JPH08234254A - 高調波発生装置 - Google Patents
高調波発生装置Info
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- JPH08234254A JPH08234254A JP3569995A JP3569995A JPH08234254A JP H08234254 A JPH08234254 A JP H08234254A JP 3569995 A JP3569995 A JP 3569995A JP 3569995 A JP3569995 A JP 3569995A JP H08234254 A JPH08234254 A JP H08234254A
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- harmonic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体レーザ、共振器等の相対位置の調整作業
を簡易化し、基本波の入射モードを共振器の共振モード
に容易に整合できるようにし、装置の小型化も達成す
る。 【構成】基本波入射部の共振ミラー１０５は、半径２．
５ｍｍ、長さ１２．５ｍｍの円柱状であり、共振ミラー
１０５の基本波の入射面１１０は曲率半径１ｍｍの球面
とされ、別個の集光レンズは用いていない。
を簡易化し、基本波の入射モードを共振器の共振モード
に容易に整合できるようにし、装置の小型化も達成す
る。 【構成】基本波入射部の共振ミラー１０５は、半径２．
５ｍｍ、長さ１２．５ｍｍの円柱状であり、共振ミラー
１０５の基本波の入射面１１０は曲率半径１ｍｍの球面
とされ、別個の集光レンズは用いていない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザからの基
本波を非線形光学材料により高調波へ変換する高調波発
生装置に関する。
本波を非線形光学材料により高調波へ変換する高調波発
生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の第２高調波発生装置としては、複
数の共振用ミラーで構成される共振器の中に非線形光学
材料を配置し、半導体レーザ（以下ＬＤとする）等から
出射される基本波を共振器内に閉じ込めて増幅させるこ
とで、第２高調波を効率良く発生させるものが知られて
いる。その一例を図２に示す。この第２高調波発生装置
２０１は、ＬＤ２０２と、集光レンズ２０４と、ディス
クリート型共振器２１２とから構成されている。
数の共振用ミラーで構成される共振器の中に非線形光学
材料を配置し、半導体レーザ（以下ＬＤとする）等から
出射される基本波を共振器内に閉じ込めて増幅させるこ
とで、第２高調波を効率良く発生させるものが知られて
いる。その一例を図２に示す。この第２高調波発生装置
２０１は、ＬＤ２０２と、集光レンズ２０４と、ディス
クリート型共振器２１２とから構成されている。
【０００３】ＬＤ２０２は、例えばＧａＡｌＡｓなどの
材料で作られ、ｐ−ｎ接合面の両端面を平行平面ミラー
にしてＬＤの共振器を構成し、電流を流して発生する光
を上記ＬＤの共振器で発振させて出射するものである。
ＬＤ２０２の発光面積は、通常縦１μｍ、横３μｍ程度
と小さく、したがってビームは発光面の回折により大き
な広がり角をもっている。
材料で作られ、ｐ−ｎ接合面の両端面を平行平面ミラー
にしてＬＤの共振器を構成し、電流を流して発生する光
を上記ＬＤの共振器で発振させて出射するものである。
ＬＤ２０２の発光面積は、通常縦１μｍ、横３μｍ程度
と小さく、したがってビームは発光面の回折により大き
な広がり角をもっている。
【０００４】上記ＬＤのような大きな広がりを持つモー
ドを共振器の共振モードに整合させ、高い結合効率を得
るために、集光レンズ２０４が用いられる。集光レンズ
２０４には、球面収差の低減により結合効率を向上させ
た非球面レンズを用いている。
ドを共振器の共振モードに整合させ、高い結合効率を得
るために、集光レンズ２０４が用いられる。集光レンズ
２０４には、球面収差の低減により結合効率を向上させ
た非球面レンズを用いている。
【０００５】図２に示したディスクリート型共振器２１
２は、例えば球面ミラー（共振ミラー面）２０７を有す
