JPH0829975B2 - アルミナ基セラミックス焼結体 - Google Patents

アルミナ基セラミックス焼結体

Info

Publication number
JPH0829975B2
JPH0829975B2 JP5347611A JP34761193A JPH0829975B2 JP H0829975 B2 JPH0829975 B2 JP H0829975B2 JP 5347611 A JP5347611 A JP 5347611A JP 34761193 A JP34761193 A JP 34761193A JP H0829975 B2 JPH0829975 B2 JP H0829975B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
alumina
sintered body
toughness
temperature
strength
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP5347611A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH07277814A (ja
Inventor
正喜 安岡
喜代司 平尾
修三 神崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agency of Industrial Science and Technology filed Critical Agency of Industrial Science and Technology
Priority to JP5347611A priority Critical patent/JPH0829975B2/ja
Priority to US08/354,123 priority patent/US5447894A/en
Priority to EP94309225A priority patent/EP0659705B1/en
Priority to DE69403054T priority patent/DE69403054T2/de
Publication of JPH07277814A publication Critical patent/JPH07277814A/ja
Publication of JPH0829975B2 publication Critical patent/JPH0829975B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62645Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering
    • C04B35/62675Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering characterised by the treatment temperature
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/10Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
    • C04B35/111Fine ceramics
    • C04B35/117Composites
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C04B2235/3222Aluminates other than alumino-silicates, e.g. spinel (MgAl2O4)
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3227Lanthanum oxide or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3418Silicon oxide, silicic acids, or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54Particle size related information
    • C04B2235/5418Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5445Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/602Making the green bodies or pre-forms by moulding
    • C04B2235/6027Slip casting
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/606Drying
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6567Treatment time
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74Physical characteristics
    • C04B2235/77Density
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74Physical characteristics
    • C04B2235/78Grain sizes and shapes, product microstructures, e.g. acicular grains, equiaxed grains, platelet-structures
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/95Products characterised by their size, e.g. microceramics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアルミナを主体とし、常
温および高温(1200℃)における高強度と高靱性の
同時発現を可能とする、アルミナ基セラミックス焼結体
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】アルミナは融点が高く熱的にも安定であ
り、さらに耐摩耗性、絶縁性、耐食性等に優れることか
ら、工業材料として幅広い分野で利用されている。例え
ば、その高い電気絶縁性を利用して、スパ−クプラグ、
IC基板、パッケ−ジ等の電子材料部品として、さらに
透光性アルミナ、バイオセラムなどの高機能性焼結体や
単結晶材料として使用されている。このように機能性材
料としてのアルミナは実用材料として既に広い分野で利
用されているが、構造材料としての利用はこれら機能性
材料の場合と比較して遅れているのが現状である。これ
はアルミナ焼結体の靱性が3〜4MPam1/2 と低いことに
原因している。しかし、アルミナは現在セラミックス系
構造材料材料の主流である窒化ケイ素、炭化ケイ素等の
非酸化物セラミック材料と比較して本質的に耐酸化性、
耐食性に優れており、潜在的に優れた構造材料と考えら
れる。さらに、非酸化物セラミックス材料の製造におい
ては窒素、アルゴン等非酸化性雰囲気中での焼成が必要
であるのに対し、アルミナは設備投資並びにランニング
コストが兼価である大気中での焼成が可能であるという
利点を有している。
【0003】そこでアルミナの靱性を改善するため現在
まで種々の方法が検討されてきた。これらの方法は作製
手法及び靱性強化機構の観点から、(1)ZrO2分散、
(2)板状粒子あるいはウィスカ−分散、(3)液相生
成助剤添加による板状アルミナの成長、(4)アルミナ
と共存関係にある La2O3・11Al2O3(以降 LaAl11O18と略
記する)などの板状粒子の成長に分類される。(1)の
方法はジルコニアの応力誘起変態を利用するもので5〜
8MPam1/2 と高い破壊靱性が報告されている。しかし、
その靱性強化機構はジルコニアの相変態を利用している
ため、高靱性の発現はジルコニアの単斜晶−正方晶の変
態温度(400〜800℃)以下の温度に限られる。
(2)は形状異方性を持つウィスカ−や板状粒子による
キ裂縁での架橋あるいは引き抜け効果により靱性向上を
図る方法である。この手法においても、例えば、J. Am.
