JPH0821802A - 基板におけるパターンの良否識別方法 - Google Patents

基板におけるパターンの良否識別方法

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JPH0821802A
JPH0821802A JP6156918A JP15691894A JPH0821802A JP H0821802 A JPH0821802 A JP H0821802A JP 6156918 A JP6156918 A JP 6156918A JP 15691894 A JP15691894 A JP 15691894A JP H0821802 A JPH0821802 A JP H0821802A
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JP
Japan
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patterns
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difference
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Pending
Application number
JP6156918A
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English (en)
Inventor
Masaya Takahashi
昌也 高橋
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Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 絶縁基板A等の基板に一定の間隔ピッチで同
じ形状で多数個形成されている抵抗体パターンA2等の
パターンにおける形状等の良否を、能率良く識別する。 【構成】 基板の表面を、当該表面に一定の間隔ピッチ
で形成されている多数個のパターンのうち複数個のパタ
ーンを含む複数の領域部分に分け、この各領域部分のう
ち任意の一つの領域部分(X1−Y1)における撮影画
像を処理して得た処理データ画面7と、前記各領域部分
のうち他の一つの領域部分(X2−Y2)における撮影
画像を処理して得た処理データ画面8とを比較して、そ
の相違点を検出することを、前記全ての領域部分につい
て行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁基板又はプリント
基板等のような基板の表面に一定のピッチ間隔で同じ形
状にして形成したものにおいて、多数個の各パターンに
おける形状又は寸法等の良否を識別するための方法に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、チップ型抵抗器の製造に際して
は、図1に示すように、多数個のチップ片A1を縦横に
並べて一体化して成る素材の絶縁基板Aを使用し、この
絶縁基板Aにおける表面のうち、各チップ片A1の部分
の各々に、抵抗体パターンA2を、スクリーン印刷等に
て形成したのち、前記絶縁基板Aを、各チップ片A1の
間における筋目線A3に沿って、各チップ片A1ごとに
分割すると言う方法が採用されている。
【0003】また、この製造方法においては、前記抵抗
体パターンA2を形成したあとにおいて、当該各抵抗体
パターンA2における形状又は寸法等の良否を識別し、
絶縁基板Aにおける各抵抗体パターンA2のうち一つの
抵抗膜パターンA2に形状等の異常があると認められた
場合には、絶縁基板Aの全体を廃棄処分にすることが行
われている。
【0004】そして、従来、前記絶縁基板Aの表面に形
成した各抵抗体パターンA2における形状等の良否を識
別するに際しては、絶縁基板Aの表面を、多数個の抵抗
体パターンA2のうち複数個の抵抗体パターンA2を含
む複数の領域部分に分け、各両領域部分をテレビカメラ
等の撮影手段にて拡大して撮影し、この拡大撮影画像を
2値化の画像処理することによって得た処理データ画面
を、予め記憶しておいた基準パターンとを比較すること
によって、当該領域部分における各抵抗体パターンA2
の形状等の良否を識別することを、前記複数の領域部分
の全てについて行うようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この良否識別
方法は、複数の領域部分のうち一つの領域部分における
処理データ画面を基準パターンに比較して抵抗体パター
ンA2の良否を識別することを、前記複数の領域部分の
全てについて行うようにしなければならず、処理データ
画像と基準パターンとを比較することの回数が多いか
ら、一枚の絶縁基板Aにおける抵抗体パターンA2の全
てについて良否を識別することに要する時間が大幅に長
くなると言う問題があった。
【0006】本発明は、絶縁基板等の基板における表面
に多数個形成されている抵抗体パターン等のパターンに
対する良否の識別が、短い時間にてできるようにした方
法を提供することを技術的課題とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「基板の表面を、当該表面に一定の間
隔ピッチで形成されている多数個のパターンのうち複数
個のパターンを含む複数の領域部分に分け、この各領域
部分のうち任意の一つの領域部分における撮影画像を処
理して得た処理データ画面と、前記各領域部分のうち他
の一つの領域部分における撮影画像を処理して得た処理
データ画面とを比較して、その相違点を検出すること
を、前記全ての領域部分について行う。」と言うことに
した。
【0008】
【作 用】基板の表面に一定の間隔で形成されている
全ての各パターンにおける形状等が正常である場合に
は、複数の各領域部分のうち任意の一つの領域部分にお
ける撮影画像を処理して得た処理データ画面と他の一つ
の領域部分における撮影画像を処理して得た処理データ
画面とは同じになる一方、前記任意の一つの領域部分に
おける各パターンのうち少なくとも一つのパターンに異
常があるとき、又は、前記他の一つの領域部分における
各パターンのうち少なくとも一つのパターンに異常があ
る場合には、前記任意の一つの領域部分における撮影画
像を処理して得た処理データ画面と他の一つの領域部分
における撮影画像を処理して得た処理データ画面とは同
じにならない。
【0009】しかも、前記任意の一つの領域部分におけ
る各パターン及び他の一つの領域部分における各パター
ンのうち同じ箇所のパターンに同じような異常が発生す
ることの確率はきわめて低いのである。そこで、前記し
たように、任意の一つの領域部分における撮影画像を処
理して得た処理データ画面と、前記各領域部分のうち他
の一つの領域部分における撮影画像を処理して得た処理
データ画面とを比較して、その相違点を検出すること
を、前記全ての領域部分について行うことにより、基板
の表面における全てのパターンについて、その形状等の
異常の有無を確実に識別することができるのである。
【0010】
【発明の効果】このように、本発明は、基板における全
てのパターンの良否を、基板における各領域部分のうち
二つの領域部分における撮影画像を処理して得た処理デ
ータ画面を比較することによって識別するもので、一回
の比較によって二つ領域部分における各パターンの良否
を同時に識別することができ、比較することの回数が、
前記従来のように、一つの領域部分における撮影画像を
処理して得た処理データ画面と基準パターンとを比較す
ることを全ての領域部分について行う場合に比べて半分
になるから、一枚の基板における各パターンの全てにつ
いての良否を識別することに要する時間を、大幅に短縮
できて、その作業能率を向上でき、コストの低減を達成
できる効果を有する。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を、前記図1に示すチ
ップ型抵抗器の製造に使用にする素材の絶縁基板Aに対
して適用した場合の図面について説明する。図において
符号1は、XYテーブルを示し、このXYテーブル1
は、その上面に載置した前記絶縁基板Aを、駆動手段2
によってX方向とY方向との両方に移動するものであ
り、このXYテーブル1の上方には、前記絶縁基板Aの
表面を撮影するためのテレビカメラ等の撮影手段3が下
向きに配設されている。
【0012】符号4は、前記XYテーブル1の駆動手段
2、前記撮影手段3、後述する画像処理回路5及び排他
的理論和回路6を制御するための中央制御回路である。
すなわち、この中央制御回路4は、前記絶縁基板Aの表
面を、6個の抵抗体パターンA2を含む4個の領域部分
に分け、前記撮影手段3が絶縁基板Aの表面における各
領域部分のうちX1−Y1の領域部分を拡大して撮影す
ると、XYテーブル1を、絶縁基板Aの表面における各
領域部分のうちX2−Y2の領域部分を前記撮影手段3
にて拡大して撮影できるように移動することを、絶縁基
板Aの表面における各領域部分の全てにわたって行うよ
うに制御する。
【0013】前記画像処理回路5は、前記中央制御回路
4からの指令に基づいて、前記X1−Y1の領域部分を
拡大して撮影した撮影画像を2値化の画像処理すること
によって、図4に示すような処理データ画面7を得ると
共に、前記X2−Y2の領域部分を拡大して撮影した撮
影画像を2値化の画像処理することによって、図5に示
すような処理データ画面8を得る。
【0014】また、前記排他的理論和回路6は、前記中
央制御回路4からの指令に基づいて、前記X1−Y1の
領域部分における拡大撮影画像を処理して得た処理デー
タ画面7と、X2−Y2の領域部分における拡大撮影画
像を処理して得た処理データ画面8とを排他的論理和し
て、両者の相違点を比較し、両者に相違点がないと判断
されたときには、前記中央制御回路4に「0」の信号を
出して、前記と同様の操作を絶縁基板Aの表面における
4個の各領域部分のうち残りの二つ領域部分に対して行
う一方、前記の排他的論理和による比較にて両者に相違
点があると判断されたときには、前記中央制御回路4に
「1」の信号を出して、これ移行の操作を停止するよう
にする。
【0015】ところで、前記絶縁基板Aの表面に一定の
間隔で形成されている全ての各抵抗体パターンA2にお
ける形状等が正常である場合には、前記各領域部分のう
ちX1−Y1の領域部分における撮影画像を処理して得
た処理データ画面7と、前記各領域部分のうちX2−Y
2の領域部分における撮影画像を処理して得た処理デー
タ画面8とは同じになる一方、前記X1−Y1の領域部
分における各抵抗体パターンA2のうち少なくとも一つ
の抵抗体パターンに異常があるとき、又は、前記X2−
Y2の領域部分における各抵抗体パターンA2のうち少
なくとも一つの抵抗体パターンに異常がある場合には、
前記X1−Y1の領域部分における撮影画像を処理して
得た処理データ画面7と、前記X2−Y2の領域部分に
おける撮影画像を処理して得た処理データ画面8とは同
じにならない。
【0016】しかも、前記X1−Y1の領域部分におけ
る各抵抗体パターンA2及び前記X2−Y2の領域部分
における各抵抗体パターンA2のうち同じ箇所の抵抗体
パターンA2に同じような異常が発生することの確率は
きわめて低いのである。従って、前記のように、X1−
Y1の領域部分における拡大撮影画像を処理して得た処
理データ画面7と、X2−Y2の領域部分における拡大
撮影画像を処理して得た処理データ画面8とを排他的論
理和にて両者の相違点を比較し、両者に相違点がないと
判断されたときには、これと同様の操作を絶縁基板Aの
表面における4個の各領域部分のうち残りの二つ領域部
分に対して行うことにより、絶縁基板Aの表面における
全ての抵抗体パターンA2について、その形状等の異常
の有無を確実に識別することができるのである。
【0017】なお、絶縁基板Aの表面は、前記実施例の
ように、6個の抵抗体パターンA2を含む4個の領域部
分に分けることに限らず、抵抗体パターンA2の大き
さ、及び抵抗体パターンA2の個数に応じて、一つの領
域部分に含む抵抗体パターンA2の個数を増減したり、
或いは、領域部分の個数を増減したりしても良いのであ
る。
【0018】また、前記実施例では、チップ型抵抗器の
製造に使用にする素材の絶縁基板Aにおいて、その表面
に多数個形成されている各抵抗体パターンA2の良否を
識別する場合であったが、本発明は、これに限らず、前
記各抵抗体パターンA2を覆うオーバーコートの良否の
識別、このオーバーコートの表面に印刷等にて形成され
る文字等の標印(本発明におけるパターンには、この標
印を含む)の良否の識別に適用できることは勿論のこ
と、ハイブリット集積回路の製造に際して使用する素材
のプリント基板において、その表面に一定の間隔ピッチ
で同じ形状に多数個形成した各配線回路パターンの良否
の識別とか、或いは、積層型チップコンデンサの製造に
際して使用するセラミックシートにおいて、その表面に
一定の間隔ピッチで同じ形状に多数個形成した各内部電
極膜の良否の識別とか言ったその他にも適用できるので
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】チップ型抵抗器の製造に使用にする素材の絶縁
基板の斜視図である。
【図2】実施例の全体を示す図である。
【図3】撮影している状態を示す斜視図である。
【図4】任意の領域部分における撮影画像を処理して得
た処理データ画面を示す斜視図である。
【図5】別の領域部分における撮影画像を処理して得た
処理データ画面を示す斜視図である。
【符号の説明】
A 絶縁基板 A1 チップ片 A2 抵抗体パターン 1 XYテーブル 2 XYテーブルの駆動手段 3 撮影手段 4 中央制御回路 5 画像処理回路 6 排他的理論和回路 7,8 処理データ画面

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板の表面を、当該表面に一定の間隔ピッ
    チで形成されている多数個のパターンのうち複数個のパ
    ターンを含む複数の領域部分に分け、この各領域部分の
    うち任意の一つの領域部分における撮影画像を処理して
    得た処理データ画面と、前記各領域部分のうち他の一つ
    の領域部分における撮影画像を処理して得た処理データ
    画面とを比較して、その相違点を検出することを、前記
    全ての領域部分について行うことを特徴とする基板にお
    けるパターンの良否識別方法。
JP6156918A 1994-07-08 1994-07-08 基板におけるパターンの良否識別方法 Pending JPH0821802A (ja)

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JP6156918A JPH0821802A (ja) 1994-07-08 1994-07-08 基板におけるパターンの良否識別方法

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JPH0821802A true JPH0821802A (ja) 1996-01-23

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ID=15638226

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JP6156918A Pending JPH0821802A (ja) 1994-07-08 1994-07-08 基板におけるパターンの良否識別方法

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03102846A (ja) * 1989-09-18 1991-04-30 Hitachi Ltd パターン欠陥検出方法
JPH03232250A (ja) * 1989-12-20 1991-10-16 Hitachi Ltd パターン検査方法および装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03102846A (ja) * 1989-09-18 1991-04-30 Hitachi Ltd パターン欠陥検出方法
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