

１，９７ 取付け板
６ 検出投光信号
５ 検出受光信号
７ａ センサ子局Ｂ（＃１）
７ｂ センサ子局Ｂ（＃２）
７ｃ センサ子局Ｂ（＃３）
７ｄ センサ子局Ｂ（＃ｎ−４）
７ｅ センサ子局Ｂ（＃ｎ−３）
７ｆ センサ子局Ｂ（＃ｎ−２）
７ｇ センサ子局Ｂ（＃ｎ−１）
７ｈ センサ子局Ｂ（＃ｎ）
８ 被検出体
９ センサ子局Ａ（＃０）
１１ 電源重畳共通データ信号線Ｄ＋
１２ 電源重畳共通データ信号線Ｄ−
１３ 導体
１６ 取り付けネジ（導電性固定具）
１７ 受光用フォトトランジスタＰＨＴＲｓ
１８ 投光用ＬＥＤ（検出用投光器）
１９ 右側検出感度調整ボリュームＶＲｒ（検出感度調整用可変抵抗器）
２０ 左側検出感度調整ボリュームＶＲｌ（検出感度調整用可変抵抗器）
２４ 制御部
３５ ＤＣ電源（回路用供給電源）
３６ タイミング発生手段
６０ 投光タイミング移動信号
８６，９６ 渡り配線
８７ タイミング移動信号
９２ 子局ベース
１０７ 検出投光フォトダイオードＬＥＤｓ（検出投光器）
１１０ マッピングセンサシステム
１１１ マッピングセンサ
１１３，１２０，１２１，１２２ タイミング移動信号発生回路
１２４ センサ部

Claims (7)

1. 各々が被制御部のセンサ部（１２４）を監視する複数の検出ヘッドであるマッピングセンサ（１１１）を有し、前記複数の検出ヘッドである前記マッピングセンサが共通データ信号線（１１，１２）に接続され、前記センサ部（１２４）からの監視信号を、前記共通データ信号線（１１，１２）を介して、制御部（２４）に伝送することを特徴とするマッピングセンサシステム。
2. 所定の同期伝送クロックに同期した投光タイミング移動信号（６０）又はタイミング移動信号（８７）を発生するためのタイミング移動信号発生回路（１１３、１２０、１２１、１２２）と、前記投光タイミング移動信号（６０）又は前記タイミング移動信号（８７）の制御下で、被検出体（８）を検出する各々の前記複数の検出ヘッドである前記マッピングセンサの中に構成される単一の検出用投光器（１８）或いは複数の検出用投光器を、前記同期伝送クロックに基づいて順次個別の前記マッピングセンサ中の前記単一の検出用投光器（１８）或いは複数の前記検出用投光器を発光させる投光信号発生回路（１１４）と、前記単一の検出用投光器（１８）或いは複数の前記検出用投光器の発光タイミングに応じ、単一の検出用受光信号（５）或いは複数の前記検出用受光信号を受光する検出受光回路（１１６）と、前記検出用受光信号を保持する動作表示回路（１１８）と、前記単一の検出用受光信号（５）或いは複数の前記検出用受光信号を監視信号として共通データ信号線（１１，１２）に送出する伝送出力信号回路（１１７）とを備えたことを特徴とするマッピングセンサシステム。
3. 請求項１又は２記載のマッピングセンサシステムにおいて、検出ヘッドである前記マッピングセンサの順次アドレス番地のタイミング移動信号を、次の検出ヘッドである前記マッピングセンサに順次電気信号として送ることにより、前記複数の検出ヘッドである前記マッピングセンサからセンサ信号を取り込めることを特徴とするマッピングセンサシステム。
4. 請求項１又は２記載の前記マッピングセンサシステムにおいて、順次アドレス番地の前記タイミング移動信号を次の前記検出ヘッドである前記マッピングセンサに検出投光信号（６）として順次送ることにより、複数の任意の前記検出ヘッドである前記マッピングセンサから前記センサ信号を取り込めることを特徴とするマッピングセンサシステム。
5. 請求項１又は２記載のマッピングセンサシステムにおいて、検出ヘッドである前記マッピングセンサの左右どちらか化一方に一つあるいは両方に検出感度調整用可変抵抗器（１９，２０）を有し、多方向から確認できる位置に単一のセンサ動作表示（２３）が設けられたことを特徴とするマッピングセンサシステム。
6. 請求項１ないし３いずれか１項に記載のマッピングセンサシステムにおいて、複数の検出ヘッドである前記マッピングセンサが取付け板（１，９７）に取り付けられ、各々の前記マッピングセンサ間を順次渡り配線（９６）を使用して、タイミング移動信号、前記検出ヘッド共通の回路用供給電源の電力及び伝送データ信号を伝送することを特徴とするマッピングセンサシステム。
7. 請求項１、２又は４いずれか１項に記載のマッピングセンサシステムにおいて、複数の検出ヘッドである前記マッピングセンサを取付ける取付け板（１）に共通の導体（１３）が設けられ、前期導体（１３）に検出ヘッドである前記マッピングセンサを取付ける導電性固定具（１６）を使用し、前記検出ヘッドである前記マッピングセンサ共通の回路用供給電源の電力及び伝送データ信号を伝送することを特徴とするマッピングセンサシステム。

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