JPH08306217A - 紫外線照射ランプ - Google Patents
紫外線照射ランプInfo
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- JPH08306217A JPH08306217A JP7128976A JP12897695A JPH08306217A JP H08306217 A JPH08306217 A JP H08306217A JP 7128976 A JP7128976 A JP 7128976A JP 12897695 A JP12897695 A JP 12897695A JP H08306217 A JPH08306217 A JP H08306217A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 特定の波長の紫外線を効率良く照射する。
【構成】 ガラス製リフレクタ２の内面にＨｆＯ２（高
屈折率層）とＳｉＯ２（低屈折率層）とを交互に積層し
て波長３６５ｎｍの紫外線を反射する多層反射膜を形成
する。多層反射膜３のうち、その基材側（深層側）の１
５層を第１の積層部１３としてこの第１の積層部を構成
しているＨｆＯ２層１１１、１１３、・・・、１１１５
とＳｉＯ２層１２２、１２４、・・・、１２１４を共に
光学的膜厚が９０．８ｎｍで形成し、また、その表面側
（表層側）の１６層を第２の積層部１４としてこの第２
の積層部を構成しているＨｆＯ２層１１１７、１
１１９、・・・、１１３１とＳｉＯ２層１２１６、１２
１８、・・・、１２３０を共に光学的膜厚が６１．４ｎ
ｍで形成する。
屈折率層）とＳｉＯ２（低屈折率層）とを交互に積層し
て波長３６５ｎｍの紫外線を反射する多層反射膜を形成
する。多層反射膜３のうち、その基材側（深層側）の１
５層を第１の積層部１３としてこの第１の積層部を構成
しているＨｆＯ２層１１１、１１３、・・・、１１１５
とＳｉＯ２層１２２、１２４、・・・、１２１４を共に
光学的膜厚が９０．８ｎｍで形成し、また、その表面側
（表層側）の１６層を第２の積層部１４としてこの第２
の積層部を構成しているＨｆＯ２層１１１７、１
１１９、・・・、１１３１とＳｉＯ２層１２１６、１２
１８、・・・、１２３０を共に光学的膜厚が６１．４ｎ
ｍで形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は新規な紫外線照射ランプ
に関する。詳しくは、特定の波長の紫外線を効率良く照
射することができる新規な紫外線照射ランプを提供しよ
うとするものである。
に関する。詳しくは、特定の波長の紫外線を効率良く照
射することができる新規な紫外線照射ランプを提供しよ
うとするものである。
【０００２】
【従来の技術】特定の波長の紫外線のみを投光するよう
にした紫外線照射ランプが知られている。
にした紫外線照射ランプが知られている。
【０００３】例えば、ブラックライトと称される屋内用
の紫外線照射ランプは、特定の波長の紫外線により発光
する蛍光塗料を混入した絵の具等で描画した絵画を暗室
等で上記特定の波長の紫外線の照射により、浮き上がら
せるようにしたものである。また、屋外用の紫外線照射
ランプとしては、ビルの外壁に文字を蛍光塗料にて描
き、これを夜間、紫外線を照射して、上記文字を際立た
せるようにしたものもある。
の紫外線照射ランプは、特定の波長の紫外線により発光
する蛍光塗料を混入した絵の具等で描画した絵画を暗室
等で上記特定の波長の紫外線の照射により、浮き上がら
せるようにしたものである。また、屋外用の紫外線照射
ランプとしては、ビルの外壁に文字を蛍光塗料にて描
き、これを夜間、紫外線を照射して、上記文字を際立た
せるようにしたものもある。
【０００４】このような紫外線照射ランプは、従来、紫
外線だけを投光するために、紫外線を照射する光源の前
方に紫外線のみを透過するフィルタを配置したものであ
る。
外線だけを投光するために、紫外線を照射する光源の前
方に紫外線のみを透過するフィルタを配置したものであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の紫外線照射ランプにあっては、特定の波長の紫
外線を照射することができるが、フィルタにより特定の
波長の紫外線も透過させるため、その特定の波長の紫外
線もかなりカットされてしまい、効率が悪いという問題
があった。かかる問題は、所定の光量を得ようとすると
光源を大きくしなければならなず、特に、屋外用の紫外
線照射ランプにおいては大光量を必要とするため大きな