Ceram. Soc., 67 [12] C267-C269 (1984)に報告されて
いるように、8.7MPam1/2 と高い破壊靱性を持つ焼結
体が得られているが、添加した強化材が欠陥として作用
するため焼結体の強度は低下する。加えて、10〜30
体積%の異種材料を分散させるために、ホットプレス法
や熱間加圧成形法(HIP)で焼成を行わねばならず、
プロセスが高価でありかつ複雑な形状を有する焼結体を
得ることは困難である。また、これら分散材料としては
炭化ケイ素、窒化ケイ素等非酸化物が用いられるため、
高温において酸化による劣化を生じ靱性強化の効果を損
ない、高温下あるいは腐食環境下での長時間の使用には
耐えられないと考えられる。(3)の方法は、例えばJ.
Mater. Sci., 28 5953-56 (1993)に報告されているよ
うに、シリカ−カルシア、シリカ−マグネシア等の焼成
温度域でアルミナと反応して液相を生成する焼成助剤を
用いることにより、焼結時にアルミナ粒子を異方性の高
い板状に成長させ、板状粒子添加と同様な機構により靱
性強化を図るものである。しかし、この手法では焼結体
中に低融点のガラス相が残留するため、高温での強度低
下が著しいという欠点を有する。(4)はアルミナマト
リックス中に板状のヘキサアルミネ−ト粒子( LaAl11O
18、LaMgAl11O1 9 等)を焼結時に成長させる手法で、焼
結体中に低融点ガラス相が残存しないため高温での機械
的特性の低下が小さいが、その破壊靱性は例えばJ. Am.
Ceram.Soc., 75[9] 2610-12 (1992)に報告されている
ように4MPam1/2 程度であり、靱性向上レベルは小さ
い。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の靱性強化手法で得られた焼結体は、常温から高温ある
いは腐食雰囲気に至る環境下で高強度及び高靱性を同時
に維持することが困難であり、アルミナの構造材料とし
ての潜在能力を十分に発揮させるものではなかった。
【0005】本発明の目的は、常温から高温あるいは腐
食環境下において高強度、高靱性を有し、かつプロセス
が兼価で複雑形状への適用が容易なアルミナ基焼結体及
びその製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】発明者らは、LaAl11O18
が耐熱性に優れ、しかもアルミナマトリックス中に焼結
時に板状粒子として成長させられることに注目し、Al2O
3−LaAl11O18系組成を中心にアルミナ基焼結体の靱性強
化について鋭意研究を行った。その結果、Al2O3 とLa2O
3 の混合物からなる成形体を焼成して得られた焼結体に
おいては、出発原料間の反応で生成するLaAl11O18 は板
状に成長するもののマトリックスのアルミナ粒子は等軸
状であり、このことが本系において靱性の向上レベルの
低下の要因であることが分った。この知見を基にさらに
本系について研究を進めた結果、極微量のシリカ添加に
よりLaAl11O18 の板状粒子形態を維持しつつ、マトリッ
クスのアルミナについても板状粒子化が達成され、両者
の粒子形状効果が合わさり従来のAl2O3−LaAl11O18系材
料と比較してより靱性の高い材料が得られること、及び
極微量のシリカ添加は高温強度にほとんど影響を及ぼさ
ないことを見いだし、以下に示す要旨構成の本発明に至
った。
【0007】すなわち、本発明は、La2O3 が1〜10重
量%、SiO2が0.01〜0.1重量%、残りがアルミナ
から成る化学組成を有する配合物を成形後、1400〜
1800℃で焼成することにより相対密度97%以上に
緻密化することを特徴とするアルミナ基セラミックス焼
結体の製造方法と、それによって得られる焼結体の結晶
相がコランダム(α-Al2O3)とランタンβ−アルミナ
( La2O3・11Al2O3)からなることを特徴とするアルミナ
基セラミックス焼結体である。
【0008】本発明のアルミナ基焼結体を得るには、ま
ず、La2O3 が1〜10重量%、SiO2が0.01〜0.1
重量%、残りがアルミナからなる化学組成を有する配合
物を作製する。
【0009】ここで、La2O3 含有量に関しては、1〜1
0重量%の範囲、好ましくは3〜7重量%の範囲であ
る。そしてその量が1重量%以下では、板状LaAl11O18
粒子の生成量が少ないため焼結体の破壊靱性が5MPam
1/2 以下と低くなる。一方、その量が10重量%以上で
は、生成するLaAl11O18 の体積割合が40体積%以上と
なり、 LaAl11O18粒子間で焼結が生じ、得られる焼結体
の特性が LaAl11O18の特性に近いものとなるため強度低
下などをもたらすので、上記範囲に制限することが重要
である。
【0010】また、シリカの含有量に関しては、0.0
1〜0.1重量%の範囲、好ましくは0.02〜0.0
8重量%の範囲である。そしてその量が0.01重量%
以下では、マトリックスであるアルミナが十分に板状に
成長しないため焼結体の破壊靱性は低くなる。一方、そ
の量が0.1重量%以上では、焼結時に生成する液相に
起因した粒子間に残存するガラス相の量が増大し、高温
強度の低下が顕著に生じる。したがって、上記組成に制
限することが重要である。
【0011】配合物の作製において、出発原料としてAl
2O3、La2O3、LaAlO3、SiO2などの粉末原料あるいは加熱
時にこれら酸化物を誘導する前駆体化合物が用いられ
る。特に、微量成分であるシリカに関しては均一な混合
を達成するために、テトラエチルシリケ−トなどのシリ
コン−アルコキシドやコロイダルシリカが好適に用いら
れる。また、アルミナ及び酸化ランタン源としては粉末
原料が一般に使用されるが、特に酸化ランタン源として
はLaAlO3粉末を用いることが好ましい。これはLa2O3
水分と反応し易く、La2O3 として配合物に存在した場
合、吸湿により成形体が膨潤するからである。さらに、
使用するこれら原料に関しては、Al2O3、 La2O3、LaAlO
3、SiO2 などいずれも純度99.9%以上の高純度原料
を使用することが望ましい。
【0012】また、これら原料の混合に当たっては、粉
体の混合あるいは混練に用いられる通常の機械を使用す
ることができる。この混合は、湿式、乾式のどちらでも
よいが、望ましくは湿式において混合される。湿式混合
においては、水、メタノ−ル、エタノ−ル、トルエンな
どの溶剤が用いらる。水中での混合においては硝酸など
を滴下しpHを3〜5に調整することにより、また有機
溶剤を用いた場合はカチオン性セルロ−スなどの分散剤
を用いることにより効果的に混合を行うことができる。
さらに、混合あるいは混練過程においては、粉砕メディ
アとして高純度アルミナ製ボ−ル、混合容器として高純
度アルミナ製あるいは樹脂製容器を用いるなどして、本
工程においてボ−ル、容器から混入する加熱除去が困難
な不純物を0.1重量%以下にすることが望ましい。
【0013】本発明において、高純度原料を使用し、さ
らにその混合工程において高純度アルミナ製ボ−ル、高
純度アルミナ製容器、樹脂製容器などを用いる理由は、
原料およびその焼成工程時において混入するアルカリ金
属、アルカリ土類金属などの不純物が焼成時に低融点の
ガラス相を生成し、焼結体の高温特性を著しく劣化させ
るためである。さらに、市販の高純度アルミナ原料、高
純度酸化ランタン原料を使用した場合にも一般に数十pp
m のシリカが不純物として含まれており、これらの原料
及び混合行程から混入するシリカ量を0.005重量%
(50ppm )以下に低減することは困難である。そのた
め、混入するシリカ量をあらかじめ発光プラズマ分光分
析法などにより定量し、配合時に添加するシリカ量を調
節することが望ましい。
【0014】次に、上述のようにして得られた混合原料
は、鋳込み成形、フィルタ−プレスなどの湿式成形によ
り、あるいはスプレ−ドライ法などにより一旦乾燥し、
常法の乾式成形により生成形体に成形される。
【0015】次に、前記成形体は、常法の焼成方法、す
なわち、まず空気中600〜1000℃程度の温度で仮
焼を行い、塩類、分散剤、混合行程で混入した樹脂等を
加熱除去した後、1400〜1800℃の温度、好まし
くは1500〜1700℃の温度で焼成することにより
緻密化される。この際、高強度・高靱性を発現するため
に、相対密度97%以上に緻密化し、さらに、焼結体が
Al2O3と LaAl11O18のみの結晶相となるまで原料間の反
応を十分に進行させることが必要である。焼成温度が1
400℃以下であれば、相対密度97%以上に緻密化で
きず、残存する気孔が破壊源となるため強度低下をもた
らし、また、LaAl11O18 板状結晶が十分に生成しないた
め破壊靱性が低くなる。一方、焼成温度が1800℃以
上では Al2O3及び LaAl11O18の過度の粒成長が生じ強度
低下をもたらすので、上記温度範囲で焼成を行うことが
必要である。さらに、焼成時間は、前記焼成温度に関連
し、焼成温度が低いときは長く、また高いときには短く
することが好ましいが、上述の要件を満たし高強度・高
靱性を発現させるためには、0.1〜10時間の保持範
囲内で緻密化することが推奨される。本焼結体は手法が
容易である常圧焼成において緻密化されることを特徴と
するが、ホットプレス、HIPにより緻密化を行うこと
もできる。
【0016】なお、焼成時の雰囲気としては、酸化雰囲
気が好ましいが、非酸化雰囲気(例えば窒素ガスやアル
ゴンガス)あるいは真空中での焼成も可能である。
【0017】このようにして得られた本発明のアルミナ
基焼結体は、板状粒子よりなるアルミナマトリックス中
に板状ランタンβ−アルミナ粒子が分散した微構造を有
する。そしてこのような板状粒子の絡み合った微構造に
より高靱性が発現され、さらにこのような異種板状粒子
の分散により相互の異常粒成長が抑制され粒子の大きさ
の分布が均一となり高強度がもたらされ、焼結後低融点
物質が残留しないため、高温強度発現を可能とした。し
たがって、本発明は従来では期待できなっかった高強
