JPH08261720A - 印刷パターンの位置検査方法 - Google Patents
印刷パターンの位置検査方法Info
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- JPH08261720A JPH08261720A JP6236995A JP6236995A JPH08261720A JP H08261720 A JPH08261720 A JP H08261720A JP 6236995 A JP6236995 A JP 6236995A JP 6236995 A JP6236995 A JP 6236995A JP H08261720 A JPH08261720 A JP H08261720A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 回路基板上に印刷された印刷パターンの印刷
位置のずれを高精度に検査する。 【構成】 基準穴を持つグリーンシート１には、回路パ
ターンと同時に印刷される印刷基準パターンを設ける。
画像処理部５は、基準穴と印刷基準パターンを画像とし
て取り込み、２値化した後、Ｘ軸、Ｙ軸方向の分布を求
め、基準穴と基準パターンの中心位置を算出する。シス
テム制御部１０の判定部１１では、基準穴と基準パター
ンの位置ずれ量が所定の範囲にあるか否かを検査し、所
定の範囲にあるグリーンシートについてのみパターン検
査を行う。
位置のずれを高精度に検査する。 【構成】 基準穴を持つグリーンシート１には、回路パ
ターンと同時に印刷される印刷基準パターンを設ける。
画像処理部５は、基準穴と印刷基準パターンを画像とし
て取り込み、２値化した後、Ｘ軸、Ｙ軸方向の分布を求
め、基準穴と基準パターンの中心位置を算出する。シス
テム制御部１０の判定部１１では、基準穴と基準パター
ンの位置ずれ量が所定の範囲にあるか否かを検査し、所
定の範囲にあるグリーンシートについてのみパターン検
査を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品を実装する多
層セラミック基板の製造工程において、基板各層の印刷
導体パターンを検査する印刷パターン検査装置における
印刷パターンの印刷の位置ずれを検出する方法に関す
る。
層セラミック基板の製造工程において、基板各層の印刷
導体パターンを検査する印刷パターン検査装置における
印刷パターンの印刷の位置ずれを検出する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】電子機器の小型化、高密度実装化に伴っ
て、年々、プリント配線基板が高密度化している。この
ような高密度化によって、印刷された導体パターン（以
下、印刷パターン）が微細化し、スルーホールに対する
印刷パターンのずれが発生する。これに対処するため
に、印刷パターンの検査が必要となる。
て、年々、プリント配線基板が高密度化している。この
ような高密度化によって、印刷された導体パターン（以
下、印刷パターン）が微細化し、スルーホールに対する
印刷パターンのずれが発生する。これに対処するため
に、印刷パターンの検査が必要となる。
【０００３】なお、この種の関連する位置合わせ技術と
しては、例えば、印刷配線基板の電極にプローブを当接
して導通試験を行うとき、電極の位置ずれを自動的に検
出して修正する位置ずれ検出方法（特開平４−２４９７
０５号公報を参照）、回路基板の位置を認識するための
位置決めマークを、回路パターンと同じ材質のもので形
成し、はんだレジスト膜でコーディングした回路基板の
位置認識方式（特開平４−１７４３０７号公報を参
照）、プリント基板用自動露光装置におけるマスクフィ
ルムとワーク基板との自動位置決め方法（特開昭６３−
１９７９５３号公報を参照）などがある。
しては、例えば、印刷配線基板の電極にプローブを当接
して導通試験を行うとき、電極の位置ずれを自動的に検
出して修正する位置ずれ検出方法（特開平４−２４９７
０５号公報を参照）、回路基板の位置を認識するための
位置決めマークを、回路パターンと同じ材質のもので形
成し、はんだレジスト膜でコーディングした回路基板の
位置認識方式（特開平４−１７４３０７号公報を参
照）、プリント基板用自動露光装置におけるマスクフィ