る入射部の共振ミラー２０５と、非線形光学材料２０９
の片面を平面ミラー（共振ミラー）２０８とした出射部
の共振ミラー２０６とより構成されている。球面ミラー
２０７と平面ミラー２０８で構成される共振器内に非線
形光学材料２０９であるＫＮｂＯ3 結晶が配置されてい
る。球面ミラー２０７には基本波２０３を一部透過し第
２高調波２１４を反射する膜、平面ミラー２０８には基
本波２０３を反射し第２高調波２１４を透過する膜が各
々蒸着されている。ＫＮｂＯ3 結晶はペルチェ素子２１
３を装着し、位相整合条件を満たすよう温度制御を行っ
ている。
２は、例えば球面ミラー（共振ミラー面）２０７を有す
る入射部の共振ミラー２０５と、非線形光学材料２０９
の片面を平面ミラー（共振ミラー）２０８とした出射部
の共振ミラー２０６とより構成されている。球面ミラー
２０７と平面ミラー２０８で構成される共振器内に非線
形光学材料２０９であるＫＮｂＯ3 結晶が配置されてい
る。球面ミラー２０７には基本波２０３を一部透過し第
２高調波２１４を反射する膜、平面ミラー２０８には基
本波２０３を反射し第２高調波２１４を透過する膜が各
々蒸着されている。ＫＮｂＯ3 結晶はペルチェ素子２１
３を装着し、位相整合条件を満たすよう温度制御を行っ
ている。
【０００６】上記第２高調波発生装置２０１では、ＬＤ
２０２から出射された、例えば波長８６０ｎｍの基本波
２０３が、集光レンズ２０４によって集光され、ディス
クリート型共振器２１２に結合する。この基本波２０３
は、非線形光学材料２０９中を伝搬し、平面ミラー２０
８で反射され、球面ミラー２０７に戻って、再び平面ミ
ラー２０８方向に反射されることにより、直線状の共振
経路を通って共振し増幅される。そして、基本波２０３
が非線形光学材料２０９中を結晶軸方向に伝搬すると
き、その一部が例えば波長４３０ｎｍの第２高調波２１
４に変換され、第２高調波２１４が平面ミラー２０８を
通過して出射される。
２０２から出射された、例えば波長８６０ｎｍの基本波
２０３が、集光レンズ２０４によって集光され、ディス
クリート型共振器２１２に結合する。この基本波２０３
は、非線形光学材料２０９中を伝搬し、平面ミラー２０
８で反射され、球面ミラー２０７に戻って、再び平面ミ
ラー２０８方向に反射されることにより、直線状の共振
経路を通って共振し増幅される。そして、基本波２０３
が非線形光学材料２０９中を結晶軸方向に伝搬すると
き、その一部が例えば波長４３０ｎｍの第２高調波２１
４に変換され、第２高調波２１４が平面ミラー２０８を
通過して出射される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記共振器内に基本波
を効率良く結合させるためには、基本波の入射モードを
共振器の共振モードに整合させる必要がある。そのため
には、従来の第２高調波発生装置では、ＬＤ、集光レン
ズおよび共振器の３つの光学部品の相対位置を調整する
必要があった。しかしながら、これらの調整は煩雑であ
り調整に多くの時間を必要とするため、装置の調整コス
トを削減するのは困難であった。本発明の目的は従来技
術の有する前述の欠点を解消しようとするものである。
を効率良く結合させるためには、基本波の入射モードを
共振器の共振モードに整合させる必要がある。そのため
には、従来の第２高調波発生装置では、ＬＤ、集光レン
ズおよび共振器の３つの光学部品の相対位置を調整する
必要があった。しかしながら、これらの調整は煩雑であ
り調整に多くの時間を必要とするため、装置の調整コス
トを削減するのは困難であった。本発明の目的は従来技
術の有する前述の欠点を解消しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を
解決すべくなされたものであり、基本波光源の半導体レ
ーザと、基本波を共振させる複数の共振ミラーからなる
共振器内の基本波の光軸上に配置された非線形光学材料
とを備えた高調波発生装置において、前記共振器の基本
波入射部の共振ミラーを、基本波を集光可能な共振ミラ
ーとしたことを特徴とする高調波発生装置を提供する。
解決すべくなされたものであり、基本波光源の半導体レ
ーザと、基本波を共振させる複数の共振ミラーからなる
共振器内の基本波の光軸上に配置された非線形光学材料
とを備えた高調波発生装置において、前記共振器の基本
