JPH08265672A - 横長ディスプレイ用超小型ディジタルミラー構造体 - Google Patents
横長ディスプレイ用超小型ディジタルミラー構造体Info
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- JPH08265672A JPH08265672A JP7283737A JP28373795A JPH08265672A JP H08265672 A JPH08265672 A JP H08265672A JP 7283737 A JP7283737 A JP 7283737A JP 28373795 A JP28373795 A JP 28373795A JP H08265672 A JPH08265672 A JP H08265672A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 標準テレビジョン画像および横長テレビジョ
ン画像を再生できる超小型ディジタルミラーデバイスを
提供する。 【解決手段】 本装置は、基板の上方に取り付けられ、
各ミラー素子が基板とミラー素子の間で前記基板上に形
成された少なくとも1つのアドレス電極を備えた複数の
ミラー素子の16:9アレーを含んでいる。メモリセル
アレー62は前記基板上に形成され、各メモリセルは少
なくとも1つのアドレス電極と通信する。メモリセルア
レー62と通信する入力シフトレジスタアレー64は前
記基板上に形成され、一連の画像データ語を受信しかつ
該画像データをメモリセルアレー62に格納する。
ン画像を再生できる超小型ディジタルミラーデバイスを
提供する。 【解決手段】 本装置は、基板の上方に取り付けられ、
各ミラー素子が基板とミラー素子の間で前記基板上に形
成された少なくとも1つのアドレス電極を備えた複数の
ミラー素子の16:9アレーを含んでいる。メモリセル
アレー62は前記基板上に形成され、各メモリセルは少
なくとも1つのアドレス電極と通信する。メモリセルア
レー62と通信する入力シフトレジスタアレー64は前
記基板上に形成され、一連の画像データ語を受信しかつ
該画像データをメモリセルアレー62に格納する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はディスプレイシステ
ムに関し、より詳細には、標準フォーマットおよび横長
フォーマットのテレビジョン画像を表示することができ
る超小型ディジタルミラー空間光変調器に関する。
ムに関し、より詳細には、標準フォーマットおよび横長
フォーマットのテレビジョン画像を表示することができ
る超小型ディジタルミラー空間光変調器に関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】テレビジョン放送シス
テムは画像を画像データの流れに変換し、この画像デー
タを複数の受信機に送信する。画像データは、源画像の
各画像素子あるいはピクセルの強さと色を表し、上から
下に1行づつかつ行の左から右へ1ピクセルづつラスタ
ーの形式で放送されるのが普通である。普通、画像デー
タは飛び越し走査されるから、偶数番号の行で構成され
る副フレームと奇数番号の行で構成される副フレームが
別々に送信される。テレビジョン受信機はピクセルアレ
ーが放射する光を変調することにより、送信されたデー
タ信号から画像を再生する。
テムは画像を画像データの流れに変換し、この画像デー
タを複数の受信機に送信する。画像データは、源画像の
各画像素子あるいはピクセルの強さと色を表し、上から
下に1行づつかつ行の左から右へ1ピクセルづつラスタ
ーの形式で放送されるのが普通である。普通、画像デー
タは飛び越し走査されるから、偶数番号の行で構成され
る副フレームと奇数番号の行で構成される副フレームが
別々に送信される。テレビジョン受信機はピクセルアレ
ーが放射する光を変調することにより、送信されたデー
タ信号から画像を再生する。
【0003】NTSC、PAL、SECAMなど従来の
テレビジョン放送規格は、画像の横巾と高さの比、アス
ペクト比がほぼ4:3になっている画像を放送する。よ
り広い画像を送信しかつ解像度が非常に高い高精細度テ
レビジョン(HDTV)規格が開発中である。テレビジ
ョン産業がHDTVへ移行するのに伴って、暫定的な放
送規格が開発されているが、この暫定放送規格は、標準
テレビジョンとHDTVとの中間の解像度でアスペクト
比が約16:9の表示をするようになっている。これら
の横長テレビジョン(wide television/wide-TV:ワイド
テレビジョン)フォーマットを表示するためには、より
広い画像を表示できるディスプレイシステムを開発しな
ければならない。
テレビジョン放送規格は、画像の横巾と高さの比、アス
ペクト比がほぼ4:3になっている画像を放送する。よ
り広い画像を送信しかつ解像度が非常に高い高精細度テ
レビジョン(HDTV)規格が開発中である。テレビジ
ョン産業がHDTVへ移行するのに伴って、暫定的な放
送規格が開発されているが、この暫定放送規格は、標準
テレビジョンとHDTVとの中間の解像度でアスペクト
比が約16:9の表示をするようになっている。これら
の横長テレビジョン(wide television/wide-TV:ワイド
テレビジョン)フォーマットを表示するためには、より
広い画像を表示できるディスプレイシステムを開発しな
ければならない。
【0004】テレビジョンディスプレイシステムは、1
つの放送フォーマットだけ受信できるのが普通である。
過去においては、この制約は消費者に受け入れられてい
た。何故ならば、各地域においてはただ1つのテレビジ
ョン放送フォーマットが使用できるだけであって、テレ
ビジョン放送規格は固定していて変化しないものだと考
えられていたからである。横長テレビジョンやHDTV
の到来を迎えて、消費者が1つ以上の放送規格を使用可
能になるばかりでなく、より新しい規格が開発されるの
に伴って従来の規格は徐々に陳腐化していくであろう。
したがって、4:3のアスペクト比の既存放送規格と、
16:9のアスペクト比の将来形放送規格とによって送
信された画像を表示することができるマルチフォーマッ
トテレビジョンディスプレイシステムのニーズがあるで
あろう。
つの放送フォーマットだけ受信できるのが普通である。
過去においては、この制約は消費者に受け入れられてい
た。何故ならば、各地域においてはただ1つのテレビジ
ョン放送フォーマットが使用できるだけであって、テレ
ビジョン放送規格は固定していて変化しないものだと考
えられていたからである。横長テレビジョンやHDTV
の到来を迎えて、消費者が1つ以上の放送規格を使用可
能になるばかりでなく、より新しい規格が開発されるの
に伴って従来の規格は徐々に陳腐化していくであろう。
したがって、4:3のアスペクト比の既存放送規格と、
16:9のアスペクト比の将来形放送規格とによって送
信された画像を表示することができるマルチフォーマッ
トテレビジョンディスプレイシステムのニーズがあるで
あろう。
【0005】
【課題を解決する手段】本発明によれば、横長テレビジ
ョン画像を表示する超小型ディジタルミラーデバイス
は、基板の上方に取り付けられた16:9のミラー素子
アレーを含み、各ミラー素子は、基板とミラー素子の間
で基板上に形成された少なくとも1つのアドレス電極を
備えている。メモリセルアレーが基板上に形成され、各
メモリセルは少なくとも1つのアドレス電極と通信する
(in communication with )。メモリセルと通信する入
