JPH08233912A

JPH08233912A - Ｌｓｉテスタ

Info

Publication number: JPH08233912A
Application number: JP7062106A
Authority: JP
Inventors: Toshifumi Miyagaki; 稔史宮垣
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Computer Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Computer Engineering Co Ltd
Priority date: 1995-02-24
Filing date: 1995-02-24
Publication date: 1996-09-13

Abstract

(57)【要約】【目的】外部とのインタフェース動作を考慮したＤＵ
Ｔの動作テストに必要とされるテストパターンの作成負
担を低減することができるＬＳＩテスタを提供する。【構成】テスト対象デバイス２００と外部実環境回路
３００とを接続制御する接続手段１０２を備えてＬＳＩ
テスタ１００を構成する。上記接続手段１０２は、テス
ト対象デバイス２００が出力する情報を外部実環境回路
３００に供給可能とし、その情報に対する応答情報を外
部実環境回路３００がテスト対象デバイス２００に出力
可能にする接続調整器１２０を含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩテスタに関し、
詳しくは実使用時の外部接続される回路を含めてＤＵＴ
（ＤＥＶＩＣＥＵＮＤＥＲＴＥＳＴ）の動作テスト
を行うＬＳＩテスタに関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩテスタにより、動作テスト対象と
されるＤＵＴを、実使用時、ＤＵＴに外部接続される回
路とのインタフェースを考慮してテストする場合、実際
に外部接続される回路をＤＵＴに接続させず、外部接続
される回路がＤＵＴに出力するべき信号データをテスト
パターンとしてＤＵＴに供給することができる。そのた
めの上記信号データは、ＤＵＴのテストパターンと共に
作成される。よって、ＤＵＴの種類や、考慮すべき外部
接続される回路に応じて逐次所望とするテストパターン
を人手により作成する必要が生じ、外部回路から供給さ
れる信号データを含めたテストパターンの作成には、多
大の労力と時間が費やされる。また、半導体集積回路の
外部インタフェースの動作確認のためには、ハードウエ
アシミュレータを利用する場合がある。ハードウエアシ
ミュレータを用いるのは通常設計段階でのシミュレーシ
ョンテストにて用いられるのが普通であって、製品であ
るチップやボード自体の不良検査に用いることはコスト
面から考えて不合理である。なお、従来のＬＳＩテスタ
としては、日経エレクトロニクス（１９９３年３月３日
発行第５７５巻）、第１５７頁から第１７７頁に記載さ
れている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このように従来技術に
おいて、上記の如く外部接続される回路とのインタフェ
ースを含めたＤＵＴの動作テスト（以下、連動動作テス
トと記載することがある）を行う場合は、テストパター
ンの作成に多大な時間と労力を費やしていた。そこで、
本発明者はＬＳＩテストにて連動テストを行う場合の処
理負担を軽減する手段の必要性を見出した。

【０００４】本発明の目的は、実使用時にＤＵＴに外部
接続される回路のインタフェースを含めたＤＵＴの動作
テストを行う場合に、従来必要とされたテストパターン
の作成負担を軽減し、連動動作テストを効率的に行うた
めの手段を提供する。

【０００５】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。

【０００７】すなわち、テスト対象とされる半導体集積
回路をテストのための外部実環境回路に接続する接続手
段と、上記接続手段による半導体集積回路と外部実環境
回路との接続態様を制御する制御手段とを設け、上記接
続手段は、制御回路の制御に基づいて上記半導体集積回
路が出力する所定の情報を外部実環境回路に与えると共
に、それに応答して外部実環境回路が出力する情報を上
記半導体集積回路に与える接続調整器を含んでＬＳＩテ
スタを構成する。上記外部実環境回路とは、テスト対象
とされる半導体集積回路との間で信号のやりとりを直接
行う関係にあるものをいう。上記接続手段には、上記半
導体集積回路と外部実環境回路との間でやりとりされる
入出力信号レベルを制御回路の制御に従って決定するレ
ベル調整器を更に含ませることができる。また、上記Ｌ
ＳＩテスタには、テスト中に、上記半導体集積回路が上
記外部実環境回路に供給すべき信号と、その信号に対し
て外部実環境回路が半導体集積回路に供給すべき応答信
号とを対応させて蓄積し、半導体集積回路が上記外部実
環境回路に供給した信号を取り込み、その信号に対応す
る応答信号を半導体集積回路に供給可能な蓄積手段を含
ませることができる。

