JPH08304645A - 光回路部品及びその製造方法 - Google Patents

光回路部品及びその製造方法

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JPH08304645A
JPH08304645A JP7114902A JP11490295A JPH08304645A JP H08304645 A JPH08304645 A JP H08304645A JP 7114902 A JP7114902 A JP 7114902A JP 11490295 A JP11490295 A JP 11490295A JP H08304645 A JPH08304645 A JP H08304645A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光導波路と光ファイバー及び半導体素子等と
の結合固定性及び実装性の良い、光回路部品及びその製
造方法を提供することを目的とする。 【構成】 光導波路基板11の表面に光導波路13を形
成し、裏面に位置決め溝12を形成し、光ファイバー配
列基板21の光ファイバー配列溝22に位置決め溝12
を係合させ、光ファイバー配列基板21に対する光導波
路基板11の位置決めを行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信等に用いられる
光回路部品及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】光通信システムは、公衆通信、ケーブル
テレビ(CATV)、コンピュータネットワーク等にお
いて応用され、実用化されている。しかし、光通信シス
テムをより一層普及させるためには、光通信システム、
特に、加入者系光通信システムの導入においては、光回
路部品の小型化、多機能化、集積化及び低コスト化が不
可欠である。光通信システムにおいて用いられている光
回路部品、例えば光送受信器は、発光素子としての半導
体レーザ、レーザ駆動回路、受光素子、復調回路及び光
ファイバー等で構成されている。そのため、個々の光学
部品及び電気部品を高精度に組立て、調整し、実装する
必要があり、また、多くの部品と組み立て工数を要す
る。
【0003】一方、加入者系システムにおいて、光通信
のもつ広帯域性を利用した波長多重伝送や双方向伝送等
の機能が要求されており、光導波路を使用した集積小型
化された光実装回路基板が提案されている。例えば、特
開平5−60952号公報、特開昭61−245594
号公報、特開平5−27140号公報、特開平5−60
940号公報等には、シリコン基板上に火炎堆積法によ
り所望の機能を有した石英光導波路を形成し、さらに金
属電極を配線して半導体素子や電気回路等を実装し、V
溝を形成した基板に光ファイバーを配列したものを接続
することにより、光モジュールを形成する方法が示され
ている。
【0004】図10に示すように、上記従来の光回路部
品は、光導波路103、発光素子107、受光素子10
5及び電極配線104等を有する光導波路基板101
と、光ファイバー108の固定用の溝基板102とで構
成されている。ここで、光導波路基板101と溝基板1
02とは分離されている。光導波路103と光ファイバ
ー108とを低損失で結合するためには、誤差が1μm
以下となるように調整し、組立て、固定する必要があ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】光ファイバー108の
固定用の溝基板102のV溝の作成には、シリコン基板
の選択的エッチングやセラミック基板の切削加工法等が
採用されているため、加工精度が低く、量産性に乏しい
という問題点を有していた。一方、シリコン基板には、
エッチングにより精度の良いV溝を形成することが可能
であるが、その形状がV型に限定されるため、固定でき
る光ファイバー108の選択の自由度が小さいという問
題点を有していた。また、光導波路基板101と溝基板
102の材料が異なる場合、線膨張係数が異なるために
温度変動に弱いという問題点を有していた。また、シリ
コン基板上に半導体素子や電気部品を実装する場合、基
板上に絶縁層を形成する必要があるという問題点を有し
ていた。また、シリコン基板に直接半導体素子を形成し
ても、光導波路103部分の面積が大きくなるため、1
つのウエハから採れる素子数が少なく、半導体プロセス
を用いることによるコストメリットを活かすことができ
ない(あまりコストを低減できない)という問題点を有
していた。
【0006】本発明は上記従来例の問題点を解決するた
めになされたものであり、光導波路と光ファイバー及び
半導体素子等との結合固定性及び実装性の良い、光回路
部品及びその製造方法を提供することを目的とするもの
である。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の光回路部品は、一方の面に光導波路構造を
有し、他方の面に単数又は複数の位置決め溝を有する光
導波路基板と、前記光導波路基板の位置決め溝と係合
し、かつ光ファイバーを配列固定するための光ファイバ
ー配列溝を有する光ファイバー配列基板とを具備し、前
記光導波路基板の光ファイバー接続端面における光導波
路の間隔と前記位置決め溝の間隔とが略一致する。
【0008】上記構成において、前記位置決め溝及び前
記光ファイバー配列溝は、それぞれ断面が同一形状の連
続であり、位相が1/2ピッチずれていることが好まし
い。また、前記位置決め溝及び前記光ファイバー配列溝
の断面形状は、略V字状、円弧状及び矩形状から選択さ
れたいずれかであることが好ましい。
【0009】また、本発明の別の光回路部品は、光導波
路基板、単数又は複数の光ファイバー、前記光ファイバ
ーを配列固定するための溝を有する光ファイバー配列基
板とを具備し、前記光導波路基板に前記光ファイバー配
列基板との位置決めを行なうための溝を形成したもので
ある。
【0010】また、本発明のさらに別の光回路部品は、
光導波路基板、単数又は複数の光ファイバー、電子部
品、光ファイバーを配列固定するための溝を有する光フ
ァイバー配列基板とを具備し、前記光導波路基板に前記
光ファイバー配列基板との位置決めを行なうための溝を
形成し、前記光導波路基板及び前記光ファイバー配列基
板のいずれか一方又は両方に前記電子部品を実装するた
めの位置決めマーカを形成したものである。
【0011】上記構成において、前記光ファイバー配列
基板は前記光ファイバーを配列固定するための溝と同一
面に電子部品取付面を有し、前記位置決めマーカは前記
電子部品取付面に対して凸型、凹型及び凸型及び凹型の
組合わせから選択されたいずれかであることが好まし
い。
【0012】また、上記構成において、前記光導波路基
板は複数に分割され、分割された各部分のうち少なくと
も1つは他の部分とは異なる形状の光導波路を有するこ
とが好ましい。または、前記光導波路基板は複数に分割
され、分割された各部分は実質的に同一形状の光導波路
を有し、接続方向が異なることが好ましい。また、前記
分割された光導波路基板の各部分の少なくとも1つは、
2以上の光導波路を結合する結合部を有することが好ま
しい。また、上記各構成において、前記光導波路基板の
光ファイバー接続端面における光導波路の間隔と前記光
