JPH08240529A - 液体収納容器内の微小異物の検出装置およびその方法 - Google Patents

液体収納容器内の微小異物の検出装置およびその方法

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JPH08240529A
JPH08240529A JP7042646A JP4264695A JPH08240529A JP H08240529 A JPH08240529 A JP H08240529A JP 7042646 A JP7042646 A JP 7042646A JP 4264695 A JP4264695 A JP 4264695A JP H08240529 A JPH08240529 A JP H08240529A
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JP
Japan
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container
liquid
minute foreign
light
foreign matter
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Application number
JP7042646A
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English (en)
Inventor
Nobuhiro Mochida
田 悦 宏 持
Osamu Uemura
村 攻 植
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Orc Manufacturing Co Ltd
Santen Pharmaceutical Co Ltd
Original Assignee
Orc Manufacturing Co Ltd
Santen Pharmaceutical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】容器内に気泡が生じた場合でも微小異物の的確
な判断ができ、また、微小異物のみに反応するため正確
な検出ができ、容器の色彩形状などに対応する許容範囲
が広く、判断能力に優れた液体収納容器内の微小異物の
検出装置およびその方法である。 【構成】容器内の液体を攪拌する攪拌手段を備えると共
に、前記容器に収納した液体内に混入した微小異物を検
出する装置であって、紫外線を含む光線を照射する光源
装置2と、この光源装置2から照射された光線の光路に
設けた集光レンズ3と、前記集光レンズ3から焦点を結
んだ位置に搬送された液体収納容器10と、前記液体収
納容器10内の微小異物から発生する蛍光を捕捉する光
路に設けた蛍光フィルタ4と、前記蛍光フィルタからの
蛍光を受光する受光装置5とから構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、液体を収納する容器
内の微小異物を検出する液体収納容器内の微小異物の検
出装置およびその方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、液体を収納する容器は、液体を
収納する際に、数十μmから数百μmの微小異物が混入
することが稀に有る。この微小異物は、容器が高分子材
料で形成される関係から高分子材料の破片などがその大
部分であり、前記微小異物を検出するために、従来は散
乱光を利用して、前記微小異物を検出していた。
【0003】図6で示すように、前記散乱光を利用する
装置としては、開口部43を備える搬送回転テーブル4
0と、前記搬送回転テーブル40の下方から容器10に
可視光を照射する照射装置41と、前記搬送回転テーブ
ル40の開口部43の位置に保持される容器10と、前
記容器10に照射した可視光を受光する受光装置42と
から構成されている。なお、仮に容器10内に微小異物
が存在する場合は、微小異物が沈殿していることが多の
で、容器10を振動手段あるいは回転手段により振動あ
るいは回転させ、容器10内の液体を循環させて後に、
検査を行っているのが現状である。
【0004】したがって、前記搬送回転テーブル40に
保持された容器10に、前記照射装置41から可視光が
照射されると、搬送回転テーブル40の開口部43から
容器10内部に可視光が照射された後、容器内部から反
射した可視光が受光装置に受光される。そして、容器1
0に微小異物が存在した際は、照射した可視光が散乱す
るため受光装置41で受光した画像を画像処理すると、
微小異物を検出できるように構成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の散乱光
を使用して容器内の微小異物を検出する装置では、以下
のような問題が存在していた。 微小異物は、沈殿しているので、容器を振動あるい
は回転させるため、内部の溶液に気泡が生じ、微小異物
と同じように気泡による散乱光を発生させ、微小異物と
の区別が著しく困難であった。 光源装置から照射される光線は、空気中に浮遊して
いる埃などが光路に存在すると、その埃が散乱光を生
じ、受光装置が誤った情報を伝えることがあった。
【0006】 液体を収納する容器は、透明なものば
かりでなく、一定の色彩や容器の形状など様々なものが
あり、散乱光で検出する場合には、不適当な容器も存在
して微小異物の検出ができない場合もあった。
【0007】この発明は、前述の問題点を解決すべく創
案されたもので、容器内に気泡が生じた場合でも微小異
物の的確な判断ができ、また、微小異物のみに反応する
ため正確な検出ができ、容器の色彩形状などに対応する
許容範囲が広く、判断能力に優れた液体収納容器内の微
小異物の検出装置およびその方法を提供することを目的
とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、この発明は、容器内の液体を攪拌する攪拌手段を備
えると共に、前記容器に収納した液体内に混入した微小
異物を検出する装置であって、紫外線を含む光線を照射
する光源装置と、この光源装置から照射された光線の光
路に設けた集光レンズと、前記集光レンズから焦点を結
んだ位置に搬送された液体収納容器と、前記液体収納容
器内の微小異物から発生する蛍光を捕捉する光路に設け
た蛍光フィルタと、前記蛍光フィルタからの蛍光を受光
する受光装置とから構成した。
【0009】また、前記集光レンズは複数が設けられ、
各レンズからの焦点を容器内に結ぶ構成とすることや、
前記集光レンズまたは液体収納容器は、その少なくとも
一方を移動手段により移動させ、液体収納容器内に結ば
れる焦点の位置を移動する構成にすると都合がよい。さ
らに、前記光源装置から液体収納容器の間で光線の光路
に、特定波長の紫外線を透過させる光学フィルタを設置
しても構わない。
【0010】そして、微小異物の検出方法としては、液
体収納容器を作動手段により作動させ容器内の液体を所
定方向に循環させると共に、光源装置からの紫外線を集
光レンズを介して容器内に焦点を結んで照射する第1工
程と、前記容器内の焦点に存在する微小異物から発生す
る紫外線蛍光を蛍光フィルタを介して受光装置で受光す
る第2工程とから構成した。
【0011】さらに、前記第2工程は、受光装置が受光
した蛍光の内、移動するものを微小異物として判断する
ことや、前記液体収納容器あるいは集光レンズを相互に
移動させ、液体内に結ぶ焦点の位置を移動させる構成と
している。
【0012】
【作用】この発明は上記のように構成したので以下のよ
うな作用を有している。 光源装置から照射された光線は、集光レンズで集光
されて容器内で焦点を結び、そのとき容器は、液体攪拌
手段により容器を振動したり所定作動させることで、容
器内の液体が所定の循環をすることになる。したがっ
て、液体内に微小異物が存在した場合は、照射された光
を吸収し、励起して蛍光を微小異物が発生するため、そ
の蛍光が蛍光フィルタを通過して受光装置に受光され
る。
【0013】このとき、容器自体からも蛍光が発せられ
るが、焦点距離が異なることから受光される蛍光の照度
がことなると共に、微小異物から発生する蛍光は、容器
内を液体の循環と共に移動するため見分けることができ
る。
【0014】 集光レンズを複数設けているため、容
器内に結ばれる焦点が複数となり、微小異物の検出位置
が複数となる。また、集光レンズを複数設け、各集光レ
ンズにより結ばれる焦点を一つに近づければ、照度が大
きくなり微小異物の有無の判断が鮮明となる。
【0015】 集光レンズあるいは液体収納容器に移
動手段を備え、集光レンズを垂直方向に移動させること
で、液体収納容器内に結ばれる焦点を上下方向に移動す
ることができ、左右方向あるいは前後方向に移動させる
ことで、それぞれ、液体収納容器内に結ばれる焦点を左
右、前後に移動させることができる。また、液体収納容
器側を移動手段で移動させることで、集光レンズの焦点
位置を前記したように移動させることができる。
【0016】 光源装置から照射された紫外線を含む
光線は、光路に設置した光学フィルタにより所定波長の
紫外線が透過され、あらかじめ材質が明らかな微小異物
に集光照射される。
【0017】 液体収納容器を作動手段により作動さ
せ容器内の液体を所定方向に循環させると共に、光源装
置からの紫外線を集光レンズを介して容器内に焦点を結
んで照射した後に、前記容器内の焦点に存在する微小異
物から発生した紫外線蛍光を蛍光フィルタを介して受光
装置で受光している。そして、微小異物の判断は、受光
装置が受光した蛍光の内、移動するものを微小異物とし
て判断している。
【0018】 前記液体収納容器内に集光レンズから
の光線の焦点を結ぶ場合、液体収納容器あるいは集光レ
ンズを相互に移動させ、液体内に結ぶ焦点の位置を移動
させる構成としている。
【0019】
【実施例】以下、この発明の第1の実施例を図面を参照
して説明する。図1は、液体収納容器内の微小異物の検
出装置の原理を示す斜視図である。
【0020】図1で示すように、微小異物の検出装置1
は、光源ランプ2aなどを有する光源装置2と、この光
源装置2から照射する光線の光路に設けた集光レンズ3
と、前記集光レンズ3が焦点を結んだ位置に搬送して設
置される液体収納容器10と、前記液体収納容器10内
から発生した蛍光を捕捉する光路に設けた蛍光フィルタ
4と、前記蛍光フィルタ4の後方に設置した受光装置5
とから構成されている。なお、前記受光装置5は、受光
情報を解析処理して微小異物の有無を判断する判定装置
6などを備えている。
【0021】前記光源ランプ2aと集光レンズ3の間に
は、励起波長選択用フィルタ7を設けると都合が良く、
この励起波長選択用フィルタ7を介して集光レンズ3で
集光して所定波長の紫外線を集光している。前記集光レ
ンズ3は、液体収納容器10の形状に対応し、細長い容
器などはシリンドリカルレンズなどの線状焦点を結ぶこ
とが可能なもので構成すると都合が良い。そして、この
集光レンズ3から照射された集光光は、容器搬送装置1
1に載置搬送されて所定位置で停止した液体収納容器1
0内で焦点を結ぶ位置に設定されている。
【0022】また、前記受光装置5は、前記光源ランプ
2aからの直射光が受光部分に入射しない位置に設置さ
れることが望ましく、光源ランプ2aの照射光からほぼ
直交する位置に設置されている。もちろん、照射光に対
して90度の位置関係にある必要は無く、照射方向に対
して70度〜120度などの位置関係に設置していても
光源装置2からの直射光が受光装置5側に直接入射しな
ければ良い。したがって、光源装置2と受光装置5の間
に光を遮断する衝立を設置する構成とすれば、照射光に
対して直交する必要はない。
【0023】さらに、前記蛍光フィルタ4は、前記受光
装置5の直前に設置されることで、光源装置2からの直
射光を防ぐことができる。なお、液体収納容器10は、
検出位置に停止する前に容器内部の液体が所定方法に循
環するように、液体収納容器10を振動、回転あるい
は、反転など作動手段により作動させられている。
【0024】したがって、液体収納容器10が、容器搬
送装置11で搬送され、所定位置で停止すると、光源装
置2の光源ランプからの光線が、励起波長選択用フィル
タ7および集光レンズ3を介して液体収納容器10内に
焦点を結ぶ。このとき、励起波長選択用フィルタ7を光
線が透過する際に、特定波長の紫外線を透過させること
により、微小異物が存在した場合に、その微小異物から
蛍光の発生をし易くすることができる。
【0025】集光レンズ3により液体収納容器10内に
結んだ焦点位置近傍には、すでに容器内の液体が循環し
ているため、所定秒間照射していれば、液体全体に付い
て検査をすることになる。液体収納容器10内の焦点位
置に存在する微小異物から発生した蛍光は、蛍光フィル
タ4を介して受光装置5に撮像され、判定装置6により
撮像された受光情報に基づいて微小異物の検査が行われ
る。
【0026】なお、前記液体収納容器10内に、気泡が
生じた場合、その気泡は散乱光を生じさせるが、散乱光
とは異なった波長帯域を持つ蛍光フィルタ4を介してい
るため、その散乱光は遮られ受光装置5側に撮像される
ことは無い。
【0027】また、液体収納容器10自体が高分子材質
で形成されているため、蛍光フィルタ4を透過して液体
収納容器10から発する蛍光が受光装置5に撮像される
が、焦点距離が異なるため照度が弱く、微小異物から生
じる蛍光と比べると著しく異なる。さらに、微小異物
は、液体の循環に伴って移動するため、液体収納容器1
0から発生する蛍光との差異は明らとなる。微小異物が
液体収納容器10に存在すると判定された場合は、液体
収納容器10が搬送される搬送路上の所定位置に到来し
た際に、搬送路から除かれる構成としている。
【0028】なお、光源装置2の光源ランプ2aは、紫
外線を含む光源を照射できるものであれば良く、たとえ
ば、キセノンランプや水銀ランプなどを使用すると都合
がよい。また、集光レンズ3に効率よく照射光を導くた
めに、光源ランプ2aは、反射鏡を備える構成としても
良い。さらに、励起波長選択用フィルタ7は、単色計に
より特定波長の紫外線(たとえば365nm)のみを透
過して使用する構成としても良い。また、前記励起波長
選択用フィルタ7は、比較的に広帯域のある波長範囲を
持ったフィルタ部材を使用することで、微小異物の材質
が多岐に渡っている場合に有効である。すなわち、微小
異物は、材質が異なると蛍光を発生する紫外線帯域が異
なるため、光の波長領域を特定しないことで、それら材
質の異なる微小異物に対応することが可能となる。
【0029】さらに、集光レンズ3は、単焦点の凸レン
ズや、多焦点の凸レンズあるいは、多焦点のシリンドリ
カルレンズであっても構わない。また、同一平面上に直
径の異なる集光レンズ3を設置する構成としても良い。
なお、多焦点のレンズを使用する場合は、受光装置5を
複数設ける構成としても構わない。
【0030】つぎに、この発明の第2の実施例を図面を
参照して説明する。なお、上記実施例と同じ構成の部材
は同一符号を付す。図2で示すように、液体収納容器1
0を搬送する装置の構成上、光源装置2の設置位置が液
体収納容器10の側面から光線を照射できない場合は、
容器搬送装置11の下方から紫外線照射を行う構成とす
ると都合が良い。なお、集光レンズ3aは、点焦点の凸
レンズを使用し、励起波長選択用フィルタ7aは、前記
集光レンズ3aの表面に設ける構成とすることや、図3
で示すように集光レンズ3aの手前に設置する構成とし
ても構わない。
【0031】前記容器搬送装置11は、液体収納容器1
0の底面側に開口部11aを備える共に、液体収納容器
10を保持している保持部11bが昇降作動するように
構成されいる。そのため、液体収納容器10が集光レン
ズ3aの光照射位置に搬送設置されたとき、前記保持部
11bが上昇して、液体収納容器10内に結ばれている
焦点の位置を移動することが可能となる。したがって、
焦点位置の移動した範囲が検査範囲となり、より確実に
微小異物の検出が行うことが可能となる。
【0032】なお、液体収納容器10をそのままの位置
で、集光レンズ3a(必要があれば光源ランプ)を上下
に移動自在とすることで、液体収納容器10内に結んだ
焦点の位置を移動することが可能となる。集光レンズ3
aを移動させる場合は、受光装置5の受光範囲に微小異
物から発生した蛍光が受光できるように、微小異物によ
る蛍光の動きに対応させて受光装置5を移動させる構成
にすると都合がよい。また、液体収納容器10内の液体
は、作動手段により所定方向に循環させられていると都
合がよい。
【0033】つぎに、この発明の第3の実施例を説明す
る。なお、上記実施例と同じ構成の部材は、同じ符号を
付す。図4で示すように、検出装置30は、光源装置2
と、複数の集光レンズ13と、前記集光レンズ13から
の光の焦点位置に設置された液体収納容器10と、前記
液体収納容器10内の微小異物から発生した蛍光を、蛍
光フィルタ4を介して受光する受光装置5および判定装
置6とから構成されている。なお、集光レンズ13の表
面には励起波長選択用フィルタ17を設ける構成とする
か、集光レンズ13と別体で光路に設置する構成とする
と都合が良い。
【0034】前記集光レンズ13は、左右に移動できる
ように、移動手段14を備えており、この移動手段14
は、ラックアンドピニオンや、シリンダ装置などにより
集光レンズ13を保持した状態で左右に移動できる構成
としている。
【0035】したがって、液体収納容器10が実線で示
す位置(検査位置)で停止した際に、集光レンズ13か
ら集光される焦点は、そのレンズの数(図面では線焦点
が3つ示されている)だけ結ばれるため、検出範囲が広
く微小異物の検出を確実にする。また、複数の集光レン
ズ13の焦点を一か所に近づける構成とすると、微小異
物が存在した際に、蛍光の発色をより確実にすることと
なる。
【0036】また、集光レンズ13は、その移動手段1
4を作動させ、集光レンズ13を左右に移動させた状態
で検査を行うことで、液体収納容器10内に結んだ焦点
位置が左右に移動でき、検査範囲をさらに広げることが
可能となる。さらに、多焦点の集光レンズ13は、移動
手段14を前後に駆動させる他の駆動手段を備えること
で、液体収納容器10内に結ばれる焦点の位置を前後お
よび左右に移動することができる。また、移動手段14
および駆動手段を上下に作動させる作動手段を備えるこ
とで、液体収納容器10内に結ばれる焦点の位置を前
後、左右および上下に移動することが可能となる。
【0037】前記した移動手段14、駆動手段あるいは
作動手段は、ラックアンドピニオンや、シリンダ機構あ
るいは送り螺子などの機構により、それぞれの方向に作
動させることが可能となる。また、必要に応じて左右方
向、上下方向、あるいは前後方向の作動動作を繰り返す
構成とすると都合がよい。さらに、集光レンズ13を回
転させる構成としてもよい。なお、必要に応じて光源ラ
ンプ2aと集光レンズ13はを同時に移動させる構成と
してもよい。その場合、光源ランプ2aと集光レンズ1
3を載置台などの上に設置して、その載置台を各移動手
段により移動する構成とする。また、受光装置は、必要
に応じて蛍光を受光できるように、蛍光の受光位置に移
動できる構成とすると都合が良い。
【0038】さらに、液体収納容器10は、仮想線から
仮想線で示す位置Lの間を検査位置とし、この検査位置
Lの間は、液体収納容器10の搬送速度をゆるめ、集光
レンズ13からの集光光により検査が可能にする構成と
すると、液体収納容器10の奥行きおよび幅方向に対し
て検査範囲を広げることができ、微小異物の検出がより
確実になる。もちろん、上記したように焦点位置を各方
向に移動させがら行うことも可能である。
【0039】なお、上記した各実施例で示す集光レンズ
は、図5(a)(b)(c)で示すように、多焦点型の
ものを使用しても構わない。図5(a)(b)で示すよ
うに、集光レンズ33は、直径の異なる点焦点の凸レン
ズを結合した構成としており、直径が一番大きな第1レ
ンズ33a、前記第1レンズ33aより直径が小さな第
2レンズ33bと、前記第2レンズより直径が小さな第
3レンズ33cとから構成されている。これら各レンズ
33a,33b,33cの設置位置は任意な位置でよ
く、各レンズ33a,33b,33cは、液体収納容器
10内に焦点を結ぶように形成されることが望ましい。
【0040】そして、図5(c)で示すように、線焦点
を結ぶ集光レンズを組み合わせて使用しても構わない。
すなわち、シリンドリカルレンズの直径が異なる第1レ
ンズ34a、第2レンズ34bおよび第3レンズ34b
を任意に組み合わせ(図面では縦方向および横方向)液
体収納容器内に各第1ないし第3レンズ34a,34
b,34cの焦点を結ぶように構成することで検出範囲
を広げることが可能となる。線焦点を結ぶ集光レンズを
使用する場合は、上下方向あるいは左右方向に移動させ
ることでさらに検出範囲を広げることができる共に、集
光レンズを枠体に保持し、その枠体をモータなどの駆動
手段により回転させる構成とするとさらに都合が良い。
もちろん、点焦点で直径の異なるの集光レンズであって
も、上下方向または左右方向に移動させるか、あるい
は、左右方向と上下方向に移動させることで集光レンズ
の焦点位置を移動させることや、集光レンズを回転させ
ることで検査範囲を広げることができる。
【0041】なお、上記した各実施例をそれぞれ組み合
わせて検出装置を構成しても構わない。また、液体収納
容器の大きさに関わりなく(例えば2リットル入り飲料
水ボトルや、目薬、アンプルなどの小さなボトルビンな
ど)、検査が可能となり、紫外線の透過率が20パーセ
ント以上あれば、色彩が施されたり、着色されていても
検査を可能としている。さらに、液体収納容器の材質
と、微小異物の材質が異なる場合や、微小異物の材質
が、あらかじめ分かっている場合は、微小異物の材質に
対応した紫外線を照射集光すると都合が良い。
【0042】
【発明の効果】以上に述べたごとく本発明は次の優れた
効果を発揮する。 液体収納容器の内部に微小異物が存在すると、微小
異物から発生する蛍光を蛍光フィルタを介して受光装置
で受光するため、微小異物の判定は、蛍光の移動するも
のがあれば、微小異物が存在すると判定を下すことがで
きる。したがって、容器内で気泡が発生して散乱光を発
生させても、蛍光フィルタはこの散乱光を遮断してしま
うので、微小異物と気泡は容易に区別することができ
る。また、液体収納容器の形状に左右されず微小異物の
検出が可能となる。
【0043】 液体収納容器の内部に結ぶ焦点を複数
設けることで、微小異物の検出をより確実かつ迅速なも
のにする。そして、集光レンズからの焦点を移動する構
成とすることで、検出範囲が広がり、微小異物の検出を
確実にする。
【0044】 光源装置から照射される光線の内、特
定波長の紫外線を透過させ集光レンズで集光して液体収
納容器に照射しているため、微小異物の検出波長が鮮明
に受光装置に受光される。特に、液体収納容器の材質と
微小異物の材質が異なる場合、あるいは、微小異物の材
質が限定されている場合に、微小異物の検出を容易にす
る。
【0045】 受光装置に受光された蛍光の内、移動
するものを微小異物と判断しているため、容器などが蛍
光を発生する部材で形成されていても、的確に微小異物
の検出を可能とする。
【0046】 液体収納容器内の液体が循環している
状態で、集光レンズにより容器内に焦点を結び、反射す
る反射光を蛍光フィルタを介して受光しているため、微
小異物の検出が容易かつ正確に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施例を示す検出装置の配置
を表す斜視図である。
【図2】この発明の第2の実施例を示す検出装置の配置
を表す斜視図である。
【図3】この発明の第2の実施例を示す検出装置の要部
の断面図である。
【図4】この発明の第3の実施例を示す検出装置の配置
を表す平面図である。
【図5】(a)(b)(c)は、この発明の各実施例の
集光レンズの応用例を示す正面図、側面図、斜視図であ
る。
【図6】従来の検出装置の要部を示す一部断面にした側
面図である。
【符号の説明】
1 検出装置 2 光源装置 2a 光源ランプ 2b 反射鏡 3 集光レンズ 4 蛍光フィルタ 5 受光装置 6 判定装置 7 光学フィルタ(励起波長選択用フィルタ) 10 液体収納容器 11 容器搬送装置 11a 開口部 11b 保持部

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】容器内の液体を攪拌する攪拌手段を備える
    と共に、前記容器に収納した液体内に混入した微小異物
    を検出する装置であって、 紫外線を含む光線を照射する光源装置と、この光源装置
    から照射された光線の光路に設けた集光レンズと、前記
    集光レンズから焦点を結んだ位置に搬送された液体収納
    容器と、前記液体収納容器内の微小異物から発生する蛍
    光が捕捉される光路に設けた蛍光フィルタと、前記蛍光
    フィルタからの蛍光を受光する受光装置とから構成され
    たことを特徴とする液体収納容器内の微小異物の検出装
    置。
  2. 【請求項2】前記集光レンズは複数が設けられ、各レン
    ズからの焦点を容器内に結んだ請求項1に記載の液体収
    納容器内の微小異物の検出装置。
  3. 【請求項3】前記集光レンズまたは液体収納容器は、そ
    の少なくとも一方を移動手段により移動させ、液体収納
    容器内に結ばれる焦点の位置を移動することを特徴とす
    る請求項1または2に記載の液体収納容器内の微小異物
    の検出装置。
  4. 【請求項4】前記光源装置から液体収納容器の間で光線
    の光路に、特定波長の紫外線を透過させる光学フィルタ
    を設置した請求項1、2または3に記載の液体収納容器
    内の微小異物の検出装置。
  5. 【請求項5】液体収納容器を作動手段により作動させ容
    器内の液体を所定方向に循環させると共に、光源装置か
    らの紫外線を集光レンズを介して容器内に焦点を結んで
    照射する第1工程と、 前記容器内の焦点に存在する微小異物から発生した紫外
    線蛍光を蛍光フィルタを介して受光装置で受光する第2
    工程とからなる液体収納容器内の微小異物の検出方法。
  6. 【請求項6】前記第2工程で受光装置が受光した蛍光の
    内、移動するものを微小異物として判断する請求項5に
    記載の液体収納容器内の微小異物の検出方法。
  7. 【請求項7】前記液体収納容器あるいは集光レンズを相
    互に移動させ、液体内に結ぶ焦点の位置を移動させる請
    求項5または6に記載の液体収納容器の微小異物の検出
    方法。
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