【０００８】

【作用】上記した手段によれば、テスト対象とされる半
導体集積回路に所定のテストパターンとその期待値をＬ
ＳＩテスタに供給してテストすることにより、半導体集
積回路から所定の信号が接続手段を介して外部実環境回
路に供給される。接続手段から信号が供給された外部実
環境回路は、その応答信号を接続手段を介して半導体集
積回路に供給する。接続手段から応答信号が供給された
半導体集積回路は、期待値と比較される信号をＬＳＩテ
スタに供給する。このようにテストすれば、テスト対象
とされる半導体集積回路に供給すべき一部の情報を外部
実環境回路からの情報によって賄うことができ、このこ
とがテストパターンの作成を容易化する。更に、レベル
調整器を備えれば、上記半導体集積回路の入出力信号レ
ベルと上記外部実環境回路の入出力信号レベルとが異な
っていても、レベル調整器で信号レベルを調整して、異
なった入出力信号レベルの半導体集積回路と外部実環境
回路との間で信号のやりとりを行うことができる。ま
た、上記蓄積手段は、テストが行われているときの外部
実環境回路の接続手段への出力をテストパターンに対応
させて蓄積することができる。蓄積手段に蓄積された外
部実環境回路の出力情報は、外部実環境回路の代わり
に、半導体集積回路が外部実環境回路に供給する信号に
対する応答信号として半導体集積回路に供給することが
できる。

【０００９】

【実施例】図１には、本発明のＬＳＩテスタ１００が示
される。同図によれば、ＬＳＩテスタ１００は、テスタ
ーターミナル５００から供給されるテストパターンを蓄
えるテストパターンバッファ１１３と、テスターターミ
ナル５００から供給されるテストパターンの期待値を保
持するレジスタからなる期待値バッファ１１１と、テス
ト結果と期待値とを例えばビット単位で逐次比較しエラ
ー検出を行う比較回路１１４と、テスト結果を保持する
レジスタであるフェイルメモリ１１２と、テスターター
ミナル５００の指示によりＬＳＩテスタ１００の動作制
御する制御回路１１５を備えるテスタ部１１０を備え
る。上記テスターターミナル５００は、ＬＳＩテスタに
動作テストを指示する制御装置であり、動作テストのテ
ストパターンを格納するテストパターンファイル５０１
や動作テストの結果を表示するモニタ５０２を有する。
また、ＬＳＩテスタ１００は、テスト対象とされる半導
体集積回路２００（以下、ＤＵＴ２００と略す）を接続
するためのインタフェース部１０１と、上記ＤＵＴ２０
０とＤＵＴ２００の外部回路３００（以下、ＥＸ３００
と略す）とをＬＳＩテスタ１００を介して接続するため
のインタフェース部１０２とを備えて構成される。上記
インタフェース部１０１は、テストパターンをテストバ
ッファ１１３からＤＵＴ２００に供給し、また、ＤＵＴ
２００の所定の出力を比較回路１１４に供給するための
各種信号線群やコネクタによって構成される。上記ＥＸ
３００とは、ＤＵＴ２００に接続して使用可能なチップ
やボードであり、テストパターンが供給されたＤＵＴ２
００の出力を受けて動作して所定の応答信号を出力する
ことができる。上記インタフェース部１０２は、ＤＵＴ
２００とＥＸ３００とをテスタ部１１０を介して接続す
るための回路構成であり、ＤＵＴ２００とＥＸ３００と
を、接続調整器１２０と、接続コネクタである拡張ポー
ト１４０と、レベル調整器１３０を介して双方向で接続
する。レベル調整器１３０は、ＬＳＩテスタ１００とＥ
Ｘ３００との入出力信号レベルを調整するために接続調
整器１２０と拡張ポート１４０との間に備えられてい
る。上記接続調整器１２０は、制御回路１１５の制御に
よって、ＤＵＴ２００がＥＸ３００に供給すべき所定の
信号をＥＸ３００に、そしてそれを受けて動作するＥＸ
３００からの応答をＤＵＴ２００に供給するための信号
経路の接続などを行う回路である。上記レベル調整器１
３０は、制御回路１１５の制御によってＤＵＴ２００の
信号線の信号レベルとＥＸ３００の信号線の信号レベル
とを変換し、ＤＵＴ２００とＥＸ３００との間で信号の
やりとりを可能にするための回路である。例えば、ＭＯ
ＳレベルとＴＴＬレベルとの間での信号変換を選択的に
行い得る回路である。ＤＵＴ２００の動作テストに用い
られるテストパターン及びその期待値は、テスターター
ミナル５００のテストパターンファイル５０１に予め蓄
えられており、必要に応じて期待値バッファ１１１とテ
ストバッファ１１３とに供給される。上記ＬＳＩテスタ
１００では、必要に応じて、ＤＵＴ２００のみの動作テ
ストを行う単体テストモードと、ＤＵＴ２００と外部接
続されるＥＸ３００とのインタフェース部の動作を含め
てＤＵＴ２００のテストを行う連動テストモードとがテ
スターターミナル５００によって制御回路１１５に指示
される。従って、上記テストパターンファイル５０１に
は、単体テストモードと連動テストモードとの夫々に応
じたテストパターンとその期待値が格納されている。