ファイバーの間隔とが略一致することが好ましい。
【0013】一方、本発明の光回路部品の製造方法は、
光導波路基板の一方の面に単数又は複数の位置決め溝を
成形し、前記光導波路基板の他方の面に所定の機能を実
現する光導波路を形成し、光ファイバー配列基板の一方
の面に、前記光導波路基板の位置決め溝と係合し、かつ
光ファイバーを配列固定するための光ファイバー配列溝
を形成し、前記光導波路基板を前記光ファイバー配列基
板に固定する方法であって、前記光ファイバー配列溝を
前記光導波路基板のファイバー接続端面における前記光
導波路の間隔と同一の間隔となるように形成したことを
特徴とする。
【0014】上記方法において、前記光導波路基板の位
置決め溝及び前記光ファイバー配列基板の光ファイバー
配列溝は、それぞれ型材を用いて形成されていることが
好ましい。また、前記光導波路基板の位置決め溝及び前
記光ファイバー配列基板の光ファイバー配列溝は、それ
ぞれ同一の型材を用いて形成されていることが好まし
い。また、前記光導波路基板及び前記光ファイバー配列
基板は、それぞれ型材を用いて形成された同一の基板を
切断したものであることが好ましい。
【0015】また、前記光導波路は、型材を用いて前記
光導波路基板の表面に所定パターンの溝を形成し、ガラ
ス又は樹脂の透明な基板を熱処理により直接接合し又は
接着による張り合わせることにより形成されたことが好
ましい。また、前記光導波路と前記位置決め溝は、型材
を用いて同時に形成されたことが好ましい。または、前
記光導波路は、イオン交換法、火炎体積法、CVD法及
びゾルゲル法から選択されたいずれかの方法により、前
記光導波路基板の表面に直接形成されたことが好まし
い。
【0016】また、上記構成において、前記光導波路基
板と前記光ファイバー配列基板とを、熱硬化性樹脂又は
紫外線硬化樹脂を用いた樹脂接着、半田付け及び低融点
ガラスによる固着から選択されたいずれかの方法により
固定したことが好ましい。
【0017】前記光導波路基板及び前記光ファイバー配
列基板のいずれか一方又は両方に電子部品を実装するた
めの位置決めマーカを形成したことが好ましい。また、
前記位置決めマーカは型材によって形成され、電子部品
取付面に対して凸型、凹型及び凸型及び凹型の組合わせ
から選択されたいずれかであることが好ましい。
【0018】また、上記構成において、前記光導波路基
板を複数に分割し、分割された各部分のうち少なくとも
1つに他の部分とは異なる形状の光導波路を形成するこ
とが好ましい。または、前記光導波路基板は複数に分割
し、分割された各部分に実質的に同一形状の光導波路を
形成し、接続方向を異ならせることが好ましい。また、
前記分割された光導波路基板の各部分の少なくとも1つ
に、2以上の光導波路の結合部を形成することが好まし
い。また、上記各構成において、前記光導波路基板の光
ファイバー接続端面における光導波路の間隔と前記光フ
ァイバーの間隔とを略一致させることが好ましい。
【0019】
【作用】以上のように構成された本発明の光回路部品に
よれば、光導波路基板の一方の面(表面)に光導波路構
造を形成し、他方の面(裏面)に単数又は複数の位置決
め溝を形成し、光ファイバー配列基板の光ファイバー配
列溝に光導波路基板の位置決め溝を係合させことによ
り、光ファイバー配列基板に対する光導波路基板の位置
決めが極めて容易になされる。同時に、光ファイバー配
列溝は光ファイバーを配列し固定するための溝を兼ね、
また、光導波路基板の光ファイバー接続端面における光
導波路の間隔と位置決め溝の間隔とが略一致するので、
光ファイバーと光導波路の位置決めも自動的になされ、
光ファイバーと光導波路とが接続される。その結果、従
来必要とされていた光ファイバーと光導波路との位置調
節を省略することができ、光回路素子の組立てが極めて
容易になり、量産性が向上する。
【0020】さらに、位置決め溝及び光ファイバー配列
溝の断面を、それぞれ同一形状の連続とし、位相を1/
2ピッチずらすことにより、位置決め溝と光ファイバー
配列溝とが複数の面で接触し、溝方向に直交する方向に
対する位置決め精度が極めて高くなる。また、位置決め
溝及び光ファイバー配列溝の断面形状を略V字状、円弧
状及び矩形状から選択されたいずれかとすることによ
り、機械加工が容易になり、また、加工精度を向上させ
ることができる。
【0021】また、本発明の別の光回路部品によれば、
光導波路基板、単数又は複数の光ファイバー、光ファイ
バーを配列固定するための溝を有する光ファイバー配列
基板とを具備し、光導波路基板に光ファイバー配列基板
との位置決めを行なうための溝を形成したので、当該光
導波路基板の溝を光ファイバー配列基板の光ファイバー
を配列固定用の溝に係合させ、光導波路基板の光ファイ
バー配列基板に対する位置決めを行うことができる。
【0022】また、本発明のさらに別の光回路部品によ
れば、光導波路基板、単数又は複数の光ファイバー、電
子部品、光ファイバーを配列固定するための溝を有する
光ファイバー配列基板とを具備し、光導波路基板に光フ
ァイバー配列基板との位置決めを行なうための溝を形成
し、光導波路基板及び光ファイバー配列基板のいずれか
一方又は両方に前記電子部品を実装するための位置決め
マーカを形成したので、当該光導波路基板の溝を光ファ
イバー配列基板の光ファイバーを配列固定用の溝に係合
させ、光導波路基板の光ファイバー配列基板に対する位
置決めを行うことができるとともに、電子部品、例えば
発光素子、受光素子、電極配線、電子回路、半導体素
子、IC、LSI等を光回路素子に一体的に実装するこ
とができる。また、位置決めマーカにより、光導波路と
実装素子の位置決めを精度良く行うことができる。
【0023】また、光ファイバー配列基板に光ファイバ
ーを配列固定するための溝と同一面に電子部品取付面を
設け、位置決めマーカを電子部品取付面に対して凸型、
凹型及び凸型及び凹型の組合わせから選択されたいずれ
かとすることにより、光ファイバーを配列固定するため
の溝と位置決めマーカとを型を用いて同時に形成するこ
とができ、加工が容易になるとともに、光ファイバーを
配列固定するための溝と位置決めマーカとの相対的位置
精度を極めて高くすることができる。
【0024】また、光導波路基板を複数に分割し、分割
された各部分のうち少なくとも1つに他の部分とは異な
る形状の光導波路、例えば光分岐や合波等の基本機能を
有する光導波路を形成し、これら光導波路の形状を任意
に組合わせることにより、所望の機能を有する光回路部
品を得ることができる。
【0025】または、光導波路基板を複数に分割し、分
割された各部分に実質的に同一形状の光導波路、例えば
等間隔で配列された複数の光導波路を対称的に分岐させ
たり結合させた光導波路システム等を形成し、接続方向
を異ならせることにより、実質的に1種類の光導波路基
板により多機能の光回路部品を構成することができる。
【0026】また、分割された光導波路基板の各部分の
少なくとも1つに2以上の光導波路を結合する結合部を
設けることにより、光合分波器として光通信システムに
用いることができる。
【0027】また、光導波路基板の光ファイバー接続端
面における光導波路の間隔と前記光ファイバーの間隔と
を略一致させることにより、光ファイバー配列基板の溝
に光ファイバを配列固定し、当該溝に光導波路基板の溝
を係合させることにより、光導波路と光ファイバーとの