度、高靱性さらに高温での高強度を有するアルミナ基焼
結体を得ることができる。
【0018】発明者らは、本発明に先立ち、アルミナに
極微量のSiO2のみを添加することにより、無添加では等
軸状であった粒子が板状に成長することを見いだしてい
る。しかし、SiO2のみの添加では得られる焼結体は巨大
なアルミナ板状粒子と微細なアルミナ板状粒子が混在し
た極めて不均質な組織を有し、それがため表の参考例に
示されるように、強度、破壊靱性とも無添加のものより
もむしろ低くなることを確認している。また、前述のよ
うに La2O3単独の添加においても靱性向上レベルは低
い。本発明の特徴は、このようにSiO2、La2O3 単独の添
加ではなしえなかった高強度、高靱性化がSiO2とLa2O3
の同時添加により達成されることにある。以下実施例に
従って説明する。
【0019】
【実施例】所定量のテトラエチルシリケ−トに1N硝酸
を250μl添加し、40℃で12時間攪拌することに
より加水分解を行いシリカ分散液を作製した。蒸留水3
2ccにシリカ分散液の全量、所定量の Al2O3粉体およ
びLaAlO3粉体を入れ、さらに1N硝酸2.5ccを添加
し、純度99.9%の高純度アルミナ製ボ−ルと樹脂容
器を用いて遊星ボ−ルミルにより2時間混合を行った。
Al2O3粉体として純度99.99%以上、粒径0.2μ
mのものを、LaAlO3粉体は純度99.9%以上、粒径
0.5μmのものを使用した。配合重量は約70gであ
り、配合は表に示す14種類の組成について行った(本
発明以外の参考例を含む)。このようにして得られたス
ラリ−を4kg/cm2の圧力下で鋳込み成形を行い、60x
50x7mmの大きさの成形体を得た。温度50℃、湿
度50%の恒温・恒湿乾燥器で24時間乾燥させた後、
塩類および混合容器からの混入樹脂を除去するため、空
気中で800℃、1時間仮焼を行った。この仮焼体をア
ルミナルツボに設置し、空気中で10℃/min.の昇温速
度で1600℃まで加熱し、1600℃で2時間保持を
行い焼結体を得た。得られた焼結体は3x4x40mm
の試験片に切断、研削を行った後、JIS R−160
1による室温4点曲げ強度測定、JIS R−1604
による1200℃での高温4点曲げ強度測定、及びJI
S R−1607のSEPB法による破壊靱性測定を行
った。さらに、配合物の混合、成形、焼成工程における
不純物、特にシリカの混入を考慮して、焼結体の化学組
成を発光プラズマ分光分析(ICP法)により求めた。
なお、ICP法による化学分析において、Al、La、Si以
外の陽イオン不純物は検出されなかった。これらの機械
的特性、分析組成さらに密度測定、X線回折による結晶
相の同定結果も配合組成と合わせて表に示す。尚、表中
の密度は理論密度を基礎とする相対密度(%)で示して
ある。
【0020】
【発明の効果】表から明らかなように、本発明の組成範
囲内においては、得られた焼結体は、結晶相が Al2O3
LaAl11O18からなり、常温強度が500 MPa以上、高温
(1200℃)強度が350 MPa以上、かつ破壊靱性が
5MPa・m1/2以上を有する。
【0021】以上述べたように本発明によれば、従来の
アルミナ基セラミックスでは期待できなかった高強度、
高温高強度並びに高靱性の同時発現が可能なアルミナ基
セラミックスを提供することができる。
【0022】従って、本発明によるアルミナ基セラミッ
クスを用いることにより、既存の材料では対応が困難で
あった腐食環境下における構造材料として、また耐熱合
金や非酸化物セラミックス材料に代わる安価な高温構造
材料等として幅広い用途が期待される。具体的には耐食
性・耐摩耗性を利用した軸受け、ポンプ、シ−ル、ノズ
ル、ベアリング等機械部品、さらに耐熱性の観点からは
熱交換器、エンジン、ガスタ−ビン部品などの利用が考
えられる。また、従来の電子材料部品、バイオセラミッ
クス等機能性材料の分野においても靱性改善による材料
の信頼性の飛躍的な向上が期待される。
【表1】

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 La2O3 が1〜10重量%、SiO2が0.0
    1〜0.1重量%、残りが Al2O3からなる化学組成を有
    し、かつ焼結体を構成する結晶相がコランダム(α-Al2
    O3)とランタンβ−アルミナ( La2O3・11Al2O3)からな
    ることを特徴とするアルミナ基セラミックス焼結体。
  2. 【請求項2】 Al2O3、La2O3、SiO2よりなる配合物を成
    形後、1400〜1800℃の温度域で焼成することに
    より相対密度97%以上に緻密化することを特徴とする
    請求項1に記載のアルミナ基セラミックス焼結体の製造
    方法。
JP5347611A 1993-12-24 1993-12-24 アルミナ基セラミックス焼結体 Expired - Lifetime JPH0829975B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5347611A JPH0829975B2 (ja) 1993-12-24 1993-12-24 アルミナ基セラミックス焼結体
