JPH08279105A - 磁気ヘッド - Google Patents

磁気ヘッド

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JPH08279105A
JPH08279105A JP10056195A JP10056195A JPH08279105A JP H08279105 A JPH08279105 A JP H08279105A JP 10056195 A JP10056195 A JP 10056195A JP 10056195 A JP10056195 A JP 10056195A JP H08279105 A JPH08279105 A JP H08279105A
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JP
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magnetic
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Sadayuki Nishiuchi
貞之 西内
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/1274Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with "composite" cores, i.e. cores composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers
    • G11B5/1276Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with "composite" cores, i.e. cores composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film
    • GPHYSICS
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    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/1875"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers
    • G11B5/1877"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film
    • G11B5/1878"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film disposed immediately adjacent to the transducing gap, e.g. "Metal-In-Gap" structure

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 フロントギャップ側とバックギャップ側とに
各々最適な強磁性金属薄膜を得ることで、記録特性と再
生特性に優れた電磁変換特性を示す磁気ヘッドを提供す
ることを目的とする。 【構成】 一対の磁気コア半体1,2が互いに突き合わ
されて接合一体化され、その突き合わせ面に強磁性金属
薄膜5,6,7,8が成膜されてなるとともに巻線溝1
1を介してフロントギャップFGとバックギャップBG
が形成されてなる磁気ヘッドである。そして、上記一対
の磁気コア半体1,2の各強磁性金属薄膜5,6,7,
8がフロントギャップFG側とバックギャップBG側と
で磁気特性の異なる材料で構成した。具体的に、フロン
トギャップFG側の強磁性金属薄膜5,6を高磁束密度
Bの強磁性金属薄膜とし、バックギャップBG側の強磁
性金属薄膜7,8を高透磁率μの強磁性金属薄膜とし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一対の磁気コア半体が
互いに突き合わされて接合一体化され、その突き合わせ
面に強磁性金属薄膜が成膜されてなるとともに巻線溝を
介してフロントギャップとバックギャップが形成されて
なる磁気ヘッドに関し、これら各フロントギャップ側と
バックギャップ側とに最適な強磁性金属薄膜を成膜する
磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】例えばテープレコーダーやビデオテープ
