DE69131985T2

DE69131985T2 - Verfahren und Einrichtung zum Steuern von verformbaren Spiegeln

Info

Publication number: DE69131985T2
Application number: DE69131985T
Authority: DE
Inventors: Peter William Blaxtan; John David Millward
Original assignee: Digital Projection Ltd
Current assignee: Digital Projection Ltd
Priority date: 1990-11-16
Filing date: 1991-11-18
Publication date: 2000-10-05
Anticipated expiration: 2011-11-19
Also published as: ATE189757T1; AU8906891A; EP0557360B1; DE69131985D1; ATE143552T1; DE69122407T2; US5673060A; DE69122407D1; EP0707303A3; EP0707303A2; DK0557360T3; WO1992009065A1; EP0557360A1; EP0707303B1

Description

Die Erfindung betrifft eine verformbare Spiegelvorrichtung und insbesondere Schaltungen und Verfahren zum Steuern solcher Vorrichtungen.
Die verformbare Spiegelvorrichtung ist eine besondere Art eines räumlichen Lichtmodulators; sie umfaßt eine mikromechanische Anordnung von elektronisch adressierbaren Spiegelelementen, die Pixeln entsprechen. Jedes Pixel-Spiegelelement kann sich entsprechend einem elektrischen Eingabesignal mechanisch bewegen. Die Bewegung ist in der Praxis meistens keine Verformung sondern eine Auslenkung; die Bezeichnung verformbare Spiegelvorrichtung hat sich jedoch zur Beschreibung dieser Art von Vorrichtungen eingebürgert. Sie können digital angesteuert werden, wobei sie dann als digitale Spiegelvorrichtungen bezeichnet werden. Der Ausdruck DMD umfaßt alle diese Vorrichtungen.
Zur Beschreibung der gegenwärtigen DMD-Technologie wird auf HORNBECK, L. J., "Deformable-Mirror Spatial Light Modulators", Proc. SPIE Critical Reviews Series, Bd. 1150, 6.-11. August 1989, San Diego, Kalifornien, USA, Seiten 86-102 verwiesen. Diese Veröffentlichung enthält ihrerseits viele Verweise auf frühere Arbeiten, wobei insbesondere auf die in dieser Veröffentlichung genannten Druckschriften 3, 9, 14 und 23 hingewiesen wird. In BOYSEL, R. M., "A 128 · 128 frame addressed deformable mirror spatial light modulator", Optical Engineering, Bd. 30 Nr. 9, September 1991, Seiten 1422- 1427, sind weitere Einzelheiten über den Aufbau solcher Vorrichtungen enthalten. Hingewiesen wird auch auf die in dieser Veröffentlichung genannte Druckschrift 1, die eine frühere Veröffentlichung von Boysel et al. ist. Es wurde auch bereits vorgeschlagen, daß DMDs als Projektionsanzeigen verwendbar sein können, siehe z. B. HORNBECK, L. J. et al., "Deformable Mirror Projection Display", SID 80 Digest, Seiten 228-229 (Zusammenfassung des am 20. Juli 1980 beim Sa-Symposium gehaltenen Vortrags), und US-Patent US-A- 4 680 579.
Aufbau und Herstellung von DMDs sind auch in den US-Patenten US-A4 615 595 und US-A-4 566 935 sowie der europäischen Patentanmeldung EP-A-0 391 529, alle von Texas Instruments Incorporated, beschrieben.
Die folgende Beschreibung setzt die Kenntnis der genannten Dokumente zum Stand der Technik voraus.
Ein DMD kann eine flächige Anordnung von auslenkbaren Spiegeln umfassen, die dazu dienen, das Licht in einem optischen Prorektor zu modulieren. Für jeden Bildpunkt bzw. jedes Pixel gibt es einen Spiegel, wobei jeder Spiegel etwa 20 um im Quadrat groß ist. Die Anordnung wird als digital bezeichnet, da jeder Spiegel zwei Zustände einnehmen kann, einen EIN- und einen AUS-Zustand. Im EIN-Zustand wird einfallendes Licht durch die Projektionslinse auf den Bildschirm gelenkt; im AUS-Zustand wird das Licht von der Projektionslinse weg gelenkt, so daß kein Licht den Schirm erreicht.
Die EIN- und AUS-Zustände der einzelnen Spiegel werden über zwei Ablenkelektroden gesteuert, die je nachdem, welche der Elektroden auf die erforderliche Vorspannung aufgeladen ist, eine entsprechende elektrostatische Anziehungskraft auf den Spiegel ausüben. Zusätzlich liegt an allen Spiegeln eine gemeinsame Vorspannung, die sie in ihrem EIN- oder AUS-Zustand hält, nachdem das Potential an den Ablenkelektroden abgeklungen ist. Die Abfolge zum Anlegen einer neuen Zustandsinformation an jeden Spiegel ist daher die folgende: Unmittelbar vor der Änderung können die Potentiale an den Ablenkelektroden gleich sein, besonders wenn seit der vorhergehenden Änderung einige Zeit verstrichen ist, die Spiegel bleiben dabei jedoch wegen der gemeinsamen Spiegelvorspannung in ihrem vorherigen Zustand. Dann werden innerhalb einer relativ kurzen Spanne von etwa 60 bis 80 us neue Potentiale an alle Ablenkelektroden angelegt, wobei jedoch während dieser Zeit die Spiegel wegen der gemeinsamen Spiegelvorspannung noch in ihrem jeweiligen vorherigen Zustand bleiben. Nachdem die Ablenkelektroden wieder alle aufgeladen sind, wird die gemeinsame Spiegelvorspannung für etwa 10 us weggenommen. Die Spiegel werden nun entsprechend der an den Ablenkelektroden anliegenden Vorspannung angezogen und ändern daher ihren Zustand, wenn (und nur wenn) sich diese Vorspannung von der vorherigen Einstellung unterscheidet. Dann kehrt die gemeinsame Spiegelvorspannung wieder zurück, wodurch die Spiegel in ihrem neuen Zustand festgehalten werden, bis die gemeinsame Spiegelvorspannung erneut entfernt wird.
Die Lichtmenge von jedem Pixel wird durch Verändern des EIN/AUS-Tastverhältnisses gesteuert, d. h. durch den Anteil der Zeit in einer "Bild"-Periode, für den der Spiegel EIN ist. Soll ein Bild mit 50 "Bildern" pro Sekunde dargestellt werden, so beträgt jede "Bild"-Periode 20 ms, und die maximale Lichtmenge wird erhalten, wenn der Spiegel in der Bildperiode für 20 ms EIN ist. Um die Anzahl der Neueinstellungen der Spiegel wahrend einer Bildperiode auf eine brauchbare Zahl zu reduzieren, folgen die EIN/AUS-Zeiten einem Binärmuster, wobei eine Bildperiode in die Binärbrüche 1/2, 1/4, 1/8, 1/16, 1/32, 1/64 usw. aufgeteilt wird. Die Verwendung einer solchen Binärreihe in einer Anzeigevorrichtung ist aus den britischen Patentanmeldungen GB-A-2 014 822 und 2 164 776 bekannt. Mit 10 Binärbrüchen (10 Bits) ist es durch geeignete Auswahl und Addition der 10 Binärbrüche im Prinzip möglich, 1023 Helligkeitspegel von Schwarz bis zur maximalen Helligkeit darzustellen, und in jeder Bildperiode gibt es 10 Gelegenheiten zur Eingabe neuer Informationen.
Die Eingabe-Bilddatenfolge ist so standardisiert, daß sie für die Rasterabtastung einer Kathodenstrahlröhre geeignet ist, wobei die 10 Bits für das erste Pixel in der linken oberen Ecke zuerst ankommen usw. Die DMD-Spiegelanordnung erfordert andererseits, daß die niedrigerwertigen Bits des Bildes zu einer anderen Zeit zugeführt werden als die höherwertigen, weshalb ein Speicher vorgesehen ist, um die Daten umzuordnen.
Die Datenausgaberate des Speichers ist konstant, andererseits sind die Daten jedoch der Anordnung in 10 verschiedenen Perioden zuzuführen, und in einem Fall muß ein Bit der Bilddaten in 19,5 us oder dem Bruchteil 1/1024 einer Bildperiode zugeführt werden. Die Datenrate ist während dieser Zeit sehr viel größer als die, die den Speicher verläßt, was durch "First-In/First-Out"-(FIFO)-Speicher erreicht wird. Die Daten werden vom Speicher mit konstanter Rate eingetaktet und stoßweise aus den FIFOs ausgetaktet, um die Anforderungen der Spiegelanordnung zu erfüllen. Die FIFOs müssen die Bilddaten für mehr als ein halbes Bild speichern können.
Bisher werden die DMDs daher mittels First-In/First-Out-Speichern (FIFOs) angesteuert, die als Pufferspeicher dienen. Es wäre sehr wünschenswert, auf solche FIFOs verzichten zu können.
Um die FIFOs zu beseitigen, müssen die Bilddaten des DMD über die ganze Bildperiode mit im wesentlichen konstanter Rate zugeführt werden können, wobei sie jedoch gleichzeitig genau zum richtigen Zeitpunkt aktualisiert werden müssen, so daß jedes Pixel für den korrekten Anteil der Bildperiode beleuchtet ist.