力シフトレジスタアレーは基板上に形成され、一連の入
力画像データ語を受信し該画像データをメモリセルに格
納(drive )する。
ョン画像を表示する超小型ディジタルミラーデバイス
は、基板の上方に取り付けられた16:9のミラー素子
アレーを含み、各ミラー素子は、基板とミラー素子の間
で基板上に形成された少なくとも1つのアドレス電極を
備えている。メモリセルアレーが基板上に形成され、各
メモリセルは少なくとも1つのアドレス電極と通信する
(in communication with )。メモリセルと通信する入
力シフトレジスタアレーは基板上に形成され、一連の入
力画像データ語を受信し該画像データをメモリセルに格
納(drive )する。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明とその利点をより良く理解
するために、添付の図面と共に以下の説明を参照された
い。
するために、添付の図面と共に以下の説明を参照された
い。
【0007】図1に示すとともに、共通譲渡された19
91年10月29日発行の米国特許5,061,049
「空間光変調器とその方法(Spatial Light Modulator
andMethod)」と1992年1月28日発行の米国特許
5,083,857「マルチレベル変形可能ミラーデバ
イス(DMD)(Multi-level Deformable Mirror Devi
ce)」、並びに継続中の1993年12月3日出願の米
国特許出願08/161,832「水平解像度を改善す
るDMD構造体(DMD Architecture to Improve Horizo
ntal Resolution )」 と1993年12月21日出願
の米国特許出願08/171,303「マルチレベル超
小型ディジタルミラーデバイス(Multi-level Digital
Micromirror Device)」との中で教示されている先行技
術による超小型ディジタルミラーデバイス(DMD)
は、ミラー22のアレーで構成されている。各ミラー2
2は、普通にはシリコンである半導体基板26上で変形
可能捻れはり24(deformable torsion beam )あるい
は捻れヒンジ(torsion hinge )により支持されてい
る。半導体基板26の表面にアドレス電極28が配置さ
れ、このアドレス電極28は、半導体基板26の内部あ
るいは上につくられたメモリセルと電気的に接続してい
る。図1に示すようにDMD20の捻れヒンジの形式
(versions)には、ヒンジ24の中央ラインの両側に半
導体基板26の上につくられたアドレス電極28がある
のが普通である。ミラー22とそれに付随するヒンジ2
4およびアドレス電極28が変調器素子あるいは変調器
セルを構成している。
91年10月29日発行の米国特許5,061,049
「空間光変調器とその方法(Spatial Light Modulator
andMethod)」と1992年1月28日発行の米国特許
5,083,857「マルチレベル変形可能ミラーデバ
イス(DMD)(Multi-level Deformable Mirror Devi
ce)」、並びに継続中の1993年12月3日出願の米
国特許出願08/161,832「水平解像度を改善す
るDMD構造体(DMD Architecture to Improve Horizo
ntal Resolution )」 と1993年12月21日出願
の米国特許出願08/171,303「マルチレベル超
小型ディジタルミラーデバイス(Multi-level Digital
Micromirror Device)」との中で教示されている先行技
術による超小型ディジタルミラーデバイス(DMD)
は、ミラー22のアレーで構成されている。各ミラー2
2は、普通にはシリコンである半導体基板26上で変形
可能捻れはり24(deformable torsion beam )あるい
は捻れヒンジ(torsion hinge )により支持されてい
る。半導体基板26の表面にアドレス電極28が配置さ
れ、このアドレス電極28は、半導体基板26の内部あ
るいは上につくられたメモリセルと電気的に接続してい
る。図1に示すようにDMD20の捻れヒンジの形式
(versions)には、ヒンジ24の中央ラインの両側に半
導体基板26の上につくられたアドレス電極28がある
のが普通である。ミラー22とそれに付随するヒンジ2
4およびアドレス電極28が変調器素子あるいは変調器
セルを構成している。
【0008】動作する場合、アドレス電極28の1つに
アドレス電圧が印加されると、ミラー22とアドレス電
極28の間の電圧バイアスが生成される。この電圧バイ
アスは、ミラー22とアドレス電極28の間に静電吸引
力を発生させ、この静電吸引力によりアドレス電極28
に向かってミラー22が偏向あるいは回転する。アドレ
ス電圧がミラーを部分的に回転させた後、捻れはりDM
D20のミラー22に別々の電圧バイアスが印加され
る。ミラー電圧バイアスは、ミラー22が時計方向に完
全に回転した位置と反時計方向に完全に回転した位置の
2つだけの安定な姿勢をとれる程度に静電気吸引力を大
きくするのに十分な大きさである。ミラーバイアスが印
加されると、ミラー22が接地ヨーク(landing yoke)
30の先端と半導体基板26との間の接点により機械的
に停止されるまで、ミラー22は、最も近くにあるアド
レス電極28に向かって回転する。
アドレス電圧が印加されると、ミラー22とアドレス電
極28の間の電圧バイアスが生成される。この電圧バイ
アスは、ミラー22とアドレス電極28の間に静電吸引
力を発生させ、この静電吸引力によりアドレス電極28
に向かってミラー22が偏向あるいは回転する。アドレ
ス電圧がミラーを部分的に回転させた後、捻れはりDM
D20のミラー22に別々の電圧バイアスが印加され
る。ミラー電圧バイアスは、ミラー22が時計方向に完
全に回転した位置と反時計方向に完全に回転した位置の
2つだけの安定な姿勢をとれる程度に静電気吸引力を大
きくするのに十分な大きさである。ミラーバイアスが印
加されると、ミラー22が接地ヨーク(landing yoke)
30の先端と半導体基板26との間の接点により機械的
に停止されるまで、ミラー22は、最も近くにあるアド
レス電極28に向かって回転する。
【0009】双安定動作の利点の1つは、DMDミラー
が完全に回転してしまうと、ミラーの姿勢を変更させず
にアドレス電圧を除去あるいは変更できることである。
このことは、所与のメモリセルに接続された各ミラーが
独立にバイアスされるという条件で、メモリセルは複数
の変調器セルにデータを供給することを可能にしてい
る。この動作様態を分割リセット(split-reset )と呼
称するが、その理由はDMDアレーのミラー22を再び
ある姿勢にすることあるいはリセットすることは、複数
のセルの複数のグループに分割されるからである。各グ
ループの複数のミラー22は共通ミラーバイアス信号を
備えており、この共通ミラーバイアス信号により、他の
グループのミラー22とは独立にそのミラー22をリセ
ットさせることが可能なのである。
が完全に回転してしまうと、ミラーの姿勢を変更させず
にアドレス電圧を除去あるいは変更できることである。
このことは、所与のメモリセルに接続された各ミラーが
独立にバイアスされるという条件で、メモリセルは複数
の変調器セルにデータを供給することを可能にしてい
る。この動作様態を分割リセット(split-reset )と呼