ルムとワーク基板との自動位置決め方法（特開昭６３−
１９７９５３号公報を参照）などがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の印刷パ
ターン検査装置では、印刷パターンがセラミック基板の
位置決め基準穴（この基準穴は、多層基板を積層すると
きにスルーホールの位置合わせに用いる）から、ずれた
位置に誤って印刷された場合でも、その印刷ずれを認識
することができずにパターン検査を実行し、このため検
査結果の信頼性が問題となる。また、印刷ずれが大き
く、基板の全面にわたってパターン検査を行う必要がな
い場合でも、全面のパターン検査を実行してしまうこと
から、検査時間に無駄が生じるという問題もある。
ターン検査装置では、印刷パターンがセラミック基板の
位置決め基準穴（この基準穴は、多層基板を積層すると
きにスルーホールの位置合わせに用いる）から、ずれた
位置に誤って印刷された場合でも、その印刷ずれを認識
することができずにパターン検査を実行し、このため検
査結果の信頼性が問題となる。また、印刷ずれが大き
く、基板の全面にわたってパターン検査を行う必要がな
い場合でも、全面のパターン検査を実行してしまうこと
から、検査時間に無駄が生じるという問題もある。
【０００５】本発明の目的は、回路基板上に印刷された
印刷パターンの印刷位置のずれを高精度に検査する印刷
パターンの位置検査方法を提供することにある。
印刷パターンの印刷位置のずれを高精度に検査する印刷
パターンの位置検査方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、検査対象の回路基板上に形成された印
刷パターンを観測して画像を入力し、該画像から印刷パ
ターンの印刷位置のずれを検査する方法において、該印
刷パターンの印刷と同時に、印刷の基準パターンを印刷
し、該基準パターンの位置と、前記回路基板上に予め形
成されている基準穴の位置とのずれを基に、前記印刷パ
ターンの印刷位置のずれを検査することを特徴としてい
る。
に、本発明では、検査対象の回路基板上に形成された印
刷パターンを観測して画像を入力し、該画像から印刷パ
ターンの印刷位置のずれを検査する方法において、該印
刷パターンの印刷と同時に、印刷の基準パターンを印刷
し、該基準パターンの位置と、前記回路基板上に予め形
成されている基準穴の位置とのずれを基に、前記印刷パ
ターンの印刷位置のずれを検査することを特徴としてい
る。
【０００７】また、前記印刷の基準パターンと前記基準
穴は、画像入力時に同一の視野内にあることを特徴とし
ている。
穴は、画像入力時に同一の視野内にあることを特徴とし
ている。
【０００８】さらに、前記印刷の基準パターンは、印刷
パターンが形成されている領域に設けることを特徴とし
ている。
パターンが形成されている領域に設けることを特徴とし
ている。
【０００９】
【作用】グリーンシートには、回路パターンと同時に印
刷される印刷基準パターンを設ける。一実施例では、グ
リーンシートに設けられた基準穴と印刷基準パターン
が、同一視野内の画像データとなって画像処理部に入力
される。画像処理部では、取り込んだ画像を２値化した
後、Ｘ軸、Ｙ軸方向の黒画素の分布を求め、その分布か
ら基準穴と基準パターンの中心位置を算出する。システ
ム制御部に設けられた判定部では、算出された基準穴と
基準パターンの中心位置を基に、位置ずれ量が所定の範
囲にあるか否かを検査する。
刷される印刷基準パターンを設ける。一実施例では、グ
リーンシートに設けられた基準穴と印刷基準パターン
が、同一視野内の画像データとなって画像処理部に入力
される。画像処理部では、取り込んだ画像を２値化した
後、Ｘ軸、Ｙ軸方向の黒画素の分布を求め、その分布か
ら基準穴と基準パターンの中心位置を算出する。システ
ム制御部に設けられた判定部では、算出された基準穴と
基準パターンの中心位置を基に、位置ずれ量が所定の範
囲にあるか否かを検査する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体
的に説明する。図１は、本発明の実施例に係る印刷パタ
ーン検査装置の構成を示す。図において、１は検査対象
物のグリーンシート、２はグリーンシートを載せたＸＹ
Ｚθステージ、３は検査対象物の画像を取り込むカメ
ラ、４は照明用光源、５は画像処理部、１０はシステム
制御部である。通常、これらの構成によって、グリーン
シートに形成された印刷パターンの断線、短絡などが検
査される。
的に説明する。図１は、本発明の実施例に係る印刷パタ
ーン検査装置の構成を示す。図において、１は検査対象
物のグリーンシート、２はグリーンシートを載せたＸＹ
Ｚθステージ、３は検査対象物の画像を取り込むカメ
ラ、４は照明用光源、５は画像処理部、１０はシステム
制御部である。通常、これらの構成によって、グリーン
シートに形成された印刷パターンの断線、短絡などが検
査される。
【００１１】本発明では、以下に説明するように、印刷
位置のずれを検出するために、画像処理部５とシステム
制御部１０に新しい機能が組み込まれて構成されてい
る。
位置のずれを検出するために、画像処理部５とシステム
制御部１０に新しい機能が組み込まれて構成されてい
る。
【００１２】画像処理部５は、カメラからのアナログの
画像信号をディジタルの画像信号に変換するＡ／Ｄ変換
器６、ディジタルの画像信号を所定の閾値で２値化する
２値化部７、Ｘ、Ｙ方向における黒画素の分布を求める
周辺分布作成部８、周辺分布から画像の中心位置を算出
する中心位置算出部９から構成され、システム制御部１
０は、位置ずれを判定する判定部１１、位置ずれ補正値
を算出する補正データ作成部１２、ステージの移動など
を制御する制御部１３から構成されている。
画像信号をディジタルの画像信号に変換するＡ／Ｄ変換
器６、ディジタルの画像信号を所定の閾値で２値化する
２値化部７、Ｘ、Ｙ方向における黒画素の分布を求める
周辺分布作成部８、周辺分布から画像の中心位置を算出
する中心位置算出部９から構成され、システム制御部１
０は、位置ずれを判定する判定部１１、位置ずれ補正値
を算出する補正データ作成部１２、ステージの移動など
を制御する制御部１３から構成されている。
【００１３】図２は、本発明の実施例１に係るグリーン
シートの構成を示す。グリーンシート１には、図示しな
い回路パターン２１が印刷されている。グリーンシート
１の４つの隅には、それぞれスルーホール用位置合わせ
基準穴（以下、基準穴）２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２
ｄが設けられている。また、各基準穴２２の近傍には、
回路パターン２１と同時に印刷される印刷の基準パター
ン２３ａ〜２３ｄが設けられている。そして、これら基
準穴２２と印刷の基準パターン２３を含む各領域が、印
刷パターンの位置ずれを検査するための検出位置（２４
ａ〜２４ｄ）となる。なお、図に示す印刷の基準パター
ンの形状は一例であって、他の形状（矩形、丸など）で
もよい。
シートの構成を示す。グリーンシート１には、図示しな
い回路パターン２１が印刷されている。グリーンシート
１の４つの隅には、それぞれスルーホール用位置合わせ
基準穴（以下、基準穴）２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２
ｄが設けられている。また、各基準穴２２の近傍には、
回路パターン２１と同時に印刷される印刷の基準パター
ン２３ａ〜２３ｄが設けられている。そして、これら基
準穴２２と印刷の基準パターン２３を含む各領域が、印
刷パターンの位置ずれを検査するための検出位置（２４
ａ〜２４ｄ）となる。なお、図に示す印刷の基準パター
ンの形状は一例であって、他の形状（矩形、丸など）で
もよい。
【００１４】図３は、本発明に係る位置検査の処理フロ
ーチャートである。以下、図を参照しながら本発明の処
理動作を説明する。検査対象物のグリーンシート１は、
ＸＹＺθステージ２の上に固定されている。ＸＹＺθス
テージ２は、制御部１３からの指示によって、モータが
駆動されてＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動され、かつ水平に回
動される。本実施例では、各検出位置２４ａ〜２４ｄが
カメラの下に位置するように（つまり、基準穴２２と印
刷基準パターン２３を含む検出位置が同一の視野内にな
るように）ステージを移動させる（ステップ１０１）。
まず、検出位置２４ａ（コーナ１）がカメラの下に位置
するようにステージを移動させる。