Zusammenfassung der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist es daher, die Datenmenge zu verringern, die zu jedem gegebenen Zeitpunkt dem DMD zuzuführen ist.
Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zum Darstellen eines Bildes unter Verwendung mehrerer Spiegelelemente in einem zweidimensionalen Array vorgesehen, wobei jedes Spiegelelement durch Anlegen jeweiliger Datensignale an die Spiegelelemente zwischen einem AUS- und einem EIN-Zustand umschaltbar ist, wobei in dem Verfahren eine Folge von Bildsignalen erzeugt wird, deren jedes ein betreffendes Folge-Einzelbild darstellt und mehrere Mehrbitzahlen enthält, die jeweils einem betreffenden unterschiedlichen Spiegelelement entsprechen, wobei die unterschiedlichen Bits jeder Zahl jeweils unterschiedliche EIN-Perioden jeweils unterschiedlicher Längen für das entsprechende Spiegelelement definieren, so daß die Mehrbitzahl den Lichtpegel für das entsprechende Spiegelelement in dem betreffenden Einzelbild angibt, und die die Bits für jedes Einzelbild angebenden Datensignale für jedes Spiegelelement gewonnen werden, dadurch gekennzeichnet, daß das Array mehrere Abschnitte mit jeweils mehreren Gruppen von Spiegelelementen aufweist, und an die jeweiligen verschiedenen Gruppen von Spiegelelementen inner halb eines ersten Abschnitts mehrere Rückstelleinrichtungen angeschlossen sind, deren jede außerdem mit jeweils einer entsprechenden Gruppe von Spiegelelementen in jedem der anderen Abschnitte des Arrays verbunden ist, wobei in dem Verfahren ferner die Rückstelleinrichtungen selektiv aktiviert werden, so daß Datensignale an die Spiegelelemente der an die jeweiligen Rückstelleinrichtungen angeschlossenen Gruppen selektiv angelegt werden können, und die Datensignale, die jedes der jeweils unterschiedliche EIN-Perioden definierenden unterschiedlichen Bits angeben, nacheinander an alle für die entsprechende Periode EIN-zuschaltenden Spiegelelemente innerhalb jeder der betreffenden Gruppen von an die jeweils nacheinander aktivierten Rückstelleinrichtungen angeschlossenen Spiegelelemente angelegt werden, bis Datensignale, die allen unterschiedlichen EIN-Perioden unterschiedlicher Länge angebenden Bits entsprechen, an die für die entsprechenden Perioden EIN-zuschaltenden Spiegelelemente in allen Gruppen innerhalb jedes Einzelbildes angelegt sind.
Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung wird eine Anzeigevorrichtung zur Verwendung in einem Anzeigesystem vorgesehen mit mehreren in einem zweidimensionalen Array angeordneten Spiegelelementen, deren jedes durch Anlegen jeweiliger Datensignale an die Spiegelelemente zwischen einem EIN- und einem AUS-Zustand umschaltbar ist, einer Datensignal-Eingabeeinrichtung für die Spiegelelemente, einer Einrichtung zum Zuführen einer Folge von Bildsignalen, deren jedes ein entsprechendes Folge-Einzelbild angibt und mehrere Mehrbitzahlen aufweist, die jeweils einem betreffenden unterschiedlichen Spiegelelement entsprechen, wobei die unterschiedlichen Bits jeder Zahl entsprechende unterschiedliche EIN-Perioden jeweils unterschiedlicher Länge für das entsprechende Spiegelelement definieren, so daß die Mehrbitzahl den Lichtpegel für das entsprechende Spiegelelement in dem betreffenden Einzelbild angibt, einer Einrichtung zum Ableiten der entsprechenden, die Bits für jedes Einzelbild angebenden Datensignale für jedes Spiegelelement, und einer Einrichtung zum Anlegen der Datensignale an die Datensignal-Eingabeeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß das Array mehrere Abschnitte mit jeweils mehreren Gruppen von Spiegelelementen aufweist, und daß die Anzeigevorrichtung ferner enthält: mehrere Rückstelleinrichtungen, deren jede an eine betreffende andere Gruppe von Spiegelelementen innerhalb des ersten Abschnitts angeschlossen ist, wobei jede der Rückstelleinrichtungen außerdem an jeweils eine entsprechende Gruppe von Spiegelelementen in jedem der weiteren Abschnitte des Arrays angeschlossen ist, und eine Einrichtung zum selektiven Aktivieren der Rückstelleinrichtungen derart, daß Datensignale selektiv an die Spiegelelemente der mit den jeweiligen Rückstelleinrichtungen verbundenen Gruppen angelegt werden können, wobei die Einrichtung zum Anlegen von Datensignalen so ausgelegt ist, daß die Datensignale, die jedes der jeweils unterschiedliche EIN-Perioden definierenden unterschiedlichen Bits angeben, nacheinander an alle für die entsprechende Periode EIN-zu schaltenden Spiegelelemente innerhalb jeder der betreffenden Gruppen von an die jeweils nacheinander aktivierten Rückstelleinrichtungen angeschlossenen Spiegelelemente angelegt werden, bis Datensignale, die allen unterschiedlichen EIN-Perioden unterschiedlicher Länge angebenden Bits entsprechen, an die für die entsprechenden Perioden ELN-zuschaltenden Spiegelelemente in allen Gruppen innerhalb jedes Einzelbildes angelegt sind.
Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung wird ein Adressiersystem für eine Anzeigevorrichtung vorgesehen, die mehrere Spiegelelemente in einem zweidimensionalen Array mit mehreren Abschnitten umfaßt, wobei jeder Abschnitt mehrere Gruppen von Spiegelelementen aufweist, deren jedes durch Anlegen von jeweiligen Datensignalen an die Spiegelelemente zwischen einem AUS- und einem EIN-Zustand umschaltbar ist, wobei das Datenadressiersystem aufweist: eine Einrichtung zum Zuführen einer Folge von Bildsignalen, deren jedes ein entsprechendes Folge-Einzelbild angibt und mehrere Mehrbitzahlen aufweist, die jeweils einem betreffenden unterschiedlichen Spiegelelement entsprechen, wobei die unterschiedlichen Bits jeder Zahl entsprechende unterschiedliche EIN-Perioden jeweils unterschiedlicher Länge für das entsprechende Spiegelelement definieren, so daß die Mehrbitzahl den Lichtpegel für das entsprechende Spiegelelement in dem betreffenden Einzelbild angibt, und eine Einrichtung zum Ableiten der entsprechenden, die Bits für jedes Einzelbild angebenden Datensignale für jedes Spiegelelement, gekennzeichnet durch mehrere Rückstelleinrichtungen zum Anschluß an eine betreffende andere Gruppe von Spiegelelementen innerhalb des ersten Abschnitts, wobei jede der Rückstelleinrichtungen außerdem an jeweils eine entsprechende Gruppe von Spiegelelementen in jedem der weiteren Abschnitte des Arrays anschließbar ist, eine Einrichtung zum selektiven Aktivieren der Rückstelleinrichtungen derart, daß Datensignale selektiv an die Spiegelelemente der Gruppen angelegt werden können, wenn diese mit den jeweiligen Rückstelleinrichtungen verbunden sind, und eine Einrichtung zum sequentiellen Anlegen von Datensignalen, die jedes der jeweils unterschiedliche EIN-Perioden definierenden unterschiedlichen Bits angeben, an eine Dateneingabeeinrichtung für alle für die entsprechende Periode EIN-zuschaltenden Spiegelelemente innerhalb jeder der betreffenden Gruppen von Spiegelelemente, wenn diese mit nacheinander aktivierten Rückstelleinrichtungen verbunden sind, bis Datensignale, die allen unterschiedlichen EIN-Perioden unterschiedlicher Länge angebenden Bits entsprechen, an die für die entsprechenden Perioden EIN-zuschaltenden Spiegelelemente in allen Gruppen innerhalb des Arrays innerhalb jedes Einzelbildes angelegt sind.

