JPH08240627A - ディスプレイパネル検査用の信号印加装置 - Google Patents

ディスプレイパネル検査用の信号印加装置

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JPH08240627A
JPH08240627A JP7043286A JP4328695A JPH08240627A JP H08240627 A JPH08240627 A JP H08240627A JP 7043286 A JP7043286 A JP 7043286A JP 4328695 A JP4328695 A JP 4328695A JP H08240627 A JPH08240627 A JP H08240627A
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Yoshitaka Nakamura
吉孝 中村
Yoji Kitajima
洋史 北島
Takaaki Taniyama
隆昭 谷山
Kazuhiro Shibata
和宏 柴田
Kiyoshi Nakazawa
清 中沢
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 液晶表示パネルの各信号入力端子Tnに、そ
れぞれに接触する複数のプローブピンを介して検査信号
を印加する検査信号印加装置であって、フレキシブル基
板からなる信号入力基板に設けられた櫛歯状を成すプロ
ーブ接続用パターン9は、奇数端子側及び偶数端子側パ
ターン9a・9bにおける櫛歯部分が、上記信号入力端
子Tnの端子方向に対して傾きを有し、一本の櫛歯部分
が同じ信号を印加すべき三本のプローブピンを結ぶよう
に形成されている(各プローブピンのコンタクト位置を
1 ,S2 ,…で示す)。 【効果】 櫛歯部分のパターンピッチP2 を大きく、パ
ターン幅も太くとれる。このような検査信号印加装置を
搭載することで、今後さらに微細化される液晶表示パネ
ルの検査を充分に、かつ正確に行ない得る欠陥検査装置
や欠陥修正装置を実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶表示パネル
等のディスプレイパネルの欠陥を検査する欠陥検査装置
や、欠陥を修正する欠陥修正装置に供され、ディスプレ
イパネルの各信号入力端子へ検査用の電気信号を印加す
るディスプレイパネル検査用の信号印加装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】液晶の電気光学効果をテレビ画像に利用
した表示素子として、液晶表示パネルが提供されてい
る。この液晶表示パネルは、行列状に配列された多数の
絵素電極とそれに印加された電圧に応じて光を変調する
液晶層を備えている。近年、このような液晶表示パネル
の高品位化に伴い、各絵素電極にスイッチング素子を付
加し、このスイッチング素子を介して絵素電極に映像信
号を印加する方法が用いられている。
【0003】ところが、スイッチング素子の製造工程は
複雑であるため、絵素不良や、走査線及び信号線の断線
或いはショート、さらにスイッチング素子不良等の各種
不良が発生し易く、この種の不良状態の検査及び解析
が、最終製品の表示品位向上を目指す上で特に重要とな
っている。不良検査の方法としては、今日、被検査体で
ある液晶表示パネルの多数の信号入力端子に、検査用の
電気信号、つまり検査信号をブローブピンを接触させて
印加する方法が主流となっている。
【0004】以下に、本発明の説明図である図2ないし
図4を参照して、プローブによる不良検査を説明する。
図2は、液晶表示パネルの点灯検査を行なうときに使用
される点灯検査装置等に供される、液晶表示パネルの信
号入力端子に検査信号を印加する検査信号印加装置の構
成図であり、ステージ3上に液晶表示パネル1が載置さ
れる。液晶表示パネル1における端部側に形成された信
号入力端子部2a・2bには、図4に示すように、複数
の信号入力端子T1 ,T2 ,…が形成されている。
【0005】ステージ3の上方には、ステージ3に載置
された液晶表示パネル1の信号入力端子部2a・2bと
対応する位置に、プローブ5a・5bをそれぞれ備えた
プローブ支持部材4が配されている。上記プローブ5a
・5bには、図3にも示すように、液晶表示パネル1の
信号入力端子部2a・2bに形成された個々の信号入力
端子の配列に対応した複数のプローブピンW1 ,W2
…がそれぞれ備えられている。そして、プローブ5a・
5bには、検査信号生成回路8にて生成された検査信号
が、信号入力ピン7a・7bから、フレキシブル基板か
らなる信号入力基板6a・6bを介して入力される。
【0006】上記信号入力基板6a・6bには、液晶表
示パネル1の各信号入力端子Tn(n=1,2,3,
…)に、検査信号が偶数・奇数毎にグループ化されて入
力されるように、プローブ接続用の配線パターン(以
下、プローブ接続用パターンと称する)が形成されてい
る。
【0007】これにより、液晶表示パネル1の各信号入
力端子Tnにおける奇数端子(T1,T3 ,…)・偶数
端子(T2 ,T4 ,…)毎に異なる検査信号を入力し、
点灯表示検査を行なうことで、ソースライン、或いはゲ
ートライン間の短絡を検出できる。また、奇数端子(T
1 ,T3 ,…)・偶数端子(T2 ,T4 ,…)毎に接続
し、両者間の抵抗値の測定を行なうことで液晶表示パネ
ル1における複数並列の電極間の短絡を検出することが
できる。
【0008】図5に、従来の検査信号印加装置におい
て、信号入力基板に形成されているプローブ接続用パタ
ーン20を示す。プローブ接続用パターン20は、各々
櫛型を成す奇数端子側パターン20aと偶数端子側パタ
ーン20bとからなり、奇数端子側パターン20aにお
ける櫛歯部分と偶数端子側パターン20bにおける櫛歯
部分のパターンピッチP3 は、プローブピンの信号出力
側に配される液晶表示パネルの信号入力端子の端子ピッ
チと同じピッチで形成されている。
【0009】ところで、現在、大型液晶表示パネルが最
もよく使用されているノートタイプのパーソナルコンピ
ュータ等の製品においては、液晶モジュールサイズの縮
小、すなわち表示部以外の外周占有率の削減が要望され
ている。したがって、現在は液晶表示パネルの2辺に信
号入力端子部が形成された2辺信号入力方式が主流とな
っており、また、1辺の信号入力端子部からソース信号
及びゲート信号を入力する1辺信号入力方式も提案され
ている。このような2辺信号入力方式や1辺信号入力方
式では、必要な端子数を少ない領域に形成するため、信
号入力端子の端子ピッチが微細化される。また、表示画
面の高精細化も要望されており、現在主流のVGA(vi
deo graphics array) 方式から、S(super) −VGA、
XGA(extended graphics array) 方式の需要が高まっ
ている。このような方式では、何れも端子ピッチが微細
化される方向にある。その結果、55〜75μmピッチ
で設計された信号入力端子に検査信号を入力するプロー
ブ技術、つまり、プローブ線径の微細化やピッチの微細
化が必要となっている。
【0010】そこで、本願出願人は、特願平6−143
531号において、端子ピッチがプローブ作成の限界ピ
ッチよりさらに小さいピッチであってもプローブによる
パネル検査が可能な液晶表示パネルの端子構造を提案し
ている。これにおいては、液晶表示パネルにおける隣合
う信号入力端子の、プローブピンとの各コンタクト位置
を千鳥状に配することによって、別々に作成した2枚の
プローブを完成後に2段重ね等の手法で位置をずらせて
一体化している。これにより、プローブピンは千鳥状を
成し、現在のプローブ技術で充分目的のピッチをもつプ
ローブを作成できる。前述した図5に、従来のプローブ
接続用パターン20と共に、千鳥状に配されたプローブ
ピンのコンタクト位置をS1 ,S2 ,…にて示す。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のプロ
ーブの千鳥構造により、微細なピッチの信号入力端子に
プローブピンを接触させて個別に信号を入力することは
可能であるが、前述したように、検査信号生成回路から
の検査信号を信号入力ピンより信号入力基板を介してプ
ローブに入力するため、信号入力端子の端子ピッチの微
細化に伴い、信号入力基板に形成されたプローブ接続用
パターンの櫛歯部分のピッチの微細化が必要となる。
【0012】しかしながら、信号入力基板として用いら
れるフレキシブル基板の現在のパターン生成技術の限界
ピッチは、液晶表示パネルの信号入力端子の限界ピッチ
より大きく、そのため、信号入力端子の端子ピッチが、
フレキシブル基板のパターン生成技術の限界ピッチ以下
になると、前述の図5のようなプローブ接続用パターン
20では対応できないといった問題が生じてくる。
【0013】つまり、端子ピッチが広い液晶表示パネル
に対しては、フレキシブル基板上に、プローブピッチに
対応した並列パターンを形成することで対応できるが、
微細化され、信号入力端子の端子ピッチが例えば100
μmの液晶表示パネルでは、現在のフレキシブル基板の
パターン生成技術の限界ピッチが150μmであるた
め、信号入力基板にプローブピッチに対応した並列パタ
ーンを形成することができないわけである。
【0014】また、仮に現在の技術で製作可能な限界ピ
ッチで並列パターンを生成できたとしても、パターン幅
が極めて狭くなるため、今度はプローブとの位置合わせ
が困難となり、信号入力基板としての信頼性低下が招来
されることとなる。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1記載の
ディスプレイパネル検査用の信号印加装置は、上記の課
題を解決するために、検査信号生成手段にて生成された
ディスプレイパネル検査用の電気信号を、ディスプレイ
パネルの各信号入力端子に、各信号入力端子それぞれに
接触する複数の針状部材を介して印加するもので、上記
の複数の針状部材は千鳥状に配列されている一方、複数
の針状部材の信号入力側には、ディスプレイパネルの各
信号入力端子を電気的に組分けするための、櫛歯状を成
す配線パターンが形成された信号入力基板が配されてお
り、この信号入力基板に形成された配線パターンは、櫛
歯部分が針状部材の他方に配される上記信号入力端子の
端子方向に対して傾きを有し、一本の櫛歯部分が同じ信
号を印加すべき複数本の針状部材を結んでいることを特
徴としている。
【0016】本発明の請求項2記載のディスプレイパネ
ル検査用の信号印加装置は、上記の課題を解決するため
に、請求項1の構成において、上記信号入力基板に形成
された配線パターンは、奇数番目の針状部材に信号を入
力する櫛歯部分同士、及び偶数番目の針状部材に信号を
入力する櫛歯部分同士がそれぞれ結ばれていることを特
徴としている。
【0017】
【作用】請求項1の構成によれば、信号入力基板に設け
られた櫛歯状を成す配線パターンは、櫛歯部分が針状部
材の他方に配されるディスプレイパネルの信号入力端子
の端子方向に対して傾きを有し、一本の櫛歯部分が同じ
信号を印加すべき複数本の針状部材を結ぶように形成さ
れているので、従来の、個々の針状部材に対して一本の
櫛歯部分が形成されていた配線パターンに比べて、同じ
信号を印加すべき複数の針状部材に対して一本の櫛歯部
分にて対応でき、櫛歯部分のパターンピッチを大きくと
れ、それに伴いパターン幅も太くとれる。
【0018】そのため、ディスプレイパネルの信号入力
端子の端子ピッチが、信号入力基板を構成する例えばフ
レキシブル基板に配線パターンをパターニングする際の
限界ピッチより小さいピッチであったとしても、現在の
フレキシブル基板へのパターニング技術を用いて、複数
の針状部材の個々に所望の信号を入力できることとな
る。例えば請求項2に記載のように、奇数番目の針状部
材に信号を入力する櫛歯部分同士、及び偶数番目の針状
部材に信号を入力する櫛歯部分同士をそれぞれ結んだ構
成とし、ディスプレイパネルの信号入力端子を奇数番目
と偶数番目とに電気的に組分けすることで、ディスプレ
イパネルのソースライン、或いはゲートライン間の短絡
の検出や、複数並列の電極間の短絡を検出することがで
きる。
【0019】また、パターン幅を太くすることができる
ので、プローブとの位置合わせを容易にし、信号入力基
板としての信頼性が向上する。
【0020】
【実施例】本発明の一実施例を図1ないし図4を用いて
説明すれば、以下の通りである。本実施例に係る液晶表
示パネルの検査信号印加装置は、液晶表示パネル(ディ
スプレイパネル)の点灯表示検査を行なうときに使用さ
れる点灯検査装置等に供されるもので、図2に示すよう
に、液晶表示パネル1を載置するステージ3を備えてい
る。液晶表示パネル1における端部側に形成された信号
入力端子部2a・2bには、図4に示すように、互いに
平行に併置された複数本の短冊状の信号入力端子T1
2 ,…がそれぞれ形成されている。本実施例における
液晶表示パネル1は各信号入力端子Tn(n=1,2,
3,…)が微細化されたものであり、各信号入力端子T
nの端子ピッチP1 は、僅か100μmである。
【0021】上記ステージ3の上方には、図2に示すよ
うに、プローブ支持部材4が配されている。プローブ支
持部材4には、ステージ3に載置された液晶表示パネル
1の信号入力端子部2a・2bと対応する位置に、プロ
ーブ5a・5bが備えられている。そして、これらプロ
ーブ5a・5bには、液晶表示パネル1の信号入力端子
部2a・2bにそれぞれ形成された各信号入力端子Tn
の配列に対応したプローブピン(針状部材)W1
2 ,…がそれぞれ備えられている。
【0022】各プローブピンWn(n=1,2,3,
…)は、図4にプローブピンWnと信号入力端子Tnと
のコンタクト位置をS1 ,S2 ,…で示すように、同一
直線上に一列に配列されたものではなく、3段の千鳥状
に配列されている。このようなプローブ構成は、別々に
作成した3枚のプローブ部材を完成後に3段重ね等の手
法で位置をずらせて一体化することで得られる。このよ
うな千鳥構造とすることで、各プローブピンWnのピン
間隔であるプローブピッチも、プローブ部材としての作
製限界を超えた100μmとなっており、液晶表示パネ
ル1の各信号入力端子Tn(端子ピッチ100μm)に
信号を入力し得るようになっている。
【0023】また、検査信号印加装置には、検査信号を
生成するための検査信号生成回路(検査信号生成手段)
8が搭載されており、この検査信号生成回路8にて生成
された検査信号(電気信号)が、図3にも示すように、
プローブ5a・5bに、信号入力ピン7a・7b、及び
信号入力基板6a・6bを介して入力されるようになっ
ている。
【0024】上記信号入力基板6a・6bは、フレキシ
ブル基板等からなり、液晶表示パネル1における各信号
入力端子Tnが電気的にグループ化、例えば奇数端子
(T1,T3 ,…)・偶数端子(T2 ,T4 ,…)毎に
検査信号を入力するように、図1に示すような各々櫛歯
型を成す奇数端子側パターン9aと偶数端子側パターン
9bとからなるプローブ接続用パターン9が形成されて
いる。
【0025】これら奇数端子側パターン9a及び偶数端
子側パターン9bにおける櫛歯部分は、液晶表示パネル
1における各信号入力端子Tnの端子方向に対して斜め
に傾きを持たせて、同じ信号を印加すべき3つのプロー
ブピンを一本の櫛歯部分のパターンにて結んでいる。
【0026】図5に示すように、従来のプローブ接続用
パターン20は、奇数端子側パターン20a及び偶数端
子側パターン20bの各櫛歯部分が、液晶表示パネルの
信号入力端子の端子ピッチと同じピッチで信号入力端子
と平行に並列して形成された構成であった。そのため、
本実施例の液晶表示パネル1のように微細な信号入力端
子Tnに応じてパターニングしようとすると、櫛歯部分
をピッチ100μmで形成しなければならないが、10
0μmは現在のフレキシブル基板へのパターニングの限
界ピッチ150μmを超えているため、作製できなかっ
た。
【0027】これに対し、本実施例のプローブ接続用パ
ターン9は、上述したように櫛歯部分を信号入力端子T
nの端子方向に対して斜めに形成し、一本の櫛歯部分の
パターンで、三本のプローブピンWnを結んで信号を入
力させている。したがって、奇数端子側パターン9a及
び偶数端子側パターン9bの各櫛歯部分のパターンピッ
チP2 を液晶表示パネル1における信号入力端子Tnの
端子ピッチP1 よりも大きくとることが可能となってい
る。
【0028】本実施例の検査信号印加装置で採用されて
いる信号入力基板6a・6bのプローブ接続用パターン
9における設計数値を具体的に挙げると、液晶表示パネ
ル1の信号入力端子Tnの端子ピッチは100μm、こ
れに伴い千鳥構造のプローブ5a・5bのプローブピン
Wnのプローブピッチも100μmで、端子長手方向の
ピッチが500μmである場合、プローブ接続用パター
ン9における櫛歯部分は、信号入力端子Tnの端子方向
と直角をなす方向に対して68.2°の傾きを持たせて
形成されている。これにより、奇数端子側パターン9a
及び偶数端子側パターン9bの各櫛歯部分のパターンピ
ッチP2 は、現在のパターン生成技術で問題なく製作で
きる279μmとなっている。
【0029】上記構成の検査信号印加装置においては、
ソースライン、或いはゲートライン間の短絡を検出する
には、液晶表示パネル1の各信号入力端子Tnにおける
奇数端子(T1 ,T3 ,…)・偶数端子(T2 ,T4
…)毎に異なる検査信号が入力されるように、検査信号
生成回路8にて検査信号を生成し、その信号を信号入力
ピン7a・7b及び信号入力基板6a・6bを介してプ
ローブ5a・5bの各プローブピンWnに印加して液晶
表示パネル1の各信号入力端子Tnに信号入力し、点灯
表示検査を行なうことで検出できる。
【0030】また、奇数端子(T1 ,T3 ,…)・偶数
端子(T2 ,T4 ,…)毎に接続し、両者間の抵抗値の
測定を行なうことで液晶表示パネル1における複数並列
の電極間の短絡を検出することができる。
【0031】以上のように、本実施例においては、信号
入力基板6a・6bに設けられた櫛歯状を成すプローブ
接続用パターン9は、奇数端子側パターン9a及び偶数
端子側パターン9bにおける櫛歯部分がプローブピンW
nの他方に配される液晶表示パネル1の信号入力端子T
nの端子方向に対して傾きを有し、一本の櫛歯部分が同
じ信号を印加すべき三本のプローブピンWnを結ぶよう
に形成されているので、従来の、個々のプローブピンW
nに対して一本の櫛歯部分が形成されていたプローブ接
続用パターンに比べて、同じ信号を印加すべき複数のプ
ローブピンWnに対して一本の櫛歯部分にて対応でき、
櫛歯部分のパターンピッチP2 を大きくとれる。
【0032】したがって、液晶表示パネル1の各信号入
力端子Tnの端子ピッチP1 が、フレキシブル基板に配
線パターンをパターニングする際の限界ピッチより小さ
いピッチであったとしても、現在のフレキシブル基板へ
のパターニング技術を用いて、複数のプローブピンWn
の個々に所望の信号を入力できる信号入力基板6a・6
bを構成でき、このような検査信号印加装置を点灯検査
装置や欠陥修正装置に搭載することで、微細化された液
晶表示パネル1に対する検査や修正が可能となる。尚、
本実施例ではプローブ5a・5bを3段の千鳥構造とし
たが、もちろん2段或いはそれ以外の段数でも可能であ
る。
【0033】また、例えば信号入力端子の端子ピッチが
150μmの液晶表示パネルについて考えてみると、確
かに、液晶表示パネルの端子ピッチが150μmの場合
は、現在のフレキシブル基板へのパターニング技術で、
従来の図5に示したプローブ接続用パターン20を形成
できる。
【0034】しかしながら、その場合、パターン幅をパ
ターンピッチの1/2とした場合、75μmとなってし
まいプローブピンとの位置合わせが困難となる。このよ
うな場合も、本発明の構成を採用し、プローブピンの端
子長手方向のピッチが500μmの場合、プローブ接続
用パターンにおける櫛歯部分は、信号入力端子の端子方
向と直角をなす方向に対して59.0°の傾きを持たせ
て形成することで、奇数端子側パターン及び偶数端子側
パターンの各櫛歯部分のパターンピッチは386μm、
パターン幅は193μmとなり、信号入力基板としての
信頼性を向上できる。
【0035】
【発明の効果】本発明の請求項1記載のディスプレイパ
ネル検査用の信号印加装置は、以上のように、検査信号
生成手段にて生成されたディスプレイパネル検査用の電
気信号を、ディスプレイパネルの各信号入力端子に、各
信号入力端子それぞれに接触する複数の針状部材を介し
て印加するもので、上記の複数の針状部材は千鳥状に配
列されている一方、複数の針状部材の信号入力側には、
ディスプレイパネルの各信号入力端子を電気的に組分け
するための、櫛歯状を成す配線パターンが形成された信
号入力基板が配されており、この信号入力基板に形成さ
れた配線パターンは、櫛歯部分が針状部材の他方に配さ
れる上記信号入力端子の端子方向に対して傾きを有し、
一本の櫛歯部分が同じ信号を印加すべき複数本の針状部
材を結んでいる構成である。
【0036】また、請求項2記載のディスプレイパネル
検査用の信号印加装置は、以上のように、請求項1の構
成において、上記信号入力基板に形成された配線パター
ンは、奇数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分同
士、及び偶数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分
同士がそれぞれ結ばれている構成である。
【0037】これによれば、従来の、個々の針状部材に
対して一本の櫛歯部分が形成されていた配線パターンに
比べて、同じ信号を印加すべき複数の針状部材に対して
一本の櫛歯部分にて対応できるので、櫛歯部分のパター
ンピッチを大きくとれ、これに伴いパターン幅も太くと
れる。
【0038】したがって、ディスプレイパネルの信号入
力端子の端子ピッチが、信号入力基板を構成する例えば
フレキシブル基板に配線パターンをパターニングする際
の限界ピッチより小さいピッチであったとしても、現在
のフレキシブル基板へのパターニング技術を用いて、複
数の針状部材の個々に所望の信号を入力できる。また、
パターン幅を太くすることができるので、プローブとの
位置合わせを容易にし、信号入力基板としての信頼性を
向上させることができる。
【0039】そしてこの場合、例えば請求項2に記載の
ように、奇数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分
同士、及び偶数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部
分同士をそれぞれ結んだ構成とし、ディスプレイパネル
の信号入力端子を奇数番目と偶数番目とに電気的に組分
けすることで、ディスプレイパネルのソースライン、或
いはゲートライン間の短絡の検出や、複数並列の電極間
の短絡を検出することができる。
【0040】これらの結果、このようなディスプレイパ
ネルの検査信号印加装置を搭載することで、今後さらに
微細化されるディスプレイパネルの検査を充分に、かつ
正確に行ない得る欠陥検査装置や欠陥修正装置を提供で
きるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すもので、検査信号印加
装置に供される信号入力基板に形成されたプローブ接続
用パターンを示す説明図である。
【図2】液晶表示パネルの点灯表示検査を行なう際に用
いられる検査信号印加装置の概略の構成を示す斜視図で
ある。
【図3】上記検査信号印加装置における、信号入力ピン
と、信号入力基板と、プローブと、液晶表示パネルとの
接続関係を示す斜視図である。
【図4】液晶表示パネルの信号入力端子部に形成された
複数の信号入力端子と、各信号入力端子におけるプロー
ブピンの接触位置を示す説明図である。
【図5】従来技術を示すもので、検査信号印加装置に供
される信号入力基板に形成された従来のプローブ接続用
パターンを示す説明図である。
【符号の説明】
1 液晶表示パネル(ディスプレイパネル) 2a 信号入力端子部 2b 信号入力端子部 5a プローブ 5b プローブ 6a 信号入力基板 6b 信号入力基板 7a 信号入力ピン 7b 信号入力ピン 8 検査信号生成回路(検査信号生成手段) Tn 信号入力端子 Wn プローブピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴田 和宏 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 中沢 清 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】検査信号生成手段にて生成されたディスプ
    レイパネル検査用の電気信号を、ディスプレイパネルの
    各信号入力端子に、各信号入力端子それぞれに接触する
    複数の針状部材を介して印加するもので、 上記の複数の針状部材は千鳥状に配列されている一方、 複数の針状部材の信号入力側には、ディスプレイパネル
    の各信号入力端子を電気的に組分けするための、櫛歯状
    を成す配線パターンが形成された信号入力基板が配され
    ており、 この信号入力基板に形成された配線パターンは、櫛歯部
    分が針状部材の他方に配される上記信号入力端子の端子
    方向に対して傾きを有し、一本の櫛歯部分が同じ信号を
    印加すべき複数本の針状部材を結んでいることを特徴と
    するディスプレイパネル検査用の信号印加装置。
  2. 【請求項2】上記信号入力基板に形成された配線パター
    ンは、奇数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分同
    士、及び偶数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分
    同士がそれぞれ結ばれていることを特徴とする上記請求
    項1記載のディスプレイパネル検査用の信号印加装置。
JP04328695A 1995-03-02 1995-03-02 ディスプレイパネル検査用の信号印加装置 Expired - Fee Related JP3150866B2 (ja)

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