JPH08256293A - 固体撮像素子及び固体撮像ユニット並びに撮像カメラ - Google Patents

固体撮像素子及び固体撮像ユニット並びに撮像カメラ

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JPH08256293A
JPH08256293A JP7059464A JP5946495A JPH08256293A JP H08256293 A JPH08256293 A JP H08256293A JP 7059464 A JP7059464 A JP 7059464A JP 5946495 A JP5946495 A JP 5946495A JP H08256293 A JPH08256293 A JP H08256293A
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JP
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charge
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signal
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Application number
JP7059464A
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English (en)
Inventor
Kenji Kurimoto
健司 栗本
Yoichiro Sakachi
陽一郎 坂地
Akira Sawada
亮 澤田
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 入射光の強度に対するダイナミックレンジが
広い固体撮像素子及び固体撮像ユニット並びに撮像カメ
ラを提供する。 【構成】 第1の発明は、MOS型固体撮像素子におい
て、複数の蓄積ゲートSG1 、SG2 を設け、それぞれ
に対し感度の異なる検出回路DT1 、DT2 を設け、そ
れぞれの出力を切り換えて一つの受光素子Lにおける選
択出力信号とする。入射光強度が低い場合には、感度の
高い検出回路DT2 の出力が選択され、入射光強度が高
い場合には、感度の低い検出回路DT1 の出力が選択さ
れるので、広い入射光強度の範囲に渡って、飽和するこ
となく入射光強度に対応した選択出力信号が得られる。
第2の発明は、第1の発明の感度の異なる検出回路DT
1 、DT2 の出力を加算して加算出力信号とする。入射
光強度が低い場合には、第1の発明より高い感度の加算
出力信号が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子、固体撮
像ユニット及び撮像カメラに関し、より詳細には、広い
強度範囲の赤外線に対応して当該赤外線を検出し、当該
赤外線発生源を画像化する固体撮像素子、固体撮像ユニ
ット及び撮像カメラに関する。
【0002】半導体基板上に複数の光電変換素子を配置
した受光素子部と、光電変換された電圧信号を処理する
ための回路部を備えた固体撮像素子のうち、赤外線固体
撮像素子は、近年高度化が進み、微小強度の赤外線であ
っても検出することが可能になっている。この赤外線固
体撮像素子を、撮像対象物の判別や追尾に利用する場合
や、航空機や船舶等に搭載して前方監視用に用いる場合
においては、広い範囲の入射光強度に対応でき、且つ、
微小な赤外線の強度変化をも検出可能であることが必要
である。
【0003】ここで、一般に、赤外線撮像素子は、撮像
対象物がその温度に対応して発生する赤外線を検出する
ものであるが、当該赤外線は、撮像対象物全体の温度の
高低に対応してその強度は広い範囲に渡って変化する
が、撮像対象物中の部分的な温度変化は小さい場合が多
く、それに対応する赤外線の強度変化も微小なものとな
る。
【0004】
【従来の技術】始めに、従来の固体撮像素子の全体構成
について、図9を用いて説明する。図9に示すように、
従来の赤外線固体撮像素子100は、格子状に配置され
た複数の光電変換部P’と、複数の光電変換部P’の出
力を順次に読み出す水平走査回路101及び垂直走査回
路102により構成されている。
【0005】この赤外線固体撮像素子100において
は、複数の光電変換部P’により、受光した赤外線の強
度に対応した値の電圧が得られ、これが出力信号として
水平走査回路101及び垂直走査回路102に入力され
る。そして、水平走査回路101及び垂直走査回路10
2により水平方向と垂直方向に光電変換部P’からの出
力信号が走査され、それらを合成することにより、各光
電変換部P’が受光した赤外線の強度に対応した画像信
号SV が出力される。
【0006】次に、上記の光電変換部P’の具体的構成
の一例について、図10を用いて説明する。なお、図1
0は、4個の光電変換部P’を有する4画素MOS(Me
tal-Oxide-Semiconductor )型固体撮像素子を示してお
り、また、説明の簡略化のために、一方向のみの走査回
路を設けた場合について示している。
【0007】図10において、第1の従来技術の4画素
MOS型固体撮像素子110における一つの光電変換部
P’は、入射した赤外線を受光し、当該赤外線の強度に
対応した電荷量の信号電荷を出力するHgCdTe等の
化合物半導体からなる受光素子111と、後述の蓄積ゲ
ートSG’に信号電荷を蓄積する間オンとされるととも
に、蓄積した電荷を出力するときにオフとされる入力ゲ
ートIG’と、入力ゲートIG’を介して受光素子11
1から入力される信号電荷を所定の一定時間蓄積する蓄
積ゲートSG’と、蓄積ゲートSG’に信号電荷を蓄積
するときオフとされ、蓄積された信号電荷を出力すると
きオンとされる移送ゲートTG’と、後述の検出アンプ
113のゲート電極に接続されるとともに、蓄積された
信号電荷をその電荷量に対応した検出電圧に変換する検
出コンデンサ112と、検出電圧に基づいて、電源VDD
により駆動され、検出電圧に対応する検出信号を出力す
る検出アンプ113と、検出コンデンサ112に蓄積さ
れた信号電荷を排出するためのリセットゲートRG’
と、後述の走査回路115の制御の下、検出信号を出力
信号SO ’として読み出す選択スイッチ114と、各選
択スイッチ114を切り換えることにより一光電変換部
P’ずつ検出信号を読み出すための走査回路115と、
により構成される。ここで、蓄積ゲートSG’の蓄積容
量と、検出コンデンサ112の容量は、通常、等しくな
るか、若しくは検出コンデンサ112の容量の方がやや
大きくなるように設定されている。これは、蓄積ゲート
SG’に蓄積された信号電荷により検出コンデンサ11
2が飽和することを防止するためである。
【0008】以上の構成において、受光素子111に入
射した赤外線の強度に対応した電荷量の信号電荷は、入
力ゲートIG’を介して所定の一定期間蓄積ゲートS
G’に蓄積される。このとき、移送ゲートTG’はオフ
となっている。そして、所定の一定期間が経過すると、
入力ゲートIG’がオフとなり、移送ゲートTG’がオ
ンとなって、蓄積された信号電荷が検出コンデンサ11
2に移送されて信号電荷に対応する検出電圧に変換さ
れ、当該検出電圧に基づく検出アンプ113の動作によ
り検出信号として出力される。その後、図10に示す4
つの(4画素分の)光電変換部P’の検出信号が、走査
回路115により選択スイッチ114を切り換えること
により一光電変換部P’ずつ出力信号SO ’として読み
出される。また、検出信号の読み出し中は、新たに蓄積
ゲートSG’に信号電荷が蓄積される。更に、読み出し
終了後は、リセットゲートRG’をオンとすることによ
り検出コンデンサ112の電荷が排出される。なお、電
荷を蓄積する期間の長さは、例えば、走査回路115に
おける一走査時間よりも短い時間で充分である。
【0009】以上の従来技術の4画素MOS型固体撮像
素子110によれば、蓄積ゲートSG’に一定期間信号
電荷を蓄積した後に当該信号電荷を読み出すので、受光
素子111からの信号電荷が平均化された後に検出電圧
に変換されることとなり、S/N比のよい出力電圧
O ’が得られる。
【0010】次に、第2の従来技術の光電変換部P’に
ついて図11を用いて説明する。なお、図11は、説明
の簡略化のために、一つの光電変換部P’に対応する部
分のみ示しており、図10に示す第1の従来技術の光電
変換部P’と同様の部材については、同様の部材番号を
付し、細部の説明は省略する。
【0011】図11に示す第2の従来技術の光電変換部
P’と、図10に示す第1の従来技術の光電変換部P’
との相違点は、第2の従来技術においては、第1の従来
技術における蓄積ゲートSG’が、パーティションゲー
トPG’により2分割され、第1蓄積ゲートSG1 ’及
び第2蓄積ゲートSG2 ’とされており、更に、第1蓄
積ゲートSG1 ’には、第1蓄積ゲートSG1 ’に蓄積
された信号電荷を排出するためのオーバフローゲートO
FG及びオーバフロードレインVOFD が設けられている
点である。また、第2蓄積ゲートSG2 ’の蓄積容量
と、検出コンデンサ112の容量は、通常、等しくなる
か、若しくは検出コンデンサ112の容量の方がやや大
きくなるように設定されている。この理由は第1の従来
技術と同様のものである。
【0012】図11に示す第2の従来技術においては、
信号電荷蓄積期間にパーティションゲートPG’をオ
ン、オーバフローゲートOFGをオフとし、第1蓄積ゲ
ートSG1 ’及び第2蓄積ゲートSG2 ’を一つの蓄積
ゲートとして受光素子111からの信号電荷の蓄積を行
う。そして、所定の一定期間が経過した後にパーティシ
ョンゲートPG’をオフとして第2蓄積ゲートSG2
に蓄積された電荷を検出コンデンサ112において対応
する電圧に変換し、これに基いて検出アンプ113によ
り対応する検出電圧に変換される。これと並行して、第
1蓄積ゲートSG 1 ’の電荷は、オーバフローゲートO
FGをオンにすることにより、オーバフロードレインV
OFD を介して排出される。
【0013】ここで、第2の従来技術において、入射す
る赤外線の強度が弱く、受光素子111において発生す
る信号電荷が少ないときは、信号電荷の蓄積が終了して
もパーティションゲートPG’をオンのままとし、第1
の従来技術と同様の動作が行われる。また、入射赤外線
の強度が強く、さらに受光素子111の感度が高いため
に発生する信号電荷が多いときは、本第2の従来技術の
ような蓄積電荷の分割が行われる。
【0014】図11に示す第2の従来技術の光電変換部
P’によれば、蓄積ゲートに蓄積される信号電荷量が第
1の従来技術に比して多いので、信号電荷を平均化する
量が第1の従来技術より多いこととなり、第1の従来技
術よりS/N比の向上した出力信号SO ’が得られる。
【0015】なお、上述の第1及び第2の従来技術にお
いては、光電変換部P’の検出感度は検出コンデンサ1
12の値に基づき決定される。すなわち、検出コンデン
サ112の容量が小さいと検出感度は高くなり、検出コ
ンデンサ112の容量が大きいと検出感度は低くなる。
【0016】ここで、第1の従来技術における蓄積ゲー
トSG’の蓄積容量又は第2の従来技術における第2蓄
積ゲートSG2 ’の蓄積容量をQとし、それぞれの従来
技術における検出コンデンサ112の容量をCd とする
と、出力信号SO ’の最大電圧VMAX は、 VMAX =Q/Cd となる。この出力信号SO ’を、例えば、10ビットの
A/D変換器でディジタル変換し、信号処理することを
考えると、最小分解可能電圧VPMINは、 VPMIN=VMAX /210=VMAX /1024 となり、ダイナミックレンジは約1000倍となる。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
第1又は第2の従来技術において、最小分解可能電圧V
PMINより更に小さい信号電荷を検出する(Q/1024
以下の電荷量の信号電荷を検出する)ためには、検出コ
ンデンサ112の容量Cd を小さくし、検出感度を向上
させる必要があるが、この場合でも、最大蓄積信号電荷
量はQ以下に制限されることとなる。
【0018】すなわち、上記の従来技術においては、蓄
積容量Q及び容量Cd が変更できないので、より小さい
信号電荷を検出する、つまり、入射光強度に対するダイ
ナミックレンジを広げることが不可能であるという問題
点があった。
【0019】この問題点を解決するために、容量Cd
び蓄積容量Qを小さくすると、今度は、強度の強い赤外
線が入射した際に、蓄積容量Qを越える信号電荷が発生
し、光電変換部P’が飽和してしまうという新たな問題
点が発生していた。
【0020】更に、容量Cd を変更するためには、設計
そのものを変更する必要があり、撮像走査中に変更する
ことはできないという問題点もあった。そこで、本発明
は、上記の問題点に鑑みて成されたもので、その目的
は、入射する赤外線の強度が低いときは、その微小な変
化を感度よく検出できるとともに、入射する赤外線の強
度が高いときでも飽和することなく、入射する赤外線の
強度に対応した出力信号が得られる、すなわち、入射す
る赤外線の強度に対するダイナミックレンジが広い固体
撮像素子及び固体撮像ユニット並びに撮像カメラを提供
することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1に記載の発明は、一つの半導体受光素子等
の受光手段に対して直列に接続された複数のSG(Stor
age Gate)トランジスタ等の電荷蓄積手段及び各々の前
記電荷蓄積手段を電気的に分離するPG(Partition Ga
te)トランジスタ等の分離手段を備えたMOS型撮像デ
バイス等の固体撮像素子において、複数の前記電荷蓄積
手段にそれぞれ個別に接続され、互いに検出感度が異な
るとともに、前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷量を電
圧に変換し、出力信号として出力する複数の検出アンプ
等の検出手段と、外部からの選択信号に基づき複数の前
記出力信号を選択し、選択出力信号として出力する出力
選択スイッチトランジスタ等の選択手段と、を備えて構
成される。
【0022】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の固体撮像素子において、複数の前記検出手段は、それ
ぞれの検出感度に対応した容量を有し、前記電荷蓄積手
段に蓄積された電荷を、その電荷量に対応する電圧に変
換する検出コンデンサをそれぞれに備えて構成される。
【0023】請求項3に記載の発明は、一つの半導体受
光素子等の受光手段に対して直列に接続された複数のS
Gトランジスタ等の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄
積手段を電気的に分離するPGトランジスタ等の分離手
段を備えるとともに、複数の前記電荷蓄積手段にそれぞ
れ個別に接続され、互いに検出感度が異なり、且つ、前
記電荷蓄積手段に蓄積された電荷量を電圧に変換し、出
力信号として出力する複数の検出アンプ等の検出手段
と、外部からの選択信号に基づき複数の前記出力信号を
選択し、選択出力信号として出力する出力選択スイッチ
トランジスタ等の選択手段と、を備えたMOS型撮像デ
バイス等の固体撮像素子と、前記固体撮像素子を駆動す
るためのクロック発生回路等の駆動手段と、前記選択出
力信号に基づく画像信号を信号処理する画像処理装置等
の信号処理手段と、を備えて構成される。
【0024】請求項4に記載の発明は、請求項3に記載
の固体撮像ユニットにおいて、複数の前記検出手段は、
それぞれの検出感度に対応した容量を有し、前記電荷蓄
積手段に蓄積された電荷を、その電荷量に対応する電圧
に変換する検出コンデンサをそれぞれに備えて構成され
る。
【0025】請求項5に記載の発明は、一つの半導体受
光素子等の受光手段に対して直列に接続された複数のS
Gトランジスタ等の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄
積手段を電気的に分離するPGトランジスタ等の分離手
