JPH03280345A - 反射形紫外線ランプ - Google Patents
反射形紫外線ランプInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は紫外線を有効に利用できるようにした反射形紫
外線ランプに関する。
外線ランプに関する。
(従来の技術)
従来、両端に1対の電極を封装した管形ガラスバルブの
内面のうち片側の240°の角度範囲に酸化チタン粒子
(Tie、)あるいは酸化チタンとマグネシアとの化合
物(マグネシアチタネート)(MgTiOa)からなる
紫外線反射膜を形成し、そののちこの紫外線反射膜表面
に350〜410nmの近紫外線発光蛍光体被膜を形成
した反射形紫外線ランプが知られている。このものは放
電によって生成した254n■紫外線で近紫外線発光蛍
光体を刺激して350〜410nmの近紫外線を放射さ
せ、この近紫外線が反射膜で反射して投光窓から外界に
投射される。
内面のうち片側の240°の角度範囲に酸化チタン粒子
(Tie、)あるいは酸化チタンとマグネシアとの化合
物(マグネシアチタネート)(MgTiOa)からなる
紫外線反射膜を形成し、そののちこの紫外線反射膜表面
に350〜410nmの近紫外線発光蛍光体被膜を形成
した反射形紫外線ランプが知られている。このものは放
電によって生成した254n■紫外線で近紫外線発光蛍
光体を刺激して350〜410nmの近紫外線を放射さ
せ、この近紫外線が反射膜で反射して投光窓から外界に
投射される。
(発明が解決しようとする課題)
酸化チタン粒子やマグネシウムチタネート粒子は300
〜400nmの近紫外線を吸収して熱に変える性質があ
り、近紫外線がむだになって効率が低下する欠点がある
。
〜400nmの近紫外線を吸収して熱に変える性質があ
り、近紫外線がむだになって効率が低下する欠点がある
。
また、可視光用環状蛍光ランプとして、バルブの全内面
にアルミナ粒子(lQ20りを3μ以下の厚さに被着し
てなる保護膜を設けて、この保護膜上に可視光用蛍光体
被膜を設けたものが知られている。このランプは保護膜
が蛍光体被膜とバルブのガラスとの間に介在して直接の
接触を防いで1曲成に際し蛍光体粒子が軟化したガラス
にめり込むことを避け、かつ軟化したガラスによって蛍
光体粒子が劣化することがなく、しかもアルミナ粒子が
紫外線を吸収せず、さらに保護膜が3μ以下の薄膜であ
るので可視光を良く透過する利点がある。
にアルミナ粒子(lQ20りを3μ以下の厚さに被着し
てなる保護膜を設けて、この保護膜上に可視光用蛍光体
被膜を設けたものが知られている。このランプは保護膜
が蛍光体被膜とバルブのガラスとの間に介在して直接の
接触を防いで1曲成に際し蛍光体粒子が軟化したガラス
にめり込むことを避け、かつ軟化したガラスによって蛍
光体粒子が劣化することがなく、しかもアルミナ粒子が
紫外線を吸収せず、さらに保護膜が3μ以下の薄膜であ
るので可視光を良く透過する利点がある。
そこで、上述の反射形紫外線ランプにおける酸化チタン
粒子の代りにアルミナ粒子を3μ以下の厚さに塗布して
反射膜を形成することが考えられるが、この場合、各波
長の紫外線のかなりの割合いが反射膜を透過して背後に
放射され、この分は損失となる。
粒子の代りにアルミナ粒子を3μ以下の厚さに塗布して
反射膜を形成することが考えられるが、この場合、各波
長の紫外線のかなりの割合いが反射膜を透過して背後に
放射され、この分は損失となる。
このような問題は蛍光体被膜を設けず波長254nm紫
外線投射を行なういわゆるブラックライト形の反射形紫
外線ランプにおいても同様である。
外線投射を行なういわゆるブラックライト形の反射形紫
外線ランプにおいても同様である。
そこで、本発明の課題は紫外線反射膜の紫外線損失を減
らした反射形紫外線ランプを提供することである。
らした反射形紫外線ランプを提供することである。
(課題を解決するための手段)
本発明は1対の電極を封装したガラスバルブの内面の一
部にアルミナ粒子(八〇、0□)を主体とする紫外線反
射膜を形成して、紫外線反射膜による紫外線損失を減ら
したものである。
部にアルミナ粒子(八〇、0□)を主体とする紫外線反
射膜を形成して、紫外線反射膜による紫外線損失を減ら
したものである。
(作 用)
アルミナ粒子は紫外線の吸収が少ない利点があるが、そ
の反面、可視光と各波長紫外線の透過率が比較的高い欠
点がある。そこで1本発明者はアルミナ粒子を充分に厚
く、たとえば10〜20μの厚さに塗布したところ、紫
外線の大部分が反射さ−れ、透過が極めて少なくなった
。
の反面、可視光と各波長紫外線の透過率が比較的高い欠
点がある。そこで1本発明者はアルミナ粒子を充分に厚
く、たとえば10〜20μの厚さに塗布したところ、紫
外線の大部分が反射さ−れ、透過が極めて少なくなった
。
(実施例)
以下1本発明の詳細を図示の実施例によって説明する。
第1図および第2図は本発明を適用してなる近紫外線用
反射形低圧紫外線ランプの一例を示し、図中、(1)は
可視光をカットする青色ガラス管であり、300〜40
0nmの光を良く透過する軟質ガラスまたは半硬質ガラ
スからなる直管形バルブ、(2)はこのバルブ(1)内
面の一側の240°の角度範囲に設けられた紫外線反射
膜、(3)はこの紫外線反射膜(2)と反対側のバルブ
(1)内面の120°の角度範囲に形成され紫外線反射
膜(2)が設けてない投光窓、(4)は紫外線反射膜(
2)表面に形成された紫外線発光蛍光体被膜、(5)、
(5)はバルブ(1)の両端を閉塞したステム、 (6
)、(6) ; (6)、(6)はこれらステム(5)
、 (5)を貫通した2対のリード線、(7)。
反射形低圧紫外線ランプの一例を示し、図中、(1)は
可視光をカットする青色ガラス管であり、300〜40
0nmの光を良く透過する軟質ガラスまたは半硬質ガラ
スからなる直管形バルブ、(2)はこのバルブ(1)内
面の一側の240°の角度範囲に設けられた紫外線反射
膜、(3)はこの紫外線反射膜(2)と反対側のバルブ
(1)内面の120°の角度範囲に形成され紫外線反射
膜(2)が設けてない投光窓、(4)は紫外線反射膜(
2)表面に形成された紫外線発光蛍光体被膜、(5)、
(5)はバルブ(1)の両端を閉塞したステム、 (6
)、(6) ; (6)、(6)はこれらステム(5)
、 (5)を貫通した2対のリード線、(7)。
(7)はこれら2対のリード線(6)、(6) ; (
6)、(6)の対ごとに装架されたフィラメント電極で
ある。そして、バルブ(1)内にはアルゴンなどの始動
ガスとともに適量の水銀が封入しである。
6)、(6)の対ごとに装架されたフィラメント電極で
ある。そして、バルブ(1)内にはアルゴンなどの始動
ガスとともに適量の水銀が封入しである。
上記紫外線反射膜(2)はアルミナ粒子(AQ20.
)をバルブ(1)内面に塗布して焼付けてなるもので、
lO〜20μの膜厚を有し、中波長以上の各波長の紫外
線および可視光を反射する。
)をバルブ(1)内面に塗布して焼付けてなるもので、
lO〜20μの膜厚を有し、中波長以上の各波長の紫外
線および可視光を反射する。
上記蛍光体被膜(4)は波長254nmの紫外線に刺激
されて350〜410nmの近紫外線を放射するもので
、たとえばBa5ic、/Pb、 SrO・SrF2・
2B20./Eu。
されて350〜410nmの近紫外線を放射するもので
、たとえばBa5ic、/Pb、 SrO・SrF2・
2B20./Eu。
(CaZfi)a (PO,)z : TQ、 Ca0
(PO+)z / TQあるいは”’z Pg Ot
/ lEuなどである、つぎに、この紫外線ランプの作
用を説明する。
(PO+)z / TQあるいは”’z Pg Ot
/ lEuなどである、つぎに、この紫外線ランプの作
用を説明する。
このランプを点灯すると、両フィラメント電極(7)、
(7)間に放電が生起して波長254nmの中紫外線が
放射される。そして、この中紫外線が蛍光体被膜(4)
に入射するとこの蛍光体から350〜410n−の近紫
外線が放射される。しかして、紫外線反射膜(2)は各
波長の紫外線を良く反射するので、上述の蛍光体波[(
4)から放射された近紫外線を反射して投光窓(3)か
ら外界に放射される。また、蛍光体被膜(4)で吸収し
切れずに透過した中紫外線も紫外線反射膜(2)で反射
して再度蛍光体被膜(4)に入射し近紫外線に変換され
て投光窓(3)から外界に放射される、しかし、バルブ
(1)が軟質ガラスで構成されているときは中紫外線が
ほとんど投光窓(3)を透過することがない。
(7)間に放電が生起して波長254nmの中紫外線が
放射される。そして、この中紫外線が蛍光体被膜(4)
に入射するとこの蛍光体から350〜410n−の近紫
外線が放射される。しかして、紫外線反射膜(2)は各
波長の紫外線を良く反射するので、上述の蛍光体波[(
4)から放射された近紫外線を反射して投光窓(3)か
ら外界に放射される。また、蛍光体被膜(4)で吸収し
切れずに透過した中紫外線も紫外線反射膜(2)で反射
して再度蛍光体被膜(4)に入射し近紫外線に変換され
て投光窓(3)から外界に放射される、しかし、バルブ
(1)が軟質ガラスで構成されているときは中紫外線が
ほとんど投光窓(3)を透過することがない。
このように、本実施例紫外線ランプにおいては、紫外線
反射膜(2)がアルミナ粒子を10μ以上の厚さに被着
して形成されているので、波長254nm以上の各種紫
外線および可視光を良く反射するようになり、しかも紫
外線も可視光もほとんど吸収しないので紫外線の損失が
ほとんどなく高効率である。さらに、本実施例の紫外線
反射M(2)は赤外線も反射する利点もある。
反射膜(2)がアルミナ粒子を10μ以上の厚さに被着
して形成されているので、波長254nm以上の各種紫
外線および可視光を良く反射するようになり、しかも紫
外線も可視光もほとんど吸収しないので紫外線の損失が
ほとんどなく高効率である。さらに、本実施例の紫外線
反射M(2)は赤外線も反射する利点もある。
つぎに、他の実施例を第3図に示す、このものは上述の
第1図および第2図に記載した近紫外線用反射形低圧紫
外線ランプにおける投光窓(3)内面にも紫外線発光蛍
光体被膜(4)を形成したちので、その他同一部分には
同一符号を付して説明を略す。この実施例紫外線ランプ
は投光窓(3)内面の蛍光体被膜(4)も近紫外線を発
光するので、波長254na+中紫外線のむだがなく、
残らず近紫外線に変換されるので高効率である。
第1図および第2図に記載した近紫外線用反射形低圧紫
外線ランプにおける投光窓(3)内面にも紫外線発光蛍
光体被膜(4)を形成したちので、その他同一部分には
同一符号を付して説明を略す。この実施例紫外線ランプ
は投光窓(3)内面の蛍光体被膜(4)も近紫外線を発
光するので、波長254na+中紫外線のむだがなく、
残らず近紫外線に変換されるので高効率である。
さらに他の実施例を第4図に示す。このものは波長25
4nm中波長紫外線用反射形低圧紫外線ランプで、 (
11)は石英ガラスからなる管形バルブ、(2)は上述
の実施例と同じアルミナ粒子を厚さ10〜20μに被着
してなる角度範囲240°の紫外線反射膜。
4nm中波長紫外線用反射形低圧紫外線ランプで、 (
11)は石英ガラスからなる管形バルブ、(2)は上述
の実施例と同じアルミナ粒子を厚さ10〜20μに被着
してなる角度範囲240°の紫外線反射膜。
(3)はこの紫外線反射膜(2)に対向しバルブ(])
内面を震出してなる角度範囲120°の投光窓、(7)
はバルブ(1)端部に設けたフィラメント電極で、蛍光
膜は設けてない。そして、バルブ(1)内にはアルゴン
などの始動ガスとともに適量の水銀を封入しである。
内面を震出してなる角度範囲120°の投光窓、(7)
はバルブ(1)端部に設けたフィラメント電極で、蛍光
膜は設けてない。そして、バルブ(1)内にはアルゴン
などの始動ガスとともに適量の水銀を封入しである。
この紫外線ランプはフィラメント電極(7)間に放電さ
せると波長254nmの中紫外線が放射され、この中紫
外線が紫外線反射膜(2)が反射されて投光窓(3)か
ら前方に投射される。
せると波長254nmの中紫外線が放射され、この中紫
外線が紫外線反射膜(2)が反射されて投光窓(3)か
ら前方に投射される。
この紫外線ランプにおいても紫外線反射膜(2)がアル
ミナ粒子を10〜20μの厚さで被着して形成したので
、中紫外線の反射率が良く、吸収がほとんどないので高
効率である。
ミナ粒子を10〜20μの厚さで被着して形成したので
、中紫外線の反射率が良く、吸収がほとんどないので高
効率である。
なお、本発明において、紫外線反射膜は前述の例に限ら
ず、たとえばアルミナ粒子にマグネシア(MgO)粒子
を半々に配合したものでもよく、要はアルミナ粒子を主
体とし、これに紫外線吸収率の低い他の金属酸化物を配
合したものでもよい。また紫外線反射膜の紫外線反射率
は膜厚が5μを越えると急に大きくなり実用になる。ま
た、紫外線反射膜がアルミナ粒子だけで構成されている
ときは厚さが20μに達しると紫外線反射率が飽和状態
に近すき、それ以上厚く形成する意味がない。
ず、たとえばアルミナ粒子にマグネシア(MgO)粒子
を半々に配合したものでもよく、要はアルミナ粒子を主
体とし、これに紫外線吸収率の低い他の金属酸化物を配
合したものでもよい。また紫外線反射膜の紫外線反射率
は膜厚が5μを越えると急に大きくなり実用になる。ま
た、紫外線反射膜がアルミナ粒子だけで構成されている
ときは厚さが20μに達しると紫外線反射率が飽和状態
に近すき、それ以上厚く形成する意味がない。
さらに1本発明は高圧紫外線ランプにも適用できるもの
で、たとえば高圧水銀ランプの外管を硬質ガラスで構成
してその内面の一側に前述のアルミナ粒子を主体とする
紫外線反射膜を形成すれば。
で、たとえば高圧水銀ランプの外管を硬質ガラスで構成
してその内面の一側に前述のアルミナ粒子を主体とする
紫外線反射膜を形成すれば。
波長365nmの近紫外線ビームを高効率で投射できる
。
。
このように1本発明の反射形紮外線ランプは1対の電極
を封装したガラスバルブの内面の一部にアルミナ粒子を
主体とする紫外線反射膜を形成したので、紫外線反射膜
の紫外線反射率が高く、紫外線の損失が少なく高効率で
ある。
を封装したガラスバルブの内面の一部にアルミナ粒子を
主体とする紫外線反射膜を形成したので、紫外線反射膜
の紫外線反射率が高く、紫外線の損失が少なく高効率で
ある。
第1図は本発明の反射形紫外線ランプの一実施例の縦断
面図、第2図は同じく横断面図、第3図は他の実施例の
横断面図、第4図はさらに他の実施例の横断面図である
。 (1)、(11)・・・バルブ (2)・・
・紫外線反射膜(3)・・・投光窓 (
4)・・・蛍光体被膜(5)・・・ステム
(6)・・・リード線(7)・・・フィラメント
面図、第2図は同じく横断面図、第3図は他の実施例の
横断面図、第4図はさらに他の実施例の横断面図である
。 (1)、(11)・・・バルブ (2)・・
・紫外線反射膜(3)・・・投光窓 (
4)・・・蛍光体被膜(5)・・・ステム
(6)・・・リード線(7)・・・フィラメント
Claims (1)
- 1対の電極を封装したガラスバルブの内面の一部にアル
ミナ粒子を主体とする紫外線反射膜を形成したことを特
徴とする反射形紫外線ランプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2080300A JP2626144B2 (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 反射形紫外線ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2080300A JP2626144B2 (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 反射形紫外線ランプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03280345A true JPH03280345A (ja) | 1991-12-11 |
JP2626144B2 JP2626144B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=13714422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2080300A Expired - Lifetime JP2626144B2 (ja) | 1990-03-28 | 1990-03-28 | 反射形紫外線ランプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2626144B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR960011566A (ko) * | 1994-09-12 | 1996-04-20 | 타실로 다우너, 조아킴 베르너 | 수은 증기 고압 쇼트 아크 방전등, 상기 등으로부터 방출된 방사선에 반도체 웨이퍼를 노광시키는 방법 및 장치 |
EP0856871A1 (en) * | 1997-01-29 | 1998-08-05 | Nec Corporation | Fluorescent lamp |
KR100417557B1 (ko) * | 1999-04-12 | 2004-02-05 | 가부시끼가이샤 교와 데바이스 | 방전 램프, 방전 램프의 제조 방법 및 이를 사용한 장치 |
JP2008130302A (ja) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Ushio Inc | 光照射装置 |
JP2008153187A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-07-03 | Ushio Inc | 放電ランプ |
JP2009230868A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Ushio Inc | エキシマランプ |
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JPS6486441A (en) * | 1986-11-12 | 1989-03-31 | Gte Prod Corp | Aluminium oxide reflector layer for fluorescent lamp |
-
1990
- 1990-03-28 JP JP2080300A patent/JP2626144B2/ja not_active Expired - Lifetime
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