【００１０】上記単体テストモードの場合は、制御回路
１１５の指示によりＥＸ３００がインタフェース部１０
２の接続調整器１２０にてＤＵＴ２００から電気的に切
り離された状態にされる。動作テストに用いられる信号
線は、制御回路１１５によって例えば信号線毎にＤＵＴ
２００との接続制御を行うピンエレクトロニクスによっ
て、動作テストのテストパターンが供給される信号線と
テストパターンに対する応答信号が供給される信号線と
が選択される。また、実使用時と同じ接続状態にするこ
ともできる。所望のテストパターンとその期待値がテス
トパターンファイル５０１から期待値バッファ１１１と
テストバッファ１１３に供給されると、制御回路１１５
の指示によりＤＵＴ２００にテストパターンが供給され
る。供給されたテストパターンに応じてＤＵＴ２００か
ら選択された信号線に出力されるテストパターンに対す
る応答信号は、比較回路１１４に供給されると共に、比
較回路１１４には期待値バッファ１１１からテストパタ
ーンの期待値が制御回路１１５の指示により供給され
る。比較回路１１４に供給された上記応答信号とテスト
パターンの期待値は、逐次比較されてその比較結果がフ
ェイルメモリ１１２に格納される。こうして、フェイル
メモリ１１２に格納された情報をテスターターミナル５
００で読出すことによって動作テストされたＤＵＴ２０
０の動作テストの結果をモニタ５０２に表示して容易に
チェックすることができる。

【００１１】上記連動テストモードの場合は、制御回路
１１５の指示により接続調整器１２０にてＤＵＴ２００
とＥＸ３００とは所望の信号線で接続された状態にされ
る。例えば、ＤＵＴ２００とＥＸ３００の双方における
アドレス端子、そしてデータ端子が接続される。このと
き、上記接続状態は実使用時の状態と同様にＤＵＴ２０
０とＥＸ３００との信号線を接続させることも、連動テ
ストに必要な信号線のみを接続させることもできる。先
ず、連動テストに用いるテストパターンがテストパター
ンファイル５０１からテストバッファ１１３に設定さ
れ、そのテストパターンの期待値がテストパターンファ
イル５０１から期待値バッファ１１１に設定される。ま
た、制御回路１１５はＤＵＴ２００の入出力信号レベル
とＥＸ３００との入出力信号レベルを調整するために必
要な制御信号をレベル調整器１３０に供給する。接続調
整器１２０及びレベル調整器１３０での調整を終える
と、制御回路１１５の指示によりテストバッファ１１３
に供給されたテストパターンはインタフェース部１０１
を介してＤＵＴ２００に供給される。テストパターンは
ＤＵＴ２００内の所定のテスト経路を通り動作テストを
行い、その結果得られた出力信号がＥＸ３００に供給す
べきものであるときは、この出力信号はインタフェース
部１０２を介してＥＸ３００に供給される。供給するか
否かは、テストパターンをＤＵＴ２００に順次供給して
いくテストステップに同期して、制御回路１１５が接続
調整器１２０でコントロールする。ＥＸ３００は供給さ
れた信号に従って動作を行い、その結果得られる応答信
号をインタフェース部１０２を介してＤＵＴ２００に供
給する。ＤＵＴ２００に供給された応答信号は、更にＤ
ＵＴ２００内部の所定の経路を通り動作テストが行なわ
れる。供給されたテストパターンに基づいてＤＵＴ２０
０とＥＸ３００の動作によって得られたテスト結果の信
号はインタフェース部１０１を介してテスタ部１１０の
比較回路１１４に供給される。テスト結果が供給された
比較回路１１４は、期待値格納部１１１に設定された期
待値とテスト結果信号との比較を行い、その比較結果を
連動動作テスト結果としてフェイルメモリ１１２に格納
する。フェイルメモリ１１２に格納された情報は必要に
応じてモニタ５０２に表示させることができる。このよ
うに、ＤＵＴ２００をＥＸ３００と連動させてテストす
れば、テスト対象とされるＤＵＴ２００に供給すべき一
部の情報をＥＸ３００からＤＵＴ２００に出力される情
報によって賄うことができ、このことが連動動作テスト
におけるテストパターンの作成を容易化する。

【００１２】図２には、本発明の他のＬＳＩテスタ６０
０が示される。同図に示されるＬＳＩテスタ６００も前
記ＬＳＩテスタ１００と同様に、外部のテスターターミ
ナル７００によって制御される。同図によれば、ＬＳＩ
テスタ６００は、前記ＬＳＩテスタ１００の構成に、テ
スターターミナル７００に設けられた信号データファイ
ル７０１への入出力経路を接続調整器１２０に備えて構
成される。ＬＳＩテスタ６００のＥＸ３００は、動作テ
ストの信頼性向上のため定期的に動作チェックが行われ
るものである。上記信号データファイル７０１には、実
際の動作テストにおいて、動作テストに用いられたテス
トパターンに応じてＤＵＴ２００がＥＸ３００に供給す
べき信号と、ＥＸ３００がその信号に対してＤＵＴ２０
０に供給すべき応答信号とが接続調整器１２０を介して
蓄積されている。例えば、上記信号データファイル７０
１がメモリから構成されるとき、動作テストに用いられ
たテストパターンに応じてＤＵＴ２００がＥＸ３００に
供給すべき信号がアドレスとして、ＥＸ３００がその信
号に対してＤＵＴ２００に供給すべき応答信号がそのア
ドレスに対応するデータとして格納される。この蓄積さ
れた対の信号は、制御回路１１５によって関連付けられ
ており、制御回路１１５の指示により上記応答信号は接
続調整器１２０を介してＤＵＴ２００に供給可能にされ
る。つまり、信号データファイル７０１は、ＥＸ３００
の出力を代替してＥＸ３００が出力すべき信号を所定の
信号線に接続調整器１２０を介してＤＵＴ２００に供給
可能にするものである。換言すれば、ＥＸ３００を用い
ない場合、テストパターンに応じてＤＵＴ２００がＥＸ
３００に信号を供給しようとするとき、その信号が信号
データファイル７０１にアドレスとして供給され、その
アドレスに対応して信号データファイル７０１に保持さ
れている応答信号がＤＵＴ２００に返されるようになっ
ている。そのため、ＬＳＩテスタ６００には、信号デー
タファイル７０１を利用するエミュレートモードと、そ
れを利用しないノーマルモードとがあり、必要に応じて
テスターターミナル７００がモード設定を制御回路１１
５に指示する。ノーマルモードの場合には、前記単体テ
ストモードと連動テストモードが含まれている。また、
エミュレートモードは、例えばＥＸ３００の定期的な動
作テストにて異常が判明された場合に用いられ、連動テ
ストモードのみを有する。上記の理由によりエミュレー
トモードが制御回路１１５に指示された場合、ＬＳＩテ
スタ６００に接続された不良ＥＸ３００は制御回路１１
５によって接続調整器１２０で電気的に切り離される。
ここで、エミュレートモードは、新たなＥＸ３００に交
換することが、テスト時間の無駄になると判断された場
合に利用されることになる。このように、本実施例のＬ
ＳＩテスタ６００は、ＥＸ３００に故障が生じた場合で
も、正常に動作テストされていたときのＥＸ３００の出
力情報が信号データファイル７０１に蓄えられているた
め、それを制御回路１１５の制御により代替信号として
用いることができる。信号データファイル７０１に蓄え
られている信号は、制御回路１１５の制御によりインタ
フェース部１０２から抽出したものであって、人手によ
って形成されたものでないから、本発明の目的であるテ
ストパターンの処理負担の軽減に寄与するものである。