Kurzbeschreibung der Zeichnungen

Die verschiedenen Aspekte der Erfindung werden beispielhaft anhand der Zeichnungen beschrieben; darin zeigt:
Fig. 1 eine vereinfachte Darstellung eines DMD mit dem optischen System für ein Projektionssystem;
Fig. 2 eine schematische Seitenansicht eines Lichtmodulator-Spiegelelementes, das bei einer Ausführungsform der Erfindung verwendet wird;
Fig. 3 das Blockschaltbild eines bekannten Systems zum Ansteuern des Arrays;
Fig. 4 ein Blockschaltbild, das zeigt, wie das System der Fig. 3 erfindungsgemäß modifiziert wird;
Fig. 5 die Schaltung, die dem Speicher der Fig. 4 vorausgeht;
Fig. 6 die Darstellung eines DMD-Arrays und die Art des Zuführens der Daten dazu zu einem bestimmten Zeitpunkt;
Fig. 7 das Blockschaltbild einer Schaltung, die bei einem DMD verwendet werden, wobei die Spiegelvorspannung an einzelne Zeilen angelegt werden kann;
Fig. 8 eine Darstellung ähnlich der nach Fig. 6, die eine mögliche Art des Ladens eines vollständigen DMD-Arrays zeigt;
Fig. 9 eine Darstellung ähnlich der nach Fig. 6, die eine alternative Art des Ladens eines vollständigen DMD-Arrays zeigt;
Fig. 10 eine Darstellung ähnlich der nach Fig. 6, die eine dritte Art des Ladens eines vollständigen DMD-Arrays zeigt;
Fig. 11 eine Darstellung ähnlich der nach Fig. 6, die das Ansteuern eines DMD- Arrays in einer modifizierten zeitlichen Abfolge zeigt;
Fig. 12 einen Teil eines DMD-Arrays, bei dem die gemeinsame Spiegelvorspannung längs diagonaler Zeilen angelegt wird; und
Fig. 13 eine Darstellung ähnlich der nach Fig. 6, die das Laden 15 des DMD-Arrays nach Fig. 12 zeigt.

