JPH08236635A - 半導体集積回路の配置配線方式 - Google Patents

半導体集積回路の配置配線方式

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JPH08236635A
JPH08236635A JP7058104A JP5810495A JPH08236635A JP H08236635 A JPH08236635 A JP H08236635A JP 7058104 A JP7058104 A JP 7058104A JP 5810495 A JP5810495 A JP 5810495A JP H08236635 A JPH08236635 A JP H08236635A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 配線層のマスクの製造のみで僅かな変更に対
応できるようにする。 【構成】 半導体集積回路の初期の所定の機能は、必要
領域1によって実現される。必要領域1は、機能セルか
ら成り、シリコンコンパイラ装置によりビルディングブ
ロック方式で作成される。シリコンコンパイラ装置は、
ウェハ工程における配線工程までのすべてのマスクデー
タを作成する。この場合、必要領域1の他にゲートアレ
イ又は機能セルから成る未使用領域2が作成される。こ
の未使用領域2は、初期の機能仕様では、必要領域1の
機能セルとは接続されない。その後、改良等のため、機
能の変更が生じたときは必要領域1の機能セルの構造及
び未使用領域2の構造はそのままにして配線を変えるだ
けで機能を変更することができる。この結果、配線工程
の手前までの工程は機能変更前と全く同じとなり、同じ
マスクデータを使用することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコンコンパイラ装
置により製作されるASIC(ApplicationSpecific IC
)等の半導体集積回路の配置配線方式に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】シリコンコンパイラ装置とは、LSIの
機能を高級言語(各論理設計CADごとに異なる)で記
述し、それをコンパイルし、機械語に相当する言語に落
し、LSI製造用のマスクレイアウトデータ(以下、マ
スクデータという)を得ることができる装置をいう。即
ち、シリコンコンパイラ装置は、高級言語で記述された
論理回路を回路図として入力する。これにより、回路図
をデータベースとして、シリコンコンパイラネットリス
トを生成し、各種ライブラリパラメータ(回路のレイア
ウト等)をセットする。そして、コンパイル、マスクデ
ータの作成という順序で、論理回路から配置・配線まで
を行い、マスクデータを生成する。このように、LSI
の仕様が与えられれば、マスクデータのパターン設計ま
でが人手を介さずに自動的に行われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の技術には、次のような課題があった。即ち、半
導体集積回路の機能や論理の変更等が生じたときは、マ
スクレイアウトデータを作り直さなければならない。そ
の場合、ウェハ工程(前工程)において、素子間分離工
程、素子形成工程、配線工程等のすべてのマスクデータ
を作り直さなければならなかった。従って、変更後の半
導体集積回路の設計・製造期間が長くなるとともに、開
発費用が増大してしまった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
の配置配線方式は、上述した課題を解決するため、基板
上で所定の機能を実現するよう、各回路を配置及び配線
するためのマスクレイアウトデータをシリコンコンパイ
ラ装置によって生成し、当該マスクレイアウトデータを
用いて製造された半導体集積回路において、以下の点を
特徴とするものである。 (1) 初期の所定機能を実現するための必要領域を備える。 当該必要領域が形成された基板と同一の基板上に形成
され、当該必要領域とあわせて前記所定機能を修正した
機能を実現するためのゲートアレイ及び機能セルのいず
れか一方又は双方から成る未使用領域を備える。
【0005】(2)(1)において、未使用領域は、一
方向に基本ゲートを配列し、それと垂直な方向に当該基
本ゲート相互及び当該基本ゲートと必要領域とを接続す
るための配線チャネルを配置したチャネル型ゲートアレ
イから成る。 (3)(1)において、未使用領域は、一方向に所定単
位の機能を実現する機能セルを配列し、それと垂直な方
向に当該機能セル相互及び当該機能セルと必要領域とを
接続するための配線チャネルを配置したものである。 (4)(1)において、未使用領域は、基本ゲートを敷
き詰めたチャネルレスゲートアレイから成る。
【0006】
【作用】
(1)半導体集積回路の初期の所定の機能は、必要領域
によって実現される。必要領域は、機能セルから成り、
シリコンコンパイラ装置によりビルディングブロック方
式で生成される。シリコンコンパイラ装置は、ウェハ工
程において配線工程までのすべてのマスクデータを作成
する。この場合、必要領域の他にゲートアレイ又は機能
セルから成る未使用領域が形成される。この未使用領域
は、初期の機能仕様では、必要領域の機能セルとは接続
されない。その後、改良等のため、機能の変更が生じた
ときは必要領域の機能セルの構造及び未使用領域の構造
はそのままにして配線を変えるだけで機能を変更するこ
とができる。この結果、配線工程の手前までの工程は機
能変更前と全く同じとなり、同じマスクデータを使用す
ることができる。即ち、配線工程のマスクデータのみを
新たに作成すればよい。また、配線工程の前までのウェ
ハがすでに製造されている場合に、そのウェハを機能変
更後のウェハの製造に用いることができる。
【0007】(2)(1)において、未使用領域の構造
をチャネル型ゲートアレイとした結果、配線の自由度が
大きく、僅かな機能変更に対しては種々の内容の変更に
柔軟に対応することができる。 (3)(1)において、未使用領域の構造を汎用的な機
能セルとした結果、将来の機能変更がある程度予測でき
る場合に僅かな面積の未使用領域によりそのような機能
変更に対応することができる。 (4)(1)において、未使用領域の構造をチャネルレ
スゲートアレイとした結果、予備のゲートを狭い面積の
未使用領域に収納しておくことができる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。 (第1実施例)図1は、本発明の半導体集積回路の配置
配線方式の第1実施例のブロック図である。図示の回路
は、必要領域1の他に、未使用領域2を備えている。必
要領域1は、機能セル11〜14の組み合わせから成
り、ビルディングブロック方式で作成される。このよう
なビルディングブロック方式は、LSIの開発にあたっ
て、設計を容易にするものの一種である。これは、既に
設計済みのブロックを機能セル11〜14として配置し
て、各機能セル間及び機能セルとボンディングパッド1
0間を配線により接続するものである。
【0009】未使用領域2は、必要領域1の空き領域に
設けられる。この未使用領域2は、チャネル型ゲートア
レイから成る。即ち、図1に示すように、基本ゲート2
1、22を一方向に配列し、これと垂直な方向に基本ゲ
ート相互又は基本ゲート・機能セル間、基本ゲート・ボ
ンディングパッド間を接続し得る配線チャネル20を備
える。基本ゲートの最小規模は、少なくともアンド、オ
ア等の1つの論理を実現できる規模とする。
【0010】次に、上述した回路の機能変更について説
明する。図1のような構成のLSIが製作された後、機
能・論理の変更等が必要になったとする。この場合、必
要領域1のセル構造及び未使用領域2のゲートアレイ構
造は変更せず、例えば、図2に示すように、相互の配線
のみを変更する。従って、製造工程においては、配線工
程のみが異なり、配線工程の直前までの工程は変更前と
同様となる。このため、マスク又はレティクルも配線工
程の直前までは変更前のものを流用することができる。
配線工程用のマスク又はレティクルについては、マスク
データを作成して製作する。マスクデータの作成は、シ
リコンコンパイラ装置を用いて行うか、又は既存のデー
タの一部に手を加えることにより、手動で配置・配線し
て行う。この場合のマスクデータの作成の手順は、以下
のようになる。
【0011】ウェハ工程のうち、素子間分離工程及び素
子形成工程は論理回路の変更後も全く同じとなる。従っ
て、素子間分離工程及び素子形成工程のマスクデータは
流用することができる。配線工程のマスクデータは新た
に作成し、以下の条件を満たすようなものとする。 (1)必要領域1の機能セル11〜14は削除すべきもの
がないときは全て配線まで含めて使用する。 (2)必要領域1の機能セルに削除すべきものがあるとき
は、配線を切断することにより、削除する。 (3)追加すべき論理回路があるときは、未使用領域2の
基本ゲートで構成されるゲートアレイに多層配線を施す
ことによって追加部分の論理回路を機能セルイメージで
作成する。そして、その追加部分の論理回路と必要領域
1の機能セルとを配線で接続する。
【0012】このようにして、論理回路の一部に変更が
生じた場合、配線工程のマスクデータのみを作成すれば
済むので、以下のような利点がある。即ち、ウェハ工程
における素子間分離工程及び素子形成工程までが終了
し、配線工程が未終了のウェハが用意されていれば、そ
のウェハに変更後の配線工程を施すことにより、変更後
のチップを搭載したウェハを製造することができる。従
って、配線工程だけで新たなチップを搭載したウェハの
製造をできるため、ウェハ工程の全体を行う場合に比べ
て製造期間を5分の1程度に短縮することができる。ま
た、配線工程が未終了のウェハを無駄にせずに有効に利
用することができる。更に、マスクデータの作成、マス
ク又はレティクルの製作も配線工程についてのみ行えば
よいので、ウェハ工程全体について行う場合に比べて開
発費用を4分の1程度に抑えることができる。更にま
た、チャネル型ゲートアレイを用いることにより、配線
チャネルが存在する分、配線の自由度が大きく、例えば
数百〜数千論理ゲートレベルの論理変更も可能である。
【0013】(第2実施例)図3は、本発明の半導体集
積回路の配置配線方式の第2実施例のブロック図であ
る。図示の回路は、必要領域1の他に、未使用領域2a
を備えている。必要領域1は、上述した第1実施例と同
様である。未使用領域2aは、特定の論理を実現できる
機能セル21a、22aを単位として配置される。初期
の状態では、未使用領域2a内での機能セル21a、2
2a相互は配線せず、機能セル21a、22a内のみで
配線する。尚、機能セル21a、22a内での配線は図
示を省略している。未使用領域2a内での機能セル21
a、22aの並べ方は、一方向に各種の機能セルを配置
し、それと垂直な方向に配線チャネル20aを配置する
ビルディングブロック方式である。即ち、未使用領域2
aの機能セル構成は、必要領域1と同様である。
【0014】上述した回路の変更の手順については、上
述した第1実施例の場合と機能セル内が既に配線されて
いることのみが異なり、これ以外は同様である。図4に
示すように、第2実施例では、チップ内の論理回路に追
加部分があるとき、未使用領域2a内の機能セル又は各
機能セルの組み合わせによりそのような追加部分を作成
する。この場合、機能セル内に既に配線が施されている
ため、第1実施例と比べて新たに追加する配線は少なく
て済む。従って、第2実施例では、第1実施例の効果に
加えて配線のためのマスクデータ量が少なくて済み、マ
スク費用をより安価にすることができるという効果が得
られる。また、比較的頻繁に必要とされる機能セルが予
めわかっていれば、それを不要領域の所定位置に作り込
んでおき、必要になったとき結線して使用することによ
り短時間で回路の変更が可能となるという効果もある。
【0015】(第3実施例)図5は、本発明の半導体集
積回路の配置配線方式の第3実施例のブロック図であ
る。図示の回路は、必要領域1の他に、未使用領域2b
を備えている。必要領域1は、上述した第1実施例及び
第2実施例と同様である。未使用領域2bは、チャネル
レスゲートアレイから成る。即ち、第1実施例と同様に
ゲートアレイから成るが、配線チャネルがない敷き詰め
型のゲートアレイである。回路の変更手順は、上述した
第1実施例と基本的に同様であるが、配線チャネルがな
いため、ゲートアレイ使用効率は小さい。尚、多層配線
を利用することもできる。
【0016】第3実施例では、論理回路の機能・論理の
変更がほんの僅かであることが想定できる場合、例え
ば、信号伝搬経路に遅延回路を設けるためにインバータ
を2段挿入するといった程度の論理変更の場合、図6に
示すように、配線チャネルを使わずに回路変更に対応す
ることができる。従って、第1実施例に比べて同一の変
更機能を高集積化されたチャネルレスゲートアレイによ
り実現することができ、未使用領域2bを縮小すること
ができる。尚、本発明は上述した実施例に限定されるも
のではなく、種々の変形が可能であることはもちろんで
ある。例えば、上述した実施例では、未使用領域2、2
a、2bをゲートアレイ又は機能セルのいずれかにより
構成しているが、双方を合せ持つようにしてもよい。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体集
積回路の配置配線方式によれば、回路の機能の僅かな変
更に対応するための未使用領域を作っておくようにした
ので、次のような効果がある。即ち、半導体集積回路の
機能や論理の変更等が生じたときに、マスクレイアウト
データをすべて作り直す必要はなく、配線工程のマスク
レイアウトデータのみを作り直すことにより対応するこ
とができる。従って、製造期間を短縮することができる
とともに、開発費用の大部分を節約することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体集積回路の配置配線方式の第1
実施例のブロック図である。
【図2】本発明の半導体集積回路の配置配線方式の第1
実施例における配線変更後のブロック図である。
【図3】本発明の半導体集積回路の配置配線方式の第2
実施例のブロック図である。
【図4】本発明の半導体集積回路の配置配線方式の第2
実施例における配線変更後のブロック図である。
【図5】本発明の半導体集積回路の配置配線方式の第3
実施例のブロック図である。
【図6】本発明の半導体集積回路の配置配線方式の第3
実施例における配線変更後のブロック図である。
【符号の説明】
1 必要領域 2、2a、2b 未使用領域