称するが、その理由はDMDアレーのミラー22を再び
ある姿勢にすることあるいはリセットすることは、複数
のセルの複数のグループに分割されるからである。各グ
ループの複数のミラー22は共通ミラーバイアス信号を
備えており、この共通ミラーバイアス信号により、他の
グループのミラー22とは独立にそのミラー22をリセ
ットさせることが可能なのである。
【0010】図2に模式的に示すように、双安定DMD
40は、ミラーアレーの表面から画像平面あるいは投影
スクリーン48に光42を反射させることにより画像を
生成するために使用される。普通DMDは数十万個のミ
ラーを備えているが、説明を簡潔にするためただ2つの
ミラー44、46が図2に示されている。第1方向
(「オン」)に回転したミラー44が投影レンズ50に
向けて光を反射すると、レンズ50は投影スクリーン上
にこの光の焦点を結ぶ。これによってミラー44に対応
する輝点52(bright spot )あるいはピクセルが生成
する。別の方向(「オフ」)に回転したミラー46が投
影抑制装置(projection stop )54あるいは光吸収装
置に向けて光を反射する。これによって投影された画像
の対応するピクセル56は暗いままになる。
40は、ミラーアレーの表面から画像平面あるいは投影
スクリーン48に光42を反射させることにより画像を
生成するために使用される。普通DMDは数十万個のミ
ラーを備えているが、説明を簡潔にするためただ2つの
ミラー44、46が図2に示されている。第1方向
(「オン」)に回転したミラー44が投影レンズ50に
向けて光を反射すると、レンズ50は投影スクリーン上
にこの光の焦点を結ぶ。これによってミラー44に対応
する輝点52(bright spot )あるいはピクセルが生成
する。別の方向(「オフ」)に回転したミラー46が投
影抑制装置(projection stop )54あるいは光吸収装
置に向けて光を反射する。これによって投影された画像
の対応するピクセル56は暗いままになる。
【0011】横長NTSC、横長PAL、横長SECA
Mなど、少なくとも3つの横長テレビジョンフォーマッ
トが提案されている。横長PALと横長SECAMとは
欧州テレビジョン規格であって、水平解像度が1024
ピクセルで垂直解像度が576行のテレビジョン信号を
規定している。横長NTSCは米国テレビジョン規格で
あって、各行853ピクセルの480行を送信する規格
となっている。フォーマットが異なっているため、3つ
のフォーマットのどれかの画像を表示するように設計さ
れた変調器は、すべてのフォーマットに使用されない素
子を含まなければならないか、あるいは再スケーリング
ならびに再サンプリングを行って、使用可能な素子を、
送信規格に要求される素子の数に整合させなければなら
ない。
Mなど、少なくとも3つの横長テレビジョンフォーマッ
トが提案されている。横長PALと横長SECAMとは
欧州テレビジョン規格であって、水平解像度が1024
ピクセルで垂直解像度が576行のテレビジョン信号を
規定している。横長NTSCは米国テレビジョン規格で
あって、各行853ピクセルの480行を送信する規格
となっている。フォーマットが異なっているため、3つ
のフォーマットのどれかの画像を表示するように設計さ
れた変調器は、すべてのフォーマットに使用されない素
子を含まなければならないか、あるいは再スケーリング
ならびに再サンプリングを行って、使用可能な素子を、
送信規格に要求される素子の数に整合させなければなら
ない。
【0012】新しい横長テレビジョン送信規格によって
送信される画像を効率よく表示するために、図3に示す
ような新しいDMD構造体が開発されている。この新し
いDMD構造体は、3つの新しい横長テレビジョン送信
規格のどの規格で送信された画像データにも若干の再サ
ンプリングあるいは再スケーリングを行うか、あるいは
なにもせずに、送信された画像を表示させることができ
る。本発明の一実施例によれば、DMD60は、各行に
864個の素子を備えた480行のミラーアレーで構成
されている。本発明の他の実施例によれば、DMDアレ
ーは、各行1024素子の576行のアレーで構成され
ている。ミラーアレーの下方で基板上につくられたメモ
リセルアレー62は、各ミラーの下方にあるアドレス電
極にデータを供給する。
送信される画像を効率よく表示するために、図3に示す
ような新しいDMD構造体が開発されている。この新し
いDMD構造体は、3つの新しい横長テレビジョン送信
規格のどの規格で送信された画像データにも若干の再サ
ンプリングあるいは再スケーリングを行うか、あるいは
なにもせずに、送信された画像を表示させることができ
る。本発明の一実施例によれば、DMD60は、各行に
864個の素子を備えた480行のミラーアレーで構成
されている。本発明の他の実施例によれば、DMDアレ
ーは、各行1024素子の576行のアレーで構成され
ている。ミラーアレーの下方で基板上につくられたメモ
リセルアレー62は、各ミラーの下方にあるアドレス電
極にデータを供給する。
【0013】DMDのメモリアレーに対するデータ転送
を容易にするため、DMDの基板上に、直列入力・並列
出力(serial-in parallel-out)入力シフトレジスタア
レー64がつくられている。入力シフトレジスタ64の
幅の合計は、望ましくはDMDアレー全体の幅に等しく
なっている。メモリアレーの各行のデータは複数のグル
ープに分割され、各グループのビット数は各シフトレジ
スタの幅に等しく、各グループ内のビットは入力シフト
レジスタアレー64にクロックで順番に取り込まれる。
図3に示す例では、各行の864ピクセル全てが1グル
ープが32ビットの27グループに分割される。こうす
れば、1行の全データ864ビットは、32個の27ビ
ット語で入力シフトレジスタアレー64にロードされ
る。各色に8ビットのデータを使用しかつ60ヘルツの
フレームレートのカラーテレビジョンシステムに本DM
Dが使用されると、各入力信号に要求されるデータレー
トは約24メガヘルツである。別の実施例には、上に説
明した27個の32ビットシフトレジスタのアレーの代
わりに54個の16ビットシフトレジスタのアレーが含
まれている。
を容易にするため、DMDの基板上に、直列入力・並列
出力(serial-in parallel-out)入力シフトレジスタア
レー64がつくられている。入力シフトレジスタ64の
幅の合計は、望ましくはDMDアレー全体の幅に等しく
なっている。メモリアレーの各行のデータは複数のグル
ープに分割され、各グループのビット数は各シフトレジ
スタの幅に等しく、各グループ内のビットは入力シフト
レジスタアレー64にクロックで順番に取り込まれる。
図3に示す例では、各行の864ピクセル全てが1グル
ープが32ビットの27グループに分割される。こうす
れば、1行の全データ864ビットは、32個の27ビ
ット語で入力シフトレジスタアレー64にロードされ
る。各色に8ビットのデータを使用しかつ60ヘルツの
フレームレートのカラーテレビジョンシステムに本DM
Dが使用されると、各入力信号に要求されるデータレー
トは約24メガヘルツである。別の実施例には、上に説
明した27個の32ビットシフトレジスタのアレーの代
わりに54個の16ビットシフトレジスタのアレーが含
まれている。
【0014】1行のデータが入力シフトレジスタアレー
64にすべてロードされると、このデータは、アドレス
デコーダ66によって選択されるメモリアレーの行にロ
