JPH08236740A - 画像装置 - Google Patents

画像装置

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JPH08236740A
JPH08236740A JP7064932A JP6493295A JPH08236740A JP H08236740 A JPH08236740 A JP H08236740A JP 7064932 A JP7064932 A JP 7064932A JP 6493295 A JP6493295 A JP 6493295A JP H08236740 A JPH08236740 A JP H08236740A
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array
conductive film
substrate
light emitting
receiving
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JP7064932A
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English (en)
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Shunji Murano
俊次 村野
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Kyocera Corp
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Kyocera Corp
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 導電性フィルム26によりカソード基板2と
LEDアレイLnとを接着し、LEDアレイLnをアノ
ード基板4にフリップチップ接続する。 【効果】 フリップチップ接続時にLEDアレイLnは
フィルム26に沈み込んでアレイLnの高さばらつきを
吸収し、フィルム26はアレイLnをアノード基板4側
に押し付けて接続の信頼性を保ち、さらにアレイLnが
横倒れするのを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の利用分野】この発明は、LEDヘッド等の画像
形成装置やイメージセンサ等の画像読み取り装置等の画
像装置に関し、特にその受発光アレイの搭載に関する。
【0002】
【従来技術】発明者は、2枚の基板の間にLEDアレイ
等の受発光アレイをサンドイッチし、第1の基板に受発
光アレイのカソードである共通電極を半田や銀ペースト
で接続し、第2の基板にアレイのアノードである個別電
極をフリップチップ接続した画像装置を提案した(特願
平6−240524号,同6−292442号等)。こ
の画像装置では多数の個別電極を一挙にフリップチップ
接続でき、フリップチップ接続の位置決めでは受発光ア
レイとアノード基板との間のセルフアラインメント作用
を用いることができる。
【0003】ところで受発光アレイには高さのばらつき
があり、例えばLEDアレイの場合±20μm程度のチ
ップ厚の変動がある。高さのばらつきはフリップチップ
接続に用いるバンプにもあり、この高さばらつきは例え
ば±5μm程度である。そして上記の接続方法では2枚
の基板間の距離が一定でなければならないため、チップ
厚が変動するとフリップチップ接続が困難になる。また
受発光アレイはチップ面積を小さくするため幅を小さく
し、幅と高さとの比が小さくなっているので、アレイの
搭載時に横倒れし易い。
【0004】
【発明の課題】この発明の基本的課題は上記の点を解決
することにあり、特に、 1) 受発光アレイの高さばらつきを吸収して、2枚の基
板に正確にサンドイッチできるようにすること、 2) 受発光アレイを第2の基板側へ押し付ける力を発生
させ、フリップチップ接続の信頼性を高めること、 3) 搭載時に受発光アレイが倒れるのを防止すること、
にある(請求項1〜4)。請求項2〜4での追加の課題
は、 4) 複数の受発光アレイの共通電極を相互に絶縁し、複
