KR100362335B1 - 디지탈마이크로미러디바이스디스플레이시스템 - Google Patents

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Abstract

디지털 비디오 디스플레이 시스템(100)은 방송 비디오(102) 또는 대체 소스(107)로부터 디지털 데이터를 아날로그 또는 디지털 형태로 수신한다. 이 시스템은 상기 데이터를 디스플레이 데이터로 처리하고 이 디스플레이 데이터를 디지털 마이크로미러 디바이스(112)로 로드한다. 이 데이터는 색-순차로 포맷되거나 개별적인 디바이스들용의 색 데이터로 분리된다. 상기 데이터는 상기 디바이스 상의 개별적인 셀들이 반응하도록 유발시킨 다음 이들이 조명된다. 편향된 셀들로부터 나오는 광은 디스플레이 표면에 디스플레이된다.

Description

디지털 마이크로미러 디바이스 디스플레이 시스템{DMD DISPLAY SYSTEM}
본 발명은 디스플레이에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 고품위 디스플레이(HDD), 또는 고품위 텔레비전(HDTV) 디스플레이에 관한 것이다.
디스플레이 분야의 여러 가지 현재 기술에 있어서, 이러한 기술들이 새로운 표준안에 적응되기 위해 시도되고 있지만, HDTV는 이들의 문제점을 지적한다. 주요한 형태의 디스플레이 시스템은 음극선관(CRT), 및 액정 디스플레이(LCD)이다. 이들 각각은 HDTV요건들을 보다 명백하게 하는 취약점을 갖고 있다.
CRT
음극선관 디스플레이는 가장 흔한 형태의 디스플레이로, 텔레비전, 컴퓨터 모니터, 및 많은 다른 디스플레이 태스크와 같이 보편적으로 받아들여진다.
전형적으로, CRT는 여러 가지 형광 물질로 처리된 유리부의 후면을 가로질러 좌우로 소인(sweep)하는 단일 전자총 또는 전자총들에 의해 작동한다. 총으로부터의 에너지가 형광 물질과 접촉하면 형광 물질이 발광하여 스크린 상에 이미지를 생성한다. 현재의 U.S. TV 표준(NTSC)은 대략 480개의 수평 라인을 따라 이미지를 디스플레이 한다. 이미지 데이터는 간삽(interleaving)되는데 이는 홀수 라인이 하나의 시간 주기에 표시되고, 이어서 다음 시간 주기에 짝수 라인이 표시된다는 것을 의미한다 (현재의 유럽 표준이 이와 유사하며, 대략 576 수평 라인을 갖는다). NTSC 표준에서는 시간 주기가 16.7 ms이다. 이 시간에서는 총이 미세 시간동안 스크린 상의 임의의 특정 픽셀 스폿 상에서 일시적으로 정지(dwell)될 수 있다.
상술한 시간 및 라인 수는 현재의 표준 해상도 텔레비전에 관한 것이다. 그러나, 몇몇의 HDTV 및 EDTV(강화된 고품위 텔레비전) 표준은 간삽되지 않고 연속적으로 주사된다. 이것은 데이터가 1, 2, 3, ... 등의 라인 순서로 표시됨을 의미한다. 따라서, 먼저 240 라인을 표시하는 데 유효한 시간 내에, EDTV 및 HDTV는 각각 480 또는 960 라인을 표시하지 않으면 안 된다. 이러한 상황에서는 픽셀 일시정지(dwell) 시간이 각각 2 또는 4 인수만큼 떨어지게 되어 각 픽셀의 명도를 저하시키는데 그 이유는 각 픽셀이 에너지를 덜 받기 때문이다. 게다가, HDTV는 종횡비가 4:3 대신에 16:9이므로, 라인이 보다 길어져서 결국 픽셀당 시간이 짧아지게 된다.
따라서, HDTV에 CRT를 사용하는 것은 만족스럽지 못할 수도 있다. 몇몇의 보상책을 강구하지 않으면, 명도는 적어도 4인수만큼 떨어지게 될 것이다. CRT는 이미 충분히 발전된 기술이므로, 상당한 산업적인 노력으로도 HDTV 디스플레이에서 표준 CRT의 명도 레벨을 달성할 가망성은 거의 없다. 따라서, HDTV 디스플레이는명도에 있어서, 표준 텔레비전 세트에 비해 별로 좋지 않고, 소비자의 선호도도 좋지 않게 된다. 상술한 바와 같은 이유로 인해, CRT는 HDTV용으로서 적절하지 못하며 LCD로 전향하지 않으면 안 된다.
LCD
액정 디스플레이 디바이스는 개개의 어드레싱 가능 셀을 갖고 있기 때문에 큰 장점이 있다. 이들 개개의 셀은 디스플레이 환경에서 개개의 제어 가능한 화소, 또는 픽셀이 된다. HDTV에 적용하기 위해서는, 셀의 수가 증가해야 하지만, 반드시 이러한 픽셀 증가와 관련된 명도의 감소가 발생하는 것은 아니다. 그러나, LCD에는 다른 상호 관련된 문제점들이 있다. 먼저, 이들 문제점들 중 하나는 낮은 제조수율, 및 이로 인한 가격 상승이다. 두 번째는 낮은 전송 효율이다. 세 번째 및 네 번째는 응답 시간이 길고 콘트라스트 비가 낮다는 것이다.
몇몇 요인들은 LCD 비용을 상승시키는 원인이 된다. 가장 큰 요인은 제조단계에서의 낮은 수율이다. 픽셀 어드레싱 트랜지스터들은 유리 기판 상에서 만들어져야 한다. 전형적으로, 이들 기판들은 크고 조정하기가 어려우며, 보통은 표준 실리콘 공정 기술을 공유할 수 없거나 표준 실리콘 공정 장비를 사용할 수 없다. 그러므로, 제조 공정은 실리콘 공정 산업 규모의 경제에서는 유리할 수 없다. 완성된 LCD는 복잡한 물리적 조립을 필요로 하고, 또한 대등한 실리콘 패키징 공정을 공유할 수 없다. 또한, LCD 물질들은 그 자체가 비싸며, 물질 그 자체를 제조하기에도 비싸다.
전형적으로, LCD는 결정 물질이 개재된 2개의 유리 패널들로 구성된다. 유리기판들 중 하나 또는 둘 모두는 결정 물질을 활성화시키는 전극들로서 기능하는 트랜지스터들을 갖는다. 전극이 활성화되면, 극 축을 따라 배열된 결정들이 층마다 트위스트된다. 그 효과는, LCD의 한 측 상의 편광기를 통해 입사된 광선이 트위스트된 결정들을 통과하여 제2 편광기에 흡수됨으로써, 암 픽셀들을 발생시키는 것이다. 광선은 결정 매트릭스로 들어가기 전에 편광되어야 한다. 전형적으로, 디스플레이의 전방 패널 상의 편광 코팅으로 이를 달성한다. 이들 2개의 편광기에서의 흡수는 전형적으로 입사 조명의 약 60% 이상의 감소분을 차지하므로, LCD를 비효율적으로 만든다.
결정들을 트위스트시키는 공정은 자체적으로 문제점을 갖고 있다. 전극 신호들에 대한 결정들의 응답 시간이 약 30 ms 정도 느리다. 상술한 바와 같이, 디스플레이에 필요한 정보량이 많아질수록, 그로 인하여 HDTV는 디스플레이 시 느려지는 것이 아니라 보다 빨라진 응답 시간을 요구하게 될 것이다. LCD가 디스플레이 자체 내부에서의 투과광의 소광(extinction)에 종속되므로, 흡수된 방사로 인해 디바이스가 가열되는 것이 우려된다. 또한, LCD는, 비효율적이게 하는 낮은 퍼센트의 활성 영역들을 갖는다.
고가, 저효율, 느린 응답 시간, 및 낮은 콘트라스트 비 때문에, LCD는 HDTV에 적합하지 않다. HDTV는 다양한 소비자들에게 이용 가능해야 하며, 현재의 텔레비전 세트에 대해 현저한 차이가 있어야 한다. LCD와 CRT로서 상기 장점을 달성하기는 어렵다.
그러므로, HDTV는 양호한 명도, 저가, 제조의 용이성, 및 여러 가지 표준들의 텔레비전 방송 포맷들에 적응할 수 있는 유연성을 갖는 디스플레이 기술을 필요로 한다.
제1도는 디지털 텔레비전 또는 디스플레이 시스템(100)의 총괄적인 개요를 도시한다. 신호는 안테나/수신기(102)에서 수신된다 수신기(102)는 신호를 튜너 유닛(104)으로 전달하고 튜너 유닛(104)은 캐리어 신호(carrier signal)로부터 오디오 및 비디오 신호들을 분리한다. 그 다음에, 오디오 부분은 분리 트랙(106)을 따라 전달되어 비디오 시호와 재동기화되는데, 이에 대해서는 설명하지 않는다. 튜너 회로는 복수의 비디오 표준들을 인식하고 디코딩하도록 설계될 수 있으므로, 출력된 비디오가 인입된 비디오 표준에 관계없이 일정한 포맷으로 제공되도록 디스플레이된다.
위상 2차 디코더(phase quadratic decoder) 또는 다른 이러한 디코더가 비디오 신호를 색상 및 휘도 정보로 분리하는데 사용될 수 있고, 그 다음 프로세싱에 의해 적, 녹, 및 청색 신호 정보의 개별 프레임으로 구성된 성분 비디오 신호들을 얻는다. 아날로그 DMD 및 디지털 DMD 시스템 둘 모두를 제조하는 것이 가능하지만, 이후에 기술될 이유 때문에, 디지털 마이크로미러 디바이스(DMD; 이 디바이스는 또한 변형 가능 미러 디바이스로도 공지되어 있는데, 명세서의 기술을 위해, 본 명세서에서는 디지털 마이크로미러 디바이스로 간주할 것임)는 바람직하게 디지털로 동작되어서, 데이터는 그 다음에 디지털화기(108)로 전달되어 이 디지털화기에 의해 각 픽셀에 대해 디지털 워드로 변환된다. 워드 길이는 시스템의 소정의 색상 및 강도 해상도에 의해 좌우된다. 예를 들어, 각 색상에서 8-비트 해상도를 갖는 시스템은 24-비트(3 색상 X 8 비트) 데이터 경로를 갖는다. 디지털화 된 데이터는 메모리(105)에 저장된 다음 신호 처리기(110)로 전달된다.
이하에 기술되는 디스플레이 시스템은 소스(107)와 같은 대체 비디오 소스로부터 이미지를 투사할 수 있다. 소스(107)는 상술한 비디오 이미지들뿐만 아니라 컴퓨터로 생성된 이미지도 제공한다 원래 안테나/수신기(102)로 수신하는 상술한 비디오는 "방송" 비디오로서 언급하여, 이를 참조 번호 (107)로 도시된 대체 비디오 소스들과 구별한다. 대체 비디오 정보는 경로(111)의 아날로그 포맷이나 경로(113)의 디지털 포맷으로 디스플레이 시스템으로 입력된다.