ードされる。示した例では、30行のメモリアレーがあ
り、各行は864ビットの幅がある。各行のメモリに画
像データがロードされると、1グループのミラーがリセ
ットされるか、あるいは再位置付けされ、メモリアレー
の中のデータを表す。つぎにデータをロードするプロセ
スは、残る15グループのミラーに対して繰り返し実行
される。
64にすべてロードされると、このデータは、アドレス
デコーダ66によって選択されるメモリアレーの行にロ
ードされる。示した例では、30行のメモリアレーがあ
り、各行は864ビットの幅がある。各行のメモリに画
像データがロードされると、1グループのミラーがリセ
ットされるか、あるいは再位置付けされ、メモリアレー
の中のデータを表す。つぎにデータをロードするプロセ
スは、残る15グループのミラーに対して繰り返し実行
される。
【0015】図4は、図3の入力シフトレジスタアレー
64のシフトレジスタ88の一部と、ミラーアレーの下
方につくられる図3のメモリセルアレー62を構成する
メモリセル82の小部分とを示している。1行の中にあ
る864個のメモリセル82のそれぞれは共通クロック
信号あるいはラッチ信号84に接続されており、ラッチ
信号84はアドレスデコーダ66によって駆動される。
1列の中にある30個のメモリセル82のそれぞれは、
共通データ入力86を共用するが、この共通データ入力
86は、入力シフトレジスタアレー64の1つのシフト
レジスタ88の32個の並列出力の1つに接続されてい
る。各メモリセルのそれぞれの出力は16個のミラーの
アドレス電極を駆動する。
64のシフトレジスタ88の一部と、ミラーアレーの下
方につくられる図3のメモリセルアレー62を構成する
メモリセル82の小部分とを示している。1行の中にあ
る864個のメモリセル82のそれぞれは共通クロック
信号あるいはラッチ信号84に接続されており、ラッチ
信号84はアドレスデコーダ66によって駆動される。
1列の中にある30個のメモリセル82のそれぞれは、
共通データ入力86を共用するが、この共通データ入力
86は、入力シフトレジスタアレー64の1つのシフト
レジスタ88の32個の並列出力の1つに接続されてい
る。各メモリセルのそれぞれの出力は16個のミラーの
アドレス電極を駆動する。
【0016】図5は、図4の4個のメモリセル82によ
って制御されるミラー90を示している。各メモリセル
82は16個のミラー90の列92、94を制御し、メ
モリセル82の行は16行のミラー96、98を制御す
る。16本のミラーバイアス線100の各線は、独立に
リセットできる16グループのミラー90を形成するメ
モリセル82のそれぞれによって制御されるミラー90
の1つに接続される。16個のリセットグループはイン
ターリーブされて示されているが、メモリセル82とア
ドレス電極との間の相互接続の変更に対応すれば、他の
配列も可能であることを理解されたい。
って制御されるミラー90を示している。各メモリセル
82は16個のミラー90の列92、94を制御し、メ
モリセル82の行は16行のミラー96、98を制御す
る。16本のミラーバイアス線100の各線は、独立に
リセットできる16グループのミラー90を形成するメ
モリセル82のそれぞれによって制御されるミラー90
の1つに接続される。16個のリセットグループはイン
ターリーブされて示されているが、メモリセル82とア
ドレス電極との間の相互接続の変更に対応すれば、他の
配列も可能であることを理解されたい。
【0017】アレー内の各ミラー90は1辺が17ミク
ロンの正方形であるが、長方形あるいは六角形のミラー
など、ミラーには別の大きさと形状を使用してもよい。
たとえば、片持ちはり(cantilever)DMDあるいは捻
れはりDMDなど、いかなる形のDMDを使用してもよ
いが、望ましい変調器素子の構造は、図1に示しかつ共
通譲渡された1993年12月21日出願の米国特許出
願08/171,303「マルチレベル超小型ディジタ
ルミラーデバイス(Multi-level Digital Micromirror
Device)」 (テキサスインスツルメンツ株式会社控え
番号TIー18387)の中で教示されている「隠れヒ
ンジ2(Hidden-Hinge 2)」構造体である。上に参照し
た特許出願の中で教示されているように隠れヒンジ2構
造体は、各ミラー素子の回転角度の制御が非常に優れて
いて、コントラスト比を100:1よりも大きくするこ
とができる。
ロンの正方形であるが、長方形あるいは六角形のミラー
など、ミラーには別の大きさと形状を使用してもよい。
たとえば、片持ちはり(cantilever)DMDあるいは捻
れはりDMDなど、いかなる形のDMDを使用してもよ
いが、望ましい変調器素子の構造は、図1に示しかつ共
通譲渡された1993年12月21日出願の米国特許出
願08/171,303「マルチレベル超小型ディジタ
ルミラーデバイス(Multi-level Digital Micromirror
Device)」 (テキサスインスツルメンツ株式会社控え
番号TIー18387)の中で教示されている「隠れヒ
ンジ2(Hidden-Hinge 2)」構造体である。上に参照し
た特許出願の中で教示されているように隠れヒンジ2構
造体は、各ミラー素子の回転角度の制御が非常に優れて
いて、コントラスト比を100:1よりも大きくするこ
とができる。
【0018】スケーリングをせずに864×480素子
のアレーによって、横長NTSCフォーマットで送信さ
れた画像を表示することができる。しかし、画像データ
は飛び越し走査によるフォーマットで放送されるから、
表示される前に順次走査フォーマットあるいはプロスキ
ャン(proscan )フォーマットに変換されるのが普通で
ある。プロスキャン変換アルゴリズムは、共通譲渡され
継続中の、1993年10月27日出願の米国特許出願
08/147,249「ディジタルテレビジョンシステ
ム」(テキサスインスツルメンツ株式会社控え番号TI
ー17855)の中で教示されているが、ここでこの特
許出願に言及することによりこの特許出願の開示内容は
本願に明確に組み入れることにする。DMDアレーの各
行は、送信される853画像ピクセルより11ピクセル
大きいから、画像データを各行で左右に最大11ピクセ
ルまでシフトさせることにより、投影された画像を揃え
るためにこの各行の11ピクセルを使用することができ
る。
のアレーによって、横長NTSCフォーマットで送信さ
れた画像を表示することができる。しかし、画像データ
は飛び越し走査によるフォーマットで放送されるから、
表示される前に順次走査フォーマットあるいはプロスキ
ャン(proscan )フォーマットに変換されるのが普通で
ある。プロスキャン変換アルゴリズムは、共通譲渡され
継続中の、1993年10月27日出願の米国特許出願
08/147,249「ディジタルテレビジョンシステ
ム」(テキサスインスツルメンツ株式会社控え番号TI
ー17855)の中で教示されているが、ここでこの特
許出願に言及することによりこの特許出願の開示内容は
本願に明確に組み入れることにする。DMDアレーの各
行は、送信される853画像ピクセルより11ピクセル
大きいから、画像データを各行で左右に最大11ピクセ
ルまでシフトさせることにより、投影された画像を揃え
るためにこの各行の11ピクセルを使用することができ
る。
【0019】画像データの飛び越し走査をもとに戻す
(deinterlace )ために使用するプロスキャンだけでな
く、欧州放送規格でも、放送される576画像データラ
インを、表示用に使用できる480行のミラーに減少す
るためのデータスケーリングが必要である。共通譲渡さ
れ継続中の米国特許出願08/147,249はスケー
リングアルゴリズムについても教示している。上に教示
されているDMDアレーの代替方法には576行のミラ
ーが含まれている。この576行のアレーにより、画像
を480行にスケーリングすることに付随する垂直解像
度の損失を生じさせずに、欧州テレビジョンフォーマッ
トを表示することができる。横長PALフォーマットあ
るいは横長SECAMフォーマットのいずれかで放送さ
れた画像を表示するには、送信された画像情報のいくら
かを失うことを防止しかつ望ましい16:9のアスペク
ト比を維持するために、少なくとも1024ピクセルの
水平解像度が有効なアレーが要求される。NTSC画像
も、1行当たり1024ピクセルになるように、データ
を不意平方高に再サンプリングし、画像を垂直方向にス
ケーリングして行数を480から576に増加させるこ
とにより、1024×576ミラーアレー上に表示させ
ることができる。しかし、1024×576ミラーアレ
ーは、864×480アレーよりも多くのミラーを含ん
でいるから、ミラーアレーのコストが上昇する。
(deinterlace )ために使用するプロスキャンだけでな
く、欧州放送規格でも、放送される576画像データラ
インを、表示用に使用できる480行のミラーに減少す
るためのデータスケーリングが必要である。共通譲渡さ
れ継続中の米国特許出願08/147,249はスケー
リングアルゴリズムについても教示している。上に教示
されているDMDアレーの代替方法には576行のミラ
ーが含まれている。この576行のアレーにより、画像
を480行にスケーリングすることに付随する垂直解像
度の損失を生じさせずに、欧州テレビジョンフォーマッ
トを表示することができる。横長PALフォーマットあ
るいは横長SECAMフォーマットのいずれかで放送さ
れた画像を表示するには、送信された画像情報のいくら
かを失うことを防止しかつ望ましい16:9のアスペク
ト比を維持するために、少なくとも1024ピクセルの
水平解像度が有効なアレーが要求される。NTSC画像
も、1行当たり1024ピクセルになるように、データ
を不意平方高に再サンプリングし、画像を垂直方向にス
ケーリングして行数を480から576に増加させるこ
とにより、1024×576ミラーアレー上に表示させ
ることができる。しかし、1024×576ミラーアレ
ーは、864×480アレーよりも多くのミラーを含ん
でいるから、ミラーアレーのコストが上昇する。
【0020】横長欧州テレビジョン放送を表示するため
に要求されるミラーの数を最小にして、ミラーアレーの
コストを最小にするため、アレー内のミラーの行をジグ
ザグ形にしている。1993年12月3日出願の米国特
許出願08/161,832「水平解像度を改善するD
MD構造体(DMD Architecture to Improve Horizontal
Resolution )」(テキサスインスツルメンツ株式会社
控え番号TIー17405)の中で教示されているよう
に、アレー中のピクセルの行を、ピクセルの間隔の半分
だけ交互にシフトさせることにより、ピクセルアレーの
実効解像度を高くすることができる。図6に示すシフト
されたあるいはジグザグ形にされたピクセルアレー11
0は、ピクセルアレーの実効解像度をアレーの各行にあ
るピクセルの数を約1.5倍にした解像度に向上させ
る。この機能によれば、864×480アレーを約12
96ピクセルの実効水平解像度にすることが可能にな
り、1024ピクセルの横長PALおよび横長SECA
M画像を正確に再生することが可能になる。ミラーアレ
ーの行が交互にジグザグ形になっているため、交互の行
の画像データをサンプリングすることは、ジグザグ形の
グリッドになったピクセルデータサンプルを揃えるため
半ピクセルの遅れが生じる。各行の864ピクセルを全
部使用して、あるいは853素子だけ使用して、上に論
議したように、投影された画像のセンタリングを可能と
することを残る11素子に任せることにより、横長PA
Lおよび横長SECAM画像を表示させることができ
る。ジグザグ形にしたピクセルアレーを使用すると、プ
ロスキャン変換およびスケーリングアルゴリズムの両方
を修正して、ジグザグ形になったピクセルアレーの補償
をしなければならない。
に要求されるミラーの数を最小にして、ミラーアレーの
コストを最小にするため、アレー内のミラーの行をジグ
ザグ形にしている。1993年12月3日出願の米国特
許出願08/161,832「水平解像度を改善するD
MD構造体(DMD Architecture to Improve Horizontal
Resolution )」(テキサスインスツルメンツ株式会社
控え番号TIー17405)の中で教示されているよう
に、アレー中のピクセルの行を、ピクセルの間隔の半分
だけ交互にシフトさせることにより、ピクセルアレーの
実効解像度を高くすることができる。図6に示すシフト
されたあるいはジグザグ形にされたピクセルアレー11
0は、ピクセルアレーの実効解像度をアレーの各行にあ
るピクセルの数を約1.5倍にした解像度に向上させ
る。この機能によれば、864×480アレーを約12
96ピクセルの実効水平解像度にすることが可能にな
り、1024ピクセルの横長PALおよび横長SECA
M画像を正確に再生することが可能になる。ミラーアレ
ーの行が交互にジグザグ形になっているため、交互の行
の画像データをサンプリングすることは、ジグザグ形の
グリッドになったピクセルデータサンプルを揃えるため
半ピクセルの遅れが生じる。各行の864ピクセルを全
部使用して、あるいは853素子だけ使用して、上に論
議したように、投影された画像のセンタリングを可能と
することを残る11素子に任せることにより、横長PA
Lおよび横長SECAM画像を表示させることができ
る。ジグザグ形にしたピクセルアレーを使用すると、プ
ロスキャン変換およびスケーリングアルゴリズムの両方
を修正して、ジグザグ形になったピクセルアレーの補償
をしなければならない。
【0021】別の実施例は、ジグザグ形になったグリッ
ドの864素子の576行で構成されている。このアレ
ーは、欧州テレビジョンフォーマットに要求される水平
および垂直解像度になっている一方、必要なミラーの数
を減少させている。正方形素子の864×576アレー
のアスペクト比は3:2しかないから、長方形の素子を
使用してディスプレイの望ましいアスペクト比16:9
を維持しなければならない。
ドの864素子の576行で構成されている。このアレ
ーは、欧州テレビジョンフォーマットに要求される水平
および垂直解像度になっている一方、必要なミラーの数
を減少させている。正方形素子の864×576アレー
のアスペクト比は3:2しかないから、長方形の素子を
使用してディスプレイの望ましいアスペクト比16:9
を維持しなければならない。
【0022】本明細書中で開示した構造と方法に特に注
目して、本発明の原理を論証してきたが、本発明の方法
において、各種の新機軸が生み出されることを認識でき
るであろう。本発明の範囲は本明細書中で開示した特定
の構造と方法に限定されることを意図しておらず、むし
ろ添付の請求の範囲から得られる感触によって定義され
ていると理解されたい。
目して、本発明の原理を論証してきたが、本発明の方法
において、各種の新機軸が生み出されることを認識でき
るであろう。本発明の範囲は本明細書中で開示した特定
の構造と方法に限定されることを意図しておらず、むし
ろ添付の請求の範囲から得られる感触によって定義され
ていると理解されたい。
【0023】以上の説明に関して更に以下の項を開示す
る。 (1)アスペクト比が約16:9のテレビジョン画像を
表示する超小型ディジタルミラーデバイスであって、基
板と、前記基板の上方に取り付けられた長方形ミラー素
子のアレーであって、各ミラー素子は幅と高さを有し、
幅対高さの比が約16:9であり、前記アレーはm個の
ミラー素子のn行で構成されており、ミラー素子の行の
位置は、各ミラー素子が隣接行の隣接する2つのミラー
素子の間に配置されるように、隣接行に対してシフトさ
れている前記アレーと、前記基板と各ミラー素子との間
で前記基板上に形成された少なくとも1つのアドレス電
極と、前記基板上に形成されたメモリセルアレーであっ
て、各メモリセルが少なくとも1つのアドレス電極と通
信するメモリセルアレーと、前記基板上に形成されかつ
前記メモリセルと通信中である入力シフトレジスタアレ
ーであって、前記入力シフトレジスタは一連の入力画像
データ語を受信しかつ前記画像データを前記メモリセル
に格納する入力シフトレジスタアレーと、を含むことを
特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
る。 (1)アスペクト比が約16:9のテレビジョン画像を
表示する超小型ディジタルミラーデバイスであって、基
板と、前記基板の上方に取り付けられた長方形ミラー素
子のアレーであって、各ミラー素子は幅と高さを有し、
幅対高さの比が約16:9であり、前記アレーはm個の
ミラー素子のn行で構成されており、ミラー素子の行の
位置は、各ミラー素子が隣接行の隣接する2つのミラー
素子の間に配置されるように、隣接行に対してシフトさ
れている前記アレーと、前記基板と各ミラー素子との間
で前記基板上に形成された少なくとも1つのアドレス電
極と、前記基板上に形成されたメモリセルアレーであっ
て、各メモリセルが少なくとも1つのアドレス電極と通
信するメモリセルアレーと、前記基板上に形成されかつ
前記メモリセルと通信中である入力シフトレジスタアレ
ーであって、前記入力シフトレジスタは一連の入力画像
データ語を受信しかつ前記画像データを前記メモリセル
に格納する入力シフトレジスタアレーと、を含むことを
特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
【0024】(2)第1項記載の超小型ディジタルミラ
ーデバイスであって、前記ミラー素子アレーは、各行に
864個のミラーを含む576行で構成されていること
を特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
ーデバイスであって、前記ミラー素子アレーは、各行に
864個のミラーを含む576行で構成されていること
を特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
【0025】(3)第1項記載の超小型ディジタルミラ
ーデバイスであって、前記ミラー素子アレーは、各行に
864個のミラーを含む480行で構成されていること
を特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
ーデバイスであって、前記ミラー素子アレーは、各行に
864個のミラーを含む480行で構成されていること
を特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
【0026】(4)第1項記載の超小型ディジタルミラ
ーデバイスであって、前記ミラー素子アレーの各行のミ
ラーは電気的に接続されていることを特徴とする超小型
ディジタルミラーデバイス。
ーデバイスであって、前記ミラー素子アレーの各行のミ
ラーは電気的に接続されていることを特徴とする超小型
ディジタルミラーデバイス。
【0027】(5)第4項記載の超小型ディジタルミラ
ーデバイスであって、前記ミラー素子の行は別々の16
グループに電気的に接続されていることを特徴とする超
小型ディジタルミラーデバイス。
ーデバイスであって、前記ミラー素子の行は別々の16
グループに電気的に接続されていることを特徴とする超
小型ディジタルミラーデバイス。
【0028】(6)第5項記載の超小型ディジタルミラ
ーデバイスであって、前記16グループのミラー素子の
各グループのミラー素子の行はインターリーブされてい
ることを特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
ーデバイスであって、前記16グループのミラー素子の
各グループのミラー素子の行はインターリーブされてい
ることを特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
【0029】(7)第1項記載の超小型ディジタルミラ
ーデバイスであって、前記入力シフトレジスタアレーは
直列入力・並列出力シフトレジスタアレーで構成されて
いることを特徴とする超小型ディジタルミラーデバイ
ス。
ーデバイスであって、前記入力シフトレジスタアレーは
直列入力・並列出力シフトレジスタアレーで構成されて
いることを特徴とする超小型ディジタルミラーデバイ
ス。
【0030】(8)第1項記載の超小型ディジタルミラ
ーデバイスであって、前記メモリセルと電気的に通信中
のアドレスデコーダをさらに含み、前記アドレスデコー
ダの出力により、前記メモリセルアレーの一部が、前記
シフトレジスタアレーの画像データを格納できるように
なることを特徴とする超小型ディジタルミラーデバイ
ス。
ーデバイスであって、前記メモリセルと電気的に通信中
のアドレスデコーダをさらに含み、前記アドレスデコー
ダの出力により、前記メモリセルアレーの一部が、前記
シフトレジスタアレーの画像データを格納できるように
なることを特徴とする超小型ディジタルミラーデバイ
ス。
【0031】(9)第8項記載の超小型ディジタルミラ
ーデバイスであって、前記アドレスデコーダの各出力に
より、前記メモリセルアレーの1行が、前記シフトレジ
スタアレーの画像データを格納できるようになることを
特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
ーデバイスであって、前記アドレスデコーダの各出力に
より、前記メモリセルアレーの1行が、前記シフトレジ
スタアレーの画像データを格納できるようになることを
特徴とする超小型ディジタルミラーデバイス。
【0032】(10)基板の上方に取り付けられ、各ミ
ラー素子が基板とミラー素子の間で前記基板上に形成さ
れた少なくとも1つのアドレス電極を備えた複数のミラ
ー素子の16:9アレーを含む横長テレビジョン画像を
表示する超小型ディジタルミラーデバイス60。メモリ
セルアレー62は前記基板上に形成され、各メモリセル
は少なくとも1つのアドレス電極と通信中である。メモ
リセルアレー62と通信中の入力シフトレジスタアレー
64は前記基板上に形成され、一連の画像データ語を受
信しかつ該画像データをメモリセルアレー62に格納す
る。超小型ディジタルミラーデバイス60は、標準テレ
ビジョン画像および横長テレビジョン画像を有効に再生
することを可能にしている。
ラー素子が基板とミラー素子の間で前記基板上に形成さ
れた少なくとも1つのアドレス電極を備えた複数のミラ
ー素子の16:9アレーを含む横長テレビジョン画像を
表示する超小型ディジタルミラーデバイス60。メモリ
セルアレー62は前記基板上に形成され、各メモリセル
は少なくとも1つのアドレス電極と通信中である。メモ
リセルアレー62と通信中の入力シフトレジスタアレー
64は前記基板上に形成され、一連の画像データ語を受
信しかつ該画像データをメモリセルアレー62に格納す
る。超小型ディジタルミラーデバイス60は、標準テレ
ビジョン画像および横長テレビジョン画像を有効に再生
することを可能にしている。
【図1】先行技術による隠れヒンジ超小型ディジタルミ
ラーデバイスアレーの一部の透視図。
ラーデバイスアレーの一部の透視図。
【図2】先行技術によるDMDを使用した画像投影シス
テムの模式図。
テムの模式図。
【図3】本発明DMDアレーの模式図。
【図4】図3のDMDアレーの一部の模式図であって、
入力シフトレジスタとメモリセルの相互接続を示す図。
入力シフトレジスタとメモリセルの相互接続を示す図。
【図5】図3のDMDアレーの一部の模式図であって、
インターリーブされたミラーリセットグループを示す
図。
インターリーブされたミラーリセットグループを示す
図。
【図6】交互に配置されたフォーマットのDMDミラー
アレーの平面図。
アレーの平面図。
20 DMD 22 ミラー 24 変形可能捻れはり/捻れヒンジ 26 半導体基板 28 アドレス電極 30 接地ヨーク 40 双安定DMD 42 光 44 ミラー 46 ミラー 48 投影スクリーン 50 投影レンズ 52 輝点/ピクセル 54 光吸収装置 56 暗点/ピクセル 60 DMD 62 メモリセルアレー 64 入力シフトレジスタアレー 66 アドレスデコーダ 82 メモリセルの小部分 84 共通クロック信号/ラッチ信号 86 共通データ入力 88 シフトレジスタ 90 ミラー 92 16個のミラー列 94 16個のミラー列 96 16行のミラー 98 16行のミラー 100 ミラーバイアス線 110 ミラーアレー
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成8年1月11日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0019
【補正方法】変更
【補正内容】
【0019】画像データの飛び越し走査をもとに戻す
(deinterlace)ために使用するプロスキャ
ンだけでなく、欧州放送規格でも、放送される576画
像データラインを、表示用に使用できる480行のミラ
ーに減少するためのデータスケーリングが必要である。
共通譲渡され継続中の米国特許出願08/147,24
9はスケーリングアルゴリズムについても教示してい
る。上に教示されているDMDアレーの代替方法には5
76行のミラーが含まれている。この576行のアレー
により、画像を480行にスケーリングすることに付随
する垂直解像度の損失を生じさせずに、欧州テレビジョ
ンフォーマットを表示することができる。横長PALフ
ォーマットあるいは横長SECAMフォーマットのいず
れかで放送された画像を表示するには、送信された画像
情報のいくらかを失うことを防止しかつ望ましい16:
9のアスペクト比を維持するために、少なくとも102
4ピクセルの水平解像度が有効なアレーが要求される。
NTSC画像も、1行当たり1024ピクセルになるよ
うに、データを水平方向に再サンプリングし、画像を垂
直方向にスケーリングして行数を480から576に増
加させることにより、1024×576ミラーアレー上
に表示させることができる。しかし、1024×576
ミラーアレーは、864×480アレーよりも多くのミ
ラーを含んでいるから、ミラーアレーのコストが上昇す
る。 ─────────────────────────────────────────────────────
(deinterlace)ために使用するプロスキャ
ンだけでなく、欧州放送規格でも、放送される576画
像データラインを、表示用に使用できる480行のミラ
ーに減少するためのデータスケーリングが必要である。
共通譲渡され継続中の米国特許出願08/147,24
9はスケーリングアルゴリズムについても教示してい
る。上に教示されているDMDアレーの代替方法には5
76行のミラーが含まれている。この576行のアレー
により、画像を480行にスケーリングすることに付随
する垂直解像度の損失を生じさせずに、欧州テレビジョ
ンフォーマットを表示することができる。横長PALフ
ォーマットあるいは横長SECAMフォーマットのいず
れかで放送された画像を表示するには、送信された画像
情報のいくらかを失うことを防止しかつ望ましい16:
9のアスペクト比を維持するために、少なくとも102
4ピクセルの水平解像度が有効なアレーが要求される。
NTSC画像も、1行当たり1024ピクセルになるよ
うに、データを水平方向に再サンプリングし、画像を垂
直方向にスケーリングして行数を480から576に増
加させることにより、1024×576ミラーアレー上
に表示させることができる。しかし、1024×576
ミラーアレーは、864×480アレーよりも多くのミ
ラーを含んでいるから、ミラーアレーのコストが上昇す
る。 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成8年3月19日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図3
【補正方法】変更
【補正内容】
【図3】
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図4
【補正方法】変更
【補正内容】
【図4】
【手続補正3】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図5
【補正方法】変更
【補正内容】
【図5】
【手続補正4】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図6
【補正方法】変更
【補正内容】
【図6】
Claims (1)
- 【請求項1】 アスペクト比が約16:9のテレビジョ
ン画像を表示する超小型ディジタルミラーデバイスであ
って、 基板と、 前記基板の上方に取り付けられた長方形ミラー素子のア
レーであって、各ミラー素子は幅と高さを有し、幅対高
さの比が約16:9であり、前記アレーはm個のミラー
素子のn行で構成されており、ミラー素子の行の位置
は、各ミラー素子が隣接行の隣接する2つのミラー素子
の間に配置されるように、隣接行に対してシフトされて
いる前記アレーと、 前記基板と各ミラー素子との間で前記基板上に形成され
た少なくとも1つのアドレス電極と、 前記基板上に形成されたメモリセルアレーであって、各
メモリセルが少なくとも1つのアドレス電極と通信する
メモリセルアレーと、 前記基板上に形成されかつ前記メモリセルと通信する入
力シフトレジスタアレーであって、前記入力シフトレジ
スタは一連の入力画像データ語を受信しかつ前記画像デ
ータを前記メモリセルに格納する入力シフトレジスタア
レーと、を含むことを特徴とする超小型ディジタルミラ
ーデバイス。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US33254594A | 1994-10-31 | 1994-10-31 | |
US332545 | 1994-10-31 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08265672A true JPH08265672A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=23298725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7283737A Pending JPH08265672A (ja) | 1994-10-31 | 1995-10-31 | 横長ディスプレイ用超小型ディジタルミラー構造体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0710019A3 (ja) |
JP (1) | JPH08265672A (ja) |
KR (1) | KR960016527A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9791692B2 (en) | 2014-07-25 | 2017-10-17 | Seiko Epson Corporation | Electrooptical device, method for manufacturing electrooptical device, and electronic apparatus |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19622314A1 (de) | 1996-06-04 | 1997-12-11 | Sel Alcatel Ag | Telekommunikationsendgerät und Vorrichtung zur Projektion von visuell erfaßbarer Information |
CA2281386A1 (en) | 1998-09-08 | 2000-03-08 | Gretag Imaging Ag | Apparatus for producing a photographic picture |
EP0986243A1 (de) * | 1998-09-08 | 2000-03-15 | Gretag Imaging Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines fotografischen Bilds |
CA2294984A1 (en) | 1999-02-17 | 2000-08-17 | Gretag Imaging Trading Ag | Apparatus for the manufacture of a photographic print |
NO20054838D0 (no) * | 2005-10-19 | 2005-10-19 | Ignis Photonyx As | Dobbel-linje brikkekonstruksjon for lysmodulator |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4596992A (en) * | 1984-08-31 | 1986-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Linear spatial light modulator and printer |
US5061049A (en) | 1984-08-31 | 1991-10-29 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4793699A (en) * | 1985-04-19 | 1988-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Projection apparatus provided with an electro-mechanical transducer element |
JP2672608B2 (ja) * | 1988-11-25 | 1997-11-05 | 株式会社東芝 | マトリクス表示パネル駆動装置 |
US5083857A (en) | 1990-06-29 | 1992-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Multi-level deformable mirror device |
DE69131985T2 (de) * | 1990-11-16 | 2000-10-05 | Digital Projection Ltd | Verfahren und Einrichtung zum Steuern von verformbaren Spiegeln |
CA2063744C (en) * | 1991-04-01 | 2002-10-08 | Paul M. Urbanus | Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system |
EP0523792B1 (en) * | 1991-07-19 | 1996-07-10 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Multi-standard display device |
DE69405420T2 (de) * | 1993-01-11 | 1998-03-12 | Texas Instruments Inc | Pixelkontrollschaltung für räumlichen Lichtmodulator |
US5489952A (en) * | 1993-07-14 | 1996-02-06 | Texas Instruments Incorporated | Method and device for multi-format television |
CA2137059C (en) * | 1993-12-03 | 2004-11-23 | Texas Instruments Incorporated | Dmd architecture to improve horizontal resolution |
-
1995
- 1995-10-31 JP JP7283737A patent/JPH08265672A/ja active Pending
- 1995-10-31 KR KR1019950038574A patent/KR960016527A/ko not_active Application Discontinuation
- 1995-10-31 EP EP95117189A patent/EP0710019A3/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9791692B2 (en) | 2014-07-25 | 2017-10-17 | Seiko Epson Corporation | Electrooptical device, method for manufacturing electrooptical device, and electronic apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0710019A2 (en) | 1996-05-01 |
EP0710019A3 (en) | 1997-03-26 |
KR960016527A (ko) | 1996-05-22 |
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