Detaillierte Beschreibung des bevorzugten Ausführungsbeispiels

Fig. 1 zeigt eine Projektionsanzeige 10 mit einem Schirm 12 und einer starker Lichtquelle 14. Das Licht der Lichtquelle wird von einer optischen Kondenseranordnung 16 gebündelt und fällt auf ein DMD 18 ein. Jedes einzelne Spiegelelement 20 des DMD weist, wie in der Zeichnung angegeben, zwei stabile Zustände auf. In dem einen Zustand, der ausgezogen dargestellt ist, wird Licht längs des Weges 22 durch ein optisches Projektionslinsensystem 24 geleitet, von dem es auf den Schirm 12 gelangt. In dem anderen stabilen Zustand des Spiegelelements 20, der gestrichelt dargestellt ist, wird das Licht von dem Projektionslinsensystem und dem Schirm weg gelenkt, wie es bei 26 gezeigt ist. Es ist anzumerken, daß Fig. 1 nicht maßstäblich ist; jeder Spiegel 20 mißt etwa 20 um², und die Spiegel sind eng nebeneinander angeordnet.
Zu jedem Zeitpunkt befinden sich bei der Anzeige bestimmte Spiegelelemente 20 in ihrem EIN-Zustand (ausgezogene Linien) und die anderen Spiegelelemente in ihrem AUS- Zustand (gestrichelte Linien), so daß das auf der Anzeige zu sehende momentane Bild ein Hell-Dunkel-Bild ist.
Fig. 2 zeigt ein einzelnes Spiegelelement, das aus einem Torsionsträger 20 in der Form einer Platte besteht, die von einem Torsionsstab 34 gehalten wird, der seinerseits an seinen Enden festgehalten wird (nicht gezeigt). Ein Substrat 28 weist zwei Steueranschlüsse 38, 40 (Adressenelektroden) auf, die bezüglich der Achse des Torsionsträgers, die vom Torsionsstab 34 festgelegt wird, symmetrisch angeordnet sind. Die Steueranschlüsse 38, 40 sind mit Adressenleitungen (nicht gezeigt) verbunden, und dem einen oder dem anderen Anschluß wird eine Spannung zugeführt. Auf dem Substrat 28 sind auch zwei Auftreffelektroden 42, 44 vorgesehen, die unter den Rändern des Torsionsträger-Spiegelelements 20 vorgesehen sind. Auf der Oberfläche des Torsionsträgers befindet sich eine reflektierende Beschichtung 36. Die Auftreffelektroden 42, 44 sind elektrisch dem Torsionsträger 20, der leitend ist, und mit einer Vorspannungs-Spannungsquelle VB verbunden.
Jeder Modulator weist eigene Steueranschlußleitungen VEIN und VAUS auf, die mit den Steueranschlüssen 38, 40 verbunden sind.
Im Betrieb erzeugt, allgemein gesprochen, das Anlegen einer Spannung an den einen Steueranschluß 40 ein elektrisches Feld zwischen dem Steueranschluß 40 und dem Torsionsträger 20; die dem Steueranschluß 40 zugeführte Spannung ist eine solche, daß das Feld anziehend wirkt. Der Träger 20 wird sich daher in Abhängigkeit von der Größe des Feldes um einen Winkel a zum Steueranschluß 40 hin drehen, wodurch sich die Orientierung des Torsionsträgers ändert. Der Torsionsstab 34 widersetzt sich dieser Drehung. Wenn das Feld ausreichend stark ist, wird der Träger 20 so weit gezogen, daß er mit der Auftreffelektrode 44 in physischen Kontakt kommt; um unerwünschte Entladungen zu verhindern, sind die beiden miteinander verbunden. Die Stärke des anziehenden Feldes wird von der Vorspannung VB, die an den Träger 20 angelegt wird, und von der Spannung an der Steuerelektrode 40 kontrolliert. Es ist möglich, gleichzeitig eine Spannung an die andere Steuerelektrode 38 anzulegen, in der Praxis wird dies jedoch vermieden. Abhängig von der Stärke der Vorspannung kann der Torsionsträger 20 zwei oder drei stabile Zustände besitzen.
Zu jedem Zeitpunkt während einer Anzeige befinden sich bestimmte Spiegelelemente 20 in ihrem EIN-Zustand und die anderen Spiegelelemente in ihrem AUS-Zustand, so daß das an der Anzeige zu sehende momentane Bild ein Hell-Dunkel-Bild ist. In der Praxis werden im Betrieb die Spiegel zwischen ihren EIN- und AUS-Zuständen hin- und hergeschaltet. Grautöne können durch Ändern des Tastverhältnisses oder des effektiven Zeitanteils, für den der Spiegel EIN ist, dargestellt werden. Das Tastverhältnis kann sich von Schwarz nach Weiß in Stufen von etwa 0,05% (etwa 2000 Stufen) ändern, um eine Anzeige hoher Qualität zu ergeben.
Zur weiteren Beschreibung wird auf die Dokumente verwiesen, die in der Einleitung dieser Anmeldung genannt sind.
Fig. 3 zeigt die Art und Weise, auf die bisher die Daten zum Array übertragen wurden. Das Videobildeingangssignal wird zu einem Speicher 60 geführt, der die Daten umordnet, da es das DMD-Spiegelarray 66 erforderlich macht, daß alle Bits derselben Wertigkeit für das volle Bild gleichzeitig eingegeben werden, anders als beim erhaltenen Videosignal, bei dem alle Bits für ein Pixel zusammen erhalten werden. Der Speicherausgang wird einem FIFO-Speicher 62 zugeführt, der als Puffer dient, da die Daten dem Array 66 mit einer variablen Rate zugeführt werden. Die FIFOs müssen die Bilddaten für mehr als ein halbes Bild speichern können. Ein Demultiplexer 64 verringert die sonst erforderlichen 1024 Verbindungen zwischen dem FIFO-Speicher 64 und dem Spiegelarray 65, wie es oben beschrieben ist. Das Spiegelarray 66 wird über eine Leitungsauswahlschaltung 68 angesteuert, die in Abhängigkeit von einem Leitungsauswahlsignal von einer Steuerschaltung arbeitet.
Die FIFO-Speicher 64 stellen für das System eine wesentliche Belastung dar. Erfindungsgemäß ist es möglich, die FIFO-Speicher, falls gewünscht, dadurch wegzulassen, daß das DMD-Array auf eine Weise geladen wird, bei der keine FIFO-Speicher erforderlich sind. Die Schaltung der Fig. 3 kann dann durch die Schaltung nach Fig. 4 ersetzt werden, in der der Speicher 60 direkt mit dem Demultiplexer 64 verbunden ist, der die Daten mit einer relativ langsameren und gleichmäßigeren Rate zum Spiegelarray 66 führt.
Fig. 5 zeigt den Weg des Signals vom Eingang des Projektors zu dem Speicher nach Fig. 4.
Das Eingangssignal des Projektors besteht normalerweise aus drei separaten Analogsignalen für Rot, Grün und Blau, und jedes anders kodierte Videosignal wird in R, G und B umgewandelt. In den drei Kanälen erfolgt dann eine identische Bearbeitung, weshalb nur einer beschrieben zu werden braucht. Ein Analog/Digital-Konverter (A/D) 70 nimmt die eingehenden Signale mit einer Rate auf, die der Anzahl von Pixeln im Spiegelarray entspricht, und da dieses eingehende Signal gamma-korrigiert ist, was ein universeller Standard für die Kompensation von CRT-Übertragungseigenschaften ist, reichen 8 Bit Auflösung aus. Das Spiegelarray besitzt eine lineare Charakteristik, weshalb das eingehende 0,4- Gamma-Signal mittels einer Nachschlagetabelle 72 auf den Einheitswert Eins gebracht wird und das Ausgangssignal eine Auflösung von 10 Bit hat, eine Minimalanforderung für lineare Übertragungseigenschaften.
Die Erfindung wird anhand eines bevorzugten Beispiels beschrieben. Das Verfahren hängt von einer kontinuierlich ablaufenden Abfolge ab, die sich am besten mit dem einfachen Beispiel beschreiben läßt, das in Fig. 6 gezeigt ist.
Bei diesem Beispiel wiesen die Bilddaten eine Grauwertauflösung von 8 Bit auf, und die Daten werden durch die Auswahl einer Zeile nach der anderen an die Pixel gegeben, wobei eine Zeile in diesem Beispiel 1024 Pixel hat und daher 1024 Bits der Bildinformation zusammen eingegeben werden können. Falls nötig, können die Zeilen gegen die Spalten vertauscht werden, wobei dann Spalten ausgewählt würden, beim vorliegenden Beispiel wird jedoch eine Auswahl der Zeilen angenommen.
Das folgende Beispiel wird zuerst für ein 8-Bit-Eingangsbildsignal oder Videosignal erläutert. Das 8-Bit-Videosignal, das an das DMD angelegt wird, umfaßt die Bits D0 bis 07, wobei das Bit D0 das niedrigstwertige Bit mit dem Einheitswert Eins ist, das Bit D1 zwei Einheiten entspricht, D2 4 Einheiten usw. bis D7, das das höchstwertige Bit ist und 128 Einheiten entspricht. Beginnend zum absoluten Zeitpunkt Null wird die Zeile 1 ausgewählt, wenn die Zeilen von oben nach unten mit 1 bis 255 durchnumeriert sind, und für die oberen 1024 Pixel werden die Daten D7 eingegeben. Dann wird die gemeinsame Spiegelvorspannung weggenommen, wodurch die Daten an die Spiegel übertragen werden. Dann wird als nächste Zeile die Zeile 2 ausgewählt und die Daten D7 für die nächste Zeile von 1024 Pixeln eingegeben, wobei sich der gleiche Vorgang wiederholt. Da die gemeinsame Spiegelvorspannung an allen Spiegeln liegt, wird dabei auch die erste Zeile von Spiegeln zurückgesetzt, weshalb die ursprünglichen Daten festgehalten werden müssen, sei es durch Verwendung eines großen Speicherkondensators oder einer Speicherzelle.
Alternativ werden, wenn es möglich ist, jede Zeile der Spiegel unabhängig vorzuspannen, mit der in Fig. 7 gezeigten Logikschaltung nur jene Zeilen von Spiegeln zurückgesetzt, die ausgewählt sind. Wie in Fig. 7 gezeigt, werden die Zeilen des DMD-Arrays 66 durch eine Zeilenauswahlschaltung 80 ausgewählt, die im wesentlichen den Schaltungen ähnlich ist, wie sie bei integrierten Speicherschaltungen verwendet werden. Jeder Zeile ist ein Signalspeicher 82 zugeordnet, der speichert, ob die Zeile ausgewählt wurde oder nicht, und der, wenn ja, einem Gatter 84 ein Eingangssignal zuführt. Das Gatter ist zwischen den Eingang 86 für die gemeinsame Spiegelvorspannung und den Vorspannungsanschluß für die jeweilige Zeile geschaltet. Ist eine bestimmte Zeile oder bestimmte Zeilen ausgewählt, so gibt der Signalspeicher 82 das Gatter 84 frei, wodurch sich die gemeinsame Spiegelvorspannung auf die ausgewählte Zeile auswirken kann. Der Signalspeicher ist erforderlich, da immer nur eine Zeile gleichzeitig ausgewählt werden kann und, wie im folgenden noch erläuten, mehrere Zeilen ausgewählt werden, bevor die gemeinsame Spiegelvorspannung aktiviert wird. Nach der Aktivierung der gemeinsamen Spiegelvorspannung werden die Signalspeicher 82 durch einen Impuls an einem Eingang 88 gelöscht.
Weiter in der Abfolge werden dann die Daten D7 nacheinander an jede Zeile angelegt und die Spiegel neu eingestellt. Nach 128 Zeilen und nachdem die Daten D7 in die Zeile 129 eingegeben wurden, werden die Daten D6 in die Zeile 1 eingegeben und, nachdem diese beiden Zeilen von Daten eingegeben wurden, die Spiegel neu eingestellt. Es werden nun zwei weitere wichtige Parameter, die "Bildperiode" und die "Zeilenperiode" festgelegt. Bei 50 Bildern pro Sekunde ist die "Bildperiode" 20 ms lang. Im vorliegenden Beispiel gibt es 255 "Zeilenperioden" pro "Bildperiode". Die "Zeilenperiode" ist daher durch die Bildrate festgelegt und nicht von der Zeit, die zum Auswählen einer Zeile und zum Eingeben von Daten in die Zeile erforderlich ist. Tatsächlich können auch mehrere Zeilen von Daten in einer "Zeilenperiode" eingegeben werden.
Nachdem D7 in die Zeile 129 und D6 in die Zeile 1 eingegeben wurde, werden am Ende dieser bestimmten Zeilenperiode die Spiegel neu eingestellt, was heißt, daß die Zeile 1 nach 128 "Zeilenperioden" von D7-Daten mit D6 aktualisiert wird oder, anders ausgedrückt, daß das höchstwertige Bit für 128 von insgesamt 255 Zeiteinheiten in einer Bildperiode festgehalten wurde.
Die Abfolge geht nun mit der Eingabe der Daten 07 in die Zeile 130 und der Daten D6 in die Zeile 2 weiter, und so fort, bis 07 in die Zeile 193, D6 in die Zeile 65 und D5 schließlich in die Zeile 1 eingegeben wird, wobei zu diesem Zeitpunkt die Zeile 1 D6 für 64 Zeiteinheiten festgehalten hat. Diese Abfolge geht weiter, bis die Daten D7 in die Zeile 255 eingegeben werden und in der gleichen "Zeilenperiode" D6 in die Zeile 127, D5 in die Zeile 63, D4 in die Zeile 31, D3 in die Zeile 15, D2 in die Zeile 7, D1 in die Zeile 3 und D0 in die Zeile 1. Dies ist der in Fig. 6 gezeigte Zustand. Die maximale Dateneingaberate tritt auf, wenn in einer "Zeilenperiode" 8 Datenzeilen eingegeben werden, wobei hier die Zeilenperiode etwa 78 us lang ist. Eine Datenzeile wird daher in 10 us eingegeben, und wenn die 1024 Pixelspalten auf 8 Spalten heruntergemultiplext werden, ist die Datenrate an jedem Eingang etwa gleich 13 MHz.
Weiter in der Abfolge bewegen sich die 8 ausgewählten Zeilen nun um eine Zeile weiter, D7 zur Zeile 1, D0 zur Zeile 2, D1 zur Zeile 4 usw., und dieser Vorgang geht beliebig weiter, wobei jedoch der Abstand zwischen den ausgewählten Zeilen konstant bei 128, 64, 32, 16, 8, 4, 2 und 1 Zeile bzw. Zeilen bleibt. Es ist dieser Abstand, der die Zeitdauer bestimmt, die jede Pixelzeile jedes Datenbit speichert, was wiederum das Licht-Ausgangssignal steuert.
Es ist anzumerken, daß mit einem binären Eingangssignal von n Bit die Anzahl möglicher Gruppen normalerweise kleiner oder gleich 2n-1 und größer als 2n-1 ist.
Das DMD-Array wird daher nicht wie bisher betrieben, wobei in einer Zeilenperiode der volle Block von Ein-Bit-Daten in das Array eingegeben wurde. Statt dessen umfaßt die maximale Datenmenge, die in einer Zeilenperiode eingegeben wird, acht Zeilen aus Ein-Bit- Daten. In den verbleibenden Zeilen ändert sich aufgrund der Fähigkeit des DMD, in dem Zustand zu bleiben, in dem sie während der vorhergehenden Zeilenperiode erhalten wurde, nichts, entweder weil die Spiegelvorspannung nur von den neu zu ladenden Zeilen weggenommen wird oder weil die Spiegelelemente für die kurze Zeit, in der die Spiegelvorspannung weggenommen wird, in ihren vorherigen Zuständen bleiben.
Das System arbeitet daher mit einer Eingabe in nur 8 Zeilen in jeder Zeilenperiode, wobei der Eingabevorgang sequentiell oder zyklisch das Array hinunterbewegt wird. Die Zeitsteuerung für das Eingeben, d. h. der Abstand der zyklischen Eingabevorgänge für das Array, ist derart, daß die Zeitspanne von der Eingabe eines ersten Datenbits für eine gegebene Zeile zur Eingabe des nächsten Datenbits in der gleichen Zeile proportional der Wertigkeit des ersten Datenbits ist.
In diesem einfachen Beispiel wurden 255 Zeilen angenommen, was für Eingabedaten mit 8 Bit ideal ist. In der Praxis hat ein System mit 625 Zeilen in der Regel 576 Zeilen und ein System mit 525 Zeilen in der Regel nur 484 Zeilen.
Eine Art für den Betrieb mit 576 Zeilen wird nun beschrieben.
Es wurde bereits gezeigt, daß das Licht-Ausgangssignal proportional dem Abstand der ausgewählten Zeilen ist, wobei dieser Abstand konstant bleibt, wenn die Zeilenauswahl durch die Zeilen fortschreitet.
Um diesen konstanten Abstand aufrecht zu erhalten, der für 8 Bit insgesamt 255 Zeilen ergibt, muß die Gesamtzahl der Zeilen in Blöcke mit 255 Zeilen aufgeteilt werden. Es gibt mehrere Arten, auf die dies geschehen kann. Im folgenden werden drei Arten beschrieben.
Fig. 8 zeigt das erste Verfahren, bei dem die ersten 510 Zeilen 2 Blöcke mit 255 Zeilen ergeben und die übrigen Zeilen einen dritten Block mit 255 Zeilen, wobei einige imaginäre Zeilen hinzuaddiert wurden. Es gibt daher drei separate Blöcke, und die Zeilenauswahl zirkuliert und schreitet durch jeden Block getrennt fort, so daß der richtige Abstand erhalten bleibt. In Fig. 8 ist die Zeilenauswahlfolge in dem Moment dargestellt, wenn D7 in jedem Block aus 255 Zeilen die letzte Zeile erreicht, ähnlich wie in Fig. 6, wobei daran zu erinnern ist, daß die imaginären Zeilen nur zur Erläuterung der fortschreitenden zyklischen Folge der Zeilenauswahl vorgesehen sind. Bei drei Blöcken mit 255 Zeilen anstelle von einem ist die Eingabedatenrate dreimal so groß und beträgt bei 16 Eingängen etwa 20 MHz.
Fig. 9 zeigt die Aufteilung der 576 Zeilen auf andere Art, wieder mit drei Blöcken von 255 Zeilen, aber diesmal mit 192 realen und 63 imaginären Zeilen pro Block, wobei die Auswahlabfolge gezeigt ist, wenn D7 wie oben die letzte Zeile erreicht.
Fig. 10 zeigt eine Anordnung mit einem Block aus 765 (3 · 255) Zeilen, wieder mit einigen imaginären Zeilen zur leichteren Erläuterung. In diesem Fall werden in der gleichen Zeilenperiode für das gleiche Datenbit drei benachbarte Zeilen ausgewählt, so daß die maximale Eingabedatenrate die gleich wie bei den obigen zwei Beispiel ist, bei denen in einer Zeilenperiode 24 Zeilen ausgewählt werden. Auch schreitet die Zeilenauswahl auf einmal um drei Zeilen weiter.
Fig. 11 zeigt die Anordnung, wenn 11 Datenbits für ein 10-Bit-Grauwertsystem verwendet werden. In diesem System umfaßt eine Bildperiode 1038 Zeiteinheiten, so daß in diesem Fall ein Block 1038 Zeilen hat und die Folge der Abstände gleich 4, 5, 6, 7, 8, 16, 32, 64, 128, 256 und 512 Zeilen ist, wie es in der internationalen Patentanmeldung PCT/GB91/02032 (internes Aktenzeichen: 31678) erläutert ist. 1038 Zeilen ergeben eine "Zeilenperiode" von 19 us, und da in einer "Zeilenperiode" 11 Zeilen auszuwählen sind, ergibt sich eine maximale Eingabedatenrate von 19 MHz auf 32 Eingängen. Die hier beschriebene Abfolge ist ein Beispiel für ein modifiziertes Binärsignal, bei dem ausgewählte Binärwerte weggelassen und zwischen den Binärwerten zusätzliche Werte eingeschlossen werden.
Wie erwähnt werden nach jeder Zeilenperiode alle Spiegel neu eingestellt, wenn nicht einzelne Zeilen der Spiegel isoliert werden können. Wenn die Neueinstellung der Spiegel auf ausgewählte Zeilen beschränkt werden kann, ergibt sich ein doppelter Vorteil, da die Spiegelaufhängung nicht so stark beansprucht wird und kein Erfordernis nach einer Speicherzelle mit einer Kapazität für mehr als eine "Zeilenperiode" erforderlich ist. Leider ist es wegen des geringen Abstandes der Spiegel schwierig, die Spiegel in horizontalen Zeilen voneinander zu isolieren, insbesondere da sich die Aufhängungen vorzugsweise in den diagonalen Ecken befinden (siehe die in der Einleitung genannten Druckschriften). Es ist möglich, die Spiegel in separaten diagonalen Zeilen zu verbinden, wie es in Fig. 12 gezeigt ist, wobei die Verbindungen über die Aufhängungen 90 erfolgen. Bei einem Spiegelarray mit 1024 mal 576 Pixeln ergeben sich 1599 diagonale Zeilen. Es gibt wieder verschiedene Anordnungen, wie oben erläutert, von denen in Fig. 13 nur eine gezeigt ist. Ein Block umfaßt hier 2076 (d. h. 2 · 1038) diagonale Zeilen, wobei die Zeilen für das gleiche Datenbit paarweise ausgewählt sind, basierend auf Eingabedaten mit 11 Bit wie in Fig. 11. Die "Zeilenperiode" ist wieder 19 us lang, wobei 22 Zeilen ausgewählt werden und die maximale Eingabedatenrate bei 64 Eingängen 18 MHz beträgt, was ein praktikabler Wert ist.
Weitere Merkmale, die in Verbindung mit dem vorliegenden Ausführungsbeispiel verwendet werden können, sind in den internationalen Patentanmeldungen PCT/GB91/ 02032, PCT/GB91/02034 und PCT/GB91/02035 beschrieben.

Claims

1. Verfahren zum Darstellen eines Bildes unter Verwendung mehrerer Spiegelelemente (20) in einem zweidimensionalen Array, wobei jedes Spiegelelement (20) durch Anlegen jeweiliger Datensignale an die Spiegelelemente zwischen einem AUS- und einem EIN- Zustand umschaltbar ist, wobei in dem Verfahren

eine Folge von Bildsignalen erzeugt wird, deren jedes ein betreffendes Folge-Einzelbild darstellt und mehrere Mehrbitzahlen enthält, die jeweils einem betreffenden unterschiedlichen Spiegelelement entsprechen, wobei die unterschiedlichen Bits jeder Zahl jeweils unterschiedliche EIN-Perioden jeweils unterschiedlicher Längen für das entsprechende Spiegelelement (20) definieren, so daß die Mehrbitzahl den Lichtpegel für das entsprechende Spiegelelement (20) in dem betreffenden Einzelbild angibt, und

die die Bits für jedes Einzelbild angebenden Datensignale für jedes Spiegelelement gewonnen werden,

dadurch gekennzeichnet, daß

das Array mehrere Abschnitte mit jeweils mehreren Gruppen von Spiegelelementen aufweist, und

an die jeweiligen verschiedenen Gruppen von Spiegelelementen (20) innerhalb eines ersten Abschnitts mehrere Rückstelleinrichtungen (82, 84) angeschlossen sind, deren jede außerdem mit jeweils einer entsprechenden Gruppe von Spiegelelementen in jedem der anderen Abschnitte des Arrays verbunden ist,

wobei in dem Verfahren ferner

die Rückstelleinrichtungen (82, 84, 86) selektiv aktiviert werden, so daß Datensignale an die Spiegelelemente (20) der an die jeweiligen Rückstelleinrichtungen (82, 84) angeschlossenen Gruppen selektiv angelegt werden können, und

die Datensignale, die jedes der jeweils unterschiedliche EIN-Perioden definierenden unterschiedlichen Bits angeben, nacheinander an alle für die entsprechende Periode EIN- zuschaltenden Spiegelelemente (20) innerhalb jeder der betreffenden Gruppen von an die jeweils nacheinander aktivierten Rückstelleinrichtungen (82, 84) angeschlossenen Spiegelelemente angelegt werden, bis Datensignale, die allen unterschiedlichen EIN-Perioden unterschiedlicher Länge angebenden Bits entsprechen, an die für die entsprechenden Perioden EIN-zuschaltenden Spiegelelemente (20) in allen Gruppen innerhalb jedes Einzelbildes angelegt sind.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Datensignale an mehrere gemeinsame Datensignaleingänge für jeweils mehrere Spiegelelemente (20) in unterschiedlichen Gruppen in jedem Abschnitt angelegt werden.

3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei jede der Gruppen von Spiegelelementen (20) ein oder mehrere Zeilen von Spiegelelementen umfaßt.

4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die Zeilen quer zu dem Array verlaufende Zeilen sind.

5. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die Zeilen diagonal durch das Array verlaufen.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei jede Rückstelleinrichtung eine Kippschaltung (82, 84) aufweist, die derart adressiert wird, daß sie das Anlegen der Datensignale an die Gruppen von mit der Rückstelleinrichtung (82, 84) verbundenen Spiegelelementen (20) gestattet.

7. Verfahren nach Anspruch 6, wobei an jede Kippschaltung (82, 84) eine gemeinsame Spiegelvorspannung (86) über eine Torschaltung (84) angelegt wird, die so aktiviert wird, daß sie eine Änderung der Spiegelvorspannung zum Anlegen der Datensignale an die angeschlossene Gruppe von Spiegelelementen (20) gestattet.