US08/354,123 US5447894A (en) 1993-12-24 1994-12-06 Sintered ceramic article formed mainly of alumina
EP94309225A EP0659705B1 (en) 1993-12-24 1994-12-09 Sintered ceramic article formed mainly of alumina
DE69403054T DE69403054T2 (de) 1993-12-24 1994-12-09 Gesinterter keramischer Körper, der hauptsächlich Alumina enthält

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5347611A JPH0829975B2 (ja) 1993-12-24 1993-12-24 アルミナ基セラミックス焼結体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07277814A JPH07277814A (ja) 1995-10-24
JPH0829975B2 true JPH0829975B2 (ja) 1996-03-27

Family

ID=18391396

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5347611A Expired - Lifetime JPH0829975B2 (ja) 1993-12-24 1993-12-24 アルミナ基セラミックス焼結体

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5447894A (ja)
EP (1) EP0659705B1 (ja)
JP (1) JPH0829975B2 (ja)
DE (1) DE69403054T2 (ja)

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1072249A (ja) * 1996-05-23 1998-03-17 Ngk Spark Plug Co Ltd アルミナ系セラミック焼結体及びアルミナ系セラミック部品
JPH1171168A (ja) * 1997-06-26 1999-03-16 Ngk Spark Plug Co Ltd アルミナ基セラミックス焼結体及びその製造方法
DE19807163C1 (de) * 1998-02-20 1999-10-28 Rainer Gadow Wärmedämmaterial und Verfahren zum Herstellen eines solchen
DE69943143D1 (de) 1998-11-24 2011-03-03 Ngk Spark Plug Co Isolator für eine Zündkerze und Zündkerze mit solchem Isolator
JP4688307B2 (ja) * 2000-07-11 2011-05-25 コバレントマテリアル株式会社 半導体製造装置用耐プラズマ性部材
JP2002266850A (ja) 2001-03-08 2002-09-18 Ngk Spark Plug Co Ltd ハードディスク装置
US7473391B2 (en) 2001-03-13 2009-01-06 Ngk Insulators, Ltd. Methods for making molding material, molded body, and sintered body
DE102005011225B4 (de) * 2005-03-11 2007-06-06 Forschungszentrum Jülich GmbH Wärmedämmstoff sowie Herstellungsverfahren und Verwendung
JP4894728B2 (ja) * 2007-10-31 2012-03-14 東ソー株式会社 透光性アルミナ焼結体およびその製造方法
JP5406565B2 (ja) * 2009-03-06 2014-02-05 日本碍子株式会社 酸化アルミニウム焼結体、その製法及び半導体製造装置部材
CN102869635B (zh) * 2009-12-16 2015-12-09 陶瓷技术有限责任公司 由主成分氧化铝和氧化锆以及弥散体相组成的陶瓷复合材料
CN103370174B (zh) 2010-12-31 2017-03-29 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 具有特定形状的研磨颗粒和此类颗粒的形成方法
CN103443029B (zh) * 2011-03-23 2015-06-24 大明化学工业株式会社 氧化铝复合材料、氧化铝复合材料的制造方法及含氧化铝复合材料的高分子组合物