디지털 DMD에 기초한 디스플레이 시스템에서, 인입 소스 신호에 대한 일차적인 구비 조건은 이 신호가 DMD에 도달하기 전에 디지털화 되어야만 한다는 것이다. 만일 U.S. HDTV에 제안된 것과 같이 방송 비디오 표준이 디지털이면, 수신기(102) 및 튜너(104)는 그 자체로서 디지털 소스일 수 있다. 아날로그 표준 입력인 경우, 디지털 소스는 수신기(102), 튜너(104), 및 디지털화기(108)를 포함할 것이다. 유사하게, 대체 소스(107)는 그 자체로서 디지털 소스일 수 있고, 또는 아날로그 입력인 경우, 디지털 소스는 대체 소스(107) 및 디지털화기(108)를 포함한다.
이하에 설명될 이유 때문에, DMD는 프레임-단위-형(frame-at-a-time-fashion)으로 비디오 정보를 디스플레이한다. 다수의 비디오 표준들은, 공간적으로 및 시간적으로 구성되는 비월 필드(interlaced field)로 구성되어 프레임 이미지를 생성하므로, 신호 처리기는, 디스플레이되는 비디오 표준에 의해 요구되는 공간적이고 시간적인 보간법을 필드마다 수행해야만 한다. 이러한 변환들을 수행할 다수의 서로 다른 알고리즘이 제안되어 있다.
비월-대-순차 변환 외에, 다른 신호 처리가 필요할 수 있다. 디지털 데이터를 디스플레이할 때, 완만한 변화 대신 단절적인 모서리와 같은 다양한 아티팩트가 나타날 수 있다. 이 신호 처리기는 다양한 데이터-조작 알고리즘을 적용함으로써 이들 문제들을 완화시킬 수 있다. 또한 신호 처리기는 감마 교정 및 색조, 색상, 명도, 선명도, 및 콘트라스트 제어와 같은 표준 비디오 기능을 수행할 수 있다. 게다가, 만약 그것이 이전에 실행되지 않았다면, 신호 처리기 유닛은 성분 비디오 변환에 대한 합성을 수행할 수 있다. 신호 처리기가 데이터를 디스플레이하기 위한 준비를 완료한 때, 신호 처리기는 DMD로 전달될 때까지 유지되는 메모리(109)에 처리된 데이터를 위치시킨다.
명확히 하기 위해, DMD 상으로 디지털 데이터를 순차시키는 것은 디스플레이 시스템의 동작에 중요하고, 비디오 표준에 따라 데이터가 공급되는 픽셀 대 픽셀(pixel-by-pixel), 라인 대 라인(line-by-line) 방법과 유사하지 않다. 그래서, 신호 처리 기능의 중요한 요소는 메모리(109)로부터 DMD 모듈(112)로 흐름에 따라 데이터를 적절히 순차시키는 것이다. 모듈(112)은 개별적으로 어드레싱 가능 미러 셀의 DMD 어레이와 DMD 어레이 상으로 순차시키는 준비가 될 때까지 이미지 데이터를 저장하는 연관된 메모리 회로 모두를 포함한다.
처리된 데이터가 DMD상으로 순차 (로드)된 후, 어레이는 집광 및 조명 광학계와 함께 광원에 의해 조명된다. 적절히 편향된 상태로 DMD 미러로부터 반사된 광은 투사 광학계를 통해 시청하는 화면으로 중계된다. 상술한 바와 같이, 아날로그와 디지털 DMD 모두를 사용하여 광학 시스템을 구성할 수 있다. 아날로그 DMD 실시예에서, 미러 셀의 편향은 인가된 전압의 크기에 따라 변한다. 이것은 전형적으로 지지물의 그리드 위에 얇은 반사성 막(membrane)을 구성하고 아날로그 도메인(또한 디지털로 동작할 수 있다)에서 동작하는 막 DMD 또는 힌지(hinge) 상에 미러를 구성하는 "빔" DMD 중 어느 하나를 사용하여 수행될 수 있다. 빔 DMD는 제4도와 관련하여 기술될 것이다. 막 DMD의 경우에 있어서의 편향은 모놀리식 막의 국소화된 변형과 더 유사하다. 이들 시스템의 예는 모두 오트(Ott)가 출원한 미국특허 제4,680,579호와 제4,638,309호에서 참조할 수 있다.
이와 같은 유형의 아날로그 DMD를 디스플레이 시스템, 특히 HDTV 시스템에 사용하는 데에는 큰 한계가 있다. DMD가 종래의 반도체 웨이퍼 조립 영역에서 조립되기 때문에, 사용될 수 있는 - 대개, 알루미늄과 같은 고반사성 금속 - 미러 재료의 두께는 디바이스 전체에 걸쳐 5 %까지 변할 수 있다. 빔형 디바이스의 경우, 인가된 전압으로 미러 편향각의 편차는 두께 변화에 따라 두께의 제곱 편차에 비례한다. 그 결과, 재료 두께가 5 % 편차로, 디바이스 전체에 걸쳐 편차 특성이 15 % 차이가 생기게 된다. 균일하지 않게 편향된 스위칭 소자로 균일한 광 변조를 달성하는 것이 어려울 수 있다.
빔형 DMD에서는, ON 또는 "1" 상태가 두 개의 균일한 각 중 한 개의 각으로 완전히 기울어지고, OFF 또는 "0" 상태가 상기 두 개의 각 중 다른 각으로 완전히 기울어지기 때문에, 디지털 동작은 상기 문제를 제거한다. 이와 유사하게, 막형 DMD에서는, 두 가지 구별되는 상태가 존재하는데, 각각의 상태는 두 개의 디지털상태(ON 또는 OFF) 중 한 상태를 나타낸다 이들 두 상태는 균일(flat)한 상태와 완전히 변형된 상태를 포함한다.
디지털 모드에서, DMD 미러의 고속 스위칭 시간으로 인해, 광선을 투사 광학계로 반사시켜 디스플레이 된 이미지의 강도를 증가시키게 되거나, 또는 광선을 투사 광학계로부터 벗어나도록 반사시키는 위치 사이에서 상기 상태들이 변경될 수 있다. 디지털 모드에서의 디바이스의 동작에 대해서는 상세히 후술할 것이다. 기본적으로, 투사된 이미지의 특정 픽셀에 대응하는, 본 디바이스의 미러 각각은 미러 셀 각각이 ON 및 OFF로 스위칭하는 2진 방식으로 동작한다. 미러의 ON 상태 시간이 길수록 그에 대응하는 픽셀은 더욱 밝아진다.
ON 시간은 디지털화 된 이미지의 강도 레벨에 직접 비례한다. 시청자의 눈은 화면상에 투사된 픽셀 위치 각각의 시변 강도 레벨을 종합하여 완벽한 아날로그 이미지 표현을 얻는다. 시변 색 필터 (이를테면, 색 휠(wheel))를 사용하고, 적당한 적색, 녹색, 및 청색의 강도가 필터링 된 적색, 녹색, 및 청색의 조도에 동기화되면, 하나의 DMD는 이러한 형태로 모든 색상의 이미지를 생성할 수 있다. 한 색에 하나씩의 3-칩 시스템, 색 휠과 같은 필터를 사용하는 단일 칩 시스템, 및 심지어 한 디바이스는 두 색상 사이에서 스위칭하고 다른 디바이스는 한 색상을 투사하는 2-칩 시스템을 포함하는 디지털 DMD를 사용하여 몇 가지 선택이 가능하다. 제7A도 내지 제7C도를 참조하여 광학적인 고찰을 더 논한다.
명도와 색상을 종합하는 데에 있어 시청자의 눈에 의존하는 디바이스를 사용함에 있어서는 대역폭 문제가 발생한다. 이 디바이스는 깜박거림을 느낄 수 없을만큼 고속으로 스위칭 하여 모든 이미지 데이터를 모든 색상으로 디스플레이 하여야 한다. 한 색에 하나씩 3개의 DMD를 갖는 시스템은 낮은 대역폭을 갖는다. 3개 의 DMD는 실제로 물리적으로 분리된 칩이거나, 또는 하나의 큰 디바이스 상의 3 영역 상에 있을 수 있겠으나, 매 16 7 ms 비디오 프레임 동안 수십만 개의 미러를 수백 번 ON OFF스위칭 하는 데 유효한 대역폭을 여전히 필요로 할 것이다.
3개의 칩으로 한다면 단일 칩으로 한 것에 비해서 대역폭을 감소시킬 수 있으나, 이렇게 하면 별도의 비용을 발생시키게 된다. 처리된 실리콘 웨이퍼 가격을 1000달러라고 하면, 한 웨이퍼에 12개의 칩이 들어맞을 수 있는 이러한 크기의 칩은 33 %의 칩 수율 및 각 디바이스당 비용은 250달러가 된다. 패키지된 칩 가격은 약 350달러가 될 것이다. 그러면, 3-칩 시스템의 가격은 임의의 다른 전자 기능의 필요성을 생각하기도 전에 1050달러가 될 것이다. 이것은 소비자용 시스템으로 하기에는 받아들여 질 수 없는 출발점으로 보인다. 다른 선택이라면 동일 디바이스상에 3개의 영역을 갖게 하는 것이다. 그러나, 디바이스의 크기는 이제 3배가 될 것이며, 웨이퍼마다 단지 4개의 디바이스만이 가능할 것이다. 동일하게 가정된 수율에 따르면 패키지하지 않은 상태에서의 웨이퍼당 한 개의 디바이스 비용은 1000달러가 된다.
수율을 상승시키면 이러한 비용은 당연히 내려가지만, 비용을 실제로 감소시킬 수 있을 때까지는 하나의 디바이스로 색-순차(color sequencing) 방법을 사용하는 것이 좋을 것이다. 이 때 대역폭 문제가 우려된다. 즉, 요구되는 비디오속도로 모든 색 이미지를 충분히 달성할 수 있는 I/O 능력을 갖는 합리적인 가격의 칩을만들 수 있을 것인가? 하나의 프레임 시간은 16.7 ms이기 때문에, 각각의 색은 디스플레이를 위해서 프레임의 1/3, 혹은 5.5 ms가 된다. 8 비트의 색 분해능을 달성하기 위해서는 이러한 5500 μs는 21 μs구간의 256 각각의 시간 윈도우로 분할되어야 한다. 디지털 DMD는 10 μs의 움직임(in-motion) 또는 비행(flight) 시간을 갖는다. 그러므로, DMD가 한 상태에서 다른 상태로 이동되고, 그 시간 간격동안 ON 또는 OFF되어 복귀될 수 있는 이용 가능한 충분한 시간이 있다.
전체 DMD가 이러한 21 μs 구간 안에 어드레싱되기 위해서는 하이 데이터 I/O 대역폭이 제공되어야 한다. 2048 x 1152 픽셀 디바이스에 대한 하나의 전위구성은 디바이스의 상부에서는 512개의 입력 핀에, 그리고 디바이스의 하부에서는 512개의 핀에 1대4 인수(one-to-four factor)로 디멀티플렉싱 된 각각의 입력을 제공한다. 데이터의 4개의 비트가 각각의 핀에 로드되면, 데이터의 2개의 완전한 2048 비트 라인이 DMD 픽셀 어레이로 로드될 수 있다. 21 μs내에 디바이스를 어드레싱하기 위해, 디바이스의 상부 및 하부 내의 각각의 576개의 행들이 36 ns 내에 어드레싱되어야 한다. 36 ns 내에 각각의 핀에 4 비트를 제공하는 것은 핀당 107 MHz의 데이터 속도를 필요로 한다. 비록 문제가 될지라도 이들 핀 수와 데이터 속도가 달성될 수 있고, 단일 칩 DMD 기반의(DMD-based) 모든 디지털 고해상(HD) 디스플레이 시스템이 달성 가능하다는 것을 보여준다.
512개의 입력 핀들을 갖는 DMD를, 입력 신호를 제공하는 메모리들로부터 멀리 떨어져 장착하는 것은 불편하며, DMD, 메모리들 및 신호 처리 회로들을 보유하고 있기 위한 크기의 회로 보드를 광학 시스템내에 일체화시키는 것도 불편할 것이다. 따라서, DMD와 메모리들을 신호 처리 보드로부터 멀리 떨어진 하이브리드 모듈 내에 일체화시키는 것이 바람직할 것이다, 이 모듈에 대한 하나의 가능한 구성이 기술된다.
DMD는 전형적으로 제2도에 도시된 바와 같은 세라믹 칩 캐리어(200)에 장착되어야 한다. 이 디바이스는 보호 윈도우(204)를 지지하는 링(202)에 의해 둘러싸여 있고, 불활성 가스 환경은 윈도우와 세라믹 기판 사이에 봉합된다. DMD 입력포트들은 링 하부를 통과하는 트레이스에 결합되고, 칩과 32개의 프레임 버퍼 RAM(206a 및 206b)를 상호 접속한다. 프레임 버퍼 RAM(FRAM)들은 236만개 픽셀 각각에서 적색, 녹색, 또는 청색용 강도 데이터로 DMD를 끊임없이 리프레시한다. 이들 버퍼들은 비디오 랜덤 액세스 메모리(VRAM)들 또는 선입선출(FIFO) 버퍼들과 같은 임의의 유형의 랜덤 액세스 메모리(RAM)들일 수 있다. 이 실시예에서는, 7 비트 데이터가 가정되어, 4950만개의 비트들(3 프레임 x 2048 x 1152 x 7 비트)의 전체 FRAM 용량을 요구한다. 따라서, 32개의 FRAM 각각은 1.55 Mbit 용량으로 구성될 수 있다. 8비트 비디오 데이터는 1.77 Mbit 용량으로 이루어진 32개의 FRAM을 필요로 한다. 현재 메모리 기술로 이들 조건을 달성할 수 있다.
각각의 FRAM은 DMD 입력 핀들 중 32개를 공급하고, DMD 픽셀들의 각각의 행은 일련의 길이 변화 클릭 펄스(varying-length clock pulse)에 의해 차례로 어드레싱되어야 한다. 제3도에 도시된 바와 같이, 최상위 강도 비트(MSB)는 리프레시 주기의 거의 반주기 동안 픽셀에 로드되고, 리프레시 주기의 1/4주기 동안에는 제2 MSB가 로드되는 방식으로 이루어진다. 따라서 디지털 강도 값은 픽셀의 듀티 사이클을 직접 어드레싱하는 데 사용된다. FRAM들의 2개의 뱅크는 매 16.7 ms마다 갱신되어야 하는데, 이는 8비트 시스템에서 초당 3.4 Gbit의 데이터 속도를 필요로 한다. 4개의 디스플레이 사분면의 각각에 공급되는 4배의 32비트 데이터 버스들을 가정하면, 완전하게 달성할 수 있는 비율인 와이어 데이터 속도당 26.5 MHz를 산출한다.
디지털 색 동작이 가능하고, 적절한 DMD 및 지지 회로가 실현 가능하다는 것을 결정하는 것은, 상세한 DMD 동작을 논의하는 데 도움이 된다. 제4도는 어레이 (400)의 일부를 도시한다. 기판(402)은 전형적으로 실리콘이고, CMOS 어드레싱 회로가 있다. 어드레싱 회로의 상부에는 랜딩(landing) 전극(404) 및 어드레싱 전극 (406)용으로 적절하게 패터닝된 금속층을 남겨 둔다.
전극 상에 현수된 미러 소자(408)의 전형적인 처리 시퀀스는 다음에 기술한다. 전극은 약 2 마이크론 두께의 중합체층으로 덮힌 다음, 중합체 코팅이 경화된다. 중합체는 기판에 리드하는 비아(vias)를 형성하도록 패턴닝된다. 힌지 금속 (410)이 증착된 다음, 산화물층이 힌지층 상에 증착되고 이 공정 후에 형성될 힌지의 형태로 패턴닝된다. 두꺼운 금속층은 산화 힌지 마스크 상에 증착된다. 이 층의 상부 표면은 미러 표면이다. 미리 패턴닝 된 비아를 채운 2개의 금속층은 최후에 기판 상의 미러층을 지지하도록 포스트를 형성한다. 미러 금속이 패턴닝된 다음, 산화물층은 얇은 힌지 금속이 에칭 동안 제거되지 않도록 보호한다. 어레이는 미러 바로 아래의 중합체를 제거하도록 플라즈마 에칭하여 포스트/비아의 상부와 미러를 접속하도록 힌지를 둘 수 있다.
DMB의 상술한 구조는 토션 힌지(torsion-hinge)라 칭한다. 하나의 힌지에 의해 지지되는 캔틸레버(cantilever) 빔 및 4개의 힌지에 의해 지지되는 플렉서 빔을 포함하는 다른 구조가 존재한다. 캔틸레버 빔은 다이빙 보드와 유사한 모션을 하고, 플렉서 빔은 피스톤과 유사하다. 이들 구조들 중 하나는, 시스템의 상이한 모션 특성을 허용하도록 광학계를 조정하는 DMD 디스플레이 시스템에 사용될 수 있다.
또한, 구조의 동작은 캔틸레버 및 플렉서 빔 구조가 전형적으로 하나의 어드레싱 전극을 갖고 있는 것을 제외하고는 유사하다. 토션 빔은, 평탄하거나, 한 측에 대해 트위스트되거나, 또는 다른 쪽에 대해 트위스트된 3개의 디지털적으로 어드레싱 된 상태를 갖고 있다는 점에서 유일하다. 토션 빔의 측면도가 제5도에 도시되어 있다.
제5도에 있어서, 좌측 열 선택 라인(502a)이 활성화된 경우, 열 어드레싱 전극(506a) 상의 전압에 위치한다. 전압은 미러 소자(508)와 어드레싱 전극(506a)사이에서의 정전기적 인력의 원인이 된다. 미러(508)는 편향되고, 상부는 좌측 랜딩 전극(504a) 상에 랜드된다. 랜딩 전극(504a 및 504b)은 어드레싱 회로에 손상이 발생하거나, 미러를 랜딩 전극에 고정되게 할 수 있는 여러 가지 쇼팅 또는 전류 흐름을 방지하도록 미러(508)에서 동일 전압으로 유지된다.
미러가 편향된 경우, 그 다음 입사 광은 각으로 편향될 수 있다. 미러 소자는 좌측으로 편향될 때와 동일 방식으로 우측으로 편향될 수 있다. OFF 상태 내의 미러로부터의 광을 ON 상태 미러용의 영상 시스템 내로 도달하지 못하도록 2방향중어느 것도 ON 및 OFF될 수 없는 많은 장점을 갖고 있다.
DMD 레이아웃은 제6도에 도시되어 있다. 2048 x 1152 픽셀의 중앙 어레이(600)는 CMOS DRAM 회로에 의해 어드레싱 된다. 큰 셀 크기(20 μm)는 큰 칩 크기에 손실되는 수율을 벌충하는데 필요한 완화된 설계 규칙 회로를 사용할 수 있다. 상부 576 라인은 칩의 상부에서 4:1 디멀티플레서(602a)로 512 라인에서 2048 라인까지 어드레싱 된다. 제2 디멀티플렉서(602b)는 저부 576 라인을 공급한다. 결과적으로 얻게 되는 1024 입력 라인은 107 MHz로 공급되기 때문에, 디멀티플렉서 출력은 26.8 MHz에서 가동한다. 이 26.8 MHz 라인 속도는 46.5 kHz 프레임 속도로 산출된다.
46.5 kHz의 프레임 속도는 디스플레이가 단일 색-순차 비디오 프레임 동안 256번 갱신되도록 하는 데 적합하다. 따라서, 단일 DMD 칩을 기초로 한 투사기 (projector)는 비디오 프레임을 3개의 시간-슬라이스(time-slice)로 분할하여 3개의 시간-슬라이스에서 조사광을 순차적으로 적색, 녹색 및, 청색으로 필터링 한다. 각각의 시간-슬라이스 내에서, 강도는 256개의 불연속 간격의 해상도로 펄스 폭 변조(PWM)될 것이다. 그러므로, 전체 투사기 콘트라스트 비는 각각 3가지 색(triad color)에서 각각 256 불연속 스텝내의 각각의 픽셀에서 이용될 수 있다.
DMD 입력 디멀티플렉서는 26.8 MHz 라인 속도를 달성하기 위해 107 MHz 입력 데이터 스트림을 지지할 수 있어야 한다. 실제로, 이러한 데이터 속도가 연속적으로 유지될 필요는 없다. 제3도에 도시된 바와 같이, DMD로 전송될 그레이 스케일 데이터의 8비트는 5.5 msec의 1/3 프레임 시간에서 256시간 슬라이스를 제어하는데적합하다. 각각의 픽셀에 대한 1 비트의 데이터 (최상위 비트 또는 MSB)는 1/3 프레임 시간의 처음에서 DMD로 전송된다. 데이터의 다음 MSB는 1/3 프레임 시간동안 1/2 방식(one-half way)으로 모든 픽셀에 전송된다. 3/4 프레임 시간(1/2 + 1/4)에서, 제3 최상위 비트 등 및 모든 8비트까지 DMD로 전송된다. 각각의 비트는 각 비트의 상대적인 가중치(weighting)에 비례하는 시간량에 대해 각 픽셀의 온/오프 상태를 결정하도록 해준다.
이러한 형태의 어드레싱은 DMD로 전송될 데이터의 평균 대역폭을 감소시키지만, DMD에 대한 데이터가 픽셀 면(plane)보다는 비트 면에 있게 되는 것이 필요하다. 그러므로, DMD 기판 상의 메모리와 조합하여 제1도에 도시된 버퍼 메모리는, 메모리의 입력에서 수신된 픽셀 면 포맷에서 메모리의 출력에 의해 필요하게 된 비트 면 포맷으로 데이터를 재순차시키는 데이터 재포맷 특성을 구비하고 있어야만 한다.
이러한 어드레싱 방법에 의해 제공된 효율성 때문에, 단일 멀티플렉서에 의해 구동되는 576 라인들 각각은 5.5 ms의 1/3 프레임 세그먼트에서 8배만이 어드레싱되어야 한다. 이는, DMD 어레이의 각각의 수직 컬럼에서 838 kHz의 시간 평균 데이터와 동일하게 하여, 2개의 512-비트 폭 DMD 입력 데이터 포트에서 핀당 3.35 MHz로 4X 데이터 속도를 야기한다. 따라서, 각각의 DMD 데이터 핀 내부의 메모리 버퍼층은 피크 입력 데이터 속도를 107 MHz에서 3.35 MHz의 평균 데이터 속도로 낮출 수 있다. 각각의 입력 데이터 핀에서 버퍼의 1개의 층은 필요한 입력 데이터 속도를 107 MHz에서 53.5 MHz로 낮출 수 있다. 2 비트의 버퍼는 이러한 속도를 27.7MHz 등으로 낮출 수 있다.
고해상도 색 디스플레이용으로 필요한 바와 같이 DMD를 어드레싱할 수 있도록 하기 위해서는 최적의 시스템 설계에서와 같이 몇몇의 옵션을 남겨 둔다. 이러한 몇몇의 예들은 제7A도 내지 제7C도에 도시되어 있다. 제7A도는 3개의 칩 시스템을 도시한 것으로서, 각각의 디바이스는 적절한 색의 자체 조도를 갖고 있다. 설명할 목적으로, 도면의 하부로 향해 있는 픽처(picture)는 "청색" 시스템으로서 기술될 것이다. 광원(704a)은 실제로 청색 전구일 수 있는 청색 광원, 또는 청색 필터를 갖고 있는 백색 광원일 수 있다. 광원(704a)으로부터의 광은 렌즈(706a)에 의해 확대되어 청색 필터(708a)를 통하여 투과된다. 청색 광은 그 후 청색 디바이스 (702a)의 표면과 충돌한다. 청색 디바이스(702a) 상의 개별적인 각각의 미러는 화면 상의 스폿을 나타낸다. 시간에 따른 스냅쇼트(snapshot)가 제7A도에서 미러에 의해 도시된다.
경로(712a)는 화면(716)에 광을 반사시키지 않는 픽셀로부터의 광을 나타낸다. 이들 픽셀은 그 색 체계에서 청색 광을 전혀 갖지 않는 픽셀 또는 그 체계에서 소정의 혼합 또는 청색을 갖고 그 특정 비트에 대해 "오프"인 픽셀일 수 있다. 경로(710a)는 화면(716)에 광을 반사시키는 그들 픽셀을 나타낸다. 화면에 광을 반사시키지 않는 상기 픽셀과 유사하게, 이들 픽셀은 모두 청색이거나, 또는 그들이 그 픽셀의 색 체계의 일부로서 화면 상에 청색을 가하는 비트에서 나타낼 수 있다. 경로(710a)에서의 광은 이미징 렌즈(714a)에 의해 화면(716) 상에 집속된다.
이 개별 색 시스템은 이 예에서 녹색 및 적색 광에 대해 복제된다. 완전하게하기 위해, 광원(704b)의 시스템은 녹색 광 시스템이고, 광원(704c)의 시스템은 적색 광 시스템이다. 이들 시스템은 필요한 대로 배치될 수 있고, 여기에 도시된 위치에 놓일 필요는 없다. 적절히 배치되어 필터링 될 때, 광의 3가지 색의 빔이 단일 백색 광원으로부터 유도될 수 있다.
3-칩 시스템이 바람직하다 데에는 몇 가지 이유가 있다. 시스템의 크기 및 사용된 광학 소자에 따라, 보다 높은 명도와 보다 좋은 최종 픽처를 얻을 수 있다. 그러나, 앞서 설명한 바와 같이, 이것은 매우 비용이 많이 들 수 있다. 3개의 디바이스를 사용하면, 필터 및 광학 시스템이 낮은 단부 또는 소형 시스템으로 하기위해 너무 비용이 많이 들거나 또는 너무 크다는 것이 판명되었다. 가능한 여러 가지 선택의 다른 예가 제7B도에 도시된다.
제7B도의 광원(704)은 백색 광원이다. 광은 콘덴서 조립체(706) 및 색 필터(708)를 통과하는데 청색, 적색, 및 녹색 광을 디바이스(702)에 제공할 수 있어야 한다. 이것을 달성하기 위한 한가지 방법은 색 휠을 사용하고 휠의 색 순차에 대응하도록 디바이스 상에 있는 데이터의 타이밍을 맞추는 것이다. 광을 순차시키는 이러한 방식은 디바이스(702)가 개별적으로 각 색에 대한 데이터를 "처리" (필요한 횟수로 픽셀을 턴 온 및 오프시킨다)하는 것을 필요로 한다. 다시, 각 색에 대해 화면(716)으로 가는 광은 이미징 렌즈(714)를 통하여 경로(710)를 따를 것이다. 화면으로 전송되지 않는 각 색에 대한 광은 경로(712)를 따라 진행할 것이다. 순차되어야 하는 데이터의 양으로 인해 여기서 처리하는 데이터는 보다 복잡하지만, 광학 시스템은 3-칩 시스템보다 훨씬 간단하다.
상기 두 시스템 사이의 중간 시스템인 2-칩 시스템이 예로서 제7C도에 도시되어 있다. 디바이스(702b)는 2개의 광원(704b 또는 704c) 중 하나로부터 광을 보낸다. 미러가 한쪽 방향으로 편향된다면, 청색 시스템(704c, 706c, 708c)으로부터의 광은 화면(716)으로 반사된다. 미러가 다른 쪽 방향으로 편향된다면, 적색 시스템(704b, 706b 708b)으로부터의 광은 화면(716)으로 반사된다. 경로(712c)는 적색 시스템으로부터의 사용되지 않은 광을 나타내고 (712b)는 청색 시스템으로부터의 사용되지 않은 광을 나타낸다. 사용되지 않은 광은 비편향된 미러, 및 DMD 구조의 힌지 및 포스트에서 반사된다. 광원(704a)으로부터의 광은 이미지의 녹색부를 제공하도록 (708a)에 의해 필터링 되다. 녹색에 대한 눈의 증가된 감도로 인해 시스템은 녹색 광에 전용된다. 3칩 시스템에서와 같이, 광학계는 모든 광학 트레인용으로 하나의 광원을 사용하도록 재배열될 수 있다.
상기 밝힌 바와 같이, DMD와 같은 디지털 공간 광 변조기를 사용하면 시스템부은 설계자가 다양한 시스템 설계 또는 구성을 선택할 수 있게 한다. DMD 기반 디스플레이는 빠른 응답 시간, 낮은 비용 및 보다 나은 선명도, 및 필적할만한 명도 및 콘트라스트의 상술한 장점을 가진다. 또한, 앞서 밝힌 바와 같이, 모든 다른 형태의 디스플레이가 요구 및 요망에 따라 적응될 수 있다.
지금까지 디지털 마이크로미러 디바이스 디스플레이의 특정 실시예들에 대해 설명하였지만, 이러한 특정한 참조는, 다음의 청구 범위에 기술되는 한, 본 발명의 범위를 제한하는것으로 고려되는 것은 아니다.
제1도는 DMD 디스플레이 시스템의 블럭도.
제2도는 어레이가 놓여지는 전형적인 기판을 도시하는 도면.
제3도는 그레이 스케일 타이밍도.
제4도는 DMD 어레이의 사시도.
제5도는 DMD 셀의 전기적인 개략도.
제6도는 어레이를 둘러싸는 구동 전자 디바이스의 실시예를 도시하는 개략도.
제7A도 내지 제7C도는 DMD 어레이용 광학 시스템의 다양한 구성을 도시하는 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
102 : 오디오 신호
104 : 튜너
105 : 비디오 메모리
107 : 대체 소스
108 : 디지털화기
109 : 버퍼 메모리
110 : 신호 처리기
112 : DMD와 회로
200 : 세라믹 칩 캐리어
202 : 보호 윈도우
204 : 링

Claims (26)

  1. 디스플레이 시스템에 있어서,
    a. 디지털화된 비디오 데이터의 소스 - 상기 데이터 소스는 인입 신호를 디코드하여 이미지 정보의 소재를 파악하고, 그 데이터의 임의의 포맷을 인식함 -;
    b. 상기 소스로부터 상기 이미지 정보를 수신하기 위한 비디오 메모리;
    c. 상기 비디오 메모리로부터 상기 이미지 정보를 수신하여 상기 이미지 정보를 디스플레이하기 위해 처리하는 신호 처리기 - 상기 프로세서는 인터레이스-프로그레시브 스캔 변환을 수행할 수 있음 -;
    d. 상기 처리기로부터 상기 처리된 이미지 정보를 수신하고 상기 이미지 정보를 픽셀-면으로부터 비트-면으로 재포맷하는 버퍼 메모리;
    e. 상기 버퍼 메모리로부터 상기 재포맷된 이미지 정보를 수신하는 적어도 하나의 디지털 마이크로미터 디바이스 - 상기 디바이스 각각의 변조기는 개별적으로 어드레싱 가능한 셀들의 어레이와 어드레싱 회로를 포함하고, 상기 어드레싱 회로는 상기 개별적으로 어드레싱 가능한 셀들 각각이 상기 재포맷된 이미지 정보에 응답하도록 상기 개별적으로 어드레싱 가능한 셀들에 대해 상기 재포맷된 이미지 정보를 수신함 -;
    f. 상기 개별적인 셀들이 상기 어드레싱 정보에 응답하는 기간 동안 상기 개별적인 셀들을 조사하는 적어도 하나의 광원; 및
    g. 상기 셀의 편향각을 변환시키는 동작을 하는 정보를 수신하는 상기 개별적인 셀들로부터 반사된 광을 포착하여 디스플레이 표면에 접속하는 광학계를 포함하는 디스플레이 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 디지털화된 비디오 데이터의 소스는 수신기, 튜너, 및 디지털화기를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 디지털화된 비디오 데이터의 소스는 수신기 및 튜너를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 디지털 비디오 데이터 소스가 비-방송 아날로그 비디오 소스인 디스플레이 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 디지털 비디오 데이터 소스가 비-방송 디지털 비디오 소스인 디스플레이 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 메모리가 적어도 하나의 선입선출 버퍼를 포함하는 디스플레이 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 메모리가 적어도 하나의 랜덤-액세스 메모리를 포함하는 디스플레이 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 버퍼 메모리가 적어도 하나의 비디오 랜덤-액세스 메모리를 포함하는 디스플레이 시스템.
  9. 제7항에 있어서, 상기 버퍼 메로리가 적어도 하나의 프레임 랜덤-액세스 메모리를 포함하는 디스플레이 시스템.