相対的な位置決めが自動的になされる。
【0028】一方、本発明の光回路部品の製造方法によ
れば、光導波路基板の一方の面に単数又は複数の位置決
め溝を成形し、光導波路基板の他方の面に所定の機能を
実現する光導波路を形成し、光ファイバー配列基板の一
方の面に、光導波路基板の位置決め溝と係合し、かつ光
ファイバーを配列固定するための光ファイバー配列溝を
形成し、光導波路基板を前記光ファイバー配列基板に固
定し、光ファイバー配列溝を光導波路基板のファイバー
接続端面における光導波路の間隔と同一の間隔となるよ
うに形成するので、光導波路と光ファイバーとの配列方
向に直交する方向における位置精度が極めて高い光回路
部品を容易に得ることができる。
【0029】また、光導波路基板の位置決め溝及び光フ
ァイバー配列基板の光ファイバー配列溝を、それぞれ型
材を用いて形成することにより、再現性及び寸法精度の
高い基板が得られる。また、光導波路基板の位置決め溝
及び光ファイバー配列基板の光ファイバー配列溝を、そ
れぞれ同一の型材を用いて形成することにより、位置決
め溝及び光ファイバー配列溝の係合精度が極めて高くな
る。同様に、光導波路基板及び光ファイバー配列基板
を、それぞれ型材を用いて形成した同一の基板を切断し
たものとしても、位置決め溝及び光ファイバー配列溝の
係合精度が極めて高くなる。さらに、加工工程及び部品
点数が削減される。
【0030】また、光導波路を、型材を用いて光導波路
基板の表面に所定パターンの溝を形成し、ガラス又は樹
脂の透明な基板を熱処理により直接接合し又は接着によ
る張り合わせることにより形成することにより、容易に
光導波路基板の表面に光導波路を形成することができ
る。また、光導波路と位置決め溝を、型材を用いて同時
に形成することにより、加工工程が削減されるととも
に、光導波路と位置決め溝の相対的位置精度が向上す
る。
【0031】または、光導波路を、イオン交換法、火炎
体積法、CVD法及びゾルゲル法から選択されたいずれ
かの方法により、光導波路基板の表面に直接形成するこ
とにより、同様に容易に光導波路基板の表面に光導波路
を形成することができる。
【0032】また、光導波路基板と光ファイバー配列基
板とを、熱硬化性樹脂又は紫外線硬化樹脂を用いた樹脂
接着、半田付け及び低融点ガラスによる固着から選択さ
れたいずれかの方法により固定することにより、光導波
路基板と光ファイバー配列基板とが強固に固定されると
ともに、光導波路基板と光ファイバー配列基板の熱膨張
係数と、これらの接合材料の熱膨張係数が近いため、熱
膨張差による破損を防止することができる。
【0033】また、光導波路基板及び光ファイバー配列
基板のいずれか一方又は両方に電子部品を実装するため
の位置決めマーカを形成することにより、電子部品、例
えば発光素子、受光素子、電極配線、電子回路、半導体
素子、IC、LSI等を光回路素子に一体的に実装する
ことができる。また、位置決めマーカにより、光導波路
と実装素子の位置決めを精度良く行うことができる。
【0034】また、位置決めマーカを型材によって形成
し、電子部品取付面に対して凸型、凹型及び凸型及び凹
型の組合わせから選択されたいずれかとすることによ
り、光ファイバーを配列固定するための溝と位置決めマ
ーカとを型を用いて同時に形成することができ、加工が
容易になるとともに、光ファイバーを配列固定するため
の溝と位置決めマーカとの相対的位置精度を極めて高く
することができる。
【0035】また、光導波路基板を複数に分割し、分割
された各部分のうち少なくとも1つに他の部分とは異な
る形状の光導波路、例えば光分岐や合波等の基本機能を
有する光導波路を形成し、これら光導波路の形状を任意
に組合わせることにより、所望の機能を有する光回路部
品を得ることができる。
【0036】または、光導波路基板を複数に分割し、分
割された各部分に実質的に同一形状の光導波路、例えば
等間隔で配列された複数の光導波路を対称的に分岐させ
たり結合させた光導波路システム等を形成し、接続方向
を異ならせることにより、実質的に1種類の光導波路基
板により多機能の光回路部品を構成することができる。
【0037】また、分割された光導波路基板の各部分の
少なくとも1つに2以上の光導波路を結合する結合部を
設けることにより、光合分波器として光通信システムに
用いることができる。
【0038】また、光導波路基板の光ファイバー接続端
面における光導波路の間隔と前記光ファイバーの間隔と
を略一致させることにより、光ファイバー配列基板の溝
に光ファイバを配列固定し、当該溝に光導波路基板の溝
を係合させることにより、光導波路と光ファイバーとの
相対的な位置決めが自動的になされる。
【0039】
【実施例】
(第1の実施例)以下、本発明の光回路部品及びその製
造方法の第1の実施例を、図面を参照しつつ説明する。
図1から図3は、順に本実施例の光回路部品が製造され
ていく工程を示す斜視図である。まず、図1に示すよう
に、透明なガラス又は樹脂の基板11に型材(図示せ
ず)を用いて、基板11の一方の面(裏面)に位置決め
溝12を成形する。次に、図2に示すように、基板11
の他方の面(表面)に所定の機能を実現する光導波路1
3を形成する。光導波路13は、型材を用いて基板11
の表面に所定パターンの溝を形成し、ガラス又は樹脂の
透明な基板を熱処理により直接接合し又は接着による張
り合わせることにより形成される。あるいは、ガラス基
板上のパタ−ニングされた部分をイオン交換により三次
元導波路を形成するイオン交換法、酸水素バ−ナにより
石英系ガラスを基板上に堆積させる火炎体積法、原料気
体を活性、分解し、薄膜を形成するCVD法、ガラス原
料のシリコンアルコキシドを加水分解させたゾル液をゲ
ル化するゾルゲル法を用いて、基板11の表面に直接光
導波路13を形成してもよい。特に、型材を用いた成形
方法によれば、光導波路13用の溝と位置決め溝12と
を、同時に、かつ高精度に形成することができる。これ
により、裏面に位置決め溝12を有する光導波路基板1
1が形成される。なお、光導波路13の端面部と位置決
め溝12の位置と間隔を揃えて形成しておく。また、光
導波路13として4対4のスターカップラーを例示した
が、これに限定されるものではなく、他のパターンであ
っても同様である。
【0040】次に、図3に示すように、光導波路基板1
1を光ファイバー配列基板21に固定する。光ファイバ
ー配列基板21の一方の面(表面)には、光ファイバー
を光導波路13と高精度に位置決めし固定するための光
ファイバー配列溝22が形成されている。光ファイバー
配列基板21の光ファイバー配列溝22は、例えば、型
材による成形によって作製する。一般に、成形による溝
作製は、再現性が良く、かつ、量産可能であるため、製
作コストを低減させることができる。光導波路基板11
と光ファイバー配列基板21の固定方法としては、熱硬
化性樹脂又は紫外線硬化樹脂を用いた樹脂接着、半田付
け、低融点ガラスによる固着等を用いることができる。
【0041】次に、図3における光回路部品の光導波路
端面の断面を図4に示す。また、図5に、光ファイバー
30を光ファイバー配列溝22に配列固定した光回路部
品を示す。図4に示すように、光導波路基板11の裏面
の位置決め溝12と光ファイバー配列基板21の表面の
光ファイバー配列溝22とは、それぞれ断面が連続した
V字形状であり、位相が1/2ピッチずれている。すな
わち、光導波路基板11と光ファイバー配列基板21と
は、隙間なく固定されている。なお、光導波路基板11
の位置決め溝12と光ファイバー配列基板21の光ファ
イバー配列溝22の断面形状はこれに限定させるもので
はなく、固定に使用する接着材等の特性に応じ、位置決
めのできる形状であれば、円弧状、矩形状等であっても
良い。また、溝底部に隙間が空いても、光導波路基板1
1と光ファイバー配列基板21とを固定することができ
れば充分である。
【0042】以上のように、光導波路基板11に光導波
路13のピッチ間隔と同ピッチで、かつ、光ファイバー
配列溝22とピッチ間隔の等しい位置決め溝12を形成
することにより、無調整で高精度の光ファイバーと光導
波路の位置決め及び結合を実現することができる。ま
た、光導波路基板11に形成する位置決め溝12と、光
ファイバー配列基板21の光ファイバー配列溝22を、
同じ型材を用いて製作することにより、位置決め精度及
び寸法等のばらつきを小さくすることができる。また、
光導波路基板11と光ファイバー配列基板21とを同じ
材料で作製することにより、光ファイバー配列基板21
をあらかじめ長い目に作製し、この光ファイバー配列基
板21を所定の長さに切断し、残った部分を光導波路基
板11として用いてもよい。この場合、1種類の型材に
より光導波路基板11と光ファイバー配列基板21とを
同時に作製することができる。
【0043】(第2の実施例)次に、本発明の光回路部
品及びその製造方法の第2の実施例を、図6を参照しつ
つ説明する。なお、上記第1の実施例と同一の番号を付
した部材は実質的に同一であるため、その説明を省略す
る。図6に示す第2の実施例では、第1の実施例の光フ
ァイバ配列基板21と異なり、光ファイバー/電気部品
実装基板31が用いられている。光ファイバー/電気部
品実装基板31を成形する際、光ファイバー固定用溝の
成形と同時に、発光素子、受光素子、電極配線、電子回
路、半導体素子、IC、LSI等の電子部品を実装する
ための位置決めマーカ32の刻印を行なう。位置決めマ
ーカ32は、光ファイバー/電気部品実装基板31の電
子部品取付面31aに対して凸型、凹型、又は凸型及び
凹型の組合わせのいずれの構造であってもよい。位置決
めマーカ32により、光導波路13と実装素子の位置決
めを精度良く行うことができる。
【0044】第2の実施例を用いた半導体レーザアレイ
素子41と光合波分岐器用光導波路基板11、出力用光
ファイバー42を実装した光送信器の斜視図を図7に示
す。半導体レーザアレイ素子41からの4つの出力光は
光導波路基板11により合波され、さらに4分岐され、
それぞれ出力用光ファイバー42により出力として送信
される。図6に示す位置決めマーカ32、位置決め溝1
2及び光ファイバー配列溝22により、半導体レーザア
レイ素子41の出力部とそれに対応するように配列され
た光導波路基板11上に形成された光導波路13の端面
とが容易に結合される。さらに、光導波路13で合波/
分岐された光は各光ファイバー42のコア部に位置した
光導波路端面に伝搬され、各光ファイバー42にそれぞ
れ入力され、光ファイバー42内を出力として送信され
る。以上のように、第2の実施例によれば、従来調整を
必要とされていた半導体レーザアレイ素子、光導波路及
び光ファイバーを、それぞれ調整をすることなく高精度
に組み立て、実装することが可能となる。
【0045】(第3の実施例)次に、本発明の光回路部
品の第3の実施例を図8に示す。第3の実施例は、1つ
の入力用光ファイバー51からの入射光を4分岐し、そ
れぞれ別の4本の出力用光ファイバー52から出力する
光分岐型光回路部品の一例である。本実施例の構成は、
上記第1の実施例と同様であるが、光を分岐する光導波
路基板11が第1及び第2の光導波路基板11a及び1
1bに2分割されている。第1の光導波路基板11aは
2分岐の機能を、第2の光導波路基板11bは2つの2
分岐の機能を有しており、各々の光導波路の接続端面で
の間隔を一致させておくことにより、4分岐の機能を実
現することができる。
【0046】(第4の実施例)次に、本発明の光回路部
品の第4の実施例を図9に示す。第4の実施例は、波長
の異なる入射光λ1、λ2、λ3をそれぞれ別の3本の
入力用光ファイバー53a、53b、53cにより入力
し、1本の出力光ファイバー54から出力する光合波型
の光回路部品の一例である。光導波路基板61は、第
1、第2、第3及び第4の光導波路基板61a、61
b、61c及び61dに4分割され、第1及び第4の光
導波路基板61a及び61dは略同一形状を有し、それ
ぞれ2本の光導波路13a及び13b、13f及び13
gを有している。また、光導波路13aと13b及び光
導波路13fと13gとは、それぞれ結合部13d及び
13hにおいて結合されている。なお、第1の光導波路
基板61aと第4の光導波路基板61dとはそれぞれ逆
向きに接続されている。また、第2及び第3の光導波路
基板61b及び61cは略同一形状を有し、それぞれ1
本の光導波路13c及び13eを有している。
【0047】光ファイバー配列基板21上に配列された
入力用光ファイバー53a、53b、53cの各端面は
第1の光導波路基板61aの光導波路13a、13b及
び第2の光導波路基板61bの光導波路13cの各接続
端面にそれぞれ接続されている。入力用光ファイバー5
3a及び53bからの入力光λ1及びλ2はそれぞれ光
導波路13a及び13b内を伝送され、結合部13dに
おいて合波される。入力用光ファイバー53cからの波
長λ3の光は光導波路13c内を伝送され、そのまま第
2の光導波路基板61bを通り、第4の光導波路基板6
1dの光導波路13gに入力される。第1の光導波路基
板61aにおいてすでに合波され、光導波路13f内を
伝送されてきた波長λ1とλ2の光と、光導波路13g
内を伝送されてきた波長λ3の光とが結合部13hにお
いて合波され、出力用光ファイバー54から出力され
る。このように複数枚の光導波路基板61a〜61d等
を任意に組み合わせることにより、所望の機能を有する
光回路部品を得ることができる。
【0048】なお、上記構成の場合、第3の光導波路基
板61cは必ずしも必要ではない。また、第1の光導波
路基板61aと第2の光導波路基板61bと、及び第3
の光導波路基板61cと第4の光導波路基板61dとを
それぞれ1枚に構成してもよい。さらに、光ファイバー
配列基板21を複数のもので構成してもよい。また、必
ずしも光導波路基板11と光ファイバー配列基板21の
幅を一致させる必要はない。
【0049】一般に、1枚の導波路基板に全ての機能素
子を集積化すると、基板サイズが大型化したり、量産効
果が小さくなる。しかし、本実施例のように光分岐や合
波等の基本機能を有する光導波路基板をあらかじめ複数
種類量産しておき、求められている機能に応じて、これ
らの光導波路基板の組合せりことにより、光ファイバー
配列溝基板21上に無調整で実装することができ、損失
の少ない光回路部品を低コストで大量に提供することが
可能である。なお、本実施例における光導波路基板61
a〜61d及び光ファイバー配列溝基板21を、上記第
1の実施例と同様に型材を用いて成形により製造するこ
とが好ましい。
【0050】
【発明の効果】以上のように、本発明の光回路部品によ
れば、光導波路基板の一方の面(表面)に光導波路構造
を形成し、他方の面(裏面)に単数又は複数の位置決め
溝を形成し、光ファイバー配列基板の光ファイバー配列
溝に光導波路基板の位置決め溝を係合させことにより、
光ファイバー配列基板に対する光導波路基板の位置決め
を極めて容易に行うことができる。同時に、光ファイバ
ー配列溝は光ファイバーを配列し固定するための溝を兼
ね、また、光導波路基板の光ファイバー接続端面におけ
る光導波路の間隔と位置決め溝の間隔とが略一致するの
で、光ファイバーと光導波路の位置決めも自動的に行う
ことができ、光ファイバーと光導波路とを容易に接続す
ることができる。その結果、従来必要とされていた光フ
ァイバーと光導波路との位置調節を省略することがで
き、光回路素子の組立てが極めて容易になり、量産性を
向上させることができる。
【0051】さらに、位置決め溝及び光ファイバー配列
溝の断面を、それぞれ同一形状の連続とし、位相を1/
2ピッチずらすことにより、位置決め溝と光ファイバー
配列溝とを複数の面で接触させることができ、溝方向に
直交する方向に対する位置決め精度を極めて高くするこ
とができる。また、位置決め溝及び光ファイバー配列溝
の断面形状を略V字状、円弧状及び矩形状から選択され
たいずれかとすることにより、機械加工が容易になり、
また、加工精度を向上させることができる。
【0052】また、本発明の別の光回路部品によれば、
光導波路基板、単数又は複数の光ファイバー、光ファイ
バーを配列固定するための溝を有する光ファイバー配列
基板とを具備し、光導波路基板に光ファイバー配列基板
との位置決めを行なうための溝を形成したので、当該光
導波路基板の溝を光ファイバー配列基板の光ファイバー
を配列固定用の溝に係合させ、光導波路基板の光ファイ
バー配列基板に対する位置決めを行うことができる。
【0053】また、本発明のさらに別の光回路部品によ
れば、光導波路基板、単数又は複数の光ファイバー、電
子部品、光ファイバーを配列固定するための溝を有する
光ファイバー配列基板とを具備し、光導波路基板に光フ
ァイバー配列基板との位置決めを行なうための溝を形成
し、光導波路基板及び光ファイバー配列基板のいずれか
一方又は両方に電子部品を実装するための位置決めマー
カを形成したので、当該光導波路基板の溝を光ファイバ
ー配列基板の光ファイバーを配列固定用の溝に係合さ
せ、光導波路基板の光ファイバー配列基板に対する位置
決めを行うことができるとともに、電子部品、例えば発
光素子、受光素子、電極配線、電子回路、半導体素子、
IC、LSI等を光回路素子に一体的に実装することが
できる。また、位置決めマーカにより、光導波路と実装
素子の位置決めを精度良く行うことができる。
【0054】また、光ファイバー配列基板に光ファイバ
ーを配列固定するための溝と同一面に電子部品取付面を
設け、位置決めマーカを電子部品取付面に対して凸型、
凹型及び凸型及び凹型の組合わせから選択されたいずれ
かとすることにより、光ファイバーを配列固定するため
の溝と位置決めマーカとを型を用いて同時に形成するこ
とができ、加工が容易になるとともに、光ファイバーを
配列固定するための溝と位置決めマーカとの相対的位置
精度を極めて高くすることができる。
【0055】また、光導波路基板を複数に分割し、分割
された各部分のうち少なくとも1つに他の部分とは異な
る形状の光導波路、例えば光分岐や合波等の基本機能を
有する光導波路を形成し、これら光導波路の形状を任意
に組合わせることにより、所望の機能を有する光回路部
品を得ることができる。
【0056】または、光導波路基板を複数に分割し、分
割された各部分に実質的に同一形状の光導波路、例えば
等間隔で配列された複数の光導波路を対称的に分岐させ
たり結合させた光導波路システム等を形成し、接続方向
を異ならせることにより、実質的に1種類の光導波路基
板により多機能の光回路部品を構成することができる。
【0057】また、分割された光導波路基板の各部分の
少なくとも1つに2以上の光導波路を結合する結合部を
設けることにより、光合分波器として光通信システムに
用いることができる。
【0058】また、光導波路基板の光ファイバー接続端
面における光導波路の間隔と前記光ファイバーの間隔と
を略一致させることにより、光ファイバー配列基板の溝
に光ファイバを配列固定し、当該溝に光導波路基板の溝
を係合させることにより、光導波路と光ファイバーとの
相対的な位置決めを自動的に行うことができ、従来必要
とされていた光導波路と光ファイバーとの位置調整を省
略することができる。
【0059】一方、本発明の光回路部品の製造方法によ
れば、光導波路基板の一方の面に単数又は複数の位置決
め溝を成形し、光導波路基板の他方の面に所定の機能を
実現する光導波路を形成し、光ファイバー配列基板の一
方の面に、光導波路基板の位置決め溝と係合し、かつ光
ファイバーを配列固定するための光ファイバー配列溝を
形成し、光導波路基板を前記光ファイバー配列基板に固
定し、光ファイバー配列溝を光導波路基板のファイバー
接続端面における光導波路の間隔と同一の間隔となるよ
うに形成するので、光導波路と光ファイバーとの配列方
向に直交する方向における位置精度が極めて高い光回路
部品を容易に得ることができる。
【0060】また、光導波路基板の位置決め溝及び光フ
ァイバー配列基板の光ファイバー配列溝を、それぞれ型
材を用いて形成することにより、再現性及び寸法精度の
高い基板が得られる。また、光導波路基板の位置決め溝
及び光ファイバー配列基板の光ファイバー配列溝を、そ
れぞれ同一の型材を用いて形成することにより、位置決
め溝及び光ファイバー配列溝の係合精度が極めて高くな
る。同様に、光導波路基板及び光ファイバー配列基板
を、それぞれ型材を用いて形成した同一の基板を切断し
たものとしても、位置決め溝及び光ファイバー配列溝の
係合精度を極めて高くすることができる。さらに、加工
工程及び部品点数を削減することができる。
【0061】また、光導波路を、型材を用いて光導波路
基板の表面に所定パターンの溝を形成し、ガラス又は樹
脂の透明な基板を熱処理により直接接合し又は接着によ
る張り合わせることにより形成することにより、容易に
光導波路基板の表面に光導波路を形成することができ
る。また、光導波路と位置決め溝を、型材を用いて同時
に形成することにより、加工工程を削減することができ
るとともに、光導波路と位置決め溝の相対的位置精度を
向上させることができる。
【0062】または、光導波路を、イオン交換法、火炎
体積法、CVD法及びゾルゲル法から選択されたいずれ
かの方法により、光導波路基板の表面に直接形成するこ
とにより、同様に容易に光導波路基板の表面に光導波路
を形成することができる。
【0063】また、光導波路基板と光ファイバー配列基
板とを、熱硬化性樹脂又は紫外線硬化樹脂を用いた樹脂
接着、半田付け及び低融点ガラスによる固着から選択さ
れたいずれかの方法により固定することにより、光導波
路基板と光ファイバー配列基板とが強固に固定されると
ともに、光導波路基板と光ファイバー配列基板の熱膨張
係数と、これらの接合材料の熱膨張係数が近いため、熱
膨張差による破損を防止することができる。
【0064】また、光導波路基板及び光ファイバー配列
基板のいずれか一方又は両方に電子部品を実装するため
の位置決めマーカを形成することにより、電子部品、例
えば発光素子、受光素子、電極配線、電子回路、半導体
素子、IC、LSI等を光回路素子に一体的に実装する
ことができる。また、位置決めマーカにより、光導波路
と実装素子の位置決めを精度良く行うことができる。
【0065】また、位置決めマーカを型材によって形成
し、電子部品取付面に対して凸型、凹型及び凸型及び凹
型の組合わせから選択されたいずれかとすることによ
り、光ファイバーを配列固定するための溝と位置決めマ
ーカとを型を用いて同時に形成することができ、加工が
容易になるとともに、光ファイバーを配列固定するため
の溝と位置決めマーカとの相対的位置精度を極めて高く
することができる。
【0066】また、光導波路基板を複数に分割し、分割
された各部分のうち少なくとも1つに他の部分とは異な
る形状の光導波路、例えば光分岐や合波等の基本機能を
有する光導波路を形成し、これら光導波路の形状を任意
に組合わせることにより、所望の機能を有する光回路部
品を得ることができる。
【0067】または、光導波路基板を複数に分割し、分
割された各部分に実質的に同一形状の光導波路、例えば
等間隔で配列された複数の光導波路を対称的に分岐させ
たり結合させた光導波路システム等を形成し、接続方向
を異ならせることにより、実質的に1種類の光導波路基
板により多機能の光回路部品を構成することができる。
【0068】また、分割された光導波路基板の各部分の
少なくとも1つに2以上の光導波路を結合する結合部を
設けることにより、光合分波器として光通信システムに
用いることができる。
【0069】また、光導波路基板の光ファイバー接続端
面における光導波路の間隔と前記光ファイバーの間隔と
を略一致させることにより、光ファイバー配列基板の溝
に光ファイバを配列固定し、当該溝に光導波路基板の溝
を係合させることにより、光導波路と光ファイバーとの
相対的な位置決めが自動的になされる。
【0070】以上述べたところから明らかなように、本
発明は、光導波路と光ファイバー、実装素子との結合固
定性、実装性等に優れた、低コストで量産性に優れた光
回路部品及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光回路部品及びその製造方法の第1実
施例における光導波路基板の構成を示す斜視図
【図2】本発明の光回路部品及びその製造方法の第1実
施例における光導波路基板の光導波路形成後の構成を示
す斜視図
【図3】本発明の光回路部品及びその製造方法の第1実
施例における光導波路基板と光ファイバー配列基板とを
係合させた状態を示す斜視図
【図4】本発明の光回路部品及びその製造方法の第1実
施例における光回路部品の断面図
【図5】本発明の光回路部品及びその製造方法の第1実
施例における光回路部品の構成を示す斜視図
【図6】本発明の光回路部品及びその製造方法の第2実
施例における光導波路基板と光ファイバー配列基板とを
係合させた状態を示す斜視図
【図7】本発明の光回路部品及びその製造方法の第2実
施例における光回路部品の構成を示す斜視図
【図8】本発明の光回路部品の第3の実施例における光
分岐回路部品の構成を示す平面図
【図9】本発明の光回路部品の第4の実施例における光
合波回路部品の構成を示す平面図
【図10】従来の光回路部品の構成を示す斜視図
【符号の説明】
11 :光導波路基板 12 :位置決め溝 13 :光導波路 13a〜13c:光導波路 13d,13h:結合部 13e〜13g:光導波路 21 :光ファイバー配列基板 22 :光ファイバー配列溝 30 :光ファイバー 31 :光ファイバー/電気部品実装基板31 32 :位置決めマーカ 41 :半導体レーザアレイ素子41 42 :出力用光ファイバー 51 :入力用光ファイバー 52 :出力用光ファイバー 53a〜53c:入力用光ファイバー 54 :出力光ファイバー 61 :光導波路基板 61a:第1の光導波路基板 61b:第2の光導波路基板 61c:第3の光導波路基板 61d:第4の光導波路基板

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一方の面に光導波路構造を有し、他方の
    面に単数又は複数の位置決め溝を有する光導波路基板
    と、前記光導波路基板の位置決め溝と係合し、かつ光フ
    ァイバーを配列固定するための光ファイバー配列溝を有
    する光ファイバー配列基板とを具備し、前記光導波路基
    板の光ファイバー接続端面における光導波路の間隔と前
    記位置決め溝の間隔とが略一致することを特徴とする光
    回路部品。
  2. 【請求項2】 前記位置決め溝及び前記光ファイバー配
    列溝は、それぞれ断面が同一形状の連続であり、位相が
    1/2ピッチずれていることを特徴とする請求項1記載
    の光回路部品。
  3. 【請求項3】 前記位置決め溝及び前記光ファイバー配
    列溝の断面形状は、略V字状、円弧状及び矩形状から選
    択されたいずれかである請求項2記載の光回路部品。
  4. 【請求項4】 光導波路基板、単数又は複数の光ファイ
    バー、前記光ファイバーを配列固定するための溝を有す
    る光ファイバー配列基板とを具備し、前記光導波路基板
    に前記光ファイバー配列基板との位置決めを行なうため
    の溝を形成した光回路部品。
  5. 【請求項5】 光導波路基板、単数又は複数の光ファイ
    バー、電子部品、光ファイバーを配列固定するための溝
    を有する光ファイバー配列基板とを具備し、前記光導波
    路基板に前記光ファイバー配列基板との位置決めを行な
    うための溝を形成し、前記光導波路基板及び前記光ファ
    イバー配列基板のいずれか一方又は両方に前記電子部品
    を実装するための位置決めマーカを形成した光回路部
    品。
  6. 【請求項6】 前記光ファイバー配列基板は前記光ファ
    イバーを配列固定するための溝と同一面に電子部品取付
    面を有し、前記位置決めマーカは前記電子部品取付面に
    対して凸型、凹型及び凸型及び凹型の組合わせから選択
    されたいずれかである請求項5記載の光回路部品。
  7. 【請求項7】 前記光導波路基板は複数に分割され、分
    割された各部分のうち少なくとも1つは他の部分とは異
    なる形状の光導波路を有することを特徴とする請求項4
    から6のいずれかに記載の光回路部品。
  8. 【請求項8】 前記光導波路基板は複数に分割され、分
    割された各部分は実質的に同一形状の光導波路を有し、
    接続方向が異なることを特徴とする請求項4から6のい
    ずれかに記載の光回路部品。
  9. 【請求項9】 前記分割された光導波路基板の各部分の
    少なくとも1つは、2以上の光導波路を結合する結合部
    を有する請求項7又は8に記載の光回路部品。
  10. 【請求項10】 前記光導波路基板の光ファイバー接続
    端面における光導波路の間隔と前記光ファイバーの間隔
    とが略一致することを特徴とする請求項3から9のいず
    れかに記載の光回路部品。
  11. 【請求項11】 光導波路基板の一方の面に単数又は複
    数の位置決め溝を成形し、前記光導波路基板の他方の面
    に所定の機能を実現する光導波路を形成し、光ファイバ
    ー配列基板の一方の面に、前記光導波路基板の位置決め
    溝と係合し、かつ光ファイバーを配列固定するための光
    ファイバー配列溝を形成し、前記光導波路基板を前記光
    ファイバー配列基板に固定する光回路部品の製造方法で
    あって、前記光ファイバー配列溝を前記光導波路基板の
    ファイバー接続端面における前記光導波路の間隔と同一
    の間隔となるように形成したことを特徴とする光回路部
    品の製造方法。
  12. 【請求項12】 前記光導波路基板の位置決め溝及び前
    記光ファイバー配列基板の光ファイバー配列溝は、それ
    ぞれ型材を用いて形成されていることを特徴とする請求
    項11記載の光回路部品の製造方法。
  13. 【請求項13】 前記光導波路基板の位置決め溝及び前
    記光ファイバー配列基板の光ファイバー配列溝は、それ
    ぞれ同一の型材を用いて形成されていることを特徴とす
    る請求項12記載の光回路部品の製造方法。
  14. 【請求項14】 前記光導波路基板及び前記光ファイバ
    ー配列基板は、それぞれ型材を用いて形成された同一の
    基板を切断したものである請求項11から13のいずれ
    かに記載の光回路部品の製造方法。
  15. 【請求項15】 前記光導波路は、型材を用いて前記光
    導波路基板の表面に所定パターンの溝を形成し、ガラス
    又は樹脂の透明な基板を熱処理により直接接合し又は接
    着による張り合わせることにより形成されたことを特徴
    とする請求項11から14のいずれかに記載の光回路部
    品の製造方法。
  16. 【請求項16】 前記光導波路と前記位置決め溝は、型
    材を用いて同時に形成されたことを特徴とする請求項1
    1から14のいずれかに記載の光回路部品の製造方法。
  17. 【請求項17】 前記光導波路は、イオン交換法、火炎
    体積法、CVD法及びゾルゲル法から選択されたいずれ
    かの方法により、前記光導波路基板の表面に直接形成さ
    れたことを特徴とする請求項11から14のいずれかに
    記載の光回路部品の製造方法。
  18. 【請求項18】 前記光導波路基板と前記光ファイバー
    配列基板とを、熱硬化性樹脂又は紫外線硬化樹脂を用い
    た樹脂接着、半田付け及び低融点ガラスによる固着から
    選択されたいずれかの方法により固定したことを特徴と
    する請求項11から17のいずれかに記載の光回路部品
    の製造方法。
  19. 【請求項19】 前記光導波路基板及び前記光ファイバ
    ー配列基板のいずれか一方又は両方に電子部品を実装す
    るための位置決めマーカを形成したことを特徴とする請
    求項11から18のいずれかに記載の光回路部品の製造
    方法。
  20. 【請求項20】 位置決めマーカは型材によって形成さ
    れ、電子部品取付面に対して凸型、凹型及び凸型及び凹
    型の組合わせから選択されたいずれかである請求項19
    記載の光回路部品の製造方法。
  21. 【請求項21】 前記光導波路基板を複数に分割し、分
    割された各部分のうち少なくとも1つに他の部分とは異
    なる形状の光導波路を形成することを特徴とする請求項
    11から20のいずれかに記載の光回路部品の製造方
    法。
  22. 【請求項22】 前記光導波路基板は複数に分割し、分
    割された各部分に実質的に同一形状の光導波路を形成
    し、接続方向を異ならせることを特徴とする請求項11
    から20のいずれかに記載の光回路部品の製造方法。
  23. 【請求項23】 前記分割された光導波路基板の各部分
    の少なくとも1つに、2以上の光導波路の結合部を形成
    する請求項21又は22に記載の光回路部品の製造方
    法。
  24. 【請求項24】 前記光導波路基板の光ファイバー接続
    端面における光導波路の間隔と前記光ファイバーの間隔
    とを略一致させることを特徴とする請求項11から23
    のいずれかに記載の光回路部品。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998053349A1 (de) * 1997-05-23 1998-11-26 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur herstellung thermooptischer schaltelemente
JP2003241008A (ja) * 2002-02-14 2003-08-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 光モジュール
JP2011002709A (ja) * 2009-06-19 2011-01-06 Sumitomo Bakelite Co Ltd 光導波路接合体製造用治具および光導波路接合体の製造方法

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5970200A (en) * 1997-03-21 1999-10-19 Kabushiki Kaisha Toshiba Apparatus having optical components and a manufacturing method thereof
JPH11119064A (ja) * 1997-10-17 1999-04-30 Fujitsu Ltd 光伝送端末装置
US6524346B1 (en) * 1999-02-26 2003-02-25 Micron Technology, Inc. Stereolithographic method for applying materials to electronic component substrates and resulting structures
US6219470B1 (en) * 1999-09-23 2001-04-17 Xiang Zheng Tu Wavelength division multiplexing transmitter and receiver module
US7058245B2 (en) * 2000-04-04 2006-06-06 Waveguide Solutions, Inc. Integrated optical circuits
EP1184696A1 (en) * 2000-08-30 2002-03-06 Corning Incorporated Self-aligning optical component assembly on a common substrate
US6628865B2 (en) * 2000-12-15 2003-09-30 Intel Corporation Alignment of optical fibers to an etched array waveguide
US6886989B2 (en) 2000-12-15 2005-05-03 Intel Corporation Alignment of fiber optic bundle to array waveguide using pins
US20040212802A1 (en) * 2001-02-20 2004-10-28 Case Steven K. Optical device with alignment compensation
US6443631B1 (en) 2001-02-20 2002-09-03 Avanti Optics Corporation Optical module with solder bond
US6546173B2 (en) * 2001-02-20 2003-04-08 Avanti Optics Corporation Optical module
US6546172B2 (en) 2001-02-20 2003-04-08 Avanti Optics Corporation Optical device
US6956999B2 (en) 2001-02-20 2005-10-18 Cyberoptics Corporation Optical device
AU2002307402A1 (en) * 2001-04-18 2002-11-05 L3 Optics, Inc. Method and apparatus for passive self alignment of optical fiber arrays and other structures to substrate optical wave guides
US20020186954A1 (en) * 2001-04-30 2002-12-12 Schott Optovance, Inc. Fiber optic array assembly and method of making the same
US7006737B2 (en) * 2001-10-05 2006-02-28 Fiber Optics Network Solutions Corp. Integrated optical splitter system
EP1376170A3 (en) * 2002-06-19 2004-12-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical waveguide, optical module, and method for producing same module
US20040264870A1 (en) * 2002-08-20 2004-12-30 Skunes Timothy A. Optical alignment mount with height adjustment
TWI388892B (zh) * 2004-06-16 2013-03-11 Hitachi Chemical Co Ltd 光導波管結構體、光導波管光模組以及光纖陣列
US7748910B2 (en) * 2006-02-28 2010-07-06 Hitachi Chemical Company, Ltd. Optical system and method of manufacturing the same
KR20140000084A (ko) * 2012-06-22 2014-01-02 삼성전기주식회사 터치패널
US20140161385A1 (en) * 2012-12-07 2014-06-12 Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) Method and Apparatus for Coupling to an Optical Waveguide in a Silicon Photonics Die
US10197732B2 (en) 2016-08-26 2019-02-05 Corning Optical Communications LLC Methods for forming ion-exchanged waveguides in glass substrates

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4639074A (en) * 1984-06-18 1987-01-27 At&T Bell Laboratories Fiber-waveguide self alignment coupler
EP0241724B1 (en) * 1986-03-14 1993-01-20 Sumitomo Electric Industries Limited Optical connector and splicer
US4904036A (en) * 1988-03-03 1990-02-27 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Subassemblies for optoelectronic hybrid integrated circuits
US5361382A (en) * 1991-05-20 1994-11-01 The Furukawa Electric Co., Ltd. Method of connecting optical waveguide and optical fiber
DE4212208A1 (de) * 1992-04-10 1993-10-14 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung optischer Polymerbauelemente mit integrierter Faser-Chip-Kopplung in Abformtechnik
JPH05333231A (ja) * 1992-05-29 1993-12-17 Furukawa Electric Co Ltd:The 光導波路と光ファイバの接続方法
US5559914A (en) * 1993-10-19 1996-09-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Components for optical circuits and method of manufacturing the same
FR2716981B1 (fr) * 1994-03-03 1996-05-24 Daniel Boscher Procédé de connexion optique multivoies pour fibres optiques.

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998053349A1 (de) * 1997-05-23 1998-11-26 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur herstellung thermooptischer schaltelemente
JP2003241008A (ja) * 2002-02-14 2003-08-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 光モジュール
JP2011002709A (ja) * 2009-06-19 2011-01-06 Sumitomo Bakelite Co Ltd 光導波路接合体製造用治具および光導波路接合体の製造方法

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