US8986409B2 (en) 2011-06-30 2015-03-24 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive articles including abrasive particles of silicon nitride
CN103764349B (zh) 2011-06-30 2017-06-09 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 液相烧结碳化硅研磨颗粒
CN103826802B (zh) 2011-09-26 2018-06-12 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 包括磨料颗粒材料的磨料制品,使用磨料颗粒材料的涂布磨料及其形成方法
EP2798032A4 (en) 2011-12-30 2015-12-23 Saint Gobain Ceramics MANUFACTURE OF SHAPED GRINDING PARTICLES
EP3851248B1 (en) 2011-12-30 2024-04-03 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Composite shaped abrasive particles and method of forming same
WO2013102177A1 (en) 2011-12-30 2013-07-04 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle and method of forming same
WO2013106602A1 (en) 2012-01-10 2013-07-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive particles having particular shapes and methods of forming such particles
EP3705177A1 (en) 2012-01-10 2020-09-09 Saint-Gobain Ceramics & Plastics Inc. Abrasive particles having complex shapes and methods of forming same
EP2830829B1 (en) 2012-03-30 2018-01-10 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive products having fibrillated fibers
KR101813466B1 (ko) 2012-05-23 2017-12-29 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 형상화 연마입자들 및 이의 형성방법
BR112014032152B1 (pt) 2012-06-29 2022-09-20 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc Partículas abrasivas tendo formatos particulares e artigos abrasivos
JP5704131B2 (ja) * 2012-07-03 2015-04-22 新日鐵住金株式会社 リジェネレイティブ熱交換器用の蓄熱部材及びこれを用いたリジェネレイティブ熱交換器
EP2906392A4 (en) 2012-10-15 2016-07-13 Saint Gobain Abrasives Inc GRINDING PARTICLES WITH SPECIAL FORMS AND METHOD FOR FORMING SUCH PARTICLES
CN104994995B (zh) 2012-12-31 2018-12-14 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 颗粒材料及其形成方法
CN105073343B (zh) 2013-03-29 2017-11-03 圣戈班磨料磨具有限公司 具有特定形状的磨粒、形成这种粒子的方法及其用途
JP2014224008A (ja) * 2013-05-15 2014-12-04 日本碍子株式会社 構造体及びその製造方法
TW201502263A (zh) 2013-06-28 2015-01-16 Saint Gobain Ceramics 包含成形研磨粒子之研磨物品
MX2016004000A (es) 2013-09-30 2016-06-02 Saint Gobain Ceramics Particulas abrasivas moldeadas y metodos para formación de ellas.
US9566689B2 (en) 2013-12-31 2017-02-14 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US9771507B2 (en) 2014-01-31 2017-09-26 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle including dopant material and method of forming same
CA2945491C (en) 2014-04-14 2023-03-14 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US9803119B2 (en) 2014-04-14 2017-10-31 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US9902045B2 (en) 2014-05-30 2018-02-27 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Method of using an abrasive article including shaped abrasive particles
US9914864B2 (en) 2014-12-23 2018-03-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particles and method of forming same
US9707529B2 (en) 2014-12-23 2017-07-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Composite shaped abrasive particles and method of forming same
US9676981B2 (en) 2014-12-24 2017-06-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Shaped abrasive particle fractions and method of forming same
CN107636109A (zh) 2015-03-31 2018-01-26 圣戈班磨料磨具有限公司 固定磨料制品和其形成方法
TWI634200B (zh) 2015-03-31 2018-09-01 聖高拜磨料有限公司 固定磨料物品及其形成方法
ES2819375T3 (es) 2015-06-11 2021-04-15 Saint Gobain Ceramics & Plastics Inc Artículo abrasivo que incluye partículas abrasivas conformadas
US10246375B2 (en) 2016-03-30 2019-04-02 Skyworks Solutions, Inc. Multi-phase high thermal conductivity composite dielectric materials
CN109415615A (zh) 2016-05-10 2019-03-01 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 磨料颗粒及其形成方法
EP3519134B1 (en) 2016-09-29 2024-01-17 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Fixed abrasive articles and methods of forming same
US10759024B2 (en) 2017-01-31 2020-09-01 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
US10563105B2 (en) 2017-01-31 2020-02-18 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive article including shaped abrasive particles
WO2018236989A1 (en) 2017-06-21 2018-12-27 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. PARTICULATE MATERIALS AND METHODS OF FORMATION THEREOF
KR102161676B1 (ko) * 2019-09-25 2020-10-06 한전원자력연료 주식회사 핵분열 기체 포집능이 향상된 핵연료용 이산화우라늄 소결체 및 제조방법
WO2021133901A1 (en) 2019-12-27 2021-07-01 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive articles and methods of forming same

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1252851A (ja) * 1969-08-27 1971-11-10
US4178187A (en) * 1977-03-09 1979-12-11 General Electric Company Mixed oxide compound NdAlO3 for casting advanced superalloy materials
JPS60238146A (ja) * 1984-05-11 1985-11-27 Hitachi Ltd 耐熱性担体組成物
US5081082A (en) * 1990-01-17 1992-01-14 Korean Institute Of Machinery And Metals Production of alumina ceramics reinforced with β'"-alumina
JP2943016B2 (ja) * 1990-12-28 1999-08-30 日清製粉株式会社 セリア安定化ジルコニア/α−アルミナ/ランタン−β−アルミナ複合焼結体
US5137852A (en) * 1991-01-11 1992-08-11 Rockwell International Corp. High temperature ceramic composites
JP2951771B2 (ja) * 1991-09-26 1999-09-20 守 大森 希土類酸化物−アルミナ−シリカ焼結体およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07277814A (ja) 1995-10-24
EP0659705B1 (en) 1997-05-07
DE69403054D1 (de) 1997-06-12
DE69403054T2 (de) 1998-01-02
US5447894A (en) 1995-09-05
EP0659705A1 (en) 1995-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0829975B2 (ja) アルミナ基セラミックス焼結体
JPS5921579A (ja) 炭化珪素焼結成形体とその製造方法
US4640902A (en) Low thermal conductivity Si3 N4 /ZrO2 composite ceramics
CN101218188B (zh) 氧化钇烧结体和耐腐蚀性部件、其制造方法
JP2010506820A (ja) 透明な多結晶酸窒化アルミニウムの製造方法
Giachello et al. Post-sintering of reaction-bonded silicon nitride
JPS5851910B2 (ja) チツカケイソケイシヨウケツタイノセイゾウホウホウ
EP0218343B1 (en) Silicon nitride sintered body and manufacturing method thereof
Xie et al. Formation of silicon nitride bonded silicon carbide by aqueous gelcasting
Honeyman‐Colvin et al. Infiltration of porous alumina bodies with solution precursors: strengthening via compositional grading, grain size control, and transformation toughening
YUAN et al. Processing and Microstructure of Mullite‐Zirconia Composites Prepared from Sol‐Gel Powders
JP4605829B2 (ja) 高強度、高硬度アルミナセラミックス及びその製造方法
EP0365553B1 (en) Method for producing ceramic composite materials containing silicon oxynitride and zirconium oxide
JP2651935B2 (ja) 複合材料の製造方法および原料組成物
US5362691A (en) Sintered material based on Si3 N4 and processes for its production
JPH02296770A (ja) 高温耐酸化性セラミックス複合材料
JP3121996B2 (ja) アルミナ質焼結体
JP2690571B2 (ja) ジルコニア系切削工具とその製造法
JP2650049B2 (ja) セラミック切削工具及びその製造方法
JPH1179848A (ja) 窒化珪素質焼結体
Cao Preparation and characterization of alpha'-SiAlON ceramics
KR940007224B1 (ko) 산화물 복합재료
JPH066512B2 (ja) 高靭性窒化ケイ素焼結体及びその製造方法
JPH013075A (ja) 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法
JPH0196062A (ja) ムライト質焼結体及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term