  10. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 디지털 마이크로미러 디바이스가 2개의 디지털 마이크로미러 디바이스, 즉 적색, 녹색, 또는 청색 중 두 가지 색을 수신하기 위한 디지털 마이크로미러 디바이스와, 그 나머지 색을 수신하기 위한 디지털 마이크로미러 디바이스를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  11. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 디지털 마이크로미러 디바이스가 3개의 디지털 마이크로미러 디바이스, 즉 적색 광을 수신하기 위한 디지털 마이크로미러 디바이스, 청색 광을 수신하기 위한 디지털 마이크로미러 디바이스, 및 녹색 광을 수신하기 위한 디지털 마이크로미러 디바이스를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  12. 제1항에 있어서, 상기 버퍼 메모리, 상기 수신 회로, 및 상기 개별적인 셀들의 어레이는 모두 하나의 기판 상에 포함되어 있는 디스플레이 시스템.
  13. 제1항에 있어서, 각 미러의 온-상태는, 디지털 강도 레벨의 각 비트에 대해 하나씩인 일련의 펄스들에 부합하여 설정되고, 상기 펄스들 각각은 상기 디지털 강도 레벨의 각 비트의 가중치에 비례하는 시간적 길이를 갖는 디스플레이 시스템.
  14. 디스플레이 시스템에 있어서,
    a. 디지털화된 비디오 데이터의 소스 - 상기 데이터 소스는 인입 신호를 디코드하여 이미지 정보의 소재를 파악하고, 그 데이터의 임의의 포맷을 인식함 -;
    b. 상기 소스로부터 상기 이미지 정보를 수신하기 위한 비디오 메모리;
    c. 상기 비디오 메모리로부터 상기 이미지 정보를 수신하여 상기 이미지 정보를 디스플레이하기 위해 처리하는 신호 처리기 - 상기 프로세서는 인터레이스-프로그레시브 스캔 변환을 수행할 수 있음 -;
    d. 상기 처리기로부터 상기 처리된 이미지 정보를 수신하고 상기 이미지 정보를 픽셀-면으로부터 비트-면으로 재포맷하는 버퍼 메모리;
    e. 상기 버퍼 메모리로부터 상기 재포맷된 이미지 정보를 수신하는 디지털 마이크로미러 디바이스 - 상기 디바이스 각각의 변조기는 개별적으로 어드레싱 가능 셀들의 어레이와 어드레싱 회로를 포함하고, 상기 어드레싱 회로는 상기 개별적인 셀 각각이 상기 재포맷된 이미지 정보에 응답하도록 상기 개별적으로 어드레싱 가능한 셀들에 대해 상기 재포맷된 이미지 정보를 수신함 -;
    f. 상기 개별적인 셀들이 상기 어드레싱 정보에 응답하는 기간 동안 상기 - 개별적인 셀들을 조사하는 광원 - 상기 광원은 상기 개별적인 셀들 상에 적색, 녹색, 및 청색 광을 순차시킴 -; 및
    g. 상기 셀의 편향각을 변환시키는 동작을 하는 정보를 수신하는 상기 개별적인 셀들로부터 반사된 광을 포착하여 디스플레이 표면에 집속하는 광학계를 포함하는 디스플레이 시스템.
  15. 제14항에 있어서, 상기 디지털화된 비디오 데이터의 소스는 수신기, 튜너, 및 디지털화기를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  16. 제14항에 있어서, 상기 디지털화된 비디오 데이터의 소스는 수신기, 및 튜너를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  17. 제14항에 있어서, 상기 디지털 비디오 데이터 소스가 비-방송 아날로그 비디오 소스인 디스플레이 시스템.
  18. 제14항에 있어서, 상기 디지털 비디오 데이터 소스가 비-방송 디지털 비디오 소스인 디스플레이 시스템.
  19. 제14항에 있어서, 상기 버퍼 메모리가 적어도 하나의 선입선출 버퍼를 포함하는 디스플레이 시스템.
  20. 제14항에 있어서, 상기 버퍼 메모리가 적어도 하나의 랜덤-액세스 메모리를 포함하는 디스플레이 시스템.
  21. 제20항에 있어서, 상기 버퍼 메모리가 적어도 하나의 비디오 랜덤-액세스 메모리를 포함하는 디스플레이 시스템.
  22. 제20항에 있어서, 상기 버퍼 메모리가 적어도 하나의 프레임 랜덤-액세스 메모리를 포함하는 디스플레이 시스템.
  23. 제14항에 있어서, 상기 적어도 하나의 디지털 마이크로미러 디바이스가 2개의 디지털 마이크로미러 디바이스, 즉 적색, 녹색, 또는 청색 중 두 가지 색을 수신하는 디지털 마이크로미러 디바이스와, 그 나머지 색을 수신하는 디지털 마이크로미러 디바이스를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  24. 제14항에 있어서, 상기 적어도 하나의 디지털 마이크로미러 디바이스가 3개의 디지털 마이크로미러 디바이스, 즉 적색 광을 수신하기 위한 디지털 마이크로미러 디바이스, 청색 광을 수신하기 위한 디지털 마이크로미러 디바이스, 및 녹색 광을 수신하기 위한 디지털 마이크로미러 디바이스를 더 포함하는 디스플레이 시스템.
  25. 제 14항에 있어서, 상기 버퍼 메모리, 상기 수신 회로, 및 상기 개별적인 셀들의 어레이는 모두 하나의 기판 상에 포함되어 있는 디스플레이 시스템.
  26. 디스플레이 시스템을 이용하여 디지털 데이터를 재포맷하는 방법에 있어서,
    a. 메모리에 픽셀-면 데이터 입력을 수신하는 단계,
    b. 상기 픽셀-면 데이터를 비트-면 데이터로 변환하는 단계,
    c. 상기 메모리로부터 상기 비트-면 데이터를 출력하는 단계, 및
    d. 디지털 마이크로미러 디바이스에서 상기 비트-면 데이터를 수신하는 단계
    를 포함하는 디지털 데이터의 재포맷 방법.
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Families Citing this family (339)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6348907B1 (en) * 1989-08-22 2002-02-19 Lawson A. Wood Display apparatus with digital micromirror device
US6535187B1 (en) 1998-04-21 2003-03-18 Lawson A. Wood Method for using a spatial light modulator
US6219015B1 (en) 1992-04-28 2001-04-17 The Board Of Directors Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for using an array of grating light valves to produce multicolor optical images
US6674562B1 (en) 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US6044705A (en) * 1993-10-18 2000-04-04 Xros, Inc. Micromachined members coupled for relative rotation by torsion bars
US6467345B1 (en) 1993-10-18 2002-10-22 Xros, Inc. Method of operating micromachined members coupled for relative rotation
US6059188A (en) * 1993-10-25 2000-05-09 Symbol Technologies Packaged mirror including mirror travel stops
JP3098666B2 (ja) * 1993-12-14 2000-10-16 シャープ株式会社 画像形成装置
US7123216B1 (en) 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US8014059B2 (en) 1994-05-05 2011-09-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for charge control in a MEMS device
US6680792B2 (en) 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US5699130A (en) * 1994-05-17 1997-12-16 Taylor Group Of Companies, Inc. Digital video and audio systems using nano-mechanical structures
US5726718A (en) * 1994-09-30 1998-03-10 Texas Instruments Incorporated Error diffusion filter for DMD display
US5623281A (en) * 1994-09-30 1997-04-22 Texas Instruments Incorporated Error diffusion filter for DMD display
US6560018B1 (en) * 1994-10-27 2003-05-06 Massachusetts Institute Of Technology Illumination system for transmissive light valve displays
US5490009A (en) 1994-10-31 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Enhanced resolution for digital micro-mirror displays
US5519450A (en) 1994-11-14 1996-05-21 Texas Instruments Incorporated Graphics subsystem for digital television
US5625424A (en) 1994-11-14 1997-04-29 Texas Instruments Incorporated Digital motor controller for color wheel
US7253794B2 (en) * 1995-01-31 2007-08-07 Acacia Patent Acquisition Corporation Display apparatus and method
US5670977A (en) * 1995-02-16 1997-09-23 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator having single bit-line dual-latch memory cells
US5777589A (en) * 1995-04-26 1998-07-07 Texas Instruments Incorporated Color display system with spatial light modulator(s) having color-to-color variations in data sequencing
US5680180A (en) * 1995-05-08 1997-10-21 Texas Instruments Incorporated Color balance compensation for digital display system with color wheel
US5502514A (en) * 1995-06-07 1996-03-26 Nview Corporation Stylus position sensing and digital camera with a digital micromirror device
US5841579A (en) 1995-06-07 1998-11-24 Silicon Light Machines Flat diffraction grating light valve
US6002452A (en) * 1995-06-08 1999-12-14 Texas Instruments Incorporated Sequential color display system with spoke synchronous frame rate conversion
US5650832A (en) * 1995-06-13 1997-07-22 Texas Instruments Incorporated Multimode color wheel for display device
US5691780A (en) * 1995-06-13 1997-11-25 Texas Instruments Incorporated Phase error control for color wheel
US6046840A (en) * 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
CA2183796A1 (en) * 1995-08-24 1997-02-25 Todd A. Clatanoff Video processing system using scan-line video processors
CA2183797A1 (en) * 1995-08-24 1997-02-25 Todd A. Clatanoff Video processing system with scan-line video processor
KR0165432B1 (ko) * 1995-09-13 1999-03-20 김광호 Ccd를 이용한 반사형 영상표시 장치
NL1001676C2 (nl) * 1995-11-17 1996-10-15 Ronald Evert Opdenberg Een plat, of hol of bol, flexibel scherm met een oppervlak van enkele vierkante meters voor het weergeven van computergraphics en videobeelden. Het scherm is zodanig opgebouwd dat het oppervlak vlak of enkelvoudig of dubbelvoudig gekromd kan zijn. De diepte van het beeldvlak is beperkt tot 200 - 300 mm.
