JPH08227066A - 液晶表示装置用駆動装置の検査装置 - Google Patents
液晶表示装置用駆動装置の検査装置Info
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- JPH08227066A JPH08227066A JP3405095A JP3405095A JPH08227066A JP H08227066 A JPH08227066 A JP H08227066A JP 3405095 A JP3405095 A JP 3405095A JP 3405095 A JP3405095 A JP 3405095A JP H08227066 A JPH08227066 A JP H08227066A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶表示装置用駆動装置の電気的欠陥及び光
学的欠陥の有無を、容易に且つ短時間で検出することの
できる検査装置を提案する。 【構成】 液晶表示装置用駆動装置の各画素駆動部ＰＤ
の容量素子２８に所定の書込み電圧を走査的に印加して
充電した後に、その各画素駆動部ＰＤの容量素子２８の
電荷を走査的に放電させて、その各画素駆動部の容量素
子の保持容量を走査的に検出する保持容量検出手段８
と、液晶表示装置用駆動装置を照明状態の下に撮像する
撮像手段７と、保持容量検出手段８よりの保持容量検出
出力及び撮像手段７よりの撮像出力が選択的に供給され
る画像処理装置１３と、その画像処理装置よりの画像信
号が供給される画像表示装置１７とを有する。
学的欠陥の有無を、容易に且つ短時間で検出することの
できる検査装置を提案する。 【構成】 液晶表示装置用駆動装置の各画素駆動部ＰＤ
の容量素子２８に所定の書込み電圧を走査的に印加して
充電した後に、その各画素駆動部ＰＤの容量素子２８の
電荷を走査的に放電させて、その各画素駆動部の容量素
子の保持容量を走査的に検出する保持容量検出手段８
と、液晶表示装置用駆動装置を照明状態の下に撮像する
撮像手段７と、保持容量検出手段８よりの保持容量検出
出力及び撮像手段７よりの撮像出力が選択的に供給され
る画像処理装置１３と、その画像処理装置よりの画像信
号が供給される画像表示装置１７とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示装置用駆動装置
の欠陥の有無を検査する検査装置に関する。
の欠陥の有無を検査する検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置は、予め液晶表示装置用駆
動装置を製造し、その液晶表示装置用駆動装置に液晶表
示部を付加することによって得られるが、その液晶表示
部を付加する前に、液晶表示装置用駆動装置の欠陥の有
無を検査し、欠陥がないことが分かってから、液晶表示
部の付加を行っている。
動装置を製造し、その液晶表示装置用駆動装置に液晶表
示部を付加することによって得られるが、その液晶表示
部を付加する前に、液晶表示装置用駆動装置の欠陥の有
無を検査し、欠陥がないことが分かってから、液晶表示
部の付加を行っている。
【０００３】この液晶表示装置用駆動装置の欠陥として
は、次のようなものがある。液晶表示装置用駆動装置の
各画素駆動部の容量素子、又は、この容量素子への充電
及び放電電流をゲートするゲート素子の開放又は短絡
や、ゲート信号を各画素駆動部に供給するゲートライ
ン、又は、データ信号を各画素駆動部に供給するデータ
ラインの断線等の電気的欠陥は、液晶表示装置用駆動装
置に液晶表示部を付加して得られた液晶表示装置の画素
欠陥の原因となる。
は、次のようなものがある。液晶表示装置用駆動装置の
各画素駆動部の容量素子、又は、この容量素子への充電
及び放電電流をゲートするゲート素子の開放又は短絡
や、ゲート信号を各画素駆動部に供給するゲートライ
ン、又は、データ信号を各画素駆動部に供給するデータ
ラインの断線等の電気的欠陥は、液晶表示装置用駆動装
置に液晶表示部を付加して得られた液晶表示装置の画素
欠陥の原因となる。
【０００４】又、液晶表示装置用駆動装置に傷が有った
り、ゴミが付着していたり、アルミニウム電極やチタン
等の金属膜からなる遮光層に設けられた開口（この開口
の部分に赤、緑、青の画素が設けられている）に欠陥が
あったり、カラーフィルタに欠陥があったりすると、こ
れらは液晶表示装置用駆動装置に液晶表示部を付加して
得られた液晶表示装置の光学的欠陥となる。
り、ゴミが付着していたり、アルミニウム電極やチタン
等の金属膜からなる遮光層に設けられた開口（この開口
の部分に赤、緑、青の画素が設けられている）に欠陥が
あったり、カラーフィルタに欠陥があったりすると、こ
れらは液晶表示装置用駆動装置に液晶表示部を付加して
得られた液晶表示装置の光学的欠陥となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】かかる点に鑑み、本発
明は、液晶表示装置用駆動装置の電気的欠陥及び光学的
欠陥の有無を、容易に且つ短時間で検出することのでき
る検査装置を提案しようとするものである。
明は、液晶表示装置用駆動装置の電気的欠陥及び光学的
欠陥の有無を、容易に且つ短時間で検出することのでき
る検査装置を提案しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、液晶表示装置
用駆動装置の各画素駆動部の容量素子に所定の書込み電
圧を走査的に印加して充電した後に、その各画素駆動部
の容量素子の電荷を走査的に放電させて、その各画素駆
動部の容量素子の保持容量を走査的に検出する保持容量
検出手段と、液晶表示装置用駆動装置を照明状態の下で
撮像する撮像手段と、保持容量検出手段よりの保持容量
検出出力及び撮像手段よりの撮像出力が選択的に供給さ
れる画像処理装置と、その画像処理装置よりの画像信号
が供給される画像表示装置とを有することを特徴とする
液晶表示装置用駆動装置の検査装置である。
用駆動装置の各画素駆動部の容量素子に所定の書込み電
圧を走査的に印加して充電した後に、その各画素駆動部
の容量素子の電荷を走査的に放電させて、その各画素駆
動部の容量素子の保持容量を走査的に検出する保持容量
検出手段と、液晶表示装置用駆動装置を照明状態の下で
撮像する撮像手段と、保持容量検出手段よりの保持容量
検出出力及び撮像手段よりの撮像出力が選択的に供給さ
れる画像処理装置と、その画像処理装置よりの画像信号
が供給される画像表示装置とを有することを特徴とする
液晶表示装置用駆動装置の検査装置である。
【０００７】ここで、液晶表示装置用駆動装置が水平及
び垂直走査回路を具備している場合は、保持容量検出手
段は、所定の書き込み電圧を発生する電圧発生源と、容
量−電気変換器と、電圧発生源よりの所定の書込み電圧
の液晶表示装置用駆動装置の映像信号入力ラインへの供
給と、その映像信号入力ラインからの保持容量検出出力
の容量−電気変換器への供給とを切換える切換え手段
と、液晶表示装置用駆動装置の水平及び垂直走査回路に
供給する水平及び垂直走査駆動信号並びに切換え手段に
供給する水平及び垂直走査駆動信号に同期した所定のタ
イミングの切換え制御信号を発生するタイミング発生器
とを有する。
び垂直走査回路を具備している場合は、保持容量検出手
段は、所定の書き込み電圧を発生する電圧発生源と、容
量−電気変換器と、電圧発生源よりの所定の書込み電圧
の液晶表示装置用駆動装置の映像信号入力ラインへの供
給と、その映像信号入力ラインからの保持容量検出出力
の容量−電気変換器への供給とを切換える切換え手段
と、液晶表示装置用駆動装置の水平及び垂直走査回路に
供給する水平及び垂直走査駆動信号並びに切換え手段に
供給する水平及び垂直走査駆動信号に同期した所定のタ
イミングの切換え制御信号を発生するタイミング発生器
とを有する。
【０００８】又、液晶表示装置用駆動装置が水平及び垂
直走査回路を具備していない場合は、保持容量検出手段
は、所定の書き込み電圧を発生する電圧発生源と、容量
−電気変換器と、電圧発生源よりの所定の書込み電圧の
液晶表示装置用駆動装置の映像信号入力ラインへの供給
と、その映像信号入力ラインからの保持容量検出出力の
容量−電気変換器への供給とを切換える切換え手段と、
液晶表示装置用駆動装置に水平及び垂直走査信号を供給
する水平及び垂直走査回路と、その水平及び垂直走査回
路に供給する水平及び垂直走査駆動信号並びに切換え手
段に供給する水平及び垂直走査駆動信号に同期した所定
のタイミングの切換え制御信号を発生するタイミング発
生器とを有する。
直走査回路を具備していない場合は、保持容量検出手段
は、所定の書き込み電圧を発生する電圧発生源と、容量
−電気変換器と、電圧発生源よりの所定の書込み電圧の
液晶表示装置用駆動装置の映像信号入力ラインへの供給
と、その映像信号入力ラインからの保持容量検出出力の
容量−電気変換器への供給とを切換える切換え手段と、
液晶表示装置用駆動装置に水平及び垂直走査信号を供給
する水平及び垂直走査回路と、その水平及び垂直走査回
路に供給する水平及び垂直走査駆動信号並びに切換え手
段に供給する水平及び垂直走査駆動信号に同期した所定
のタイミングの切換え制御信号を発生するタイミング発
生器とを有する。
【０００９】
【作用】かかる本発明によれば、保持容量検出手段より
の保持容量検出出力を画像処理装置に供給することによ
って、画像表示装置の画面によって、液晶表示装置用駆
動装置の電気的欠陥の有無が視覚的に検査でき、撮像手
段よりの撮像出力を画像処理装置に供給することによっ
て、画像表示装置の画面から液晶表示装置用駆動装置の
光学的欠陥の有無が視覚的に検査できる。
の保持容量検出出力を画像処理装置に供給することによ
って、画像表示装置の画面によって、液晶表示装置用駆
動装置の電気的欠陥の有無が視覚的に検査でき、撮像手
段よりの撮像出力を画像処理装置に供給することによっ
て、画像表示装置の画面から液晶表示装置用駆動装置の
光学的欠陥の有無が視覚的に検査できる。
【００１０】
【実施例】以下に、図１〜図５を参照して、本発明の実
施例を詳細に説明する。先ず、図５を参照して、カラー
液晶表示装置（カラーＬＣＤ）のＴＦＴ（薄膜トランジ
スタ）型アクティブマトリクス駆動パネル（以下、単に
ＴＦＴパネルと略称する）の構造を説明する。３０はガ
ラス板等からなる基板である。３１は基板３０上に形成
されたＴＦＴ層である。このＴＦＴ層３１には、多結晶
シリコンにＴＦＴ型アクティブマトリクス駆動回路が形
成され、図示の部分はその駆動回路を構成する画素駆動
部のＭＯＳ型スイッチングトランジスタの部分を示して
いる。３２はそのＭＯＳ型スイッチングトランジスタの
多結晶シリコンからなるゲート電極で、ＴＦＴ層３１と
の間にはＳｉＯ2 からなる絶縁層３３の一部の薄層部分
が介在せしめられている。３６はそのＭＯＳトランジス
タに対するアルミニウム電極である。
施例を詳細に説明する。先ず、図５を参照して、カラー
液晶表示装置（カラーＬＣＤ）のＴＦＴ（薄膜トランジ
スタ）型アクティブマトリクス駆動パネル（以下、単に
ＴＦＴパネルと略称する）の構造を説明する。３０はガ
ラス板等からなる基板である。３１は基板３０上に形成
されたＴＦＴ層である。このＴＦＴ層３１には、多結晶
シリコンにＴＦＴ型アクティブマトリクス駆動回路が形
成され、図示の部分はその駆動回路を構成する画素駆動
部のＭＯＳ型スイッチングトランジスタの部分を示して
いる。３２はそのＭＯＳ型スイッチングトランジスタの
多結晶シリコンからなるゲート電極で、ＴＦＴ層３１と
の間にはＳｉＯ2 からなる絶縁層３３の一部の薄層部分
が介在せしめられている。３６はそのＭＯＳトランジス
タに対するアルミニウム電極である。
【００１１】３４は基板３０上に形成されたホスフィン
シリサイドガラス層、３５はそのガラス層３４上に形成
されたホスフィンシリサイドガラス層である。３７はチ
タン等の金属膜からなる遮光層で、ホスフィンシリカガ
ラス層３５及び電極３６上に形成されている。３８は遮
光層３７及びホスフィンシリカガラス層３５上に形成さ
れたオンチップカラーフィルタ（赤色、緑色及び青色の
いずれか）である。３９は平坦化膜で、遮光層３７及び
カラーフィルタ３８上に形成されている。４０は対向電
極としての透明電極である。又、平坦化膜３９には、画
素に対応する穴が形成されており、電極３６の電圧が透
明電極４０に伝わるように、電極３６、金属膜からなる
遮光層３７及び透明電極４０は互いに電気的に接続され
ている。かかるＴＦＴパネルはウェーハに多数形成され
ている。
シリサイドガラス層、３５はそのガラス層３４上に形成
されたホスフィンシリサイドガラス層である。３７はチ
タン等の金属膜からなる遮光層で、ホスフィンシリカガ
ラス層３５及び電極３６上に形成されている。３８は遮
光層３７及びホスフィンシリカガラス層３５上に形成さ
れたオンチップカラーフィルタ（赤色、緑色及び青色の
いずれか）である。３９は平坦化膜で、遮光層３７及び
カラーフィルタ３８上に形成されている。４０は対向電
極としての透明電極である。又、平坦化膜３９には、画
素に対応する穴が形成されており、電極３６の電圧が透
明電極４０に伝わるように、電極３６、金属膜からなる
遮光層３７及び透明電極４０は互いに電気的に接続され
ている。かかるＴＦＴパネルはウェーハに多数形成され
ている。
【００１２】尚、図５のＴＦＴパネルの図において上方
に、対向電極を構成する透明電極が下側に形成された透
明基板を配し、その透明基板と透明電極４０及び平坦化
膜３９の間に液晶を充填するようにして、液晶表示部の
付加が行われて、ＴＦＴ型アクティブマトリクス駆動液
晶表示装置が得られる。
に、対向電極を構成する透明電極が下側に形成された透
明基板を配し、その透明基板と透明電極４０及び平坦化
膜３９の間に液晶を充填するようにして、液晶表示部の
付加が行われて、ＴＦＴ型アクティブマトリクス駆動液
晶表示装置が得られる。
【００１３】次に、図１を参照して、本発明による液晶
表示装置用駆動装置の検査装置の実施例を説明する。２
は検査対象であるウェーハを示し、これには、図５で説
明した多数のＴＦＴパネル９が格子状に多数形成されて
いる。この検査装置は光学的欠陥検査部１と、保持容量
検出部８から構成されている。１３は、光学的欠陥検査
部１及び保持容量検出部８に共通の画像処理装置で、光
学的欠陥検査部１及び保持容量検出部８から、切換え回
路１２通じて供給された画素毎の検査信号をレベル調整
し、そのまま、又は、多値化して画素毎の輝度信号に変
換し（その多値の値に応じた異なる色のカラー映像信号
に変換することも可）、その得られた輝度信号（カラー
映像信号）が、モニタ受像機１７に供給されるようにな
されている。尚、この画像処理装置１３では、必要に応
じて、入力信号の微分、積分、フィルタリング等を行
う。
表示装置用駆動装置の検査装置の実施例を説明する。２
は検査対象であるウェーハを示し、これには、図５で説
明した多数のＴＦＴパネル９が格子状に多数形成されて
いる。この検査装置は光学的欠陥検査部１と、保持容量
検出部８から構成されている。１３は、光学的欠陥検査
部１及び保持容量検出部８に共通の画像処理装置で、光
学的欠陥検査部１及び保持容量検出部８から、切換え回
路１２通じて供給された画素毎の検査信号をレベル調整
し、そのまま、又は、多値化して画素毎の輝度信号に変
換し（その多値の値に応じた異なる色のカラー映像信号
に変換することも可）、その得られた輝度信号（カラー
映像信号）が、モニタ受像機１７に供給されるようにな
されている。尚、この画像処理装置１３では、必要に応
じて、入力信号の微分、積分、フィルタリング等を行
う。
【００１４】１４はＣＰＵ、１５、１６及び１７は、そ
れぞれＣＰＵ１４に接続されたキーボード、フロッピー
ディスク、光磁気ディスク等の外部記憶装置及びモニタ
受像機である。ＣＰＵ１４は、キーボード１５による入
力に応じて切換え回路１２及び画像処理装置１３を制御
する。画像処理装置１３は、キーボード１５の入力に基
づいて、モニタ受像機１７に映出される画像が拡大及び
縮小するように制御される。
れぞれＣＰＵ１４に接続されたキーボード、フロッピー
ディスク、光磁気ディスク等の外部記憶装置及びモニタ
受像機である。ＣＰＵ１４は、キーボード１５による入
力に応じて切換え回路１２及び画像処理装置１３を制御
する。画像処理装置１３は、キーボード１５の入力に基
づいて、モニタ受像機１７に映出される画像が拡大及び
縮小するように制御される。
【００１５】先ず、光学的欠陥検査部１を説明する。図
示を省略したウェーハキャリアに保持されたウェーハ２
がフレーム状の台３の上に載置される。反射鏡５を具え
た光源４からの光がコンデンサレンズ６によって平行光
化されてウェーハ２の下側（ガラス基板側）に照射され
る。ウェーハ２の上方にはビデオカメラ７が配され、ウ
ェーハ２を構成する１枚のＴＦＴパネル９の表面を、拡
大レンズ７ａによって任意の倍率に拡大して撮像し、ビ
デオカメラ７から得られた映像信号を切換え回路１２を
通じて画像処理回路１３に供給して、画素毎の所定レベ
ル範囲の輝度信号、又は、その輝度信号の２値化等の多
値化輝度信号を得、その輝度信号をモニタ受像機１７に
供給して、その画面上に１枚ずつのＴＦＴパネル９の表
面が順次モニタ受像機１７の画面上に映出される。
示を省略したウェーハキャリアに保持されたウェーハ２
がフレーム状の台３の上に載置される。反射鏡５を具え
た光源４からの光がコンデンサレンズ６によって平行光
化されてウェーハ２の下側（ガラス基板側）に照射され
る。ウェーハ２の上方にはビデオカメラ７が配され、ウ
ェーハ２を構成する１枚のＴＦＴパネル９の表面を、拡
大レンズ７ａによって任意の倍率に拡大して撮像し、ビ
デオカメラ７から得られた映像信号を切換え回路１２を
通じて画像処理回路１３に供給して、画素毎の所定レベ
ル範囲の輝度信号、又は、その輝度信号の２値化等の多
値化輝度信号を得、その輝度信号をモニタ受像機１７に
供給して、その画面上に１枚ずつのＴＦＴパネル９の表
面が順次モニタ受像機１７の画面上に映出される。
【００１６】ビデオカメラ７及び台３は、これらのいず
れかに設けられた駆動手段（図示せず）によって、相対
的に接近及び離間、並びに相対的に、２次元的に平行移
動可能とされ、これらの移動はキーボード１５の入力に
基づいて、駆動手段がＣＰＵ１４によって制御される。
れかに設けられた駆動手段（図示せず）によって、相対
的に接近及び離間、並びに相対的に、２次元的に平行移
動可能とされ、これらの移動はキーボード１５の入力に
基づいて、駆動手段がＣＰＵ１４によって制御される。
【００１７】かくすると、モニタ受像機７の画面上に
は、ＴＦＴパネル９上の汚れた部分、ゴミの付着部、ア
ルミニウム電極３６や金属膜からなる遮光層３７に設け
られた開口の欠陥部、オンチップカラーフィルタ３８の
欠陥部等が、低輝度（黒）で表示され、ＴＦＴパネル９
上の汚れ、ゴミの付着部、アルミニウム電極３６や金属
膜からなる遮光層３７に設けられた開口の欠陥部、オン
チップカラーフィルタ３８の欠陥等のない部分は、高輝
度で表示される。かかるＴＦＴパネル９の画像は、画像
処理装置１３による電気的処理によって拡大及び縮小す
ることができる。
は、ＴＦＴパネル９上の汚れた部分、ゴミの付着部、ア
ルミニウム電極３６や金属膜からなる遮光層３７に設け
られた開口の欠陥部、オンチップカラーフィルタ３８の
欠陥部等が、低輝度（黒）で表示され、ＴＦＴパネル９
上の汚れ、ゴミの付着部、アルミニウム電極３６や金属
膜からなる遮光層３７に設けられた開口の欠陥部、オン
チップカラーフィルタ３８の欠陥等のない部分は、高輝
度で表示される。かかるＴＦＴパネル９の画像は、画像
処理装置１３による電気的処理によって拡大及び縮小す
ることができる。
【００１８】次に、保持容量検出部８について説明す
る。１０は保持容量検出器で、ウェーハ２の１又は負数
個のＴＦＴパネル９の必要な電極９ａに接触するプロー
ブ１０ａを具えている。そして、ＴＦＴパネル９の各画
素に対応するＭＯＳスイッチングトランジスタに接続さ
れた容量素子（コンデンサ）の保持容量を検出する。こ
の保持容量検出信号を、容量−電気変換器（電流−電圧
変換器）１１及び切換え回路１２を通じて画像処理回路
１３に供給して、画素毎の所定レベル範囲の輝度信号、
又は、その輝度信号の２値化等の多値化輝度信号を得、
その輝度信号をモニタ受像機１７に供給して、その画面
上に１枚ずつのＴＦＴパネル９の画素毎の保持容量の集
合が順次モニタ受像機１７の画面上に映出される。
る。１０は保持容量検出器で、ウェーハ２の１又は負数
個のＴＦＴパネル９の必要な電極９ａに接触するプロー
ブ１０ａを具えている。そして、ＴＦＴパネル９の各画
素に対応するＭＯＳスイッチングトランジスタに接続さ
れた容量素子（コンデンサ）の保持容量を検出する。こ
の保持容量検出信号を、容量−電気変換器（電流−電圧
変換器）１１及び切換え回路１２を通じて画像処理回路
１３に供給して、画素毎の所定レベル範囲の輝度信号、
又は、その輝度信号の２値化等の多値化輝度信号を得、
その輝度信号をモニタ受像機１７に供給して、その画面
上に１枚ずつのＴＦＴパネル９の画素毎の保持容量の集
合が順次モニタ受像機１７の画面上に映出される。
【００１９】かくすると、モニタ受像機７の画面上に
は、画素駆動部ＰＤの容量素子の保持容量の低い部分
や、保持容量が全くない部分は低輝度や黒で表示され、
保持容量が正常な部分は、高輝度で表示され、保持容量
が異常に高い部分は、より高い輝度で表示される。かか
るＴＦＴパネル９の画像は、画像処理装置１３による電
気的処理によって拡大及び縮小することができる。
は、画素駆動部ＰＤの容量素子の保持容量の低い部分
や、保持容量が全くない部分は低輝度や黒で表示され、
保持容量が正常な部分は、高輝度で表示され、保持容量
が異常に高い部分は、より高い輝度で表示される。かか
るＴＦＴパネル９の画像は、画像処理装置１３による電
気的処理によって拡大及び縮小することができる。
【００２０】次に、図２〜図４を参照して、保持容量検
出部８による保持容量検出について更に説明する。図２
は、ＴＦＴパネル９に半導体集積回路として形成され
た、ＴＦＴ型アクティブマトリクス駆動回路の一部と、
保持容量検出器１０の具体回路を示している。先ず、Ｔ
ＦＴパネル９の回路を説明する。ＰＤはマトリクス状に
配された多数の画素駆動部で、多数のゲートライン（横
線）２４及びこれらゲートライン２４と直角に交叉する
多数のデータライン（縦線）２６の各交叉部にそれぞれ
接続されている。多数のゲートライン２４には、垂直走
査回路２５によって、上から下へ順次繰り返し所定の電
圧が一時的に印加される。多数のデータライン２６はそ
れぞれオンオフスイッチ２３を通じてＲＧＢビデオ信号
（ＲＧＢ信号）入力ライン２２に接続されている。ＲＧ
Ｂ信号入力ライン２２は、実際にはＲ、Ｇ、Ｂ信号用の
３本の入力ラインからなり、これに対応してＲ、Ｇ、Ｂ
信号用の３種類の画素駆動部ＰＤが設けられているが、
ここでは説明の簡単化のため、１本の入力ライン２２及
び１種類の画素駆動部ＰＤとして説明する。多数のスイ
ッチ２３は、左から右へと順次繰り返しオンとなるよう
に、水平走査回路２１によって制御される。
出部８による保持容量検出について更に説明する。図２
は、ＴＦＴパネル９に半導体集積回路として形成され
た、ＴＦＴ型アクティブマトリクス駆動回路の一部と、
保持容量検出器１０の具体回路を示している。先ず、Ｔ
ＦＴパネル９の回路を説明する。ＰＤはマトリクス状に
配された多数の画素駆動部で、多数のゲートライン（横
線）２４及びこれらゲートライン２４と直角に交叉する
多数のデータライン（縦線）２６の各交叉部にそれぞれ
接続されている。多数のゲートライン２４には、垂直走
査回路２５によって、上から下へ順次繰り返し所定の電
圧が一時的に印加される。多数のデータライン２６はそ
れぞれオンオフスイッチ２３を通じてＲＧＢビデオ信号
（ＲＧＢ信号）入力ライン２２に接続されている。ＲＧ
Ｂ信号入力ライン２２は、実際にはＲ、Ｇ、Ｂ信号用の
３本の入力ラインからなり、これに対応してＲ、Ｇ、Ｂ
信号用の３種類の画素駆動部ＰＤが設けられているが、
ここでは説明の簡単化のため、１本の入力ライン２２及
び１種類の画素駆動部ＰＤとして説明する。多数のスイ
ッチ２３は、左から右へと順次繰り返しオンとなるよう
に、水平走査回路２１によって制御される。
【００２１】画素駆動部ＰＤは、ＭＯＳスイッチングト
ランジスタ（スイッチング素子）２７と、画素コンデン
サ（画素容量素子）とから構成される。ＭＯＳトランジ
スタ２７のドレインがデータライン２６に接続され、そ
のゲートがゲートライン２４に接続され、そのソースが
画素コンデンサ２８を通じて共通ライン２９に接続され
る。
ランジスタ（スイッチング素子）２７と、画素コンデン
サ（画素容量素子）とから構成される。ＭＯＳトランジ
スタ２７のドレインがデータライン２６に接続され、そ
のゲートがゲートライン２４に接続され、そのソースが
画素コンデンサ２８を通じて共通ライン２９に接続され
る。
【００２２】尚、スイッチング素子２７としては、ＭＯ
Ｓトランジスタの他に、ＭＩＮ素子、ダイオード素子、
バリスタ素子等を使用することもできる。
Ｓトランジスタの他に、ＭＩＮ素子、ダイオード素子、
バリスタ素子等を使用することもできる。
【００２３】次に、保持容量検出器１０について説明す
る。１８はタイミング発生器で、標準の水平同期信号及
びこれに同期した標準の垂直同期信号を発生し、水平同
期信号は、図１のプローブ１０ａ及び電極９ａ通じて、
水平走査回路２１に水平走査駆動信号として供給され、
垂直同期信号は、同様に図１のプローブ１０ａ及び電極
９ａ通じて、垂直走査駆動信号として垂直走査回路２５
に供給される。尚、水平走査回路２１及び垂直走査回路
２５がＴＦＴパネル９に含まれていない場合は、これら
の水平走査回路２１及び垂直走査回路２５を保持容量検
出器１０内に設ける。又、水平同期信号及び垂直同期信
号は、それぞれ標準の水平同期信号及び標準の垂直同期
信号の逓倍又は分周された信号であっても良い。
る。１８はタイミング発生器で、標準の水平同期信号及
びこれに同期した標準の垂直同期信号を発生し、水平同
期信号は、図１のプローブ１０ａ及び電極９ａ通じて、
水平走査回路２１に水平走査駆動信号として供給され、
垂直同期信号は、同様に図１のプローブ１０ａ及び電極
９ａ通じて、垂直走査駆動信号として垂直走査回路２５
に供給される。尚、水平走査回路２１及び垂直走査回路
２５がＴＦＴパネル９に含まれていない場合は、これら
の水平走査回路２１及び垂直走査回路２５を保持容量検
出器１０内に設ける。又、水平同期信号及び垂直同期信
号は、それぞれ標準の水平同期信号及び標準の垂直同期
信号の逓倍又は分周された信号であっても良い。
【００２４】１９は保持容量検出器１０内に設けられた
切換えスイッチ（スイッチング素子）で、可動接点ｍ及
び固定接点ａ、ｂを具えている。切換えスイッチ１９の
可動接点ｍが、図１のプローブ１０ａ及び電極９ａ通じ
て、ＲＧＢ入力ライン２２に接続され、固定接点ａが電
圧がＶ1 （例えば、正の電圧とする）の電圧発生源２０
に接続され、固定接点ｂが容量−電気変換器（電流−電
圧変換器）１１の入力側に接続される。この電圧Ｖ1 は
コンデンサ２８に対する所定の書込み用電圧で、共通ラ
イン２９に印加される共通電圧Ｖcom より高く設定され
ている。一例としては、電圧Ｖ1 が１２（Ｖ）、電圧Ｖ
com が６（Ｖ）である。この切換えスイッチ１９は、タ
イミング発生器１８からの切換え制御信号によって切換
え制御され、標準垂直同期信号、又は、その標準垂直同
期信号の逓倍又は分周された垂直同期信号に同期して、
その周期毎に可動接点ｍが固定接点ａ、ｂに交互に接触
するように制御される。
切換えスイッチ（スイッチング素子）で、可動接点ｍ及
び固定接点ａ、ｂを具えている。切換えスイッチ１９の
可動接点ｍが、図１のプローブ１０ａ及び電極９ａ通じ
て、ＲＧＢ入力ライン２２に接続され、固定接点ａが電
圧がＶ1 （例えば、正の電圧とする）の電圧発生源２０
に接続され、固定接点ｂが容量−電気変換器（電流−電
圧変換器）１１の入力側に接続される。この電圧Ｖ1 は
コンデンサ２８に対する所定の書込み用電圧で、共通ラ
イン２９に印加される共通電圧Ｖcom より高く設定され
ている。一例としては、電圧Ｖ1 が１２（Ｖ）、電圧Ｖ
com が６（Ｖ）である。この切換えスイッチ１９は、タ
イミング発生器１８からの切換え制御信号によって切換
え制御され、標準垂直同期信号、又は、その標準垂直同
期信号の逓倍又は分周された垂直同期信号に同期して、
その周期毎に可動接点ｍが固定接点ａ、ｂに交互に接触
するように制御される。
【００２５】次に、図３及び図４を参照して、保持容量
検出の動作を説明する。切換えスイッチ１９は、例え
ば、フィールド信号（垂直同期信号）（図３Ａ）に同期
して、図３Ｂに示すように、その可動接点ｍが固定接点
ａ、ｂに交互に接触する。かくすると、ＲＧＢ入力ライ
ン２２の電圧は、図３Ｃに示す如く、１フィールド毎
に、交互にＶ1 、高インピーダンスと切換えられる。
検出の動作を説明する。切換えスイッチ１９は、例え
ば、フィールド信号（垂直同期信号）（図３Ａ）に同期
して、図３Ｂに示すように、その可動接点ｍが固定接点
ａ、ｂに交互に接触する。かくすると、ＲＧＢ入力ライ
ン２２の電圧は、図３Ｃに示す如く、１フィールド毎
に、交互にＶ1 、高インピーダンスと切換えられる。
【００２６】切換えスイッチ１９の可動接点ｍが固定接
点ａに切換えられているときに、図４Ａに示す如く、図
示の左側のタイミングでスイッチ２３、２７が共にオン
になると、その期間に図４Ｂの極太線αに示す如く、電
圧発生源２０からの所定電圧Ｖ1 が、切換えスイッチ１
９の固定接点ａ、可動接点ｍ、ＲＧＢ入力ライン、スイ
ッチ２３及びＭＯＳトランジスタ２７ドレイン及びソー
ス間を通じてコンデンサ２８のＰ点側の電極に印加され
る。これによりコンデンサ２８の両端にＶ1 −Ｖcom の
電圧が印加されて充電されて、Ｐ点の電圧は直ちにＶ1
になる。
点ａに切換えられているときに、図４Ａに示す如く、図
示の左側のタイミングでスイッチ２３、２７が共にオン
になると、その期間に図４Ｂの極太線αに示す如く、電
圧発生源２０からの所定電圧Ｖ1 が、切換えスイッチ１
９の固定接点ａ、可動接点ｍ、ＲＧＢ入力ライン、スイ
ッチ２３及びＭＯＳトランジスタ２７ドレイン及びソー
ス間を通じてコンデンサ２８のＰ点側の電極に印加され
る。これによりコンデンサ２８の両端にＶ1 −Ｖcom の
電圧が印加されて充電されて、Ｐ点の電圧は直ちにＶ1
になる。
【００２７】その後、スイッチ２３、２７の少なくとも
一方がオフになると、正常時は、Ｐ点の電圧は、極太線
αに示すように、Ｖ1 から僅か下がってＶａとなり、ス
イッチ２３、２７が共に１フィールド期間後に再びオン
になる直前までは、Ｐ点の電圧はＶa から徐々にに低下
してＶb となり、その直後に、図示の右側のタイミング
でスイッチ２３、２７が共にオンになると、その期間で
は、切換えスイッチ１９の可動接点ｍが固定接点ｂに切
換えられているので、コンデンサ２８の電荷がＭＯＳト
ランジスタ２７のソース及びドレイン、スイッチ２３、
ＲＧＢ入力ライン２２及び切換えスイッチ１９の可動接
点ｍ、固定接点ｂを通じて、容量−電気変換器（電流−
電圧変換器）１１に流れ込む。そして、画素毎の放電電
流に応じた電圧が、保持容量検査信号として容量−電気
変換器（電流−電圧変換器）１１から出力されて、図１
の画像処理装置１３に供給される。
一方がオフになると、正常時は、Ｐ点の電圧は、極太線
αに示すように、Ｖ1 から僅か下がってＶａとなり、ス
イッチ２３、２７が共に１フィールド期間後に再びオン
になる直前までは、Ｐ点の電圧はＶa から徐々にに低下
してＶb となり、その直後に、図示の右側のタイミング
でスイッチ２３、２７が共にオンになると、その期間で
は、切換えスイッチ１９の可動接点ｍが固定接点ｂに切
換えられているので、コンデンサ２８の電荷がＭＯＳト
ランジスタ２７のソース及びドレイン、スイッチ２３、
ＲＧＢ入力ライン２２及び切換えスイッチ１９の可動接
点ｍ、固定接点ｂを通じて、容量−電気変換器（電流−
電圧変換器）１１に流れ込む。そして、画素毎の放電電
流に応じた電圧が、保持容量検査信号として容量−電気
変換器（電流−電圧変換器）１１から出力されて、図１
の画像処理装置１３に供給される。
【００２８】ところが、切換えスイッチ１９の可動接点
ｍが固定接点ａに切換えられているときに、図４Ａに示
す如く、図示の左側のタイミングで、スイッチ２３、２
７が共にオンになると、その期間に図４Ｂの極太線に示
す如く、電圧発生源２０からの電圧Ｖ1 がコンデンサ２
８のＰ点側の電極に印加され、これによりコンデンサ２
８の両端にＶ1 −Ｖcom の電圧が印加されて充電され
て、Ｐ点の電圧は直ちにＶ1 になった後に、スイッチ２
３、２７の少なくとも一方がオフになると、リーケージ
が大きくなっている異常時は、Ｐ点の電圧は、太線γに
示す如く、Ｖ1 から大幅に下がってＶc となる。そし
て、図示の右側のタイミングで、スイッチ２３、２７が
共に１フィールド期間後に再びオンになる直前までに、
Ｐ点の電圧はＶC からかなり低下してＶd となり、その
直後にスイッチ２３、２７が共にオンになると、その期
間では、切換えスイッチ１９の可動接点ｍが固定接点ｂ
に切換えられているので、コンデンサ２８の電荷が容量
−電気変換器（電流−電圧変換器）１１に流れ込む。そ
して、その電流に応じた電圧が、保持容量検査信号とし
て容量−電気変換器（電流−電圧変換器）１１から出力
されて、図１の画像処理装置１３に供給されるが、その
画素の輝度信号のレベルは、正常時に比べてかなり低く
なっている。
ｍが固定接点ａに切換えられているときに、図４Ａに示
す如く、図示の左側のタイミングで、スイッチ２３、２
７が共にオンになると、その期間に図４Ｂの極太線に示
す如く、電圧発生源２０からの電圧Ｖ1 がコンデンサ２
８のＰ点側の電極に印加され、これによりコンデンサ２
８の両端にＶ1 −Ｖcom の電圧が印加されて充電され
て、Ｐ点の電圧は直ちにＶ1 になった後に、スイッチ２
３、２７の少なくとも一方がオフになると、リーケージ
が大きくなっている異常時は、Ｐ点の電圧は、太線γに
示す如く、Ｖ1 から大幅に下がってＶc となる。そし
て、図示の右側のタイミングで、スイッチ２３、２７が
共に１フィールド期間後に再びオンになる直前までに、
Ｐ点の電圧はＶC からかなり低下してＶd となり、その
直後にスイッチ２３、２７が共にオンになると、その期
間では、切換えスイッチ１９の可動接点ｍが固定接点ｂ
に切換えられているので、コンデンサ２８の電荷が容量
−電気変換器（電流−電圧変換器）１１に流れ込む。そ
して、その電流に応じた電圧が、保持容量検査信号とし
て容量−電気変換器（電流−電圧変換器）１１から出力
されて、図１の画像処理装置１３に供給されるが、その
画素の輝度信号のレベルは、正常時に比べてかなり低く
なっている。
【００２９】又、コンデンサ２８がオープンのときは、
切換えスイッチ１９の可動接点ｍが固定接点ａに切換え
られているときに、図示の左側のタイミングで、スイッ
チ２３、２７が共にオンになって、Ｐ点の電圧がＶ1 に
なっても、スイッチ２３、２７の少なくとも一方がオフ
になると、太線βで示す如く、Ｐ点の電圧は直ちにＶ
com に低下してしまうので、容量−電気変換器（電流−
電圧変換器）１１から出力されて、図１の画像処理装置
１３に供給されるが、その画素の輝度信号のレベルは０
になってしまう。
切換えスイッチ１９の可動接点ｍが固定接点ａに切換え
られているときに、図示の左側のタイミングで、スイッ
チ２３、２７が共にオンになって、Ｐ点の電圧がＶ1 に
なっても、スイッチ２３、２７の少なくとも一方がオフ
になると、太線βで示す如く、Ｐ点の電圧は直ちにＶ
com に低下してしまうので、容量−電気変換器（電流−
電圧変換器）１１から出力されて、図１の画像処理装置
１３に供給されるが、その画素の輝度信号のレベルは０
になってしまう。
【００３０】更に、コンデンサ２８が短絡されていると
きは、切換えスイッチ１９の可動接点ｍが固定接点ｂに
切換えられ、図示の左側のタイミングで、スイッチ２
３、２７が共にオンになったときは、共通ライン２９の
電圧Ｖcom が直接容量−電気変換器（電流−電圧変換
器）１１に供給されるので、これに大きな電流がながれ
るため、その画素の輝度信号のレベルは頗る大きくなっ
てしまう。
きは、切換えスイッチ１９の可動接点ｍが固定接点ｂに
切換えられ、図示の左側のタイミングで、スイッチ２
３、２７が共にオンになったときは、共通ライン２９の
電圧Ｖcom が直接容量−電気変換器（電流−電圧変換
器）１１に供給されるので、これに大きな電流がながれ
るため、その画素の輝度信号のレベルは頗る大きくなっ
てしまう。
【００３１】更に、ＭＯＳスイッチングトランジスタ２
７が常時オンの場合には、同じデータライン２６に接続
されている他の正常なＭＯＳトランジスタ２７に接続さ
れているコンデンサ２８の放電時に、その放電電流の一
部が常時オンのＭＯＳスイッチングトランジスタ２７に
も流れ込むため、図１の画像処理装置１３から出力され
る画素の輝度信号のレベルは低くなる。
７が常時オンの場合には、同じデータライン２６に接続
されている他の正常なＭＯＳトランジスタ２７に接続さ
れているコンデンサ２８の放電時に、その放電電流の一
部が常時オンのＭＯＳスイッチングトランジスタ２７に
も流れ込むため、図１の画像処理装置１３から出力され
る画素の輝度信号のレベルは低くなる。
【００３２】更に、あるＭＯＳスイッチングトランジス
タ２７が常時オフの場合には、そのＭＯＳトランジスタ
２７に接続されているコンデンサ２８からの放電電流は
０になるので、図１の画像処理装置１３から出力される
画素の輝度信号のレベルは０となる。
タ２７が常時オフの場合には、そのＭＯＳトランジスタ
２７に接続されているコンデンサ２８からの放電電流は
０になるので、図１の画像処理装置１３から出力される
画素の輝度信号のレベルは０となる。
【００３３】更に、ゲートライン２４が断線している場
合は、そのゲートライン２４に接続されている全ての画
素駆動部ＤＳから放電電流が得られないので、図１の画
像処理装置１３から出力される画素の輝度信号のレベル
は全て０となる。
合は、そのゲートライン２４に接続されている全ての画
素駆動部ＤＳから放電電流が得られないので、図１の画
像処理装置１３から出力される画素の輝度信号のレベル
は全て０となる。
【００３４】更に、データライン２６が断線している場
合は、そのデータライン２６に接続されている全ての画
素駆動部ＤＳから放電電流が得られないので、図１の画
像処理装置１３から出力される画素の輝度信号のレベル
は全て０となる。
合は、そのデータライン２６に接続されている全ての画
素駆動部ＤＳから放電電流が得られないので、図１の画
像処理装置１３から出力される画素の輝度信号のレベル
は全て０となる。
【００３５】かくして、図１のモニタ受像機１７の画面
で、通常の輝度に比べて異常に明るい画素あるいは画素
列、又は、異常に暗い画素あるいは画素列は、その対応
する画素駆動部ＰＤに上述した欠陥があることが分か
る。
で、通常の輝度に比べて異常に明るい画素あるいは画素
列、又は、異常に暗い画素あるいは画素列は、その対応
する画素駆動部ＰＤに上述した欠陥があることが分か
る。
【００３６】上述の保持容量の検出は、図５のＴＦＴパ
ネルを液晶表示装置として完成させた後にも、可能であ
るが、その場合には、対向電極間に挟まれた画素液晶が
コンデンサ（コンデンサ２８に比べて、その容量はかな
り小さい）として各画素駆動部ＰＤの各コンデンサ２８
に並列接続されることになる。ところが、この対向電極
間に挟まれた画素液晶の両端に、常に同じ極性の電圧Ｖ
1 を印加すると、液晶が電気分解されてしまうので、図
３に示す如く、Ｐ点に印加する電圧を、Ｖ1 とＶ2 の交
互にし、電圧Ｖ2 を電圧Ｖ1 より低くし、且つ、共通ラ
イン２９に印加する共通電圧Ｖcom を（Ｖ1 ＋Ｖ2 ）／
２に設定すれば、画素液晶に印加される電圧の極性が交
互に正負となるので、画素液晶が電気分解されるおそれ
はなくなる。
ネルを液晶表示装置として完成させた後にも、可能であ
るが、その場合には、対向電極間に挟まれた画素液晶が
コンデンサ（コンデンサ２８に比べて、その容量はかな
り小さい）として各画素駆動部ＰＤの各コンデンサ２８
に並列接続されることになる。ところが、この対向電極
間に挟まれた画素液晶の両端に、常に同じ極性の電圧Ｖ
1 を印加すると、液晶が電気分解されてしまうので、図
３に示す如く、Ｐ点に印加する電圧を、Ｖ1 とＶ2 の交
互にし、電圧Ｖ2 を電圧Ｖ1 より低くし、且つ、共通ラ
イン２９に印加する共通電圧Ｖcom を（Ｖ1 ＋Ｖ2 ）／
２に設定すれば、画素液晶に印加される電圧の極性が交
互に正負となるので、画素液晶が電気分解されるおそれ
はなくなる。
【００３７】ウェーハ２の各ＴＦＴパネル９に対する欠
陥の有無の検査は、予め作成されたプログラムに従っ
て、ウェーハ２の各ＴＦＴパネル９を、ＣＰＵ１４によ
る各部の制御により、自動的に行うことができる。
陥の有無の検査は、予め作成されたプログラムに従っ
て、ウェーハ２の各ＴＦＴパネル９を、ＣＰＵ１４によ
る各部の制御により、自動的に行うことができる。
【００３８】上述の実施例では、オンチップカラーフィ
ルタ３８を有するＴＦＴパネル９の検査の場合について
説明したが、これを有しないＴＦＴパネル９を検査する
こともできる。
ルタ３８を有するＴＦＴパネル９の検査の場合について
説明したが、これを有しないＴＦＴパネル９を検査する
こともできる。
【００３９】
【発明の効果】上述せる本発明液晶表示装置用駆動装置
の検査装置によれば、液晶表示装置用駆動装置の各画素
駆動部の容量素子に所定の書込み電圧を走査的に印加し
て充電した後に、その各画素駆動部の容量素子の電荷を
走査的に放電させて、その各画素駆動部の容量素子の保
持容量を走査的に検出する保持容量検出手段と、液晶表
示装置用駆動装置を照明状態の下で撮像する撮像手段
と、保持容量検出手段よりの保持容量検出出力及び撮像
手段よりの撮像出力が選択的に供給される画像処理装置
と、その画像処理装置よりの画像信号が供給される画像
表示装置とを有するので、簡単な構成を以て、液晶表示
装置用駆動装置の電気的欠陥及び光学的欠陥の有無を、
容易に且つ短時間で検出することができる。
の検査装置によれば、液晶表示装置用駆動装置の各画素
駆動部の容量素子に所定の書込み電圧を走査的に印加し
て充電した後に、その各画素駆動部の容量素子の電荷を
走査的に放電させて、その各画素駆動部の容量素子の保
持容量を走査的に検出する保持容量検出手段と、液晶表
示装置用駆動装置を照明状態の下で撮像する撮像手段
と、保持容量検出手段よりの保持容量検出出力及び撮像
手段よりの撮像出力が選択的に供給される画像処理装置
と、その画像処理装置よりの画像信号が供給される画像
表示装置とを有するので、簡単な構成を以て、液晶表示
装置用駆動装置の電気的欠陥及び光学的欠陥の有無を、
容易に且つ短時間で検出することができる。
【図１】本発明の実施例を示すブロック線図である。
【図２】実施例の一部を示すブロック線図である。
【図３】実施例の動作説明に供するタイミングチャート
である。
である。
【図４】実施例の画素駆動部のＭＯＳトランジスタ及び
コンデンサの接続中点の電圧の変化を示す波形図であ
る。
コンデンサの接続中点の電圧の変化を示す波形図であ
る。
【図５】ＴＦＴパネルの一部の断面図である。
１ 光学的欠陥検査部 ２ ウェーハ ４ 光源 ７ ビデオカメラ ８ 保持容量検出部 ９ ＴＦＴパネル １０ 保持容量検出器 １１ 容量−電気検出器 １２ 切換え回路 １３ 画像処理装置 １４ ＣＰＵ １５ キーボード １６ 外部記憶装置 １７ モニタ受像機
Claims (3)
- 【請求項１】 液晶表示装置用駆動装置の各画素駆動部
の容量素子に所定の書込み電圧を走査的に印加して充電
した後に、該各画素駆動部の容量素子の電荷を走査的に
放電させて、該各画素駆動部の容量素子の保持容量を走
査的に検出する保持容量検出手段と、 上記液晶表示装置用駆動装置を照明状態の下で撮像する
撮像手段と、 上記保持容量検出手段よりの保持容量検出出力及び上記
撮像手段よりの撮像出力が選択的に供給される画像処理
装置と、 該画像処理装置よりの画像信号が供給される画像表示装
置とを有することを特徴とする液晶表示装置用駆動装置
の検査装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の液晶表示装置用駆動装
置の検査装置において、 上記保持容量検出手段は、 上記所定の書き込み電圧を発生する電圧発生源と、 容量−電気変換器と、 上記電圧発生源よりの上記所定の書込み電圧の上記液晶
表示装置用駆動装置の映像信号入力ラインへの供給と、
該映像信号入力ラインからの保持容量検出出力の上記容
量−電気変換器への供給とを切換える切換え手段と、 上記液晶表示装置用駆動装置の水平及び垂直走査回路に
供給する水平及び垂直走査駆動信号並びに上記切換え手
段に供給する上記水平及び垂直走査駆動信号に同期した
所定のタイミングの切換え制御信号を発生するタイミン
グ発生器とを有することを特徴とする液晶表示装置用駆
動装置の検査装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の液晶表示装置用駆動装
置の検査装置において、 上記保持容量検出手段は、 上記所定の書き込み電圧を発生する電圧発生源と、 容量−電気変換器と、 上記電圧発生源よりの上記所定の書込み電圧の上記液晶
表示装置用駆動装置の映像信号入力ラインへの供給と、
該映像信号入力ラインからの保持容量検出出力の上記容
量−電気変換器への供給とを切換える切換え手段と、 上記液晶表示装置用駆動装置に水平及び垂直走査信号を
供給する水平及び垂直走査回路と、 該水平及び垂直走査回路に供給する水平及び垂直走査駆
動信号並びに上記切換え手段に供給する上記水平及び垂
直走査駆動信号に同期した所定のタイミングの切換え制
御信号を発生するタイミング発生器とを有することを特
徴とする液晶表示装置用駆動装置の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3405095A JPH08227066A (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | 液晶表示装置用駆動装置の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3405095A JPH08227066A (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | 液晶表示装置用駆動装置の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08227066A true JPH08227066A (ja) | 1996-09-03 |
Family
ID=12403480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3405095A Pending JPH08227066A (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | 液晶表示装置用駆動装置の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08227066A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100551590B1 (ko) * | 2000-10-23 | 2006-02-13 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 잔상측정방법 |
-
1995
- 1995-02-22 JP JP3405095A patent/JPH08227066A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100551590B1 (ko) * | 2000-10-23 | 2006-02-13 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 잔상측정방법 |
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