波入射部の共振ミラーを、基本波を集光可能な共振ミラ
ーとしたことを特徴とする高調波発生装置を提供する。
【０００９】本発明において、前記共振器の基本波入射
部の共振ミラーは、基本波の入射面が凸形曲面とされ基
本波の出射面が共振ミラー面とされた透明な光学素子よ
りなることが好ましい。例えば図１に示すように、基本
波の入射面を凸形曲面としたレンズとすれば、その入射
面により基本波が集光でき、集光効果を合わせ持つ共振
ミラーが得られる。前記凸形曲面は球面、あるいは縦軸
と横軸で曲率が異なるような非球面であってもよい。非
球面の場合、ＬＤのビーム断面が楕円、長円であれば、
それを円形に修正するような非球面であってもよい。前
記透明な光学素子の材質としては、ガラス、プラスチッ
ク、水等の透明な液体等が使用できる。
部の共振ミラーは、基本波の入射面が凸形曲面とされ基
本波の出射面が共振ミラー面とされた透明な光学素子よ
りなることが好ましい。例えば図１に示すように、基本
波の入射面を凸形曲面としたレンズとすれば、その入射
面により基本波が集光でき、集光効果を合わせ持つ共振
ミラーが得られる。前記凸形曲面は球面、あるいは縦軸
と横軸で曲率が異なるような非球面であってもよい。非
球面の場合、ＬＤのビーム断面が楕円、長円であれば、
それを円形に修正するような非球面であってもよい。前
記透明な光学素子の材質としては、ガラス、プラスチッ
ク、水等の透明な液体等が使用できる。
【００１０】前記共振器の基本波入射部の共振ミラー
は、光軸の中心軸から外周方向に向かって屈折率が２次
関数的（放物線状）に減少し基本波の出射面が共振ミラ
ー面とされた透明な屈折率分布形光学素子であってもよ
い。この場合、前記屈折率分布形光学素子としてはロッ
ド状レンズが好ましく使用できるが、直方体、平面（入
射面）−凹面（出射面）レンズ、凸面−平面レンズ、凸
面−凹面レンズ等の等他の形状のレンズであってもよ
い。屈折率分布は、光学素子がガラスの場合、基本波の
入出射面にマスクをし、イオン交換浴に所定時間浸ける
という公知の方法によって形成できる。光学素子の材料
としては、ガラス、プラスチック等が好ましく使用でき
る。
は、光軸の中心軸から外周方向に向かって屈折率が２次
関数的（放物線状）に減少し基本波の出射面が共振ミラ
ー面とされた透明な屈折率分布形光学素子であってもよ
い。この場合、前記屈折率分布形光学素子としてはロッ
ド状レンズが好ましく使用できるが、直方体、平面（入
射面）−凹面（出射面）レンズ、凸面−平面レンズ、凸
面−凹面レンズ等の等他の形状のレンズであってもよ
い。屈折率分布は、光学素子がガラスの場合、基本波の
入出射面にマスクをし、イオン交換浴に所定時間浸ける
という公知の方法によって形成できる。光学素子の材料
としては、ガラス、プラスチック等が好ましく使用でき
る。
【００１１】さらに前記共振器の基本波入射部の共振ミ
ラーは、基本波の入射面が凸形曲面とされた屈折率分布
形光学素子であることが好ましい。この場合、基本波の
集光効果がさらに大きくなり、その結果光学素子の大き
さ、特に光軸方向の大きさを小型化することもできる。
ラーは、基本波の入射面が凸形曲面とされた屈折率分布
形光学素子であることが好ましい。この場合、基本波の
集光効果がさらに大きくなり、その結果光学素子の大き
さ、特に光軸方向の大きさを小型化することもできる。
【００１２】前記非線形光学材料としては、ＫＮｂＯ
3 、β−ＢａＢ2 Ｏ4 、ＫＴｉＯＰＯ4 、ＫＨ2 ＰＯ
4 、ＬｉＮｂＯ3 等の非線形光学結晶、その他有機非線
形光学材料等が使用できるが、高い第２高調波への変換
効率、結晶の取扱いやすさ等からしてＫＮｂＯ3 単結晶
が好ましい。
3 、β−ＢａＢ2 Ｏ4 、ＫＴｉＯＰＯ4 、ＫＨ2 ＰＯ
4 、ＬｉＮｂＯ3 等の非線形光学結晶、その他有機非線
形光学材料等が使用できるが、高い第２高調波への変換
効率、結晶の取扱いやすさ等からしてＫＮｂＯ3 単結晶
が好ましい。
【００１３】また本発明は、第２高調波のみならず、第
３高調波等のより高次の高調波の発生装置にも応用でき
る。
３高調波等のより高次の高調波の発生装置にも応用でき
る。
【００１４】
【作用】本発明の高調波発生装置では、共振器を構成す
る基本波入射部の共振ミラーが集光効果も有しているの
で、別途集光レンズを用いなくても基本波が集光でき
る。この結果、調整に際してはＬＤと共振器のみの相対
位置の調整で済む。調整部品が２部品に削減されるの
で、調整時間が短縮でき調整コストも削減できる。
る基本波入射部の共振ミラーが集光効果も有しているの
で、別途集光レンズを用いなくても基本波が集光でき
る。この結果、調整に際してはＬＤと共振器のみの相対
位置の調整で済む。調整部品が２部品に削減されるの
で、調整時間が短縮でき調整コストも削減できる。
【００１５】
【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。図１に
は、本発明を第２高調波発生装置に適用した一実施例を
示している。
は、本発明を第２高調波発生装置に適用した一実施例を
示している。
【００１６】この第２高調波発生装置１０１は、基本波
光源としてのＬＤ１０２と、ディスクリート型共振器１
１２とから構成されている。ＬＤ１０２は本実施例では
波長８６０ｎｍ、単一縦横モードの非点収差の少ないも
のが用いられ、基本波１０３を出射する。
光源としてのＬＤ１０２と、ディスクリート型共振器１
１２とから構成されている。ＬＤ１０２は本実施例では
波長８６０ｎｍ、単一縦横モードの非点収差の少ないも
のが用いられ、基本波１０３を出射する。
【００１７】共振器１１２は、この実施例では曲率半径
２ｍｍの球面ミラー（共振ミラー面）１０７を有する基
本波入射部の共振ミラー１０５と、非線形光学材料１０
９の片面を平面ミラー（共振ミラー面）１０８とした第
２高調波出射部の共振ミラー１０６より構成される。球
面ミラー１０７と平面ミラー１０８で構成される共振器
内に非線形光学材料１０９が配置されている。
２ｍｍの球面ミラー（共振ミラー面）１０７を有する基
本波入射部の共振ミラー１０５と、非線形光学材料１０
９の片面を平面ミラー（共振ミラー面）１０８とした第
２高調波出射部の共振ミラー１０６より構成される。球
面ミラー１０７と平面ミラー１０８で構成される共振器
内に非線形光学材料１０９が配置されている。
【００１８】基本波入射部の共振ミラー１０５には光学
ガラスであるＴａＦ−３（ホーヤ（株）製商標名）を用
いているが、ＢＫ−７（オハラ（株）製製品名、商標名
ＢＳＬ−７）やＳＦ−８（ホーヤ（株）製商標名）など
を用いてもよい。非線形光学材料１０９にはＫＮｂＯ3
結晶を用いているが、ＬｉＮｂＯ3 やＫＴｉＯＰＯ4な
どの無機非線形光学結晶や有機非線形光学結晶などを用
いることもできる。球面ミラー１０７には、基本波に対
し９５％以上反射で第２高調波に対し９０％以上反射の
膜が蒸着され、平面ミラー１０８には、基本波に対し９
９％以上反射で第２高調波に対し９０％以上透過の膜が
蒸着され、各々共振ミラー面として機能する。
ガラスであるＴａＦ−３（ホーヤ（株）製商標名）を用
いているが、ＢＫ−７（オハラ（株）製製品名、商標名
ＢＳＬ−７）やＳＦ−８（ホーヤ（株）製商標名）など
を用いてもよい。非線形光学材料１０９にはＫＮｂＯ3
結晶を用いているが、ＬｉＮｂＯ3 やＫＴｉＯＰＯ4な
どの無機非線形光学結晶や有機非線形光学結晶などを用
いることもできる。球面ミラー１０７には、基本波に対
し９５％以上反射で第２高調波に対し９０％以上反射の
膜が蒸着され、平面ミラー１０８には、基本波に対し９
９％以上反射で第２高調波に対し９０％以上透過の膜が
蒸着され、各々共振ミラー面として機能する。
【００１９】基本波入射部の共振ミラー１０５は、底面
の円形部の半径２．５ｍｍ、長さ１２．５ｍｍの円柱状
であり、共振ミラー１０５の基本波の入射面１１０は、
曲率半径１ｍｍの凸形曲面（球面）とされている。ＫＮ
ｂＯ3 結晶はａ、ｂ、ｃ結晶軸長が各々３ｍｍ、３ｍ
ｍ、４ｍｍの直方体であり、ｂ軸がＬＤの偏光面に一致
し、かつａ軸が基本波の伝搬方向となるように配置され
ている。ＫＮｂＯ3 結晶にはペルチェ素子１１３が装着
され、位相整合条件を満たすように温度制御がされてい
る。また基本波の入射面１１０、および共振ミラー１０
６の基本波の入射面１１１には、反射損失を低減するた
め基本波１０３に対し反射率１％以下の反射防止膜が蒸
着されている。
の円形部の半径２．５ｍｍ、長さ１２．５ｍｍの円柱状
であり、共振ミラー１０５の基本波の入射面１１０は、
曲率半径１ｍｍの凸形曲面（球面）とされている。ＫＮ
ｂＯ3 結晶はａ、ｂ、ｃ結晶軸長が各々３ｍｍ、３ｍ
ｍ、４ｍｍの直方体であり、ｂ軸がＬＤの偏光面に一致
し、かつａ軸が基本波の伝搬方向となるように配置され
ている。ＫＮｂＯ3 結晶にはペルチェ素子１１３が装着
され、位相整合条件を満たすように温度制御がされてい
る。また基本波の入射面１１０、および共振ミラー１０
６の基本波の入射面１１１には、反射損失を低減するた
め基本波１０３に対し反射率１％以下の反射防止膜が蒸
着されている。
【００２０】本実施例では、共振ミラー１０５の基本波
の入射面１１０が凸形曲面（球面）をなしているので、
入射部の共振ミラー１０５は集光レンズとしても機能す
る。そのため、従来の装置のような集光レンズを別途用
いなくても基本波を集光できる。
の入射面１１０が凸形曲面（球面）をなしているので、
入射部の共振ミラー１０５は集光レンズとしても機能す
る。そのため、従来の装置のような集光レンズを別途用
いなくても基本波を集光できる。
【００２１】上記第２高調波発生装置１０１では、ＬＤ
１０２から出射された波長８６０ｎｍの基本波１０３が
入射部の共振ミラー１０５によって集光され、ディスク
リート型共振器１１２に結合する。この基本波１０３は
非線形光学材料１０９中を伝搬し、平面ミラー１０８で
反射され、球面ミラー１０７に戻って再び平面ミラー１
０８方向に反射されることにより、直線状の共振経路を
通って共振し増幅される。そして、基本波１０３がＫＮ
ｂＯ3 結晶中を結晶軸のａ軸方向に伝搬するとき、その
一部が波長４３０ｎｍの第２高調波１１４に変換され、
変換された第２高調波１１４が平面ミラー１０８を通過
して出射される。
１０２から出射された波長８６０ｎｍの基本波１０３が
入射部の共振ミラー１０５によって集光され、ディスク
リート型共振器１１２に結合する。この基本波１０３は
非線形光学材料１０９中を伝搬し、平面ミラー１０８で
反射され、球面ミラー１０７に戻って再び平面ミラー１
０８方向に反射されることにより、直線状の共振経路を
通って共振し増幅される。そして、基本波１０３がＫＮ
ｂＯ3 結晶中を結晶軸のａ軸方向に伝搬するとき、その
一部が波長４３０ｎｍの第２高調波１１４に変換され、
変換された第２高調波１１４が平面ミラー１０８を通過
して出射される。
【００２２】上記構成で実施した結果、基本波入射部の
共振ミラー１０５においてレンズ効果を確認し、基本波
の結合効率３０％を得た。この結果、十分な基本波共振
出力が得られ、波長４３０ｎｍ、出力１ｍＷの第２高調
波１１４を得た。このときの第２高調波１１４の出射パ
ターンはパターンとして質の良い、ＴＥＭ00モードであ
った。上記結合効率、第２高調波出力および出射パター
ンは別個の集光レンズを用いた場合と同程度であり、別
個の集光レンズを用いなくとも従来と同等の特性を得る
ことができた。
共振ミラー１０５においてレンズ効果を確認し、基本波
の結合効率３０％を得た。この結果、十分な基本波共振
出力が得られ、波長４３０ｎｍ、出力１ｍＷの第２高調
波１１４を得た。このときの第２高調波１１４の出射パ
ターンはパターンとして質の良い、ＴＥＭ00モードであ
った。上記結合効率、第２高調波出力および出射パター
ンは別個の集光レンズを用いた場合と同程度であり、別
個の集光レンズを用いなくとも従来と同等の特性を得る
ことができた。
【００２３】このとき行った調整は、ＬＤ１０２とディ
スクリート型共振器１１２の２部品のみの相対位置の調
整で済んだため、調整時間は別個の集光レンズを用いた
従来の３部品の調整に要した時間の約半分に短縮され
た。この結果、装置の調整コストを従来の半分に削減す
ることができた。
スクリート型共振器１１２の２部品のみの相対位置の調
整で済んだため、調整時間は別個の集光レンズを用いた
従来の３部品の調整に要した時間の約半分に短縮され
た。この結果、装置の調整コストを従来の半分に削減す
ることができた。
【００２４】また上記構成において、ＬＤ１０２から球
面ミラー１０７までの結合距離は１４ｍｍとなり、従来
の結合距離より２ｍｍ程度短くすることができた。さら
に基本波の入射面１１０の曲率半径を０．５ｍｍにした
場合では、結合効率、高調波出力、出射パターンおよび
調整所要時間いずれも上記特性を維持しながら、ＬＤ１
０２と球面ミラー１０７までの結合距離を８ｍｍまで短
くすることができた。この結果、装置を小型化ができる
ことが確認された。
面ミラー１０７までの結合距離は１４ｍｍとなり、従来
の結合距離より２ｍｍ程度短くすることができた。さら
に基本波の入射面１１０の曲率半径を０．５ｍｍにした
場合では、結合効率、高調波出力、出射パターンおよび
調整所要時間いずれも上記特性を維持しながら、ＬＤ１
０２と球面ミラー１０７までの結合距離を８ｍｍまで短
くすることができた。この結果、装置を小型化ができる
ことが確認された。
【００２５】上記実施例の他に、基本波集光効果を有す
る基本波入射部の共振ミラー１０５として、屈折率が光
軸の中心軸から外周に向かって２次関数的（放物線状）
に減少した屈折率を有する光学素子（ロッド状レンズ）
や、共振器の入射面１１０に凸形曲面を有しかつ屈折率
が光軸の中心軸から外周に向かって２次関数的（放物線
状）に減少した屈折率を有する光学素子などを用いても
よい。これらの光学素子を用いた場合も上記実施例と同
様の効果が確認された。
る基本波入射部の共振ミラー１０５として、屈折率が光
軸の中心軸から外周に向かって２次関数的（放物線状）
に減少した屈折率を有する光学素子（ロッド状レンズ）
や、共振器の入射面１１０に凸形曲面を有しかつ屈折率
が光軸の中心軸から外周に向かって２次関数的（放物線
状）に減少した屈折率を有する光学素子などを用いても
よい。これらの光学素子を用いた場合も上記実施例と同
様の効果が確認された。
【００２６】また、用いる共振器は上記実施例における
タイプに限定されるものではなく、共振器の構成が複数
の共振ミラー、光学素子からなる共振器であれば、本発
明を適用することが可能である。
タイプに限定されるものではなく、共振器の構成が複数
の共振ミラー、光学素子からなる共振器であれば、本発
明を適用することが可能である。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基本波入射部の共振ミラーに、基本波集光効果を有する
ようにすることによって、別個の集光レンズを用いるこ
となく高調波発生装置を構成することができる。この結
果、部品点数の削減ができるため、装置の調整時間を短
縮でき、調整コストを削減することができる。また、部
品点数の削減にともなう、装置の部品コストの削減や装
置の小型化、さらに小型化による高調波出力の耐温度安
定性の向上などの効果も併せて有する。
基本波入射部の共振ミラーに、基本波集光効果を有する
ようにすることによって、別個の集光レンズを用いるこ
となく高調波発生装置を構成することができる。この結
果、部品点数の削減ができるため、装置の調整時間を短
縮でき、調整コストを削減することができる。また、部
品点数の削減にともなう、装置の部品コストの削減や装
置の小型化、さらに小型化による高調波出力の耐温度安
定性の向上などの効果も併せて有する。
【図１】本発明の実施例を示し、第２高調波発生装置の
基本構成の側面図。
基本構成の側面図。
【図２】従来の第２高調波発生装置の基本構成の側面
図。
図。
１０１：第２高調波発生装置 １０２：ＬＤ １０３：基本波 １０５：基本波入射部の共振ミラー １０６：第２高調波出射部の共振ミラー １０７：球面ミラー １０８：平面ミラー １０９：非線形光学材料 １１０：基本波の入射面 １１１：基本波の入射面 １１２：ディスクリート型共振器 １１３：ペルチェ素子 １１４：第２高調波
Claims (4)
- 【請求項１】基本波光源の半導体レーザと、基本波を共
振させる複数の共振ミラーからなる共振器内の基本波の
光軸上に配置された非線形光学材料とを備えた高調波発
生装置において、前記共振器の基本波入射部の共振ミラ
ーを、基本波を集光可能な共振ミラーとしたことを特徴
とする高調波発生装置。 - 【請求項２】前記共振器の基本波入射部の共振ミラー
は、基本波の入射面が凸形曲面とされ基本波の出射面が
共振ミラー面とされた透明な光学素子である請求項１記
載の高調波発生装置。 - 【請求項３】前記共振器の基本波入射部の共振ミラー
は、光軸の中心軸から外周方向に向かって屈折率が２次
関数的に減少し基本波の出射面が共振ミラー面とされた
透明な屈折率分布形光学素子である請求項１記載の高調
波発生装置。 - 【請求項４】前記共振器の基本波入射部の共振ミラー
は、基本波の入射面が凸形曲面とされた屈折率分布形光
学素子である請求項３記載の高調波発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3569995A JPH08234254A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 高調波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3569995A JPH08234254A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 高調波発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08234254A true JPH08234254A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=12449137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3569995A Withdrawn JPH08234254A (ja) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 高調波発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08234254A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011176315A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Lpkf Laser & Electronics Ag | レーザ装置 |
| WO2015156231A1 (ja) * | 2014-04-07 | 2015-10-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | メタマテリアル光学部材、光検出装置、レーザ励起光源及び計測装置 |
-
1995
- 1995-02-23 JP JP3569995A patent/JPH08234254A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011176315A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Lpkf Laser & Electronics Ag | レーザ装置 |
| WO2015156231A1 (ja) * | 2014-04-07 | 2015-10-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | メタマテリアル光学部材、光検出装置、レーザ励起光源及び計測装置 |
| JP2015200745A (ja) * | 2014-04-07 | 2015-11-12 | 浜松ホトニクス株式会社 | メタマテリアル光学部材、光検出装置、レーザ励起光源及び計測装置 |
| GB2538930A (en) * | 2014-04-07 | 2016-11-30 | Hamamatsu Photonics Kk | Metamaterial optical member, light detection device, laser excitation light source, and measuring device |
| US10161857B2 (en) | 2014-04-07 | 2018-12-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Metamaterial optical member, light detection device, laser excitation light source, and measuring device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040406 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20040607 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |