JPH08220109A - プローブ顕微鏡の探針先端位置特定方法 - Google Patents
プローブ顕微鏡の探針先端位置特定方法Info
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- JPH08220109A JPH08220109A JP7028429A JP2842995A JPH08220109A JP H08220109 A JPH08220109 A JP H08220109A JP 7028429 A JP7028429 A JP 7028429A JP 2842995 A JP2842995 A JP 2842995A JP H08220109 A JPH08220109 A JP H08220109A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 カンチレバーにマーカを付すことなく、探針
先端位置を正確に特定することができるプローブ顕微鏡
装置を提供すること 【構成】 試料テーブル４上の反射ミラー１７を、カン
チレバー６と対向する位置に位置合わせする。そのとき
カンチレバー６は反射ミラー１７から鉛直上方ある距離
だけ退避した位置にある。その状態で光学顕微鏡８の焦
点を鉛直下方に移動していくと、やがて反射ミラー１７
に投影されたカンチレバー６の虚像に光学顕微鏡８の焦
点が一致する。そのときは、当然カンチレバーの探針６
１側が光学顕微鏡８により観察されるので、探針６１の
先端位置を直接観察することができる。したがって、探
針先端位置を光学顕微鏡８の視野内で正確に特定するこ
とができる。
先端位置を正確に特定することができるプローブ顕微鏡
装置を提供すること 【構成】 試料テーブル４上の反射ミラー１７を、カン
チレバー６と対向する位置に位置合わせする。そのとき
カンチレバー６は反射ミラー１７から鉛直上方ある距離
だけ退避した位置にある。その状態で光学顕微鏡８の焦
点を鉛直下方に移動していくと、やがて反射ミラー１７
に投影されたカンチレバー６の虚像に光学顕微鏡８の焦
点が一致する。そのときは、当然カンチレバーの探針６
１側が光学顕微鏡８により観察されるので、探針６１の
先端位置を直接観察することができる。したがって、探
針先端位置を光学顕微鏡８の視野内で正確に特定するこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、トンネル顕微鏡や原子
間力顕微鏡等のプローブ顕微鏡と光学顕微鏡とが併用さ
れるプローブ顕微鏡装置において、プローブ顕微鏡の探
針の先端位置を特定する機能を有するプローブ顕微鏡装
置に関する。
間力顕微鏡等のプローブ顕微鏡と光学顕微鏡とが併用さ
れるプローブ顕微鏡装置において、プローブ顕微鏡の探
針の先端位置を特定する機能を有するプローブ顕微鏡装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プローブ顕微鏡は、先端の尖った探針を
試料に対してナノメート（ｎｍ）オーダまで接近させ、
そのとき探針と試料との間に生じるトンネル電流や原子
間力等を測定することにより、試料表面の形状などを原
子寸法レベルで計測する装置である。このようなプロー
ブ顕微鏡の測定範囲は最大でも数１０μｍである。この
ため、例えば光ディスク等の大きな試料における１つの
ピットの細部の異常をチェックするような場合、そのよ
うな微少な部分に探針の先端を目視で合わせることは不
可能である。したがって、プローブ顕微鏡は、試料を移
動させるＸＹステージとともに、プローブ顕微鏡の測定
範囲より大きな視野を持つ測定機器、例えば光学顕微鏡
を備えているのが通常である。
試料に対してナノメート（ｎｍ）オーダまで接近させ、
そのとき探針と試料との間に生じるトンネル電流や原子
間力等を測定することにより、試料表面の形状などを原
子寸法レベルで計測する装置である。このようなプロー
ブ顕微鏡の測定範囲は最大でも数１０μｍである。この
ため、例えば光ディスク等の大きな試料における１つの
ピットの細部の異常をチェックするような場合、そのよ
うな微少な部分に探針の先端を目視で合わせることは不
可能である。したがって、プローブ顕微鏡は、試料を移
動させるＸＹステージとともに、プローブ顕微鏡の測定
範囲より大きな視野を持つ測定機器、例えば光学顕微鏡
を備えているのが通常である。
【０００３】このようなプローブ顕微鏡と光学顕微鏡と
を併用した装置では、光学顕微鏡によりプローブ顕微鏡
の探針を支持するカンチレバーを観察することができる
ので、探針を試料上の目的の位置に容易に位置合わせす
ることができる。しかしながら、顕微鏡で観察できるの
はカンチレバーの背面であるため、その反対側に取り付
けられた探針を直接観察することはできず、その先端位
置を正確に特定することはできない。この問題を解消
し、探針先端位置を正確に特定するための手段として、
例えば、特開平３−１０２２０９号公報に記載されてい
る装置が従来提案されている。この装置は、カンチレバ
ー背面における探針位置に対応する位置にマーカを付
し、このマーカを基準に探針先端位置を特定するように
している。
を併用した装置では、光学顕微鏡によりプローブ顕微鏡
の探針を支持するカンチレバーを観察することができる
ので、探針を試料上の目的の位置に容易に位置合わせす
ることができる。しかしながら、顕微鏡で観察できるの
はカンチレバーの背面であるため、その反対側に取り付
けられた探針を直接観察することはできず、その先端位
置を正確に特定することはできない。この問題を解消
し、探針先端位置を正確に特定するための手段として、
例えば、特開平３−１０２２０９号公報に記載されてい
る装置が従来提案されている。この装置は、カンチレバ
ー背面における探針位置に対応する位置にマーカを付
し、このマーカを基準に探針先端位置を特定するように
している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記マーカを付する従
来の方式は、探針先端位置を正確に特定することができ
るが、マーカは探針に対し正確に対応した位置に作製さ
れねばならず、かつ、マーカを付す工程を付加すること
によるコストの上昇を避けることはできない。
来の方式は、探針先端位置を正確に特定することができ
るが、マーカは探針に対し正確に対応した位置に作製さ
れねばならず、かつ、マーカを付す工程を付加すること
によるコストの上昇を避けることはできない。
【０００５】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、カンチレバーにマーカを付すことなく、探
針先端位置を正確に特定することができるプローブ顕微
鏡装置を提供することにある。
題を解決し、カンチレバーにマーカを付すことなく、探
針先端位置を正確に特定することができるプローブ顕微
鏡装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、互いに直行するＸ軸およびＹ軸に沿って
変位するＸＹステージと、このＸＹステージとともに変
位し試料を載置する試料テーブルと、この試料テーブル
に対向して配置される光学顕微鏡と、探針を備えかつ先
端が前記光学顕微鏡の光路内に配置されたカンチレバー
と、このカンチレバーを前記試料に対して接離させる変
位機構とを備えたプローブ顕微鏡装置において、前記試
料テーブル上に存在する反射率の高い平滑な面に投影さ
れた前記探針の虚像を、前記光学顕微鏡で観察すること
により、前記探針の先端位置を特定することを特徴とす
る。
め、本発明は、互いに直行するＸ軸およびＹ軸に沿って
変位するＸＹステージと、このＸＹステージとともに変
位し試料を載置する試料テーブルと、この試料テーブル
に対向して配置される光学顕微鏡と、探針を備えかつ先
端が前記光学顕微鏡の光路内に配置されたカンチレバー
と、このカンチレバーを前記試料に対して接離させる変
位機構とを備えたプローブ顕微鏡装置において、前記試
料テーブル上に存在する反射率の高い平滑な面に投影さ
れた前記探針の虚像を、前記光学顕微鏡で観察すること
により、前記探針の先端位置を特定することを特徴とす
る。
【０００７】
【作用】試料テーブル上の反射ミラーを、カンチレバー
と対向する位置に位置合わせする。そのときカンチレバ
ーは反射ミラーから鉛直上方ある距離だけ退避した位置
にある。その状態で光学顕微鏡の焦点を、カンチレバー
上面に合わせた位置から、鉛直下方に移動していくと、
やがて反射ミラーに投影されたカンチレバーの虚像に光
学顕微鏡の焦点が一致する。そのときは、当然カンチレ
バーの探針側が光学顕微鏡により観察されるので、探針
の先端位置を直接観察することができる。したがって、
正確に探針先端位置を特定することができる。
と対向する位置に位置合わせする。そのときカンチレバ
ーは反射ミラーから鉛直上方ある距離だけ退避した位置
にある。その状態で光学顕微鏡の焦点を、カンチレバー
上面に合わせた位置から、鉛直下方に移動していくと、
やがて反射ミラーに投影されたカンチレバーの虚像に光
学顕微鏡の焦点が一致する。そのときは、当然カンチレ
バーの探針側が光学顕微鏡により観察されるので、探針
の先端位置を直接観察することができる。したがって、
正確に探針先端位置を特定することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。図１は本発明の実施例に係るプローブ顕微鏡の探
針先端位置特定方法を使用する装置の全体構成を示す図
である。この図で、１はＸＹステージであり、Ｘ軸ステ
ージ１ＸおよびＹ軸ステージ１Ｙで構成されている。２
はＸＹステージ１に固定された支持部材、３は支持部材
２に支持されたトライポッド機構である。このトライポ
ッド機構３は圧電素子で構成され、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向に
変位可能であり、特に、Ｘ、Ｙ軸方向の変位（紙面に垂
直な面内の変位）により試料のＸ、Ｙ軸方向の走査を行
う。４はトライポッド機構３に支持された試料台、５は
試料台４に載置された試料を示す。
する。図１は本発明の実施例に係るプローブ顕微鏡の探
針先端位置特定方法を使用する装置の全体構成を示す図
である。この図で、１はＸＹステージであり、Ｘ軸ステ
ージ１ＸおよびＹ軸ステージ１Ｙで構成されている。２
はＸＹステージ１に固定された支持部材、３は支持部材
２に支持されたトライポッド機構である。このトライポ
ッド機構３は圧電素子で構成され、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向に
変位可能であり、特に、Ｘ、Ｙ軸方向の変位（紙面に垂
直な面内の変位）により試料のＸ、Ｙ軸方向の走査を行
う。４はトライポッド機構３に支持された試料台、５は
試料台４に載置された試料を示す。
【０００９】６は試料５に対向しその測定を行うプロー
ブ顕微鏡のカンチレバー、６１はカンチレバー６の先端
に固定された探針である。７はカンチレバー６をＺ軸方
向（紙面上下方向）に変位させるＺ軸変位機構、８は光
学顕微鏡、９はＺ軸変位機構７と光学顕微鏡８とを支持
する支持台である。カンチレバー６と光学顕微鏡８と
は、カンチレバー６の先端が光学顕微鏡８の光路内に存
在する位置関係で支持台９に支持されている。又、Ｚ軸
変位機構７としては、圧電素子を用いた周知のインチワ
ーム機構等種々の装置を用いることができる。
ブ顕微鏡のカンチレバー、６１はカンチレバー６の先端
に固定された探針である。７はカンチレバー６をＺ軸方
向（紙面上下方向）に変位させるＺ軸変位機構、８は光
学顕微鏡、９はＺ軸変位機構７と光学顕微鏡８とを支持
する支持台である。カンチレバー６と光学顕微鏡８と
は、カンチレバー６の先端が光学顕微鏡８の光路内に存
在する位置関係で支持台９に支持されている。又、Ｚ軸
変位機構７としては、圧電素子を用いた周知のインチワ
ーム機構等種々の装置を用いることができる。
【００１０】１０は光学顕微鏡８の像を撮像するＣＣＤ
カメラ、１１はＣＣＤカメラ１０からの信号に基づいて
所要の画像処理を行う画像処理装置、１２は画像処理装
置１１で処理された信号に基づいて所要の映像を表示す
る表示装置である。１３はトライポッド機構３を例えば
ＸＹ面走査のために駆動するコントローラ、１４はＸＹ
ステージ１を駆動するコントローラ、１５はＺ軸変位機
構７を駆動するコントローラ、１６はこれらコントロー
ラ１３、１４、１５の駆動を制御する演算制御部であ
る。１７は試料台４に載置された反射ミラーを示す。
カメラ、１１はＣＣＤカメラ１０からの信号に基づいて
所要の画像処理を行う画像処理装置、１２は画像処理装
置１１で処理された信号に基づいて所要の映像を表示す
る表示装置である。１３はトライポッド機構３を例えば
ＸＹ面走査のために駆動するコントローラ、１４はＸＹ
ステージ１を駆動するコントローラ、１５はＺ軸変位機
構７を駆動するコントローラ、１６はこれらコントロー
ラ１３、１４、１５の駆動を制御する演算制御部であ
る。１７は試料台４に載置された反射ミラーを示す。
【００１１】次に、本実施例の探針６１の先端位置を特
定する方法について、図２を参照して説明する。図２は
カンチレバー６、探針６１、光学顕微鏡８、反射ミラー
１７の位置関係を示す図である。まず、図１に示す状態
において、Ｚ軸変位機構７を駆動して、ＸＹステージ１
を移動しても探針６１が反射ミラー１７に衝突する危険
が無い位置までカンチレバー６を退避しておく。その状
態で、ＸＹステージ１により反射ミラー１７を移動し、
これをカンチレバー６の先端の探針６１と対向させる。
このときの状態が図２に示されている。図２で、６′は
反射ミラー１７に映ったカンチレバー６の像（虚像）、
６１′は同じく探針６１の像（虚像）である。これらの
像６′、６１′は、反射ミラー１７の面に関して、カン
チレバー６および探針６１と光学的に対称な位置に存在
する。
定する方法について、図２を参照して説明する。図２は
カンチレバー６、探針６１、光学顕微鏡８、反射ミラー
１７の位置関係を示す図である。まず、図１に示す状態
において、Ｚ軸変位機構７を駆動して、ＸＹステージ１
を移動しても探針６１が反射ミラー１７に衝突する危険
が無い位置までカンチレバー６を退避しておく。その状
態で、ＸＹステージ１により反射ミラー１７を移動し、
これをカンチレバー６の先端の探針６１と対向させる。
このときの状態が図２に示されている。図２で、６′は
反射ミラー１７に映ったカンチレバー６の像（虚像）、
６１′は同じく探針６１の像（虚像）である。これらの
像６′、６１′は、反射ミラー１７の面に関して、カン
チレバー６および探針６１と光学的に対称な位置に存在
する。
【００１２】次に、光学顕微鏡８の焦点をカンチレバー
及び探針の像６′、６１′に一致させるべく焦点を下方
に移動させてゆくと、カンチレバー６の背面の像はぼや
け、又、カンチレバー６は視野の一部を遮るのみである
ので、やがて焦点が像６′、６１′に一致してこれらを
観察することができる。これによりカンチレバー６の探
針６１側の面の光学顕微鏡像を得ることができるので、
これを画像処理装置１１で処理することにより、光学顕
微鏡８の視野内における探針の先端位置を当該視野内の
座標として特定することができる。この座標は演算制御
部１６の記憶部に格納される。
及び探針の像６′、６１′に一致させるべく焦点を下方
に移動させてゆくと、カンチレバー６の背面の像はぼや
け、又、カンチレバー６は視野の一部を遮るのみである
ので、やがて焦点が像６′、６１′に一致してこれらを
観察することができる。これによりカンチレバー６の探
針６１側の面の光学顕微鏡像を得ることができるので、
これを画像処理装置１１で処理することにより、光学顕
微鏡８の視野内における探針の先端位置を当該視野内の
座標として特定することができる。この座標は演算制御
部１６の記憶部に格納される。
【００１３】現在一般的に用いられるＡＦＭ探針の形状
は、四角錐（ピラミッド型）のものが多く、上記の探針
先端位置を特定する動作においては、四角錐の稜線を観
察することができるので、これにより、探針の先端位置
を知ることができる。もちろん探針の形状が四角錐以外
の形状であっても、反射像を観察することにより探針の
光学顕微鏡像を得ることができるので、探針先端位置の
特定は可能である。
は、四角錐（ピラミッド型）のものが多く、上記の探針
先端位置を特定する動作においては、四角錐の稜線を観
察することができるので、これにより、探針の先端位置
を知ることができる。もちろん探針の形状が四角錐以外
の形状であっても、反射像を観察することにより探針の
光学顕微鏡像を得ることができるので、探針先端位置の
特定は可能である。
【００１４】このように探針先端位置を特定すると、以
後、試料５の測定に際しては、試料５の測定対象位置を
光学顕微鏡８の視野内における探針の先端位置として特
定された位置に一致させるようにＸＹステージを移動さ
せればよいこととなる。
後、試料５の測定に際しては、試料５の測定対象位置を
光学顕微鏡８の視野内における探針の先端位置として特
定された位置に一致させるようにＸＹステージを移動さ
せればよいこととなる。
【００１５】なお、上記実施例の説明では、反射ミラー
を用いる例について説明したが、観察する試料の表面が
平滑で反射率の高いもの（例えばシリコンウエハ表面
等）であり、良好な反射像が得られるものであれば、反
射ミラーを用いず、直接試料に反射した像を観察すれば
よい。
を用いる例について説明したが、観察する試料の表面が
平滑で反射率の高いもの（例えばシリコンウエハ表面
等）であり、良好な反射像が得られるものであれば、反
射ミラーを用いず、直接試料に反射した像を観察すれば
よい。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明では、カンチ
レバーおよび探針の虚像を観察し、探針の先端位置を特
定するようにしたので、カンチレバー上面における探針
先端位置に対応する位置にマーカを付す必要は無く、手
軽に正確な探針先端位置の特定を行うことができる。
レバーおよび探針の虚像を観察し、探針の先端位置を特
定するようにしたので、カンチレバー上面における探針
先端位置に対応する位置にマーカを付す必要は無く、手
軽に正確な探針先端位置の特定を行うことができる。
【図１】本発明の実施例に係るプローブ顕微鏡の探針先
端位置特定方法を使用する装置の全体構成を示す図であ
る。
端位置特定方法を使用する装置の全体構成を示す図であ
る。
【図２】カンチレバー等の位置関係を示す図である。
１ ＸＹステージ ３ トライポッド機構 ４ 試料台座 ５ 試料 ６ カンチレバー ７ Ｚ軸変位機構 ８ 光学顕微鏡 １０ ＣＣＤカメラ １７ 反射ミラー ６１ 探針
Claims (3)
- 【請求項１】 互いに直行するＸ軸およびＹ軸に沿って
変位するＸＹステージと、このＸＹステージとともに変
位し試料を載置する試料テーブルと、この試料テーブル
に対向して配置される光学顕微鏡と、探針を備えかつ先
端が前記光学顕微鏡の光路内に配置されたカンチレバー
と、このカンチレバーを前記試料に対して接離させる変
位機構とを備えたプローブ顕微鏡装置において、前記試
料テーブル上に存在する反射率の高い平滑な面に投影さ
れた前記探針の虚像を、前記光学顕微鏡で観察すること
により、前記探針の先端位置を特定することを特徴とす
るプローブ顕微鏡装置の探針先端位置特定方法。 - 【請求項２】 請求項１において、前記試料テーブル上
に存在する反射率の高い平滑な面は、反射ミラーである
ことを特徴とするプローブ顕微鏡装置。 - 【請求項３】 請求項１において、前記試料テーブル上
に存在する反射率の高い平滑な面は、前記試料の面であ
ることを特徴とするプローブ顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7028429A JPH08220109A (ja) | 1995-02-16 | 1995-02-16 | プローブ顕微鏡の探針先端位置特定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7028429A JPH08220109A (ja) | 1995-02-16 | 1995-02-16 | プローブ顕微鏡の探針先端位置特定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08220109A true JPH08220109A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12248425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7028429A Pending JPH08220109A (ja) | 1995-02-16 | 1995-02-16 | プローブ顕微鏡の探針先端位置特定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08220109A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020105213A1 (ja) * | 2018-11-20 | 2020-05-28 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
-
1995
- 1995-02-16 JP JP7028429A patent/JPH08220109A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020105213A1 (ja) * | 2018-11-20 | 2020-05-28 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
| JP2020085562A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡の光軸調整方法 |
| US11519936B2 (en) | 2018-11-20 | 2022-12-06 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope and scanning probe microscope optical axis adjustment method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050105 |