JPH09285948A - 製造装置の停止時間スケジューリングシステム - Google Patents
製造装置の停止時間スケジューリングシステムInfo
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- JPH09285948A JPH09285948A JP9822096A JP9822096A JPH09285948A JP H09285948 A JPH09285948 A JP H09285948A JP 9822096 A JP9822096 A JP 9822096A JP 9822096 A JP9822096 A JP 9822096A JP H09285948 A JPH09285948 A JP H09285948A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 53
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- 238000007726 management method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
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- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造装置の停止時間を全体の効率を考慮して
決定することを可能とすることにより、製造ラインの効
率が装置停止により低下しないスケジューリングシステ
ムを提供する。 【解決手段】 本製造装置の停止時間スケジューリング
システムは、製造ラインに仕掛かるロットの工程フロー
情報取得手段と、該ロットの進捗情報取得手段と、前記
製造ラインを構成する製造装置の処理停止予定情報の取
得手段と、該製造装置の停止時間を決定し通知する手段
を有するものである。この構成により、全体の工程を考
慮して、装置の停止時間を決定することにより、ライン
全体の効率を向上することができる。
決定することを可能とすることにより、製造ラインの効
率が装置停止により低下しないスケジューリングシステ
ムを提供する。 【解決手段】 本製造装置の停止時間スケジューリング
システムは、製造ラインに仕掛かるロットの工程フロー
情報取得手段と、該ロットの進捗情報取得手段と、前記
製造ラインを構成する製造装置の処理停止予定情報の取
得手段と、該製造装置の停止時間を決定し通知する手段
を有するものである。この構成により、全体の工程を考
慮して、装置の停止時間を決定することにより、ライン
全体の効率を向上することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は製造ラインにおける
効率向上のために用いられる製造装置の停止時間のスケ
ジューリングシステムに関する。
効率向上のために用いられる製造装置の停止時間のスケ
ジューリングシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】製造ラインを構成する製造装置は、突発
的な故障が生じ、修理のために処理を停止する場合があ
る。また、突発的な故障を減らすため及び装置性能を維
持するためにメンテナンスが行われ、その間も装置によ
る処理を停止しなければならない。このメンテナンス
は、あらかじめ設定されたメンテナンスの頻度を考慮し
て、装置管理担当者が関係者と調整して実施日時を設定
していた。
的な故障が生じ、修理のために処理を停止する場合があ
る。また、突発的な故障を減らすため及び装置性能を維
持するためにメンテナンスが行われ、その間も装置によ
る処理を停止しなければならない。このメンテナンス
は、あらかじめ設定されたメンテナンスの頻度を考慮し
て、装置管理担当者が関係者と調整して実施日時を設定
していた。
【０００３】一方、製造ラインの効率を向上することは
重大な課題となっている。そのための手段として、ロッ
トの進行をより効率的に進めるスケジューリングシステ
ムが開発されている。
重大な課題となっている。そのための手段として、ロッ
トの進行をより効率的に進めるスケジューリングシステ
ムが開発されている。
【０００４】従来のスケジューリングシステムでは、装
置の故障は突発的なものであり、装置のメンテナンスに
よる停止時間も装置管理担当者が決定するものであるの
で、スケジューリングをする対象とはしていなかった。
つまり、装置の停止期間は、スケジューリングシステム
の外部より与えられる情報として、それらの状態に適す
るようにロットの進行のみをスケジューリングしてい
た。
置の故障は突発的なものであり、装置のメンテナンスに
よる停止時間も装置管理担当者が決定するものであるの
で、スケジューリングをする対象とはしていなかった。
つまり、装置の停止期間は、スケジューリングシステム
の外部より与えられる情報として、それらの状態に適す
るようにロットの進行のみをスケジューリングしてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の装置停止時間の設定では、装置メンテナン
ス担当者の都合や関係部署の都合で決められているのみ
で、製造ラインの効率を考慮して決められていなかっ
た。特定のロットの進行効率のみならば考慮することが
可能であったが、全体の効率を考慮することはできなか
った。また、これまでの製造ラインのスケジューリング
システムは、製造装置の停止時間のスケジューリングは
行っておらず、与えられた製造装置の停止時間にあわせ
てもっとも効率のよいロットの処理順を決めるのみであ
った。
ような従来の装置停止時間の設定では、装置メンテナン
ス担当者の都合や関係部署の都合で決められているのみ
で、製造ラインの効率を考慮して決められていなかっ
た。特定のロットの進行効率のみならば考慮することが
可能であったが、全体の効率を考慮することはできなか
った。また、これまでの製造ラインのスケジューリング
システムは、製造装置の停止時間のスケジューリングは
行っておらず、与えられた製造装置の停止時間にあわせ
てもっとも効率のよいロットの処理順を決めるのみであ
った。
【０００６】本発明は、上記のように、製造装置の停止
時間が全体の効率を考慮して決定されていないため、製
造ラインの効率が低下するという問題を解決しようとす
るものである。
時間が全体の効率を考慮して決定されていないため、製
造ラインの効率が低下するという問題を解決しようとす
るものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本製造装置の停止時間スケジューリングシステム
は、製造ラインに仕掛かるロットの工程フロー情報取得
手段と、該ロットの進捗情報取得手段と、前記製造ライ
ンを構成する製造装置の処理停止予定情報の取得手段
と、該製造装置の停止時間を決定し通知する手段を有す
るものである。
めに本製造装置の停止時間スケジューリングシステム
は、製造ラインに仕掛かるロットの工程フロー情報取得
手段と、該ロットの進捗情報取得手段と、前記製造ライ
ンを構成する製造装置の処理停止予定情報の取得手段
と、該製造装置の停止時間を決定し通知する手段を有す
るものである。
【０００８】本発明は上記した構成によって、製造装置
の処理停止予定とロットの工程フローと進捗状況の情報
から、最も効率の良い装置停止時間をスケジューリング
するものである。
の処理停止予定とロットの工程フローと進捗状況の情報
から、最も効率の良い装置停止時間をスケジューリング
するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例の製造装
置の停止時間スケジューリングシステムについて、図面
を参照しながら説明する。
置の停止時間スケジューリングシステムについて、図面
を参照しながら説明する。
【００１０】（実施例１）図１は本発明の第１の実施例
における製造装置の停止時間スケジューリングシステム
の概略図である。図１において、１は製造装置の停止予
定の情報である。２はラインに仕掛かるロットの工程フ
ロー情報、３はロットの進捗情報である。４は装置停止
時間スケジューリング部であり、５は装置停止スケジュ
ールの出力、６はロット進行スケジュールの出力であ
る。
における製造装置の停止時間スケジューリングシステム
の概略図である。図１において、１は製造装置の停止予
定の情報である。２はラインに仕掛かるロットの工程フ
ロー情報、３はロットの進捗情報である。４は装置停止
時間スケジューリング部であり、５は装置停止スケジュ
ールの出力、６はロット進行スケジュールの出力であ
る。
【００１１】以上のように構成された製造装置の停止時
間スケジューリングシステムについて、半導体製造ライ
ンにおける例を以下図１及び図２、３、４を用いてその
内容を説明する。
間スケジューリングシステムについて、半導体製造ライ
ンにおける例を以下図１及び図２、３、４を用いてその
内容を説明する。
【００１２】半導体製造ラインでは、数十台の製造装置
を用いてロットが処理される。その一部の装置を例とし
て製造装置Ａ、製造装置Ｂ、製造装置Ｃとして図１に示
す。ロットは、工程フローと呼ばれる処理内容情報に基
づいてこれらの装置を用いて処理が行われる。工程フロ
ー２には、各工程毎の使用する製造装置名、処理の詳細
な内容と、それら工程の順番の情報が含まれている。
を用いてロットが処理される。その一部の装置を例とし
て製造装置Ａ、製造装置Ｂ、製造装置Ｃとして図１に示
す。ロットは、工程フローと呼ばれる処理内容情報に基
づいてこれらの装置を用いて処理が行われる。工程フロ
ー２には、各工程毎の使用する製造装置名、処理の詳細
な内容と、それら工程の順番の情報が含まれている。
【００１３】半導体の製造ラインには、数百以上のロッ
トが仕掛かっており、それぞれのロットがどの工程を処
理されているか、どの工程が終了しているか、またそれ
らの開始終了時刻などの情報がロット進捗情報３であ
る。
トが仕掛かっており、それぞれのロットがどの工程を処
理されているか、どの工程が終了しているか、またそれ
らの開始終了時刻などの情報がロット進捗情報３であ
る。
【００１４】一方、製造装置は、突発的な故障による停
止が発生するとロットの進行や計画に大きな影響を与
え、ロットの処理中に故障した場合には大きな損失を与
える。そこで、故障を防ぐために、一定の処理枚数ある
いは一定の期間が経過した時点でメンテナンスを行う。
また、装置が不調になってきたことがわかった場合に
は、故障する前にメンテナンスを行う必要が生じる。装
置の管理担当者は、これら装置の状態を基に、メンテナ
ンスを実際に行う担当者や社外のサービスマン等と実施
予定日時を決定する。その際、装置停止によるロットの
進行への影響を考慮して予定を決定するが、特定のロッ
トとの調整は可能であるが全体を調整することは不可能
であった。
止が発生するとロットの進行や計画に大きな影響を与
え、ロットの処理中に故障した場合には大きな損失を与
える。そこで、故障を防ぐために、一定の処理枚数ある
いは一定の期間が経過した時点でメンテナンスを行う。
また、装置が不調になってきたことがわかった場合に
は、故障する前にメンテナンスを行う必要が生じる。装
置の管理担当者は、これら装置の状態を基に、メンテナ
ンスを実際に行う担当者や社外のサービスマン等と実施
予定日時を決定する。その際、装置停止によるロットの
進行への影響を考慮して予定を決定するが、特定のロッ
トとの調整は可能であるが全体を調整することは不可能
であった。
【００１５】ロットの進行にあたえる影響を図３、４を
用いて説明する。図３、４は横軸に時間をとってあり、
ロットＸ，Ｙ，Ｚ，Ｗそれぞれの工程の進行を模式的に
示した図である。図３は、メンテナンスの設定により装
置Ａが停止した場合に、それぞれのロットがどのように
進行するかを示した図である。この図では簡単のため
に、装置Ａを使用する工程を工程Ａ、装置Ｂを使用する
工程を工程Ｂ、装置Ｄを使用する工程を工程Ｄと呼んで
いる。図のように、ロットＸ，Ｚ，Ｗはそれぞれ工程Ａ
２１、工程Ｄ２２、工程Ｂ２３が連続する工程の並びを
有するとする。また簡単のため、装置Ａ、装置Ｄ、装置
Ｂはそれぞれ１つのロットしか処理できないとする。
用いて説明する。図３、４は横軸に時間をとってあり、
ロットＸ，Ｙ，Ｚ，Ｗそれぞれの工程の進行を模式的に
示した図である。図３は、メンテナンスの設定により装
置Ａが停止した場合に、それぞれのロットがどのように
進行するかを示した図である。この図では簡単のため
に、装置Ａを使用する工程を工程Ａ、装置Ｂを使用する
工程を工程Ｂ、装置Ｄを使用する工程を工程Ｄと呼んで
いる。図のように、ロットＸ，Ｚ，Ｗはそれぞれ工程Ａ
２１、工程Ｄ２２、工程Ｂ２３が連続する工程の並びを
有するとする。また簡単のため、装置Ａ、装置Ｄ、装置
Ｂはそれぞれ１つのロットしか処理できないとする。
【００１６】図のように、装置Ａがある時間帯停止する
ことが決定していた場合、ロットＸの工程Ａは、装置Ａ
が停止後稼動開始した時点より処理が開始される。その
後、工程Ｄ２２、工程Ｂ２３、と続けて処理が行われて
いく。ロットＹについては、装置Ａの停止時間１０と重
なる時間がないため連続して処理が進められていく。ロ
ットＺに関しては、装置Ａの稼動開始後ロットＸの工程
Ａを処理するのを待ち、処理終了後ロットＺの工程Ａを
処理開始する。ロットＷの場合は、工程ＡがロットＺの
工程Ａが終了した時点で処理開始される。
ことが決定していた場合、ロットＸの工程Ａは、装置Ａ
が停止後稼動開始した時点より処理が開始される。その
後、工程Ｄ２２、工程Ｂ２３、と続けて処理が行われて
いく。ロットＹについては、装置Ａの停止時間１０と重
なる時間がないため連続して処理が進められていく。ロ
ットＺに関しては、装置Ａの稼動開始後ロットＸの工程
Ａを処理するのを待ち、処理終了後ロットＺの工程Ａを
処理開始する。ロットＷの場合は、工程ＡがロットＺの
工程Ａが終了した時点で処理開始される。
【００１７】次に、図４に示すように、装置Ｂの停止が
ロット全体のスケジュールを考慮せず、ロットＸ及びロ
ットＹのスケジュールのみを考慮して停止した場合のロ
ット進行について述べる。図のように、ロットＸ及びロ
ットＹについては装置Ｂの停止による影響はなく、図３
と同様のロット進行が行われる。しかしながら、ロット
Ｚ及びロットＷについては、工程Ｂを行う予定の時間帯
に装置Ｂの停止時間１１が設定されたため、ロットＺの
工程Ｂについては装置Ｂが稼動開始後に、ロットＷの工
程ＢはさらにロットＺの工程Ｂが終了後にそれぞれ処理
が開始される。このように、ロットＺ及びロットＷにお
いて装置Ｂ停止による処理待ち時間が発生し、全体の効
率が低下している。
ロット全体のスケジュールを考慮せず、ロットＸ及びロ
ットＹのスケジュールのみを考慮して停止した場合のロ
ット進行について述べる。図のように、ロットＸ及びロ
ットＹについては装置Ｂの停止による影響はなく、図３
と同様のロット進行が行われる。しかしながら、ロット
Ｚ及びロットＷについては、工程Ｂを行う予定の時間帯
に装置Ｂの停止時間１１が設定されたため、ロットＺの
工程Ｂについては装置Ｂが稼動開始後に、ロットＷの工
程ＢはさらにロットＺの工程Ｂが終了後にそれぞれ処理
が開始される。このように、ロットＺ及びロットＷにお
いて装置Ｂ停止による処理待ち時間が発生し、全体の効
率が低下している。
【００１８】ここで、本発明のスケジューリングシステ
ムでは、ロットＸ、Ｙ、Ｚ、Ｗそれぞれの進行状況及び
それぞれの工程でどの装置を用いるかといったプロセス
フロー情報、装置Ａが停止する時間や装置Ｂの停止を予
定しなければならないといった装置停止予定情報に基づ
き、装置Ｂの停止時間をどの時間に行えば効率が良いか
をスケジューリングする。つまり、図１に示すところの
装置停止予定情報１と工程フロー情報２、ロット進捗情
報３を基に、装置停止時間スケジューリング部４におい
て最適な装置停止時間を決定し、装置停止スケジュール
５及びロット進行スケジュール６として結果を出力す
る。図４の例の場合に本スケジューリングシステムの出
力がどのようになるかを以下に示す。
ムでは、ロットＸ、Ｙ、Ｚ、Ｗそれぞれの進行状況及び
それぞれの工程でどの装置を用いるかといったプロセス
フロー情報、装置Ａが停止する時間や装置Ｂの停止を予
定しなければならないといった装置停止予定情報に基づ
き、装置Ｂの停止時間をどの時間に行えば効率が良いか
をスケジューリングする。つまり、図１に示すところの
装置停止予定情報１と工程フロー情報２、ロット進捗情
報３を基に、装置停止時間スケジューリング部４におい
て最適な装置停止時間を決定し、装置停止スケジュール
５及びロット進行スケジュール６として結果を出力す
る。図４の例の場合に本スケジューリングシステムの出
力がどのようになるかを以下に示す。
【００１９】本例のように工程Ａ、Ｄ、Ｂという工程の
並びが多い場合には、装置Ａの稼動開始直後に処理を始
めたロットＸの工程Ｂが処理を開始する予定の時刻まで
に装置Ｂのメンテナンスを行うのが最も効率が良い。そ
こで、図２に示すような装置Ｂの装置停止スケジュール
５とその装置停止予定にあわせたロット進行スケジュー
ル６が出力される。図からわかるように、図３のロット
進行と全く一致するロット進行が得られ、装置Ｂの停止
による効率の低下を防ぐことができている。
並びが多い場合には、装置Ａの稼動開始直後に処理を始
めたロットＸの工程Ｂが処理を開始する予定の時刻まで
に装置Ｂのメンテナンスを行うのが最も効率が良い。そ
こで、図２に示すような装置Ｂの装置停止スケジュール
５とその装置停止予定にあわせたロット進行スケジュー
ル６が出力される。図からわかるように、図３のロット
進行と全く一致するロット進行が得られ、装置Ｂの停止
による効率の低下を防ぐことができている。
【００２０】本実施例のように、ロット数が少なく工程
の並びが単純でない場合にも、全体の効率を考慮して装
置Ｂの停止時間を決定することにより、ライン全体の効
率を向上することができる。
の並びが単純でない場合にも、全体の効率を考慮して装
置Ｂの停止時間を決定することにより、ライン全体の効
率を向上することができる。
【００２１】さらには、全体の効率を考慮すると、故障
を未然に防ぐために、ロット進行に影響のない時間帯を
スケジューリングシステムが指示した場合に、メンテナ
ンス予定より早くてもメンテナンスを実施し、長期的に
は装置停止による全体の効率を低下させることなく装置
の故障を未然に防ぐ装置管理方法を取り入れることが可
能となる。
を未然に防ぐために、ロット進行に影響のない時間帯を
スケジューリングシステムが指示した場合に、メンテナ
ンス予定より早くてもメンテナンスを実施し、長期的に
は装置停止による全体の効率を低下させることなく装置
の故障を未然に防ぐ装置管理方法を取り入れることが可
能となる。
【００２２】
【発明の効果】本製造装置の停止時間スケジューリング
システムは、製造ラインに仕掛かるロットの工程フロー
情報取得手段と、該ロットの進捗情報取得手段と、前記
製造ラインを構成する製造装置の処理停止予定情報の取
得手段と、該製造装置の停止時間を決定し通知する手段
を有することにより、製造装置の停止時間が全体の効率
を考慮して決定されていないため、製造ラインの効率が
低下するという問題を解決するものである。
システムは、製造ラインに仕掛かるロットの工程フロー
情報取得手段と、該ロットの進捗情報取得手段と、前記
製造ラインを構成する製造装置の処理停止予定情報の取
得手段と、該製造装置の停止時間を決定し通知する手段
を有することにより、製造装置の停止時間が全体の効率
を考慮して決定されていないため、製造ラインの効率が
低下するという問題を解決するものである。
【図１】本発明の第１の実施例における製造装置の停止
時間スケジューリングシステムの概略図
時間スケジューリングシステムの概略図
【図２】本発明の第１の実施例のロット進行のチャート
図
図
【図３】本発明の第１の実施例の装置が１台のみ停止し
た場合のロット進行のチャート図
た場合のロット進行のチャート図
【図４】装置が２台停止した場合の従来のロット進行の
チャート図
チャート図
１ 装置停止予定情報 ２ 工程フロー情報 ３ ロット進捗情報 ４ 装置停止時間スケジューリング部 ５ 装置停止スケジュール ６ ロット進行スケジュール １０ 装置Ａの停止時間 １１ 装置Ｂの停止時間 ２１ 工程Ａ ２２ 工程Ｄ ２３ 工程Ｂ
Claims (2)
- 【請求項１】 製造ラインに仕掛かるロットの工程フロ
ー情報取得手段と、該ロットの進捗情報取得手段と、前
記製造ラインを構成する製造装置の処理停止予定情報の
取得手段と、該製造装置の停止時間を決定し通知する手
段を有することを特徴とした製造装置の停止時間スケジ
ューリングシステム。 - 【請求項２】 製造装置の停止時間の決定は、複数の製
造装置の停止時間とそれら製造装置で処理される工程そ
れぞれの間の工程の処理予定時間を用いて決定されるこ
とを特徴とする請求項１記載の製造装置の停止時間スケ
ジューリングシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9822096A JPH09285948A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 製造装置の停止時間スケジューリングシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9822096A JPH09285948A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 製造装置の停止時間スケジューリングシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09285948A true JPH09285948A (ja) | 1997-11-04 |
Family
ID=14213890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9822096A Pending JPH09285948A (ja) | 1996-04-19 | 1996-04-19 | 製造装置の停止時間スケジューリングシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09285948A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004185358A (ja) * | 2002-12-04 | 2004-07-02 | Komatsu Ltd | メンテナンススケジューリング装置及び方法 |
| JP2009205387A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Hitachi Ltd | スケジューリング装置、プログラム及びスケジューリング方法 |
| JP2010282353A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Hitachi Ltd | 動的保守計画装置 |
| JP2011039751A (ja) * | 2009-08-10 | 2011-02-24 | Canon Inc | 情報処理装置、情報処理方法、およびプログラム |
| JP2016167129A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 株式会社神戸製鋼所 | 製鋼工場における物流の処理スケジュール作成装置 |
| CN109870985A (zh) * | 2019-01-29 | 2019-06-11 | 迈克医疗电子有限公司 | 一种调度系统及其控制方法 |
| JP2021064255A (ja) * | 2019-10-16 | 2021-04-22 | 富士通株式会社 | メンテナンススケジュール作成プログラム、メンテナンススケジュール作成方法、及びメンテナンススケジュール作成装置 |
| WO2023074371A1 (ja) * | 2021-10-26 | 2023-05-04 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 保守作業通知システム及び保守作業通知方法 |
-
1996
- 1996-04-19 JP JP9822096A patent/JPH09285948A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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