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上で所定の機能を実現するよう、各
    回路を配置及び配線するためのマスクレイアウトデータ
    をシリコンコンパイラ装置によって生成し、当該マスク
    レイアウトデータを用いて製造された半導体集積回路に
    おいて、 初期の所定機能を実現するための必要領域と、 当該必要領域が形成された基板と同一の基板上に形成さ
    れ、当該必要領域とあわせて前記所定機能を修正した機
    能を実現するためのゲートアレイ及び機能セルのいずれ
    か一方又は双方から成る未使用領域とを備えたことを特
    徴とする半導体集積回路の配置配線方式。
  2. 【請求項2】 前記未使用領域は、一方向に基本ゲート
    を配列し、それと垂直な方向に当該基本ゲート相互及び
    当該基本ゲートと前記必要領域とを接続するための配線
    チャネルを配置したチャネル型ゲートアレイから成るこ
    とを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路の配置配
    線方式。
  3. 【請求項3】 前記未使用領域は、一方向に所定単位の
    機能を実現する機能セルを配列し、それと垂直な方向に
    当該機能セル相互及び当該機能セルと前記必要領域とを
    接続するための配線チャネルを配置したことを特徴とす
    る請求項1記載の半導体集積回路の配置配線方式。
  4. 【請求項4】 前記未使用領域は、基本ゲートを敷き詰
    めたチャネルレスゲートアレイから成ることを特徴とす
    る請求項1記載の半導体集積回路の配置配線方式。
JP05810495A 1995-02-22 1995-02-22 半導体集積回路の配置配線方式 Expired - Lifetime JP3359178B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7175878B2 (en) 2000-11-28 2007-02-13 Essilor International Cold antireflection layer deposition process

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7175878B2 (en) 2000-11-28 2007-02-13 Essilor International Cold antireflection layer deposition process

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