段を備えるとともに、複数の前記電荷蓄積手段にそれぞ
れ個別に接続され、互いに検出感度が異なり、且つ、前
記電荷蓄積手段に蓄積された電荷量を電圧に変換し、出
力信号として出力する複数の検出アンプ等の検出手段
と、外部からの選択信号の基づき複数の前記出力信号を
選択し、選択出力信号として出力する出力選択スイッチ
トランジスタ等の選択手段と、を備えたMOS型撮像デ
バイス等の固体撮像素子と、前記固体撮像素子を駆動す
るためのクロック発生回路等の駆動手段と、前記選択出
力信号に基づく画像信号を信号処理する画像処理装置等
の信号処理手段と、を備えた固体撮像ユニットと、前記
受光手段の受光面に対して撮像対象の像を結像する結像
レンズ等の結像手段と、を備えて構成される。
【0026】請求項6に記載の発明は、請求項5に記載
の撮像カメラにおいて、複数の前記検出手段は、それぞ
れの検出感度に対応した容量を有し、前記電荷蓄積手段
に蓄積された電荷を、その電荷量に対応する電圧に変換
する検出コンデンサをそれぞれに備えて構成される。
【0027】請求項7に記載の発明は、一つの半導体受
光素子等の受光手段に対して直列に接続された複数のS
Gトランジスタ等の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄
積手段を電気的に分離するPGトランジスタ等の分離手
段を備えたMOS型撮像デバイス等の固体撮像素子にお
いて、複数の前記電荷蓄積手段にそれぞれ個別に接続さ
れ、互いに検出感度が異なるとともに、前記電荷蓄積手
段に蓄積された電荷量を電圧に変換し、出力信号として
出力する複数の検出アンプ等の検出手段と、複数の前記
出力信号を加算し、加算出力信号として出力する加算回
路等の加算手段と、を備えて構成される。
【0028】請求項8に記載の発明は、請求項7に記載
の固体撮像素子において、複数の前記検出手段は、それ
ぞれの検出感度に対応した容量を有し、前記電荷蓄積手
段に蓄積された電荷を、その電荷量に対応する電圧に変
換する検出コンデンサをそれぞれに備えて構成される。
【0029】請求項9に記載の発明は、一つの半導体受
光素子等の受光手段に対して直列に接続された複数のS
Gトランジスタ等の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄
積手段を電気的に分離するPGトランジスタ等の分離手
段を備えるとともに、複数の前記電荷蓄積手段にそれぞ
れ個別に接続され、互いに検出感度が異なり、且つ、前
記電荷蓄積手段に蓄積された電荷量を電圧に変換し、出
力信号として出力する複数の検出アンプ等の検出手段
と、前記複数の検出手段の出力信号を加算し、加算出力
信号として出力する加算回路等の加算手段と、を備えた
MOS型撮像デバイス等の固体撮像素子と、前記固体撮
像素子を駆動するためのクロック発生回路等の駆動手段
と、前記加算出力信号に基づく画像信号を信号処理する
画像処理装置等の信号処理手段と、を備えて構成され
る。
【0030】請求項10に記載の発明は、請求項9に記
載の固体撮像ユニットにおいて、複数の前記検出手段
は、それぞれの検出感度に対応した容量を有し、前記電
荷蓄積手段に蓄積された電荷を、その電荷量に対応する
電圧に変換する検出コンデンサをそれぞれに備えて構成
される。
【0031】請求項11に記載の発明は、一つの半導体
受光素子等の受光手段に対して直列に接続された複数の
SGトランジスタ等の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷
蓄積手段を電気的に分離するPGトランジスタ等の分離
手段を備えるとともに、複数の前記電荷蓄積手段にそれ
ぞれ個別に接続され、互いに検出感度が異なり、且つ、
前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷量を電圧に変換し、
出力信号として出力する複数の検出アンプ等の検出手段
と、複数の前記出力信号を加算し、加算出力信号として
出力する加算回路等の加算手段と、を備えたMOS型撮
像デバイス等の固体撮像素子と、前記固体撮像素子を駆
動するためのクロック発生回路等の駆動手段と、前記加
算出力信号に基づく画像信号を信号処理する画像処理装
置等の信号処理手段と、を備えた固体撮像ユニットと、
前記受光手段の受光面に対して撮像対象の像を結像する
結像レンズ等の結像手段と、を備えて構成される。
【0032】請求項12に記載の発明は、請求項11に
記載の撮像カメラにおいて、複数の前記検出手段は、そ
れぞれの検出感度に対応した容量を有し、前記電荷蓄積
手段に蓄積された電荷を、その電荷量に対応する電圧に
変換する検出コンデンサをそれぞれに備えて構成され
る。
【0033】
【作用】請求項1に記載の発明によれば、電荷蓄積期間
においては、各々の電荷蓄積手段が電気的に接続され、
受光素子が出力する信号電荷が各電荷蓄積手段に蓄積さ
れる。
【0034】次に、電荷検出時には、分離手段により各
々の電荷蓄積手段が電気的に分離され、複数の検出手段
が各々の電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷量を個別に
検出電圧に変換し、出力信号として選択手段に出力す
る。
【0035】そして、選択手段は、外部からの選択信号
に基づき複数の出力信号を選択し、選択出力信号として
出力する。よって、各検出手段の感度が異なるので、入
射光強度が高い場合は、検出感度の低い検出手段の出力
信号を選択することにより、広い入射光強度範囲に渡っ
て入射光強度に対応した選択出力信号が得られるととも
に、入射光強度が低い場合は、検出感度の高い検出手段
の出力信号を選択することにより、高感度で入射光強度
に対応した選択出力信号が得られる。
【0036】請求項2に記載の発明によれば、請求項1
に記載の発明の作用に加えて、複数の検出手段は、それ
ぞれの検出感度に対応した容量を有する検出コンデンサ
をそれぞれに備え、電荷蓄積手段に蓄積された電荷を、
その電荷量に対応する検出電圧に変換する。
【0037】よって、簡易な構成で固体撮像素子を実現
できるとともに、固体撮像素子を集積化して小型化する
ことができる。請求項3に記載の発明によれば、電荷蓄
積期間においては、固体撮像素子に含まれる各々の電荷
蓄積手段が電気的に接続され、受光素子が出力する信号
電荷が各電荷蓄積手段に蓄積される。
【0038】次に、電荷検出時には、固体撮像素子に含
まれる分離手段により各々の電荷蓄積手段が電気的に分
離され、固体撮像素子に含まれる複数の検出手段が、各
々の電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷量を個別に検出
電圧に変換し、出力信号として選択手段に出力する。
【0039】固体撮像素子に含まれる選択手段は、外部
からの選択信号に基づき複数の出力信号を選択し、選択
出力信号として出力する。一方、駆動手段は、この固体
撮像素子を駆動する。
【0040】更に、信号処理手段は、選択出力信号に基
づく画像信号を信号処理する。よって、各検出手段の感
度が異なるので、入射光強度が高い場合は、検出感度の
低い検出手段の出力信号を選択することにより、広い入
射光強度範囲に渡って入射光強度に対応した選択出力信
号に基づく画像信号が得られるとともに、入射光強度が
低い場合は、検出感度の高い検出手段の出力信号を選択
することにより、入射光強度に高感度に対応した選択出
力信号に基づく画像信号が得られる。
【0041】請求項4に記載の発明によれば、請求項3
に記載の発明の作用に加えて、複数の前記検出手段は、
それぞれの検出感度に対応した容量を有する検出コンデ
ンサをそれぞれに備え、電荷蓄積手段に蓄積された電荷
を、その電荷量に対応する検出電圧に変換する。
【0042】よって、簡易な構成で固体撮像素子を含む
固体撮像ユニットを実現できるとともに、固体撮像素子
を集積化して小型化することにより、固体撮像ユニット
全体を小型化できる。
【0043】請求項5に記載の発明によれば、電荷蓄積
期間においては、撮像カメラを構成する固体撮像ユニッ
トに含まれる固体撮像素子における各々の電荷蓄積手段
が電気的に接続され、受光素子が出力する信号電荷が各
電荷蓄積手段に蓄積される。
【0044】次に、電荷検出時には、固体撮像素子に含
まれる分離手段により各々の電荷蓄積手段が電気的に分
離され、固体撮像素子に含まれる複数の検出手段が、各
々の電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷量を個別に検出
電圧に変換し、出力信号として選択手段に出力する。
【0045】また、固体撮像素子に含まれる選択手段
は、外部からの選択信号に基づき複数の出力信号を選択
し、選択出力信号として出力する。一方、固体撮像ユニ
ットを構成する駆動手段は、この固体撮像素子を駆動す
る。
【0046】更に、固体撮像ユニットを構成する信号処
理手段は、選択出力信号に基づく画像信号を信号処理す
る。また、結像手段は、受光手段の受光面に対して撮像
対象の像を結像する。
【0047】よって、各検出手段の感度が異なるので、
撮像対象からの入射光強度が高い場合は、検出感度の低
い検出手段の出力信号を選択することにより、広い入射
光強度範囲に渡って入射光強度に対応した選択出力信号
に基づく画像信号が得られるとともに、入射光強度が低
い場合は、検出感度の高い検出手段の出力信号を選択す
ることにより、入射光強度に高感度に対応した出力信号
に基づく画像信号が得られる。
【0048】請求項6に記載の発明によれば、請求項5
に記載の発明の作用に加えて、複数の検出手段は、それ
ぞれの検出感度に対応した容量を有する検出コンデンサ
をそれぞれに備え、電荷蓄積手段に蓄積された電荷を、
その電荷量に対応する検出電圧に変換する。
【0049】よって、簡易な構成で固体撮像素子を含む
固体撮像ユニット及び撮像カメラを実現できるととも
に、固体撮像素子を集積化して小型化することにより、
固体撮像ユニット及び撮像カメラ全体を小型化できる。
【0050】請求項7に記載の発明によれば、電荷蓄積
期間においては、各々の電荷蓄積手段が電気的に接続さ
れ、受光素子が出力する信号電荷が各電荷蓄積手段に蓄
積される。
【0051】次に、電荷検出時には、分離手段により各
々の電荷蓄積手段が電気的に分離され、複数の検出手段
が、各々の電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷量を検出
電圧に変換し、出力信号として加算手段に出力する。
【0052】そして、加算手段は、複数の出力信号を加
算し、加算出力信号として出力する。よって、検出感度
の低い検出手段の出力信号と検出感度の高い検出手段の
出力信号とが加算されて加算出力信号が得られるので、
入射光強度が低い場合は、高感度で入射光強度に対応し
た加算出力信号が得られるとともに、入射光強度の高低
に拘らず広い範囲の入射光強度に対して、当該入射光強
度に対応した加算出力信号が得られる。
【0053】請求項8に記載の発明によれば、請求項7
に記載の発明の作用に加えて、複数の検出手段は、それ
ぞれの検出感度に対応した容量を有する検出コンデンサ
をそれぞれに備え、電荷蓄積手段に蓄積された電荷を、
その電荷量に対応する検出電圧に変換する。
【0054】よって、簡易な構成で固体撮像素子を実現
できるとともに、固体撮像素子を集積化して小型化する
ことができる。請求項9に記載の発明によれば、電荷蓄
積期間においては、固体撮像素子に含まれる各々の電荷
蓄積手段が電気的に接続され、受光素子が出力する信号
電荷が各電荷蓄積手段に蓄積される。
【0055】次に、電荷検出時には、固体撮像素子に含
まれる分離手段により各々の電荷蓄積手段が電気的に分
離され、固体撮像素子に含まれる複数の検出手段が、各
々の電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷量を個別に検出
電圧に変換し、出力信号として加算手段に出力する。
【0056】固体撮像素子に含まれる加算手段は、複数
の出力信号を加算して加算出力信号として出力する。一
方、駆動手段は、この固体撮像素子を駆動する。
【0057】更に、信号処理手段は、加算出力信号に基
づく画像信号を信号処理する。よって、検出感度の低い
検出手段の出力信号と検出感度の高い検出手段の出力信
号とが加算されて加算出力信号が得られるので、入射光
強度が低い場合は、高感度で入射光強度に対応した加算
出力信号に基づく画像信号が得られるとともに、入射光
強度の高低に拘らず広い範囲の入射光強度に対して、当
該入射光強度に対応した加算出力信号に基づく画像信号
が得られる。
【0058】請求項10に記載の発明によれば、請求項
9に記載の発明の作用に加えて、複数の前記検出手段
は、それぞれの検出感度に対応した容量を有する検出コ
ンデンサをそれぞれに備え、電荷蓄積手段に蓄積された
電荷を、その電荷量に対応する検出電圧に変換する。
【0059】よって、簡易な構成で固体撮像素子を含む
固体撮像ユニットを実現できるとともに、固体撮像素子
を集積化して小型化することにより、固体撮像ユニット
全体を小型化できる。
【0060】請求項11に記載の発明によれば、電荷蓄
積期間においては、撮像カメラを構成する固体撮像ユニ
ットに含まれる固体撮像素子における各々の電荷蓄積手
段が電気的に接続され、受光素子が出力する信号電荷が
各電荷蓄積手段に蓄積される。
【0061】次に、電荷検出時には、固体撮像素子に含
まれる分離手段により各々の電荷蓄積手段が電気的に分
離され、固体撮像素子に含まれる複数の検出手段が、各
々の電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷量を個別に検出
電圧に変換し、出力信号として加算手段に出力する。
【0062】また、固体撮像素子に含まれる加算手段
は、複数の出力信号を加算し、加算出力信号として出力
する。一方、固体撮像ユニットを構成する駆動手段は、
この固体撮像素子を駆動する。
【0063】更に、固体撮像ユニットを構成する信号処
理手段は、加算出力信号に基づく画像信号を信号処理す
る。また、結像手段は、受光手段の受光面に対して撮像
対象の像を結像する。
【0064】よって、検出感度の低い検出手段の出力信
号と検出感度の高い検出手段の出力信号とが加算されて
加算出力信号が得られるので、入射光強度が低い場合
は、高感度で入射光強度に対応した加算出力信号に基づ
く画像信号が得られるとともに、入射光強度の高低に拘
らず広い範囲の入射光強度に対して、当該入射光強度に
対応した加算出力信号に基づく画像信号が得られる。
【0065】請求項12に記載の発明によれば、請求項
11に記載の発明の作用に加えて、複数の検出手段は、
それぞれの検出感度に対応した容量を有する検出コンデ
ンサをそれぞれに備え、電荷蓄積手段に蓄積された電荷
を、その電荷量に対応する検出電圧に変換する。
【0066】よって、簡易な構成で固体撮像素子を含む
固体撮像ユニット及び撮像カメラを実現できるととも
に、固体撮像素子を集積化して小型化することにより、
固体撮像ユニット及び撮像カメラ全体を小型化できる。
【0067】
【実施例】次に本発明の好適な実施例について、図面に
基づいて説明する。なお、以下の各実施例においては、
固体撮像素子として赤外線を受光し検出する赤外線固体
撮像素子を対象として説明する。 (I)第1実施例 始めに、請求項1乃至6に記載の発明に対応する第1の
実施例について、図1乃至図5を用いて説明する。
【0068】始めに、第1実施例における光電変換部P
の構成について図1を用いて説明する。なお、図1にお
いては、説明の簡略化のために、MOS型固体撮像素子
における一つの光電変換部P(一つの画素に対応する)
に対応する部分のみを示しており、また、一方向のみの
走査回路を設けた場合について示している。実際の固体
撮像素子においては、図1に示す光電変換部Pが複数個
格子状に接続され、それぞれに水平走査回路及び垂直走
査回路が接続されることとなる(図9参照)。
【0069】図1に示す光電変換部Pにおいて、受光手
段としての受光素子Lは、HgCdTe等の化合物半導
体よりなり、入射した赤外線を受光し、当該赤外線の強
度に対応した電荷量の信号電荷を出力する。入力ゲート
IGは、後述の蓄積ゲートSG1 及びSG2 に信号電荷
を所定時間蓄積する間オンとされるとともに、蓄積した
電荷を出力するときにオフとされる。電荷蓄積手段とし
ての第1蓄積ゲートSG1 及び第2蓄積ゲートSG
2 は、パーティションゲートPGにより分割されるとと
もに、入力ゲートIGを介して受光素子Lから入力され
る信号電荷を所定時間蓄積する。第1移送ゲートTG1
は、第1蓄積ゲートSG1 とパーティションゲートPG
の接続点に接続されるとともに、第1蓄積ゲートSG1
に信号電荷を蓄積するときオフとされ、蓄積された信号
電荷を出力するときオンとされる。検出手段としての第
1検出回路DT1 を構成する第1検出コンデンサC
1 は、後述の第1検出アンプD1 のゲート電極に接続さ
れるとともに、第1蓄積ゲートSG 1 に蓄積された信号
電荷をその電荷量及び第1検出コンデンサC1 の容量C
d1に対応した第1検出電圧Sd1に変換する。第1検出回
路DT1 を構成する第1検出アンプD1 は、第1検出電
圧に基づいて、電源VDDにより駆動され、第1検出電圧
に対応する第1検出信号Sd1を出力する。第1リセット
ゲートRG1 は、第1検出コンデンサC1 に蓄積された
信号電荷を排出する。第1選択スイッチSS1は、後述の
走査回路CNの制御の下、第1検出信号Sd1を第1出力
信号SO1として読み出し、後述の選択回路CHに出力す
る。
【0070】一方、第2移送ゲートTG2 は、第2蓄積
ゲートSG2 に接続されるとともに、第2蓄積ゲートS
2 に信号電荷を蓄積するときオフとされ、蓄積された
信号電荷を出力するときオンとされる。検出手段として
の第2検出回路DT2 を構成する第2検出コンデンサC
2 は、後述の第2検出アンプD2 のゲート電極に接続さ
れるとともに、第2蓄積ゲートSG2 に蓄積された信号
電荷をその電荷量及び第2検出コンデンサC2 の容量C
d2に対応した第2検出電圧に変換する。第2検出回路D
2 を構成する第2検出アンプD2 は、第2検出電圧に
基づいて、電源VDDにより駆動され、第2検出電圧に対
応する第2検出信号Sd2を出力する。第2リセットゲー
トRG2 は、第2検出コンデンサC2 に蓄積された信号
電荷を排出する。第2選択スイッチSS2は、後述の走査
回路CNの制御の下、第2検出信号Sd2を第2出力信号
O2として読み出し、後述の選択回路CHに出力する。
走査回路CNは、第1選択スイッチSS1及び第2選択ス
イッチSS2を一組として図示しない他の受光素子L(画
素)に対応する選択スイッチとともに切り換えることに
より一光電変換部Pずつ第1出力信号SO1及び第2出力
信号SO2を読み出す。
【0071】ここで、第1移送ゲートTG1 及び第2移
送ゲートTG2 は共通の制御信号により制御され、同じ
タイミングで同様の動作を行う。第1リセットゲートR
1及び第2リセットゲートRG2 についても同様であ
る。更に、第1選択スイッチSS1及び第2選択スイッチ
S2は、走査回路CNからの制御信号により制御され、
同じタイミングで同様の動作を行う。
【0072】また、第1蓄積ゲートSG1 の蓄積容量Q
1 は、第2蓄積ゲートSG2 の蓄積容量Q2 よりも大き
く設定されている。更に、第1検出コンデンサC1 の容
量Cd1は、第2検出コンデンサC2 の容量Cd2よりも大
きく設定されている。従って、各検出回路における検出
感度は、対応する検出コンデンサが小さいほど高感度と
なるので、第1検出回路DT1 の検出感度は、第2検出
回路DT2 の検出感度より小さくなる。
【0073】ここで、各検出回路の検出感度とは、各出
力信号についての入射光強度と出力信号電圧(出力信号
01及びS02の電圧値)との関係を示したグラフにおけ
る傾きに対応し、検出感度が高いほど傾きが大きいこと
となる。
【0074】なお、第1検出コンデンサC1 の容量Cd1
及び第2検出コンデンサC2 の容量Cd2は、第1蓄積ゲ
ートSG1 の蓄積容量Q1 及び第2蓄積ゲートSG2
蓄積容量Q2 に対応している必要はなく、予め設定され
た所望の各検出回路の検出感度に基づいて決定される。
【0075】次に、図1に示す光電変換部Pの動作を説
明する。図1に示す光電変換部Pにおいて、受光素子L
により出力された、入射した赤外線の強度に対応した電
荷量の信号電荷は、入力ゲートIGを介して所定の一定
期間第1蓄積ゲートSG1 及び第2蓄積ゲートSG2
蓄積される。このとき、第1蓄積ゲートSG1 及び第2
蓄積ゲートSG2 が一つの蓄積ゲートとして信号電荷が
蓄積されるので、パーティションゲートPGはオンとな
っており、また、第1移送ゲートTG1 及び第2移送ゲ
ートTG2 はオフとなっている。そして、所定の一定期
間が経過すると、入力ゲートIG及びパーティションゲ
ートPGがオフとなり、第1移送ゲートTG1 及び第2
移送ゲートTG2 がオンとなって、第1蓄積ゲートSG
1 及び第2蓄積ゲートSG2 に蓄積された信号電荷が個
別に第1検出コンデンサC1 及び第2検出コンデンサC
2 に移送され、それぞれの蓄積ゲートに蓄積された信号
電荷及び各検出コンデンサの容量に対応する第1検出電
圧及び第2検出電圧に変換される。そして、第1検出電
圧及び第2検出電圧に基づき、第1検出アンプD1 及び
第2検出アンプD2 の動作によりそれぞれ第1検出信号
d1及び第2検出信号Sd2が第1選択スイッチSS1及び
第2選択スイッチSS2に個別に出力される。その後、走
査回路CNにより第1選択スイッチSS1及び第2選択ス
イッチSS2を同じタイミングで切り換えることにより、
一光電変換部Pずつ第1検出信号Sd1及び第2検出信号
d2が読み出され、それぞれ第1出力信号SO1及び第2
出力信号SO2として後述の選択回路CHに出力される。
【0076】また、各検出信号の読み出し中は、新たに
第1蓄積ゲートSG1 及び第2蓄積ゲートSG2 に信号
電荷が蓄積される。更に、読み出し終了後は、リセット
ゲートRG1 及び第2リセットゲートRG2 を同じタイ
ミングでオンとすることにより第1検出コンデンサC1
及び第2検出コンデンサC2 の電荷が排出される。な
お、電荷を蓄積する期間の長さは、例えば、走査回路C
Nにおける一走査時間よりも短い時間で充分である。
【0077】ここで、上述の第1出力信号SO1及び第2
出力信号SO2における入射光強度Iとそれぞれの出力信
号の電圧Vとの関係について図3(a)を用いて説明す
る。先ず、第2出力信号SO2については、第2検出回路
DT2 の感度が高い(第2検出コンデンサC2 の容量C
d2が小さい)ので、図3(a)に示すように、低い入射
光強度に対して傾斜が大きい変化を示し、弱い入射光を
感度よく検出できる。しかしながら、所定の出力飽和電
圧VS に達した後は、入射光強度が変化しても変化しな
くなる。この出力飽和電圧VS は、第2蓄積ゲートSG
2 の蓄積容量Q2 、第2検出コンデンサC2 の容量Cd2
又は第2検出アンプD2 の特性(電源電圧VDD)により
決定される量であり、光電変換部Pにおいては一定であ
る。
【0078】次に、第1出力信号SO1については、第1
検出回路DT1 の感度が低い(第1検出コンデンサC1
の容量Cd1が大きい)ので、図3(a)に示すように、
高い入射光強度に対しても出力電圧が出力飽和電圧VS
に到達することなく、広い範囲の入射光強度に対して、
入射光強度に対応した出力信号電圧Vが得られる。
【0079】次に、各光電変換部Pから出力された第1
出力信号SO1及び第2出力信号SO2を切り換える選択手
段としての選択回路CHについて、図2を用いて説明す
る。ここで、第1出力信号SO1及び第2出力信号S
O2は、各光電変換部Pに接続された走査回路CNにおけ
る切換制御により一つの光電変換部Pずつ時間差を設け
て選択回路CHに出力される。
【0080】図2に示す選択回路CHは、選択信号SC
に基づき、第2出力信号SO2をオンオフ制御する第2出
力選択スイッチSOS2 と、選択信号SC をインバータI
により反転して得られた反転選択信号SCIに基づき、第
1出力信号SO1をオンオフ制御する第1出力選択スイッ
チSOS1 により構成されている。
【0081】図2に示す選択回路CHにより、第1出力
信号SO1又は第2出力信号SO2のどちらか一方が選択さ
れ、選択出力信号SO として出力される。そして、水平
走査方向の選択出力信号SO と、垂直走査方向の選択出
力信号SO が図示しない合成回路により合成され、画像
信号SV (図9参照)として出力される。
【0082】ここで、選択信号SC は、受光素子Lに入
射する赤外線の強度が弱い場合には、感度の高い第2検
出回路DT2 の出力信号である第2出力信号SO2を選択
して選択出力信号SO とするようにされ、受光素子Lに
入射する赤外線の強度が強い場合には、感度の低い第1
検出回路DT1 の出力信号である第1出力信号SO1を選
択して選択出力信号SO とするようにされる。よる具体
的には、例えば、使用者が赤外線発生源の強度に応じて
手動で選択信号SC を切り換えるようにしてもよいし、
また、第2出力信号SO2をモニタしておき、出力飽和電
圧VS に達するまでは、自動的に第2出力信号SO2を選
択出力信号SO として選択し、第2出力信号SO2が出力
飽和電圧VS に達した場合には、自動的に第1出力信号
O1を選択出力信号SO として選択するようにすること
もできる。
【0083】次に、選択出力信号SO と第1出力信号S
O1及び第2出力信号SO2との関係について、図3(b)
を用いて説明する。図3(b)に実線で示すように、選
択出力信号SO は、第1出力信号SO1及び第2出力信号
O2を、第2出力信号SO2の出力飽和電圧VS に対応す
る入射光強度I1 で切り換えた形状となり、選択出力信
号SO 全体としては、入射光強度が低い範囲では、感度
よく入射光強度に対応した出力電圧が得られ、更に、入
射光強度が高い場合にも、飽和することなく、広い範囲
の入射光強度に対応して出力電圧が得られることとな
る。
【0084】以上説明したように、第1実施例によれ
ば、設計変更等をすることなく、簡易な構成で、入射光
強度に対して広い範囲のダイナミックレンジを有する固
体撮像素子が得られる。
【0085】更に、図4に示すように、第1実施例の固
体撮像素子IDに対して、各ゲート等を駆動するクロッ
ク信号CRを供給するための駆動手段としての従来技術
の駆動回路DV及び第1実施例の固体撮像素子IDから
出力される画像信号SV に対して必要な信号処理を行っ
て画像信号SV ’として出力するための信号処理手段と
しての従来技術の信号処理回路PCを付加すれば、簡易
な構成で、入射光強度に対して広い範囲のダイナミック
レンジを有する固体撮像ユニットIYが得られる。な
お、必要に応じて信号処理された画像信号SV ’に基づ
く画像を表示する従来技術の液晶ディスプレイ等の表示
回路DPを加えて固体撮像ユニットを構成することもで
きる。
【0086】更にまた、図5に示すように、上記の固体
撮像ユニットIYに対して、電源を供給するための電源
供給手段としてのバッテリBT及び受光素子Lの受光面
に対して撮像対象物の像を結像する結像手段としての結
像レンズLZを付加すれば、簡易な構成で、入射光強度
に対して広い範囲のダイナミックレンジを有する撮像カ
メラCAが得られる。なお、バッテリBTに関しては撮
像カメラCAに含めるのではなく、アダプタ等を介して
撮像カメラCAの外部からの電源を供給するようにして
もよい。 (II)第2実施例 次に、請求項7乃至12に記載の発明に対応する第2の
実施例について、図1、図6及び図7を用いて説明す
る。
【0087】上述の第1実施例においては、選択回路C
Hにより第1出力信号SO1及び第2出力信号SO2を切り
換えて選択出力信号SO として取り出したが、第2実施
例においては、加算回路ADにより第1出力信号SO1
び第2出力信号SO2を加算したものが加算出力信号SOO
として出力される。
【0088】第2実施例においては、第1出力信号SO1
及び第2出力信号SO2を出力する光電変換部Pの構成
は、第1実施例と同様であるので、その構成及び動作の
説明は省略する。
【0089】次に、第2実施例における加算手段として
の加算回路ADの構成及び動作について図6及び図7を
用いて説明する。図6に示すように、第2実施例の加算
回路ADは、第1出力信号SO1及び第2出力信号SO2
直列に接続された負荷抵抗Rと、一方の入力端子が接地
されるとともに、第1出力信号SO1及び第2出力信号S
O2を加算し、加算出力信号SOOを出力する加算器Aによ
り構成される。
【0090】次に、第1出力信号SO1及び第2出力信号
O2と、加算出力信号SOOとの関係を図7を用いて説明
する。図7に示すように、加算出力信号SOOは、第1出
力信号SO1及び第2出力信号SO2を加算したものとな
り、出力飽和電圧VS に無関係に得られる。更に、入射
光強度が低い範囲(図7におけるI1 以下の範囲)で
は、第2出力信号SO2よりも高い感度で出力信号電圧が
得られ、入射光強度が高い場合にも、飽和することな
く、広い範囲の入射光強度に対応して出力電圧が得られ
ることとなる。
【0091】以上説明したように、第2実施例によれ
ば、第1実施例と同様に、設計変更等をすることなく、
簡易な構成で、入射光強度に対して広い範囲のダイナミ
ックレンジを有する固体撮像素子が得られ、更に、当該
固体撮像素子を用いて、第1実施例と同様に、簡易な構
成で、入射光強度に対して広い範囲のダイナミックレン
ジを有する固体撮像ユニットが得られる。
【0092】更にまた、上記の固体撮像ユニットを用い
て、第1実施例と同様に、簡易な構成で、入射光強度に
対して広い範囲のダイナミックレンジを有する撮像カメ
ラを得ることもできる。 (III )変形例 以上説明した第1及び第2実施例においては、蓄積ゲー
トは、第1蓄積ゲートSG1 及び第2蓄積ゲートSG2
の二つに分割されていたが、本発明は、これに限られる
ものではなく、蓄積ゲートを3個以上複数設けてもよ
い。この場合には、移送ゲート、検出コンデンサ、リセ
ットゲート、検出アンプ及び選択スイッチについても、
蓄積ゲートの数だけ追加されることとなる。この場合、
各蓄積ゲートに対応する検出回路の感度は、各々異なる
ように設定される。
【0093】今、3個の蓄積ゲートを設けた場合の各第
1乃至第3出力信号と、それらを切換えた選択出力信号
又はそれらを加算した加算出力信号の関係について、図
8を用いて説明する。
【0094】先ず、図8(a)に示すように、第1出力
信号SX1乃至第3出力信号SX3を選択回路CHにより切
り換えた場合は、入射光強度が0からI1 までは、第3
出力信号SX3が選択出力信号SO (図2参照)とされ、
入射光強度がI1 からI2 までは、第2出力信号SX2
選択出力信号SO とされ、入射光強度がI2 より大きい
ときは、第1出力信号SX1が選択出力信号SO とされ
る。また、これらの切換を自動で行う場合には、第3出
力信号SX3及び第2出力信号SX2をモニタしておき、第
3出力信号SX3が出力飽和電圧VS に達するまでは、自
動的に第3出力信号SX3を選択出力信号SO として選択
し、第3出力信号SX3が出力飽和電圧VSに達した場合
には、自動的に第2出力信号SX2を選択出力信号SO
して選択し、第2出力信号SX2が出力飽和電圧VS に達
した場合以降は、自動的に第1出力信号SX1を選択出力
信号SO として選択するようにされる。
【0095】次に、図8(b)に示すように、第1乃至
第3出力信号SX1乃至SX3を加算回路ADにより加算し
た場合は、加算出力信号SXOはそれらを全て合成したも
のとなり、入射光強度が弱い場合には、上述の第2実施
例よりも高い感度で入射光を検出することが可能とな
り、更に、入射光強度が高い場合にも、飽和することな
く、広い範囲の入射光強度に対応して出力電圧が得られ
ることとなる。
【0096】なお、以上の各実施例及び変形例において
は、赤外線を受光する赤外線固体撮像素子を対象として
説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、赤
外線以外の可視光線や紫外線等を受光する固体撮像素子
に対しても適用が可能である。この場合には、上述の受
光素子Lを可視光線又は紫外線を受光して、その強度に
対応する電荷量の信号電荷を出力する受光素子に変更す
ればよい。
【0097】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
発明によれば、各検出手段の感度が異なるので、入射光
強度が高い場合は、検出感度の低い検出手段の出力信号
を選択することにより、広い入射光強度範囲に渡って入
射光強度に対応した選択出力信号が得られるとともに、
入射光強度が低い場合は、検出感度の高い検出手段の出
力信号を選択することにより、高感度で入射光強度に対
応した選択出力信号が得られる。
【0098】従って、広い範囲の入射光強度に対応でき
るとともに、微小な入射光の変化をも検出可能な、ダイ
ナミックレンジの広い固体撮像素子を実現することがで
きる。
【0099】請求項2に記載の発明によれば、請求項1
に記載の発明の効果に加えて、簡易な構成で固体撮像素
子を実現できるとともに、固体撮像素子を集積化して小
型化することができる。
【0100】請求項3に記載の発明によれば、各検出手
段の感度が異なるので、入射光強度が高い場合は、検出
感度の低い検出手段の出力信号を選択することにより、
広い入射光強度範囲に渡って入射光強度に対応した選択
出力信号に基づく画像信号が得られるとともに、入射光
強度が低い場合は、検出感度の高い検出手段の出力信号
を選択することにより、入射光強度に高感度に対応した
選択出力信号に基づく画像信号が得られる。
【0101】従って、広い範囲の入射光強度に対応でき
るとともに、微小な入射光の変化をも検出可能な、ダイ
ナミックレンジの広い固体撮像ユニットを実現すること
ができる。
【0102】請求項4に記載の発明によれば、請求項3
に記載の発明の効果に加えて、簡易な構成で固体撮像素
子を含む固体撮像ユニットを実現できるとともに、固体
撮像素子を集積化して小型化することにより、固体撮像
ユニット全体を小型化できる。
【0103】請求項5に記載の発明によれば、各検出手
段の感度が異なるので、撮像対象からの入射光強度が高
い場合は、検出感度の低い検出手段の出力信号を選択す
ることにより、広い入射光強度範囲に渡って入射光強度
に対応した選択出力信号に基づく画像信号が得られると
ともに、入射光強度が低い場合は、検出感度の高い検出
手段の出力信号を選択することにより、入射光強度に高
感度に対応した出力信号に基づく画像信号が得られる。
【0104】従って、広い範囲の入射光強度に対応でき
るとともに、微小な入射光の変化をも検出可能な、ダイ
ナミックレンジの広い撮像カメラを実現することができ
る。請求項6に記載の発明によれば、請求項5に記載の
発明の効果に加えて、簡易な構成で固体撮像素子を含む
固体撮像ユニット及び撮像カメラを実現できるととも
に、固体撮像素子を集積化して小型化することにより、
固体撮像ユニット及び撮像カメラ全体を小型化できる。
【0105】請求項7に記載の発明によれば、検出感度
の低い検出手段の出力信号と検出感度の高い検出手段の
出力信号とが加算されて加算出力信号が得られるので、
入射光強度が低い場合は、高感度で入射光強度に対応し
た加算出力信号が得られるとともに、入射光強度の高低
に拘らず広い範囲の入射光強度に対して、当該入射光強
度に対応した加算出力信号が得られる。
【0106】従って、広い範囲の入射光強度に対応でき
るとともに、微小な入射光の変化をも検出可能な、ダイ
ナミックレンジの広い固体撮像素子を実現することがで
きる。
【0107】請求項8に記載の発明によれば、請求項7
に記載の発明の効果に加えて、簡易な構成で固体撮像素
子を実現できるとともに、固体撮像素子を集積化して小
型化することができる。
【0108】請求項9に記載の発明によれば、検出感度
の低い検出手段の出力信号と検出感度の高い検出手段の
出力信号とが加算されて加算出力信号が得られるので、
入射光強度が低い場合は、高感度で入射光強度に対応し
た加算出力信号に基づく画像信号が得られるとともに、
入射光強度の高低に拘らず広い範囲の入射光強度に対し
て、当該入射光強度に対応した加算出力信号に基づく画
像信号が得られる。
【0109】従って、広い範囲の入射光強度に対応でき
るとともに、微小な入射光の変化をも検出可能な、ダイ
ナミックレンジの広い固体撮像ユニットを実現すること
ができる。
【0110】請求項10に記載の発明によれば、請求項
9に記載の発明の効果に加えて、簡易な構成で固体撮像
素子を含む固体撮像ユニットを実現できるとともに、固
体撮像素子を集積化して小型化することにより、固体撮
像ユニット全体を小型化できる。
【0111】請求項11に記載の発明によれば、検出感
度の低い検出手段の出力信号と検出感度の高い検出手段
の出力信号とが加算されて加算出力信号が得られるの
で、入射光強度が低い場合は、高感度で入射光強度に対
応した加算出力信号に基づく画像信号が得られるととも
に、入射光強度の高低に拘らず広い範囲の入射光強度に
対して、当該入射光強度に対応した加算出力信号に基づ
く画像信号が得られる。
【0112】従って、広い範囲の入射光強度に対応でき
るとともに、微小な入射光の変化をも検出可能な、ダイ
ナミックレンジの広い撮像カメラを実現することができ
る。請求項12に記載の発明によれば、請求項11に記
載の発明の効果に加えて、簡易な構成で固体撮像素子を
含む固体撮像ユニット及び撮像カメラを実現できるとと
もに、固体撮像素子を集積化して小型化することによ
り、固体撮像ユニット及び撮像カメラ全体を小型化でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1及び第2実施例の固体撮像素子における光
電変換部の構成を示す図である。
【図2】第1実施例の選択回路の構成を示す図である。
【図3】第1実施例における入射光強度と出力信号電圧
の関係を示す図であり、(a)は第1出力信号SO1及び
第2出力信号SO2における入射光強度と出力信号電圧の
関係を示す図であり、(b)は第1出力信号SO1及び第
2出力信号SO2と選択出力信号SO との関係を示す図で
ある。
【図4】固体撮像ユニットの概要構成ブロック図であ
る。
【図5】撮像カメラの概要構成ブロック図である。
【図6】第2実施例の加算回路の構成を示す図である。
【図7】第2実施例における入射光強度と出力信号電圧
の関係を示す図である。
【図8】変形例における入射光強度と出力信号電圧の関
係を示す図であり、(a)は各出力信号を切り換える場
合の入射光強度と出力信号電圧の関係を示す図であり、
(b)は各出力信号を加算する場合の入射光強度と出力
信号電圧の関係を示す図である。
【図9】赤外線固体撮像素子の全体構成を示す図であ
る。
【図10】第1の従来技術の固体撮像素子の構成を示す
図である。
【図11】第1の従来技術の固体撮像素子における光電
変換部の構成を示す図である。
【符号の説明】
100、110…固体撮像素子 101…水平走査回路 102…垂直走査回路 112…検出コンデンサ 113…検出アンプ 114…選択スイッチ A…加算器 AD…加算回路 BT…バッテリ C1 …第1検出コンデンサ C2 …第2検出コンデンサ CA…撮像カメラ CH…選択回路 CR…クロック信号 CN、115…走査回路 D1 …第1検出アンプ D2 …第2検出アンプ DT1 …第1検出回路 DT2 …第2検出回路 DV…駆動回路 DP…表示回路 I…インバータ IG、IG’…入力ゲート ID…固体撮像素子 IY…固体撮像ユニット L、111…受光素子 LZ…結像レンズ PG、PG’…パーティションゲート PC…信号処理回路 P、P’…光電変換部 RG1 …第1リセットゲート RG2 …第2リセットゲート RG’…リセットゲート R…負荷抵抗 SG1 、SG1 ’…第1蓄積ゲート SG2 、SG2 ’…第2蓄積ゲート SG’…蓄積ゲート SS1…第1選択スイッチ SS2…第2選択スイッチ SO1、SX1…第1出力信号 SO2、SX2…第2出力信号 SX3…第3出力信号 S0 ’…出力信号 SOS1 …第1出力選択スイッチ SOS2 …第2出力選択スイッチ SC …選択信号 SCI…反転選択信号 SO …選択出力信号 SOO…加算出力信号 SV 、SV ’…画像信号 TG1 …第1移送ゲート TG2 …第2移送ゲート TG’…移送ゲート VS …出力飽和電圧 VDD…電源電圧

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一つの受光手段に対して直列に接続され
    た複数の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄積手段を電
    気的に分離する分離手段を備えた固体撮像素子におい
    て、 複数の前記電荷蓄積手段にそれぞれ個別に接続され、互
    いに検出感度が異なるとともに、前記電荷蓄積手段に蓄
    積された電荷量を電圧に変換し、出力信号として出力す
    る複数の検出手段と、 外部からの選択信号に基づき複数の前記出力信号を選択
    し、選択出力信号として出力する選択手段と、 を備えたことを特徴とする固体撮像素子。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の固体撮像素子におい
    て、 複数の前記検出手段は、それぞれの検出感度に対応した
    容量を有し、前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷を、そ
    の電荷量に対応する電圧に変換する検出コンデンサをそ
    れぞれに備えたことを特徴とする固体撮像素子。
  3. 【請求項3】 一つの受光手段に対して直列に接続され
    た複数の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄積手段を電
    気的に分離する分離手段を備えるとともに、 複数の前記電荷蓄積手段にそれぞれ個別に接続され、互
    いに検出感度が異なり、且つ、前記電荷蓄積手段に蓄積
    された電荷量を電圧に変換し、出力信号として出力する
    複数の検出手段と、 外部からの選択信号に基づき複数の前記出力信号を選択
    し、選択出力信号として出力する選択手段と、を備えた
    固体撮像素子と、 前記固体撮像素子を駆動するための駆動手段と、 前記選択出力信号に基づく画像信号を信号処理する信号
    処理手段と、 を備えたことを特徴とする固体撮像ユニット。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の固体撮像ユニットにお
    いて、 複数の前記検出手段は、それぞれの検出感度に対応した
    容量を有し、前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷を、そ
    の電荷量に対応する電圧に変換する検出コンデンサをそ
    れぞれに備えたことを特徴とする固体撮像ユニット。
  5. 【請求項5】 一つの受光手段に対して直列に接続され
    た複数の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄積手段を電
    気的に分離する分離手段を備えるとともに、 複数の前記電荷蓄積手段にそれぞれ個別に接続され、互
    いに検出感度が異なり、且つ、前記電荷蓄積手段に蓄積
    された電荷量を電圧に変換し、出力信号として出力する
    複数の検出手段と、 外部からの選択信号に基づき複数の前記出力信号を選択
    し、選択出力信号として出力する選択手段と、を備えた
    固体撮像素子と、 前記固体撮像素子を駆動するための駆動手段と、 前記選択出力信号に基づく画像信号を信号処理する信号
    処理手段と、を備えた固体撮像ユニットと、 前記受光手段の受光面に対して撮像対象の像を結像する
    結像手段と、 を備えたことを特徴とする撮像カメラ。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載の撮像カメラにおいて、 複数の前記検出手段は、それぞれの検出感度に対応した
    容量を有し、前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷を、そ
    の電荷量に対応する電圧に変換する検出コンデンサをそ
    れぞれに備えたことを特徴とする撮像カメラ。
  7. 【請求項7】 一つの受光手段に対して直列に接続され
    た複数の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄積手段を電
    気的に分離する分離手段を備えた固体撮像素子におい
    て、 複数の前記電荷蓄積手段にそれぞれ個別に接続され、互
    いに検出感度が異なるとともに、前記電荷蓄積手段に蓄
    積された電荷量を電圧に変換し、出力信号として出力す
    る複数の検出手段と、 複数の前記出力信号を加算し、加算出力信号として出力
    する加算手段と、 を備えたことを特徴とする固体撮像素子。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載の固体撮像素子におい
    て、 複数の前記検出手段は、それぞれの検出感度に対応した
    容量を有し、前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷を、そ
    の電荷量に対応する電圧に変換する検出コンデンサをそ
    れぞれに備えたことを特徴とする固体撮像素子。
  9. 【請求項9】 一つの受光手段に対して直列に接続され
    た複数の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄積手段を電
    気的に分離する分離手段を備えるとともに、 複数の前記電荷蓄積手段にそれぞれ個別に接続され、互
    いに検出感度が異なり、且つ、前記電荷蓄積手段に蓄積
    された電荷量を電圧に変換し、出力信号として出力する
    複数の検出手段と、 複数の前記出力信号を加算し、加算出力信号として出力
    する加算手段と、を備えた固体撮像素子と、 前記固体撮像素子を駆動するための駆動手段と、 前記加算出力信号に基づく画像信号を信号処理する信号
    処理手段と、 を備えたことを特徴とする固体撮像ユニット。
  10. 【請求項10】 請求項9に記載の固体撮像ユニットに
    おいて、 複数の前記検出手段は、それぞれの検出感度に対応した
    容量を有し、前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷を、そ
    の電荷量に対応する電圧に変換する検出コンデンサをそ
    れぞれに備えたことを特徴とする固体撮像ユニット。
  11. 【請求項11】 一つの受光手段に対して直列に接続さ
    れた複数の電荷蓄積手段及び各々の前記電荷蓄積手段を
    電気的に分離する分離手段を備えるとともに、 複数の前記電荷蓄積手段にそれぞれ個別に接続され、互
    いに検出感度が異なり、且つ、前記電荷蓄積手段に蓄積
    された電荷量を電圧に変換し、出力信号として出力する
    複数の検出手段と、 複数の前記出力信号を加算し、加算出力信号として出力
    する加算手段と、を備えた固体撮像素子と、 前記固体撮像素子を駆動するための駆動手段と、 前記加算出力信号に基づく画像信号を信号処理する信号
    処理手段と、を備えた固体撮像ユニットと、 前記受光手段の受光面に対して撮像対象の像を結像する
    結像手段と、 を備えたことを特徴とする撮像カメラ。
  12. 【請求項12】 請求項11に記載の撮像カメラにおい
    て、 複数の前記検出手段は、それぞれの検出感度に対応した
    容量を有し、前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷を、そ
    の電荷量に対応する電圧に変換する検出コンデンサをそ
    れぞれに備えたことを特徴とする撮像カメラ。
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