ーチャートである。以下、図を参照しながら本発明の処
理動作を説明する。検査対象物のグリーンシート１は、
ＸＹＺθステージ２の上に固定されている。ＸＹＺθス
テージ２は、制御部１３からの指示によって、モータが
駆動されてＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動され、かつ水平に回
動される。本実施例では、各検出位置２４ａ〜２４ｄが
カメラの下に位置するように（つまり、基準穴２２と印
刷基準パターン２３を含む検出位置が同一の視野内にな
るように）ステージを移動させる（ステップ１０１）。
まず、検出位置２４ａ（コーナ１）がカメラの下に位置
するようにステージを移動させる。
【００１５】ＸＹＺθステージ２の上部には、カメラ３
と照明用光源４が設けられ、照明用光源４により照明さ
れた検査対象物の画像が、カメラ３で取り込まれる（ス
テップ１０２）。図４は、カメラの同一視野内にある画
像を示す。この取り込み画像は、コーナ２の画像であ
る。
と照明用光源４が設けられ、照明用光源４により照明さ
れた検査対象物の画像が、カメラ３で取り込まれる（ス
テップ１０２）。図４は、カメラの同一視野内にある画
像を示す。この取り込み画像は、コーナ２の画像であ
る。
【００１６】取り込まれた画像は、図示しない光電変換
部で電気信号のデータに変換されて画像処理部５に入力
される。画像処理部５のＡ／Ｄ変換器６は、アナログの
画像信号をディジタルの画像信号に変換し、２値化部７
は、所定の閾値を基に２値化する（ステップ１０３）。
例えば、所定の閾値以上の画素値を持つ画素を“１”
（黒画素）とし、そうでなければ“０”（白画素）とし
て処理する。
部で電気信号のデータに変換されて画像処理部５に入力
される。画像処理部５のＡ／Ｄ変換器６は、アナログの
画像信号をディジタルの画像信号に変換し、２値化部７
は、所定の閾値を基に２値化する（ステップ１０３）。
例えば、所定の閾値以上の画素値を持つ画素を“１”
（黒画素）とし、そうでなければ“０”（白画素）とし
て処理する。
【００１７】周辺分布作成部８は、２値化された画像を
ｘ軸、ｙ軸に投影して、黒画素の分布を作成する。つま
り、一枚の画像の画素毎の値を、ｘ軸、ｙ軸に投影し
て、集計した値の分布を作成する。図５（ａ）、（ｂ）
は、それぞれｘ軸、ｙ軸に投影した黒画素の分布を示
す。なお、画像を２値化することなく、多値画像（濃淡
画像）から周辺分布を作成してもよい。
ｘ軸、ｙ軸に投影して、黒画素の分布を作成する。つま
り、一枚の画像の画素毎の値を、ｘ軸、ｙ軸に投影し
て、集計した値の分布を作成する。図５（ａ）、（ｂ）
は、それぞれｘ軸、ｙ軸に投影した黒画素の分布を示
す。なお、画像を２値化することなく、多値画像（濃淡
画像）から周辺分布を作成してもよい。
【００１８】中心位置算出部９は、作成された周辺分布
から、取り込まれた画像中の特定パターンの中心位置を
算出する（ステップ１０４）。図６は、周辺分布から特
定パターンの中心位置の算出を説明する図である。周辺
分布に対して所定の閾値Ｔｈを設け、閾値Ｔｈと周辺分
布との交点をそれぞれｘ１、ｘ２、ｘ３、ｘ４としたと
き、閾値を超える第１、第２のパターンの中心位置ｘ
ａ、ｘｂは、それぞれｘａ＝（ｘ１＋ｘ２）／２、ｘｂ
＝（ｘ３＋ｘ４）／２となる。この他に、周辺分布のピ
ーク値から中心位置を求めてもよい。
から、取り込まれた画像中の特定パターンの中心位置を
算出する（ステップ１０４）。図６は、周辺分布から特
定パターンの中心位置の算出を説明する図である。周辺
分布に対して所定の閾値Ｔｈを設け、閾値Ｔｈと周辺分
布との交点をそれぞれｘ１、ｘ２、ｘ３、ｘ４としたと
き、閾値を超える第１、第２のパターンの中心位置ｘ
ａ、ｘｂは、それぞれｘａ＝（ｘ１＋ｘ２）／２、ｘｂ
＝（ｘ３＋ｘ４）／２となる。この他に、周辺分布のピ
ーク値から中心位置を求めてもよい。
【００１９】上記した処理を４コーナの全ての検出位置
について行う（ステップ１０５）。各検出位置で求めら
れた中心位置が、システム制御部１０の判定部１１に送
られる。判定部１１では各検出位置について、基準穴２
２と印刷基準パターン２３との位置ずれを算出する（ス
テップ１０６）。図５において、基準穴２２の中心位置
をｘａ、ｙａとし、印刷基準パターン２３の中心位置を