数の受発光アレイをダイナミックドライブできるように
することにある。請求項3,4での追加の課題は、 5) 2枚の基板が相互に傾いて、フリップチップ接続部
が破壊されるのを防止することにある。請求項4での追
加の課題は、 6) 受発光アレイの正確な位置決めを可能にすることに
ある。
【0005】
【発明の構成】この発明の画像装置は、多数の受発光体
を設けた受発光アレイを複数個、2枚の基板の間に挟み
込んで固定した画像装置において、前記2枚の基板の内
の第1の基板と前記受発光アレイの第1の主面との間に
プラスチックフィルムを介在させ、かつ該アレイの第2
の主面に設けた受発光体毎の個別電極を前記2枚の基板
の内の第2の基板の配線にフリップチップ接続したこと
を特徴とする。ここに受発光アレイには実施例に示すL
EDアレイの他に、PLZTアレイ等の任意の受発光ア
レイを用いることができる。該フィルムは導電性に限ら
ず絶縁性でも良く、また好ましくはプラスチックフィル
ムを加熱して軟化させ第1の基板や受発光アレイの第1
の主面に接着する。
【0006】好ましくは、受発光アレイの前記第1の主
面に共通電極を設け、かつ前記プラスチックフィルムを
合成樹脂に導電性粒子を混入した導電性フィルムとし、
該フィルムを受発光アレイ毎に分離させて相互に絶縁
し、分離した各フィルムに受発光アレイの共通電極を接
続する。また好ましくは、前記導電性フィルムと第2の
基板との間に、受発光アレイに対応した穴を設けて受発
光アレイを収容した絶縁フィルムを配設する。ここで好
ましくは、前記絶縁フィルムの熱変形温度を前記導電性
フィルムの熱変形温度よりも高くする。
【0007】好ましくは、前記第1の基板と第2の基板
とを、前記絶縁フィルムと前記導電性フィルムとで接着
固定する。あるいは好ましくは、前記絶縁フィルムの膜
厚を前記受発光アレイの両主面間の厚さよりも小さくす
る。また好ましくは、前記絶縁フィルムと前記第2の基
板との間に、アレイ位置決め用の穴を設けて受発光アレ
イを収容した位置決め板を配設する。
【0008】
【発明の作用】この発明では、受発光アレイの高さばら
つきをプラスチックフィルムで吸収するので、高さばら
つきの影響を受けずにフリップチップ接続できる。また
プラスチックフィルムからはアレイを第2の基板側へ押
し付ける力が生じ、この力でフリップチップ接続の信頼
性を保つことが出来る。アレイは搭載時に前記のフィル
ムで仮止めされ、横倒れすることが無い。このためアレ
イの幅を小さくしても、横倒れの恐れなく搭載すること
ができる(請求項1〜4)。
【0009】前記のフィルムを導電性としアレイ毎に分
離すると、各アレイを独立して駆動できる(請求項
2)。次に2枚の基板が傾こうとしてフリップチップ接
続部に無理が加わると、接続が破壊される。そこで導電
性フィルムと第2の基板との間に絶縁フィルムを設ける
と、絶縁フィルムで2枚の基板は平行に保たれ、フリッ
プチップ接続部に無理が加わらない(請求項3)。また
絶縁フィルムの熱変形温度を導電性フィルムの熱変形温
度よりも高くすると、位置決め部材を用いて受発光アレ
イを位置決めする際に、絶縁性フィルムを軟化させず
に、導電性フィルムのみを軟化できるので、位置決め部
材を取り外すのが容易になる(請求項4)。
【0010】好ましくは絶縁フィルムを第2の基板に接
着し、導電性フィルムを第1の基板に接着する。このよ
うにすると、導電性フィルム/絶縁性フィルムを介して
2枚の基板を引き合う力が生じ、この力で導電性フィル
ムからアレイを第2の基板側へ押し付ける力をより有効
に用いることができる。またアレイを正確に位置決めす
るにはテンプレート等の位置決め部材を用いることが好
ましく、絶縁フィルムの上に位置決め部材を配置できる
ように、絶縁フィルムの膜厚はアレイの厚さよりも小さ
くすることが好ましい。位置決め部材は画像装置の組立
後もそのまま残しても良いが、位置決め部材を取り外す
場合、導電性フィルムが絶縁フィルムよりも先に軟化し
て接着するようにすると、位置決め部材に絶縁フィルム
を接着せずに、アレイを導電性フィルムに接着できる。
【0011】
【実施例】図1〜図3に、最初の実施例を示す。これら
の図において、2は硬質プリント基板等のカソード基板
