JPH082130B2 - 磁気浮上制御装置 - Google Patents

磁気浮上制御装置

Info

Publication number
JPH082130B2
JPH082130B2 JP9488688A JP9488688A JPH082130B2 JP H082130 B2 JPH082130 B2 JP H082130B2 JP 9488688 A JP9488688 A JP 9488688A JP 9488688 A JP9488688 A JP 9488688A JP H082130 B2 JPH082130 B2 JP H082130B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electromagnet
edge
sensor
distance
pallet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP9488688A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH01268408A (ja
Inventor
嘉隆 池田
綱一 井藤
則幸 川田
英雄 ▲塚▼本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP9488688A priority Critical patent/JPH082130B2/ja
Publication of JPH01268408A publication Critical patent/JPH01268408A/ja
Publication of JPH082130B2 publication Critical patent/JPH082130B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はクリンルーム内の搬送機、走行機等、例えば
フィルム2軸延伸機におけるクリップの浮上走行に適用
される磁気浮上走行制御装置に関する。
(従来の技術) 磁力によりパレットのような搬送体を浮上走行させる
装置としては、電磁石地上設置型と電磁石可動設置型の
2形式がある。
電磁石地上設置型の装置は、例えば地上に固定された
レールに走行体浮上用の電磁石、走行体案内用の電磁
石、制御回路等が設置され、走行体には余分な部材が搭
載されない。
一方、電磁石可動側設置型の装置では、上記浮上用電
磁石案内用電磁石、制御回路等が全て走行体に搭載され
るものである。
従って、電磁石地上設置型の例えば磁気浮上パレット
は電磁石可動側設置のそれに比べて、 (1) 電池または受電装置、電磁石、それらの制御回
路をパレットに搭載する必要がなく、パレットが軽量に
済むため可搬重量が大きい。
(2) 無接触給電の必要がなく、コンパクト化でき
る。
などの利点がある。
電磁石地上設置型の磁気浮上パレットを例にとって、
その構成を第5図及び第6図に基づいて説明すると、1
は地上に固定されたレール、2は走行体としてのパレッ
トである。パレット2は第5図において紙面に垂直方向
にリニアモータ又はチェーン(図示せず)等により駆動
牽引される。またレール1の長手方向両側には多数の浮
上用電磁石31〜3n〜3,41〜4n〜4と、多数の案内用電磁
石51〜5n〜5,61〜6n〜6が設置されると共に、各電磁石
とパレット2間のギャップ量を検出するギャップセン
サ、71〜7n〜7,81〜8n〜8,91〜9n〜9,101〜10n〜10が設
置されている。レール1のパレット走行部下面に設置さ
れるセンサ7,8はレール1とパレット2の上下方向のギ
ャップ量を検知し、レール1の両側面に設置されるセン
サ9,10はレール1とパレット2の水平方向のギャップ量
を検出する。このようにして電磁石とセンサが多数設置
されるので、図では電磁石とセンサの番号に右添字をつ
けて区別し、両部材を代表する符号には添字を付してい
ない。
パレット2の走行時は、上下方向ギャップセンサ7,8
で検出したギャップ量と垂直方向目標ギャップ量を一致
させるように浮上用電磁石3,4を制御し、水平方向ギャ
ップセンサ9,10で検出したギャップ量と水平方向目標ギ
ャップ量を一致させるように案内用電磁石5,6を制御す
れば、パレット2はレール1や各磁石3,4,5,6に接触す
ることなく浮上する。これを図示せぬリニアモータ又は
チェーン等により浮上したままの状態で牽引走行させ
る。
(発明が解決しようとする課題) しかるに、上述の走行体浮上制御装置では、例えば第
8図に示すようにセンサとパレット間のギャップ距離g
が一定であっても、センサ出力は第8図に示すようにパ
レットと相対しているセンサの計測面の面積によって変
化する。なお第7図における領域(I)、(II)、(II
I)は第8図の(I)、(II)、(III)に対応してお
り、第7図に記載された符号αは比例定数である。
センサがこのような特性を持っているため、パレット
のエッジ部では真のギャップ信号を得ることができな
い。そのためパレットはエッジ部で予定外の磁力変化を
受け、丁度外乱を受けた場合と同様の状態になり、小さ
な動揺を伴いながら浮上走行することになる。
そこで本発明の目的は、従来の装置では走行体が走行
安定性に欠けるという課題を解決しようとすることにあ
る。
(課題を解決するための手段) このため、本発明は第1請求項と第2請求項に記載し
た技術的事項をそれぞれに構成とし、これを上記課題の
解決手段とするものである。
即ち、第1請求項ではギャップセンサとは別に電磁石
毎にパレット(走行体)のエッジを検出するエッジ検出
センサを設置し、エッジ部ではギャップセンサからの信
号による制御を行わないようにする。
また、第2請求項では各電磁石毎にエッジ検出用セン
サを設置するのではなく、必要最小限のエッジ検出用セ
ンサからの信号をタイミング信号として用い、このタイ
ミング信号とパレットの長さ、速度よりパレットの現エ
ッジ位置を算出し、この算出に基づいて該当電磁石によ
るギャップ制御の開始と停止の処理を行う。
(作用) (1) 各電磁石毎にエッジセンサが設置され、個別に
電磁石を制御する場合、 第2図に示すように電磁石毎にギャップセンサとエッ
ジセンサを並設する。同図はレールの1側面に設置され
た電磁石5の場合についてのみ示しているが他の電磁石
3,4,6についても動揺である。同図において2はパレッ
ト、9はギャップセンサ、20はエッジセンサである。
以下、エッジセンサとして通常の変位センサを用いる
場合について説明する。パレット2が図の位置にあると
き、パレット2の前方にある最も近いエッジセンサ20
n+1の出力は第7図の(III)のようになっている。パレ
ット2がもう少し進行し、エッジセンサ20n+1の計測面
の全体が完全にパレット2に相対するようになると、出
力は第7図の(I)のようになる。従って、(III)の
出力レベルと(I)の出力レベルの間にスレッショルド
・レベルを設定しておき、出力が該レベルを通過する方
向も観測すれば、パレット2の前縁を検知することがで
きる。一方、パレット2が第2図の位置にあるとき、後
縁部に近いエッジセンサ20n-2の出力は第7図の(I)
のようになっている。パレット2がもう少し進行し、エ
ッジセンサ20n-2の計測面の全体が完全にパレット2と
相対さなくなると出力は第7図の(III)のようにな
る。従って、スレッショルド・レベルを通過する方向は
前縁検知とは逆になるが、上記前縁の検知と動揺に、パ
レット後縁の検知も可能である。
いま、あるエッジセンサがパレット2の前縁(後縁)
を検知した瞬間よりパレット2の速度情報を積分すれ
ば、該エッジセンサから前縁(後縁)までの距離を求め
ることができる。従って、同エッジセンサが設置された
電磁石を制御閉ループ内に取り組む(制御ONとする。)
のを、その電磁石のエッジセンサが前縁を検知してから
xHmm後と設定し、その電磁石を制御閉ループ内から除外
する(制御OFFとする。)のを、その電磁石のエッジセ
ンサが後縁を検知してからxTmm後と設定すれば、真のギ
ャップ信号が得られないエッジ部を除外して制御をする
ことになるため、パレットは揺動することなく安定して
浮上走行できるようになる。なお、ここでxH,xTは予め
適当に定められた定数である。
(2) 一部に電磁石にエッジセンサを設置し、計算に
より全電磁石を制御する場合、 第4図において、5はレールの一側面に設置される電
磁石、9はギャップセンサ、20はエッジセンサであり、
2はパレットである。ここでは、同図に示すようにレー
ル上の電磁石5が等ピッチpoで設置されている場合で、
かつ前項と同様にエッジセンサとして通常の変位センサ
を用いる場合について説明する。またこの場合、エッジ
センサ20oは理解し易いようにn+2個の電磁石9o〜9
n+1の最初の一つに設置してある。同エッジセンサ20o
用いて、前項と動揺にエッジセンサ20oとパレット2の
前縁までの距離lHを求め、以下に示すようなアルゴリズ
ムにより電磁石のON,OFFのコントロールを行えば前項と
同様な結果を得ることができる。n番目の電磁石5nに着
目すると、 lH<n×Po……電磁石5nの仮想エッジセンサ部にパレッ
ト2の前縁が未到達 lH=n×Po……仮想エッジセンサ部にパレット2の前縁
が到達 lH=n×Po+lo……仮想エッジセンサ部にパレット2の
後縁が到達 であるから、電磁石5nの制御のON,OFFのアルゴリズムは
次のようになる。
ここで、loはパレット2の長さ、xHはパレット2の前
縁到達後、制御ONまでの距離、xTはパレット2の後縁到
達後、制御OFFまでの距離である。
また仮想エッジセンサという語は、エッジセンサ20o
の電磁石5oに対すると同様な位置関係を、それぞれ対応
する電磁石との間に持つような仮想的な点という意味で
用いられている。すなわち、前項の方法は各電磁石にエ
ッジセンサを持つが、本項の方法では、エッジセンサは
1個で、残りの各電磁石は仮想的なエッジセンサを持っ
ているものとして計算により処理するものである。
なお、この説明では電磁石は等ピッチに配置されてい
る場合について述べたが、これに限るものではなく等ピ
ッチに配置されていない場合についても同様な方法で本
発明の採用が可能である。
また、以上ではエッジセンサとして通常の変位センサ
を用いる場合について示したが、エッジセンサはパレッ
トの有無を判定できれば良いのであるから、オン、オフ
タイプのセンサ、例えば光センサを採用することも可能
である。
(実施例) 以下、本発明を図示実施例に基づいて更に詳細に説明
する。
第1図は本発明の第1請求項に対応する代表的な一実
施例をブロック図で示したものである。同図には電磁石
5nに関するもののみを示しているが、他の電磁石につい
ても同様である。20nはエッジセンサ、21nはプロクシミ
タ、22nはパレット2の前縁検知回路、23nはエッジセン
サ20nとパレット2の前縁間の距離xFを速度情報または
エンコーダ等のパルス情報と前縁検知回路22nの出力と
を用いて計算する距離計算回路、24nは距離計算回路23n
で計算した距離xFが予めセットした距離xH以上になると
レベルHを出力する比較器である。25nは後縁検知回
路、26nはエッジセンサ20nとパレット2の後縁間の距離
xBを速度情報またはエンコーダ等のパルス情報と、後縁
検知回路25nの出力とを用いて計算する距離計算回路、2
7nは距離計算回路26nで計算した距離xBが予めセットし
た距離xT以上になるとレベルHを出力する比較器であ
る。9nはギャップセンサで、30nはプロクシミタ、31n
制御演算器で、目標ギャップ量と実ギャップ量(30n
出力)に演算処理を施し、切換スイッチ32nのA接点に
出力する。34nは信号発生器であり、その出力は切換ス
イッチ32nのB接点に接続されている。33nは電磁石を駆
動するための出力回路である。切換スイッチ32nは比較
器24nの出力がレベルHのときONとなりA接点に継が
り、比較器27nの出力がレベルHのときOFFとなりB接点
に継がるようになっている。
なお、前縁検知回路22nで前縁を検知すると後縁側距
離計算回路26nはリセットされる。また後縁検知回路25n
で後縁を検知すると前縁側距離計算回路23nはリセット
される。
第3図は本発明の第2請求項に対応する代表的な実施
例であり、上記実施例と同様電磁石5に関するもののみ
を示してあり、他の電磁石についても同様である。20o
はエッジセンサであり、21oはプロキシミタ、22oは前縁
検知回路である。23oはエッジセンサ20oとパレット2の
前縁間の距離lHを、速度情報またはエンコーダ等のパル
ス情報と前縁検知回路22oの出力とを用いて計算する距
離計算回路、28はエッジセンサ20oとパレット2の前縁
間の距離lHより前述の(1)式に基づいて電磁石5i(i
=o〜n)の制御をONするかOFFするかの制御信号C
i(i=o〜n)を出力する切換ロジック回路である。9
nはギャップセンサであり、30nはプロクシミタ、31n
制御演算器で目標ギャップ量と実ギャップ量(プロクシ
ミタ30nの出力)に演算処理を施し、切換スイッチ32n
A接点に出力する。34nは信号発生器であり、その出力
は切換スイッチ32nのB接点に接続されている。33nは電
磁石5nを駆動するための出力回路である。切換スイッチ
32nは切換ロジック回路28の出力Cnでコントロールされ
る。図では電磁石は5nしか示してないが他の電磁石につ
いても同様である。
(発明の効果) 以上、詳述に説明した如く、従来の浮上走行体の浮上
制御にあってはレールと走行体間でギャップを単にギャ
ップセンサを配設して行っているに過ぎないため、走行
体である例えばパレットのエッジ部において真のギャッ
プ信号が得られず、そのためエッジ部の通過時に電磁石
の制御が乱されてパレットに揺動が発生していたが、本
発明ではエッジ部におけるパレットとレール間距離を正
確に検出するエッジセンサを設けると共にエッジ部では
ギャップ信号を用いた制御を行わないようにしているの
で、揺動のない安定した走行体の浮上走行が可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例である浮上制御系のブロ
ック図、第2図は同実施例のセンサと電磁石の配置図、
第3図は本発明の第2の実施例である制御ブロック図、
第4図は同実施例のセンサと電磁石の配置図、第5図は
従来の電磁石地上設置型の磁気浮上制御装置の正面図、
第6図は第5図のA−A矢視図、第7図は変位センサの
対向面積に対する出力特性図、第8図はパレットと変位
センサの対向面積変化を示す説明図である。 図の主要部分の説明 1……レール 2……パレット(浮上体) 3,4……浮上用電磁石 5,6……案内用電磁石 7,8,9,10……ギャップセンサ 20……エッジセンサ 21……プロクシミタ 22……前縁検知回路 23……距離計算回路 24……比較器 25……後縁検知回路 26……距離計算回路 27……比較器 28……切換ロジック回路 32……切換スイッチ 33……出力回路 34……信号発生器
フロントページの続き (72)発明者 ▲塚▼本 英雄 愛知県名古屋市中村区岩塚町字高道1番地 三菱重工業株式会社名古屋研究所内 (56)参考文献 実開 昭63−48303(JP,U)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】レールに沿って多数の電磁石を配設すると
    共に、各電磁石毎にレールと走行体の間隔を検出するギ
    ャップセンサを配置し、同ギャップセンサからの検出信
    号に基づいて前記電磁石の磁力を制御する走行体の磁気
    浮上制御装置において、前記ギャップセンサとは別に電
    磁石毎に設置される走行体の前後縁を検出するエッジセ
    ンサと、同エッジセンサの信号から走行体の前後縁を検
    知する前後縁検知回路と、同検知回路からの信号により
    エッジセンサと走行体の前縁及び後縁間の距離を算出す
    る距離計算回路と、同距離計算回路で得られた距離と予
    め設定した値を比較して該当する電磁石のギャップ制御
    を開始するか停止するかを判断する比較器と、同比較器
    からの信号により前記制御をON、OFFに切換える切換ス
    イッチとからなることを特徴とする磁気浮上制御装置。
  2. 【請求項2】レールに沿って多数の電磁石を配設すると
    共に、各電磁石毎にレールと走行体の間隔を検出するギ
    ャップセンサを配置し、同ギャップセンサからの検出信
    号に基づいて前記電磁石の磁力を制御する走行体の磁気
    浮上制御装置において、前記多数の電磁石のうち基準と
    なる電磁石に対応して設置する走行体の前縁を検出する
    エッジセンサと、同エッジセンサからの信号により走行
    体の前縁を検知する前縁検知回路と、同前縁検知回路の
    出力をトリガしてエッジセンサと走行体前縁間の距離を
    算出する距離計算回路と、同距離計算回路により得た距
    離とエッジセンサから制御対象とする電磁石までの距離
    とから同電磁石によるギャップ制御の開始時期を判定す
    る切換ロジック回路と、該切換ロジック回路の出力によ
    り前記電磁石による制御を開始させる切換スイッチとか
    らなることを特徴とする磁気浮上制御装置。
JP9488688A 1988-04-18 1988-04-18 磁気浮上制御装置 Expired - Lifetime JPH082130B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9488688A JPH082130B2 (ja) 1988-04-18 1988-04-18 磁気浮上制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9488688A JPH082130B2 (ja) 1988-04-18 1988-04-18 磁気浮上制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01268408A JPH01268408A (ja) 1989-10-26
JPH082130B2 true JPH082130B2 (ja) 1996-01-10

Family

ID=14122528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9488688A Expired - Lifetime JPH082130B2 (ja) 1988-04-18 1988-04-18 磁気浮上制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH082130B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160060455A (ko) * 2014-11-20 2016-05-30 한국기계연구원 강자성체 플레이트를 갖는 자기 부상 시스템

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112848910B (zh) * 2021-02-02 2022-08-05 湖南凌翔磁浮科技有限责任公司 一种基于加速度信号故障诊断的磁悬浮列车悬浮控制方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160060455A (ko) * 2014-11-20 2016-05-30 한국기계연구원 강자성체 플레이트를 갖는 자기 부상 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01268408A (ja) 1989-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1282729C (en) Conveyor system utilizing linear motor
EP0160523B1 (en) Conveyor system
US4718621A (en) Automatic transportation system
JPH082130B2 (ja) 磁気浮上制御装置
JP3886252B2 (ja) 無人搬送車の走行制御方法
JP4131753B2 (ja) 搬送装置
JPS6152710A (ja) 無人誘導車
KR102470028B1 (ko) 리니어 엔코더 시스템과 이를 이용한 로프리스 엘리베이터 시스템
JP2592671B2 (ja) リニアモーター駆動の搬送装置
JP2001057713A (ja) リニアモータ駆動搬送車の速度、位置検出装置
JPH0438101A (ja) 地上一次リニアモータ式シャトル台車の速度制御方法及び速度制御装置
JP2597169B2 (ja) リニアモータ駆動の移動体の速度制御方法
EP0265570B1 (en) Automatic transportation system
JP3285104B2 (ja) リニアモータ利用の搬送設備
JP3109737B2 (ja) 浮上式搬送装置
JPH02236707A (ja) 無人車の走行制御装置
JPH0564311A (ja) リニア搬送装置
JPH09121402A (ja) 無人車の制御装置
JPS63198505A (ja) 走行体の速度検出装置
JP4015238B2 (ja) 走行体の走行駆動装置
JPH0726704Y2 (ja) 走行体の速度検出装置
JPH07329748A (ja) 無人搬送車の制動装置
JP3262618B2 (ja) ケーブルクレーンの走行位置検出方法
JP2624665B2 (ja) リニア誘導電動機の制御装置
JPH06351286A (ja) リニア搬送装置