ｘｂ、ｙｂとすると、基準穴に対する印刷基準パターン
の位置ずれ量は、ｘ方向では｜ｘａ−ｘｂ｜、ｙ方向で
は｜ｙａ−ｙｂ｜となる。
について行う（ステップ１０５）。各検出位置で求めら
れた中心位置が、システム制御部１０の判定部１１に送
られる。判定部１１では各検出位置について、基準穴２
２と印刷基準パターン２３との位置ずれを算出する（ス
テップ１０６）。図５において、基準穴２２の中心位置
をｘａ、ｙａとし、印刷基準パターン２３の中心位置を
ｘｂ、ｙｂとすると、基準穴に対する印刷基準パターン
の位置ずれ量は、ｘ方向では｜ｘａ−ｘｂ｜、ｙ方向で
は｜ｙａ−ｙｂ｜となる。
【００２０】判定部１１は、４コーナの全ての位置ずれ
量が所定の範囲内にあるか否かをチェックし、位置ずれ
量がその範囲を超えて大きいとき、検査対象のグリーン
シートは印刷不良であると報告して（ステップ１１１）
処理を終了する。
量が所定の範囲内にあるか否かをチェックし、位置ずれ
量がその範囲を超えて大きいとき、検査対象のグリーン
シートは印刷不良であると報告して（ステップ１１１）
処理を終了する。
【００２１】位置ずれ量が所定の範囲内にあるとき、補
正データ作成部１２は、設計基準となるパターン位置
（ｘｂ’、ｙｂ’）を基に、４コーナの基準パターン位
置のずれ量を算出する（ステップ１０８）。そして、制
御部１３内の図示しないパターン検査部では、印刷パタ
ーンの検査データに、算出された位置ずれ補正値を加え
（ステップ１０９）、パターン検査部は、例えば印刷パ
ターンの切断、短絡、半断線などの異常があるか否かに
ついて検査を行う（ステップ１１０）。
正データ作成部１２は、設計基準となるパターン位置
（ｘｂ’、ｙｂ’）を基に、４コーナの基準パターン位
置のずれ量を算出する（ステップ１０８）。そして、制
御部１３内の図示しないパターン検査部では、印刷パタ
ーンの検査データに、算出された位置ずれ補正値を加え
（ステップ１０９）、パターン検査部は、例えば印刷パ
ターンの切断、短絡、半断線などの異常があるか否かに
ついて検査を行う（ステップ１１０）。
【００２２】この印刷パターンの検査については、公知
の技術であり、本発明と直接関係しないので、説明を省
略する。このように、本実施例では、印刷の位置ずれ
を、パターン検査の実行前に確認することができ、許容
値以内の印刷位置ずれであれば、印刷パターンの検査デ
ータに位置ずれの補正データを加えてパターン検査する
ので、高精度にパターン検査を実行することができる。
の技術であり、本発明と直接関係しないので、説明を省
略する。このように、本実施例では、印刷の位置ずれ
を、パターン検査の実行前に確認することができ、許容
値以内の印刷位置ずれであれば、印刷パターンの検査デ
ータに位置ずれの補正データを加えてパターン検査する
ので、高精度にパターン検査を実行することができる。
【００２３】図７は、本発明の実施例２に係るグリーン
シートの構成を示す。図において、３１は検査対象物の
グリーンシート、３２ａ〜３２ｄはグリーンシート３１
の各コーナ部に設けられた位置合わせ用の基準穴であ
る。さて、この実施例では、印刷パターンが形成される
領域３３の周辺部の４コーナに、印刷の基準パターン３
４ａ〜３４ｄを設けている。つまり、実施例１のグリー
ンシートに比べて、印刷パターンの近くに印刷の基準パ
ターンが設けられている。
シートの構成を示す。図において、３１は検査対象物の
グリーンシート、３２ａ〜３２ｄはグリーンシート３１
の各コーナ部に設けられた位置合わせ用の基準穴であ
る。さて、この実施例では、印刷パターンが形成される
領域３３の周辺部の４コーナに、印刷の基準パターン３
４ａ〜３４ｄを設けている。つまり、実施例１のグリー
ンシートに比べて、印刷パターンの近くに印刷の基準パ
ターンが設けられている。
【００２４】このようにした理由は、印刷パターンが形
成される領域は歪などが生じて位置ずれが発生し易いの
で、その位置ずれが、印刷の基準パターンの位置ずれと
して反映するように、近くに設けている。つまり、印刷
の基準パターンが上記領域から離れていると、基準穴と
基準パターンとのずれがなくても、実際には、領域内で
位置ずれが発生していて、その位置ずれが基準パターン
に反映されないからである。
成される領域は歪などが生じて位置ずれが発生し易いの
で、その位置ずれが、印刷の基準パターンの位置ずれと
して反映するように、近くに設けている。つまり、印刷
の基準パターンが上記領域から離れていると、基準穴と
基準パターンとのずれがなくても、実際には、領域内で
位置ずれが発生していて、その位置ずれが基準パターン
に反映されないからである。
【００２５】検査の処理手順は、基本的には図３のもの
と変わらないが、検査位置の数が８個と多くなる。すな
わち、まず、グリーンシート３１の４つのコーナについ
て、順次画像を取り込み、基準穴の中心位置の算出を行
い、続いて、印刷パターン形成領域３３の４つのコーナ
について、同様に順次画像を取り込み、基準パターンの
中心位置の算出を行う。以下の処理動作は、実施例１の
場合と同様であるので、その説明を省略する。
と変わらないが、検査位置の数が８個と多くなる。すな
わち、まず、グリーンシート３１の４つのコーナについ
て、順次画像を取り込み、基準穴の中心位置の算出を行
い、続いて、印刷パターン形成領域３３の４つのコーナ
について、同様に順次画像を取り込み、基準パターンの
中心位置の算出を行う。以下の処理動作は、実施例１の
場合と同様であるので、その説明を省略する。
【００２６】なお、上記した実施例のグリーンシートで
は、グリーンシートの４隅について検査しているが、処
理の高速化を求めるならば、対角線上にある２個所の検
査のみを実行するようにしてもよい。
は、グリーンシートの４隅について検査しているが、処
理の高速化を求めるならば、対角線上にある２個所の検
査のみを実行するようにしてもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、印刷パターンの印刷と同時に、印刷の基準パターン
を印刷し、基準パターンの位置と基準穴の位置とのずれ
を基に、印刷パターンの印刷位置のずれを検査している
ので、パターン検査の実行前に印刷位置のずれを確認す
ることができる。従って、許容値以上の印刷位置のずれ
であれば、印刷位置の不良を報告して検査を終了するの
で、パターン検査の検査時間を短縮することができる。
また、同一視野内で基準穴と印刷基準パターンを検査し
ているので、処理が簡単になるとともに、印刷位置の検
査を高速に実行することができる。さらに、検査対象物
のグリーンシート外周のコーナ部とグリーンシート中央
部の印刷パターンの検査領域との間に、グリーンシート
の材料特性に起因する微小な変形（グリーンシート内部
の応力によるグリーンシート自身の変形）が存在して
も、印刷パターン検査領域内での印刷の位置ずれを検査
することができるので、検査領域内の印刷パターンを高
精度に検査することができる。
ば、印刷パターンの印刷と同時に、印刷の基準パターン
を印刷し、基準パターンの位置と基準穴の位置とのずれ
を基に、印刷パターンの印刷位置のずれを検査している
ので、パターン検査の実行前に印刷位置のずれを確認す
ることができる。従って、許容値以上の印刷位置のずれ
であれば、印刷位置の不良を報告して検査を終了するの
で、パターン検査の検査時間を短縮することができる。
また、同一視野内で基準穴と印刷基準パターンを検査し
ているので、処理が簡単になるとともに、印刷位置の検
査を高速に実行することができる。さらに、検査対象物
のグリーンシート外周のコーナ部とグリーンシート中央
部の印刷パターンの検査領域との間に、グリーンシート
の材料特性に起因する微小な変形（グリーンシート内部
の応力によるグリーンシート自身の変形）が存在して
も、印刷パターン検査領域内での印刷の位置ずれを検査
することができるので、検査領域内の印刷パターンを高
精度に検査することができる。
【図１】本発明の実施例に係る印刷パターン検査装置の
構成を示す。
構成を示す。
【図２】本発明の実施例１に係るグリーンシートの構成
を示す。
を示す。
【図３】本発明に係る位置検査の処理フローチャートで
ある。
ある。
【図４】カメラの同一視野内にある画像を示す。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、それぞれｘ軸、ｙ軸に投影
した黒画素の分布を示す。
した黒画素の分布を示す。
【図６】周辺分布から特定パターンの中心位置の算出を
説明する図である。
説明する図である。
【図７】本発明の実施例２に係るグリーンシートの構成
を示す。
を示す。
１ グリーンシート ２ ＸＹＺθステージ ３ カメラ ４ 照明用光源 ５ 画像処理部 ６ Ａ／Ｄ変換器 ７ ２値化部 ８ 周辺分布作成部 ９ 中心位置算出部 １０ システム制御部 １１ 判定部 １２ 補正データ作成部 １３ 制御部
Claims (3)
- 【請求項１】 検査対象の回路基板上に形成された印刷
パターンを観測して画像を入力し、該画像から印刷パタ
ーンの印刷位置のずれを検査する方法において、該印刷
パターンの印刷と同時に、印刷の基準パターンを印刷
し、該基準パターンの位置と、前記回路基板上に予め形
成されている基準穴の位置とのずれを基に、前記印刷パ
ターンの印刷位置のずれを検査することを特徴する印刷
パターンの位置検査方法。 - 【請求項２】 前記印刷の基準パターンと前記基準穴
は、画像入力時に同一の視野内にあることを特徴とする
請求項１記載の印刷パターンの位置検査方法。 - 【請求項３】 前記印刷の基準パターンは、印刷パター
ンが形成されている領域に設けることを特徴とする請求
項１記載の印刷パターンの位置検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6236995A JPH08261720A (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 印刷パターンの位置検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6236995A JPH08261720A (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 印刷パターンの位置検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08261720A true JPH08261720A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=13198144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6236995A Pending JPH08261720A (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 印刷パターンの位置検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08261720A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007086023A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Fujitsu Ltd | プリント板ビアの基準点検出装置、検出方法、および検出プログラム |
| JP2009246273A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Tdk Corp | グリーンシート積層装置および積層型電子部品の製造装置 |
-
1995
- 1995-03-22 JP JP6236995A patent/JPH08261720A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007086023A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Fujitsu Ltd | プリント板ビアの基準点検出装置、検出方法、および検出プログラム |
| JP4548291B2 (ja) * | 2005-09-26 | 2010-09-22 | 富士通株式会社 | プリント板ビアの基準点検出装置、検出方法、および検出プログラム |
| JP2009246273A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Tdk Corp | グリーンシート積層装置および積層型電子部品の製造装置 |
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