JPH08249044A - 生産制御装置 - Google Patents

生産制御装置

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JPH08249044A
JPH08249044A JP7965995A JP7965995A JPH08249044A JP H08249044 A JPH08249044 A JP H08249044A JP 7965995 A JP7965995 A JP 7965995A JP 7965995 A JP7965995 A JP 7965995A JP H08249044 A JPH08249044 A JP H08249044A
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Hisahiro Okumura
寿浩 奥村
Masato Takahashi
政人 高橋
Junji Ikeda
純二 池田
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    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing

Abstract

(57)【要約】 【目的】実際の作業進捗情報と着手ジョブの算出結果と
を一致させること。 【構成】半導体製造工場20は, 製造装置19a 〜19d とそ
れぞれの製造装置19a 〜19d を繋ぐ搬送路18a 〜18c か
ら成り, 各製造装置19a 〜19d の作業進捗情報はロット
進行・サブシステム17に出力され, また, 各製造装置19
a 〜19d の制御信号はロット進行・サブシステム17から
入力される。生産制御装置100 は, ロット進行・サブシ
ステム17とのデータの入出力を行う入出力インターフェ
イス1,制御プログラムが記憶されたROM4, 入出力インタ
ーフェイス1 から入力された時々刻々の作業進捗情報や
生産計画等が記憶され、書き換え可能なRAM3,RAM3に記
憶されたデータを用いてROM4に記憶されたプログラムに
基づき, 作業計画を作成し,着手ジョブの算出を行う演
算処理装置2 から構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の作業工程を経て
製品の製造を行うための製造工程に適用される生産制御
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、製造工程に適用される生産制御装
置に関するものとして、例えば、特開平4−27045
9号公報などに記載されるものがある。図5に示される
ように、特開平4−270459号公報に開示されてい
る生産制御装置200は、生産状況受信手段51、ジョ
ブ優先度算出手段52、着手ジョブ算出手段53及び着
手ジョブ算出結果送信手段54から構成される。
【0003】この装置200では、まず、生産状況受信
手段51において、生産計画55、作業進捗情報56、
設備稼働情報57及び設備稼働履歴情報58を受信す
る。次に、生産計画55や作業進捗情報56などの生産
状況データや基礎情報59を基に、ジョブ優先度算出手
段52にて、生産システム全体の設備稼働状況やジョブ
の進捗状況などを考慮して、各時点の生産状況に応じた
ジョブ優先度60を動的に更新する。さらに、着手ジョ
ブ算出手段53にて、生産システム内のある設備で処理
が終了し、設備が空いた時点で、その優先度と設備での
処理効率を考慮して、次にその設備で処理すべき着手ジ
ョブ61を決定するというものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記に
示される開示技術などでは、通常、作業進捗情報56の
収集や、ジョブ優先度60の算出にある程度の時間を必
要とするために、特に取り扱うデータの量が多い場合に
は、ジョブ優先度60の算出中に対象の処理が開始さ
れ、さらに、終了してしまうと、実際の作業進捗状況と
ジョブ優先度60の算出結果とに差異が生じるという問
題がある。
【0005】従って、本発明の目的は、ジョブ優先度を
算出中に、対象の処理が開始され、さらに終了してしま
った場合において、実際の作業進捗状況とジョブ優先度
の算出結果とが一致する生産制御装置を提供することで
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明の構成は、作業工程の工程順序及び工程内容
を記述した工程フローを記憶する記憶装置と、工程フロ
ーを基にロットの進行管理及び各種装置の制御を行うロ
ット進行・制御サブシステムとを用い、複数の作業工程
を経て複数の製品を形成する生産制御装置であって、作
業計画に基づき、着手ジョブを算出し、各種装置に該着
手ジョブを指示する着手ジョブ算出手段と、その着手ジ
ョブ算出手段により算出された着手ジョブの進捗状況に
応じて、工程の作業進捗情報を更新する作業進捗情報更
新手段と、その作業進捗情報更新手段による作業進捗情
報の更新を停止するための更新停止信号を出力する更新
停止通知手段と、作業進捗情報を収集する作業進捗情報
収集手段と、その収集された作業進捗情報と生産計画と
から作業計画を作成する作業計画生成手段とを備えたこ
とを特徴とする。
【0007】また、第二の発明の構成は、着手ジョブ算
出手段は、着手ジョブの算出を一定時間間隔で行い、所
定時間後に作業進捗情報更新手段に対し着手ジョブを出
力することを特徴とする。
【0008】第三の発明の構成は、更新停止通知手段に
よる更新停止信号の出力によって、作業進捗情報更新手
段が作業進捗情報の更新を停止した後に、作業進捗情報
収集手段は作業進捗情報を収集することを特徴とする。
【0009】第四の発明の構成は、更新停止通知手段に
よる更新停止信号の出力は、所定の時間間隔で行われる
ことを特徴とする。
【0010】第五の発明の構成は、生産制御装置は、さ
らに、作業進捗情報の更新の停止の通知を予告する更新
停止予告手段を備えたことを特徴とする。
【0011】第六の発明の構成は、更新停止予告手段
は、着手ジョブ算出手段による新たな着手ジョブの算出
の開始を停止することを特徴とする。
【0012】第七の発明の構成は、更新停止予告手段
は、更新停止通知手段による更新停止信号の出力の1分
乃至15分前に予告を行うことを特徴とする。
【0013】第八の発明の構成は、着手ジョブ算出手段
は、更新停止予告手段より作業進捗情報の更新の停止の
通知を予告されるまでは、着手ジョブの計算を一定時間
間隔で行い、所定の時間後に作業進捗情報更新手段に着
手ジョブを通知し、着手ジョブの計算終了前に作業進捗
情報の更新停止の通知が予告された場合には、そのまま
計算を続行し、その計算結果を作業進捗情報更新手段に
通知し、作業進捗情報の更新停止の通知が予告された時
刻以降には新たに着手ジョブの計算を行わないことを特
徴とする。
【0014】第九の発明の構成は、作業進捗情報更新手
段は、更新停止予告手段より作業進捗情報の更新の停止
の通知が予告されても、作業進捗情報の更新を継続し、
更新停止通知手段より更新停止信号が出力された以降に
作業進捗情報の更新を停止することを特徴とする。
【0015】
【作用及び効果】上記構成から成る本発明の第一の作用
は、作業工程の工程順序及び工程内容を記述した工程フ
ローを記憶する記憶装置と、工程フローを基にロットの
進行管理及び各種装置の制御を行うロット進行・制御サ
ブシステムとを用い、複数の作業工程を経て複数の製品
を形成する生産制御装置であって、作業計画に基づき、
着手ジョブを算出し、各種装置に該着手ジョブを指示す
る着手ジョブ算出手段と、その着手ジョブ算出手段によ
り算出された着手ジョブの進捗状況に応じて、工程の作
業進捗情報を更新する作業進捗情報更新手段と、その作
業進捗情報更新手段による作業進捗情報の更新を停止す
るための更新停止信号を出力する更新停止通知手段と、
作業進捗情報を収集する作業進捗情報収集手段と、その
収集された作業進捗情報と生産計画とから作業計画を作
成する作業計画生成手段とを備えたことであり、その効
果は、更新停止通知手段により作業計画生成手段の作業
計画を作成中において、更新停止通知手段により作業進
捗情報の更新を停止させることができ、新たに計算され
た作業計画と実際の作業進捗情報との間の食い違いの発
生を防止することができる。(請求項1)
【0016】また、第二の作用は、着手ジョブ算出手段
は、着手ジョブの算出を一定時間間隔で行い、所定時間
後に作業進捗情報更新手段に対し着手ジョブを出力する
ことであり、その効果は、着手ジョブの算出にムラがな
く、安定した出力を行うことができる。(請求項2)
【0017】第三の作用は、更新停止通知手段による更
新停止信号の出力によって、作業進捗情報更新手段が作
業進捗情報の更新を停止した後に、作業進捗情報収集手
段は作業進捗情報を収集することであり、その効果は、
収集時の作業進捗情報と実際の進捗情報とに差異を生じ
ることがない。(請求項3)
【0018】第四の作用は、更新停止通知手段による更
新停止信号の出力は、所定の時間間隔で行われることで
あり、その効果は、作業進捗情報の更新の停止をムラな
く行うことができる。(請求項4)
【0019】第五の作用は、生産制御装置は、さらに、
作業進捗情報の更新の停止の通知を予告する更新停止予
告手段を備えたこと、その効果は、作業進捗情報の更新
停止の予告により、より円滑な作業進捗情報の更新を行
うことができる。(請求項5)
【0020】第六の作用は、更新停止予告手段は、着手
ジョブ算出手段による新たな着手ジョブの算出の開始を
停止することであり、その効果は、作業進捗情報の更新
停止の予告を容易に行うことができる。(請求項6)
【0021】第七の作用は、更新停止予告手段は、更新
停止通知手段による更新停止信号の出力の1分乃至15
分前に予告を行うことであり、その効果は、更新停止の
予告から更新停止通知までの間に着手ジョブの算出を完
了させることができ、より効果的である。(請求項7)
【0022】第八の作用は、着手ジョブ算出手段は、更
新停止予告手段より作業進捗情報の更新の停止の通知を
予告されるまでは、着手ジョブの計算を一定時間間隔で
行い、所定の時間後に作業進捗情報更新手段に着手ジョ
ブを通知し、着手ジョブの計算終了前に作業進捗情報の
更新停止の通知が予告された場合には、そのまま計算を
続行し、その計算結果を作業進捗情報更新手段に通知
し、作業進捗情報の更新停止の通知が予告された時刻以
降には新たに着手ジョブの計算を行わないことであり、
その効果は、着手ジョブの算出後に作業進捗情報の更新
が停止し、その更新が行われないという状況を防止する
ことができる。(請求項8)
【0023】第九の作用は、作業進捗情報更新手段は、
更新停止予告手段より作業進捗情報の更新の停止の通知
が予告されても、作業進捗情報の更新を継続し、更新停
止通知手段より更新停止信号が出力された以降に作業進
捗情報の更新を停止することであり、その効果は、更新
中の作業進捗情報を更新した後に、更新の停止を行うこ
とができ、作業進捗情報の更新を途中で終わらせること
なく、確実に行うことができる。(請求項9)
【0024】
【実施例】本発明者等は、上記課題に対して、鋭意研究
を重ねてきた。その結果、作業計画を起動するに先立っ
て、作業進捗情報収集手段により作業進捗情報を収集す
る前に、作業進捗情報更新手段に対して作業進捗情報の
更新の停止を通知することで、実際の作業進捗状況とジ
ョブ優先度算出結果とが一致するということを明らかに
することができた。以下、本発明を具体的な実施例に基
づいて説明する。
【0025】図1は、本発明の第一実施例における生産
制御装置100のハードウェア構成並びに生産制御装置
100と半導体製造工場との関係を示した構成図であ
る。半導体製造工場20は、製造装置19a〜19dと
それぞれの製造装置19a〜19dを繋ぐ搬送路18a
〜18cから成り、各製造装置19a〜19dの作業進
捗情報はロット進行・制御サブシステム17に出力さ
れ、また、各製造装置19a〜19dの制御信号はロッ
ト進行・制御サブシステム17から入力される。
【0026】生産制御装置100は、ロット進行・制御
サブシステム17とのデータの入出力を行う入出力イン
ターフェイス1と、制御プログラムが記憶されたROM
4と、入出力インターフェイス1から入力された時々刻
々の作業進捗情報や生産計画等が記憶され、書き換え可
能なRAM3と、RAM3に記憶されたデータを用い
て、ROM4に記憶されたプログラムに基づいて、作業
計画を作成し、着手ジョブの算出を行う演算処理装置2
とから構成される。
【0027】次に、生産制御装置100内におけるRA
M3と演算処理装置2の詳細について図2を用いて説明
する。演算処理装置2は、着手ジョブを算出し、各製造
装置19a〜19dに対してジョブの着手を指示すると
共に、作業進捗情報更新部15にジョブの着手を通知す
る着手ジョブ算出部11(着手ジョブ算出手段に相当)
と、着手ジョブ算出部11により算出された着手ジョブ
の進捗状況に応じて工程作業進捗情報を更新する作業進
捗情報更新部15(作業進捗情報更新手段に相当)と、
工程作業進捗情報の更新の停止を通知する更新停止通知
部12(更新停止通知手段に相当)と、工程作業進捗情
報31を収集する作業進捗情報収集部14(作業進捗情
報収集手段に相当)と、作業進捗情報収集部14にて収
集された全体作業進捗情報と生産計画とにより作業計画
を作成する作業計画生成部16(作業計画生成手段に相
当)と、更新停止の1分乃至15分前に更新停止の予告
を着手ジョブ算出部11に通知する更新停止予告部13
(更新停止予告手段に相当)とから構成される。
【0028】また、RAM3は、各工程作業の時々刻々
の進捗情報を記憶する工程作業進捗情報記憶部31と、
作業進捗情報収集部14にて収集された全体の作業進捗
情報を記憶する全体作業進捗情報記憶部32と、作業工
程の工程順序及び工程内容を記述した工程フローを記憶
する工程フロー記憶部33と、予め定められた生産計画
を記憶する生産計画記憶部34と、作業計画生成部16
にて作成された作業計画を記憶する作業計画記憶部35
とから構成される。上記のうち、工程作業進捗情報記憶
部31に記憶される作業進捗状況のデータ及び生産計画
記憶部34に記憶される生産計画データは、それぞれ図
4(a)、(b)に示されるような構成である。
【0029】上記構成から成る生産制御装置100の処
理手順について図3のフローチャートを用いて説明す
る。まず、着手ジョブ算出部11にて着手ジョブの算出
を行い(ステップ210)、更新停止予告部13からの
更新停止予告信号があればステップ220にてYESと
判定し、ステップ230に進み、新たな着手ジョブの算
出の開始を停止する尚、本実施例では、この更新停止予
告信号は更新停止の通知の5分前に出力される構成とし
た。
【0030】着手ジョブ算出部11は、この着手ジョブ
算出開始の停止の後、更新停止予告信号の受信する以前
に算出を開始していた着手ジョブの算出結果をロット進
行・制御サブシステム17に通知すると共に、着手ジョ
ブ算出部11は作業進捗情報更新部15に算出された着
手ジョブを通知する(ステップ240)。着手ジョブが
通知されると、ロット進行・制御サブシステム17は各
製造装置19a〜19dに着手ジョブの開始を指示する
(ステップ250)。
【0031】続いて、作業進捗情報更新部15では、工
程作業進捗情報記憶部31に記憶された作業進捗情報を
更新する(ステップ260)。この作業進捗情報の更新
の後、更新停止通知部12からの更新停止信号がある場
合にはステップ270にてYESと判定され、ステップ
280に進み、作業進捗情報更新部15では、作業進捗
情報の更新を停止する。作業進捗情報の更新の停止の
後、作業進捗情報収集部14では作業進捗情報を収集す
る(ステップ290)。
【0032】この後、上記の更新された作業進捗情報に
基づいて作業計画生成部16にて作業計画を作成し(ス
テップ300)、着手ジョブ算出部11に作業計画を出
力し(ステップ310)、ステップ210に戻り、着手
ジョブの算出を行い、以下同様の処理を行う。上記のス
テップ220において、更新停止予告部13からの更新
停止予告信号がない場合には、NOと判定され、ステッ
プ240に進み、また、ステップ270において、更新
停止通知部12からの更新停止信号がない場合には、N
Oと判定され、ステップ290に進む。
【0033】上記のなかで、着手ジョブ算出部11は、
更新停止予告部13からの更新停止予告信号が通知され
るまで、着手ジョブの算出を一定時間間隔で行い、所定
の時間後に作業進捗情報更新部15に着手ジョブを通知
するものとする。また、ステップ230において、新た
な着手ジョブの算出の開始を停止する際には、まだ着手
ジョブ算出部11が着手ジョブの計算の途中である場合
には、そのまま計算を継続することとする。
【0034】尚、作業進捗情報の更新の停止が行われな
い通常の場合は、まず、ステップ210で着手ジョブの
算出後、更新停止通知部12からの更新停止信号がない
ためステップ220においてNOと判定し、ステップ2
40に進む。続いて、着手ジョブをロット進行・制御サ
ブシステム17及び作業進捗情報更新部15に通知し
(ステップ240)、着手ジョブの開始をロット進行・
制御サブシステム17は各製造装置19a〜19dに着
手ジョブの開始を指示する(ステップ250)。着手ジ
ョブの開始の指示の後、作業進捗情報更新部15にて作
業進捗情報の更新を行い(ステップ260)、作業進捗
情報の収集(ステップ290)、作業計画の算出(ステ
ップ300)、作業計画の通知(ステップ310)と順
次行われる。
【0035】上記に示されるように、本実施例では作業
進捗情報収集部14が動作を開始してから作業計画が着
手ジョブ算出部11に通知されるまでの間は、作業進捗
情報更新部15の動作が停止するので、作業計画生成部
16にて作業計画を作成中に作業進捗情報が更新される
ことがなく、新たに計算された作業計画と実際の作業進
捗情報との間の食い違いの発生を防止することができ
る。
【0036】また、更新停止予告部13より更新停止予
告が通知された以降は、着手ジョブ算出部11は新たな
着手ジョブの算出の開始を停止し、作業進捗情報更新部
15は作動を継続させると共に、更新停止予告の通知か
ら更新停止の通知までの間に着手ジョブの算出を完了さ
せるようにセットすることにより、実際の進捗状況と作
業進捗情報との間の食い違いの発生を防止することがで
きる。
【0037】即ち、更新停止予告部13を備えていない
場合には、更新停止通知部12からの更新停止の通知に
より、着手ジョブ算出部11が停止するが、更新停止の
通知の前に着手ジョブの算出を開始していて、着手ジョ
ブの算出が未完了である場合には、更新停止の通知の到
着後に算出された着手ジョブがロット進行・制御サブシ
ステム17と作業進捗情報更新部15に通知される。こ
の場合、作業進捗情報更新部15は停止していて、該ロ
ットの作業進捗情報の更新は実施されないが、ロット進
行・制御サブシステム17は停止しないために該ロット
の着手ジョブは実際に実施されるために、実際の作業進
捗状況と作業進捗情報との間に食い違いを発生するとい
う問題があったが、上記構成とすることにより、実際の
作業進捗状況と作業進捗情報とを一致させることができ
る。
【0038】尚、本実施例では、更新停止予告部13に
よる更新停止予告信号の出力は、更新停止通知部12に
よる更新停止通知の5分前に行う構成としたが、本発明
ではこれに限定されるものではなく、更新停止の予告通
知と更新停止通知との間隔は、着手ジョブの算出が完了
できる程度の間隔であればよく、例えば、1分乃至15
分前でもよい。
【0039】本実施例では、半導体製造工場20を複数
の製造装置19a〜19dと複数の搬送路18a〜18
cとから構成したが、その製造装置の台数及び搬送路の
本数はこれに限定されるものではない。また、本実施例
では、生産制御装置100の適用対象を半導体製造工場
20としたが、本発明はこれに限定されるものではな
く、液晶ディスプレイ等の製造工場を適用対象としても
よい。
【0040】上記に示されるように、本発明によれば、
作業進捗情報収集手段の動作の開始時から作業計画生成
手段が作業計画を着手ジョブ算出手段に対して通知する
までの間、作業進捗情報更新手段の動作を停止させるこ
とにより、作業計画生成手段にて作業計画を作成中に作
業進捗情報が更新されることがなく、新たに計算された
作業計画と実際の作業進捗情報との間の食い違いの発生
を防止することができる。また、更新停止予告手段より
更新停止予告が通知された以降は、着手ジョブ算出手段
は新たな着手ジョブの算出の開始を停止し、作業進捗情
報更新手段は作動を継続させると共に、更新停止予告の
通知から更新停止の通知までの間に着手ジョブの算出を
完了させるようにセットすることにより、実際の進捗状
況と作業進捗情報との間の食い違いの発生を防止するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる第一実施例のハードウェアの構
成を示した構造図。
【図2】本発明に係わる第一実施例の生産制御装置の詳
細を示した模式図。
【図3】本発明に係わる第一実施例の作業計画作成時の
処理の流れを示したフローチャート。
【図4】本発明に係わる第一実施例で用いられる作業進
捗情報を表すデータ(a)と生産計画を表すデータ
(b)の構成を示した模式図。
【図5】従来の生産制御装置の構成を示した構成図。
