JPH1031697A

JPH1031697A - 製品の製造方法および生産管理システム

Info

Publication number: JPH1031697A
Application number: JP18572796A
Authority: JP
Inventors: Shoichiro Fujiwara; 正一郎藤原; Jun Nakazato; 純中里
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-07-16
Filing date: 1996-07-16
Publication date: 1998-02-03

Abstract

(57)【要約】【課題】本課題は、薄膜プロセス製品等の製品を能率よ
く、しかも製作期間全体（工完）を短縮して製造するこ
とができるようにした製品の製造方法および生産管理シ
ステムを提供することにある。【解決手段】本発明は、製造ラインを構成する多数の製
造設備からなる多数の製造工程によって製品を製造する
製品の製造方法において、前記多数の製造工程を工程順
に製品の目標の製作期間に対するタイムバケットサイズ
で区切って複数の管理群として纏め、この纏められた管
理群を単位としてこの管理群を構成する製造工程につい
て着工可能な製造設備に対して決められた時間周期に従
って割り付けを行う生産管理システムを用い、この生産
管理システムから得られる割り付け結果に基づいて多数
の製造設備の各々に対して被処理物を投入して処理して
製品を製造することを特徴とする製品の製造方法であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスや
薄膜磁気ヘッド等の薄膜プロセス製品を製造するための
製品の製造方法および生産管理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスや薄膜磁気ヘッド等の薄
膜プロセス製品は、全体で数１００程度の多数の製造工
程を有している。ところで、特開昭６３−５７１５８号
には、多品種製品のフレキシブルな量産ライン化を実現
するための順序決定機能を持つシステムについて記載さ
れている。この従来の技術では、半導体のウェハ工程の
投入から完成までをサークルに沿って流すという制御方
式をとっており、（１）各層の流れを同じ流れのフロー
でパターン化する。（２）このサークルの投入順序は、
品種の生産比率に応じて決定する。という２点が特徴で
ある。さらに、各設備群は同一工程を複数台で着工でき
るようになっており、故障時及び仕掛かり量が多い時に
他の同種の設備を稼働させるようなっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術にて記述
してある薄膜プロセス製品のように同一設備で複数工程
を着工し、多品種少量生産するようなプロセスにおいて
は製品の流れがつかめず、処理時間の何倍もの工完を要
していた。

【０００４】本発明の目的は、上記課題を解決すべく、
薄膜プロセス製品等の製品を能率よく、しかも製作期間
全体（工完）を短縮して製造することができるようにし
た製品の製造方法および生産管理システムを提供するこ
とにある。また本発明の他の目的は、薄膜プロセス製品
等の製品を能率よく、しかも製作期間全体（工完）を短
縮し、高歩留まりで製造することができるようにした製
品の製造方法および生産管理システムを提供することに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、製造ラインを構成する多数の製造設備か
らなる多数の製造工程によって製品を製造する製品の製
造方法において、前記多数の製造工程を工程順に製品の
目標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区切っ
て複数の管理群として纏め、この纏められた管理群を単
位としてこの管理群を構成する製造工程について着工可
能な製造設備に対して割り付けを行う生産管理システム
を用い、この生産管理システムから得られる割り付け結
果に基づいて多数の製造設備の各々に対して被処理物を
投入して処理して製品を製造することを特徴とする製品
の製造方法である。また本発明は、製造ラインを構成す
る多数の製造設備からなる多数の製造工程によって製品
を製造する製品の製造方法において、前記多数の製造工
程を工程順に製品の目標の製作期間に対するタイムバケ
ットサイズで区切って複数の管理群として纏め、この纏
められた管理群を単位としてこの管理群を構成する製造
工程について着工可能な製造設備に対して決められた時
間周期に従って割り付けを行う生産管理システムを用
い、この生産管理システムから得られる割り付け結果に
基づいて多数の製造設備の各々に対して被処理物を投入
して処理して製品を製造することを特徴とする製品の製
造方法である。

【０００６】また本発明は、製造ラインを構成する多数
の製造設備からなる多数の製造工程によって製品を製造
する製品の製造方法において、前記多数の製造工程を工
程順に製品の目標の製作期間に対するタイムバケットサ
イズで区切って複数の管理群として纏め、この纏められ
た管理群を単位としてこの管理群を構成する製造工程に
ついて着工可能な製造設備に対して割り付けを行い、前
記製造ラインにおける被処理物の進捗情報を収集する生
産管理システムを用い、この生産管理システムから得ら
れる割り付け結果と収集された被処理物の進捗情報とに
基づいて多数の製造設備の各々に対して被処理物を投入
して処理して製品を製造することを特徴とする製品の製
造方法。また本発明は、製造ラインを構成する多数の製
造設備からなる多数の製造工程によって製品を製造する
製品の製造方法において、前記多数の製造工程を工程順
に製品の目標の製作期間に対するタイムバケットサイズ
で区切って複数の管理群として纏め、この纏められた管
理群を単位としてこの管理群を構成する製造工程につい
て着工可能な製造設備に対して決められた時間周期に従
って割り付けを行い、前記製造ラインにおける被処理物
の進捗情報を収集する生産管理システムを用い、この生
産管理システムから得られる割り付け結果と収集された
被処理物の進捗情報とに基づいて多数の製造設備の各々
に対して被処理物を投入して処理して製品を製造するこ
とを特徴とする製品の製造方法である。

【０００７】また本発明は、製造ラインを構成する多数
の製造設備からなる多数の製造工程によって製品を製造
する製品の製造方法において、前記多数の製造工程を工
程順に製品の目標の製作期間に対するタイムバケットサ
イズで区切って複数の管理群として纏め、この纏められ
た管理群を単位としてこの管理群を構成する製造工程に
ついて着工可能な製造設備に対して割り付けを行い、前
記製造ラインにおける被処理物の進捗情報を収集し、こ
の収集された被処理物の進捗情報に基づいて前記割り付
けを修正する生産管理システムを用い、この生産管理シ
ステムから修正して得られる割り付け結果に基づいて多
数の製造設備の各々に対して被処理物を投入して処理し
て製品を製造することを特徴とする製品の製造方法であ
る。また本発明は、製造ラインを構成する多数の製造設
備からなる多数の製造工程によって製品を製造する製品
の製造方法において、前記多数の製造工程を工程順に製
品の目標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区
切って複数の管理群として纏め、この纏められた管理群
を単位としてこの管理群を構成する製造工程について着
工可能な製造設備に対して決められた時間周期に従って
割り付けを行い、前記製造ラインにおける被処理物の進
捗情報を収集し、この収集された被処理物の進捗情報に
基づいて前記割り付けを修正する生産管理システムを用
い、この生産管理システムから修正して得られる割り付
け結果に基づいて多数の製造設備の各々に対して被処理
物を投入して処理して製品を製造することを特徴とする
製品の製造方法である。

【０００８】また本発明は、製造ラインを構成する多数
の製造設備からなる多数の製造工程によって製品を製造
する製品の製造方法において、前記多数の製造工程を工
程順に製品の目標の製作期間に対するタイムバケットサ
イズで区切って複数の管理群として纏め、この纏められ
た管理群を単位としてこの管理群を構成する製造工程に
ついて着工可能な製造設備に対して割り付けを行い、所
定の製造工程から被処理物または製品の品質情報を収集
する生産管理システムを用い、この生産管理システムか
ら得られる割り付け結果に基づいて多数の製造設備の各
々に対して被処理物を投入して処理し、前記生産管理シ
ステムから得られる所定の製造工程からの被処理物また
は製品の品質情報に基づいて所望の製造設備による製造
条件を制御して製品を製造することを特徴とする製品の
製造方法である。また本発明は、製造ラインを構成する
多数の製造設備からなる多数の製造工程によって製品を
製造する製品の製造方法において、前記多数の製造工程
を工程順に製品の目標の製作期間に対するタイムバケッ
トサイズで区切って複数の管理群として纏め、この纏め
られた管理群を単位としてこの管理群を構成する製造工
程について着工可能な製造設備に対して決められた時間
周期に従って割り付けを行い、所定の製造工程から被処
理物または製品の品質情報を収集する生産管理システム
を用い、この生産管理システムから得られる割り付け結
果に基づいて多数の製造設備の各々に対して被処理物を
投入して処理し、前記生産管理システムから得られる所
定の製造工程からの被処理物または製品の品質情報に基
づいて所望の製造設備による製造条件を制御して製品を
製造することを特徴とする製品の製造方法である。

【０００９】また本発明は、前記製品の製造方法におい
て、前記製品は薄膜プロセス製品で形成することを特徴
とする。また本発明は、製造ラインを構成する多数の製
造設備からなる多数の製造工程によって製品を製造する
際、前記多数の製造工程を工程順に製品の目標の製作期
間に対するタイムバケットサイズで区切って複数の管理
群として纏め、この纏められた管理群を単位としてこの
管理群を構成する製造工程について着工可能な製造設備
に対して割り付けを行うことを特徴とする生産管理シス
テムである。また本発明は、製造ラインを構成する多数
の製造設備からなる多数の製造工程によって製品を製造
する際、前記多数の製造工程を工程順に製品の目標の製
作期間に対するタイムバケットサイズで区切って複数の
管理群として纏め、この纏められた管理群を単位として
この管理群を構成する製造工程について着工可能な製造
設備に対して決められた時間周期に従って割り付けを行
うことを特徴とする生産管理システムである。

【００１０】また本発明は、前記生産管理システムにお
いて、前記製造ラインにおける被処理物の進捗情報を収
集することを特徴とする。また本発明は、前記生産管理
システムにおいて、所定の製造工程から被処理物または
製品の品質情報を収集することを特徴とする。また本発
明は、複数の製品を同時に製造しており、かつ一つの製
品を完成させるまでに多数の製造工程で処理が行われる
製造ラインにおいて、予定された製作期間（工完）と製
造ラインの稼働状態（１日の稼働時間等）とを用いて、
被処理物の工程フローにおいて処理時間（タイムバケッ
トサイズ）が等しくなるようにいくつかの管理群にまと
め、そのまとめられた管理群の各製造工程をそれが着工
可能な製造設備に対して決められた時間周期に従って割
り付けを行う生産管理システムを用い、この生産管理シ
ステムから得られる割り付け結果に基づいて製造ライン
により製造することを特徴する。また本発明は、複数の
製品を同時に生産しており、かつ一つの製品を完成させ
るまでに多数の製造工程で処理が行われる製造ラインに
おいて、目標となる製作期間（工完）と製造ラインの稼
働状態（１日の稼働時間等）とを用いて、被処理物の工
程フローにおいて処理時間（タイムバケットサイズ）が
等しくなるようにいくつかの管理群にまとめるという流
れの情報と製造ラインにおける被処理物の進捗情報とを
収集する生産管理システムを用い、この生産管理システ
ムから得られる流れの情報と前記進捗情報とに基づいて
製造工程への被処理物の投入（着工）を制御することを
特徴とする。

【００１１】また本発明は、複数の製品を同時に生産し
ており、かつ一つの製品を完成させるまでに多数の製造
工程で処理が行われる製造ラインにおいて、目標となる
製作期間（工完）と製造ラインの稼働状態（１日の稼働
時間等）とを用いて、被処理物の工程フローにおいて処
理時間（タイムバケットサイズ）が等しくなるようにい
くつかの管理群にまとめるという流れの情報と製造ライ
ンにおける被処理物の進捗情報とを生産管理システムに
入力して記憶し、該生産管理システムにおいて記憶され
た流れの情報と進捗情報とに基づいて製造工程への被処
理物の投入情報（着工情報）を検索または探索または抽
出して前記生産管理システム内に設けられたまたは生産
管理システムに接続された表示装置に表示または出力手
段に出力することを特徴とする。また本発明は、複数の
製品を同時に生産しており、かつ一つの製品を完成させ
るまでに多数の製造工程で処理が行われる製造ラインに
おいて、目標となる製作期間（工完）と製造ラインの稼
働状態（１日の稼働時間等）とを用いて、被処理物の工
程フローにおいて処理時間（タイムバケットサイズ）が
等しくなるようにいくつかの作業工程にまとめ、そのま
とめられた作業工程群の各工程内の製品仕掛り数が一定
となるように製品の進行を制御する手段とそれに基づき
製品の作業を行うことを特徴する。

【００１２】また本発明は、複数の製品を同時に生産し
ており、かつ一つの製品を完成させるまでに多数の製造
工程で処理が行われる製造ラインにおいて、目標となる
製作期間（工完）と製造ラインの稼働状態（１日の稼働
時間等）とを用いて、被処理物の工程フローにおいて処
理時間（タイムバケットサイズ）が等しくなるようにい
くつかの管理群にまとめ、そのまとめられた管理群の各
工程中の所定の工程から収集された品質情報から所望の
製造工程における製造条件を決定して制御することを特
徴とする。また本発明は、複数の製品を同時に生産して
おり、かつ一つの製品を完成させるまでに多数の製造工
程で処理が行われる製造ラインにおいて、目標となる製
作期間（工完）と製造ラインの稼働状態（１日の稼働時
間等）とを用いて、被処理物の工程フローにおいて処理
時間（タイムバケットサイズ）が等しくなるようにいく
つかの管理群にまとめ、その単位中の工程内における進
度情報（進捗情報）と品質情報とを生産管理システムに
入力して記憶し、該生産管理システムにおいて記憶され
た情報に基づいて、少なくとも管理群毎の仕掛り量を決
定することを特徴とする。

【００１３】以上説明したように、本発明によれば、複
数の製品を同時に生産しており、かつ一つの製品を完成
させるまでに多数の製造工程で処理が行われる製造ライ
ンにおいて、被処理物の工程フローにおいて処理時間
（タイムバケットサイズ）が等しくなるように管理群を
まとめることが可能となり、製造時間、着工サイズ等か
ら、その中の工程を着工可能な製造設備への割り付けを
行うことが可能となり、短い製作期間にて製品が完成す
ることが可能となる。また本発明によれば、被処理物の
工程フローにおいて処理時間（タイムバケットサイズ）
が等しくなるように管理群をまとめるという流れの情報
と製造ラインにおける被処理物の進度情報（進捗情報）
とを収集し、該収集された流れの情報に基づいて前記収
集された進度情報（進捗情報）から次の管理群への着工
を制御することが可能となり、短い製作期間・製造設備
の稼働率を高めることが可能となる。

【００１４】また本発明によれば、製造ラインにおける
作業者の日々の作業項目が容易に計画する事が可能にな
り、生産シフト内の製造設備への着工指示や生産シフト
間の負荷の平準化が図られ、短い製作期間にて製品が完
成することができる。また本発明によれば、各薄膜を厚
く形成することによる長時間プロセスが必要となるため
各工程（成膜、露光、エッチング）の処理時間のばらつ
きが大きくなり、しかも生産量、物量が極端に少ない薄
膜磁気ヘッドを製造する際に、短い製作期間・製造設備
の稼働率を高めて実現することができる。また本発明に
よれば、作業者の生産シフトが決定されている製造ライ
ンにおいて、そのシフト内における各製造設備単位のパ
ターン生産を行うことができ、生産計画に基づいた現場
作業指示（製品着工指示、メンテナンス指示）が可能と
なる。即ち、製造ラインにおける日々の作業のパターン
化を実現することができ、その結果製品の着工計画、製
造設備の保全計画のスケジューリングを容易に行うこと
ができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。図１は本発明に係る薄膜プロセス製
品の生産方法における工程フローの纏め方の概念を示し
たものである。これは半導体デバイス等の薄膜プロセス
製品の工程フローと各工程の処理時間の対応を示してい
る。薄膜プロセス製品は、例えば工程１から工程１２０
によって製造されるものとする。即ち、薄膜プロセス製
品は、例えば１２０工程を経て製造されるものとする。
この工程数は細かい工程も含めれば更に増加すると共に
積層構造が複雑になったり、層数が増えれば当然増加す
ることになる。そしてこれら１２０工程としては、例え
ば、各種金属薄膜を形成する各種スパッタ工程、絶縁膜
等を形成するＣＶＤ成膜工程、各種金属薄膜に対してパ
ターンを形成するためのホトリソ工程（レジスト塗布工
程、露光工程、現像工程等からなる。）、ミリングまた
はエッチング工程およびレジスト除去工程、絶縁膜等に
穴開けするためのホトリソ工程（レジスト塗布工程、露
光工程、現像工程等からなる。）、ミリングまたはエッ
チング工程およびレジスト除去工程、絶縁膜等を平坦化
する工程、エネルギービームを用いた加工工程、寸法測
定やパターンの検査や傷、異物等の存在の検査および薄
膜プロセス製品の最終特性（製品仕様特性）等の様々な
検査を行う検査工程が含まれる。薄膜プロセス製品は、
積層構造をしているため、上記様々な薄膜プロセスが繰
り返されて製造されることになる。

【００１６】ところで、本発明に係る薄膜プロセス製品
の生産方法は、被処理物を比較的小ロットで効率良く製
造ラインに流して工完を短縮して薄膜プロセス製品を製
造するものである。図１に示す各工程１００は上記に説
明した各種処理工程を表しており、処理時間１０１には
被処理物を比較的小ロットで流す場合の各工程の処理に
要する時間を示す。この処理時間１０１には、工程の
間、即ち工程を処理する設備の間における被処理物の搬
送時間も含め、同一設備を用いて異なる処理をする場合
における段取り変えのための準備時間も含まれているも
のとして説明する。各処理群１０２は、いくつかの工程
が集まってある層またはある層において特定された個所
に薄膜または薄膜パターンを形成するものとする。

【００１７】図５および図６には、本発明に係る薄膜プ
ロセス製品の生産方法を実現するための一実施の形態で
ある生産管理システム構成を示す。５００は製造ライン
全体に対して生産管理を行うサーバであり、主としてＣ
ＰＵ５０１と各種データ群を記憶する記憶装置５０２か
ら構成される。記憶装置５０２に記憶される各種データ
群としては、薄膜プロセス製品を製造するための順序も
含む製造工程名、標準の処理時間および製造工程名に対
応させた処理群、並びに製造ラインを構成する製造設備
名、製造設備名とこの製造設備で処理できる製造工程名
との対応関係等に関する情報、実際被処理物を製造ライ
ンに流して薄膜プロセス製品を製造する際得られる進捗
状況に関する情報、並びに検査装置から得られる処理群
の段階および最終段階における薄膜プロセス製品の品質
情報等からなる管理情報データ５１２と割り付けされた
データ５１３とがある。当然、サーバ５００には、製造
ライン（生産ライン）に対して管理、解析して制御する
プログラムを記憶するメモリも備えているものとする。
クライアント５０３は製造ライン（生産ライン）全体を
管理、解析するために必要な様々なデータを入力、出力
したり、作業の割り付け５０７等を行うために用意され
る。このクライアント５０３は、サーバ５００そのもの
に備えられていても良い。更にクライアント５０４〜５
０６は各製造工程毎（製造工程に対応する製造設備毎）
に用意されても良く、また複数の製造工程を纏めた単位
毎（近傍に設置された複数の製造設備を纏めた単位毎）
に用意されても良い。またこれらクライアント５０４〜
５０６は、製造設備の制御装置にすることもできる。即
ち、製造設備の制御装置を直接通信手段（ネットワー
ク）５１１に接続して、少なくとも製造設備の稼働情報
（保全情報（故障した場合の修理、または定期的な点検
もしくはクリーニング））をサーバ５００に入力して記
憶装置５０２に格納することができる。そしてクライア
ント５０３〜５０６は、通信手段（ネットワーク）５１
１を介して生産管理を行うサーバ５００に接続されてい
る。また、各クライアント５０３〜５０６は作業者が各
種の情報を入力できる入力手段（キーボード、マウス、
バーコードリーダ）や各種情報を出力して表示する表示
手段（ディスプレイ）や印刷等を行う印刷手段を備えて
いるものとする。

【００１８】そして、サーバ（計算機）５００は製造ラ
イン全体に対して生産管理を行うための生産管理システ
ムにおける主たる構成である。サーバ５００の記憶装置
５０２には、図１に示す如く薄膜プロセス製品を製造す
るための順序も含む製造工程名（例えば工程１〜１２
０）、標準の処理時間および製造工程名に対応させた処
理群、並びに製造ラインを構成する製造設備名（例えば
Ａ１〜Ａ６…、Ｂ１〜Ｂ３…、Ｃ１…、Ｄ１〜Ｄ３…、
Ｅ１〜Ｅ３…、Ｆ１〜Ｆ２、Ｇ１〜Ｇ３、…）、製造設
備名とこの製造設備で処理できる製造工程名との対応関
係等に関する情報について、例えばクライアント５０３
から入力することによって格納されているものとする。
これらの情報は、直接サーバ５００に設けられた入力手
段を用いて入力してもよい。また上記処理時間について
は、用いる製造設備の種類によって変動することが考え
られるので、後述するように作業割り付け５０７を行う
際に、例えばクライアント５０３から入力してもよく、
また上記標準の処理時間では誤っている場合には、例え
ばクライアント５０３において修正しても良い。後述す
るように、実際に製造設備を使って投入される被処理物
に対して処理に要した時間が、工程情報５２４としてク
ライアント５０４〜５０６から収集できるので、この収
集された処理時間を用いてもよい。

【００１９】そこで、被処理物を比較的小ロットで効率
良く製造ラインに流して工完を短縮して薄膜プロセス製
品を製造するために、まずサーバ５００のＣＰＵ５０１
は、図１に示す如く薄膜プロセス製品の製造工程フロー
を各工程の処理時間のタイムバケット（タイムフェイズ
（連続した時間の流れを適当な小期間で区切って、連続
した小区間にすること）された小期間）サイズＳ（１０
４）の単位（管理群１０３の単位）にグルーピングを行
う。即ち薄膜プロセス製品の目標工完Ｘから分割される
（区切られる）タイムバケットサイズＳ（１０４）の単
位（管理群１０３の単位）は、例えば日単位（週単位
（１週間の稼働日が５日とした場合５日の場合１週間と
なる。）も含む））で設定される。この際、タイムバケ
ットサイズＳは、図２に示したアルゴリズムに基づき決
定する。但し各工程は、処理群単位に纏められている。
よって、タイムバケットサイズＳによる工程のグルーピ
ング（管理群）もこの処理群単位に区切るものとする。

【００２０】次に、タイムバケットサイズＳの決定方法
について説明する。タイムバケットサイズＳを決定する
には、まず、２００において、薄膜プロセス製品の目標
工完Ｆを、例えばクライアント５０３から入力すること
によってサーバ５００の記憶装置５０２に格納されて設
定される。そして２０１において、前工程（製造ライン
の上流）の製造の遅れ等の影響を後工程（製造ラインの
下流）へ及ぼさないように管理する単位が適当になるよ
うにグルーピング数Ｎを全製造工程数に応じて、例えば
クライアント５０３から入力することによってサーバ５
００の記憶装置５０２に格納されて設定される。即ち、
２０１において、製造に必要な稼働日から工程をグルー
ピングする数Ｎを決定する。２０２において、サーバ５
００のＣＰＵ５０１は、タイムバケットサイズＳを、上
記設定された薄膜プロセス製品の目標工完Ｔとグルーピ
ング数Ｎとから次に示す（数１）式がほぼ成立するよう
に日単位（週単位も含む）で決定される。薄膜プロセス
製品の目標工完Ｆが例えば２０日とし、一週間の稼働日
が５日であるとしてグルーピング数Ｎを例えば１０とす
れば、タイムバケットサイズＳは２日となる。図１には
この場合を示す。この他、様々な形態が考えられる。即
ち、薄膜プロセス製品の目標工完Ｆが例えば２０日と
し、グルーピング数Ｎを例えば５とすれば、タイムバケ
ットサイズＳは４日となり、薄膜プロセス製品の目標工
完Ｆが例えば５０日とし、グルーピング数Ｎを例えば１
０とすれば、タイムバケットサイズＳは５日（稼働日数
から１週間に相当。）となる。Ｓ（日）≒Ｆ（日）／Ｎ（数１）そこで、サーバ５００において、ＣＰＵ５０１はタイム
バケットサイズＳが決定されると、記憶装置５０２に格
納されている薄膜プロセス製品を製造するための順序も
含む製造工程名（例えば工程１〜１２０）、標準の処理
時間および製造工程名に対応させた処理群に基づいて、
各管理群に含まれる処理群が決定され、各管理群と製造
工程との対応関係が決まり、記憶装置５０２に格納され
る。

【００２１】更に、２０４において、サーバ５００のＣ
ＰＵ５０１は、ある製造設備が同じ工程のパターンで繰
返して処理を実現するための周期時間Ｃを決定する。即
ち、周期時間Ｃは、ある製造設備が同じ工程のパターン
で繰返して処理を行う時間である。２０３において、サ
ーバ５００のＣＰＵ５０１は、各管理群にグルーピング
された全ての工程がタイムバケットサイズＳで処理でき
るように製造ラインの１日の稼働時間Ｗを決定する。こ
の製造ラインの１日の稼働時間Ｗは、サーバ５００に対
して例えばクライアント５０３から入力することによっ
て決定しても良い。当然各種の製造設備からなる製造ラ
インも、各管理群にグルーピングされた全ての工程がタ
イムバケットサイズＳで処理できるように各製造設備の
保全（故障した場合の修理、または定期的な点検もしく
はクリーニング）も考慮して構成されるものとする。そ
して上記周期時間Ｃは、タイムバケットサイズＳ（日）
と製造ラインの１日の稼働時間Ｗとに基づいて決定す
る。即ち、生産計画と製造ラインのシフト数（一日の中
で作業を行う組数）、稼働時間Ｗからパターン生産を行
うのに必要な周期時間Ｃを決定する。製造ラインの１日
の稼働時間Ｗは、タイムバケットサイズＳに応じて決ま
ってくるので、上記周期時間Ｃは、製造ラインの１日の
稼働時間Ｗに応じて決定しても良い。製造ラインの１日
の稼働時間Ｗを例えば２４時間とした場合、周期時間Ｃ
として、例えば８時間、１２時間、２４時間等が考えら
れる。例えば、昼夜２シフトによる生産を行う場合、製
造ラインの１日の稼働時間Ｗは２４時間となるので、周
期時間Ｃは１２時間または２４時間となる。ただし、周
期時間Ｃとしては、処理時間が最大のものより長く設定
することが望ましい。図１に示す例では処理時間の最大
は１０時間につき、周期時間Ｃとしては、１２時間、２
４時間等が望ましい。

【００２２】そこで、薄膜プロセス製品の全ての製造工
程に対して分割されて決定された各管理群１〜Ｎにおい
てタイムバケットサイズＳ（日）で製造できるように製
造ラインを構成する多数の各種製造設備に対して、同じ
工程のパターンで上記決定された周期時間Ｃでもって繰
返して処理を行うように各工程を割り付けることが必要
となる。次に管理者が、サーバ５００に対して例えばク
ライアント５０３から入力することによって行う製造ラ
インを構成する多数の各種製造設備への工程割り付け方
法について説明する。図３は、クライアント５０３の表
示手段に表示される画面を示す。縦軸に、サーバ５００
の記憶装置５０２に格納されている製造ラインを構成す
る各種製造設備（例えばＡ１〜Ａ６…、Ｂ１〜Ｂ３…、
Ｃ１…、Ｄ１〜Ｄ３…、Ｅ１〜Ｅ３…、Ｆ１〜Ｆ２、Ｇ
１〜Ｇ３、…）、横軸に時間をとっている。横軸に示し
てある時間は、サーバ５００のＣＰＵ５０１において図
２に示すアルゴリズムに基づいて算出された周期時間Ｃ
である。そして図３には周期時間Ｃとして１２時間の場
合を示す。また各製造工程名と各製造工程での処理に要
する処理時間は、図１に示す場合と同様とする。各製造
工程名については、サーバ５００の記憶装置５０２に格
納されているので、クライアント５０３はこれを読出し
てきて表示手段の画面に表示し、入力手段を用いて指定
することによって製造工程名を選択して所望の製造設備
の欄に割り付けすることができる。この際、標準の処理
時間もサーバ５００の記憶装置５０２に格納されている
場合には、クライアント５０３はこの標準の処理時間を
読出して修正する必要があれば入力手段を用いて修正し
て所望の製造設備の欄に割り付けすることができる。

【００２３】なお、製造設備Ａ１〜Ａ６…は、例えば金
属薄膜を形成するスパッタ装置とする。製造設備Ｂ１〜
Ｂ３…は、例えば絶縁膜等を形成するＣＶＤ装置とす
る。製造設備Ｃ１…は、例えば切断等の加工を施す切削
または研削加工装置とする。製造設備Ｄ１〜Ｄ３…は、
例えばレジスト塗布、露光、現像等を行うホトリソ装置
とする。製造設備Ｅ１〜Ｅ３…は、例えばミリングまた
はエッチングを行うミリングまたはエッチング装置とす
る。製造設備Ｆ１〜Ｆ２は、例えばレジストを除去する
レジスト除去装置とする。製造設備Ｇ１〜Ｇ３は、例え
ば寸法測定やパターンの検査や傷、異物等の存在の検査
および薄膜プロセス製品の最終特性（製品仕様特性）等
の様々な検査を行う検査装置とする。薄膜プロセス製品
を製造する製造ラインとしては、上記製造設備が全て必
要とならない場合もあり、また上記製造設備の他各種製
造設備が必要となるがこれについては省略する。タイム
バケットで区切られた各管理群は、この周期にて着工さ
せることによって、タイムバケットサイズＳ（日）で処
理することが可能となる。例えば、クライアント５０３
は、表示手段に図３に示すような画面を表示して、各管
理群毎に順次各製造設備（各製造設備の欄）に対して上
記周期時間内で生産が可能になるように入力手段を用い
て各工程がその間滞留がなく随時着工するように割り付
け、その結果をサーバ５００に送信して記憶装置５０２
に割り付けデータ５１３として格納する。即ち、割り付
け順は、まず管理群１を構成する工程１〜１４を割り付
け、その後管理群２を構成する工程１５〜２９を割り付
け、その後管理群３を構成する工程３０〜３７を割り付
け、その後管理群４を構成する工程３８〜４６を割り付
け、更に各管理群を構成する工程を管理群がＮになるま
で順次割り付ける。従って、管理群２は管理群１の割り
付結果の制約を受けて各製造設備（各製造設備の欄）に
対して工程が割り付けられる。同様に、管理群Ｎは管理
群（Ｎ−１）までの割り付け結果の制約を受けて各製造
設備に対して工程が割り付けられて着工されることにな
る。即ち、図３に示すように各製造設備の欄に一度工程
を割り付けるとその部分には別の工程を重ねて割り付け
ることはできない。

【００２４】更にクライアント５０３が行う各製造設備
への管理群毎の工程の割り付け方法を図４を用いて説明
する。クライアント５０３は、表示手段に図３に示すよ
うな画面を表示し、まずステップ４０１において、管理
者はクライアント５０３に対して入力手段を用いて工程
を順番に従って入力または指定し、当該の画面を見なが
ら入力または指定された工程の処理が出来る製造設備の
欄を探す。ステップ４０２において管理者は当該の画面
においてこの探した製造設備の欄に当該工程の処理時間
空いているか否か調べる。ステップ４０２においてもし
空いている場合には、ステップ４０３において管理者は
当該の画面において待ち時間が短いか否かを調べる。ス
テップ４０２においてもし空いていない場合には、ステ
ップ４０１に戻って管理者は当該の画面において工程の
処理が出来る別の製造設備の欄を探す。ステップ４０３
において待ち時間が短い場合には、ステップ４０４にお
いて管理者はクライアント５０３に対して入力手段を用
いて当該製造設備の欄に対して直（待ち時間が無い場
合）または既に割り付けられた工程の処理終了後（待ち
時間があって短い場合）当該工程を割り付ける。ステッ
プ４０３において待ち時間が長い場合には、ステップ４
０９において管理者は当該の画面において待ち時間が著
しく長くなったら割り付け可能か否かを調べる。ステッ
プ４０９において待ち時間が著しく長くならないと割り
付け出来ない場合には、ステップ４０１に戻って管理者
は当該の画面において工程の処理が出来る別の製造設備
の欄を探す。ステップ４０９において別の製造設備の欄
を探すことができなくなって、しかも待ち時間は著しく
長くなるけど割り付け可能な場合には、ステップ４０４
に戻って管理者はクライアント５０３に対して入力手段
を用いて当該製造設備の欄に対して待ち時間終了後（既
に割り付けられた工程の処理終了後）当該工程を割り付
ける。当然ステップ４０４において、クライアント５０
３のＣＰＵは、管理群内において工程が順番通り対応す
る製造設備の欄に工程間の重なりがないように割り付け
られているかをチェックし、割り付け不良の場合にはそ
の旨を画面上に表示する。またクライアント５０３のＣ
ＰＵは、各工程の標準の処理時間（製造ラインに流す被
処理物のロット単位によって変わってくる。）の情報５
２２をサーバ５００から提供を受けることによって、入
力された各工程の処理時間が上記標準の処理時間と大幅
にかけ離れている場合には割り付け不良として画面上に
表示することもできる。またクライアント５０３のＣＰ
Ｕは、ある工程を、処理できない製造設備に割り付けら
れたときも、製造設備名とこの製造設備で処理できる製
造工程名との対応関係の情報５２２をサーバ５００から
提供を受けることによって、割り付け不良として画面上
に表示することもできる。いずれにしても割り付け不良
となった場合には、割り付けの修正を行う。

【００２５】次にステップ４０５において管理群の全て
の工程について対応する製造設備に対して割り付けが完
了していない場合には、ステップ４０１に戻って次の工
程についての割り付け作業に入る。ステップ４０５にお
いて管理群の全ての工程について対応する製造設備に対
して割り付けが完了した場合には、ステップ４０６にお
いて管理者は当該の画面において周期時間ＣのＭ倍とな
っているタイムバケットサイズ（日）が終了するまで待
機する。即ち、タイムバケットサイズ（日）まで次の管
理群についての割り付けは行わない。次にステップ４０
７において管理群全てについて割り付けが完了しない場
合には、ステップ４０１に戻ってタイムバケットサイズ
終了後次の管理群について割り付け作業を行う。ステッ
プ４０７において管理群全てについて割り付けが完了し
た場合には、ステップ４０８においてクライアント５０
３内のＣＰＵは、管理群同志に矛盾がないかどうか（同
じ時間に工程が重複していないかどうか）を判定し、矛
盾が生じた場合には、管理群単位に割り付けの調整を行
い、すべての矛盾が解消されたものを生産パターンとし
て採用する。この時、各管理群の間にはステップ４０６
においてタイムバケットサイズ（日）が終了するまで待
機させて次の管理群について割り付けを行わないように
しているため、管理群の終わりに緩衝時間が確保される
ことにより管理群内での処理の遅れを吸収して管理群の
間に発生する矛盾に対する影響を最小限に押さえること
ができる。以上により管理者がクライアント５０３に対
して行う割り付け作業は終了する。クライアント５０３
は、割り付け作業の結果をサーバ５００に送信して記憶
装置５０２に割り付けデータ５１３として格納する。

【００２６】図３には、管理者が図１に示す工程１〜４
６までをクライアント５０３に対してタイムバケットサ
イズ２日、周期時間１２時間（１日の稼働時間Ｗが２４
時間で昼夜２シフト）で、割り付け作業を行った一実施
の形態を示す。図３に示す一実施の形態では、管理群１
は工程１〜１４に、管理群２は工程１５〜２９に、管理
群３は工程３０〜３７に、管理群４は工程３８〜４６に
区分けされた場合である。そして管理群１の最後の工程
１４と管理群２の最初の工程１５との間に５時間の緩衝
時間が確保され、管理群２の最後の工程２９と管理群３
の最初の工程３０との間に５時間の緩衝時間が確保さ
れ、管理群３の最後の工程３７と管理群４の最初の工程
３８との間に４．５時間の緩衝時間が確保されたことに
なる。また例えば製造設備Ａ１は、１２時間周期（１日
の稼働時間Ｗが２４時間で昼夜２シフト）において、前
半６時間の間工程１を着工し、後半６時間の間工程１０
を着工するように割り付けられたことになる。例えば製
造設備Ｂ１は、１２時間周期（１日の稼働時間Ｗが２４
時間で昼夜２シフト）において、最初から８時間の間工
程１５を着工するように割り付けられたことになる。と
ころで、以上説明した割り付け作業は、薄膜プロセス製
品の工完に変更があったり、製造ラインへ流す被処理物
のロット単位に変更があったり、製造設備が保守点検
（定期的なクリーニングも含む）等や故障等によって使
用できなくなったり、製造ラインに対して被処理物が計
画通り流れなくなったりした場合には、再度行ったり、
修正したりする再スケジューリングを行う必要がある。
実際被処理物を製造ラインに流して前記目標工完で薄膜
プロセス製品を製造する際、上記割り付け作業を行った
生産パターンに基づき、製造ラインを構成する各種製造
設備の各々において日々の着工を行っていく。これによ
り、着工指示の容易化、計画保全のスケジューリングを
行うことが可能となる。

【００２７】次に、サーバ（計算機）５００による製造
ラインに対する制御方式について図５及び図６を用いて
説明する。まず、クライアント５０３は、被処理物をロ
ット単位で製造ラインに投入する前に、前述した通り薄
膜プロセス製品を製造するための管理情報５２２をサー
バ（計算機）５００より受け取り、タイムバケットサイ
ズで各管理群にまとめ各製造設備への作業割り付け５０
７を行う。

【００２８】実際被処理物を製造ラインに流して前記目
標工完で薄膜プロセス製品を製造するために、作業製造
ラインを構成する製造設備群（近傍に配置された複数の
製造設備を総称する。）ａ〜ｎに対応させて設置された
クライアント５０４〜５０６の各々に作業割り付け結果
５２３をサーバ（計算機）５００から送信してクライア
ント５０４〜５０６の各々の表示手段（ディスプレイ）
に表示するかまたは印刷等の出力手段を用いて出力す
る。各製造設備に対応したプロセス作業者は、クライア
ントに出力された作業割り付け結果５２３に基づき各製
造設備（例えばＡ１〜Ａ６…、Ｂ１〜Ｂ３…、Ｃ１…、
Ｄ１〜Ｄ３…、Ｅ１〜Ｅ３…、Ｆ１〜Ｆ２、Ｇ１〜Ｇ
３、…）に対してロット単位の被処理物の投入指示を出
し、各製造設備は投入されたロット単位の被処理物に対
して処理作業を行う。即ち、製造設備Ａ１は、毎日昼夜
２シフト（１２時間周期）で、ロット単位で投入される
被処理物に対して工程１を前半６時間の間着工処理し、
次に上記と同じロット単位で投入される被処理物に対し
て段取り変えして工程１０を後半６時間の間着工処理す
る。製造設備Ａ２は、毎日昼夜２シフト（１２時間周
期）で、最初からロット単位で投入される被処理物に対
して工程６を１０時間の間着工処理する。製造設備Ａ３
は、毎日昼夜２シフト（１２時間周期）で、ロット単位
で投入される被処理物に対して工程１６を前の周期に引
き続いて計５時間の間着工処理し、次に上記と同じロッ
ト単位で投入される被処理物に対して段取り変えして工
程３１を工程１６終了後６時間の間着工処理し、１時間
あけて上記ロット単位で投入される被処理物に対して工
程１６を着工する。製造設備Ａ４は、毎日昼夜２シフト
（１２時間周期）で、各々ロット単位で投入される被処
理物に対して工程２１と工程３６とについて図３に割り
付けられた処理時間の間着工処理する。製造設備Ａ５
は、毎日昼夜２シフト（１２時間周期）で、各々ロット
単位で投入される被処理物に対して工程２５と工程３８
とについて図３に割り付けられた処理時間の間着工処理
する。製造設備Ｂ１は、毎日昼夜２シフト（１２時間周
期）で、最初からロット単位で投入される被処理物に対
して工程１５を８時間の間着工処理する。製造設備Ｂ２
は、毎日昼夜２シフト（１２時間周期）で、１時間あけ
てロット単位で投入される被処理物に対して工程３０を
１０時間の間着工処理する。製造設備Ｂ３は、毎日昼夜
２シフト（１２時間周期）で、０．５時間あけてロット
単位で投入される被処理物に対して工程３５を１０時間
の間着工処理する。製造設備Ｄ１は、毎日昼夜２シフト
（１２時間周期）で、各々ロット単位で投入される被処
理物に対して工程７と工程１１と工程２とについて図３
に割り付けられた処理時間の間着工処理する。製造設備
Ｄ２、Ｄ３、Ｅ１〜Ｅ３、Ｆ１〜Ｆ２、Ｇ１〜Ｇ３の各
々は、毎日昼夜２シフト（１２時間周期）で、ロット単
位で投入される被処理物に対して図３に示す如く割り付
けられた工程を処理時間の間着工処理する。

【００２９】以上説明したように各製造設備が処理作業
を行った際、プロセス作業者は工程情報（工程番号、各
工程において処理が完了した日時（開始した時間を含ん
でもよい）、製造設備番号等）５２４をクライアントへ
入力手段を用いて入力する。なお、全ての工程につい
て、上記工程情報５２４を入力する必要は必ずしもな
く、少なくとも管理群毎の最初の工程と最後の工程とに
おける上記工程情報（進捗状況を示す情報等）５２４を
入力する必要がある。そして各クライアント５０４〜５
０６はこの工程情報５２４をサーバ５００へ伝送し、管
理情報データ（特に管理群毎の進捗状況のデータを含
む）として記憶装置５０２に格納する。もし製造装置の
制御装置を直接通信手段（通信ネットワーク）５１１に
接続した場合には、制御装置から直接工程情報５２４を
サーバ５００へ伝送し、管理情報データとして記憶装置
５０２に格納することもできる。そしてサーバ（計算
機）５００は、割り付け結果との差異を把握する機能を
持っており、製造ラインの実態と割り付け結果とが合わ
ないときには、その旨を各クライアント５０４〜５０６
に送信して表示手段（ディスプレイ）に表示するかまた
は印刷等の出力手段を用いて出力してプロセス作業者に
知らせることによって再スケジューリングを行うことを
可能としている。製造ラインにおいてロット単位の被処
理物が割り付け通り流れている場合には、製造ラインを
構成する全ての製造設備には、ロット単位の被処理物が
投入されるはずである。しかし、実際には着工するまで
の準備時間に変動があり、またプロセス処理においても
製造設備の制御条件の僅かな変化により時間変動がある
ため、ロット単位の被処理物が割り付けより遅れて流れ
ることになる。ところで、製造設備において、空き時間
がある場合には、この空き時間を使って上記遅れを吸収
することが出来る。またびっしりつまった製造設備があ
ったとしても、その後工程の製造設備には空き時間があ
るため、この空き時間で上記遅れを吸収することが出来
る。まして、管理群の最後の工程と次の管理群の最初の
工程との間に出来るだけ空き時間が生じるようにタイム
バケットサイズで区切られているので、上記遅れをかぎ
りなく吸収することができる。

【００３０】いずれにしても、サーバ５００は、各クラ
イアント５０４〜５０６から入力されて記憶装置５０２
に格納された管理群毎の進捗状況のデータとタイムバケ
ットサイズで決められた管理群毎の目標日（割り付け結
果でも良いことは明らかである。）とを比較し、大幅に
ずれている場合には、自動的に管理者等に知らせるよう
にサーバ５００に接続された例えばクライアント５０３
の表示手段に表示または出力手段に出力する。この出力
手段としてブザーやランプ等で警告できるものであって
もよい。知らされた管理者等は、例えばクライアント５
０３からサーバ５００の記憶装置５０２に格納された管
理群毎の進捗状況を読みだして表示手段に表示または出
力手段に出力して割り付けの修正が必要と確認された場
合、例えばクライアント５０３から入力して大幅にずれ
た管理群またはその後の管理群について割り付け作業の
修正を行う。大幅にずれた管理群について割り付け作業
の修正を行うには、次に投入されるロット単位の被処理
物を処理する際に大幅にずれをなくすためである。その
後の管理群について割り付け作業の修正を行うのは、大
幅にずれたのをその後の管理群における処理においてリ
カバーするためである。

【００３１】以上説明したように、上記実施の形態にお
いては、各製造工程に多少の遅れがあったとしても管理
郡内でその遅れを吸収し、次の管理群に影響を出来るだ
け及ぼさないように管理群毎に被処理物の進捗状況をサ
ーバ５００が管理するようにしたので、薄膜プロセス製
品についての短期間の目標工完を製造ラインによって達
成することができる。もし、ある管理群において、著し
い遅れが生じた場合には、その後の管理群について、前
述したように管理者が例えばクライアント５０３から入
力して割り付け作業の修正を行い、この修正された割り
付け作業結果に基づいてロット単位の被処理物に対して
着工処理することによって、薄膜プロセス製品の短期間
の目標工完を達成することができる。また著しい遅れが
生じた管理群について、前述したように管理者が例えば
クライアント５０３から入力して割り付け作業の修正を
行うことによって、その後に投入される被処理物の処理
において著しい遅れを無くすためである。また製造設備
が保守点検（定期的なクリーニングも含む）等や故障等
によって使用できなくなったりした場合、この情報を、
プロセス作業者は、クライアント５０４〜５０６の何れ
かを用いて入力してサーバ５００に送信すると共に例え
ばクライアント５０３にも送信してその旨を表示手段
（ディスプレイ）に表示するかまたは印刷等の出力手段
を用いて出力して管理者に知らせる。管理者は例えばク
ライアント５０３を用いて割り付け作業の修正を行って
再スケジューリングを行う。以上説明したように、ある
製造設備が保守点検や故障等によって使用できなくなっ
た場合でも、次の管理群に影響を出来るだけ及ぼさない
ように管理群毎に被処理物の進捗状況をサーバ５００に
よって管理できるようにしたので、薄膜プロセス製品に
ついての短期間の目標工完を達成することができる。

【００３２】また前述したように図１および図３に示す
ように製造ラインの途中に検査工程５、１４、２０、２
９、３７が設けられ、検査装置Ｇ１、Ｇ２により被処理
物に対して寸法測定やパターンの検査や傷、異物等の存
在の検査が行われて処理群の段階における被処理物の品
質情報５２５が得られる。また製造ラインの最終に近い
ところに検査工程が設けられ、検査装置Ｇ３により薄膜
プロセス製品の最終仕様特性等について検査が行われ、
薄膜プロセス製品の最終仕様特性等の品質情報５２５が
得られる。そこで検査装置から得られた被処理物の品質
情報５２５や薄膜プロセス製品の最終仕様特性等の品質
情報５２５を直接通信手段５１１を介してサーバ５００
に送信して記憶装置５０２に格納しても良い。また検査
装置から得られた被処理物の品質情報５２５や薄膜プロ
セス製品の最終仕様特性等の品質情報５２５をクライア
ント５０４〜５０６から入力して通信手段５１１を介し
てサーバ５００に送信して記憶装置５０２に格納しても
良い。通信手段５１１としては、記録媒体に記録または
記憶して持っていっても良く、また無線を用いても良
い。サーバ５００のＣＰＵ５０１は、記憶装置５０２に
格納された被処理物の品質情報５２５によって、次の工
程（製造設備）における製造条件（薄膜処理プロセス条
件：露光条件、成膜する薄膜の膜厚、ミリング（エッチ
ング）条件等）を算出し、この算出された製造条件（薄
膜処理プロセス条件）を通信手段（ネットワーク）５１
１を介して次の工程（製造設備）に対応するクライアン
ト５０３〜５０６に送信し、表示手段（ディスプレイ）
に表示するかまたは印刷等の出力手段を用いて出力して
プロセス作業者に知らせる。プロセス作業者は、次の工
程（製造設備）において投入されたロット単位の被処理
物に対して知らされた製造条件（薄膜処理プロセス条
件：露光条件、成膜する薄膜の膜厚、ミリング（エッチ
ング）条件等）で処理することによって、例えば前の処
理群で形成された薄膜上に適合した形で次の処理群で薄
膜を形成することができる。

【００３３】またサーバ５００のＣＰＵ５０１は、記憶
装置５０２に格納された薄膜プロセス製品の最終仕様特
性等の品質情報５２５から最終仕様特性を満足しないと
判断されたとき、どの処理群（一つの薄膜形成プロセス
に対応する。）が悪かったかを推定し、満足しない最終
仕様特性（薄膜プロセス製品の不良内容）も含めて悪い
と推定された処理群を例えば通信手段（ネットワーク）
５１１を介して悪いと推定された処理群（一つの薄膜形
成プロセスに対応する。）に対応するクライアント５０
３〜５０６に送信し、表示手段（ディスプレイ）に表示
するかまたは印刷等の出力手段を用いて出力してプロセ
ス作業者に知らせる。この際、悪いと推定された処理群
と一緒に処理群を構成する工程（製造設備が対応す
る。）も一緒に表示手段（ディスプレイ）に表示するか
または印刷等の出力手段を用いて出力すると、プロセス
作業者がクライアント５０３〜５０６からサーバ５００
に対して問い合わせることなく処理群と処理群を構成す
る工程（製造設備が対応する。）との対応関係を知るこ
とができる。そしてプロセス作業者は、満足しない最終
仕様特性（薄膜プロセス製品の不良内容）と悪いと推定
された処理群とが知らされるので、どの製造設備が不良
を誘起しているかが推定でき、推定された製造設備の制
御条件も含め製造条件を修正（改善）して、その後のロ
ット単位の被処理物に対しては、最終的に薄膜プロセス
製品として最終仕様特性を満足するように処理すること
が可能となる。特に前記したように、本生産方式の場合
は、製造設備が常に特定された工程を処理するように割
り当てられているので、悪いと推定された処理群（一つ
の薄膜形成プロセスに対応する。）が特定できれば、ど
の製造設備が不良を誘起しているかを容易に推定するこ
とができ、その結果不良を誘起している製造設備の制御
条件も含め製造条件を修正（改善）して、その後のロッ
ト単位の被処理物に対しては、最終的に薄膜プロセス製
品として最終仕様特性を満足するように処理することが
可能となり、歩留まり向上に大きく寄与することができ
る。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、多数の製造工程によっ
て製造される薄膜プロセス製品等の製品を、比較的短期
間である目標製作期間（目標工完）でもって製造するこ
とができる効果を奏する。また本発明によれば、多数の
製造工程によって製造される薄膜プロセス製品等の製品
を製造する際、日々の着工指示の容易化、計画保全のス
ケジューリングを行うことが可能となり、この情報を基
にプロセス作業者は容易に生産を行うことができる効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る薄膜プロセス製品等の製品を製造
するための多数の製造工程とそれをグルーピングする方
法とについて説明するための一実施の形態を示す図であ
る。

【図２】本発明に係る生産管理システムが行うタイムバ
ケットサイズの設定アルゴリズムの一実施の形態を示す
図である。

【図３】本発明に係る薄膜プロセス製品等の製品を製造
するための多数の製造工程をなす製造設備への割り付け
方法の一例の形態を示す図である。

【図４】本発明に係る生産管理システムが行う製造設備
への工程割り付けを設定するアルゴリズムの一実施の形
態を示す図である。

【図５】本発明に係る生産管理システムの一実施の形態
を示すハード構成図である。

【図６】本発明に係る生産管理システムの一実施の形態
を示す機能構成図である。

【符号の説明】

１００…工程名、１０１…処理時間、１０２…処理群、
１０３…管理群２００…目標工完を設定、２０１…グルーピング数を設
定２０２…タイムバケットサイズの決定、２０３…稼働時
間の設定２０４…周期時間の決定、４００…作業割り付け開始５００…サーバ（計算機）、５０１…ＣＰＵ５０２…記憶装置（格納データ部）、５０３〜５０６…
クライアント５０７…作業割り付け、５２１…作業割り付け結果、５
２２…管理情報５２３…作業割り付け結果、５２４…工程情報、５２５
…品質情報

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】製造ラインを構成する多数の製造設備から
なる多数の製造工程によって製品を製造する製品の製造
方法において、前記多数の製造工程を工程順に製品の目
標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区切って
複数の管理群として纏め、この纏められた管理群を単位
としてこの管理群を構成する製造工程について着工可能
な製造設備に対して割り付けを行う生産管理システムを
用い、この生産管理システムから得られる割り付け結果
に基づいて多数の製造設備の各々に対して被処理物を投
入して処理して製品を製造することを特徴とする製品の
製造方法。
【請求項２】製造ラインを構成する多数の製造設備から
なる多数の製造工程によって製品を製造する製品の製造
方法において、前記多数の製造工程を工程順に製品の目
標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区切って
複数の管理群として纏め、この纏められた管理群を単位
としてこの管理群を構成する製造工程について着工可能
な製造設備に対して決められた時間周期に従って割り付
けを行う生産管理システムを用い、この生産管理システ
ムから得られる割り付け結果に基づいて多数の製造設備
の各々に対して被処理物を投入して処理して製品を製造
することを特徴とする製品の製造方法。
【請求項３】製造ラインを構成する多数の製造設備から
なる多数の製造工程によって製品を製造する製品の製造
方法において、前記多数の製造工程を工程順に製品の目
標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区切って
複数の管理群として纏め、この纏められた管理群を単位
としてこの管理群を構成する製造工程について着工可能
な製造設備に対して割り付けを行い、前記製造ラインに
おける被処理物の進捗情報を収集する生産管理システム
を用い、この生産管理システムから得られる割り付け結
果と収集された被処理物の進捗情報とに基づいて多数の
製造設備の各々に対して被処理物を投入して処理して製
品を製造することを特徴とする製品の製造方法。
【請求項４】製造ラインを構成する多数の製造設備から
なる多数の製造工程によって製品を製造する製品の製造
方法において、前記多数の製造工程を工程順に製品の目
標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区切って
複数の管理群として纏め、この纏められた管理群を単位
としてこの管理群を構成する製造工程について着工可能
な製造設備に対して決められた時間周期に従って割り付
けを行い、前記製造ラインにおける被処理物の進捗情報
を収集する生産管理システムを用い、この生産管理シス
テムから得られる割り付け結果と収集された被処理物の
進捗情報とに基づいて多数の製造設備の各々に対して被
処理物を投入して処理して製品を製造することを特徴と
する製品の製造方法。
【請求項５】製造ラインを構成する多数の製造設備から
なる多数の製造工程によって製品を製造する製品の製造
方法において、前記多数の製造工程を工程順に製品の目
標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区切って
複数の管理群として纏め、この纏められた管理群を単位
としてこの管理群を構成する製造工程について着工可能
な製造設備に対して割り付けを行い、前記製造ラインに
おける被処理物の進捗情報を収集し、この収集された被
処理物の進捗情報に基づいて前記割り付けを修正する生
産管理システムを用い、この生産管理システムから修正
して得られる割り付け結果に基づいて多数の製造設備の
各々に対して被処理物を投入して処理して製品を製造す
ることを特徴とする製品の製造方法。
【請求項６】製造ラインを構成する多数の製造設備から
なる多数の製造工程によって製品を製造する製品の製造
方法において、前記多数の製造工程を工程順に製品の目
標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区切って
複数の管理群として纏め、この纏められた管理群を単位
としてこの管理群を構成する製造工程について着工可能
な製造設備に対して決められた時間周期に従って割り付
けを行い、前記製造ラインにおける被処理物の進捗情報
を収集し、この収集された被処理物の進捗情報に基づい
て前記割り付けを修正する生産管理システムを用い、こ
の生産管理システムから修正して得られる割り付け結果
に基づいて多数の製造設備の各々に対して被処理物を投
入して処理して製品を製造することを特徴とする製品の
製造方法。
【請求項７】製造ラインを構成する多数の製造設備から
なる多数の製造工程によって製品を製造する製品の製造
方法において、前記多数の製造工程を工程順に製品の目
標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区切って
複数の管理群として纏め、この纏められた管理群を単位
としてこの管理群を構成する製造工程について着工可能
な製造設備に対して割り付けを行い、所定の製造工程か
ら被処理物または製品の品質情報を収集する生産管理シ
ステムを用い、この生産管理システムから得られる割り
付け結果に基づいて多数の製造設備の各々に対して被処
理物を投入して処理し、前記生産管理システムから得ら
れる所定の製造工程からの被処理物または製品の品質情
報に基づいて所望の製造設備による製造条件を制御して
製品を製造することを特徴とする製品の製造方法。
【請求項８】製造ラインを構成する多数の製造設備から
なる多数の製造工程によって製品を製造する製品の製造
方法において、前記多数の製造工程を工程順に製品の目
標の製作期間に対するタイムバケットサイズで区切って
複数の管理群として纏め、この纏められた管理群を単位
としてこの管理群を構成する製造工程について着工可能
な製造設備に対して決められた時間周期に従って割り付
けを行い、所定の製造工程から被処理物または製品の品
質情報を収集する生産管理システムを用い、この生産管
理システムから得られる割り付け結果に基づいて多数の
製造設備の各々に対して被処理物を投入して処理し、前
記生産管理システムから得られる所定の製造工程からの
被処理物または製品の品質情報に基づいて所望の製造設
備による製造条件を制御して製品を製造することを特徴
とする製品の製造方法。
【請求項９】前記製品は薄膜プロセス製品で形成するこ
とを特徴とする請求項１又は２又は３又は４又は５又は
６又は７又は８記載の製品の製造方法。
【請求項１０】製造ラインを構成する多数の製造設備か
らなる多数の製造工程によって製品を製造する際、前記
多数の製造工程を工程順に製品の目標の製作期間に対す
るタイムバケットサイズで区切って複数の管理群として
纏め、この纏められた管理群を単位としてこの管理群を
構成する製造工程について着工可能な製造設備に対して
割り付けを行うことを特徴とする生産管理システム。
【請求項１１】製造ラインを構成する多数の製造設備か
らなる多数の製造工程によって製品を製造する際、前記
多数の製造工程を工程順に製品の目標の製作期間に対す
るタイムバケットサイズで区切って複数の管理群として
纏め、この纏められた管理群を単位としてこの管理群を
構成する製造工程について着工可能な製造設備に対して
決められた時間周期に従って割り付けを行うことを特徴
とする生産管理システム。
【請求項１２】前記生産管理システムは、前記製造ライ
ンにおける被処理物の進捗情報を収集することを特徴と
する請求項１０または１１記載の生産管理システム。
【請求項１３】前記生産管理システムは、所定の製造工
程から被処理物または製品の品質情報を収集することを
特徴とする請求項１０または１１記載の生産管理システ
ム。