で両面配線を施してあり、4はアノード基板で同様に両
面配線を施してあり、6,8は両面配線用のスルーホー
ルである。LnはLEDアレイで、他の受発光アレイで
もよく、その第1の主面(図での底面側)には、共通電
極のカソード10を設け、第2の主面(図での上側)に
は発光体12とそれに接続した個別電極のパッド14と
を設ける。各LEDアレイLnには例えば64個の発光
体12を直線状に配置し、40個のLEDアレイを基板
2,4間にサンドイッチして配設する。LEDアレイL
nのサイズは長手方向に沿って例えば5.4mm,横方
向に沿って例えば300〜400μm,厚さが例えば3
50μmである。そしてLEDアレイLnには高価なG
aAs系半導体を用いるので、その横幅を出来る限り小
さくすることが好ましい。アノード基板4にはアノード
配線16があり、スルーホール8を介して図示しない裏
面配線に接続してある。アノード配線16の先端にはバ
ンプ18を設け、LEDアレイLnの個別電極のパッド
14にフリップチップ接続する。なおアレイLnと基板
4の何れにパッド14を設け、何れにバンプ18を設け
るかは任意である。LEDアレイLnの数は40個であ
り、1アレイ当たり64個の発光体12があるため、フ
リップチップ接続の総数は2560個である。アノード
基板4に硬質プリント基板等の不透明基板を用いる場
合、発光体12に面して光透過窓20を設け、光を取り
出せるようにする。カソード基板2にはカソード配線2
2を設け、スルーホール6を介して図示しない裏面配線
に接続する。また24は、基板2,4間を位置決めする
ためのピン穴で、図示しないピンにより基板2,4を一
体にする。
【0012】26はプラスチックに銀,Al,Ni等の
導電性粒子を混入した導電性フィルムで、厚さは例えば
100〜200μm程度で、ノッチ28,30により個
別のLEDアレイLn毎に分離絶縁してある。導電性フ
ィルム26のプラスチック材料は熱可塑性樹脂や熱硬化
性樹脂の何れでも良いが、熱可塑性樹脂が好ましい。導
電性フィルム26はカソード10の下部のカソード部3
2と、カソード部32から突き出して基板2への密着性
を高めるための脚部34とを持ち、元々は図1の鎖線に
示す形状で、ピン穴24等を用いてカソード基板2に位
置決めした後、不要部を切り落として図1の形状とす
る。
【0013】実施例の画像装置の製造方法を説明する。
予め必要な基板配線を設けた基板2,4を用意し、カソ
ード基板2に導電性フィルム26を乗せて熱変形温度付
近まで加熱し、導電性フィルム26をカソード基板2に
仮止めする。次に、図示しないテンプレート等のLED
アレイLnの位置決め部材を用意し、これを導電性フィ
ルム26上に配置し、テンプレートの穴にLEDアレイ
Lnを収容してLEDアレイLnを搭載する。テンプレ
ートをエッチングで加工すると極めて正確に加工でき、
アレイLnを正確に搭載できる。LEDアレイLnの搭
載後に、再度導電性フィルム26を熱変形温度付近まで
加熱し、LEDアレイLnを導電性フィルム26に仮止
めする。次いでテンプレートを外し、アノード基板4を
セットし、基板2,4を上下から加圧しながら加熱して
フリップチップ接続する。フリップチップ接続時の温度
はバンプ18の例えば半田材料の融点の200〜250
℃程度で定まり、導電性フィルム26はこの温度で軟化
し、カソード基板2とLEDアレイLnが接着される。
【0014】LEDアレイLnには±20μm程度の高
さのばらつきがあるが、フリップチップ接続時にLED
アレイLnは導電性フィルム26側に押し付けられ、高
さのばらつきを吸収するように導電性フィルム26がく
ぼみ、2560個のパッド14が同じ平面上に揃う。こ
の結果、各パッド14をバンプ18に正確にフリップチ
ップ接続することが出来る。同様にバンプ18の高さば
らつきも、フィルム26の変形で吸収される。
【0015】導電性フィルム26をLEDアレイLn毎
に分離して配置したので、LEDアレイLnをダイナミ
ックドライブでき、また導電性フィルム16は、カソー
ド基板2にセットし、不要部をカットするだけで設ける
ことが出来る。
【0016】フリップチップ接続後の導電性フィルム2