【符号の説明】
1 入出力インターフェイス 2 演算処理装置 3 RAM 4 ROM 11 着手ジョブ算出部 12 更新停止通知部 13 更新停止予告部 14 作業進捗情報収集部 15 作業進捗情報収集部 16 作業計画生成部 17 ロット進行・制御サブシステム 20 半導体製造工場 31 工程作業進捗情報記憶 32 全体作業進捗情報記憶部 33 工程フロー記憶部 34 生産計画記憶部 35 作業計画記憶部 100 生産制御装置

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】作業工程の工程順序及び工程内容を記述し
    た工程フローを記憶する記憶装置と、前記工程フローを
    基にロットの進行管理及び各種装置の制御を行うロット
    進行・制御サブシステムとを用い、複数の作業工程を経
    て複数の製品を形成する生産制御装置であって、 作業計画に基づき、着手ジョブを算出し、前記各種装置
    に該着手ジョブを指示する着手ジョブ算出手段と、 前記着手ジョブ算出手段により算出された前記着手ジョ
    ブの進捗状況に応じて、前記工程の作業進捗情報を更新
    する作業進捗情報更新手段と、 前記作業進捗情報更新手段による前記作業進捗情報の更
    新を停止するための更新停止信号を出力する更新停止通
    知手段と、 前記作業進捗情報を収集する作業進捗情報収集手段と、 前記収集された前記作業進捗情報と生産計画とから前記
    作業計画を作成する作業計画生成手段とを備えたことを
    特徴とする生産制御装置。
  2. 【請求項2】前記着手ジョブ算出手段は、前記着手ジョ
    ブの算出を一定時間間隔で行い、所定時間後に前記作業
    進捗情報更新手段に対し前記着手ジョブを出力すること
    を特徴とする請求項1に記載の生産制御装置。
  3. 【請求項3】前記更新停止通知手段による前記更新停止
    信号の出力によって、前記作業進捗情報更新手段が前記
    作業進捗情報の更新を停止した後に、前記作業進捗情報
    収集手段は前記作業進捗情報を収集することを特徴とす
    る請求項1に記載の生産制御装置。
  4. 【請求項4】前記更新停止通知手段による前記更新停止
    信号の出力は、所定の時間間隔で行われることを特徴と
    する請求項1に記載の生産制御装置。
  5. 【請求項5】前記生産制御装置は、さらに、 前記作業進捗情報の更新の停止の通知を予告する更新停
    止予告手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の
    生産制御装置。
  6. 【請求項6】前記更新停止予告手段は、前記着手ジョブ
    算出手段による新たな前記着手ジョブの算出の開始を停
    止することを特徴とする請求項5に記載の生産制御装
    置。
  7. 【請求項7】前記更新停止予告手段は、前記更新停止通
    知手段による前記更新停止信号の出力の1分乃至15分
    前に予告を行うことを特徴とする請求項5に記載の生産
    制御装置。
  8. 【請求項8】前記着手ジョブ算出手段は、 前記更新停止予告手段より前記作業進捗情報の更新の停
    止の通知を予告されるまでは、前記着手ジョブの計算を
    一定時間間隔で行い、所定の時間後に前記作業進捗情報
    更新手段に前記着手ジョブを通知し、 前記着手ジョブの計算終了前に前記作業進捗情報の更新
    停止の通知が予告された場合には、そのまま計算を続行
    し、その計算結果を前記作業進捗情報更新手段に通知
    し、 前記作業進捗情報の更新停止の通知が予告された時刻以
    降には新たに前記着手ジョブの計算を行わないことを特
    徴とする請求項5に記載の生産制御装置。
  9. 【請求項9】前記作業進捗情報更新手段は、 前記更新停止予告手段より前記作業進捗情報の更新の停
    止の通知が予告されても、前記作業進捗情報の更新を継
    続し、 前記更新停止通知手段より前記更新停止信号が出力され
    た以降に前記作業進捗情報の更新を停止することを特徴
    とする請求項5に記載の生産制御装置。
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