問題となっていた。
た従来の紫外線照射ランプにあっては、特定の波長の紫
外線を照射することができるが、フィルタにより特定の
波長の紫外線も透過させるため、その特定の波長の紫外
線もかなりカットされてしまい、効率が悪いという問題
があった。かかる問題は、所定の光量を得ようとすると
光源を大きくしなければならなず、特に、屋外用の紫外
線照射ランプにおいては大光量を必要とするため大きな
問題となっていた。
【０００６】また、上記紫外線照射ランプの光源から照
射される光には、紫外線の他、赤外線（熱線）、可視光
も含まれる。そのため、反射鏡により赤外線が反射され
ると上記フィルタに入光してしまい、該フィルタをその
熱線により劣化させ、更に紫外線の透過率を悪くすると
いう問題もあった。
射される光には、紫外線の他、赤外線（熱線）、可視光
も含まれる。そのため、反射鏡により赤外線が反射され
ると上記フィルタに入光してしまい、該フィルタをその
熱線により劣化させ、更に紫外線の透過率を悪くすると
いう問題もあった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明紫外線照射ランプ
は、上記した課題を解決するために、ガラス製リフレク
タの内面に高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層して
特定の波長の紫外線を反射する多層反射膜を形成したも
のである。
は、上記した課題を解決するために、ガラス製リフレク
タの内面に高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層して
特定の波長の紫外線を反射する多層反射膜を形成したも
のである。
【０００８】
【作用】従って、本発明紫外線照射ランプにあっては、
従来のように、フィルタにより特定の波長の紫外線を透
過させるものでないため、フィルタにより特定の波長の
紫外線がカットされることはなく、その分、効率良く、
特定の波長の紫外線を反射させ前方に照射することがで
きる。
従来のように、フィルタにより特定の波長の紫外線を透
過させるものでないため、フィルタにより特定の波長の
紫外線がカットされることはなく、その分、効率良く、
特定の波長の紫外線を反射させ前方に照射することがで
きる。
【０００９】
【実施例】以下に、本発明紫外線照射ランプの詳細を図
示した実施の一例に従って説明する。
示した実施の一例に従って説明する。
【００１０】この実施例におけ紫外線照射ランプ１は本
発明を波長が３６５ｎｍの紫外線（紫外線ＵＶ−Ａ）を
照射するシールドビームランプに適用したものである。
発明を波長が３６５ｎｍの紫外線（紫外線ＵＶ−Ａ）を
照射するシールドビームランプに適用したものである。
【００１１】２は硬質ガラス製のリフレクタであり、略
回転放物面状の内面を有し、該内面に特定の波長の紫外
線を反射する多層反射膜３が形成されている。尚、図示
した紫外線照射ランプ１はブラックライトの光源として
使用するものであるので、可視光及び赤外線を投射しな
いように、その多層反射膜３は可視光及び赤外線を透過
させると共に波長が３６５ｎｍの紫外線ＵＶ−Ａを主に
反射するようになっている。尚、この多層反射膜３の具
体的構成については後述する。
回転放物面状の内面を有し、該内面に特定の波長の紫外
線を反射する多層反射膜３が形成されている。尚、図示
した紫外線照射ランプ１はブラックライトの光源として
使用するものであるので、可視光及び赤外線を投射しな
いように、その多層反射膜３は可視光及び赤外線を透過
させると共に波長が３６５ｎｍの紫外線ＵＶ−Ａを主に
反射するようになっている。尚、この多層反射膜３の具
体的構成については後述する。
【００１２】４は硬質ガラス製のレンズであり、その周
縁部が上記リフレクタ２の開口周縁と重ねられ、その状
態で両者が溶着されて、密閉空間５が形成される。
縁部が上記リフレクタ２の開口周縁と重ねられ、その状
態で両者が溶着されて、密閉空間５が形成される。
【００１３】６、６、６はリフレクタ２の頂部に形成さ
れたフェルールホールであり、該フェルールホールを覆
うようにリフレクタ２の頂部後面に腕状をしたフェルー
ル７、７、７がその開口縁部が埋設された状態で溶封さ
れている。
れたフェルールホールであり、該フェルールホールを覆
うようにリフレクタ２の頂部後面に腕状をしたフェルー
ル７、７、７がその開口縁部が埋設された状態で溶封さ
れている。
【００１４】８、８、８はリードサポートであり、その
後端部がフェルールホール６、６、６を挿通されてフェ