6には、LEDアレイLnをアノード基板4側に押し付
ける力がある。これはフリップチップ接続時に導電性フ
ィルム26がLEDアレイLnに押されて変形したた
め、元の形状に復帰しようとする力である。そしてこの
力は熱硬化性樹脂よりも熱可塑性樹脂の方が大きく、導
電性フィルム26のプラスチック材料には熱可塑性樹脂
が好ましい。この力によりLEDアレイLnはアノード
基板4側に押し付けられ、そのためパッド14はバンプ
18側に押されてフリップチップ接続の信頼性が保たれ
る。
【0017】なお発明者はこれ以外に、厚膜の半田や厚
膜の銀ペースト等により、アレイLnの高さばらつきを
吸収することを検討した。しかしこれらのものを60μ
m程度の厚膜に成膜することは容易ではなく、かつ銀ペ
ーストをこのように厚く設けると材料コストが大きくな
る。さらに厚い半田や厚い銀ペーストを導電性フィルム
26の代わりに用いると、アレイLnの厚さ変動にとも
なって半田やペーストが周囲に溢れ、アレイ間の絶縁が
保たれず、また半田では溶融時にアレイLnの位置が変
化し、銀ペーストでは効果に時間程度必要である。
【0018】
【変形例】図1〜図3の実施例では、導電性フィルム2
6をLEDアレイLn毎に分離し、ダイナミックドライ
ブ出来るようにした。図4は多数のLEDアレイLnを
スタティックドライブするための変形例で、42はカソ
ード配線、46は導電性フィルムで、何れもLEDアレ
イLn毎に分離していない点が特徴である。またこれ以
外の点は図1〜図3の実施例と同様で、以下の実施例や
変形例は特に指摘した点以外は図1〜図3の実施例と同
様である。
【0019】実施例では、LEDアレイLnのカソード
10がアノードと反対側にあるので、フィルム26,4
6に導電性のものを用いた。しかしカソードがアノード
と同じ側にある場合、フィルム26,46は絶縁性でも
良い。このような場合でもフィルム26,46により、
LEDアレイLn毎の高さばらつきを吸収し、アレイL
nをアノード基板4側に押し付けてフリップチップ接続
の信頼性を向上させ、アレイLnを基板2により保護す
ると共に、アレイLnからの発熱を2枚の基板2,4に
放熱出来るようにして熱破壊を防止することができる。
従ってフィルムには導電性フィルム26,46が好まし
いが、絶縁フィルムでも良い。
【0020】
【実施例2】図5に第2の実施例を示し、図6にその製
造工程を示す。図5において、50は絶縁フィルムで、
例えば熱可塑性樹脂のフィルムとし、350μm角のL
EDアレイLnに対して導電性フィルム26の膜厚を例
えば200μm程度、絶縁フィルムの膜厚を例えば25
0〜300μm程度とし、絶縁フィルム50の膜厚をL
EDアレイLnの膜厚以下にする。絶縁フィルム50に
はLEDアレイLnを収容するための穴を設け、絶縁フ
ィルム50は一方の面で導電性フィルム26に接着し、
他方の面ではアノード基板4に接着する。
【0021】図5の実施例の画像装置の製造方法を図6
により説明すると、導電性フィルム26をカソード基板
2に仮固定し、その上にステンレス等の薄板をエッチン
グして設けたテンプレートを取り付け、テンプレートを
基準にしてLEDアレイLnを導電性フィルム26上に
搭載する。即ちテンプレートにはLEDアレイLnに対
応する穴があり、エッチングを用いるので極めて精密に
この穴を設けることが出来る。LEDアレイLnをテン
プレートを利用して搭載すると、導電性フィルム26を
加熱して、LEDアレイLnをフィルム26に仮止めす
る。次いでテンプレートを外し、絶縁フィルム50を取
り付け、アノード基板4をセットしてフリップチップ接
続すると共に、導電性フィルム26と絶縁フィルム50
とを軟化させ、基板2,4やアレイLnに接着する。
【0022】このようにすると、テンプレートを用いて
LEDアレイLnを正確に位置決めすることができ、そ
の状態でLEDアレイLnを導電性フィルム26に仮止
めすることが出来る。次にLEDアレイLnの周囲を絶
縁フィルム50が囲むので、アノード基板4が図2の左
右方向に傾くのを絶縁フィルム50で防止し、フリップ
チップ接続部の破壊を防止する。また基板2,4はフリ
ップチップ接続部の他に、フィルム26,50を介して