【００１３】具体的に上記ＬＳＩテスタ６００に接続さ
れたＤＵＴ２００とＥＸ３００の連動した動作テストに
ついて以下説明する。ＬＳＩテスタ６００は、先ずノー
マルモード（連動テストモードのとき）において所定の
テストパターンをインタフェース部１０１を介してＤＵ
Ｔ２００に供給する。ノーマルモードでの動作テスト
は、フェイルメモリ１１２にエラー情報が供給されてい
ない間、ＤＵＴ２００がＥＸ３００に供給する信号と、
ＥＸ３００がＤＵＴ２００に供給する応答信号とを対応
させて、信号データファイル７０１に蓄積すること以外
は、上記ＬＳＩテスタ１００の連動テストモードの動作
と同じであり、テストパターンが供給されたＤＵＴ２０
０は、テストパターンに応じた信号をインタフェース部
１０２を介してＥＸ３００に供給する。このとき、ＤＵ
Ｔ２００からインタフェース部１０２に供給された信号
は、制御回路１１５の制御により接続調整器１２０から
信号データファイル７０１の例えば送信ファイル領域に
も供給される。ＥＸ３００は供給された信号に基づい
て、ＥＸ３００で動作処理された信号をインタフェース
部１０２を介してＤＵＴ２００に供給する。このとき、
ＥＸ３００からインタフェース部１０２に供給された信
号は、制御回路１１５の制御により接続調整器１２０か
ら信号データファイル７０１の例えば受信ファイル領域
にも供給される。上記送信ファイル領域の情報と、それ
に対する受信ファイル領域の応答情報とは蓄積動作にて
１対１対応に関連付けられている。ＤＵＴ２００は、供
給された信号に基づいてＤＵＴ２００及びＥＸ３００で
形成された信号をインタフェース部１０１を介して比較
回路１１４に供給する。比較回路１１４は、供給された
テスト結果と所定の期待値との比較を行い動作テスト結
果としてフェイルメモリ１１２に格納する。いま、ＥＸ
３００の定期的な動作テストが行われてＥＸ３００が故
障と判明した場合、ＬＳＩテスタ６００には上記信号デ
ータファイル７０１に格納された値を用いてＤＵＴ２０
０の動作テストを続行可能とするためのエミュレートモ
ードが指示される。

【００１４】上記の如くして、ＥＸ３００の定期的な動
作テストにおいて、ＥＸ３００が故障と判明した場合
は、テスターターミナル７００はＬＳＩテスタ６００に
エミュレートモードを指示する。エミュレートモードの
ＬＳＩテスタ６００は、制御回路１１５の指示により接
続調整器１２０にてＤＵＴ２００とＥＸ３００とを電気
的に切り離す。また、テスターターミナル７００の指示
により制御回路１１５は、接続調整器１２０に指示を出
し、ＤＵＴ２００からＥＸ３００に供給されるべき情報
が信号データファイルの送信ファイル領域に供給される
ように、また、信号データファイル７０１の受信ファイ
ル領域から供給される情報がＤＵＴ２００の所望の信号
線に供給されるように接続制御を行う。このように、Ｌ
ＳＩテスタ６００がエミュレートモードでの初期設定を
終えると、動作テストが開始される。こうして、テスト
パターンが供給されたＤＵＴ２００から所定の情報が信
号データファイル７０１に供給されると、制御回路１１
５は信号データファイル７０１の送信ファイルに蓄積さ
れている情報の中から同一情報を選出し、それに対応す
る受信ファイルの情報を所定のタイミングで出力される
ように制御する。信号データファイル７０１から出力さ
れた情報はＤＵＴ２００を介してフェイルメモリ１１２
に供給される。こうしてフェイルメモリ１１２に格納さ
れたテスト結果にエラーがなければＤＵＴ２００は正常
であることが確認され、エラーがあればＤＵＴ２００は
異常であることが判明する。このように、ＬＳＩテスタ
６００に接続されるＥＸ３００に故障が生じても、上記
信号データファイル７０１を備えればＤＵＴ２００の動
作テストを実行可能にすることができる。本実施例は、
従来のようにＤＵＴ２００に外部接続されるＥＸ３００
をソフトウエア動作で代替させたものとは、構成要件が
全く異なるものであることに注意されたい。

【００１５】図３には、上記ＬＳＩテスタ６００の動作
テストの一例フローチャートが示される。先ず、ノーマ
ルモードの動作テストの流れを以下に示す。ステップ８
０１にて、テスターターミナル７００の指示により動作
モードの設定、接続調整器１２０の設定、レベル調整器
１３０の設定、テストパターン及びその期待値の設定が
前記の如く行われる。ステップ８０２にて、上記設定さ
れたテストパターンがＤＵＴ２００に出力される。ステ
ップ８０３にて、動作テストが連動テストモードか単体
テストモードかが識別される。単体テストモードの場合
は、ステップ８０４にて供給されたテストパターンに応
じてＤＵＴ２００から出力されたテストパターンの応答
信号とその期待値が比較回路１１４で比較され比較結果
がフェイルメモリ１１２に格納されて動作テストを終え
る。連動テストモードの場合は、テストパターンが供給
されたＤＵＴ２００が出力した第１の信号がステップ８
０５で接続調整器１２０を介して信号データファイル７
０１の送信ファイル領域に格納される。また、ステップ
８０６でＤＵＴ２００が出力した第１の信号は、レベル
調整器１３０で所定のレベルに変換され、拡張ポート１
４０を介してＥＸ３００に供給される。ステップ８０７
で所定のレベルに変換された第１の信号が供給されたＥ
Ｘ３００は、第１の信号の応答信号である第２の信号を
拡張ポート１４０を介してＬＳＩテスタ６００に供給す
る。ステップ８０８で、供給された第２の信号はレベル
調整器１３０で所定のレベルに変換される。ステップ８
０９で、レベル変換された第２の信号は信号データファ
イル７０１の受信ファイル領域に格納されると共にＤＵ
Ｔ２００に供給される。上記第１と第２の信号対は、信
号データファイル７０１に１対１対応の関係で格納され
ている。エミュレーションモードにおいて、信号データ
ファイル７０１に第１の信号が供給されたときは、応答
信号である第２の信号が出力されるように制御回路１１
５で制御可能にされる。ステップ８１０で、供給された
テストパターンの応答信号がＤＵＴ２００から比較回路
１１４に供給され、期待値が比較され比較結果がフェイ
ルメモリ１１２に格納される。ステップ８１１で制御回
路１１５は、比較結果が正常と判定された場合は信号デ
ータファイル７０１に本動作テストにて格納された情報
を維持するように指示し、異常と判定された場合は信号
データファイル７０１に格納された情報を削除するよう
に指示する。

【００１６】一方、エミュレートモードの場合の動作テ
ストの流れを以下に示す。ステップ９０１で、ノーマル
モードと同様にエミュレートモード用の初期設定がされ
る。この初期設定では、ＥＸ３００の切り離しが行わ
れ、信号データファイル７０１がデータ出力可能な状態
にされる。ステップ９０２で所望のテストパターンがＤ
ＵＴ２００に供給される。ステップ９０３では、ＤＵＴ
２００から出力される上記第１の信号が信号データファ
イル７０１に供給され、当該第１の信号と対応する第２
の信号がＤＵＴ２００に供給される。ステップ９０４で
は、供給された第２の信号に応じてＤＵＴ２００から比
較回路１１４へテストパターンに対する応答信号が供給
され、期待値と比較されて比較結果がフェイルメモリ１
１２に格納される。

【００１７】上記実施例によれば、以下の作用効果が得
られる。（１）動作テスト対象とされる半導体集積回路ＤＵＴ２
００と実使用時に接続されるＥＸ３００を、ＤＵＴ２０
０の動作テストの際にＬＳＩテスタ１００に接続させれ
ば、ＤＵＴ２００をその外部のインタフェース動作を含
めて容易にテストできる。従来、ＤＵＴ２００をその外
部のインタフェースの動作を含めてテストする場合に
は、外部からＤＵＴ２００に供給されるべき全ての信号
を人為的に作成して用いていた。しかし、ＬＳＩテスタ
１００に直接ＥＸ３００を接続させることによって、テ
ストされるＤＵＴ２００の出力に応じてＥＸ３００から
直接信号をＤＵＴ２００に供給させることができるか
ら、ＥＸ３００がＤＵＴ２００に供給すべき信号の作成
は不要とされる。よって、動作テストに要していた信号
の人為的な作成を１部削減できるから、動作テストの処
理負担を軽減することができる。（２）入出力信号レベル間のレベル変換が可能なレベル
変換回路をレベル調整器１３０に具備させることによっ
て、連動動作テストの対象を広げることができる。これ
は、ＬＳＩテスタの汎用性を向上させる。（３）ＬＳＩテスタ６００は、動作テストの時にＥＸ３
００に供給すべき情報及びＥＸ３００が出力すべき情報
を対応させて信号データファイル７０１に蓄積すること
ができる。エミュレートモードにおいて、ＤＵＴ２００
がＥＸ３００へ出力する情報は、信号データファイル７
０１にアドレスとして供給され、そのアドレスと対応す
る情報が信号データファイル７０１からＤＵＴ２００に
出力される。つまり、信号データファイル７０１はエミ
ュレートモードにおいてＥＸ３００の代わりにＥＸ３０
０が出力すべき信号をＤＵＴ２００に供給することがで
きる。このとき用いる信号データファイル７０１からＤ
ＵＴ２００に出力される情報は、人為的に作成したもの
ではなく、エラーが生じなかったときの動作テスト中に
蓄えたものであるから、動作テストの処理負担を増すこ
となく連動動作テストの実行を可能にする。

