JPH08254639A

JPH08254639A - レンズ付き光ファイバ、半導体レーザモジュール及びその製造方法

Info

Publication number: JPH08254639A
Application number: JP5844295A
Authority: JP
Inventors: Shinji Nakamura; 真嗣中村; Yasushi Matsui; 康松井
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1995-03-17
Filing date: 1995-03-17
Publication date: 1996-10-01

Abstract

(57)【要約】【目的】レンズと光ファイバとの偏芯精度を向上さ
せ、光結合系のアライメントを容易にすると共に、高い
光結合効率が安定して維持できるようにする。【構成】光ファイバ１３の先端部外面は筒状のフェル
ール１５に保持されている。通過する光を光ファイバ１
３の入射部に集光する非球面レンズ１１は筒状のレンズ
ホルダー１２に保持されている。フェルール１５及びレ
ンズホルダーの外径よりも若干小さい内径を有する割り
スリーブ１８は、一端側においてフェルール１８の外面
を保持していると共に他端側においてレンズホルダー１
２の外面を保持している。割りスリーブ１８の内部にお
けるレンズホルダー１２とフェルール１８との間には、
レンズホルダー１２とフェルール１８との距離を規制す
る筒状の位置決めスリーブ１９Ａが配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光通信用半導体レーザ
モジュールの光結合系に用いるレンズ付き光ファイバ、
該レンズ付き光ファイバを用いた半導体レーザモジュー
ル及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】通信用の半導体レーザとして、主に、光
ファイバの損失や分散が小さい１．３μｍ帯及び１．５
５μｍ帯の波長で発振するＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ系の
ものが使用されている。このような半導体レーザは、一
般に、シングルモードファイバを媒体とするネットワー
クの発振源として用いられている。従って、通信用の半
導体レーザは、そのモジュールにおいて、ある広がり角
を持って発振したレーザ光をシングルモードファイバに
入力（光結合）するという機能を持たねばならない。こ
こで、レーザ光を光ファイバに入力するとは、光ファイ
バ外部からのレーザ光を光ファイバが有する伝搬モード
に結合させることを意味する。

【０００３】図８は、従来の半導体レーザと光ファイバ
との光結合系の一般的な構成を示しており、同図におい
て、５０は半導体レーザ、５１は光ファイバ、５２は半
導体レーザ５０から出射されたレーザ光を光ファイバ５
１の入射部に集光するレンズ、５３はレーザ光が集光さ
れる集光スポットである。集光スポット５３は光ファイ
バ５１の入射面のコア部分の中心部に位置している。

【０００４】次に、半導体レーザ５０、レンズ５２及び
光ファイバ５１のアライメント方法について説明する。

【０００５】半導体レーザ５０、レンズ５２及び光ファ
イバ５１の入射部の各光軸の光結合系の光軸に対する傾
きは、光学系を構成する部品の加工精度によってのみ十
分な精度が得られる。ここで、光結合系の光軸とは、レ
ーザ光の横モードの中心点すなわち光出力が最大になる
点を結んだ軸のことをいう。光ファイバの光軸とは、光
ファイバを伝搬してきた光が光ファイバの出射部から出
射されるときの出射光の横モードにおいて光出力が最大
になる点を結んだ軸とする。

【０００６】図８に示す光結合系を構成する各部品の回
転角は、部品の加工精度のみに依存するものとし、アラ
イメントの最適化の工程においては考慮しないものとす
る。また、半導体レーザの位置は固定されているとす
る。このようにすると、アライメント工程において、最
適化すべき軸は、レンズ５２及び光ファイバ５１のそれ
ぞれのｘ，ｙ，ｚ方向のみとなる。但し、ｚ方向とは光
結合系の光軸の方向とする。

【０００７】図８の光結合系において、高い光結合効率
を得るためには、レンズ５２及び光ファイバ５１の各位
置を最適化しなければならない。ここで、光結合効率と
は、（光ファイバへの入力）／（半導体レーザの出力）
をさす。ところで、アライメント工程において、最適化
すべき軸は、レンズ５２及び光ファイバ５１のそれぞれ
のｘ，ｙ，ｚ方向であるから、調整しなければならない
軸の数は６方向となり、調整にきわめて長い時間を要す
る。

【０００８】そこで、従来は、レンズと光ファイバとが
互いに一体化されてなるレンズ付き光ファイバのｘ，
ｙ，ｚ方向を調整することにより、アライメントする方
法が知られている。

【０００９】以下、従来のレンズ付き光ファイバについ
て図９を参照しながら説明する。

【００１０】図９において、６１はレンズ、６２はレン
ズ６１を保持するレンズホルダー、６３は光ファイバ、
６４は光ファイバ６３の先端部を保持するフェルール、
６５はレンズホルダー６２とフェルール６４との間に設
けられた位置決めスリーブ、６６はレンズホルダー６
２、位置決めスリーブ６５及びフェルール６４を保持す
る円筒状のコネクタ、６７は固定螺子であって、コネク
タ６６とレンズホルダー６２、及びコネクタ６６とフェ
ルール６４とは固定螺子６７によって互いに固定されて
いる。

【００１１】位置決めスリーブ６５の長さは、半導体レ
ーザ５０と光ファイバ６３との光結合効率が最大になる
ように予め設定されており、これにより、レンズ６１と
光ファイバ６３との距離は最適化されるようになってい
る。また、コネクタ６６の内径は、レンズホルダー６
２、位置決めスリーブ６５及びフェルール６４の各外径
よりも若干大きい寸法に設定されており、これにより、
レンズ付き光ファイバの組立時に、レンズホルダー６
２、位置決めスリーブ６５及びフェルール６４をコネク
タ６６内にスムーズに挿入することができる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のレンズ付き光ファイバにおいては、コネクタ６６の
内径と、レンズホルダー６２及びフェルール６４の各外
径との寸法差によって、以下に説明するように、レンズ
６１の光軸と光ファイバ６３の光軸との間に偏芯ずれが
生じる。すなわち、レンズ６１の光軸とレンズホルダ６
２の外形の軸心とのずれ、及び光ファイバ６３の光軸と
フェルール６４の外形の軸心とのずれがいずれも小さ
く、且つコネクタ６４の同軸度が十分に高いと仮定して
も、レンズホルダー６２及びフェルール６４の外径とコ
ネクタ６６の内径との間に存在する遊びによって、レン
ズ６１の光軸と光ファイバ６４の光軸との間の偏芯ずれ
は避けられない。

【００１３】レンズ６１と光ファイバ６４とが互いに固
定されてなるレンズ付き光ファイバのｘ，ｙ，ｚ方向の
アライメントを最適化して光結合を行なう場合、レンズ
６１の光軸と光ファイバ６４の光軸との偏芯ずれが大き
いならば、高い光結合効率を得ることができない。

【００１４】以下、その理由について図１０（ａ），
（ｂ）を参照しながら説明する。図１０（ａ），（ｂ）
において、７１は半導体レーザ、７２はレンズ、７３は
光ファイバ、７４はレンズ７２と光ファイバ７３とを固
定しているコネクタである。図１０に示す光結合系にお
いて、レンズ７２と光ファイバ７３との距離は、半導体
レーザ７１の発振波長におけるレンズ７２の集光側焦点
距離に光ファイバ７３の端面が位置するように、予め機
械精度により調整されている。

【００１５】まず、図１０（ａ）に示すように、レンズ
７２の光軸と光ファイバ７３の光軸との偏芯ずれが十分
に小さい場合には、半導体レーザ７１とレンズ付き光フ
ァイバつまり光ファイバとの相対的位置を最適化して、
光ファイバ７３に光結合するレーザ光の出力を最大にす
ると、半導体レーザ７１、レンズ７２及び光ファイバ７
３の各光軸が一致する。この場合、レンズ７２によるレ
ーザ光の集光スポットにおいては、非点収差及び波面収
差はともに最小となり、結合効率は最大となる。

【００１６】次に、図１０（ｂ）に示すように、レンズ
７２の光軸と光ファイバ７３の光軸との偏芯ずれが大き
い場合には、半導体レーザ７１とレンズ付き光ファイバ
との相対位置を最適化して、光ファイバ７３に入射する
レーザ光の出力を最大にしても、半導体レーザ７１、レ
ンズ７２及び光ファイバ７３の各光軸は一致しない。こ
の場合、レンズ７２によるレーザ光の集光スポットにお
いては、非点収差及び波面収差はともに最小にはなら
ず、光結合効率は最大にならない。

【００１７】例えば、半導体レーザ７１のＦＦＰ（Ｆａ
ｒＦｉｅｌｄＰａｔｔｅｒｎ）が約３０ｄｅｇ．で
あり、レンズ７２に非球面マイクロレンズを用い、光フ
ァイバ７３に１．３μｍ帯シングルモードファイバを使
用した場合、図９に示す従来のレンズ付き光ファイバを
用いて得られる光結合効率は約６０％以下となり、良好
とは言えない。その原因は、図９（ｂ）に示すように、
レンズ７２と光ファイバ７３との間の偏芯ずれにある。
この偏芯ずれは±２０μｍ程度である。また、前記の構
造を有するレンズ付き光ファイバをいくつか作成し、同
様の光結合を行なった場合、得られる光結合効率は約３
０％〜７５％の間に分布し、バラツキは非常に大きかっ
た。その原因は、レンズ７２と光ファイバ７３との偏芯
精度のバラツキにあると考えられる。

【００１８】レンズ７２と光ファイバ７３との偏芯精度
を向上及び安定させるためには、レンズ７２と光ファイ
バ７３とのアライメントの最適化を行なった後に、レン
ズホルダ、フェルール及びコネクタ等を低融点ガラス等
による接着又は溶接をすることも考えられるが、この方
法は、その工程が複雑になるという問題があるので採用
しにくい。

【００１９】ところで、マルチモード光ファイバのコア
径は約６０μｍ程度であり、このようにコア径が大きい
光ファイバにレーザ光を結合することは比較的容易であ
る。ところが、シングルモード光ファイバのコア径は約
１１μｍ程度と小さい。従って、シングルモード光ファ
イバを光結合系に使用する場合、レンズと光ファイバと
の相対的位置がｘ，ｙ方向にわずかにずれても、光結合
系のアライメントは最適な状態からずれ、光結合効率が
低下してしまう。従って、シングルモード光ファイバを
光結合系に使用する場合には、その光結合系に要求され
るアライメントの精度は非常に高いものが要求される。

【００２０】また、アライメントが高精度で最適化され
たとしても、以下の問題が生じる。すなわち、レーザ光
をシングルモード光ファイバに高い光結合効率で結合す
る場合、高精度のアライメントが維持されなければ、光
結合系の光結合効率が不安定になる。光結合系を構成す
る半導体レーザ７１、レンズ７２及び光ファイバ７３の
相対的位置が±０．１μｍの精度に保たれることが要求
される。

【００２１】前記従来のレンズ付き光ファイバにおいて
は、レンズホルダ６２とフェルール６４とを固定するた
めに固定螺子６７が用いられているが、この構造のレン
ズ付き光ファイバは不安定な機構であり、長時間に亘っ
て種々の温度環境下において安定してレンズホルダ６２
とフェルール６４とを保持できない。つまり、従来のレ
ンズ付き光ファイバを用いた光結合系においては、高い
光結合効率を安定して維持できず、信頼性が乏しくなる
という問題がある。

【００２２】以上説明したように、従来の構造のレンズ
付き光ファイバにおいては、レンズと光ファイバとの
偏芯精度が悪いために、光結合系のアライメントを十分
に最適化できないという問題、レンズと光ファイバと
の偏芯精度を向上、安定させるためには、アライメント
の最適化という非常に複雑な工程が必要になるという問
題、高い光結合効率を安定して維持できず、信頼性が
乏しくなるという問題がある。

【００２３】本発明は、前記の問題点を一挙に解決し、
レンズと光ファイバとの偏芯精度を向上させ、光結合系
のアライメントの調整を容易にすると共に、そのアライ
メントの調整精度を高め、高い光結合効率が安定して維
持できるようにすることを目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明は、レンズ又はレンズホルダーとフェルール
とを割りスリーブによって固定するものである。

【００２５】請求項１の発明が講じた解決手段は、レン
ズ付き光ファイバを、光ファイバと、該光ファイバの先
端部外面を保持している筒状のフェルールと、光を前記
光ファイバの入射部に集光するレンズと、該レンズの外
面を保持している筒状のレンズホルダーと、前記フェル
ール及び前記レンズホルダーの外径よりも若干小さい内
径を有し一端側において前記フェルールの外面を保持し
ていると共に他端側において前記レンズホルダーの外面
を保持している筒状の割りスリーブとを備えている構成
とするものである。

【００２６】請求項２の発明は、請求項１の構成に、前
記割りスリーブの内部における前記レンズホルダーと前
記フェルールとの間に前記レンズホルダーと前記フェル
ールとの距離を規制するように設けられ、前記フェルー
ルの外径及び前記レンズフェルールの外径と同じか又は
若干小さい外径を有する筒状の位置決めスリーブをさら
に備えているという構成を付加するものである。

【００２７】請求項３の発明が講じた解決手段は、レン
ズ付き光ファイバを、光ファイバと、該光ファイバの先
端部外面を保持している筒状のフェルールと、光を前記
光ファイバの入射部に集光するレンズと、前記フェルー
ル及び前記レンズの外径よりも若干小さい内径を有し一
端側において前記フェルールの外面を保持していると共
に他端側において前記レンズの外面を保持している筒状
の割りスリーブとを備えている構成とするものである。

【００２８】請求項４の発明は、請求項３の構成に、前
記割りスリーブの内部における前記レンズと前記フェル
ールとの間に前記レンズと前記フェルールとの距離を規
制するように設けられ、前記フェルールの外径及び前記
レンズホルダーの外径と同じか又は若干小さい外径を有
する筒状の位置決めスリーブをさらに備えているという
構成を付加するものである。

【００２９】請求項５の発明が講じた解決手段は、半導
体レーザモジュールを、半導体レーザと、該半導体レー
ザを保持しているベースと、該ベースに固定された筒状
の接合用レンズホルダーと、該接合用レンズホルダーの
内面に保持されているレンズホルダーと、該レンズホル
ダーの内面に保持されており前記半導体レーザから出射
されるレーザ光を集光するレンズと、該レンズにより集
光されたレーザ光が結合する位置に入射部を有する光フ
ァイバと、該光ファイバの先端部外面を保持している筒
状のフェルールと、該フェルール及び前記レンズホルダ
ーの外径よりも若干小さい内径を有し一端側において前
記フェルールの外面を保持していると共に他端側におい
て前記レンズホルダーの外面を保持している筒状の割り
スリーブとを備えている構成とするものである。

【００３０】請求項６の発明は、請求項５の構成に、孔
部が形成された筒状部を有するパッケージをさらに備え
ており、前記半導体レーザ、ベース、接合用レンズホル
ダー、レンズホルダー、レンズと、光ファイバ、フェル
ール及び割りスリーブが前記パッケージ内に収納された
状態で前記ベースは前記パッケージに固定されており、
前記光ファイバは前記パッケージの筒状部内に挿通され
た状態で前記孔部から流入されたハンダにより前記筒状
部に固定されているという構成を付加するものである。

【００３１】請求項７の発明は、請求項５の構成に、前
記ベースは、前記半導体レーザを載置支持する底部と、
該底部に対して垂直に設けられ前記半導体レーザから出
射するレーザ光が通過する開口部を持つ壁部と、該壁部
における前記半導体レーザと反対側に形成された平滑部
とを有し、前記接合用レンズホルダーの端部は前記ベー
スの平滑部に固定されているという構成を付加するもの
である。

【００３２】請求項８の発明は、請求項５の構成に、前
記割りスリーブの内部における前記レンズホルダーと前
記フェルールとの間に前記レンズホルダーと前記フェル
ールとの距離を規制するように設けられ、前記割りスリ
ーブの内径よりも若干小さい外径を有する筒状のスリー
ブをさらに備えているという構成を付加するものであ
る。

【００３３】請求項９の発明が講じた解決手段は、半導
体レーザモジュールの製造方法を、光ファイバと、該光
ファイバの先端部外面を保持している筒状のフェルール
と、光を前記光ファイバの入射部に集光するレンズと、
該レンズの外面を保持している筒状のレンズホルダー
と、該レンズホルダーの外面を軸方向へ移動可能に保持
している筒状の接合用レンズホルダーと、前記フェルー
ル及び前記レンズホルダーの外径よりも若干小さい内径
を有し一端側において前記フェルールの外面を保持して
いると共に他端側において前記レンズホルダーの外面を
保持している筒状の割りスリーブと、該割りスリーブの
内部における前記レンズホルダーと前記フェルールとの
間に前記レンズホルダーと前記フェルールとの距離を規
制するように設けられ前記フェルールの外径及び前記レ
ンズホルダーの外径と同じか又は若干小さい外径を持つ
筒状の位置決めスリーブとを有するレンズ付き光ファイ
バを設けると共に、半導体レーザをベースに固定する第
１の工程と、前記半導体レーザから前記光ファイバの入
射部にレーザ光を出射させ、出射したレーザ光の前記光
ファイバの入射部における光結合効率が最大になるよう
に前記レンズ付き光ファイバの前記半導体レーザに対す
るアライメントを調整する第２の工程と、前記レンズホ
ルダーを前記接合用レンズホルダーに固定すると共に前
記接合用レンズホルダーを前記ベースに固定した後、前
記レンズ付き光ファイバから前記割りスリーブ、位置決
めスリーブ及び光ファイバを除去する第３の工程とを備
えている構成とするものである。

【００３４】請求項１０の発明が講じた解決手段は、半
導体レーザモジュールの製造方法を、光ファイバと、該
光ファイバの先端部外面を保持している筒状のフェルー
ルと、光を前記光ファイバの入射部に集光するレンズ
と、該レンズの外面を保持している筒状のレンズホルダ
ーと、該レンズホルダーの外面を軸方向へ移動可能に保
持している筒状の接合用レンズホルダーと、前記フェル
ール及び前記レンズホルダーの外径よりも若干小さい内
径を有し一端側において前記フェルールの外面を保持し
ていると共に他端側において前記レンズホルダーの外面
を保持している筒状の割りスリーブと、該割りスリーブ
の内部における前記レンズホルダーと前記フェルールと
の間に前記レンズホルダーと前記フェルールとの距離を
規制するように設けられ前記フェルールの外径及び前記
レンズホルダーの外径と同じか又は若干小さい外径を持
つ筒状の位置決めスリーブとを有するレンズ付き光ファ
イバを設けると共に、半導体レーザをベースに固定する
第１の工程と、前記半導体レーザから前記光ファイバの
入射部にレーザ光を出射させ、出射したレーザ光の前記
光ファイバの入射部における光結合効率が最大になるよ
うに前記レンズ付き光ファイバの前記半導体レーザに対
するアライメントを調整する第２の工程と、前記レンズ
ホルダーを前記接合用レンズホルダーに固定すると共に
前記接合用レンズホルダーを前記ベースに固定する第３
の工程とを備えている構成とするものである。

【００３５】請求項１１の発明は、請求項９又は１０の
構成に、前記第１の工程におけるベースは、前記半導体
レーザを載置支持する底部と、該底部に対して垂直に設
けられ前記半導体レーザから出射するレーザ光が通過す
る開口部を持つ壁部と、該壁部における前記半導体レー
ザと反対側に形成された平滑部とを有し、前記第２の工
程は、前記接合用レンズホルダーの端部を前記ベースの
平滑部と摺接させながら前記光ファイバを前記半導体レ
ーザに対して光軸方向と垂直な平面内でアライメントす
ると共に、前記レンズホルダーを前記接合用レンズホル
ダーに対して軸方向へ移動させながら前記光ファイバを
前記半導体レーザに対して光軸方向にアライメントを調
整する工程を有している構成を付加するものである。

【００３６】

【作用】請求項１の構成により、フェルール及びレンズ
ホルダーの外径よりも若干小さい内径を有し、一端側に
おいてフェルールの外面を保持していると共に他端側に
おいてレンズホルダーの外面を保持している筒状の割り
スリーブを備えているため、フェルール及びレンズホル
ダーは割りスリーブに遊び無く且つ安定して保持される
ので、フェルールに保持されている光ファイバと、レン
ズホルダーに保持されているレンズとの間の偏心ずれが
小さくなる。

【００３７】請求項２の構成により、レンズホルダーと
フェルールとの距離を規制する位置決めスリーブを備え
ているので、割りスリーブの内部に位置決めスリーブを
挟んでレンズホルダーとフェルールとを差し込むだけ
で、レンズと光ファイバとの距離が自動的に最適化され
る。

【００３８】請求項３の構成により、フェルール及びレ
ンズの外径よりも若干小さい内径を有し、一端側におい
てフェルールの外面を保持していると共に他端側におい
てレンズの外面を保持している筒状の割りスリーブを備
えているため、フェルール及びレンズは割りスリーブに
遊び無く且つ安定して保持されるので、フェルールに保
持されている光ファイバとレンズの間の偏心ずれが小さ
くなる。

【００３９】請求項４の構成により、レンズとフェルー
ルとの距離を規制する位置決めスリーブを備えているの
で、割りスリーブの内部に位置決めスリーブを挟んでレ
ンズとフェルールとを差し込むだけで、レンズと光ファ
イバとの距離が自動的に最適化される。

【００４０】請求項５の構成により、フェルール及びレ
ンズホルダーの外径よりも若干小さい内径を有し、一端
側においてフェルールの外面を保持していると共に他端
側においてレンズホルダーの外面を保持している筒状の
割りスリーブを備えているため、フェルール及びレンズ
ホルダーは割りスリーブに遊び無く且つ安定して保持さ
れる請求項６の構成により、半導体レーザ、ベース、接
合用レンズホルダー、レンズホルダー、レンズと、光フ
ァイバ、フェルール及び割りスリーブがパッケージ内に
収納された状態でベースを介してパッケージに固定され
ている。

【００４１】請求項７の構成により、ベースは、半導体
レーザを載置支持する底部に対して垂直に設けられ半導
体レーザから出射するレーザ光が通過する開口部を持つ
壁部と、該壁部における半導体レーザと反対側に形成さ
れた平滑部とを有しているため、接合用レンズホルダー
の端部をベースの平滑部と摺接させながら光ファイバを
半導体レーザに対して光軸方向と垂直な平面内でアライ
メントすることができると同時に、接合用レンズホルダ
ーとベースの平滑部との良好な接合を行なえる。また、
レンズホルダーは接合用レンズホルダーの内面に軸方向
へ移動可能に保持されているため、レンズホルダーを接
合用レンズホルダーに対して軸方向へ移動させながら光
ファイバを半導体レーザに対して光軸方向にアライメン
トすることができると同時に、接合用レンズホルダーと
ベースの平滑部との良好な接合を行なえる。

【００４２】請求項８の構成により、レンズホルダーと
フェルールとの距離を規制する位置決めスリーブを備え
ているので、割りスリーブの内部に位置決めスリーブを
挟んでレンズホルダーとフェルールとを差し込むだけ
で、レンズと光ファイバとの距離が自動的に最適化され
る。

【００４３】請求項９の構成により、半導体レーザから
光ファイバの入射部にレーザ光を出射させ、出射したレ
ーザ光の光ファイバの入射部における光結合効率が最大
になるようにレンズ付き光ファイバの半導体レーザに対
するアライメントを最適化した後、レンズホルダーを接
合用レンズホルダーに固定すると共に接合用レンズホル
ダーをベースに固定し、レンズ付き光ファイバから割り
スリーブ、位置決めスリーブ及びフェルールを除去する
ので、光ファイバ及びレンズの半導体レーザに対するア
ライメントが最適化された状態を維持して、光ファイバ
とレンズと半導体レーザとを一体化することができる。

【００４４】請求項１０の構成により、半導体レーザか
ら光ファイバの入射部にレーザ光を出射させ、出射した
レーザ光の光ファイバの入射部における光結合効率が最
大になるように光ファイバの半導体レーザに対するアラ
イメントを最適化した後、レンズホルダーを接合用レン
ズホルダーに固定すると共に接合用レンズホルダーをベ
ースに固定するので、光ファイバ及びレンズの半導体レ
ーザに対するアライメントが最適化された状態を維持し
て、光ファイバと半導体レーザとを一体化することがで
きる。

【００４５】請求項１１の構成により、接合用レンズホ
ルダーの端部をベースの平滑部と摺接させながら光ファ
イバを半導体レーザに対して光軸方向と垂直な平面内で
アライメントすると共に、レンズホルダーを接合用レン
ズホルダーに対して軸方向へ移動させながら光ファイバ
を半導体レーザに対して光軸方向にアライメントする工
程を有しているため、ｘ，ｙ，ｚの３方向のアライメン
トを容易にすることができると同時に、レンズホルダー
とベースとの良好な接合に有効である。

【００４６】

【実施例】以下、本発明の第１実施例に係るレンズ付き
光ファイバについて図１を参照しながら説明する。図１
（ａ）は第１実施例に係るレンズ付き光ファイバの側方
断面であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＩ−Ｉ線の断面
図である。

【００４７】図１において、１１は非球面レンズ、１２
は非球面レンズ１１を保持するレンズホルダーであっ
て、レンズホルダー１２は非球面レンズ１１を保持して
いる保持部１２ａと該保持部１２ａよりも一回り小径の
嵌合部１２ｂとからなる。また、１３はシングルモード
の光ファイバ、１４は光ファイバ１３の外側に設けられ
たファイバ被覆、１５は光ファイバ１３の先端部を保持
するフェルール、１６はフェルール１５の先端部の内面
と光ファイバ１３の最先端部の外面との間に設けられた
筒状のスペーサ、１７はフェルール１５の後端部の内面
とファイバ被覆１４の外面との間に設けられた樹脂であ
って、樹脂１７はフェルール１５の後端部とファイバ被
覆１４とを接着すると共に機械的強度を得るために設け
られている。１８はフェルール１５及びレンズホルダー
１２の嵌合部１２ｂの外径よりも若干小さい内径を有す
る筒状の割りスリーブであって、該割りスリーブ１８は
先端側においてレンズホルダー１２の嵌合部１２ｂの外
面を保持していると共に後端側においてフェルール１５
の外面を保持している。１９Ａは割りスリーブ１８の内
部におけるレンズホルダー１２の嵌合部１２ｂとフェル
ール１５との間に設けられた筒状の位置決めスリーブで
あって、該位置決めスリーブ１９Ａはレンズホルダー１
２とフェルール１５との間の距離を規制している。

【００４８】レンズ付き光ファイバの組立てが完了した
時点では、割りスリーブ１８の内径と、レンズホルダー
１２の嵌合部１２ｂの外径及びフェルール１５の外径は
いずれも等しく、すべて２．５ｍｍに設定されている。
これにより、レンズ付き光ファイバの組立てが完了した
時点では、割りスリーブ１８の内面と、レンズホルダー
１２の嵌合部１２ｂの外面及びフェルール１５の外面と
の間には遊びが全く無くなる。

【００４９】また、非球面レンズ１１の有効径は２．５
ｍｍであり、非球面レンズ１１のＮＡは、光ファイバ１
３側が０．１であり、その反対側が０．６である。非球
面レンズ１１の光軸とレンズホルダ１２の光軸との偏芯
精度は±５μｍ以内である。光ファイバ１３の光軸とフ
ェルール１５の中心軸との偏芯精度は±０．７μｍ以内
である。割りスリーブ１８自体の偏芯精度は±２μｍ以
下である。従って、非球面レンズ１１の光軸と光ファイ
バ１３の光軸との間の偏芯精度は±７．７μｍ以下であ
る。このような偏芯精度は、割りスリーブ１８にレンズ
ホルダ１２及びフェルール１５を挿入するという非常に
簡単な作業のみで得られている。

【００５０】位置決めスリーブ１９Ａの外径は２．４８
５ｍｍであって、割りスリーブ１８に応力を加えないよ
うに考慮されている。また、位置決めスリーブ１９Ａの
長さは、非球面レンズ１１の光ファイバ１４側の焦点位
置に光ファイバ１３の先端面が位置するような寸法に設
定されている。このため、位置決めスリーブ１９Ａをレ
ンズホルダー１２とフェルール１５との間に隙間無く配
置するだけで非球面レンズ１１と光ファイバ１３の先端
面との位置が自動的に定まる。

【００５１】以下、本発明の第２実施例に係るレンズ付
き光ファイバについて図２を参照しながら説明する。図
２（ａ）は第２実施例に係るレンズ付き光ファイバの側
方断面であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のII−II線の断
面図である。

【００５２】尚、第２実施例の説明においては、第１実
施例と共通する部材については同一の符号を付すことに
より、説明は省略する。

【００５３】第２実施例においては、第１実施例におけ
るレンズホルダー１２が設けられておらず、割りスリー
ブ１８の先端側部分は非球面レンズ１１を直接に保持し
ている。また、割りスリーブ１８の内部における非球面
レンズ１１とフェルール１５との間には、非球面レンズ
１１とフェルール１５との距離を規制する位置決めスリ
ーブ１９Ｂが設けられている。

【００５４】レンズ付き光ファイバの組立てが完了した
時点では、割りスリーブ１８の内径と、非球面レンズ１
１の外径及びフェルール１５の外径はいずれも等しく、
すべて２．５ｍｍに設定されている。これにより、レン
ズ付き光ファイバの組立てが完了した時点では、割りス
リーブ１８の内径と、非球面レンズ１１の外径及びフェ
ルール１５の外径との間には遊びが全く無くなる。

【００５５】また、第２実施例においては、非球面レン
ズ１１の有効径は２．５ｍｍであり、非球面レンズ１１
のＮＡは、光ファイバ１３側が０．１であり、その反対
側が０．６である。非球面レンズ１１の光軸とレンズホ
ルダ１２の光軸との偏芯精度は±０．３μｍ以内であ
る。光ファイバ１３の光軸とフェルール１５の中心軸と
の偏芯精度は±０．７μｍ以内である。割りスリーブ１
８自体の偏芯精度は±２μｍ以下である。従って、非球
面レンズ１１の光軸と光ファイバ１３の光軸との間の偏
芯精度は±３．０μｍ以下である。このような偏芯精度
は、割りスリーブ１８に非球面レンズ１１及びフェルー
ル１５を挿入するという非常に簡単な作業のみで得られ
ている。

【００５６】位置決めスリーブ１９Ｂの外径は２．４８
５ｍｍであって、割りスリーブ１８に応力を加えないよ
うに考慮されている。また、位置決めスリーブ１９Ｂの
長さは、非球面レンズ１１の光ファイバ１４側の焦点位
置に光ファイバ１３の先端面が位置するような寸法に設
定されている。このため、位置決めスリーブ１９Ｂを非
球面レンズ１１とフェルール１５との間に隙間無く配置
するだけで非球面レンズ１１と光ファイバ１３の先端面
との位置が自動的に定まる。

【００５７】以下、本発明の第３実施例に係る半導体レ
ーザモジュール及びその製造方法について図３及び図４
を参照しながら説明する。

【００５８】第３実施例に係る半導体レーザモジュール
は、第１実施例に係るレンズ付き光ファイバが用いられ
ており、該レンズ付き光ファイバについては、第１実施
例と同様の構造を有しているので、同一の符号を付すこ
とにより説明を省略する。

【００５９】まず、図３（ａ）に示すように、レンズホ
ルダー１２の保持部１２ａの外面を筒状の接合用レンズ
ホルダー２０により軸方向へ相対移動可能に保持してお
く。接合用レンズホルダー２０の内径はレンズホルダー
１２の保持部１２ａの外径よりも１０μｍ大きく設定さ
れており、レンズホルダー１２は接合用レンズホルダー
２０に対して軸方向へ相対移動可能である。

【００６０】一方、半導体レーザ２１はヒートシンク２
２の上面にハンダにより固定されており、ヒートシンク
２２はチップキャリア２３の上面にハンダにより固定さ
れており、チップキャリア２３はＬ字状のベース２４の
底部２４ａにハンダにより固定されている。尚、ベース
２４の壁部２４ｂには半導体レーザ２１から出射したレ
ーザ光が通過する開口部が形成されていると共に、半導
体レーザ２１と反対側の壁部２４ｂには平滑部が形成さ
れている。

【００６１】図３（ａ）の左方が下方になるように配置
して、つまり、図３（ａ）のｚ方向が負の重力方向にな
るように配置して接合用レンズホルダー２０を含むレン
ズ付き光ファイバの先端面がベース２４の壁部２４ｂの
平滑部２４ｃに対して摺接状態にしておく。この状態
で、半導体レーザ２１からレーザ光を出射させ、レーザ
光の光ファイバ１３の入射部における光結合効率が最大
になるように、接合用レンズホルダー２０を含むレンズ
付き光ファイバをｘ，ｙ，ｚ方向にアライメント調整す
る。ｘ，ｙ方向については、接合用レンズホルダー２０
をベース２４の壁部２４ｂの平滑部に対して２次元的に
移動することにより行ない、ｚ方向については、接合用
レンズホルダー２０とレンズホルダー１２とを軸方向に
相対移動させることにより行なう。この場合、レンズ付
き光ファイバはベース２４に対して回転自在であるが、
この回転方向についてはアライメントの対象にはならな
い。

【００６２】接合用レンズホルダー２０を含むレンズ付
き光ファイバのｘ，ｙ，ｚ方向のアライメント調整が完
了すると、レンズホルダー１２と接合用レンズホルダー
２０、及び接合用レンズホルダー２０とベース２４の壁
部２４ｂをそれぞれハンダにより固定する。

【００６３】次に、図３（ｂ）に示すように、レンズホ
ルダー１２と割りスリーブ１８とをｚ方向に互いに分離
する。この場合、レンズホルダー１２は割りスリーブ１
８に挿入されているだけであるから、分離作業は容易に
行なえる。以後、半導体レーザ２１、ヒートシンク２
２、チップキャリア２３、ベース２４、接合用レンズホ
ルダー２０、レンズホルダー１２及び非球面レンズ１１
よりなるユニットをユニットＡと称する。

【００６４】次に、図４（ａ）に示すように、パッケー
ジ２５Ａの上にペルチェ冷却器２６をその放熱側がパッ
ケージ２５Ａの底面に接するようにハンダにより固定し
た後、ペルチェ冷却器２６の上にユニットＡをハンダに
より固定する。その後、アイソレータホルダー２７を、
その先端面がベース２４の壁部２４ａに接すると共にそ
の下面がペルチェ冷却器２６に載置されるように配置し
て、アイソレータホルダー２７をペルチェ冷却器２６に
ハンダにより固定する。その後、光アイソレータ２８を
アイソレータホルダー２７の内部に、半導体レーザ２１
から見て光ファイバ１３の方向が順方向になり且つ光ア
イソレータ２６の光軸を中心とする回転角が順方向光強
度が最低になるような状態で挿入し、光アイソレータ２
８をハンダによりアイソレータホルダー２７に固定す
る。

【００６５】次に、第１実施例のレンズ付き光ファイバ
から、非球面レンズ１１、レンズホルダー１２、割りス
リーブ１８及び位置決めスリーブ１９が離脱してなるも
のと同様の構成のユニット（以後、これをユニットＢと
称する。）を別に用意し、このユニットＢを、フランジ
部２９ａを有する筒状のフェルールホルダー２９に挿入
する。この状態で、半導体レーザ２１と光ファイバ１３
との光結合係数が最大になるように、ユニットＢをｘ，
ｙ，ｚ方向にアライメント調整を行なう。この場合も、
図４（ａ）のｚ方向の負方向が重力方向になるようにし
てアライメント調整を行なう。このようにすると、フェ
ルールホルダー２９のフランジ部２９ａはパッケージ２
５Ａの筒状部２５ａの端面と摺接状態である。

【００６６】ユニットＢのアライメント調整が終了する
と、この状態で、図４（ｂ）に示すように、パッケージ
２５Ａとフェルールホルダー２９、及びフェルールホル
ダー２９とユニットＢをそれぞれハンダにより固定す
る。その後、パッケージ２５Ａ内の気体を窒素ガスによ
り置換した後、キャップ３０Ａをパッケージ２５Ａにシ
ーム溶接する。

【００６７】以下、本発明の第４実施例に係る半導体レ
ーザモジュール及びその製造方法について図５〜図７を
参照しながら説明する。

【００６８】第４実施例においては、第１実施例又は第
３実施例と同一の部材については同一の符号を付すこと
により説明を省略する。

【００６９】まず、図５（ａ）に示すように、第３実施
例と同様に、レンズホルダー１２の保持部１２ａの外面
を接合用レンズホルダー２０により軸方向へ相対移動可
能に保持しておくと共に、半導体レーザ２１はヒートシ
ンク２２の上面に、ヒートシンク２２はチップキャリア
２３の上面に、チップキャリア２３はベース２４の底部
２４ａにそれぞれハンダにより固定されている。

【００７０】図５（ａ）のｚ方向が負の重力方向になる
ように配置して接合用レンズホルダー２０を含むレンズ
付き光ファイバの先端面がベース２４の壁部２４ｂに対
して摺接状態にした状態で、半導体レーザ２１から出射
するレーザ光の光ファイバ１３の入射部における光結合
効率が最大になるように、接合用レンズホルダー２０を
含むレンズ付き光ファイバをｘ，ｙ，ｚ方向にアライメ
ント調整する。

【００７１】次に、接合用レンズホルダー２０を含むレ
ンズ付き光ファイバのｘ，ｙ，ｚ方向のアライメント調
整が終了すると、この状態で、レンズホルダー１２と接
合用レンズホルダー２０、及び接合用レンズホルダー２
０とベース２４をそれぞれハンダにより固定して、図５
（ｂ）に示すようなユニット（以後、これをユニットＣ
と称する。）を得る。

【００７２】次に、図６に示すように、パッケージ２５
Ｂの上にペルチェ冷却器２６をその放熱側がパッケージ
２５Ａの底面に接するようにハンダにより固定してお
く。尚、第４実施例に用いるパッケージ２５Ｂの筒状部
２５ｂは、第３実施例のパッケージ２５Ａの筒状部２５
ａよりも長いと共に、該筒状部２５ｂにはハンダを流し
込むための孔部２５ｃが形成されている。次に、ユニッ
トＣをパッケージ２５Ｂの筒状部２５ｂに挿入するが、
ユニットＣの光ファイバ１３における孔部２５ｂと対向
する部位におけるファイバ被覆１４は予め除去してお
く。その後、ユニットＣとペルチェ冷却器２６とをハン
ダにより固定すると共に、パッケージ２５Ｂの筒状部２
５ｂの孔部２５ｃからハンダ３１を流し込んで、光ファ
イバ１３を筒状部２５ｂに固定すると共に筒状部２５ｂ
を封止する。

【００７３】次に、図７に示すように、パッケージ２５
Ｂ内の気体を窒素ガスにより置換した後、キャップ３０
Ｂをパッケージ２５Ｂにシーム溶接すると共に、ファイ
バ被覆１４とパッケージ２５Ｂの筒状部２５ｂとを樹脂
３２により固定する。

【００７４】

【効果】請求項１の発明に係るレンズ付き光ファイバに
よると、フェルール及びレンズホルダーは割りスリーブ
に遊び無く且つ安定して保持されるため、フェルールに
保持されている光ファイバとレンズホルダーに保持され
ているレンズとの間の偏心ずれが小さくなり、また、割
りスリーブにフェルールとレンズホルダーとをそれぞれ
差し込むだけで、フェルール及びレンズホルダーは割り
スリーブに遊び無く且つ安定して保持されるので、アラ
イメントの最適化という非常に複雑な工程を経ることな
く高い結合効率を容易に安定して得ることができる。

【００７５】請求項２の発明に係るレンズ付き光ファイ
バによると、割りスリーブの内部に位置決めスリーブを
挟んでレンズホルダーとフェルールとを差し込むだけ
で、レンズと光ファイバとの距離が自動的に最適化さ
れ、また、位置決めスリーブの外径はレンズホルダー及
びフェルールの各外径よりも若干小さいので、割りスリ
ーブには応力が加わらない。

【００７６】請求項３の発明に係るレンズ付き光ファイ
バによると、フェルール及びレンズは割りスリーブに遊
び無く且つ安定して保持されるので、フェルールに保持
されている光ファイバとレンズの間の偏心ずれが小さく
なり、また、割りスリーブにフェルール及びレンズをそ
れぞれ差し込むだけで、フェルール及びレンズは割りス
リーブに遊び無く且つ安定して保持されるので、アライ
メントの最適化という非常に複雑な工程を経ることなく
高い結合効率を容易に安定して得ることができる。

【００７７】請求項４の発明に係るレンズ付き光ファイ
バによると、割りスリーブの内部に位置決めスリーブを
挟んでレンズとフェルールとを差し込むだけで、レンズ
と光ファイバとの距離が自動的に最適化され、また、位
置決めスリーブの外径はレンズホルダー及びフェルール
の各外径よりも若干小さいので、割りスリーブには応力
が加わらない。

【００７８】請求項５の発明に係る半導体レーザモジュ
ールによると、フェルール及びレンズホルダーは割りス
リーブに遊び無く且つ安定して保持されるので、光ファ
イバとレンズとの間の偏心ずれが小さくなり、高い結合
効率を持つ半導体レーザモジュールを容易に安定して製
造でき、また、半導体レーザとレンズとのアライメント
が完了した後、割りスリーブからフェルール及びレンズ
ホルダーをそれぞれ引き抜くだけで、光ファイバとレン
ズとを簡単に分離することができる。

【００７９】請求項６の発明に係る半導体レーザモジュ
ールによると、半導体レーザ、ベース、接合用レンズホ
ルダー、レンズホルダー、レンズ、光ファイバ、フェル
ール及び割りスリーブがパッケージ内に収納された状態
でベースを介してパッケージに固定されていると共に、
光ファイバが筒状部内にハンダにより固定されているた
め、環境変化及び衝撃に対して強くなると共にパッケー
ジ内の気密性が向上する。

【００８０】請求項７の発明に係る半導体レーザモジュ
ールによると、接合用レンズホルダーの端部をベースの
壁部の平滑部と摺接させながら光ファイバを半導体レー
ザに対して光軸方向と垂直な平面内でアライメントする
ことができると共に、レンズホルダーを接合用レンズホ
ルダーに対して軸方向へ移動させながら光ファイバを半
導体レーザに対して光軸方向にアライメントすることが
できるので、ｘ，ｙ，ｚの３方向の高精度のアライメン
トを容易にすることができる。

【００８１】請求項８の発明に係る半導体レーザモジュ
ールによると、割りスリーブの内部に位置決めスリーブ
を挟んでレンズホルダーとフェルールとを差し込むだけ
で、レンズと光ファイバとの距離が自動的に最適化で
き、また、位置決めスリーブの外径は割りスリーブの内
径よりも若干小さいので、割りスリーブには応力が加わ
らない。

【００８２】請求項９の発明に係る半導体レーザモジュ
ールの製造方法によると、光ファイバが半導体レーザに
対してアライメントされた状態を維持して、光ファイバ
と半導体レーザとを一体化することができると共に、割
りスリーブ及び位置決めスリーブを除去してから光ファ
イバと半導体レーザとを一体化するので、高精度のアラ
イメントが得られると同時に工程を簡略化でき、また、
半導体レーザモジュールのコンパクト化を図ることがで
きる。

【００８３】請求項１０の発明に係る半導体レーザモジ
ュールの製造方法によると、光ファイバが半導体レーザ
に対してアライメントされた状態を維持して、光ファイ
バと半導体レーザとを一体化することができると共に、
割りスリーブ及び位置決めスリーブを除去することなく
光ファイバと半導体レーザとを一体化するので、組立て
工程は簡易になり、また、アライメントずれに対して強
くなる。

【００８４】請求項１１の発明に係る半導体レーザモジ
ュールの製造方法によると、ｘ，ｙ，ｚの３方向のアラ
イメントを容易に行なうことができると同時に、レンズ
ホルダーとベースとの良好な接合が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の第１実施例に係るレンズ付き
光ファイバの側方断面図であり、（ｂ）は（ａ）におけ
るＩ−Ｉ線の断面図である。

【図２】（ａ）は本発明の第２実施例に係るレンズ付き
光ファイバの側方断面図であり、（ｂ）は（ａ）におけ
るII−II線の断面図である。

【図３】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第３実施例に係
る半導体レーザモジュール及びその製造方法を示す断面
図である。

【図４】（ａ）及び（ｂ）は、前記第３実施例に係る半
導体レーザモジュール及びその製造方法を示す断面図で
ある。

【図５】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第４実施例に係
る半導体レーザモジュール及びその製造方法を示す断面
図である。

【図６】前記第４実施例に係る半導体レーザモジュール
及びその製造方法を示す断面図である。

【図７】前記第４実施例に係る半導体レーザモジュール
及びその製造方法を示す断面図である。

【図８】従来の半導体レーザと光ファイバとの光結合系
の一般的な構成を示す図である。

【図９】従来のレンズ付き光ファイバの断面図である。

【図１０】レンズの光軸と光ファイバの光軸との偏心ず
れと光結合効率との関係を説明する図である。

【符号の説明】

１１非球面レンズ１２レンズホルダー１３光ファイバ１４ファイバ被覆１５フェルール１６スペーサ１７樹脂１８割りスリーブ１９Ａ，１９Ｂ位置決めスリーブ２０接合用レンズホルダー２１半導体レーザ２２ヒートシンク２３チップキャリア２４ベース２４２４ａ底部２４ｂ壁部２４ｃ平滑部２５Ａ，２５Ｂパッケージ２６ペルチェ冷却器２７アイソレータホルダー２８光アイソレータ２９フェルールホルダー３０Ａ，３０Ｂキャップ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光ファイバと、該光ファイバの先端部外
面を保持している筒状のフェルールと、光を前記光ファ
イバの入射部に集光するレンズと、該レンズの外面を保
持している筒状のレンズホルダーと、前記フェルール及
び前記レンズホルダーの外径よりも若干小さい内径を有
し一端側において前記フェルールの外面を保持している
と共に他端側において前記レンズホルダーの外面を保持
している筒状の割りスリーブとを備えていることを特徴
とするレンズ付き光ファイバ。
【請求項２】前記割りスリーブの内部における前記レ
ンズホルダーと前記フェルールとの間に前記レンズホル
ダーと前記フェルールとの距離を規制するように設けら
れ、前記フェルールの外径及び前記レンズホルダーの外
径と同じか又は若干小さい外径を有する筒状の位置決め
スリーブをさらに備えていることを特徴とする請求項１
に記載のレンズ付き光ファイバ。
【請求項３】光ファイバと、該光ファイバの先端部外
面を保持している筒状のフェルールと、光を前記光ファ
イバの入射部に集光するレンズと、前記フェルール及び
前記レンズの外径よりも若干小さい内径を有し一端側に
おいて前記フェルールの外面を保持していると共に他端
側において前記レンズの外面を保持している筒状の割り
スリーブとを備えていることを特徴とするレンズ付き光
ファイバ。
【請求項４】前記割りスリーブの内部における前記レ
ンズと前記フェルールとの間に前記レンズと前記フェル
ールとの距離を規制するように設けられ、前記フェルー
ルの外径及び前記レンズホルダーの外径と同じか又は若
干小さい外径を有する筒状の位置決めスリーブをさらに
備えていることを特徴とする請求項３に記載のレンズ付
き光ファイバ。
【請求項５】半導体レーザと、該半導体レーザを保持
しているベースと、該ベースに固定された筒状の接合用
レンズホルダーと、該接合用レンズホルダーの内面に保
持されているレンズホルダーと、該レンズホルダーの内
面に保持されており前記半導体レーザから出射されるレ
ーザ光を集光するレンズと、該レンズにより集光された
レーザ光が結合する位置に入射部を有する光ファイバ
と、該光ファイバの先端部外面を保持している筒状のフ
ェルールと、該フェルール及び前記レンズホルダーの外
径よりも若干小さい内径を有し一端側において前記フェ
ルールの外面を保持していると共に他端側において前記
レンズホルダーの外面を保持している筒状の割りスリー
ブとを備えていることを特徴とする半導体レーザモジュ
ール。
【請求項６】孔部が形成された筒状部を有するパッケ
ージをさらに備えており、前記半導体レーザ、ベース、接合用レンズホルダー、レ
ンズホルダー、レンズと、光ファイバ、フェルール及び
割りスリーブが前記パッケージ内に収納された状態で前
記ベースは前記パッケージに固定されており、前記光ファイバは前記パッケージの筒状部内に挿通され
た状態で前記孔部から流入されたハンダにより前記筒状
部に固定されていることを特徴とする請求項５に記載の
半導体レーザモジュール。
【請求項７】前記ベースは、前記半導体レーザを載置
支持する底部と、該底部に対して垂直に設けられ前記半
導体レーザから出射するレーザ光が通過する開口部を持
つ壁部と、該壁部における前記半導体レーザと反対側に
形成された平滑部とを有し、前記接合用レンズホルダーの端部は前記ベースの平滑部
に固定されていることを特徴とする請求項５に記載の半
導体レーザモジュール。
【請求項８】前記割りスリーブの内部における前記レ
ンズホルダーと前記フェルールとの間に前記レンズホル
ダーと前記フェルールとの距離を規制するように設けら
れ、前記割りスリーブの内径よりも若干小さい外径を有
する筒状のスリーブをさらに備えていることを特徴とす
る請求項５に記載の半導体レーザモジュール。
【請求項９】光ファイバと、該光ファイバの先端部外
面を保持している筒状のフェルールと、光を前記光ファ
イバの入射部に集光するレンズと、該レンズの外面を保
持している筒状のレンズホルダーと、該レンズホルダー
の外面を軸方向へ移動可能に保持している筒状の接合用
レンズホルダーと、前記フェルール及び前記レンズホル
ダーの外径よりも若干小さい内径を有し一端側において
前記フェルールの外面を保持していると共に他端側にお
いて前記レンズホルダーの外面を保持している筒状の割
りスリーブと、該割りスリーブの内部における前記レン
ズホルダーと前記フェルールとの間に前記レンズホルダ
ーと前記フェルールとの距離を規制するように設けられ
前記フェルールの外径及び前記レンズホルダーの外径と
同じか又は若干小さい外径を持つ筒状の位置決めスリー
ブとを有するレンズ付き光ファイバを設けると共に、半
導体レーザをベースに固定する第１の工程と、前記半導体レーザから前記光ファイバの入射部にレーザ
光を出射させ、出射したレーザ光の前記光ファイバの入
射部における光結合効率が最大になるように前記レンズ
付き光ファイバの前記半導体レーザに対するアライメン
トを調整する第２の工程と、前記レンズホルダーを前記接合用レンズホルダーに固定
すると共に前記接合用レンズホルダーを前記ベースに固
定した後、前記レンズ付き光ファイバから前記割りスリ
ーブ、位置決めスリーブ及び光ファイバを除去する第３
の工程とを備えていることを特徴とする半導体レーザモ
ジュールの製造方法。
【請求項１０】光ファイバと、該光ファイバの先端部
外面を保持している筒状のフェルールと、光を前記光フ
ァイバの入射部に集光するレンズと、該レンズの外面を
保持している筒状のレンズホルダーと、該レンズホルダ
ーの外面を軸方向へ移動可能に保持している筒状の接合
用レンズホルダーと、前記フェルール及び前記レンズホ
ルダーの外径よりも若干小さい内径を有し一端側におい
て前記フェルールの外面を保持していると共に他端側に
おいて前記レンズホルダーの外面を保持している筒状の
割りスリーブと、該割りスリーブの内部における前記レ
ンズホルダーと前記フェルールとの間に前記レンズホル
ダーと前記フェルールとの距離を規制するように設けら
れ前記フェルールの外径及び前記レンズホルダーの外径
と同じか又は若干小さい外径を持つ筒状の位置決めスリ
ーブとを有するレンズ付き光ファイバを設けると共に、
半導体レーザをベースに固定する第１の工程と、前記半導体レーザから前記光ファイバの入射部にレーザ
光を出射させ、出射したレーザ光の前記光ファイバの入
射部における光結合効率が最大になるように前記レンズ
付き光ファイバの前記半導体レーザに対するアライメン
トを調整する第２の工程と、前記レンズホルダーを前記接合用レンズホルダーに固定
すると共に前記接合用レンズホルダーを前記ベースに固
定する第３の工程とを備えていることを特徴とする半導
体レーザモジュールの製造方法。
【請求項１１】前記第１の工程におけるベースは、前
記半導体レーザを載置支持する底部と、該底部に対して
垂直に設けられ前記半導体レーザから出射するレーザ光
が通過する開口部を持つ壁部と、該壁部における前記半
導体レーザと反対側に形成された平滑部とを有し、前記第２の工程は、前記接合用レンズホルダーの端部を
前記ベースの平滑部と摺接させながら前記光ファイバを
前記半導体レーザに対して光軸方向と垂直な平面内でア
ライメントすると共に、前記レンズホルダーを前記接合
用レンズホルダーに対して軸方向へ移動させながら前記
光ファイバを前記半導体レーザに対して光軸方向にアラ
イメントを調整する工程を有していることを特徴とする
請求項９又は１０に記載の半導体レーザモジュールの製
造方法。