US5729243A (en) * 1995-12-21 1998-03-17 Philips Electronics North-America Corporation Multi-frame-rate operation of digital light-modulators
US5990982A (en) 1995-12-21 1999-11-23 Texas Instruments Incorporated DMD-based projector for institutional use
US6288828B1 (en) 1997-09-10 2001-09-11 Light And Sound Design Ltd. Programmable light beam shape altering device using programmable micromirrors
US5828485A (en) * 1996-02-07 1998-10-27 Light & Sound Design Ltd. Programmable light beam shape altering device using programmable micromirrors
US6421165B2 (en) * 1996-02-07 2002-07-16 Light & Sound Design Ltd. Programmable light beam shape altering device using programmable micromirrors
EP0793214A1 (en) * 1996-02-29 1997-09-03 Texas Instruments Incorporated Display system with spatial light modulator with decompression of input image signal
US5818400A (en) * 1996-04-09 1998-10-06 International Resource Management Inc. Display device using intersecting optical beams
DE19622314A1 (de) * 1996-06-04 1997-12-11 Sel Alcatel Ag Telekommunikationsendgerät und Vorrichtung zur Projektion von visuell erfaßbarer Information
US6304263B1 (en) 1996-06-05 2001-10-16 Hyper3D Corp. Three-dimensional display system: apparatus and method
US6259450B1 (en) 1996-06-05 2001-07-10 Hyper3D Corp. Three-dimensional display system apparatus and method
US5774196A (en) * 1996-06-13 1998-06-30 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus of aligning color modulation data to color wheel filter segments
EP0817157A3 (en) * 1996-06-28 1998-08-12 Texas Instruments Incorporated Improvements in or relating to image display system
EP0914626A4 (en) * 1996-07-25 2002-02-20 Anvik Corp MASKLESS AND DISCONTINUOUS LITHOGRAPHIC SYSTEM INCLUDING A LIGHT SPACE MODULATOR
US6312134B1 (en) * 1996-07-25 2001-11-06 Anvik Corporation Seamless, maskless lithography system using spatial light modulator
EP0827129A3 (en) * 1996-08-30 1999-08-11 Texas Instruments Incorporated Formatting and storing data for display systems using spatial light modulators
US5838385A (en) * 1996-08-30 1998-11-17 Texas Instruments Incorporated Sampling analog video signal for secondary images
US7471444B2 (en) 1996-12-19 2008-12-30 Idc, Llc Interferometric modulation of radiation
DE19707432A1 (de) * 1997-02-25 1998-08-27 Bodenseewerk Geraetetech Vorrichtung zur Umschaltung von optischen Bildern zwischen verschiedenen Kanälen
US5982553A (en) 1997-03-20 1999-11-09 Silicon Light Machines Display device incorporating one-dimensional grating light-valve array
JPH10326088A (ja) * 1997-03-24 1998-12-08 Ngk Insulators Ltd ディスプレイの駆動装置及びディスプレイの駆動方法
JP3758294B2 (ja) 1997-04-10 2006-03-22 株式会社富士通ゼネラル ディスプレイ装置の動画補正方法及び動画補正回路
US6034810A (en) * 1997-04-18 2000-03-07 Memsolutions, Inc. Field emission charge controlled mirror (FEA-CCM)
AU711400B2 (en) * 1997-05-15 1999-10-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Display signal processing device and LED display system
JP3437743B2 (ja) * 1997-07-18 2003-08-18 日本碍子株式会社 ディスプレイの駆動装置及びディスプレイの駆動方法
US5930050A (en) * 1997-10-21 1999-07-27 Texas Instruments Incorporated Anamorphic lens for providing wide-screen images generated by a spatial light modulator
US6088102A (en) 1997-10-31 2000-07-11 Silicon Light Machines Display apparatus including grating light-valve array and interferometric optical system
US5870136A (en) * 1997-12-05 1999-02-09 The University Of North Carolina At Chapel Hill Dynamic generation of imperceptible structured light for tracking and acquisition of three dimensional scene geometry and surface characteristics in interactive three dimensional computer graphics applications
AU2014199A (en) * 1997-12-31 1999-07-19 Sarnoff Corporation Format and frame rate comversion for display of 24 hz source video
WO1999052006A2 (en) 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US6084235A (en) * 1998-05-27 2000-07-04 Texas Instruments Incorporated Self aligning color wheel index signal
US6587159B1 (en) 1998-05-29 2003-07-01 Texas Instruments Incorporated Projector for digital cinema
US6271808B1 (en) 1998-06-05 2001-08-07 Silicon Light Machines Stereo head mounted display using a single display device
US6231190B1 (en) 1998-06-22 2001-05-15 Texas Instruments Incorporated Color correction filter for displays
US6101036A (en) 1998-06-23 2000-08-08 Silicon Light Machines Embossed diffraction grating alone and in combination with changeable image display
US6130770A (en) 1998-06-23 2000-10-10 Silicon Light Machines Electron gun activated grating light valve
US6215579B1 (en) 1998-06-24 2001-04-10 Silicon Light Machines Method and apparatus for modulating an incident light beam for forming a two-dimensional image
US6303986B1 (en) 1998-07-29 2001-10-16 Silicon Light Machines Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die
US5991066A (en) * 1998-10-15 1999-11-23 Memsolutions, Inc. Membrane-actuated charge controlled mirror
US6038058A (en) * 1998-10-15 2000-03-14 Memsolutions, Inc. Grid-actuated charge controlled mirror and method of addressing the same
US6028696A (en) * 1998-10-15 2000-02-22 Memsolutions, Inc. Charge controlled mirror with improved frame time utilization and method of addressing the same
US6031657A (en) * 1998-10-15 2000-02-29 Memsolutions, Inc. Membrane-actuated charge controlled mirror (CCM) projection display
US6123985A (en) * 1998-10-28 2000-09-26 Solus Micro Technologies, Inc. Method of fabricating a membrane-actuated charge controlled mirror (CCM)
US6278542B1 (en) 1998-11-23 2001-08-21 Light And Sound Design Ltd. Programmable light beam shape altering device using separate programmable micromirrors for each primary color
US6503195B1 (en) 1999-05-24 2003-01-07 University Of North Carolina At Chapel Hill Methods and systems for real-time structured light depth extraction and endoscope using real-time structured light depth extraction
TW550956B (en) * 1999-05-26 2003-09-01 Koninkl Philips Electronics Nv Digital video-processing unit
US6464633B1 (en) * 1999-08-23 2002-10-15 Olympus Optical Co., Ltd. Light source device for endoscope using DMD
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6359662B1 (en) * 1999-11-05 2002-03-19 Agilent Technologies, Inc. Method and system for compensating for defects in a multi-light valve display system
US6346776B1 (en) 2000-07-10 2002-02-12 Memsolutions, Inc. Field emission array (FEA) addressed deformable light valve modulator
US6795605B1 (en) * 2000-08-01 2004-09-21 Cheetah Omni, Llc Micromechanical optical switch
US7099065B2 (en) * 2000-08-03 2006-08-29 Reflectivity, Inc. Micromirrors with OFF-angle electrodes and stops
US6975366B2 (en) * 2000-10-26 2005-12-13 General Atomics Digital display system using pulsed lasers
US6771326B2 (en) 2000-10-26 2004-08-03 General Atomics, Inc. Multi-screen laser projection system using a shared laser source
US7116862B1 (en) 2000-12-22 2006-10-03 Cheetah Omni, Llc Apparatus and method for providing gain equalization
US6775174B2 (en) * 2000-12-28 2004-08-10 Texas Instruments Incorporated Memory architecture for micromirror cell
US6833832B2 (en) 2000-12-29 2004-12-21 Texas Instruments Incorporated Local bit-plane memory for spatial light modulator
DE60126468T2 (de) 2000-12-29 2007-11-29 Texas Instruments Inc., Dallas Optischer Motor für SLM-Anzeigesysteme mit Auflichtschirm oder Durchlichtschirm
US6445502B1 (en) 2001-02-02 2002-09-03 Celeste Optics, Inc. Variable blazed grating
US7339714B1 (en) 2001-02-02 2008-03-04 Cheetah Omni, Llc Variable blazed grating based signal processing
US7145704B1 (en) 2003-11-25 2006-12-05 Cheetah Omni, Llc Optical logic gate based optical router
US6707591B2 (en) 2001-04-10 2004-03-16 Silicon Light Machines Angled illumination for a single order light modulator based projection system
US6639719B2 (en) 2001-05-15 2003-10-28 Microvision, Inc. System and method for using multiple beams to respectively scan multiple regions of an image
US7180555B2 (en) 2001-05-15 2007-02-20 Microvision, Inc. System and method for producing an image with a screen using erase (off) and image (on) light sources
US6755536B2 (en) 2001-05-15 2004-06-29 Microvision, Inc. System and method for displaying/projecting a color image
US7180556B2 (en) 2001-05-15 2007-02-20 Microvision, Inc. System and method for capturing, transmitting, and displaying an image
US7081928B2 (en) * 2001-05-16 2006-07-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical system for full color, video projector using single light valve with plural sub-pixel reflectors
US6782205B2 (en) 2001-06-25 2004-08-24 Silicon Light Machines Method and apparatus for dynamic equalization in wavelength division multiplexing
US6747781B2 (en) 2001-06-25 2004-06-08 Silicon Light Machines, Inc. Method, apparatus, and diffuser for reducing laser speckle
US6589625B1 (en) 2001-08-01 2003-07-08 Iridigm Display Corporation Hermetic seal and method to create the same
US6778728B2 (en) 2001-08-10 2004-08-17 Corning Intellisense Corporation Micro-electro-mechanical mirror devices having a high linear mirror fill factor
US6829092B2 (en) 2001-08-15 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Blazed grating light valve
US6800238B1 (en) 2002-01-15 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. Method for domain patterning in low coercive field ferroelectrics
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
US6767751B2 (en) 2002-05-28 2004-07-27 Silicon Light Machines, Inc. Integrated driver process flow
US6728023B1 (en) 2002-05-28 2004-04-27 Silicon Light Machines Optical device arrays with optimized image resolution
US6822797B1 (en) 2002-05-31 2004-11-23 Silicon Light Machines, Inc. Light modulator structure for producing high-contrast operation using zero-order light
US7385708B2 (en) * 2002-06-07 2008-06-10 The University Of North Carolina At Chapel Hill Methods and systems for laser based real-time structured light depth extraction
US6992810B2 (en) * 2002-06-19 2006-01-31 Miradia Inc. High fill ratio reflective spatial light modulator with hidden hinge
US7206110B2 (en) * 2002-06-19 2007-04-17 Miradia Inc. Memory cell dual protection
US20030234994A1 (en) * 2002-06-19 2003-12-25 Pan Shaoher X. Reflective spatial light modulator
US20040004753A1 (en) * 2002-06-19 2004-01-08 Pan Shaoher X. Architecture of a reflective spatial light modulator
US20040069742A1 (en) * 2002-06-19 2004-04-15 Pan Shaoher X. Fabrication of a reflective spatial light modulator
US7034984B2 (en) * 2002-06-19 2006-04-25 Miradia Inc. Fabrication of a high fill ratio reflective spatial light modulator with hidden hinge
US6829258B1 (en) 2002-06-26 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Rapidly tunable external cavity laser
US6813059B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US6714337B1 (en) 2002-06-28 2004-03-30 Silicon Light Machines Method and device for modulating a light beam and having an improved gamma response
US20040024582A1 (en) * 2002-07-03 2004-02-05 Scott Shepard Systems and methods for aiding human translation
US6801354B1 (en) 2002-08-20 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses
US7781850B2 (en) 2002-09-20 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device
US6712480B1 (en) 2002-09-27 2004-03-30 Silicon Light Machines Controlled curvature of stressed micro-structures
US6769774B2 (en) 2002-11-14 2004-08-03 International Business Machines Corporation Ambient light tolerant image projection method and system
US7405860B2 (en) * 2002-11-26 2008-07-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulators with light blocking/absorbing areas
US7417782B2 (en) 2005-02-23 2008-08-26 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for spatial light modulation
US6829077B1 (en) 2003-02-28 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Diffractive light modulator with dynamically rotatable diffraction plane
US6806997B1 (en) 2003-02-28 2004-10-19 Silicon Light Machines, Inc. Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction
TW594360B (en) 2003-04-21 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd A method for fabricating an interference display cell