ルール７、７、７の内面に蝋付けされている。
後端部がフェルールホール６、６、６を挿通されてフェ
ルール７、７、７の内面に蝋付けされている。
【００１５】９はバルブであり、そのリード線１０、１
０、・・・が上記リードサポート８、８、８の適宜のも
のに半田付けされている。
０、・・・が上記リードサポート８、８、８の適宜のも
のに半田付けされている。
【００１６】上記多層反射膜３は高屈折率層としての酸
化ハフニウム（ＨｆＯ２）層１１、１１、・・・と低屈
折率層としての酸化ケイ素（ＳｉＯ２）層１２、１２、
・・・とが交互に蒸着されて成り、全部で３１層構造に
形成されている。
化ハフニウム（ＨｆＯ２）層１１、１１、・・・と低屈
折率層としての酸化ケイ素（ＳｉＯ２）層１２、１２、
・・・とが交互に蒸着されて成り、全部で３１層構造に
形成されている。
【００１７】尚、各層の符号の後の添字は、基材側から
の順番を示すものである。以下、各実施例においても同
様とする。
の順番を示すものである。以下、各実施例においても同
様とする。
【００１８】多層反射膜３のうち、その基材側（深層
側）の１５層が第１の積層部１３としてＨｆＯ２層１１
１、１１３、・・・、１１１５とＳｉＯ２層１２２、１
２４、・・・、１２１４とが共に同じ光学的膜厚で形成
され、また、その表面側（表層側）の１６層が第２の積
層部１４としてＨｆＯ２層１１１７、１１１９、・・
・、１１３１とＳｉＯ２層１２１６、１２１８、・・
・、１２３０とが上記第１の積層部１３の各層とは異な
った光学的膜厚でかつ第２の積層部１４においては共に
同じ光学的膜厚で形成されている（図３参照）。
側）の１５層が第１の積層部１３としてＨｆＯ２層１１
１、１１３、・・・、１１１５とＳｉＯ２層１２２、１
２４、・・・、１２１４とが共に同じ光学的膜厚で形成
され、また、その表面側（表層側）の１６層が第２の積
層部１４としてＨｆＯ２層１１１７、１１１９、・・
・、１１３１とＳｉＯ２層１２１６、１２１８、・・
・、１２３０とが上記第１の積層部１３の各層とは異な
った光学的膜厚でかつ第２の積層部１４においては共に
同じ光学的膜厚で形成されている（図３参照）。
【００１９】具体的には、第１の積層部１３におけるＨ
ｆＯ２層１１１〜１１１５及びＳｉＯ２層１２２ 〜１
２１４の光学的膜厚が９０．８ｎｍで、また、第２の積
層部１４におけるＨｆＯ２層１１１７〜１１３１及びＳ
ｉＯ２層１２１６〜１２３０の光学的膜厚が共に６１．
４ｎｍで形成されている。
ｆＯ２層１１１〜１１１５及びＳｉＯ２層１２２ 〜１
２１４の光学的膜厚が９０．８ｎｍで、また、第２の積
層部１４におけるＨｆＯ２層１１１７〜１１３１及びＳ
ｉＯ２層１２１６〜１２３０の光学的膜厚が共に６１．
４ｎｍで形成されている。
【００２０】かかる多層反射膜３によれば、図３の分光
反射率曲線１５（図３において実線で示す。）で示す反
射特性が得られ、波長がほゞ４３０ｎｍ以上の波長の光
（可視光及び赤外線）、波長がほゞ３００ｎｍ付近の光
及び波長がほゞ２００ｎｍ以下の光（紫外線ＵＶ−Ｂ、
ＵＶ−Ｃ）を殆ど透過し、波長がほゞ３００〜４００ｎ
ｍの波長の光（紫外線ＵＶ−Ａ）と波長がほゞ２３０〜
２７０ｎｍの波長の光をほゞ１００％反射させることに
なる。
反射率曲線１５（図３において実線で示す。）で示す反
射特性が得られ、波長がほゞ４３０ｎｍ以上の波長の光
（可視光及び赤外線）、波長がほゞ３００ｎｍ付近の光
及び波長がほゞ２００ｎｍ以下の光（紫外線ＵＶ−Ｂ、
ＵＶ−Ｃ）を殆ど透過し、波長がほゞ３００〜４００ｎ
ｍの波長の光（紫外線ＵＶ−Ａ）と波長がほゞ２３０〜
２７０ｎｍの波長の光をほゞ１００％反射させることに
なる。
【００２１】尚、光学的膜厚とは実際の膜厚（幾何学的
膜厚Ｄ）と屈折率（Ｎ）とを乗算して求められる。
膜厚Ｄ）と屈折率（Ｎ）とを乗算して求められる。
【００２２】しかして、上記紫外線照射ランプ１にあっ
ては、バルブ９から多層反射膜３に向かった光は、その
うちの波長がほゞ４３０ｎｍ以上の波長の光（可視光及
び赤外線）、波長が３００ｎｍ付近の光及び波長がほゞ
２００ｎｍ以下の波長の光（紫外線ＵＶ−Ｂ、ＵＶ−
Ｃ）が多層反射膜３を透過して紫外線照射ランプ１の後
方へ行き、特定の波長３６５ｎｍを含む波長がほゞ３０
０〜４００ｎｍの波長の光（紫外線ＵＶ−Ａ）が主に、
反射され、これにより、紫外線ＵＶ−Ａがレンズ４を通
して投光されることになる。
ては、バルブ９から多層反射膜３に向かった光は、その
うちの波長がほゞ４３０ｎｍ以上の波長の光（可視光及
び赤外線）、波長が３００ｎｍ付近の光及び波長がほゞ
２００ｎｍ以下の波長の光（紫外線ＵＶ−Ｂ、ＵＶ−
Ｃ）が多層反射膜３を透過して紫外線照射ランプ１の後
方へ行き、特定の波長３６５ｎｍを含む波長がほゞ３０
０〜４００ｎｍの波長の光（紫外線ＵＶ−Ａ）が主に、
反射され、これにより、紫外線ＵＶ−Ａがレンズ４を通
して投光されることになる。
【００２３】尚、本発明紫外線照射ランプは上記第１の
実施例に示したシールドビームランプに限らず、バルブ
の交換可能なランプにも適用することができる。
実施例に示したシールドビームランプに限らず、バルブ
の交換可能なランプにも適用することができる。
【００２４】また、バルブとしては、紫外線を発光する
ものであれば良く、例えば、メタルハライド放電灯、水
銀灯等でも良い。
ものであれば良く、例えば、メタルハライド放電灯、水
銀灯等でも良い。
【００２５】図４は本発明紫外線照射ランプの多層反射
膜の第２の実施例を示すものであり、上記第１の実施例
とはその多層反射膜における第２の積層部の最表層側層
（ＨｆＯ２）の膜厚を異にするものである。
膜の第２の実施例を示すものであり、上記第１の実施例
とはその多層反射膜における第２の積層部の最表層側層
（ＨｆＯ２）の膜厚を異にするものである。
【００２６】即ち、この第２の実施例における多層反射
膜３Ａの層構成を示すと、第１の積層部１６におけるＨ
ｆＯ２層１７１〜１７１５及びＳｉＯ２層１８２〜１８
１４の光学的膜厚が９０．８ｎｍで形成され、また、第
２の積層部１９におけるＨｆＯ２層１７１７〜１７２９
及びＳｉＯ２層１８１６〜１８３０の光学的膜厚が共に
６１．４ｎｍで、第２の積層部１９のうち最表層側層の
ＨｆＯ２層１７３１だけが、第２の積層部１９の他の各
層の光学的膜厚の半分、即ち、３０．７ｎｍで形成され
ている。
膜３Ａの層構成を示すと、第１の積層部１６におけるＨ
ｆＯ２層１７１〜１７１５及びＳｉＯ２層１８２〜１８
１４の光学的膜厚が９０．８ｎｍで形成され、また、第
２の積層部１９におけるＨｆＯ２層１７１７〜１７２９
及びＳｉＯ２層１８１６〜１８３０の光学的膜厚が共に
６１．４ｎｍで、第２の積層部１９のうち最表層側層の
ＨｆＯ２層１７３１だけが、第２の積層部１９の他の各
層の光学的膜厚の半分、即ち、３０．７ｎｍで形成され
ている。
【００２７】かかる第２の実施例によれば、その反射特
性が図３における分光反射率曲線２０（図３において破
線で示す。）で示すようになり、上記第１の実施例の分
光反射率曲線１５で示す反射特性に比較して、４６０ｎ
ｍ付近の波長の光（可視光）の反射率をやや少なくする
ことができる。尚、分光反射率曲線２０で示す反射特性
の４５０ｎｍ以下の光に対する反射率は上記第１の実施
例における分光反射率曲線１５で示す反射特性とほゞ同
じなので説明を省略する。
性が図３における分光反射率曲線２０（図３において破
線で示す。）で示すようになり、上記第１の実施例の分
光反射率曲線１５で示す反射特性に比較して、４６０ｎ
ｍ付近の波長の光（可視光）の反射率をやや少なくする
ことができる。尚、分光反射率曲線２０で示す反射特性
の４５０ｎｍ以下の光に対する反射率は上記第１の実施
例における分光反射率曲線１５で示す反射特性とほゞ同
じなので説明を省略する。
【００２８】図５は本発明紫外線照射ランプの第３の実
施例を示すものであり、上記第１の実施例とはその多層
反射膜における第１の積層部の最深層側層（ＨｆＯ２）
の膜厚を異にするものである。
施例を示すものであり、上記第１の実施例とはその多層
反射膜における第１の積層部の最深層側層（ＨｆＯ２）
の膜厚を異にするものである。
【００２９】即ち、この第３の実施例における多層反射
膜３Ｂの層構成を示すと、第１の積層部２１におけるＨ
ｆＯ２層２２３〜２２１５及びＳｉＯ２層２３２〜２３
１４の光学的膜厚が９０．８ｎｍで、第１の積層部２１
のうち最深層側層のＨｆＯ２層２２１だけが、他の第１
の積層部２１の層の膜厚の半分、即ち、４５．４ｎｍで
形成され、また、第２の積層部２４におけるＨｆＯ２層
２２１７〜２２３１及びＳｉＯ２層２３１６〜２３３０
の光学的膜厚が共に６１．４ｎｍで形成されている。
膜３Ｂの層構成を示すと、第１の積層部２１におけるＨ
ｆＯ２層２２３〜２２１５及びＳｉＯ２層２３２〜２３
１４の光学的膜厚が９０．８ｎｍで、第１の積層部２１
のうち最深層側層のＨｆＯ２層２２１だけが、他の第１
の積層部２１の層の膜厚の半分、即ち、４５．４ｎｍで
形成され、また、第２の積層部２４におけるＨｆＯ２層
２２１７〜２２３１及びＳｉＯ２層２３１６〜２３３０
の光学的膜厚が共に６１．４ｎｍで形成されている。
【００３０】かかる第３の実施例によれば、その分光特
性が図３における分光反射率曲線２５（図３において一
点鎖線で示す。）で示すようになり、上記第１の実施例
の分光反射率曲線１５で示す反射特性に比較して、４６
０ｎｍ付近の波長の光（可視光）の反射率を更に少なく
することができ、また、５００ｎｍ以上の可視光の反射
率も上記第１の実施例及び第２の実施例の分光反射率曲
線１５、２０で示す反射特性に比較してより少なくする
ことができる。尚、分光反射率曲線２５で示す反射特性
の４５０ｎｍ以下の光に対する反射率は上記第１の実施
例の分光反射率曲線１５で示す反射特性とほゞ同じなの
で説明を省略する。
性が図３における分光反射率曲線２５（図３において一
点鎖線で示す。）で示すようになり、上記第１の実施例
の分光反射率曲線１５で示す反射特性に比較して、４６
０ｎｍ付近の波長の光（可視光）の反射率を更に少なく
することができ、また、５００ｎｍ以上の可視光の反射
率も上記第１の実施例及び第２の実施例の分光反射率曲
線１５、２０で示す反射特性に比較してより少なくする
ことができる。尚、分光反射率曲線２５で示す反射特性
の４５０ｎｍ以下の光に対する反射率は上記第１の実施
例の分光反射率曲線１５で示す反射特性とほゞ同じなの
で説明を省略する。
【００３１】図６は本発明紫外線照射ランプの第４の実
施例を示すものであり、上記第１の実施例とはその多層
反射膜における第１の積層部の最深層側層（ＨｆＯ２）
及び第２の積層部の最表層側層（ＨｆＯ２）の膜厚を異
にするものである。
施例を示すものであり、上記第１の実施例とはその多層
反射膜における第１の積層部の最深層側層（ＨｆＯ２）
及び第２の積層部の最表層側層（ＨｆＯ２）の膜厚を異
にするものである。
【００３２】即ち、この第４の実施例における多層反射
膜３Ｃの層構成を示すと、第１の積層部２６におけるＨ
ｆＯ２層２７３〜２７１５及びＳｉＯ２層２８２〜２８
１４の光学的膜厚が９０．８ｎｍで、第１の積層部２６
のうち最深層側層のＨｆＯ２層２７１だけが、他の第１
の積層部２６の層の膜厚の半分、即ち、４５．４ｎｍで
形成され、また、第２の積層部２９におけるＨｆＯ２層
２７１７〜２７２９及びＳｉＯ２層２８１６〜２８３０
の光学的膜厚が共に６１．４ｎｍで、第２の積層部２９
のうち最表層側層のＨｆＯ２層２７３１だけが、他の第
２の積層部２９の各層の光学的膜厚の半分、即ち、３
０．７ｎｍで形成されている。
膜３Ｃの層構成を示すと、第１の積層部２６におけるＨ
ｆＯ２層２７３〜２７１５及びＳｉＯ２層２８２〜２８
１４の光学的膜厚が９０．８ｎｍで、第１の積層部２６
のうち最深層側層のＨｆＯ２層２７１だけが、他の第１
の積層部２６の層の膜厚の半分、即ち、４５．４ｎｍで
形成され、また、第２の積層部２９におけるＨｆＯ２層
２７１７〜２７２９及びＳｉＯ２層２８１６〜２８３０
の光学的膜厚が共に６１．４ｎｍで、第２の積層部２９
のうち最表層側層のＨｆＯ２層２７３１だけが、他の第
２の積層部２９の各層の光学的膜厚の半分、即ち、３
０．７ｎｍで形成されている。
【００３３】かかる第４の実施例によれば、その反射特
性が図３における分光反射率曲線３０（図３において二
点鎖線で示す。）で示すようになり、上記第３の実施例
の分光反射率曲線２５で示す反射特性に比較して、４６
０ｎｍ付近の波長の光（可視光）の反射率を更に少なく
することができ、また、５００ｎｍ以上の可視光の反射
率も上記第１の実施例及び第２の実施例の分光反射率曲
線１５、２０で示す反射特性に比較してより少なくする
ことができる。尚、分光反射率曲線３０で示す反射特性
の４５０ｎｍ以下の光に対する反射率は上記第１の実施
例の分光反射率曲線１５で示す反射特性とほゞ同じなの
で説明を省略する。
性が図３における分光反射率曲線３０（図３において二
点鎖線で示す。）で示すようになり、上記第３の実施例
の分光反射率曲線２５で示す反射特性に比較して、４６
０ｎｍ付近の波長の光（可視光）の反射率を更に少なく
することができ、また、５００ｎｍ以上の可視光の反射
率も上記第１の実施例及び第２の実施例の分光反射率曲
線１５、２０で示す反射特性に比較してより少なくする
ことができる。尚、分光反射率曲線３０で示す反射特性
の４５０ｎｍ以下の光に対する反射率は上記第１の実施
例の分光反射率曲線１５で示す反射特性とほゞ同じなの
で説明を省略する。
【００３４】図７は本発明紫外線照射ランプの第５の実
施例を示すものであり、上記第４の実施例における多層
反射膜と同じの層構成（最深層側層と最表層側層をそれ
ぞれ各積層部の各層の膜厚の半分とする構成）を採用す
るものの、その膜厚を異にするものである。
施例を示すものであり、上記第４の実施例における多層
反射膜と同じの層構成（最深層側層と最表層側層をそれ
ぞれ各積層部の各層の膜厚の半分とする構成）を採用す
るものの、その膜厚を異にするものである。
【００３５】具体的にこの第５の実施例における多層反
射膜３Ｄの層構成を示すと、第１の積層部３１は最深層
側層（ＨｆＯ２）３２１の膜厚が３５．３８１８ｎｍ
で、他の層３３２、３２３、・・・、３３１４、３２
１５の膜厚が７０．７６３６ｎｍで形成され、第２の積
層部３４は最表層側層（ＨｆＯ２）３２３１の膜厚が３
０．７２７３ｎｍで、他の層３３１６、３２１７、・・
・、３２２９、３３３０の膜厚が６１．４５４５ｎｍで
形成されている。
射膜３Ｄの層構成を示すと、第１の積層部３１は最深層
側層（ＨｆＯ２）３２１の膜厚が３５．３８１８ｎｍ
で、他の層３３２、３２３、・・・、３３１４、３２
１５の膜厚が７０．７６３６ｎｍで形成され、第２の積
層部３４は最表層側層（ＨｆＯ２）３２３１の膜厚が３
０．７２７３ｎｍで、他の層３３１６、３２１７、・・
・、３２２９、３３３０の膜厚が６１．４５４５ｎｍで
形成されている。
【００３６】しかして、かかる第５の実施例によれば、
反射特性が図８における分光反射率曲線３５（図８にお
いて実線で示す。）で示すようなり、３６５ｎｍ付近の
波長の反射率がもっとも良く、かつ、４３０ｎｍ以上の
可視光及び赤外線の反射が抑えられる。
反射特性が図８における分光反射率曲線３５（図８にお
いて実線で示す。）で示すようなり、３６５ｎｍ付近の
波長の反射率がもっとも良く、かつ、４３０ｎｍ以上の
可視光及び赤外線の反射が抑えられる。
【００３７】図９は本発明紫外線照射ランプの第６の実
施例を示すものであり、上記第４の実施例における多層
反射膜と同じ層構成（最深層側層と最表層側層をそれぞ
れ各積層部の各層の膜厚の半分とする構成）を採用する
ものの、その膜厚を異にするものである。
施例を示すものであり、上記第４の実施例における多層
反射膜と同じ層構成（最深層側層と最表層側層をそれぞ
れ各積層部の各層の膜厚の半分とする構成）を採用する
ものの、その膜厚を異にするものである。
【００３８】具体的にこの第６の実施例における多層反
射膜３Ｅの層構成を示すと、第１の積層部３６は最深層
側層（ＨｆＯ２）３７１の膜厚が４８．９９０１８ｎｍ
で、他の層３８２、３７３ ・・・、３８１４、３７
１５の膜厚が９７．９８０３７ｎｍで形成され、第２の
積層部３９は最表層側層（ＨｆＯ２）３７３１の膜厚が
４２．５４５４９ｎｍで、他の層３８１６、３７１７、
・・・、３７２９、３８３０の膜厚が８５．０９０４９
ｎｍで形成されている。
射膜３Ｅの層構成を示すと、第１の積層部３６は最深層
側層（ＨｆＯ２）３７１の膜厚が４８．９９０１８ｎｍ
で、他の層３８２、３７３ ・・・、３８１４、３７
１５の膜厚が９７．９８０３７ｎｍで形成され、第２の
積層部３９は最表層側層（ＨｆＯ２）３７３１の膜厚が
４２．５４５４９ｎｍで、他の層３８１６、３７１７、
・・・、３７２９、３８３０の膜厚が８５．０９０４９
ｎｍで形成されている。
【００３９】しかして、かかる第６の実施例によれば、
反射特性が図８における分光反射率曲線４０（図８にお
いて破線で示す。）で示すようになり、３６５ｎｍ付近
の波長の反射率がもっとも良く、かつ、４５０ｎｍ以上
の可視光及び赤外線の反射が抑えられ、更に、３００ｎ
ｍ以下の紫外線の反射率を５０％以下に抑えることがで
きる。
反射特性が図８における分光反射率曲線４０（図８にお
いて破線で示す。）で示すようになり、３６５ｎｍ付近
の波長の反射率がもっとも良く、かつ、４５０ｎｍ以上
の可視光及び赤外線の反射が抑えられ、更に、３００ｎ
ｍ以下の紫外線の反射率を５０％以下に抑えることがで
きる。
【００４０】尚、上記各実施例において、高屈折率層と
してＨｆＯ２層を用いたが、本発明紫外線照射ランプは
これに限らず、高屈折率層としてＺｒＯ２（酸化ジルコ
ニウム）、Ｔａ２Ｏ５（酸化タンタル）等を使用しても
良い。
してＨｆＯ２層を用いたが、本発明紫外線照射ランプは
これに限らず、高屈折率層としてＺｒＯ２（酸化ジルコ
ニウム）、Ｔａ２Ｏ５（酸化タンタル）等を使用しても
良い。
【００４１】
【発明の効果】以上に記載したところから明らかなよう
に、本発明紫外線照射ランプは、ガラス製リフレクタの
内面に特定の波長の紫外線を反射する多層反射膜を形成
して成る紫外線照射ランプであって、上記多層反射膜は
高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層して形成したこ
とを特徴とする。
に、本発明紫外線照射ランプは、ガラス製リフレクタの
内面に特定の波長の紫外線を反射する多層反射膜を形成
して成る紫外線照射ランプであって、上記多層反射膜は
高屈折率層と低屈折率層とを交互に積層して形成したこ
とを特徴とする。
【００４２】従って、本発明紫外線照射ランプにあって
は、従来のように、フィルタにより特定の波長の紫外線
を透過させるものでないため、フィルタにより特定の波
長の紫外線がカットされることはなく、その分、効率良
く、特定の波長の紫外線を反射させ前方に照射すること
ができる。
は、従来のように、フィルタにより特定の波長の紫外線
を透過させるものでないため、フィルタにより特定の波
長の紫外線がカットされることはなく、その分、効率良
く、特定の波長の紫外線を反射させ前方に照射すること
ができる。
【００４３】また、上記した実施例に示した各部の形状
及び構造は、何れも本発明を実施するに当たっての具体
化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって
本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあって
はならない。
及び構造は、何れも本発明を実施するに当たっての具体
化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって
本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあって
はならない。
【図１】図２と共に本発明紫外線照射ランプの第１の実
施例を示すもので、本図は縦断面図である。
施例を示すもので、本図は縦断面図である。
【図２】本発明紫外線照射ランプにおける多層反射膜の
構成を模式的に示す図である。
構成を模式的に示す図である。
【図３】分光反射率を示すグラフ図である。
【図４】本発明紫外線照射ランプの第２の実施例におけ
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
【図５】本発明紫外線照射ランプの第３の実施例におけ
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
【図６】本発明紫外線照射ランプの第４の実施例におけ
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
【図７】本発明紫外線照射ランプの第５の実施例におけ
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
【図８】第５の実施例及び第６の実施例における多層反
射膜の分光反射率を示すグラフ図である。
射膜の分光反射率を示すグラフ図である。
【図９】本発明紫外線照射ランプの第６の実施例におけ
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
る多層反射膜の構成を模式的に示す図である。
１ 紫外線照射ランプ ２ リフレクタ（ガラス面） ３ 多層反射膜 １１ ＨｆＯ２層（高屈折率層） １２ ＳｉＯ２層（低屈折率層） １３ 第１積層部 １４ 第２積層部 ３Ａ 多層反射膜 １６ 第１の積層部 １７ ＨｆＯ２層 １８ ＳｉＯ２層 １９ 第２の積層部 ３Ｂ 多層反射膜 ２１ 第１の積層部 ２２ ＨｆＯ２層 ２３ ＳｉＯ２層 ２４ 第２の積層部 ３Ｃ 多層反射膜 ２６ 第１の積層部 ２７ ＨｆＯ２層 ２８ ＳｉＯ２層 ２９ 第２の積層部 ３Ｄ 多層反射膜 ３１ 第１の積層部 ３２ ＨｆＯ２層 ３３ ＳｉＯ２層 ３４ 第２の積層部 ３Ｅ 多層反射膜 ３６ 第１の積層部 ３７ ＨｆＯ２層 ３８ ＳｉＯ２層 ３９ 第２の積層部
Claims (5)
- 【請求項１】 ガラス製リフレクタの内面に特定の波長
の紫外線を反射する多層反射膜を形成して成る紫外線照
射ランプであって、 上記多層反射膜は高屈折率層と低屈折率層とを交互に積
層して形成したことを特徴とする紫外線照射ランプ。 - 【請求項２】 多層反射膜を、ほゞ同じ層数の深層側の
第１の積層部と表層側の第２の積層部とから構成し、そ
れぞれ各積層部における高屈折率層と低屈折率層との光
学的膜厚をほゞ同じにすると共に、上記第１の積層部と
第２の積層部との各層の光学的膜厚を異ならせたことを
特徴とする請求項１に記載の紫外線照射ランプ。 - 【請求項３】 第１の積層部の最も深層側の層を高屈折
率層とし該最深層側層の光学的膜厚を第１の積層部の他
の層の光学的膜厚のほゞ１／２としたことを特徴とする
請求項１又は請求項２に記載の紫外線照射ランプ。 - 【請求項４】 第２の積層部の最も表層側の層を高屈折
率層とし該最表層側層の光学的膜厚を第２の積層部の他
の層の光学的膜厚のほゞ１／２としたことを特徴とする
請求項１、請求項２又は請求項３に記載の紫外線照射ラ
ンプ。 - 【請求項５】 低屈折率層が酸化ケイ素（ＳｉＯ２）
で、高屈折率層が酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）で形成さ
れたことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３又
は請求項４に記載の紫外線照射ランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7128976A JPH08306217A (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | 紫外線照射ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7128976A JPH08306217A (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | 紫外線照射ランプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08306217A true JPH08306217A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=14998063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7128976A Pending JPH08306217A (ja) | 1995-04-28 | 1995-04-28 | 紫外線照射ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08306217A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007035404A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Ushio Inc | 光源装置 |
| US7284885B2 (en) * | 2003-10-01 | 2007-10-23 | Heraeus Noblelight Gmbh | UV lamp arrangement and its use |
| JP2012182014A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Ushio Inc | 光源装置 |
| JP2014513401A (ja) * | 2011-04-27 | 2014-05-29 | 振偉 ▲ミー▼ | 光学薄膜ランプ可視光線コーティングエリア出光構造を改善する装置 |
-
1995
- 1995-04-28 JP JP7128976A patent/JPH08306217A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7284885B2 (en) * | 2003-10-01 | 2007-10-23 | Heraeus Noblelight Gmbh | UV lamp arrangement and its use |
| JP2007035404A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Ushio Inc | 光源装置 |
| JP4609224B2 (ja) * | 2005-07-26 | 2011-01-12 | ウシオ電機株式会社 | 光源装置 |
| JP2012182014A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Ushio Inc | 光源装置 |
| JP2014513401A (ja) * | 2011-04-27 | 2014-05-29 | 振偉 ▲ミー▼ | 光学薄膜ランプ可視光線コーティングエリア出光構造を改善する装置 |
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