JP2008026497A - 光学パネル、検査プローブ、検査装置、および検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】細密な信号線に対しても確実なコンタクトを実現でき、検査コストを大幅に低減できる光学パネル、検査プローブの提供。
【解決手段】光学パネルのＲ，Ｇ，Ｂの各信号線の引出部２４には、各信号線に直交する検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂが信号線の色別に規定され、これらの検査用端子ラインにおいて対応する色の信号線にはスルーホール構造の検査用パッド２１１が形成される。また、ライン上の各検査用パッド２１１に一括導通する検査プローブ２００は、可撓性を有する基板２１０と、ライン状のコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂを有する配線部３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂと、基板２１０を押圧するバネ部材４００とを備え、コンタクト部３１１Ｒ等は、弾性を有する部材により形成され、バネ部材４００には、検査端子用ラインと直交する方向に沿った複数のスリット４１２が形成されている。
【選択図】図５

Description

本発明は、光学パネル、検査プローブ、検査装置、および検査方法に関する。

従来、画像を表示する光学パネルとして液晶パネルが知られ、この液晶パネルの表示ムラや信号線同士の短絡などを検査する各種の検査手段が提案されている（例えば特許文献１〜３）。
ここで、特許文献１に示された液晶パネルでは、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の順序で繰り返し配置されるデータ線を１本おきに２本連続して被覆する絶縁膜がデータ線の配線方向にデータ線の１ピッチずつずらして形成されている。この液晶パネルを検査する特許文献１の検査プローブは、各データ線に直交して延びるコンタクト部（ショートバー）を有する。コンタクト部は、Ｒ，Ｇ，Ｂの色別に計３本設けられ、これら３つのコンタクト部がそれぞれ、Ｒ，Ｇ，Ｂの同じ色に対応する各データ線に一括して導通する。

また、特許文献２の検査プローブは、検査対象の信号線１本１本に対応した櫛歯構造のプローブ群からなる。ここでは、ポリイミドやポリエステル製などのフレキシブル配線基板およびこれに積層される板部材が各スリットで分割されることにより、プローブ群が形成されている。各プローブの先端には、各信号線に接触するバンプ接点が設けられている。
さらに、特許文献３の検査プローブは、フレキシブル配線基板を円筒形のシリコンゴム部材の周りに巻いたもので、シリコンゴム部材を板バネで液晶パネル側の電極に押し当てる構成となっている。シリコンゴム部材は、その軸方向に沿って一様に板バネで押圧される。また、フレキシブル基板に略平行に形成された各配線が液晶パネルの信号線のそれぞれに対応する。

特開平７−５４８１号公報 特開平４−３６３６７１号公報 特開平２−１０８９７４号公報

上述のように各種の検査プローブが提案されているが、近年における表示画像の高解像度化および機器の小型化に伴い、光学パネルの信号線の線間隔が狭くなってきており、このような細密配線の光学パネルを対象とする検査プローブの実現となると難しい。
すなわち、特許文献１のように複数のデータ線に一括して接触されるバー状のコンタクト部を有する検査プローブを細密な光学パネルに使用した場合、データ線を所定の膜厚で覆う絶縁膜に妨げられて、そのコンタクト部が接触すべきデータ線まで当該コンタクト部が到達できないという問題が生じる。

一方、特許文献２，３のように検査対象の各信号線に一対一で対応する配線部を有する検査プローブは、検査対象が細密であるほど製造が困難となる。特に、特許文献２のように各信号線ごとにスリットを形成してプローブ群を形成することは極めて難しく、仮に製造できたとしても製造コストが高騰してしまう。
また、特許文献２，３のような検査プローブを使用する場合は、検査対象の信号線と検査プローブ側の配線との正確な位置合わせが不可欠となり、例えばＣＣＤカメラ等で撮像した画像をモニタで確認しながら位置合わせする作業には熟練を要し、また時間も掛かる。

そのうえ、細密配線される検査対象の基板に関し、近年の機器の小型化、薄型化に伴って基板の厚みが薄くなっており、このような基板を薄く形成する際のエッチングや研磨など、あるいは基板のソリによって基板表面の平坦性に欠ける光学パネルの検査を確実に行うことも重要な課題となってきている。
この点、特許文献１の検査プローブは、液晶パネルにコンタクト部を押し当てる具体的な手段は持たず、また前述のように絶縁膜に妨げられることから、このような平坦性に欠ける基板配線へのコンタクトが難しい。

また、特許文献２の検査プローブは、前述のように細密配線に対応することが現実的ではないが、狭小なピッチでスリットが形成された微細なプローブ群には耐久性に難点がある。加えて、このような微細なプローブ群では、基板表面におけるうねりなどの程度が大きい場合に対処できず、コンタクトが不確実となってしまう。
さらに、特許文献３の検査プローブは、円筒形のシリコンゴム部材が断面楕円形につぶれるまで板バネで押圧する構成であるが、このように大きく加重を掛けることでシリコンゴム部材が塑性変形する場合があるなど、やはり耐久性に不安があり、ゴム部材の劣化によりコンタクトの信頼性が低下するおそれがある。また、このようなシリコンゴム部材による変形量は一定量に限定されるため、コンタクトに必要な変形量を必ずしも得られない場合がある。さらに、各信号線と直交する方向に沿って設けられるシリコンゴム部材を単一の接触力で一様に押圧するため、基板表面に不規則に生じるうねり等に対応できない。

以上に鑑みて、本発明の目的は、細密な信号線に対しても確実なコンタクトを実現できること、および検査コストを大幅にコストダウンできることのこれら２つを少なくとも実現可能な光学パネル、検査プローブ、検査装置、および検査方法を提供することである。

本発明の光学パネルは、一定の順序で繰り返し配置される複数種類の信号線がそれぞれ画像表示領域の外側に引出され、この引出部において前記各信号線が互いに略平行とされた光学パネルであって、前記引出部には、絶縁膜が形成され、前記信号線の引出方向と交差する方向に沿って、前記信号線の各種類にそれぞれ対応する複数の検査用端子ラインが互いに略平行に規定され、前記検査用端子ラインにおいて、対応する種類の前記各信号線の位置にそれぞれ前記絶縁膜の外部に露出する複数のスルーホールが配列されていることを特徴とする。

この発明によれば、検査用端子ラインに沿った直線状のコンタクト部を有する簡易な構成の検査プローブにより、光学パネルの複数の信号線を一括して検査することが可能となる。
ここで、検査用端子ラインは、例えばＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の順序で繰り返し配置される光学パネルのデータ線について検査する場合は、赤色検査用端子ライン、緑色検査用端子ライン、青色検査用端子ラインの合計３本規定され、赤色検査用端子ラインにはＲの信号線にそれぞれ設けられたスルーホールが配列され、緑色検査用端子ラインにはＧの信号線にそれぞれ設けられたスルーホールが配列され、青色検査用端子ラインにはＢの信号線にそれぞれ設けられたスルーホールが配列されている。
すなわち、各検査用端子ラインは、パネル平面において互いにずれた位置にそれぞれ規定され、これらの検査用端子ラインごとに検査信号が入力される。

このように、信号線の種類ごとにライン状にコンタクトする構成により、各ライン上におけるスルーホールのピッチは信号線（データ線等）のピッチほど細密とならない。つまり、スルーホール間のピッチがさほど狭くならないため、検査プローブを容易に製作できる。また、このような構成により、１つ１つの信号線に対して検査プローブを位置合わせすることを不要にできる。
これらにより、光学パネルの細密化を促進できるとともに、検査コストを大幅に低減できる。ひいては、細密化が進む光学パネルの量産に大きく貢献できる。

加えて、各スルーホールが所定の信号線の位置に絶縁膜の厚み以上の高さで突設されるので、検査プローブのコンタクト部が簡易な構成のライン状に形成されていても、このスルーホールを通じて各信号線に確実に導通できる。つまり、検査用端子ライン上の絶縁膜の厚みによって導通不良を招くおそれがない。したがって、光学パネルの基板表面にうねり等が発生して不均一であるような場合でも、コンタクト部を各スルーホールに接触させ易くなるので、コンタクトの信頼性を向上させることができる。

一方、検査プローブに係る本発明の第１発明は、前述の光学パネルの特性検査にあたり前記信号線に接続される検査プローブであって、可撓性を有する基板と、前記検査用端子ラインに対応して延設されるコンタクト部を有し前記基板の一方の面に形成される配線部と、前記基板の他方の面に設けられ前記基板を前記スルーホールに向かって押圧するバネ部材とを備え、前記コンタクト部は、弾性体として形成されて前記スルーホールに導通し、前記バネ部材には、前記検査端子用ラインと交差する方向に沿ったスリットが複数形成されていることを特徴とする。

この発明によれば、弾性を有するコンタクト部と、スリットが形成されたバネ部材との二重の弾性構造により、コンタクト部を光学パネルの各検査用端子（スルーホール）にそれぞれ密接させることが可能となるので、コンタクトの信頼性を向上させることができる。つまり、光学パネルの基板表面に大小のうねりが生じているなど、基板の平坦性に欠ける場合であっても、程度の小さいうねりにはコンタクト部が追従し、程度の大きいうねりにはバネ部材のスリット形成部分が追従するので、コンタクト部を一端から他端まで、光学パネルの各検査用端子に対して均一に密接させることが可能となる。
ここで、本発明の検査プローブは、前述した本発明の光学パネルの検査に用いられるため、バネ部材による基板の押圧を通じてコンタクト部が光学パネルのスルーホールに加圧されることとなり、この際の光学パネルにおけるスルーホールと、検査プローブにおけるコンタクト部およびバネ部材の二重の弾性構造との相乗効果によって、コンタクトをより確実なものとできる。

また、本発明では、コンタクトにおける押圧部材としてバネ部材を使用しており、ゴム部材などを使用する場合と比べて耐久性を確保できるので、検査プローブを長寿命化できる。
なお、コンタクト部は、ニッケルや金、これらの合金などにより形成され、所定の弾性を有する。また、検査プローブの基板には、フレキシブル配線基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）などを採用できる。

スリット同士の間隔や、スリットにおける間隙の幅、長さ、スリットを形成する位置などは、光学パネルの基板表面のうねり等の実態に応じて適宜決められる。また、光学パネルの引出部には各スルーホールの端面部が検査用パッドとして並んでいるところ、これらの検査用パッドのうち検査信号が入力されない所謂ダミーパッドがある場合には、このダミーパッドの位置に対応するようにバネ部材のスリットを形成し、検査信号が入力される検査用パッドの位置にはスリットを形成しない、或いはダミーパッドの位置と比べてスリットの数を少なくすることなどが考えられる。これにより、スリットの部分でうねりによる変位を逃がしつつ、検査信号が入力される検査用パッドにはバネ部材のスリット以外の部位を押圧し、その検査用パッドにおけるコンタクト部の接触力を高くできるので、コンタクトの信頼性をより良好にできる。
但し、本発明ではバネ部材で基板を押圧する構成であるから、スリットが形成された部分においても、この基板の撓みを通じてコンタクト部を検査用端子に密接させることが可能であり、このようなスリットの形成によってもコンタクトが阻害されない点が優れている。

以上に加えて、コンタクト部はライン状に形成されて検査用端子ライン上の複数の検査用端子（スルーホール）に一括して接触する構造であり、バネ部材に形成されるスリットは、コンタクト部が各検査用端子に接触するのに必要な位置に必要な数だけ形成されていればよい。すなわち、各スリットが光学パネルの各信号線に一対一で対応している必要は無いため、スリットの数が少なくて済み、各信号線が細密に配置された光学パネル用の検査プローブを製造する際も、製造が困難とならない。また、光学パネルの各検査用端子に検査プローブのコンタクト部を一対一で位置合わせすることも不要にできる。
これらのことから、検査コストを大幅に低減でき、ひいては、細密化が進む光学パネルの量産に大きく貢献できる。

検査プローブに係る本発明の第２発明は、一定の順序で繰り返し配置される複数種類の信号線がそれぞれ画像表示領域の外側に引出され、この引出部では前記各信号線が互いに略平行とされるとともにこれら信号線の引出し方向と交差する方向に沿って前記信号線の各種類にそれぞれ対応する複数の検査用端子ラインが互いに略平行に規定され、前記検査用端子ラインに沿った方向において、対応する種類以外の前記信号線を覆う絶縁膜と、対応する種類の前記信号線が検査用端子として露出した露出部とが配列されている光学パネルの特性検査にあたり、前記信号線に接続される検査プローブであって、可撓性を有する基板と、前記検査用端子ラインに対応して延設されるコンタクト部を有し前記基板の一方の面に形成される配線部と、前記基板の他方の面に設けられ前記基板を前記露出部に向かって押圧するバネ部材とを備え、前記コンタクト部は、弾性体として形成されて前記露出部に導通し、前記バネ部材には、前記検査端子用ラインと交差する方向に沿ったスリットが複数形成されていることを特徴とする。

この発明によれば、前記の第１の検査プローブと同様に可撓性を有する基板と、コンタクト部と、バネ部材とを備えるため、前述と同様に、細密配線の光学パネルに対してもコンタクトの信頼性を向上させることができるとともに、検査コストを大幅に低減できる。

本発明の検査装置は、前述の検査プローブと、前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査信号を入力する検査信号発信手段とを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、前述の検査プローブを備えることから、前述と同様の作用および効果を享受できる。

本発明の検査方法は、前述の検査プローブを前記光学パネルに接続する接続工程と、前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査信号を入力する信号入力工程とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、前述の検査プローブを用いて光学パネルを検査することから、コンタクトの信頼性を向上させることができるとともに、検査コストを大幅に低減できる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
〔第１実施形態〕
本発明の光学パネルおよびこの光学パネルを検査対象とする検査装置に係る第１実施形態について図１〜図９を参照して説明する。
［１．全体構成］
図１は、光学パネルとしての液晶パネル２０を検査装置１００に接続した状態の全体構成である。
液晶パネル２０は、２枚の基板間に液晶が封入されて構成され（図示省略）、本実施形態では、小型の携帯情報機器などに組み込まれる小型かつ薄型のものとなっている。この液晶パネル２０において背面側に配置される基板３０の一端に検査プローブ２００が接続されている。この検査プローブ２００を介して検査チェッカー（検査信号発信手段）５００から液晶パネル２０に検査信号が入力される。このときの液晶パネル２０の点灯の状態から液晶パネル２０の画像表示検査が行われる。

［２．液晶パネルの構成および検査概要］
まず、検査対象となる液晶パネル２０およびこの液晶パネル２０の検査概要について説明する。
なお、液晶パネル２０の画像表示検査は、検査プローブ２００を液晶パネル２０のデータ線２２および走査線２１（図２）にそれぞれ接続して行われるが、本実施形態では主として、データ線２２に検査プローブ２００を接続する場合を例にとり説明する。

［２−１．液晶パネルの構成］
図２は、液晶パネル２０の全体構成を示す模式図である。
液晶パネル２０は、例えば、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）およびＢ（青色）を混色してカラー表示を行うものであり、液晶パネル２０の画像表示領域２８における各画素は、行方向（横方向）に見たときにＲ，Ｇ，Ｂの配列順序で繰り返し配置されている（図３参照）。

液晶パネル２０の各画素には、液晶セル（不図示）と、液晶セルに設けられたスイッチング素子としての薄膜二端子素子（不図示）とがそれぞれ配置されている。
そして、液晶パネル２０の列方向（縦方向）に配線されるデータ線２２により、同じ列に属する画素が結ばれている。すなわち、同じ色を発色する画素は共通のデータ線２２で結ばれている。なお、以降では、赤色の画素に繋がるデータ線２２を赤色データ線２２Ｒ（図３）、緑色の画素に繋がるデータ線を緑色データ線２２Ｇ（図３）、青色の画素に繋がるデータ線を青色データ線２２Ｂ（図３）と称することもあるが、特に区別する必要がない場合は、これらを単にデータ線２２と総称する。
一方、液晶パネル２０の行方向（横方向）には走査線２１が配線されており、同じ行に属する画素は共通の走査線２１で結ばれている。

これらのデータ線２２および走査線２１は、液晶パネル２０の画像表示領域２８から引出され、基板３０の一辺にまとめて配置されている。
具体的には、すべてのデータ線２２は、列方向にほぼ沿って基板３０の一辺側の略中央に引き出され、ここに引出部２４が形成されている。この引出部２４において、各データ線２２は互いに平行とされている。
また、走査線２１は、奇数行目、偶数行目に応じて互いに逆向きに行方向に沿って引出されたのち、データ線２２と略同様に列方向に沿って基板３０の一辺側に引き出されている。これにより、基板３０の一辺側には、奇数行目の走査線２１Ａが引き出された引出部２５（図２中、右下）と、偶数行目の走査線２１Ｂが引き出された引出部２５（図２中、左下）とがそれぞれ形成されている。これらの引出部２５において、各走査線２１Ａおよび各走査線２１Ｂはそれぞれ互いに平行とされている。

［２−２．液晶パネルの検査概要］
液晶パネル２０のデータ線２２に係る画像表示検査は、色（種類）ごと、すなわちＲ，Ｇ，Ｂごとに行われる。
例えば、Ｒの点灯検査に際しては、赤色の画素に繋がるデータ線（赤色データ線２２Ｒ）に一括して同じ信号が送信され画像表示領域２８全体が赤色に点灯される。この状態で、赤色についての点欠陥、線欠陥、画素ムラ等が検査される。また、赤色データ線２２Ｒのいずれかと他のデータ線（緑色データ線２２Ｇ、青色データ線２２Ｂ）のいずれかとの間でリークしていると画素が適正に点灯せず、このような表示不良に基づいてデータ線２２同士の短絡欠陥も検査される。
同様に、Ｇの点灯検査に際しては緑色データ線２２Ｇに一括して同じ信号が送信されて画像表示領域２８全体が緑色で点灯され、Ｂの点灯検査に際しては青色データ線２２Ｂに一括して同じ信号が送信されて画像表示領域２８全体が青色で点灯され、それぞれ検査が行われる。

［２−３．液晶パネルの特徴］
図３は、データ線２２の引出部２４（図２）を拡大した図である。また、図４は、引出部２４における基板３０の断面図である。
データ線２２には、赤色の画素に繋がる赤色データ線２２Ｒ、緑色の画素に繋がる緑色データ線２２Ｇ、および青色の画素に繋がる青色データ線２２Ｂの３種類があり、これらの各データ線２２Ｒ，２２Ｇ，２２ＢはＲ，Ｇ，Ｂの順序で繰り返し配置されている。
なお、引出部２４における各データ線２２の線間隔は、例えば約１０μｍ〜約４０μｍであり、実際は図示したよりも非常に細密となっている。以降の図においても、見易くするため、データ線２２のピッチが実際よりも大きいが、本発明を理解するうえでは問題ない。

ここで、引出部２４には、図３に示すように、データ線２２の引出し方向とは直交する３本の検査用端子ライン、すなわち、赤色検査用端子ライン２６Ｒ、緑色検査用端子ライン２６Ｇ、および青色検査用端子ライン２６Ｂがそれぞれ規定され、これらの各ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂは互いに平行とされている。これらの検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂを含む領域には、絶縁膜２６１が形成されている。
そして、赤色検査用端子ライン２６Ｒ上では、各赤色データ線２２Ｒの位置にそれぞれ、絶縁膜２６１の外部に露出するスルーホール構造の検査用パッド２１１が形成されている。同様に、緑色検査用端子ライン２６Ｇ上では各緑色データ線２２Ｇの位置にそれぞれ、青色検査用端子ライン２６Ｂ上では各青色データ線２２Ｂの位置にそれぞれ、赤色データ線２２Ｒに形成されたものと同じ構造の検査用パッド２１１が形成されている。
言い換えると、各検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂそれぞれにおいて、対応する色の各データ線にそれぞれ導通する複数の検査用パッド２１１が配列されている。

検査用パッド２１１におけるスルーホール構造については、図４に示した。図４は、赤色検査用端子ライン２６Ｒにおける引出部２４の断面を示し、赤色データ線２２Ｒの位置に、ニッケルなどを使用した電鋳によってスルーホール２１１Ａが立設されている。
なお、絶縁膜２６１の厚みおよびスルーホール２１１Ａの高さは誇張して図示されている。スルーホール２１１Ａの基板２１０表面からの高さは例えば約２μｍである。
また、隣り合うスルーホール２１１Ａ間のピッチは、例えば約３０〜約１２０μｍとなっている。

［３．検査プローブの構成］
次に、図５および図６を参照して検査プローブ２００について説明する。図５は、検査プローブ２００および液晶パネル２０の部分斜視図である。図６は、検査プローブ２００の裏側、すなわち液晶パネル２０の基板３０に対向する側を示す平面図である。
検査プローブ２００は、ポリイミド製やポリエステル製などの可撓性を有する矩形状のフレキシブル基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）２１０と、この基板２１０の一方の面にＲ，Ｇ，Ｂごとに設けられる配線部３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂと、基板２１０の他方の面に設けられるバネ部材４００とを備える。
なお、検査プローブ２００は、図示しない押圧手段により、検査装置内に押圧保持される。この状態で、検査プローブ２００は液晶パネル２０に接続される。この押圧手段は、例えば雄ネジおよび雌ネジにより構成される。

［３−１．配線部の構成］
配線部３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂは、図６に示すように、基板２１０の隣合う二辺に沿ってＬ字状に形成されている。これらの配線部３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂにおいて、各検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂ（図３）にそれぞれ対応して互いに平行に延びる部分に、ライン状のコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂがそれぞれ積層されている。すなわち、コンタクト部３１１Ｒは赤色検査用端子ライン２６Ｒに設けられた各検査用パッド２１１に接触し、コンタクト部３１１Ｇは緑色検査用端子ライン２６Ｇに設けられた各検査用パッド２１１に接触し、コンタクト部３１１Ｂは青色検査用端子ライン２６Ｂに設けられた各検査用パッド２１１に接触するようになっている。

コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂは、例えばニッケルを使用した導電性の弾性部材であり（バンプともいう）、配線部３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂから例えば約２μｍ程度の高さをもった凸形に形成されている。各図において、コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂの厚みは誇張して図示されている。
なお、コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂの長さは、例えば約１０ｍｍ〜約１００ｍｍであり、幅は、例えば、約１００μｍである。

［３−２．バネ部材の構成］
バネ部材４００は、図５に示すように、金属薄板の折り曲げにより形成されており、段落ち形成され平面部４１１を有する先端部４１０と、先端部４１０から段差を有して昇る基端部４２０とを有している。
基端部４２０は、図示しない押圧手段によって基板２１０の平面に向かって押圧され、この押圧力Ｆによって先端部４１０の平面部４１１が基板２１０の平面に圧接される。なお、基端部４２０は、押圧手段として設けられた図示しない複数のネジ等により、複数箇所で押圧されている。これらのネジにより、押圧力Ｆを調整することが可能である。

平面部４１１は、３つのコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂを幅方向に跨る寸法に形成されており、これらコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂに同時に接触する。
ここで、バネ部材４００を基板２１０に設ける際には、バネ部材４００におけるモーメントが各データ線２０の配線方向に作用し、かつ、バネ部材４００の基板２１０に対する加重中心が中央に配置されたコンタクト部３１１Ｇの幅方向略中央となるように位置決めされる。

また、バネ部材４００の先端部４１０には、コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂが延びる方向と交差する方向に切れ込んだ複数のスリット４１２が所定ピッチで形成されている。これらのスリット４１２のピッチＰＴは、例えば約１ｍｍ〜約１０ｍｍなどに設定できる。ただし、スリット４１２は一定ピッチで形成されていなくてもよく、検査信号を入力しないダミーパッドとしての検査用パッド２１１があるような場合には、例えばこのダミーパッドが設けられた部分にスリット４１２を細かいピッチで形成し、その他の部分にはスリット４１２を形成しない、若しくは大きいピッチで形成することも検討できる。なお、スリット４１２の幅ＷＤや長さＬは、適宜決められる。

［４．検査装置による液晶パネルの検査］
次に、検査装置１００による液晶パネル２０の画像表示検査について図７〜図９を参照して説明する。
液晶パネル２０の画像表示検査に際しては、図７の平面図に示すように、液晶パネル２０の引出部２４に検査プローブ２００を接続する（接続工程）。このとき、各コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂがデータ線２２と直交しかつ対応する検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂにそれぞれ乗る状態に検査プローブ２００を配置する。

ここで、図８に示すように、液晶パネル２０の基板３０の表面に不規則なうねりＷＶ等が生じている場合がある。なお、各図において、うねりＷＶの大きさは誇張されており、実際のうねりのサイズは約１μｍ〜数μｍ程度である。
本実施形態における液晶パネル２０は特に薄型であるため、基板３０はエッチングや研磨などで例えば約０．２ｍｍの厚さに薄く加工され、その際にできるうねりＷＶによって基板３０の表面は不均一となっている。
なお、図８では、基板３０表面における絶縁膜２６１および検査用パッド２１１などの図示を省略した。

このように基板３０にはうねりＷＶがあるものの、図示しない押圧手段によって検査プローブ２００を検査装置１００内に保持すると、図９に示すように、バネ部材４００で基板２１０が押圧され、これによって基板２１０と液晶パネル２０の基板３０との間でコンタクト部３１１Ｒが弾性変形してうねりＷＶの凸凹に倣う。この際、うねりＷＶの凹凸に倣ってスリット４１２も変形する。
すなわち、バネ部材４００およびコンタクト部３１１Ｒによる２つの弾性構造により、コンタクト部３１１Ｒは検査用端子ライン２６Ｒ（図３）の一端から他端まで、基板３０表面に均一に圧接され、各検査用パッド２１１に密接する。

なお、程度の小さいうねり（例えば約１μｍ以下）には主としてコンタクト部３１１Ｒの弾性変形により対応でき、程度の大きいうねり（例えば約１μｍ〜約１０μｍ）には、主としてバネ部材４００が基板２１０を押圧することによって対応できる。基板２１０は可撓性を有するため、スリット４１２が形成された部分においても基板２１０の撓みを通じてコンタクト部３１１Ｒを検査用パッド２１１に密接させることが可能である。

図９には、赤色検査用端子ライン２６Ｒ（図３）における検査プローブ２００および液晶パネル２０の断面を示したが、緑色検査用端子ライン２６Ｇおよび青色検査用端子ライン２６Ｂにおける各断面についても図９と略同様である。前述したバネ部材４００における加重中心の設定により、バネ部材４００の押圧力Ｆ（図８）は検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂのいずれにおいても十分に作用する。

つまり、緑色検査用端子ライン２６Ｇ（図３）においてうねりＷＶが生じている場合であっても、バネ部材４００による押圧、およびコンタクト部３１１Ｇの弾性変形により、コンタクト部３１１Ｇが各検査用パッド２１１に密接する。
また、同様に、青色検査用端子ライン２６Ｂ（図３）においてうねりＷＶが生じている場合であっても、バネ部材４００による押圧、およびコンタクト部３１１Ｂの弾性変形により、コンタクト部３１１Ｂが各検査用パッド２１１に密接する。

このように、コンタクト部３１１Ｒが各検査用パッド２１１を通じて赤色データ線２２Ｒに導通し、コンタクト部３１１Ｇが各検査用パッド２１１を通じて緑色データ線２２Ｇに導通し、コンタクト部３１１Ｂが各検査用パッド２１１を通じて青色データ線２２Ｂに導通した状態で、検査チェッカー５００から各検査プローブ２００の配線部３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂ（図６）に検査信号（検査用の駆動信号）を順次入力する（信号入力工程）。

例えば、まず赤色画素の点灯検査を行う場合には、配線部３００Ｒに検査信号を入力する。すると、配線部３００Ｒからコンタクト部３１１Ｒを介してすべての赤色データ線２２Ｒに同時に検査信号が入力され、赤色の各画素に電圧が印加される。この際、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂには検査信号が入力されず、液晶パネル２０の画像表示領域２８がすべて赤色に点灯するため、このときの点灯の様子を検査員が目視したり、あるいはＣＣＤ（charge-coupled device）カメラで撮像した画像を処理したりして、赤色について検査を行う。
続いて、配線部３００Ｇに検査信号を入力することにより、緑色の点灯検査を同様に行い、配線部３００Ｂに検査信号を入力することにより、青色の点灯検査を同様に行う。

なお、本実施形態の検査プローブ２００を走査線２１が引き出された引出部２５（図２）に接続することにより、走査線２１についての検査も可能である。例えば、図２中右下の引出部２５における各走査線２１Ａにコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂが直交するように検査プローブ２００を配置し、配線部３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂのいずれかに対して検査チェッカー５００から信号を入力することにより、奇数行目のすべての走査線２１Ａに駆動信号が印加される。この際の表示画像を目視あるいは画像処理などで検査すればよい。また、図２中左下の引出部２５における各走査線２１Ｂについても同様に行い、偶数行目のすべての走査線２１Ｂに駆動信号が印加された状態の表示画像を目視あるいは画像処理などで検査すればよい。

［５．本実施形態による効果］
以上説明した第１実施形態によれば、次の効果を奏することができる。

（１）液晶パネル２０は検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂが規定された構造であるため、検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂに沿った直線状のコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂを有する簡易な構成の検査プローブ２００により、液晶パネル２０の複数のデータ線２２を一括して検査することが可能となる。
このように各データ線２２を色別の赤色データ線２２Ｒ、緑色データ線２２Ｇ、青色データ線２２Ｂごとにライン状にコンタクトする構成により、各検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂにおける検査用パッド２１１のスルーホール２１１Ａ間のピッチがデータ線２２間のピッチほどに細密とならない。このため、検査プローブ２００を容易に製作できる。また、このような構成により、１つ１つのデータ線２２に対して検査プローブ２００を位置合わせすることを不要にできる。
これらにより、液晶パネル２０の細密化を促進できるとともに、検査コストを大幅に低減できる。液晶パネル２０の大量生産により、これらの効果を多大にできる。

（２）加えて、スルーホール構造の検査用パッド２１１が絶縁膜２６１に露出して形成されるので、検査プローブ２００のコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂが簡易な構成のライン状に形成されていても、スルーホール２１１Ａを通じて各データ線２２に確実にコンタクトできる。つまり、検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂにおける絶縁膜の厚みによって導通不良を招くおそれがない。したがって、液晶パネル２０の基板３０の表面にうねりＷＶが有るような場合であっても、コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂを各検査用パッド２１１に接触させ易くなるので、コンタクトの信頼性を向上させることができる。

（３）弾性を有するコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂと、スリット４１２が形成されたバネ部材４００との二重の弾性構造により、コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂを液晶パネル２０の各検査用パッド２１１にそれぞれ密接させることが可能となるので、コンタクトの信頼性を向上させることができる。すなわち、液晶パネル２０の基板３０の表面に大小のうねりＷＶが生じているなど、基板３０の平坦性に欠ける場合であっても、コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂを一端から他端まで、液晶パネル２０の各検査用パッド２１１に対して均一に密接させることが可能となる。

（４）また、検査プローブ２００では、コンタクトにおける押圧部材としてバネ部材４００を使用しており、ゴム部材などを使用する場合などと比べて耐久性を確保できるので、検査プローブ２００を長寿命化できる。

（５）コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂはライン状に形成されて検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂ上の複数の検査用パッド２１１に一括して接触する構造であり、バネ部材４００に形成されるスリット４１２は、コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂが各検査用パッド２１１に接触するのに必要な位置に必要な数だけ形成されていればよい。すなわち、各スリット４１２が液晶パネル２０の各データ線２２に一対一で対応している必要は無いため、スリット４１２の数が少なくて済み、検査プローブ２００の製造を容易にできる。これにより、検査プローブ２００の検査対象である液晶パネル２０を一層細密化できる。

（６）以上のような液晶パネル２０におけるスルーホール２１１Ａと、検査プローブ２００におけるコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂおよびバネ部材４００の二重の弾性構造との相乗効果によって、検査プローブ２００による液晶パネル２０へのコンタクトをより確実なものとできる。

〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態について説明する。図１０は、本実施形態の液晶パネル６０を検査プローブ２００と共に示す。本実施形態では、第１実施形態と同様の検査プローブ２００により、液晶パネル６０を検査する。

液晶パネル６０は、第１実施形態の液晶パネル２０と同様に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各データ線２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂが略平行に延びる引出部２４（図２）を有し、この引出部２４には、図１１に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂにそれぞれ対応する検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂが規定されている。
但し、本実施形態では、この引出部２４に第１実施形態のような絶縁膜２６１（図３）に露出するスルーホール構造の検査用パッド２１１は形成されておらず、代わりに、各データ線２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂを部分的に覆う絶縁膜２６２が形成されている。すなわち、絶縁膜２６２に被覆されない露出部２１２がそれぞれ、各データ線２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂにおける検査用端子となっており、各検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂにおいて、絶縁膜２６２と露出部２１２とが配列されている。

図１０に、赤色検査用端子ライン２６Ｒにおける絶縁膜２６２と露出部２１２との配列を示すように、本実施形態では、検査用端子である露出部２１２の基板３０表面からの高さが絶縁膜２６２の高さ位置よりも低い。このような構成に関わらず、検査プローブ２００を検査装置にセットし、バネ部材４００により基板２１０を押圧した際のコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂの弾性変形、そしてバネ部材４００のスリット４１２における変形により、コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂが各露出部２１２に均一に密接する。

すなわち、本実施形態の液晶パネル６０を検査プローブ２００によって検査することによっても、コンタクトの信頼性を向上できる。また、本実施形態により、第１実施形態で述べた（１）、（３）、（４）、（５）と略同様の効果が得られる。

〔第３実施形態〕
以下、本発明の第３実施形態について説明する。図１２は、本実施形態の検査プローブ７０を液晶パネル２０と共に示す。本実施形態では、第１実施形態と同様の液晶パネル２０の検査に検査プローブ７０を使用する。

本実施形態の検査プローブ７０は、第１実施形態の検査プローブ２００（図９）が備えていたバネ部材４００を備えておらず、その代わりに、基板２１０のコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂとは反対側の面に重ねられる弾性部材８０を備えている。検査プローブ７０のその他の構成は、第１実施形態の検査プローブ２００と同様に構成されている。
弾性部材８０は、シリコンゴムなどで形成され、図示しないネジなどの押圧手段によって基板２１０側に押圧され、この押圧力が基板２１０およびコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂに伝達される。これにより、コンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂは各検査用パッド２１１に均一に密接する。

すなわち、本実施形態の検査プローブ７０を液晶パネル２０の検査に使用することによっても、コンタクトの信頼性を向上できる。また、本実施形態により、第１実施形態で述べた（１）、（２）と略同様の効果が得られる。

〔本発明の変形例〕
以上の各実施形態において、本発明を具体的に説明したが、本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形、改良が可能である。

例えば、前記各実施形態における検査プローブは、液晶パネルの引出部における３本の検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂにそれぞれ対応して３本のコンタクト部３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂを有していたが、これに限らず、例えば１本のコンタクト部のみを有するより簡易な構造の検査プローブであってもよい。この場合、検査プローブを液晶パネルに対して移動させることでこの１本のコンタクト部を検査用端子ライン２６Ｒ，２６Ｇ，２６Ｂに順次乗せて、検査を実施すればよい。

また、第１実施形態で述べたように、液晶パネル２０におけるデータ線２２の引出部２４と、走査線２２の引出部２５とに検査プローブ２００を移動してそれぞれ接続することによって、これらデータ線２２および走査線２１に係る検査が可能であるが、検査プローブにおける基板およびバネ部材等を平面方向に大きく形成し、引出部２４および引出部２５に相当する位置にそれぞれコンタクト部を形成することにより、データ線および走査線に一度にコンタクト可能な検査プローブを実現できる。この検査プローブによれば、検査信号を入力する配線部を切り替えるだけで、検査プローブの位置をずらすことなく各データ線および各走査線について検査可能となるので、検査時間を短縮できる。

本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

本発明は、光学パネルの画像表示検査のみならず、信号線が配線された電子機器の特性検査にも利用できる。

本発明の第１実施形態において、液晶パネルを検査装置に接続した状態の全体構成を示す図。 前記第１実施形態において、液晶パネルの全体構成を示す図。 前記第１実施形態において、データ線の引出部を拡大した図。 前記第１実施形態において、引出部における液晶パネルの側断面図。 前記第１実施形態において、検査プローブの構成を示す斜視図。 前記第１実施形態において、検査プローブの配線部を示す平面図。 前記第１実施形態において、検査プローブが引出部に接続された状態を示す平面図。 前記第１実施形態において、検査プローブの側面および液晶パネルの側断面を示す図。 前記第１実施形態において、検査プローブがデータ線に接続した状態の断面図。 本発明の第２実施形態において、検査プローブがデータ線に接続した状態の断面図。 前記第２実施形態において、液晶パネルの引出部を示す平面図。 本発明の第３実施形態において、検査プローブがデータ線に接続した状態の断面図。

符号の説明

２０・・・液晶パネル（光学パネル）、２１，２１Ａ，２１Ｂ・・・走査線（信号線）、２２，２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂ・・・データ線（信号線）、２４・・・引出部、２５・・・引出部、２６Ｇ・・・緑色検査用端子ライン、２６Ｒ・・・赤色検査用端子ライン、２６Ｂ・・・青色検査用端子ライン、２８・・・画像表示領域、３０・・・基板、１００・・・検査装置、２００・・・検査プローブ、２１０・・・基板、２１１Ａ・・・スルーホール、２１１・・・検査用パッド、２１２・・・露出部、２６１・・・絶縁膜、２６２・・・絶縁膜、３００Ｒ，３００Ｇ，３００Ｂ・・・配線部、３１１Ｒ，３１１Ｇ，３１１Ｂ・・・コンタクト部、４００・・・バネ部材、４１２・・・スリット、５００・・・検査チェッカー（検査信号発信手段）、ＷＶ・・・うねり。

Claims (5)

1. 一定の順序で繰り返し配置される複数種類の信号線がそれぞれ画像表示領域の外側に引出され、この引出部において前記各信号線が互いに略平行とされた光学パネルであって、
   前記引出部には、絶縁膜が形成され、
   前記信号線の引出方向と交差する方向に沿って、前記信号線の各種類にそれぞれ対応する複数の検査用端子ラインが互いに略平行に規定され、
   前記検査用端子ラインにおいて、対応する種類の前記各信号線の位置にそれぞれ前記絶縁膜の外部に露出する複数のスルーホールが配列されている
   ことを特徴とする光学パネル。
2. 請求項１に記載の光学パネルの特性検査にあたり前記信号線に接続される検査プローブであって、
   可撓性を有する基板と、
   前記検査用端子ラインに対応して延設されるコンタクト部を有し前記基板の一方の面に形成される配線部と、
   前記基板の他方の面に設けられ前記基板を前記スルーホールに向かって押圧するバネ部材とを備え、
   前記コンタクト部は、弾性体として形成されて前記スルーホールに導通し、
   前記バネ部材には、前記検査端子用ラインと交差する方向に沿ったスリットが複数形成されている
   ことを特徴とする検査プローブ。
3. 一定の順序で繰り返し配置される複数種類の信号線がそれぞれ画像表示領域の外側に引出され、この引出部では前記各信号線が互いに略平行とされるとともにこれら信号線の引出し方向と交差する方向に沿って前記信号線の各種類にそれぞれ対応する複数の検査用端子ラインが互いに略平行に規定され、前記検査用端子ラインに沿った方向において、対応する種類以外の前記信号線を覆う絶縁膜と、対応する種類の前記信号線が検査用端子として露出した露出部とが配列されている光学パネルの特性検査にあたり、前記信号線に接続される検査プローブであって、
   可撓性を有する基板と、
   前記検査用端子ラインに対応して延設されるコンタクト部を有し前記基板の一方の面に形成される配線部と、
   前記基板の他方の面に設けられ前記基板を前記露出部に向かって押圧するバネ部材とを備え、
   前記コンタクト部は、弾性体として形成されて前記露出部に導通し、
   前記バネ部材には、前記検査端子用ラインと交差する方向に沿ったスリットが複数形成されている
   ことを特徴とする検査プローブ。
4. 請求項２または３に記載の検査プローブと、
   前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査信号を入力する検査信号発信手段とを備えた
   ことを特徴とする検査装置。
5. 請求項２または３に記載の検査プローブを前記光学パネルに接続する接続工程と、
   前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査信号を入力する信号入力工程とを備える
   ことを特徴とする検査方法。

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