レコーダー等の磁気記録再生装置に搭載して好適な磁気
ヘッドが種々開発されているが、近年、磁気記録の分野
においては、記録信号の高密度化が進行しており、高い
保磁力Hcと高い残留磁束密度Bsを有する磁気記録媒
体が使用されるようになっている。
【0003】これに伴って、磁気ヘッドのコア材料には
高飽和密度を有するとともに高透磁率μを有することが
要求されている。
【0004】しかしながら、コア材料として最も広く使
用されている酸化物磁性材料であるフェライトでは、飽
和磁束密度が不十分である。そこで、例えばフェライト
を補助コア材料とし、磁気ギャップ部に高い飽和磁束密
度を有する金属磁性材料より成る薄膜を主コア材として
設けた、いわゆるメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッ
ドが提案され、既に実用化されている。
【0005】このメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッ
ドは、例えば、Mn−Znフェライト等の磁性酸化物に
より形成される一対の磁気コア半体の突き合わせ面に強
磁性金属薄膜が被着形成されている。そして、この磁気
ヘッドは、上記強磁性金属薄膜の突き合わせ面間に、コ
イルが巻き回される巻線溝を介して記録再生として機能
する磁気ギャップ(フロントギャップ)と記録再生とし
ては機能しないバックギャップが形成され、上記強磁性
金属薄膜により閉磁路が構成されている。
【0006】このようなメタル・イン・ギャップ型の磁
気ヘッドは、磁気ギャップ(フロントバック)近傍に高
飽和密度を有する強磁性金属薄膜が形成されているため
に、フロントギャップから発生する磁気強度は大きく、
高保磁力記録媒体を記録するのに適している。
【0007】ところで、従来のメタル・イン・ギャップ
型の磁気ヘッドの強磁性金属薄膜は、高飽和磁束密度を
有し、かつ軟磁気特性に優れた強磁性合金材料が使用さ
れている。例えば、Fe−Al−Si系合金(いわゆる
センダスト)や、強磁性非晶質金属合金、いわゆるアモ
ルファス合金等が使用されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このように、上記メタ
ル・イン・ギャップ型の磁気ヘッドの強磁性金属薄膜
は、上記各種類のものが使用されているが、上記従来の
磁気ヘッドは、各種類のうちのいずれか一種類のものの
強磁性金属薄膜が成膜されているにすぎなかった。
【0009】しかしながら、一種類の強磁性金属薄膜を
そのまま利用したメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッ
ドでは、必ずしも、最適な記録特性と最適な再生特性が
得られるとは限らないことが分かってきた。
【0010】そこで、本発明は、いわゆるメタル・イン
・ギャップ型の磁気ヘッドにおいて、フロントギャップ
側とバックギャップ側とに各々最適な強磁性金属薄膜を
得ることで、記録特性と再生特性に優れた電磁変換特性
を示す磁気ヘッドを提供することを目的とするものであ
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記課題
を有効に解決するために鋭意研究した結果、一対の磁気
コア半体が互いに突き合わされて接合一体化され、その
突き合わせ面に強磁性金属薄膜が成膜されてなるととも
に巻線溝を介してフロントギャップとバックギャップが
形成されてなる磁気ヘッドにおいて、上記一対の磁気コ
ア半体の各強磁性金属薄膜がフロントギャップ側とバッ
クギャップ側とで磁気特性の異なる材料で構成されてな
ることを特徴とする磁気ヘッドが、磁気記録再生出力が
向上することを見い出した。
【0012】すなわち、本発明者等は、フロントギャッ
プは記録再生として機能するものであるから記録再生特
性に優れるたものが好ましく、他方、バックギャップは
記録再生としては機能せず磁気回路における透磁率が問
題となることから、透磁率に優れたものが好ましく、こ
れらフロントギャップとバックギャップとの役割に応じ
た強磁性金属薄膜が使用されるべきと考え、本発明をな
すに至った。
【0013】したがって、前記フロントギャップ側の強
磁性金属薄膜を高磁束密度Bの強磁性金属薄膜とし、前
記バックギャップ側の強磁性金属薄膜を高透磁率μの強
磁性金属薄膜としたことを特徴とする。
【0014】ここで、フロントギャップ側の強磁性金属
薄膜の高磁束密度Bは、1.2T(テスラ)とすること
が好ましい。また、バックギャップ側の強磁性金属薄膜
の透磁率を「μ1」とし、フロントギャップ側の強磁性
金属薄膜の透磁率を「μ2」とすると、バックギャップ
側の透磁率μ1は、フロントギャップFG側の透磁率μ
2よりも高い必要がある(μ1>μ2)。
【0015】したがって、前記フロントギャップ側の強
磁性金属薄膜には、例えばFeを主体とする合金が、前
記バックギャップ側の強磁性金属薄膜にはCo系アモル
ファス合金が使用される。具体的に、前記フロントギャ
ップ側の強磁性金属薄膜としては、Fe−Ga−Si−
Ru系合金や、Feを主体とする非晶質合金であるFe
−Co−Si−Nb−Ta系合金、さらにはFe−Ta
−N系窒化膜が好ましい。他方、前記バックギャップ側
の強磁性金属薄膜であるCo系アモルファス合金として
は、Co−Zr−Nb−Ta系合金が好ましい。
【0016】そして、実験の結果、前記フロントギャッ
プ側の強磁性金属薄膜がFe−Ga−Si−Ru系合金
であり、前記バックギャップ側の強磁性金属薄膜がCo
−Zr−Nb−Ta系合金であることが最も好ましいこ
とが判明した。
【0017】
【作用】本発明に係る磁気ヘッドは、強磁性金属薄膜が
フロントギャップ側とバックギャップ側とで磁気特性の
異なる材料で構成されているために、磁気ヘッドの記録
再生特性を向上させることができる。
【0018】そして、前記フロントギャップ側の強磁性
金属薄膜を高磁束密度の強磁性金属薄膜とし、前記バッ
クギャップ側の強磁性金属薄膜を高透磁率の強磁性金属
薄膜とすることにより、記録特性と再生特性に優れた電
磁変換特性を示す磁気ヘッドを提供することができる。
【0019】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。
【0020】磁気ヘッドの構成 本実施例の磁気ヘッドは、図1に示すように一対の磁気
コア半体1,2を突き合わせて接合一体化され、その突
き合わせ面間に記録又は再生あるいは両方として機能す
る磁気ギャップ(フロントギャップ)FGが構成されて
なる。
【0021】上記フロントギャップFGは、例えば、磁
気テープ等の磁気媒体を磁化したり、該磁気テープの磁
束を拾って再生出力を得る部分であり、上記一対の磁気
コア半体1,2の突き合わせ面に、SiO2 等のギャッ
プ膜が各々成膜されている。
【0022】また、一対の磁気コア半体1,2の突き合
わせ面側に巻線溝11が設けられている。この巻線溝1
1は、フロントギャップFG側に設けられる傾斜面によ
ってフロントギャップFGのデプス(深さ)を規制する
とともに、図示しないコイルが巻回されるものである。
【0023】そして特に、一対の磁気コア半体1,2の
突き合わせ面側には、強磁性金属薄膜形成面が形成さ
れ、この強磁性金属薄膜形成面上にスパッタリング等の
真空薄膜形成技術により強磁性金属薄膜5,6,7,8
が被着形成されている。
【0024】ここで、上記フロントギャップFG側の強
磁性金属薄膜5,6とバックギャップ側と強磁性金属薄
膜7,8とでは、磁気特性の異なる材料で構成されてな
る。
【0025】これは、本発明者等は、フロントギャップ
FGは記録再生として機能するものであるから記録再生
特性に優れたものが好ましく、他方、バックギャップB
Gは記録再生としては機能せず磁気回路における透磁率
が問題となることから、高透磁率に優れたものが好まし
く、これらフロントギャップFGとバックギャップBG
とで、その役割に応じた最適の強磁性金属薄膜5,6,
7,8が使用されるべきと考えたからである。
【0026】そして、本実施例においては、フロントギ
ャップFG側の強磁性金属薄膜5,6には、高磁束密度
Bのもので構成され、他方、バックギャップBG側の強
磁性金属薄膜7,8には、透磁率μの高いもので構成さ
れいる。具体的には、本実施例の磁気ヘッドは、フロン
トギャップFG側に高磁束密度Bの強磁性金属薄膜5,
6としてFe−Ga−Si−Ru系合金が、バックギャ
ップ側BGに高透磁率μの強磁性金属薄膜7,8として
Co−Zr−Nb−Ta系合金が使用されている。
【0027】しかし、この他、例えば、フロントギャッ
プFG側の強磁性金属薄膜5,6をFe−Si−Co系
合金、Fe−Ni系合金、Fe−Al−Ge系合金、F
e−Ga−Ge系合金、Fe−Si−Ge系合金、Fe
−Si−Ga系合金、Fe−Co−Si−Al系合金、
Fe−Co−Si−Nb系合金、Fe−Ta−N系窒化
膜等で構成しても良い。他方、バックギャップ側BGの
強磁性金属薄膜7,8としては、上記の他、Co系アモ
ルファス合金で構成されている。
【0028】また、このバックギャップBG側の強磁性
金属薄膜7,8の透磁率を「μ1」とし、フロントギャ
ップFG側の強磁性金属薄膜5,6の透磁率を「μ2」
とすると、バックギャップBG側の透磁率μ1は、フロ
ントギャップFG側の透磁率μ2よりも高い必要がある
(μ1>μ2)。
【0029】なお、本実施例では、フロントギャップF
G側に高磁束密度Bの強磁性金属薄膜5,6としてFe
−Ga−Si−Ruを、バックギャップ側BGに高透磁
率μの強磁性金属薄膜7,8としてCo−Zr−Nb−
Ta系合金を使用したが、本発明は、必ずしも、これら
に限定されるものではないことは言うまでもない。
【0030】このようなフロントギャップFG側の強磁
性金属薄膜5,6とバックギャップBG側の強磁性金属
薄膜7,8とで磁気特性の異なる材料で構成されてなる
磁気ヘッドは、磁気記録再生が向上する。
【0031】次に、上記構成の磁気ヘッドの製造方法に
ついて説明する。
【0032】先ず、例えばMn−Znフェライト等の板
状の磁性フェライト材12のトラック幅規制溝を形成す
る面の研削加工を行う。次に、上記磁性フェライト材1
2に機械加工によりトラック幅規制溝、巻線溝11を形
成する。続いて、トラック幅規制溝形成面に鏡面加工を
行う。
【0033】そして次に、鏡面加工を行った面に、スパ
ッタリング法等の真空薄膜形成技術により強磁性金属薄
膜5,6,7,8を成膜する。
【0034】ここで、強磁性金属薄膜5,6,7,8の
成膜方法は、従来のものは、図4に示すように、磁性フ
ェライト12の全面か、又は、図5に示すように、巻線
溝11にマスキング部材13よりマスキングをして行っ
ていた。
【0035】しかしながら、本実施例においては、図2
に示すように、フロントギャップFG側を高磁束密度B
の強磁性金属薄膜5,6を成膜する際には、バックギャ
ップBG側にマスキング部材15によりマスキングを行
い、該バックギャップBG側に強磁性金属薄膜5,6が
形成されないようにする。
【0036】逆に、図3に示すように、バックギャップ
BG側を高透磁率μの強磁性金属薄膜7,8を成膜する
際には、フロントギャップFG側にマスキング部材16
によりマスキングを行い、該フロントギャップFG側に
強磁性金属薄膜7,8が形成されないようにする。な
お、成膜の順序は、フロントギャップFG側とバックギ
ャップBG側とでいずれが先であっても後であっても良
い。
【0037】このような方法で、フロントギャップFG
側では、高磁束密度Bの強磁性金属薄膜5,6を成膜
し、他方、バックギャップBG側では、高透磁率μの強
磁性金属薄膜7,8を成膜することにより、各ギャップ
FG,BG側で最適な強強磁性金属薄膜5,6,7,8
が得られ、記録再生が向上する。
【0038】なお、対向する強磁性金属薄膜5,6,
7,8の間に下地層としてSiO2を配し、砥粒研摩等
でトラック幅規制溝を形成している。
【0039】さらに、上記強磁性金属薄膜5,6,7,
8上にスパッタリング法、蒸着法等によりガラス膜を形
成し、一対の磁気コア半体ブロックとする。そして、上
記一対の磁気コア半体ブロックを強磁性金属薄膜5,
6,7,8を突き合わせるようにして対向させ、加圧し
ながら加熱してガラス膜同士を溶融接合させ、ギャップ
接合する。このとき、一対の磁気コア半体ブロックに形
成されるトラック幅規制溝同士、巻線溝11同士の位置
合わせも行っておく。
【0040】次に、巻線溝11同士の間に形成される溝
部内に結う着ガラス棒をセットし、加熱して上記融着ガ
ラスをトラック幅規制溝間に形成される溝部内に溶融充
填して、一対の、磁気コア半体ブロックを接合一体化す
る。そして、接合一体化された一対の磁気コア半体ブロ
ックを所定の厚さに切断して、図1に示すような磁気ヘ
ッドを得る。
【0041】実験結果 本発明は、一対の磁気コア半体1,2の各強磁性金属薄
膜5,6,7,8がフロントギャップFG側とバックギ
ャップBG側とで磁気特性の異なる材料で構成されてな
る。そして、フロントギャップFG側を高磁束密度Bの
強磁性金属薄膜5,6とし、前記バックギャップBG側
を高透磁率の強磁性金属薄膜7,8とした。
【0042】そこで、次に、本実施例に係る磁気ヘッド
が従来の磁気ヘッドと比較して、記録特性と再生特性に
優れた電磁変換特性を示すかどうかについての実験を行
った。表1がその実験結果である。
【0043】
【表1】 この実験結果は、フロントギャップFG側及びバックギ
ャップBG側ともにFe−Al−Siとして使用した場
合を基準に実験したものである。ここで、この表1中、
「−」印は、基準になることを意味し、「×」印は、記
録又は再生に劣ることを意味し、「○」印は、記録又は
再生に優れることを意味する。
【0044】この表1に示すように、両ギャップ側F
G,BGともに高磁束密度BのFe−Ga−Si−Ru
系合金を使用した場合、再生特性が劣る。また、両ギャ
ップ側FG,BGともに高透磁率μのCo−Zr−Nb
−Ta系合金を使用した場合、記録特性が劣る。
【0045】これに対して、この表1に示すような、フ
ロントギャップFG側に高磁束密度Bの強磁性金属薄膜
5,6としてFe−Ga−Si−Ru系合金を、バック
ギャップ側BGに高透磁率μの強磁性金属薄膜7,8と
してCo−Zr−Nb−Ta系合金を使用した磁気ヘッ
ドが記録及び再生特性に優れた電磁変換特性を示した。
【0046】以上、本発明を適用した実施例荷ついて説
明してきたが、本発明が実施例に限定されるものではな
く、フロントギャップFG側の強磁性金属薄膜5,6が
高磁束密度Bのもので構成され、他方、バックギャップ
BG側の強磁性金属薄膜7,8が高透磁率μのもので構
成されていれば、本発明に含まれることは言うまでもな
い。
【0047】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る磁気ヘッドは、一対の磁気コア半体の各強磁性金
属薄膜がフロントギャップ側とバックギャップ側とで磁
気特性の異なる材料で構成されてなることにより、従来
の磁気ヘッドの製造工程をほとんど変更することなく、
最適な強磁性金属薄膜が各々形成され、記録及び再生特
性に優れた電磁変換特性を示す磁気ヘッドを提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示す斜視
図である。
【図2】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、バックギャップ側をマスキングをして強磁性金
属薄膜を成膜する状態を示す断面図である。
【図3】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、フロントギャップ側をマスキングをして強磁性
金属薄膜を成膜する状態を示す断面図である。
【図4】従来の磁気ヘッドの製造工程を示すもので、磁
気コア半体の接合面側の全域に強磁性金属薄膜を成膜す
る状態を示す断面図である。
【図5】従来の磁気ヘッドの製造工程を示すもので、巻
線溝にマスキングして強磁性金属薄膜を成膜する状態を
示す断面図である。
【符号の説明】
1,2 磁気コア半体 5,6 フロントギャップ側の高磁束密度の強磁性金属
薄膜 7,8 バックギャップ側の高透磁率の強磁性金属薄膜 11 巻線溝 12 磁性フェライト材 15,16 マスキング部材 FG フロントギャップ BG バックギャップ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対の磁気コア半体が互いに突き合わさ
    れて接合一体化され、その突き合わせ面に強磁性金属薄
    膜が成膜されてなるとともに巻線溝を介してフロントギ
    ャップとバックギャップが形成されてなる磁気ヘッドに
    おいて、 上記一対の磁気コア半体の各強磁性金属薄膜がフロント
    ギャップ側とバックギャップ側とで磁気特性の異なる材
    料で構成されてなることを特徴とする磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記フロントギャップ側の強磁性金属薄
    膜を高磁束密度Bの強磁性金属薄膜とし、前記バックギ
    ャップ側の強磁性金属薄膜を高透磁率μの強磁性金属薄
    膜としたことを特徴とする請求項1記載の磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記フロントギャップ側の強磁性金属薄
    膜がFe−Ga−Si−Ru系合金であり、前記バック
    ギャップ側の強磁性金属薄膜がCo−Zr−Nb−Ta
    系合金であることを特徴とする請求項2記載の磁気ヘッ
    ド。
JP10056195A 1995-03-31 1995-03-31 磁気ヘッド Withdrawn JPH08279105A (ja)

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