【００１８】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲におい
て種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、
ＬＳＩテスタは上記本実施例のテスタータミナルを含む
概念としても把握することができる。

【００１９】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるにＤＣ
テスト若しくはファンクションテストに適用した場合に
ついて述べたが、それに限定されず、ＡＣテストにも適
用することができる。本発明は、少なくとも連動させた
動作テストを行うものに適用することができる。

【００２０】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。

【００２１】すなわち、外部実環境回路と接続されたＤ
ＵＴをＬＳＩテスタでテストするから、ＤＵＴに与える
テストパターンを準備することによって、ＤＵＴと外部
実環境回路のインタフェース動作とを含めてＤＵＴの動
作テストを実行することができる。従来、外部実環境回
路の接続を考慮してＤＵＴをテストする場合は、外部実
環境回路からＤＵＴに与えられるべきデータもテストパ
ターンの１種としてＬＳＩテスタがＤＵＴに供給しなけ
ればならなかった。本発明は、外部実環境回路がＤＵＴ
に供給するデータを外部実環境回路自身から供給させる
ことを可能にしたものである。よって、外部実環境回路
とのインタフェースを考慮したデバイステストのための
テストパターン作成に要する労力及び時間を低減するこ
とができる。また、動作テストが行われているときに、
ＤＵＴから外部実環境回路に出力すべき情報と、それに
対応して外部実環境回路がＤＵＴに供給すべき信号とを
関連付けて蓄積されたデータは、必要に応じて外部実環
境回路の代わりにＤＵＴに対する応答信号として利用す
ることができる。従って、外部実環境回路が故障した場
合にも、外部実環境回路が出力すべき信号データを特別
に形成しなくてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＬＳＩテスタの一例ブロック図であ
る。

【図２】本発明の他のＬＳＩテスタの一例ブロック図で
ある。

【図３】本実施例の動作テストの一例フローチャートで
ある。

【符号の説明】

１００ＬＳＩテスタ１１０テスタ部１１１期待値バッファ１１２フェイルメモリ１１３テストバッファ１１４比較回路１１５制御回路１２０接続調整器１３０レベル調整器１４０拡張ポート１０１インタフェース部１０２インタフェース部２００ＤＵＴ３００外部回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】テストパータン及びその期待値を与えて
半導体集積回路の動作テストを行うＬＳＩテスタにおい
て、テスト対象とされる半導体集積回路をテストのための外
部実環境回路に接続する接続手段と、上記接続手段によ
る半導体集積回路と外部実環境回路との接続態様を制御
する制御手段とを設け、上記接続手段は、制御回路の制御に基づいて上記半導体
集積回路が出力する所定の情報を外部実環境回路に与え
ると共に、それに応答して外部実環境回路が出力する情
報を上記半導体集積回路に与える接続調整器を含んでな
るものであることを特徴とするＬＳＩテスタ。
【請求項２】上記接続手段は、上記半導体集積回路と
外部実環境回路との間でやりとりされる入出力信号レベ
ルを制御回路の制御に従って決定するレベル調整器を更
に含んでなるものであることを特徴とする請求項１記載
のＬＳＩテスタ。
【請求項３】テスト中に、上記半導体集積回路が上記
外部実環境回路に供給すべき信号と、その信号に対して
外部実環境回路が半導体集積回路に供給すべき応答信号
とを対応させて蓄積し、半導体集積回路が上記外部実環
境回路に供給した信号を取り込み、その信号に対応する
応答信号を半導体集積回路に供給可能な蓄積手段を含ん
でなるものであることを特徴とする請求項１又は２記載
のＬＳＩテスタ。