JPH08293622A - 赤外発光ダイオードおよびその製造方法 - Google Patents
赤外発光ダイオードおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH08293622A JPH08293622A JP12310095A JP12310095A JPH08293622A JP H08293622 A JPH08293622 A JP H08293622A JP 12310095 A JP12310095 A JP 12310095A JP 12310095 A JP12310095 A JP 12310095A JP H08293622 A JPH08293622 A JP H08293622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type
- impurity density
- active layer
- clad layer
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
物の材料、密度、Al組成およびP型活性層の厚みを限
定することにより高信頼性かつ高周波特性の赤外LED
およびその製造方法の提供。 【構成】 発光素子になった段階ではGaAs基板が除
去されており、P型のAlx Ga1-x As(0.15≦
x≦0.35)からなる第1クラッド層1、赤外発光に
必要なP型のAlx Ga1-x As(0≦x≦0.10)
活性層2、N型のAlx Ga1-x As(0.15≦x≦
0.35)からなる第2クラッド層3の少なくとも3層
からなり、第1クラッド層、不純物密度0.5〜2×1
018cm-3はZnまたはMgで形成されており、P型活性
層の不純物密度4×1018cm-3以上はGeで形成されて
おり、かつその厚みは0.5〜1.5μmである。
Description
に用いられる高周波特性の赤外発光ダイオードおよびそ
の製造方法に関する。
を流して発光させる発光ダイオード(LED)は可視光
および赤外発光のものが製品化されており、これらLE
Dのうち、ダブルヘテロ接合(DH構造)を有するAl
GaAs系LEDは空間伝送や光通信に用いられてい
る。
0)からなる第一のクラッド層 (b) 赤外発光に必要なP型のAlx Ga1-x As(0≦
x≦0.10)活性層 (c) N型のAlx Ga1-x As(0.15≦x≦0.6
0)からなる第2のクラッド層の少なくとも3層からな
っており、P型の不純物としてZnが添加されていた。
0.5〜2×1018cm-3、P型活性層の不純物密度は1
〜6×1018cm-3、かつP型活性層の厚みは0.1〜2
μmの範囲であった。またこのときの製造方法は液相の
徐冷法または温度差法が一般的であって、成長温度はど
ちらの方法でも700〜950℃の範囲であった。
の赤外発光ダイオードでは次のような欠点があった。す
なわち素子においては、(1)P型活性層の不純物とし
て用いられる亜鉛(Zn)は蒸気圧が高く、同一エピタ
キシャルウエハ内で安定した不純物密度が得られない。
このため同一ウエハから作成された発光素子であっても
出力特性や周波数特性が異なる。
シャル成長させる方法では、成長の前半、後半でメルト
中のZnの濃度が異なる。すなわちZnの蒸気圧が高い
ことにより後半にいくに従い(成長時間が長くなるにつ
れ)メルト中のZnの量が少なくなり、エピタキシャル
ウエハ内の不純物密度が低下する。このため同一のメル
トから作成されたバッチ前半、後半の発光素子におい
て、P型不純物密度で決定される周波数特性が異なって
くる。このためバッチ当りの成長枚数に限界があり生産
性に問題が出てくる。
高いため、作成された素子は出力のばらつきが多くな
る。このため希望の出力を得るにはクラッド層のAl比
率を大きくし正孔と電子の閉じ込め効果および光吸収を
防ぐ窓効果を最大限利用しなければならない。しかしx
値が0.5以上ではAl腐食による劣化を引き起こしや
すい。またAl比率をあげることは順方向電圧の上昇を
招く。
合、その蒸気圧の高いことからエピタキシャル成長温度
が700〜950℃ではメルト中へ多量のZnを添加し
ても6×1018cm-3以上の不純物密度とすることは困難
である。
合、素子に電流を流すことにより転移の上昇運動をおさ
えることができず劣化を防ぎきれない。
るいは加工上のことを考え発光素子には所定の厚みが必
要となる。特に基板を除去するタイプにおいてはエピタ
キシャル成長速度をある程度高くすることが必要である
ため成長温度は700〜950℃が一般的となるが、こ
の温度ではZnの蒸気圧が102 〜103 mmHgと高いた
め成長メルト内でのZnの蒸発を防ぐことはできない。
またN型クラッド層用メルトへの蒸気拡散を防ぐことは
できない。このためN型不純物密度も徐々に低下してく
る。
P型クラッド層に添加する不純物の材料、密度、Al組
成およびP型活性層の厚みを限定することにより高信頼
性かつ高周波数特性の赤外LEDを提供するとともに歩
留りが高く安価なLEDの製造法を提供することにあ