結合され、この力で基板2,4を相互に引き寄せ、アレ
イLnから基板4を押す力をより有効に活かすことがで
きる。
【0023】
【変形例】図5の実施例では、テンプレートをセットし
た後に取り外して、絶縁フィルム50をセットする。し
かしLEDアレイLnを導電性フィルム26に仮止めす
る際に、テンプレート70も導電性フィルム26に弱く
仮止めされるので、テンプレート70を取り外すとアレ
イLnの搭載精度に影響することがある。そこでテンプ
レートをそのまま残した変形例を図7に示す。図におい
て70はテンプレートで、厚さ100μm程度のステン
レス等の薄板を用い、エッチングによりLEDアレイL
nに正確に対応する穴を設ける。この変形例では、導電
性フィルム26の膜厚を例えば200μm程度とし、絶
縁フィルム50の膜厚を例えば200μm程度とし、L
EDアレイLnの厚さ350μm程度よりもやや薄くす
る。そして絶縁フィルム50の膜厚がLEDアレイLn
のチップ高さよりも小さいので、テンプレート70によ
りLEDアレイLnを位置決め出来る。テンプレート7
0のエッチング精度は厚さが小さいほど向上し、絶縁フ
ィルム50を用いることによりテンプレート70の厚さ
が減少し、エッチング精度も向上する。また最終的なL
EDアレイLnの搭載精度は、テンプレート70を用い
た際の精度がそのまま保たれる。
【0024】
【実施例3】図8に第3の実施例を示し、図8の上部は
アノード基板4のセット前の状態を、下部はアノード基
板4のフリップチップ接続後の状態を示す。また図9に
図8の実施例の製造工程を示す。この実施例では図7の
変形例と同様に、絶縁フィルム50とテンプレート70
とを用い、LEDアレイLnを搭載した後に基板2を加
熱して、LEDアレイLnを導電性フィルム26に仮止
めする。次にテンプレート70を取り外し、アノード基
板4をセットしてフリップチップ接続する。導電性フィ
ルム26も絶縁フィルム50も膜厚は例えば200μm
で、絶縁フィルム50はアレイLnよりも薄く、テンプ
レート70でアレイLnを位置決めできる。また図5の
実施例に比べ、テンプレート70の取り外しが容易で、
しかも絶縁フィルム50はアレイLnの位置決め前に取
り付けてあるので、絶縁フィルム50でアレイLnの位
置が狂うことが無い。他の点は、図5の実施例と同様で
ある。
【0025】
【変形例】図8の実施例では、テンプレート70を取り
外す際に、テンプレート70は絶縁フィルム50に仮止
めされてしまうので、取り外し時にアレイLnの位置が
狂う恐れがなお残る。この問題に対しては、導電性フィ
ルム50の軟化温度を絶縁フィルム50の軟化温度より
も低くすれば良い。例えば導電性フィルム26の軟化温
度を150℃程度とし、絶縁フィルム50の軟化温度を
フリップチップ接続時の加熱温度である200〜250
℃程度としておく。そしてテンプレート70でLEDア
レイLnを位置決めした後、導電性フィルム26のみを
軟化させ、LEDアレイLnを導電性フィルム26に固
定する。この時絶縁フィルム50は軟化せず、テンプレ
ート70と絶縁フィルム50の間には接着力が働かず、
LEDアレイLnの搭載精度には影響を与えずにテンプ
レート70を取り外すことが出来る。
【0026】実施例はLEDヘッドを例にしたが、イメ
ージセンサ等の他の画像装置でも同様に実施でき、画像
アレイの種類は多数の受発光体を備えたもので有れば良
い。
【0027】
【発明の効果】この発明では、 1) 受発光アレイの高さばらつきを合成樹脂フィルムで
吸収させ、アレイを第2の基板に正確にフリップチップ
接続でき、 2) 合成樹脂フィルムで受発光アレイを第2の基板側へ
押し付ける力で、フリップチップ接続の信頼性を高め、 3) 受発光アレイを合成樹脂フィルムで支えて、搭載時
に受発光アレイが倒れるのを防止できる(請求項1〜
4)。請求項2〜4の発明では、 4) 複数の受発光アレイの共通電極を相互に絶縁したの
で、複数の受発光アレイをダイナミックドライブでき
る。請求項3,4の発明では、 5) 2枚の基板が相互に傾くことを防止し、基板の傾き
による無理がフリップチップ接続部に加わって接続部が
破壊されるのを防止できる。請求項4の発明では、 6) 受発光アレイの搭載にテンプレート等の位置決め部
材を用いることができ、かつ位置決め部材を容易に取り
外せるので、アレイを正確に位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例の画像装置の要部平面図
【図2】 図1の実施例の断面図
【図3】 図1の実施例の長手方向拡大断面図
【図4】 変形例の長手方向拡大断面図
【図5】 第2の実施例の長手方向拡大断面図
【図6】 第2の実施例の製造工程を示す工程図
【図7】 図5の実施例の変形例の長手方向拡大断面
【図8】 第3の実施例の製造工程を示す長手方向拡
大断面図
【図9】 第3の実施例の製造工程を示す工程図
【図10】 図8の実施例の変形例の製造工程を示す工
程図
【符号の説明】
Ln LEDアレイ 20
光透過窓 2 カソード基板 22,42
カソード配線 4 アノード基板 24
ピン穴 6,8 スルーホール 26,46
導電性フィルム 10 カソード 28,30
ノッチ 12 発光体 32
カソード部 14 パッド 34
脚部 16 アノード配線 50
絶縁フィルム 18 バンプ 70
テンプレート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H04N 5/66 103 H01L 31/10 A

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多数の受発光体を設けた受発光アレイを
    複数個、2枚の基板の間に挟み込んで固定した画像装置
    において、 前記2枚の基板の内の第1の基板と前記受発光アレイの
    第1の主面との間にプラスチックフィルムを介在させ、
    かつ該アレイの第2の主面に設けた受発光体毎の個別電
    極を前記2枚の基板の内の第2の基板の配線にフリップ
    チップ接続したことを特徴とする、画像装置。
  2. 【請求項2】 受発光アレイの前記第1の主面に共通電
    極を設け、かつ前記プラスチックフィルムを合成樹脂に
    導電性粒子を混入した導電性フィルムとし、該フィルム
    を受発光アレイ毎に分離させて相互に絶縁し、分離した
    各フィルムに受発光アレイの共通電極を接続したことを
    特徴とする、請求項1の画像装置。
  3. 【請求項3】 前記導電性フィルムと第2の基板との間
    に、受発光アレイに対応した穴を設けて受発光アレイを
    収容した絶縁フィルムを配設したことを特徴とする、請
    求項2の画像装置。
  4. 【請求項4】 前記絶縁フィルムの熱変形温度を前記導
    電性フィルムの熱変形温度よりも高くしたことを特徴と
    する、請求項3の画像装置。
JP7064932A 1995-02-27 1995-02-27 画像装置 Pending JPH08236740A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100394621C (zh) * 2005-07-29 2008-06-11 东莞市福地电子材料有限公司 氮化镓基发光二极管芯片的制造方法
JP2019102715A (ja) * 2017-12-06 2019-06-24 スタンレー電気株式会社 半導体発光装置およびその製造方法
JP2020150208A (ja) * 2019-03-15 2020-09-17 市光工業株式会社 発光素子及び車両用灯具、並びに発光素子の製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100394621C (zh) * 2005-07-29 2008-06-11 东莞市福地电子材料有限公司 氮化镓基发光二极管芯片的制造方法
JP2019102715A (ja) * 2017-12-06 2019-06-24 スタンレー電気株式会社 半導体発光装置およびその製造方法
JP2020150208A (ja) * 2019-03-15 2020-09-17 市光工業株式会社 発光素子及び車両用灯具、並びに発光素子の製造方法

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