TW570896B (en) 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
JP2005025160A (ja) * 2003-06-13 2005-01-27 Seiko Epson Corp 空間光変調装置の駆動方法及びプロジェクタ
US7221495B2 (en) 2003-06-24 2007-05-22 Idc Llc Thin film precursor stack for MEMS manufacturing
NO20033191L (no) * 2003-07-11 2005-01-12 Sinvent As Fargemodulator
US7167148B2 (en) * 2003-08-25 2007-01-23 Texas Instruments Incorporated Data processing methods and apparatus in digital display systems
TWI231865B (en) 2003-08-26 2005-05-01 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
US8081371B2 (en) * 2003-11-01 2011-12-20 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Spatial light modulator and display apparatus
US8154474B2 (en) * 2003-11-01 2012-04-10 Silicon Quest Kabushiki Kaisha Driving method of memory access
US7957050B2 (en) 2003-11-01 2011-06-07 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Mirror device comprising layered electrode
US7916381B2 (en) 2003-11-01 2011-03-29 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Spatial light modulator including drive lines
US20090207325A1 (en) * 2003-11-01 2009-08-20 Naoya Sugimoto Algorithm for SLM of single hinge type
US20090207324A1 (en) * 2003-11-01 2009-08-20 Naoya Sugimoto Circuit for SLM's pixel
US20090207164A1 (en) * 2003-11-01 2009-08-20 Naoya Sugimoto Mirror control within time slot for SLM
US8179591B2 (en) * 2003-11-01 2012-05-15 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Spatial light modulator and mirror array device
US7733558B2 (en) * 2003-11-01 2010-06-08 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Display device with an addressable movable electrode
US8228595B2 (en) * 2003-11-01 2012-07-24 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Sequence and timing control of writing and rewriting pixel memories with substantially lower data rate
US7948505B2 (en) * 2003-11-01 2011-05-24 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Method for reducing temporal artifacts in digital video systems
US7782523B2 (en) * 2003-11-01 2010-08-24 Fusao Ishii Analog micromirror devices with continuous intermediate states
US20090195858A1 (en) * 2003-11-01 2009-08-06 Naoya Sugimoto Changing an electrode function
US7973994B2 (en) * 2003-11-01 2011-07-05 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Spatial light modulator
US7969640B2 (en) * 2003-11-01 2011-06-28 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Color display system
US7969395B2 (en) 2003-11-01 2011-06-28 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Spatial light modulator and mirror device
US20090180038A1 (en) * 2003-11-01 2009-07-16 Naoya Sugimoto Mirror control within time slot for SLM
US7012726B1 (en) 2003-11-03 2006-03-14 Idc, Llc MEMS devices with unreleased thin film components
US7026695B2 (en) * 2003-11-19 2006-04-11 Miradia Inc. Method and apparatus to reduce parasitic forces in electro-mechanical systems
US7142346B2 (en) 2003-12-09 2006-11-28 Idc, Llc System and method for addressing a MEMS display
US7161728B2 (en) 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
WO2005082075A2 (en) * 2004-02-25 2005-09-09 The University Of North Carolina At Chapel Hill Systems and methods for imperceptibly embedding structured light patterns in projected color images
US7119945B2 (en) 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
US7706050B2 (en) 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7720148B2 (en) * 2004-03-26 2010-05-18 The Hong Kong University Of Science And Technology Efficient multi-frame motion estimation for video compression
US6992830B1 (en) 2004-04-22 2006-01-31 Raytheon Company Projection display having an angle-selective coating for enhanced image contrast, and method for enhancing image contrast
US7060895B2 (en) 2004-05-04 2006-06-13 Idc, Llc Modifying the electro-mechanical behavior of devices
US20050255666A1 (en) * 2004-05-11 2005-11-17 Miradia Inc. Method and structure for aligning mechanical based device to integrated circuits
US7449284B2 (en) 2004-05-11 2008-11-11 Miradia Inc. Method and structure for fabricating mechanical mirror structures using backside alignment techniques
US7164520B2 (en) 2004-05-12 2007-01-16 Idc, Llc Packaging for an interferometric modulator
US7787170B2 (en) * 2004-06-15 2010-08-31 Texas Instruments Incorporated Micromirror array assembly with in-array pillars
US7042619B1 (en) * 2004-06-18 2006-05-09 Miradia Inc. Mirror structure with single crystal silicon cross-member
US7113322B2 (en) * 2004-06-23 2006-09-26 Reflectivity, Inc Micromirror having offset addressing electrode
WO2006020187A2 (en) * 2004-07-16 2006-02-23 The University Of North Carolina At Chapel Hill Methods, systems and computer program products for full spectrum projection
US7068417B2 (en) * 2004-07-28 2006-06-27 Miradia Inc. Method and apparatus for a reflective spatial light modulator with a flexible pedestal
US7889163B2 (en) 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
US7560299B2 (en) 2004-08-27 2009-07-14 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7551159B2 (en) 2004-08-27 2009-06-23 Idc, Llc System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator
US7499208B2 (en) 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7515147B2 (en) 2004-08-27 2009-04-07 Idc, Llc Staggered column drive circuit systems and methods
US7360893B2 (en) * 2004-08-31 2008-04-22 20/10 Perfect Vision Optische Geraete Gmbh Systems and methods for shaping wavefronts in polychromatic light using phase shifting elements
US7602375B2 (en) 2004-09-27 2009-10-13 Idc, Llc Method and system for writing data to MEMS display elements
US7724993B2 (en) 2004-09-27 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US7936497B2 (en) 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US7545550B2 (en) 2004-09-27 2009-06-09 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7415186B2 (en) 2004-09-27 2008-08-19 Idc, Llc Methods for visually inspecting interferometric modulators for defects
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7626581B2 (en) 2004-09-27 2009-12-01 Idc, Llc Device and method for display memory using manipulation of mechanical response
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7405924B2 (en) 2004-09-27 2008-07-29 Idc, Llc System and method for protecting microelectromechanical systems array using structurally reinforced back-plate
US7368803B2 (en) 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc System and method for protecting microelectromechanical systems array using back-plate with non-flat portion
US7701631B2 (en) 2004-09-27 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having patterned spacers for backplates and method of making the same
US20060176487A1 (en) 2004-09-27 2006-08-10 William Cummings Process control monitors for interferometric modulators
US7843410B2 (en) 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US7532195B2 (en) 2004-09-27 2009-05-12 Idc, Llc Method and system for reducing power consumption in a display
US7289256B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Electrical characterization of interferometric modulators
US7355780B2 (en) 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US7359066B2 (en) 2004-09-27 2008-04-15 Idc, Llc Electro-optical measurement of hysteresis in interferometric modulators
US7299681B2 (en) 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc Method and system for detecting leak in electronic devices
US7343080B2 (en) 2004-09-27 2008-03-11 Idc, Llc System and method of testing humidity in a sealed MEMS device
US7345805B2 (en) 2004-09-27 2008-03-18 Idc, Llc Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches
US7525730B2 (en) * 2004-09-27 2009-04-28 Idc, Llc Method and device for generating white in an interferometric modulator display
US7417735B2 (en) 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Systems and methods for measuring color and contrast in specular reflective devices
US7668415B2 (en) 2004-09-27 2010-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for providing electronic circuitry on a backplate
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7130104B2 (en) 2004-09-27 2006-10-31 Idc, Llc Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator
US7911428B2 (en) 2004-09-27 2011-03-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US8102407B2 (en) * 2004-09-27 2012-01-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7486429B2 (en) 2004-09-27 2009-02-03 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7916103B2 (en) 2004-09-27 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with end-of-life phenomena
US7808703B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for implementation of interferometric modulator displays
US8878825B2 (en) 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US7583429B2 (en) 2004-09-27 2009-09-01 Idc, Llc Ornamental display device
US8124434B2 (en) 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US7813026B2 (en) 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US7920135B2 (en) 2004-09-27 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving a bi-stable display
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US20060076634A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Lauren Palmateer Method and system for packaging MEMS devices with incorporated getter
US7310179B2 (en) 2004-09-27 2007-12-18 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window
US7446927B2 (en) 2004-09-27 2008-11-04 Idc, Llc MEMS switch with set and latch electrodes
US7259449B2 (en) 2004-09-27 2007-08-21 Idc, Llc Method and system for sealing a substrate
US7692839B2 (en) 2004-09-27 2010-04-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of providing MEMS device with anti-stiction coating
US7684104B2 (en) 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US7424198B2 (en) 2004-09-27 2008-09-09 Idc, Llc Method and device for packaging a substrate
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7710629B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with reinforcing substance
US7136213B2 (en) 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US8362987B2 (en) 2004-09-27 2013-01-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7675669B2 (en) 2004-09-27 2010-03-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving interferometric modulators
US7710632B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having an array of spatial light modulators with integrated color filters
US8031133B2 (en) * 2004-09-27 2011-10-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7653371B2 (en) 2004-09-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US7679627B2 (en) 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
US7453579B2 (en) 2004-09-27 2008-11-18 Idc, Llc Measurement of the dynamic characteristics of interferometric modulators
US7161730B2 (en) 2004-09-27 2007-01-09 Idc, Llc System and method for providing thermal compensation for an interferometric modulator display
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7092143B2 (en) * 2004-10-19 2006-08-15 Reflectivity, Inc Micromirror array device and a method for making the same
US8207004B2 (en) 2005-01-03 2012-06-26 Miradia Inc. Method and structure for forming a gyroscope and accelerometer
US7172921B2 (en) 2005-01-03 2007-02-06 Miradia Inc. Method and structure for forming an integrated spatial light modulator
US7199918B2 (en) * 2005-01-07 2007-04-03 Miradia Inc. Electrical contact method and structure for deflection devices formed in an array configuration
US7142349B2 (en) * 2005-01-07 2006-11-28 Miradia Inc. Method and structure for reducing parasitic influences of deflection devices on spatial light modulators
US8159428B2 (en) 2005-02-23 2012-04-17 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US9229222B2 (en) 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US7304785B2 (en) 2005-02-23 2007-12-04 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US8482496B2 (en) 2006-01-06 2013-07-09 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate
US7755582B2 (en) 2005-02-23 2010-07-13 Pixtronix, Incorporated Display methods and apparatus
US20070205969A1 (en) 2005-02-23 2007-09-06 Pixtronix, Incorporated Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US8519945B2 (en) 2006-01-06 2013-08-27 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7999994B2 (en) 2005-02-23 2011-08-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US7746529B2 (en) 2005-02-23 2010-06-29 Pixtronix, Inc. MEMS display apparatus
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7304786B2 (en) 2005-02-23 2007-12-04 Pixtronix, Inc. Methods and apparatus for bi-stable actuation of displays
US7405852B2 (en) 2005-02-23 2008-07-29 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
CN100419520C (zh) * 2005-03-23 2008-09-17 李卫民 一种显示器
US8725138B2 (en) * 2005-03-30 2014-05-13 Alcatel Lucent Methods for network selection and discovery of service information in public wireless hotspots
US7295363B2 (en) 2005-04-08 2007-11-13 Texas Instruments Incorporated Optical coating on light transmissive substrates of micromirror devices
US7948457B2 (en) 2005-05-05 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of actuating MEMS display elements
KR20080027236A (ko) 2005-05-05 2008-03-26 콸콤 인코포레이티드 다이나믹 드라이버 ｉｃ 및 디스플레이 패널 구성
US7920136B2 (en) 2005-05-05 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of driving a MEMS display device
US7202989B2 (en) 2005-06-01 2007-04-10 Miradia Inc. Method and device for fabricating a release structure to facilitate bonding of mirror devices onto a substrate
US7298539B2 (en) * 2005-06-01 2007-11-20 Miradia Inc. Co-planar surface and torsion device mirror structure and method of manufacture for optical displays
US7184195B2 (en) 2005-06-15 2007-02-27 Miradia Inc. Method and structure reducing parasitic influences of deflection devices in an integrated spatial light modulator
US7190508B2 (en) * 2005-06-15 2007-03-13 Miradia Inc. Method and structure of patterning landing pad structures for spatial light modulators
JP5457029B2 (ja) * 2005-06-30 2014-04-02 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 投影システムの高圧ガス放電ランプの駆動方法
US7355779B2 (en) 2005-09-02 2008-04-08 Idc, Llc Method and system for driving MEMS display elements
US7502158B2 (en) 2005-10-13 2009-03-10 Miradia Inc. Method and structure for high fill factor spatial light modulator with integrated spacer layer
US7429983B2 (en) 2005-11-01 2008-09-30 Cheetah Omni, Llc Packet-based digital display system
US8391630B2 (en) 2005-12-22 2013-03-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for power reduction when decompressing video streams for interferometric modulator displays
US7795061B2 (en) 2005-12-29 2010-09-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process
US7636151B2 (en) 2006-01-06 2009-12-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing residual stress test structures
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US8194056B2 (en) 2006-02-09 2012-06-05 Qualcomm Mems Technologies Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US8526096B2 (en) 2006-02-23 2013-09-03 Pixtronix, Inc. Mechanical light modulators with stressed beams
US7903047B2 (en) 2006-04-17 2011-03-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mode indicator for interferometric modulator displays
US7711239B2 (en) 2006-04-19 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles
US8004743B2 (en) 2006-04-21 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing brightness control in an interferometric modulator (IMOD) display
US8049713B2 (en) 2006-04-24 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Power consumption optimized display update
US7649671B2 (en) * 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7876489B2 (en) 2006-06-05 2011-01-25 Pixtronix, Inc. Display apparatus with optical cavities
US7702192B2 (en) 2006-06-21 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods for driving MEMS display
US7835061B2 (en) 2006-06-28 2010-11-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structures for free-standing electromechanical devices
US7777715B2 (en) 2006-06-29 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Passive circuits for de-multiplexing display inputs
US7527998B2 (en) 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
US7388704B2 (en) 2006-06-30 2008-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Determination of interferometric modulator mirror curvature and airgap variation using digital photographs
WO2008017051A2 (en) 2006-08-02 2008-02-07 Inneroptic Technology Inc. System and method of providing real-time dynamic imagery of a medical procedure site using multiple modalities
US7763546B2 (en) 2006-08-02 2010-07-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices
EP2080045A1 (en) 2006-10-20 2009-07-22 Pixtronix Inc. Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
US7852546B2 (en) 2007-10-19 2010-12-14 Pixtronix, Inc. Spacers for maintaining display apparatus alignment
US7719752B2 (en) 2007-05-11 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same
US20090040516A1 (en) * 2007-08-10 2009-02-12 Honeywell International Inc. Spectroscopic system
US7848005B2 (en) * 2007-11-16 2010-12-07 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Spatial light modulator implemented with a mirror array device
US20090128462A1 (en) * 2007-11-16 2009-05-21 Naoya Sugimoto Spatial light modulator and mirror device
US7876492B2 (en) * 2007-11-16 2011-01-25 Silicon Quest Kabushiki-Kaisha Spatial light modulator and mirror array device
US20090128464A1 (en) * 2007-11-16 2009-05-21 Naoya Sugimoto Mirror array device
US20090128887A1 (en) * 2007-11-16 2009-05-21 Naoya Sugimoto Spatial light modulator and mirror array device
US20090147154A1 (en) * 2007-12-06 2009-06-11 Kazuma Arai Color display system
US20090147033A1 (en) * 2007-12-06 2009-06-11 Kazuma Arai Color display system
KR20090063622A (ko) * 2007-12-14 2009-06-18 삼성전자주식회사 투사형 디스플레이장치 및 그의 디스플레이방법
WO2009094646A2 (en) 2008-01-24 2009-07-30 The University Of North Carolina At Chapel Hill Methods, systems, and computer readable media for image guided ablation
US7944604B2 (en) 2008-03-07 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator in transmission mode
US8340379B2 (en) 2008-03-07 2012-12-25 Inneroptic Technology, Inc. Systems and methods for displaying guidance data based on updated deformable imaging data
US8248560B2 (en) 2008-04-18 2012-08-21 Pixtronix, Inc. Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors
US7746539B2 (en) * 2008-06-25 2010-06-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for packing a display device and the device obtained thereof
TWI404024B (zh) * 2008-06-30 2013-08-01 Innolux Corp 畫素組、平面顯示面板及平面顯示裝置的驅動方法
US8970646B2 (en) * 2008-07-09 2015-03-03 Ostendo Technologies, Inc. Image construction based video display system
US8169679B2 (en) 2008-10-27 2012-05-01 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
US11464578B2 (en) 2009-02-17 2022-10-11 Inneroptic Technology, Inc. Systems, methods, apparatuses, and computer-readable media for image management in image-guided medical procedures
US8554307B2 (en) 2010-04-12 2013-10-08 Inneroptic Technology, Inc. Image annotation in image-guided medical procedures
US8641621B2 (en) 2009-02-17 2014-02-04 Inneroptic Technology, Inc. Systems, methods, apparatuses, and computer-readable media for image management in image-guided medical procedures
US8690776B2 (en) 2009-02-17 2014-04-08 Inneroptic Technology, Inc. Systems, methods, apparatuses, and computer-readable media for image guided surgery
US8681185B2 (en) 2009-03-05 2014-03-25 Ostendo Technologies, Inc. Multi-pixel addressing method for video display drivers
US8736590B2 (en) 2009-03-27 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US8610986B2 (en) 2009-04-06 2013-12-17 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Mirror arrays for maskless photolithography and image display
ES2823456T3 (es) 2009-06-25 2021-05-07 Univ North Carolina Chapel Hill Método y sistema para utilizar postes unidos a una superficie accionados para evaluar la reología de fluidos biológicos
US20110082351A1 (en) * 2009-10-07 2011-04-07 Inneroptic Technology, Inc. Representing measurement information during a medical procedure
US9282947B2 (en) 2009-12-01 2016-03-15 Inneroptic Technology, Inc. Imager focusing based on intraoperative data
CN102834763B (zh) 2010-02-02 2015-07-22 皮克斯特罗尼克斯公司 用于制造填充冷密封流体的显示装置的方法
KR20120139854A (ko) 2010-02-02 2012-12-27 픽스트로닉스 인코포레이티드 디스플레이 장치를 제어하기 위한 회로
EP2545544A1 (en) 2010-03-11 2013-01-16 Pixtronix, Inc. Reflective and transflective operation modes for a display device
JP2013524287A (ja) 2010-04-09 2013-06-17 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 電気機械デバイスの機械層及びその形成方法
US8848294B2 (en) 2010-05-20 2014-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and structure capable of changing color saturation
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8749538B2 (en) 2011-10-21 2014-06-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method of controlling brightness of a display based on ambient lighting conditions
WO2013116240A1 (en) 2012-01-30 2013-08-08 Inneroptic Technology, Inc. Multiple medical device guidance
US9183812B2 (en) 2013-01-29 2015-11-10 Pixtronix, Inc. Ambient light aware display apparatus
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators
US10314559B2 (en) 2013-03-14 2019-06-11 Inneroptic Technology, Inc. Medical device guidance
CN103680372B (zh) * 2013-11-21 2016-01-13 中国科学院上海技术物理研究所 匹配可见光波段高速探测器的dmd显示调制方法
US9901406B2 (en) 2014-10-02 2018-02-27 Inneroptic Technology, Inc. Affected region display associated with a medical device
US10188467B2 (en) 2014-12-12 2019-01-29 Inneroptic Technology, Inc. Surgical guidance intersection display
CN104917977B (zh) * 2015-06-02 2017-10-13 中国科学院上海技术物理研究所 一种驱动dmd超高帧频显示高动态图像的方法
US9949700B2 (en) 2015-07-22 2018-04-24 Inneroptic Technology, Inc. Medical device approaches
US9675319B1 (en) 2016-02-17 2017-06-13 Inneroptic Technology, Inc. Loupe display
US10278778B2 (en) 2016-10-27 2019-05-07 Inneroptic Technology, Inc. Medical device navigation using a virtual 3D space
US11259879B2 (en) 2017-08-01 2022-03-01 Inneroptic Technology, Inc. Selective transparency to assist medical device navigation
US11484365B2 (en) 2018-01-23 2022-11-01 Inneroptic Technology, Inc. Medical image guidance
CN114979593A (zh) * 2022-04-07 2022-08-30 华东师范大学 一种基于新型高速4k数字微镜芯片的视频显示驱动系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0391529A2 (en) * 1989-02-27 1990-10-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus for digitized video system
WO1992009172A2 (en) * 1990-11-16 1992-05-29 Rank Cintel Limited Video systems

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5061049A (en) * 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4956619A (en) * 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5079544A (en) * 1989-02-27 1992-01-07 Texas Instruments Incorporated Standard independent digitized video system
AU8906891A (en) * 1990-11-16 1992-06-11 Rank Brimar Limited Deformable mirror device driving circuit and method
CA2063744C (en) * 1991-04-01 2002-10-08 Paul M. Urbanus Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system
EP0530761B1 (en) * 1991-09-06 1996-04-17 Texas Instruments Incorporated Partitioned frame memory for spatial light modulator
US5255100A (en) * 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated Data formatter with orthogonal input/output and spatial reordering
US5212582A (en) * 1992-03-04 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Electrostatically controlled beam steering device and method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0391529A2 (en) * 1989-02-27 1990-10-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus for digitized video system
WO1992009172A2 (en) * 1990-11-16 1992-05-29 Rank Cintel Limited Video systems

Also Published As

Publication number Publication date
EP0663770A1 (en) 1995-07-19
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