る。
沿って鋭意研究した結果、GaAs基板が除去されたA
lGaAs系赤外LEDにおいて、P型活性層の実効的
不純物をGeにし、P型クラッド層の実効的不純物をZ
nあるいはMgにすることによって、出力低下が従来よ
り少なく高周波特性を維持でき、かつ高信頼性の素子を
作成できることを見いだし本発明に到達した。
が除去されており、(a)P型のAlx Ga1-x As
(0.15≦x≦0.35)からなる第1のクラッド
層、(b)赤外発光に必要なP型のAlx Ga1-x As
(0≦x≦0.10)活性層、(c)N型のAlx Ga
1-x As(0.15≦x≦0.35)からなる第2のク
ラッド層の少なくとも3層からなり、第1のP型クラッ
ド層の不純物密度は0.5〜2×1018cm-3であり、か
つその実効的不純物密度はZnまたはMgで形成されて
おり、P型活性層の不純物密度は4×1018cm-3以上で
あり、かつその実効的不純物密度はGeで形成されてお
り、かつその厚みは0.5〜1.5μmの範囲にあるこ
とを特徴とする赤外発光ダイオード;第2に、GaAs
基板上にN型クラッド層、P型活性層およびP型クラッ
ド層の少なくとも3層を順次エピタキシャル成長せしめ
てなる赤外発光ダイオードの製造方法において、エピタ
キシャル成長中の基板近傍の温度が800〜900℃の
範囲内である液相成長法を用いて作成されることを特徴
とする赤外発光ダイオードの製造方法を提供するもので
ある。
法において、P型活性層、P型クラッド層に添加する不
純物の材料、密度等を上述のように限定した理由につい
て以下説明する。
10-9〜10-8mmHgでありZnのそれよりも11桁少な
い。このためZnに比べ蒸発による不純物密度変動を全
く無視できることになる。このときGeをドープした活
性層の不純物密度は4×1018cm-3以上とする必要があ
る。その理由は周波数特性が20MHz以上の高周波数
特性を有し高信頼性を保てる不純物密度の範囲は4×1
018cm-3以上が必要であることによる。ちなみに20×
1018cm-3のときの周波数特性は120MHzまで向上
し高信頼性を保てる。ただし周波数特性の向上にともな
い出力は低下する。 また不純物密度が4×1018cm-3
未満では遮断周波数が低下するとともに素子の通電寿命
も悪くなる。
よび周波数特性に有利であるが、安価で量産性に優れる
液相成長においては0.5〜1.5μmの厚みであれば
その性能を十分発揮できる。
えない方がよい。GeはV族であり、AlGaAs系の
III −V族半導体に対しては両性不純物となる。このた
め900℃を超えるとP型の不純物としてでなくN型の
不純物としても働くようになり、P型不純物としての実
効性が低下してくる。さらに900℃を超える成長温度
ではエピタキシャル成長中に空格子点などの結晶欠陥が
誘発され、非発光センターの増加にともない発光効率が
低下する。一方、800℃未満の温度ではエピタキシャ
ル成長速度が遅くなり量産性に問題がある。
かつ電子および正孔を閉じこめる作用を有するためAl
比率を0.15以上にする必要がある。ここでAl比率
はいくらでも上昇できるがAl比率の上昇にともない通
電による素子腐食劣化の問題が生じ、またオーミックロ
スによる順方向電圧の上昇が引き起こされる。このため
Al比率は0.15≦x≦0.35であることが望まし
い。
型の活性化率が低下し、十分なキャリアとして作用しな
くなる。したがってP型クラッド層にGeを添加する際
は多量のドープを必要とする。しかしながら多量にドー
プされたP型層は赤外光を吸収しやすくなり出力が低下
する。このためP型クラッド層に添加される不純物はZ
nかMgに限定される。このときP型クラッド層の不純
物密度が0.5〜2.0×1018cm-3の範囲に入ってい
ればそれぞれ遮断周波数に対して十分な出力を提供する
ことができる。
りMgの方が1桁蒸気圧が低い。このため量産性および
特性の安定性においてMgを使用した方が優れた特性を
得られるが寿命に関してはどちらでも十分な高信頼性を
持っている。
最も安定した特性を出すことができる。これはエピタキ
シャル成長している基板近傍の温度が一定であるためA
lGaAsのAl組成が一定になること、および不純物
の熱的ドーピング状態が一定になることにより、非常に
特性のそろったものが得られるからである。ただし80
0〜900℃の範囲ではその特性のずれが非常に小さい
ため、その範囲内で徐冷法を用いてエピタキシャル成長
しても同様な特性が得られることが多い。またエピタキ
シャル成長時基板の熱ダメージを除去するためメルトバ
ックしたり、またキャップ層を形成しても本発明の請求
範囲からはずれることはない。
にとって遮断周波数および信頼性は最も重要な特性であ
り、本発明の赤外LEDではP型活性層の不純物として
従来使用されていたZnをGeに変え、P型クラッド層
の不純物としてZnもしくはMgを使用して希望の遮断
周波数および高信頼性を同時に満足させることができ、
特性の良好なLEDを安価かつ再現性よく提供すること
ができる。
液相成長において4×1018cm-3以上の不純物密度を簡
単に得ることができ、さらに高周波特性および高信頼性
を得ることが可能となる。特に赤外LEDにおいて50
MHz以上の遮断周波数を量産レベルで得ることができ
なかったのは、不純物密度を6×1018cm-3以上に安定
させることができなかったためである。
いて、不純物密度が4×1018cm-3以上の時のみ転移の
固着効果が存在し、素子へ電流を流した場合転移の上昇
運動による出力劣化が生じない。このため通常赤外LE
Dに見られるような100mAにおいて1000時間通電
後相対出力が20%以上減少するといった現象は全くな
い。
特性となるが、P型クラッド層の不純物密度およびその
材料を指定することにより従来よりも優れた特性を得る
ことができる。
実効的に支配する不純物を示すのであって、例えばP型
活性層のGeに少量のZnを添加しても、P型クラッド
層のMgに少量のZnを添加しても本発明の特許請求の
範囲からはずれないことは明らかである。
成を示す模式断面図、図2は本実施例に使用された液相
エピタキシャル成長工程を説明する模式図であって、こ
れらを参照して以下説明する。
長条件については、図2に示すように、いずれもカーボ
ン製のるつぼ4、スライダー5、ベース6の3点から構
成されていて、るつぼは少なくとも3槽からなり、P型
クラッド層、P型活性層、N型クラッド層のエピタキシ
ャル成長に必要な組成および不純物の異なる槽が最低3
槽必要なことによる。
Asが希望の組成になるように、調合されており、また
スライダー5の中にはGaAs基板が収納されている。
このときのGaAs基板はデバイス作成時除去されてし
まうため、P型、N型、ノンドープいずれを用いてもよ
い。このときスライダー5に収納されている基板近傍の
温度は850℃であり、本実施例では温度差法を用いて
いるためその温度はエピタキシャル成長中一定である。
り作成された赤外LEDは図1の模式断面図に示すよう
に、下記3層から構成されている。
50MHz、チップ出力2.5mWが得られている。ここ
で遮断周波数は100KHzの出力から3dBダウン
(出力が50%)したときと定義している。
変化させたときのLEDの出力と遮断周波数の変化を示
す。このグラフからわかるように、不純物密度の増加に
ともない遮断周波数は向上し出力は低下する。
変化させたときのLEDの信頼性のデータを示すもの
で、信頼条件は室温における100mA通電で1000時
間経過したときの初期出力に対する相対出力で示してい
る。本発明の素子では全て90%以上を維持している。
赤外LEDを作成した場合、Zn不純物密度に対する出
力および遮断周波数変化を示す図5によれば、50MH
z以上の遮断周波数を得ることができず、また出力も2
0MHz以上の素子については本発明のものより発光効
率が悪い。
のみとした場合には信頼性に問題があり、1000時間
経過した時の初期出力に対する相対出力は50%程度に
劣化するものが含まれる。
基板除去タイプAlGaAs系赤外LEDにおいて、P
型活性層の不純物としてGeを、P型クラッド層の不純
物としてZnあるいはMgを用いるので、高周波数特
性、高信頼性が得られる。
を示す模式断面図である。
長工程を説明する模式図である。
のGe不純物密度に対する出力および遮断周波数変化を
示すグラフである。
のGe不純物密度に対する100mA、1000時間通電
後の相対出力を示すグラフである。
おいて、Zn不純物密度に対する出力および遮断周波数
変化を示すグラフである。
おいて、Zn不純物密度に対する100mA、1000時
間通電後の相対出力を示すグラフである。
Claims (2)
- 【請求項1】 GaAs基板が除去されており、(a)
P型のAlx Ga1-X As(0.15≦x≦0.35)
からなる第1のクラッド層、(b)赤外発光に必要なP
型のAlx Ga1-X As(0≦x≦0.10)活性層、
(c)N型のAlx Ga1-X As(0.15≦x≦0.
35)からなる第2のクラッド層の少なくとも3層から
なり、第1のP型クラッド層の不純物密度は0.5〜2
×1018cm-3であり、かつその実効的不純物密度はZn
またはMgで形成されており、P型活性層の不純物密度
は4×1018cm-3以上であり、かつその実効的不純物密
度はGeで形成されており、かつその厚みは0.5〜
1.5μmの範囲にあることを特徴とする赤外発光ダイ
オード。 - 【請求項2】 GaAs基板上にP型クラッド層、P型
活性層およびN型クラッド層の少なくとも3層をエピタ
キシャル成長せしめてなる赤外発光ダイオードの製造方
法において、エピタキシャル成長中の基板近傍の温度が
800〜900℃の範囲内である液相成長法を用いて作
成されることを特徴とする赤外発光ダイオードの製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12310095A JP3187279B2 (ja) | 1995-04-24 | 1995-04-24 | 赤外発光ダイオードおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12310095A JP3187279B2 (ja) | 1995-04-24 | 1995-04-24 | 赤外発光ダイオードおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08293622A true JPH08293622A (ja) | 1996-11-05 |
JP3187279B2 JP3187279B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=14852204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12310095A Expired - Lifetime JP3187279B2 (ja) | 1995-04-24 | 1995-04-24 | 赤外発光ダイオードおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3187279B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005116710A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Dowa Mining Co Ltd | 発光ダイオードおよびその製造方法 |
WO2006073077A1 (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-13 | Dowa Electronics Materials Co., Ltd. | 赤外発光ダイオード及びその製造方法 |
WO2006090841A1 (ja) | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Dowa Electronics Materials Co., Ltd. | ダブルヘテロ接合を有するAlGaAs系発光ダイオードおよびその製造方法 |
WO2011034080A1 (ja) | 2009-09-15 | 2011-03-24 | 昭和電工株式会社 | 発光ダイオード、発光ダイオードランプ及び照明装置 |
-
1995
- 1995-04-24 JP JP12310095A patent/JP3187279B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005116710A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Dowa Mining Co Ltd | 発光ダイオードおよびその製造方法 |
WO2006073077A1 (ja) * | 2005-01-05 | 2006-07-13 | Dowa Electronics Materials Co., Ltd. | 赤外発光ダイオード及びその製造方法 |
US8017960B2 (en) | 2005-01-05 | 2011-09-13 | Dowa Electronics Materials Co., Ltd. | Infrared emitting diode and method of its manufacture |
WO2006090841A1 (ja) | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Dowa Electronics Materials Co., Ltd. | ダブルヘテロ接合を有するAlGaAs系発光ダイオードおよびその製造方法 |
EP1855326A1 (en) * | 2005-02-25 | 2007-11-14 | DOWA Electronics Materials Co., Ltd. | AlGaAs LIGHT EMITTING DIODE HAVING DOUBLE HETERO JUNCTION AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME |
EP1855326A4 (en) * | 2005-02-25 | 2011-06-01 | Dowa Electronics Materials Co | LIGHT-EMITTING ELECTROLUMINESCENT DIODE WITH DOUBLE JUNCTION AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
JP5268356B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2013-08-21 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | ダブルヘテロ接合を有するAlGaAs系発光ダイオードおよびその製造方法 |
WO2011034080A1 (ja) | 2009-09-15 | 2011-03-24 | 昭和電工株式会社 | 発光ダイオード、発光ダイオードランプ及び照明装置 |
US8659004B2 (en) | 2009-09-15 | 2014-02-25 | Showa Denko K.K. | Light emitting diode, light emitting diode lamp, and illuminating apparatus |
US9112084B2 (en) | 2009-09-15 | 2015-08-18 | Showa Denko K.K. | Light emitting diode, light emitting diode lamp, and illuminating apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3187279B2 (ja) | 2001-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5693963A (en) | Compound semiconductor device with nitride | |
JP3420028B2 (ja) | GaN系化合物半導体素子の製造方法 | |
JP2008205514A (ja) | Iii−v族窒化物半導体素子 | |
JPH0770755B2 (ja) | 高輝度led用エピタキシャル基板及びその製造方法 | |
JPH09199758A (ja) | 低抵抗p型窒化ガリウム系化合物半導体の気相成長方法 | |
JP2001077476A (ja) | 窒素化合物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JPH08139361A (ja) | 化合物半導体発光素子 | |
JPH08148718A (ja) | 化合物半導体装置 | |
JPH10321903A (ja) | 半導体発光素子およびその製法 | |
JP4530234B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
US4905058A (en) | Light-emitting semiconductor device | |
JP3187279B2 (ja) | 赤外発光ダイオードおよびその製造方法 | |
JP2002100837A (ja) | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JPH09129927A (ja) | 青色発光素子 | |
JP2002208732A (ja) | 化合物半導体装置 | |
EP0516162A1 (en) | Semiconductor light emitting device | |
JPH08139358A (ja) | エピタキシャルウエーハ | |
JP3410166B2 (ja) | 赤色発光ダイオード素子 | |
JPH07254751A (ja) | 化合物半導体素子 | |
JPH10107317A (ja) | GaN系素子用基板及びその製造方法及びGaN系素子 | |
JP2009260136A (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法、エピタキシャルウェーハ | |
JP2650436B2 (ja) | 発光ダイオード及びその製造方法 | |
US6794731B2 (en) | Minority carrier semiconductor devices with improved reliability | |
JP2001036137A (ja) | エピタキシャルウエハおよび発光ダイオード | |
JPH07202262A (ja) | 発光ダイオード |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080511 Year of fee payment: 7 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080511 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090511 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090511 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100511 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120511 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130511 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140511 Year of fee payment: 13 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |