JPH08236984A - 電子部品リペア装置及び電子部品取り外し方法 - Google Patents

電子部品リペア装置及び電子部品取り外し方法

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JPH08236984A
JPH08236984A JP7040891A JP4089195A JPH08236984A JP H08236984 A JPH08236984 A JP H08236984A JP 7040891 A JP7040891 A JP 7040891A JP 4089195 A JP4089195 A JP 4089195A JP H08236984 A JPH08236984 A JP H08236984A
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JP
Japan
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electronic component
printed circuit
circuit board
electronic part
bga type
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JP7040891A
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English (en)
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Toshio Yamamoto
俊夫 山本
Terumi Nakahara
照己 中原
Mitsuyoshi Tanimoto
光良 谷本
Yoichiro Maehara
洋一郎 前原
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】BGA型電子部品をプリント基板から取り外す
際に、電子部品本体が熱損傷を受けるのを防止するとと
もに、周辺の電子部品への熱影響を最小限に抑えること
ができる電子部品リペア装置を提供すること。 【構成】平面的に配置された電極を有するBGA型電子
部品10がはんだ付けされたプリント基板20からBG
A型電子部品10を取り外す電子部品リペア装置30に
おいて、プリント基板20とはんだ付けされたBGA型
電子部品10との間隙Sに挿入可能な形状に形成され、
プリント基板20とBGA型電子部品10とを接続して
いるはんだバンプBに接触させることではんだバンプB
を加熱溶融するワイヤ45と、ワイヤ45を間隙Sに沿
って駆動するリペアツール駆動部42とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板にはんだ
付け接続されたボール・グリッド・アレイ型電子部品
(以下、「BGA型電子部品」と称する。)等の電子部
品をプリント基板から取り外す電子部品リペア装置及び
電子部品取り外し方法に関する。
【0002】
【従来の技術】プリント基板にはんだ付け接続された電
子部品を取り外す方法としては、従来からはんだ付け接
続部にホットエアを吹き付けたり、ブロックヒータを接
触させることにより、はんだを溶融して電子部品を取り
外すものがあった。この方法ははんだ付け接続部が露出
した状態にある場合にははんだを直接溶融することがで
きるため、短時間ではんだを溶融でき、効率の良い取り
外し作業を行うことができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなホットエ
アやブロックヒータを用いた従来の電子部品の取り外し
方法にあっては次のような問題があった。すなわち、B
GA型電子部品のような表面実装型の電子部品において
は、電極が電子部品本体の裏面に平面状に設けられてい
るため、はんだ付け接続部が電子部品本体の裏面に隠れ
ている。このため、ホットエアやブロックヒータを直接
はんだ付け接続部に接触させることができないため、は
んだを溶融させるための必要な加熱時間が長くなる。こ
のため、電子部品本体の温度が上昇して気密性が劣化し
たり、クラックが発生するなどの熱損傷を受ける虞があ
った。また、取り外す電子部品の周囲に他の電子部品が
ある場合にはこれらの熱損傷を防止するために熱防御を
考慮しなければならないという問題があった。
【0004】そこで本発明は、プリント基板にはんだ付
け接続されたBGA型電子部品等の表面実装型の電子部
品をプリント基板から取り外す際に、電子部品本体が熱
損傷を受けるのを防止するとともに、周辺の電子部品へ
の熱影響を最小限に抑えることができる電子部品リペア
装置及び電子部品取り外し方法を提供することを目的と
している。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項1に記載された発明は、平面的
に配置された電極を有する電子部品がはんだ付けされた
プリント基板からこの電子部品を取り外す電子部品リペ
ア装置において、上記プリント基板とはんだ付けされた
上記電子部品との間隙に挿入可能な形状に形成され、上
記プリント基板と上記電子部品とを接続しているはんだ
層に接触させることで上記はんだ層を加熱溶融する加熱
体と、この加熱体を上記間隙に沿って駆動する駆動手段
とを備えるようにした。
【0006】請求項2に記載された発明によれば、請求
項1に記載された発明において、上記電子部品を保持す
る保持手段を備えていることが好ましい。請求項3に記
載された発明によれば、請求項1又は2に記載された発
明において、上記加熱体は、通電により発熱する導電性
ワイヤ又は導電性箔体であることが好ましい。
【0007】請求項4に記載された発明は、平面的に配
置された電極を有する電子部品がはんだ付けされたプリ
ント基板からこの電子部品を取り外す電子部品取り外し
方法において、上記プリント基板とはんだ付けされた上
記電子部品との間隙に上記プリント基板と上記電子部品
とを接続しているはんだ層を加熱溶融する加熱体を挿入
し、上記間隙に沿って駆動し上記はんだ層を加熱溶融し
上記プリント基板と上記電子部品とを分離するようにし
た。
【0008】
【作用】上記手段を講じた結果、次のような作用が生じ
る。請求項1に記載された発明では、平面的に配置され
た電極を有する電子部品がはんだ付けされたプリント基
板からこの電子部品を取り外す電子部品リペア装置にお
いて、加熱体はプリント基板とはんだ付けされた電子部
品との間隙に挿入可能な形状に形成されているため、は
んだ層が電子部品本体のプリント基板側に隠れている場
合であっても、はんだ層に直接接触し、加熱溶融するこ
とができる。したがって、電子部品の電極とプリント基
板のパッドとの間のはんだ層を溶融して、分離すること
ができる。さらに、この加熱体を間隙に沿って駆動する
ことにより、電子部品とプリント基板との間隙に設けら
れたはんだ層を全て溶融し、電子部品とプリント基板と
を分離することができる。このように加熱体は接触した
はんだ層のみを加熱するために電子部品本体や周辺の電
子部品に熱影響を与えることがない。
【0009】請求項2に記載された発明では、請求項1
に記載された発明において、加熱体によりはんだ層を溶
融する際に、電子部品を保持することにより、電子部品
がプリント基板に近付くことを防止でき、溶融したはん
だによって電子部品の電極とプリント基板のパッドが再
接合することを防止することができる。このため、効率
のよい分離作業を行うことができる。
【0010】請求項3に記載された発明では、請求項1
に記載された発明において、加熱体は、通電により発熱
する導電性ワイヤ又は導電性箔体を用いることによっ
て、温度制御を容易に行うことができる。
【0011】請求項4に記載された発明では、平面的に
配置された電極を有する電子部品がはんだ付けされたプ
リント基板からこの電子部品を取り外す電子部品取り外
し方法において、加熱体をプリント基板と電子部品との
間隙に挿入し、この間隙に沿って駆動することにより、
はんだ層が電子部品本体のプリント基板側に隠れている
場合であっても、電子部品とプリント基板との間隙に設
けられたはんだ層の全てに直接接触し、加熱溶融するこ
とができ、電子部品とプリント基板とを分離することが
できる。このように加熱体は接触したはんだ層のみを加
熱するために電子部品本体や周辺の電子部品に熱影響を
与えることがない。
【0012】
【実施例】図1は本発明の第1実施例に係る電子部品リ
ペア装置を示す斜視図である。この図においては、プリ
ント基板に実装されているBGA型電子部品の取り外し
作業に適用している。また、図2はBGA型電子部品及
びプリント基板の構造を示す断面図、図3はBGA型電
子部品の底面図、図4はBGA型電子部品がプリント基
板に実装された状態を示す断面図である。
【0013】図1中10は表面実装型の電子部品として
のBGA型電子部品、20はポリカーボネイト材製のプ
リント基板、30は電子部品リペア装置を示している。
BGA型電子部品10は、図2に示すように積層構造の
基板11と、この基板11に設けられ図2中上面と下面
とを導通する配線部12と、基板11の図2中上面に固
定されたLSIチップ13と、このLSIチップ13の
各端子と配線部12とを接続するボンディング・ワイヤ
14と、基板11の図2中下面に設けられた電極15と
を備えている。なお、図2中16は上記LSIチップ1
3及びボンディング・ワイヤ14とを封止するモールド
樹脂、17はソルダ・レジストを示している。BGA型
電子部品10の電極15にはそれぞれはんだ層としての
はんだバンプBが形成されている。また、BGA型電子
部品10の電極15は図3に示すように電子部品本体の
プリント基板に対向する面に平面状に且つ格子状に配置
されている。
【0014】プリント基板20は、図4に示すように基
板本体21と、この基板本体21の図4中上面に形成さ
れた複数のパッド22と、これらのパッド22に接続さ
れた配線パターン(不図示)を備えている。なお、BG
A型電子部品10の電極15はそれぞれプリント基板2
0のパッド22にはんだバンプBを介して接続されてい
る。また、SはBGA型電子部品10とプリント基板2
0との間隙を示している。
【0015】一方、図1に示すように電子部品リペア装
置30は、プリント基板20を支持するプリント基板支
持台31と、リペアツール40と、吸着ツール50と、
これらリペアツール40及び吸着ツール50の駆動制御
を行う制御部60とを備えている。
【0016】プリント基板支持台31は図示しない支持
機構によってプリント基板20を支持している。リペア
ツール40は、支持部41と、この支持部41を図1中
矢印XYZ方向に駆動するリペアツール駆動部42と、
支持部41にその基端部がそれぞれ支持された一対の支
持具43,44と、これら一対の支持具43,44のそ
れぞれの先端部43a,44aにその両端が支持された
加熱体としてのワイヤ45と、上述した支持具43,4
4を介してワイヤ45に所定の電流を通電する通電回路
46とを備えている。
【0017】ワイヤ45は通電することにより発熱する
導電性の発熱抵抗ワイヤにより形成されている。また、
その径は上述した間隙S内を移動自在となるように形成
されている。なお、はんだバンプBの高さは通常300
〜800μmであるため、このワイヤ45の径もこの寸
法以内のものとなる。
【0018】吸着ツール50は、支持部51と、この支
持部51を図1中矢印XYZ方向に駆動する吸着ツール
駆動部52と、支持部51先端に設けられBGA型電子
部品10の背面を吸着する吸着部53と、この吸着部5
3の図1中下面に吸引力を発生させる吸引装置54とを
備えている。
【0019】制御部60は、リペアツール40のリペア
ツール駆動部42及び通電回路46と、吸着ツール50
の吸着ツール駆動部52及び吸引装置54とを連携制御
を行う。
【0020】このように構成された電子部品リペア装置
30では、次のようにしてプリント基板20のパッド2
2にはんだバンプBを介して電極15が接続されたBG
A型電子部品10を取り外す。すなわち、制御部60か
らの信号により吸着ツール駆動部52を作動させ、吸着
ツール50の吸着部53をプリント基板支持台31上の
プリント基板20のBGA型電子部品10の図4中上面
に位置決めする。次に吸引装置54を作動させ、吸着部
53でBGA型電子部品10を吸着保持する。
【0021】次に制御部60によりリペアツール駆動部
42を作動させ、図4に示すようにBGA型電子部品1
0とプリント基板20との間隙Sの端部Saにワイヤ4
5を位置決めする。次に通電回路46により、ワイヤ4
5に所定の電流を通電し、発熱させる。ワイヤ45が所
定の温度まで上昇した時点で、リペアツール駆動部42
を再び作動させ、図4中矢印P方向に支持部41を移動
する。これに伴い、ワイヤ45がはんだバンプBを溶融
しながら間隙S内を移動する。なお、溶融したはんだバ
ンプBはプリント基板20のパッド22上に広がる。こ
のとき、BGA型電子部品10は吸着ツール50により
吸着支持されているため、間隙Sは一定に保たれ、溶融
したはんだバンプBによって電極15とパッド22とが
再接合することがない。
【0022】BGA型電子部品10の全ての電極15が
プリント基板20のパッド22から分離した時点でリペ
アツール40及び吸着ツール50を図4中矢印Q方向へ
駆動し、作業を終了する。
【0023】上述したように本実施例の電子部品リペア
装置30は、リペアツール40のワイヤ45によりBG
A型電子部品10とプリント基板20とを接続するはん
だバンプBのみを加熱することができるので、BGA型
電子部品10の温度上昇を例えば100℃以下に抑える
ことができる。したがって、BGA型電子部品10の気
密性を劣化させたり、クラックを発生させたり、LSI
部品13を性能劣化させる等の熱損傷を発生させること
がない。さらに、BGA型電子部品10の周囲の他の電
子部品Wにほとんど熱影響を与えることがないので、熱
防御を考慮する必要がない。したがって、作業能率が向
上する。
【0024】図5は上述した実施例の変形例を示す図で
ある。すなわち、本変形例では上述した加熱体としての
ワイヤ45の代わりに通電することにより発熱する導電
性の箔体46を用いている。なお、この箔体46は、支
持板46aと通電することにより発熱する導電性箔体と
しての抵抗発熱箔46bとから形成されている。
【0025】このように構成された抵抗発熱箔46を備
えた電子部品リペア装置30では発熱部46bがはんだ
バンプBに接触する方向に設定し、上述した実施例と同
様に図6中P方向に駆動することにより、ワイヤ45を
用いた場合と同様の効果を得ることができる。
【0026】図7の(a),(b)は本発明の第2実施
例に係る電子部品リペア装置を示す断面図である。な
お、本第2実施例は上述した第1実施例とほぼ同様に形
成されているので、詳細な説明は省略する。
【0027】本第2実施例が上述した第1実施例と異な
る点は、吸着ツール50を図7の(a)中矢印α方向及
びプリント基板支持台31を図7の(a)中矢印β方向
に傾斜できるように構成した点にある。
【0028】このように構成されていると、図7の
(a)に示すようにワイヤ45が間隙S内に挿入される
前は、BGA型電子部品10の図中下面とプリント基板
20の図中上面とは、平行な状態である。そして、上述
した第1実施例と同様にワイヤ45がはんだバンプBを
溶融しながら間隙S内を移動する。なお、溶融したはん
だバンプBはプリント基板20のパッド22上に広が
る。このとき、吸着ツール50を図7の(a)中矢印α
方向及びプリント基板支持台31を図7の(a)中矢印
β方向に傾斜させていく。
【0029】さらに、ワイヤ45が図7の(b)に示す
ような位置まで進行すると、BGA型電子部品10の図
中下面とプリント基板20の図中上面とは角度θをなす
ようになる。このとき、溶融したはんだバンプBとパッ
ド22とが離れるため、溶融したはんだバンプBの表面
張力によってBGA型電子部品10とパッド22とが接
続されたままの状態となることを防止できる。さらに、
ワイヤ45の進行に伴って吸着ツール50を図7の
(a)中矢印α方向及びプリント基板支持台31を図7
の(a)中矢印β方向に傾斜させることによって、最終
的に全てのBGA型電子部品10とパッド22とを分離
させることができる。
【0030】なお、本第2実施例では、吸着ツール50
及びプリント基板支持台31を共に傾けるようにしてい
るが、いずれか一方のみを傾けるようにしてもよい。な
お、本発明は上述した各実施例に限定されるものではな
い。すなわち上記実施例では、表面実装型の電子部品と
してBGA型電子部品を用いているが、BGA型電子部
品に限られない。また、ワイヤ45を直線的に駆動する
ようにしているが、円弧状に駆動してもよい。このほか
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であ
るのは勿論である。
【0031】
【発明の効果】平面的に配置された電極を有する電子部
品がはんだ付けされたプリント基板からこの電子部品を
取り外す電子部品リペア装置において、請求項1に記載
された発明によれば、加熱体はプリント基板とはんだ付
けされた電子部品との間隙に挿入可能な形状に形成され
ているため、はんだ層が電子部品本体のプリント基板側
に隠れている場合であっても、はんだ層に直接接触し、
加熱溶融することができる。したがって、電子部品の電
極とプリント基板のパッドとの間のはんだ層を溶融し
て、分離することができる。さらに、この加熱体を間隙
に沿って駆動することにより、電子部品とプリント基板
との間隙に設けられたはんだ層を全て溶融し、電子部品
とプリント基板とを分離することができる。このように
加熱体は接触したはんだ層のみを加熱するために電子部
品本体や周辺の電子部品に熱影響を与えることがない。
【0032】請求項2に記載された発明によれば、加熱
体によりはんだ層を溶融する際に、電子部品を保持する
ことにより、電子部品がプリント基板に近付くことを防
止でき、溶融したはんだによって電子部品の電極とプリ
ント基板のパッドが再接合することを防止することがで
きる。このため、効率のよい分離作業を行うことができ
る。
【0033】請求項3に記載された発明によれば、加熱
体は、通電により発熱する導電性ワイヤ又は導電性箔体
を用いることによって、温度制御を容易に行うことがで
きる。
【0034】平面的に配置された電極を有する電子部品
がはんだ付けされたプリント基板からこの電子部品を取
り外す電子部品取り外し方法において、請求項4に記載
された発明によれば、加熱体をプリント基板と電子部品
との間隙に挿入し、この間隙に沿って駆動することによ
り、はんだ層が電子部品本体のプリント基板側に隠れて
いる場合であっても、電子部品とプリント基板との間隙
に設けられたはんだ層の全てに直接接触し、加熱溶融す
ることができ、電子部品とプリント基板とを分離するこ
とができる。このように加熱体は接触したはんだ層のみ
を加熱するために電子部品本体や周辺の電子部品に熱影
響を与えることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係る電子部品リペア装
置、BGA型電子部品及びプリント基板を示す斜視図。
【図2】同装置を適用するBGA型電子部品の構造を示
す断面図。
【図3】同電子部品の底面図。
【図4】同電子部品がプリント基板に実装された状態を
示す断面図。
【図5】図4における要部を拡大して示す断面図。
【図6】同実施例の変形例を示す斜視図。
【図7】本発明の第2実施例に係る電子部品リペア装
置、BGA型電子部品及びプリント基板を一部切欠して
示す側面図であって、(a)は取り外し作業前の状態を
示す図、(b)は取り外し作業中の状態を示す図。
【符号の説明】
10…BGA型電子部品 11…基板 12…配線部 13…LSIチッ
プ 14…ボンディング・ワイヤ 15…電極 16…モールド樹脂 17…ソルダ・レ
ジスト 20…プリント基板 21…基板本体 22…パッド 30…電子部品リ
ペア装置 31…プリント基板支持台 40…リペアツー
ル 41…支持部 42…リペアツー
ル駆動部 43,44…支持具 43a,44a…
先端部 45…ワイヤ 46…通電回路 50…吸着ツール 51…支持部 52…吸着ツール駆動部 53…吸着部 54…吸引装置 60…制御部 B…はんだバンプ S…間隙 W…他の電子部品
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前原 洋一郎 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】平面的に配置された電極を有する電子部品
    がはんだ付けされたプリント基板からこの電子部品を取
    り外す電子部品リペア装置において、 上記プリント基板とはんだ付けされた上記電子部品との
    間隙に挿入可能な形状に形成され、上記プリント基板と
    上記電子部品とを接続しているはんだ層に接触させるこ
    とで上記はんだ層を加熱溶融する加熱体と、 この加熱体を上記間隙に沿って駆動する駆動手段とを備
    えていることを特徴とする電子部品リペア装置。
  2. 【請求項2】上記電子部品を保持する保持手段を備えて
    いることを特徴とする請求項1に記載の電子部品リペア
    装置。
  3. 【請求項3】上記加熱体は、通電により発熱する導電性
    ワイヤ又は導電性箔体であることを特徴とする請求項1
    または2に記載の電子部品リペア装置。
  4. 【請求項4】平面的に配置された電極を有する電子部品
    がはんだ付けされたプリント基板からこの電子部品を取
    り外す電子部品取り外し方法において、 上記プリント基板とはんだ付けされた上記電子部品との
    間隙に上記プリント基板と上記電子部品とを接続してい
    るはんだ層を加熱溶融する加熱体を挿入し、上記間隙に
    沿って駆動し上記はんだ層を加熱溶融し上記プリント基
    板と上記電子部品とを分離することを特徴とする電子部
    品取り外し方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006261186A (ja) * 2005-03-15 2006-09-28 Toshiba Corp 接合方法及び接合装置
CN102169809A (zh) * 2010-11-22 2011-08-31 苏剑锋 Bga元件返修方法、返修夹具
CN102441865A (zh) * 2011-09-19 2012-05-09 工业和信息化部电子第五研究所 一种染色试验中撬起bga的方法及装置
CN112789959A (zh) * 2018-10-02 2021-05-11 株式会社富士 作业机

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006261186A (ja) * 2005-03-15 2006-09-28 Toshiba Corp 接合方法及び接合装置
JP4542926B2 (ja) * 2005-03-15 2010-09-15 株式会社東芝 接合方法
CN102169809A (zh) * 2010-11-22 2011-08-31 苏剑锋 Bga元件返修方法、返修夹具
CN102441865A (zh) * 2011-09-19 2012-05-09 工业和信息化部电子第五研究所 一种染色试验中撬起bga的方法及装置
CN102441865B (zh) * 2011-09-19 2016-03-23 工业和信息化部电子第五研究所 一种染色试验中撬起bga的方法及装置
CN112789959A (zh) * 2018-10-02 2021-05-11 株式会社富士 作业机

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