8. Anzeigevorrichtung zur Verwendung in einem Anzeigesystem mit

mehreren in einem zweidimensionalen Array (66) angeordneten Spiegelelementen (20), deren jedes durch Anlegen jeweiliger Datensignale an die Spiegelelemente (20) zwischen einem EIN- und einem AUS-Zustand umschaltbar ist,

einer Datensignal-Eingabeeinrichtung für die Spiegelelemente (20),

einer Einrichtung zum Zuführen einer Folge von Bildsignalen, deren jedes ein entsprechendes Folge-Einzelbild angibt und mehrere Mehrbitzahlen aufweist, die jeweils einem betreffenden unterschiedlichen Spiegelelement (20) entsprechen, wobei die unterschiedlichen Bits jeder Zahl entsprechende unterschiedliche EIN-Perioden jeweils unterschiedlicher Länge für das entsprechende Spiegelelement definieren, so daß die Mehrbitzahl den Lichtpegel für das entsprechende Spiegelelement (20) in dem betreffenden Einzelbild angibt,

einer Einrichtung zum Ableiten der entsprechenden, die Bits für jedes Einzelbild angebenden Datensignale für jedes Spiegelelement (20), und

einer Einrichtung zum Anlegen der Datensignale an die Datensignal-Eingabeeinrichtung (60, 64),

dadurch gekennzeichnet,

daß das Array (66) mehrere Abschnitte mit jeweils mehreren Gruppen von Spiegelelementen (20) aufweist,

und daß die Anzeigevorrichtung ferner enthält:

mehrere Rückstelleinrichtungen (82, 84), deren jede an eine betreffende andere Gruppe von Spiegelelementen (22) innerhalb des ersten Abschnitts angeschlossen ist,

wobei jede der Rückstelleinrichtungen (82, 84) außerdem an jeweils eine entspre chende Gruppe von Spiegelelementen (20) in jedem der weiteren Abschnitte des Arrays (66) angeschlossen ist, und

eine Einrichtung (80) zum selektiven Aktivieren der Rückstelleinrichtungen (82, 84) derart, daß Datensignale selektiv an die Spiegelelemente (20) der mit den jeweiligen Rückstelleinrichtungen (82, 84) verbundenen Gruppen angelegt werden können,

wobei die Einrichtung (60, 64) zum Anlegen von Datensignalen so ausgelegt ist, daß die Datensignale, die jedes der jeweils unterschiedliche EIN-Perioden definierenden unterschiedlichen Bits angeben, nacheinander an alle für die entsprechende Periode EIN-zuschaltenden Spiegelelemente (20) innerhalb jeder der betreffenden Gruppen von an die jeweils nacheinander aktivierten Rückstelleinrichtungen (82, 84) angeschlossenen Spiegelelemente (20) angelegt werden, bis Datensignale, die allen unterschiedlichen EIN-Perioden unterschiedlicher Länge angebenden Bits entsprechen, an die für die entsprechenden Perioden EIN-zuschaltenden Spiegelelemente (20) in allen Gruppen innerhalb jedes Einzelbildes angelegt sind.

9. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Datensignal-Eingabeeinrichtung mehrere gemeinsame Datensignaleingänge für jeweils mehrere Spiegelelemente (20) in unterschiedlichen Gruppen in jedem Abschnitt umfaßt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, wobei die Rückstelleinrichtung aufweist:

eine Einrichtung (84), die die an die Rückstelleinrichtungen angeschlossenen Spiegelelemente mittels einer Spiegelvorspannung in einem festen Zustand hält, und

wobei die Aktiviereinrichtung (82) eine Einrichtung zum vorübergehenden Entfernen der Spiegelvorspannung aufweist, und das selektive Anlegen von Datensignalen an die Spiegelelemente (20) der mit den Rückstelleinrichtungen verbundenen Gruppen zu gestatten.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei jede der Rückstelleinrichtungen eine Kippschaltung (82) aufweist, die so arbeitet, daß sie das Anlegen von Datensignalen an die Gruppen von mit den Rückstelleinrichtungen (84) verbundenen Spiegelelementen (20) gestattet.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, wobei die Rückstelleinrichtungen ferner eine der Kippschaltung (82) zugeordnete Torschaltung (84) und eine Einrichtung (88) zum Aktivieren der Torschaltung derart aufweist, daß sie das Anlegen von Datensignalen an die angeschlossene Gruppe von Spiegelelementen (20) gestattet.

13. Adressiersystem für eine Anzeigevorrichtung, die mehrere Spiegelelemente (20) in einem zweidimensionalen Array (66) mit mehreren Abschnitten umfaßt, wobei jeder Ab schnitt mehrere Gruppen von Spiegelelementen (20) aufweist, deren jedes durch Anlegen von jeweiligen Datensignalen an die Spiegelelemente (20) zwischen einem AUS- und einem EIN-Zustand umschaltbar ist, wobei das Datenadressiersystem aufweist:

eine Einrichtung zum Zuführen einer Folge von Bildsignalen, deren jedes ein entsprechendes Folge-Einzelbild angibt und mehrere Mehrbitzahlen aufweist, die jeweils einem betreffenden unterschiedlichen Spiegelelement (20) entsprechen, wobei die unterschiedlichen Bits jeder Zahl entsprechende unterschiedliche EIN-Perioden jeweils unterschiedlicher Länge für das entsprechende Spiegelelement definieren, so daß die Mehrbitzahl den Lichtpegel für das entsprechende Spiegelelement (20) in dem betreffenden Einzelbild angibt, und

eine Einrichtung zum Ableiten der entsprechenden, die Bits für jedes Einzelbild angebenden Datensignale für jedes Spiegelelement (20),

gekennzeichnet durch

mehrere Rückstelleinrichtungen (82, 84) zum Anschluß an eine betreffende andere Gruppe von Spiegelelementen (22) innerhalb des ersten Abschnitts,

wobei jede der Rückstelleinrichtungen (82, 84) außerdem an jeweils eine entsprechende Gruppe von Spiegelelementen (20) in jedem der weiteren Abschnitte des Arrays (66) anschließbar ist,

eine Einrichtung (80) zum selektiven Aktivieren der Rückstelleinrichtungen (82, 84) derart, daß Datensignale selektiv an die Spiegelelemente (20) der Gruppen angelegt werden können, wenn diese mit den jeweiligen Rückstelleinrichtungen (82, 84) verbunden sind, und

eine Einrichtung (60, 64) zum sequentiellen Anlegen von Datensignalen, die jedes der jeweils unterschiedliche EIN-Perioden definierenden unterschiedlichen Bits angeben, an eine Dateneingabeeinrichtung für alle für die entsprechende Periode EIN-zuschaltenden Spiegelelemente (20) innerhalb jeder der betreffenden Gruppen von Spiegelelemente (20), wenn diese mit nacheinander aktivierten Rückstelleinrichtungen (82, 84) verbunden sind, bis Datensignale, die allen unterschiedlichen EIN-Perioden unterschiedlicher Länge angebenden Bits entsprechen, an die für die entsprechenden Perioden EIN-zuschaltenden Spiegelelemente (20) in allen Gruppen innerhalb des Arrays (66) innerhalb jedes Einzelbildes angelegt sind.

14. Adressiersystem nach Anspruch 13, wobei die Einrichtung zum Anlegen von Datensignalen eine Einrichtung aufweist, die Datensignale an mehrere gemeinsame Datensignaleingänge anlegt, die mit jeweils mehreren Spiegelelementen (20) in unterschiedlichen Gruppen in jedem Abschnitt verbunden sind.