JP4015238B2 - 走行体の走行駆動装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、走行体の走行駆動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
走行体の走行駆動装置として、近年同期型モータをリニア化したリニアモータを使用したものがある。
【0003】
而して、同期型モータをリニア化したリニアモータを走行駆動装置として使用する場合には、図6に示すごとく、軌道aに沿い走行し得るようにした走行体bにステータに相当するコイルcを搭載し、軌道aに沿ってロータに相当する多数の永久磁石dを配置した構成となっている。
【0004】
上述の装置においては、コイルcに交流電流を給電することにより、走行体bは推力を受け、軌道aに沿い走行し、交流電流の給電を停止することにより、走行体bは所定の位置に停止することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の装置においては、給電は走行体bに搭載されているコイルcに対して常時行わなければならないため、給電装置が複雑になると共に大量の電力を消費し、又軌道aに沿い多数の永久磁石dを配置する必要がある。従って、上記装置では、価格が高騰する虞れがある。
【0006】
更に、給電装置に接触給電方式を採用した場合には、摺接部の摩耗により発塵が生じるため、このような場合には、装置をクリーンルーム内のウエハ、液晶板、プラズマディスプレイパネル等の物品の搬送に使用することはできない。
【0007】
本発明は、上述の実情に鑑み、安価でクリーンルーム内でも使用可能な走行体の走行駆動装置を提供することを目的としてなしたものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の走行体の走行駆動装置は、
軌道に沿い走行する走行体に、該走行体走行方向へ向ってN極とS極とが対向するよう配置された複数の永久磁石と、
前記走行体に走行体の走行方向へ延在するよう設けられた第1、第2の検出体と、
前記軌道に沿い所要の間隔を置いて地上側に設置された複数のコイルと、
各コイルの近傍に配置されて前記第1の検出体との協働によりパルス信号を出力し得るようにしたパルス信号出力センサと、
前記各コイルの近傍に設置されて前記第2の検出体との協働によりオン信号を出力し得るよう走行体の走行方向へ向け並べて設置された複数のオン信号出力センサと、
前記複数のコイルのうち所定のコイルに給電を行うようにした制御部とを備え、
該制御部は、
前記オン信号出力センサのうち惰走して来た走行体側に近い第1のオン信号出力センサからの第1のオン信号により走行体に設けられた永久磁石の位置を確認し、
前記第1のオン信号がオフにならない間に惰走して来た走行体側から2番目の第2のオン信号出力センサから出力された第2のオン信号の立上り位置において、パルス信号出力センサからのパルス信号にもとづいて求めた走行体の惰走速度と同一の速度となるよう走行体を同調走行させるに必要な給電を所定のコイルに対して開始し、
前記第1のオン信号がオフになる立下りにより、該立下り位置から走行体が前記パルス信号をもとに求められた所定の距離だけ移動する間に走行体を予め設定された所定の走行速度になるよう加速若しくは減速し、或いは減速して停止させるよう、所定のコイルに給電を行い得るよう構成した
ものである。
【0009】
本発明では惰走から給電による同調走行へ衝撃が生じることなく円滑に切換えられ、第2のオン信号がオフになった立下り位置から走行体が所定の距離移動する間に走行体は設定された走行速度に加速若しくは減速され、或いは停止される。
【0010】
本発明は、永久磁石の数量が少く、給電による発塵が生じることもないため、安価でしかもクリーンルーム内での物品の搬送に使用することのできる走行体の走行駆動装置を提供できる。
【0011】
又、サーボ制御が可能なため走行体の停止精度も良い。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照しつつ説明する。
【0013】
図1〜図5は本発明の実施の形態の一例である。
【0014】
図1中、1は軌道2上を車輪3を介して走行し得るようにした台車等の走行体であり、該走行体1には、走行体1の走行方向と平行な方向へ向って、順次、N極、S極が交互に向いあった複数(図示例では合計6個)の、ロータに相当する永久磁石4,5が配設されている。
【0015】
地上側には、軌道2に沿って一定の間隔(例えば2〜3mの間隔)で複数のステータに相当するコイル6が配設されており、走行体1がコイル6部を通過する際、永久磁石4,5とコイル6との間には僅かなクリアランスが形成されて永久磁石4,5とコイル6とにより、同期型のリニアモータが構成されるようになっている。
【0016】
なお、コイル6においては、給電される三相(U,V,W相)の走行体1走行方向における極ピッチ(U,V,W相の巻線ピッチ)は永久磁石4,5の取付け間隔と同一である。
【0017】
走行体1には、走行体1の速度及び位置並に永久磁石4,5の位置を検出する際に使用するための検出体7と永久磁石4,5の位置を検出する際に使用するための検出体8とが走行体1の走行方向へ向って延在するよう設置されている。
【0018】
検出体7の詳細は図3に示され、帯板表面上に長手方向へ向って一定の幅T1(例えば2mm)の光遮蔽部7aと一定の幅T2(例えば2mm)の光透過スリット部7bとを交互に設けた形状となっている。
【0019】
検出体8の詳細は、図2に示され、帯板表面に長手方向へ向って一定の幅T3(例えば48mm)の光遮蔽部8aと一定の幅T4(例えば48mm)の光透過スリット部8bとを交互に設けた形状となっている。
【0020】
又、検出体7は検出体8よりも長く、図2に示すごとく走行体1の走行方向先後端部は、検出体8の先後端部よりも前方及び後方へ所定の長さだけ突出している。
【0021】
地上側の各コイル6の設置部近傍には、走行体1の速度及び位置並に永久磁石4,5の位置を検出する際に使用するための透過形光電スイッチ等の2個の光センサ9,10がパルス信号出力センサとして走行体1の走行方向へ近傍配置されている。而して、光センサ9,10の配置間隔は、中心間距離をL1(図2参照)とした場合、n(T1+T2)+(1/4)・(T1+T2)mm(n=1,2,3…)となるようにする。
【0022】
なお、光センサ9,10を2個設け、且つ互の中心間距離L1をn(T1+T2)+(1/4)・(T1+T2)mmとしたのは、以下に述べる理由による。
【0023】
すなわち、検出体7の光遮蔽部7a、光透過スリット部7bの幅T1,T2を小さくできれば、パルス信号の検出を細かくできるが、製作上限界がある。このため、光センサ9,10がどちらか1個の場合は、T1mm間隔でしかパルス信号を得られないが、光センサ9,10を2個配置して中心間距離L1をn(T1+T2)+(1/4)・(T1+T2)mmとすることにより、図4に示すごとく、(1/4)・(T1+T2)mm間隔でパルス信号を得ることができ、精度の高い制御が可能となるためである。すなわち、T1+T2=2.3+1.7=4mmの場合には、1mm間隔でパルス信号を得ることができるためである。なお、T1=2.3mm、T2=1.7mmとしたのは、光センサ9,10の回析・応答時間などから正確な等間隔のパルスを得るためである。
【0024】
光センサ9,10配置部の近傍には、永久磁石4,5の位置を検出する際に使用するための透過形光電スイッチ等の3個の光センサ11,12,13がオン信号出力センサとして走行体1の走行方向と平行な方向へ向って順次近接配置されている。而して、光センサ11,12,13の配置間隔は、本実施の形態例では中心間距離を図2に示すごとくL2,L3とした場合、L2=L3=T3=T4である。
【0025】
これは、制御時には、光センサ11,12,13からのオン信号U,V,Wのうちの何れかを常時発生させることにより、オン信号がなくならないようにし、制御可能なことを確認できるようにするためである。
【0026】
各光センサ9,10,11,12,13からは検出したパルス信号A,B、或いはオン信号U,V,Wを制御部14へ与え得るようになっており、制御部14からは所定のタイミングで所定のコイル6に交流電流を給電し得るようになっている。
【0027】
なお、光センサ9,10以外に光センサ11,12,13を設けたのは永久磁石4,5とミコイル6のU,V,W相の位置関係を知るためである。
【0028】
次に、本発明の実施の形態の作用について説明する。
【0029】
I)走行体1の加速若しくは減速を行う場合
走行体1がコイル6,6間において軌道2上を図1のD1方向へ前進走行している場合には、走行体1は惰性で走行しており(惰走)、このため、制御部14から各コイル6には給電は行われず、制御部14は待機の状態にある。
【0030】
走行体1が軌道2を惰走して所定のステージのコイル6へ接近すると、検出体の光遮蔽部7aにより光センサ9,10の光を遮蔽することにより、光センサ9,10からは図5のニに示すごとく、パルス信号A,Bの出力が開始され、出力されたパルス信号A,Bは制御部14へ入力される。このときのパルス信号A,Bは、走行体1が(1/4)・(T1+T2)mm距離(本実施の形態例の場合は1mm間隔)だけ移動するごとに発生する。
【0031】
パルス信号A,Bが制御部14へ入力されると、制御部14では、単位時間当りのパルス信号A,Bの数をもととして、走行体1の惰走速度の演算が開始されると共に走行体1の位置の演算が開始される。
【0032】
さらに、走行体1がD1方向へ走行して検出体8の走行方向先端の光遮蔽部8aが光センサ11の光を遮蔽することにより光センサ11からは、図5のイに示すごときオン信号Uが出力されて制御部14へ与えられる。これにより、走行体1の永久磁石4,5の軌道2上における位置が確認される。
【0033】
なおも、走行体1がD1方向へ走行して検出体8の走行方向先端の光遮蔽部8aが光センサ12の光を遮蔽することにより、光センサ12からは、図5のロに示すごときオン信号Vが出力されて制御部14へ与えられる。このオン信号Vの立上りにより、走行体1の永久磁石4,5が軌道2上において制御を開始すべき位置X1に到達したことが確認される。
【0034】
このため制御部14による制御が開始されて制御部14からは、位置X1における走行体1の惰走速度に相当する交流電流が走行体1の永久磁石4,5と対応しているコイル6に対して給電され、その結果、走行体には走行体1の走行方向へ向けて所定の推力が作用し、走行体1は、惰走から動力による同調走行へ衝撃を受けることなく円滑に切換えられる。
【0035】
又、走行体1が位置X1において同調走行へ切換わると、光センサ9,10により検出された単位時間当りパルス信号A,Bの数から求めたそのときの走行体1の走行速度及び走行体1の位置並に当該ステージにおける走行体1の設定走行速度更には予め設定された加速カーブ或いは減速カーブから、軌道2上の加速開始位置或いは減速開始位置が演算される。
【0036】
而して、走行体1が更にD1方向へ走行して検出体8の走行体1走行方向先端部における光遮蔽部8aが光センサ11を通過すると、オン信号Uがオフとなり、このオン信号Uの立下りにより、走行体1の加速開始位置或いは減速開始位置までの距離のカウントを開始すべき位置X2に走行体1が到達したことが確認される。
【0037】
従って、以降は、走行体1のD1方向への走行に伴い、光センサ9,10により検出されたパルス信号A,Bの数から走行体1が加速開始位置或いは減速開始位置に来たか否かが判定され、走行体1が加速開始位置或いは減速開始位置に到達すると、制御部14から当該ステージのコイル6に給電される交流電流が設定された加速カーブ或いは減速カーブにもとづいて制御され、その結果、走行体1の走行方向と平行に働く推力の大きさ及び方向が調整されて走行体1が所定の位置で所定の走行速度に到達するよう加速或いは減速が行われ、走行体1の速度制御が行われる。
【0038】
斯かる速度制御を行っている間は、図5に示すごとく、光センサ11,12,13により検出されるオン信号U,V,Wのうちの少くとも何れか1個が常時発生しており、オン信号が消えることがないため、制御が可能なことを確認できる。
【0039】
而して、走行体1が走行してオン信号U,V,Wの全てが切れたら、制御部14からコイル6への給電は停止され、制御部14は待機状態になると共に走行体1は次のステージのコイル6まで、軌道2上を惰走する。
【0040】
II)走行体1の停止を行う場合
この場合には、走行体1が惰走から、衝撃を受けることなく動力による同調走行へ切換わるまでの作動は、走行体1の加速或いは減速を行う場合と同一である(図5の位置X1まで)。
【0041】
走行体1が位置X1において同調走行へ切換わると、光センサ9,10により検出された単位時間当りのパルス信号A,Bの数から求めたそのときの走行体1の走行速度、及び位置X1からの走行体1の停止すべき位置までの距離、並に予め設定された減速カーブから軌道2上の減速開始位置が演算される。
【0042】
而して、走行体1がD1方向へ走行して検出体8の走行体1走行方向先端部における光遮蔽部8aが光センサ11を通過すると、オン信号Uがオフとなり、このオン信号Uの立下りにより、走行体1は走行体1の減速開始位置までの距離のカウントを開始すべき位置X2に到達したことが確認される。
【0043】
従って、以降は走行体1のD1方向への走行に伴い、光センサ9,10により検出されたパルス信号A,Bの数から走行体1が減速開始位置に来たか否かが到達され、走行体1が減速開始位置に到達すると、制御部14から当該ステージのコイル6に給電される交流電流が設定された減速カーブにもとづいて制御され、その結果走行体1の走行方向と逆の方向に推力が付与されて走行体1は走行速度が零になるまで徐々に減速され、走行体1は所定の位置に正確に停止する。停止時にはコイル6には微電流が供給されており、走行体1が前後どちらかにずれたときには、給電量を増加してもとの位置へ戻す(サーボロック)。
【0044】
なお、走行体1が走行方向D1と反対方向に移動する場合には、永久磁石4,5の最初の位置の確認は、光センサ13によるオン信号W(図5のハ参照)により行われる。
【0045】
本実施の形態例においては同期モータをリニア化したリニアモータを使用しているため、サーボ制御が可能となり、従って走行体1の停止位置精度が向上する。
【0046】
又、給電は地上側に設けたコイル6により行うため、コイルが走行体に搭載されている場合に必要な特別な給電装置は必要なく、従って、給電装置の摺接により生じる発塵の虞れもなく、クリーンルームでのウエハ、液晶板、プラズマディスプレイパネル等の物品の搬送に適用することができる。
【0047】
更に、永久磁石4,5は走行体1に搭載してあり、従って永久磁石4,5の数量は少くてすみ、又コイル6は地上側に所定の間隔で設けてあり、給電は走行体1に対応した所定のコイル6に行うだけで良いため、消費電力が減少する。このため、本実施の形態例における走行駆動装置の設備費、運転維持費が安価となる。
【0048】
更に又、光センサ11,12,13により検出したオン信号U,V,Wを永久磁石4,5の位置の検出の他に、制御開始/終了の信号や位置決めを開始するための位置を検出する信号としても使用するようにしたので、センサの削減や制御部14の外部制御の簡略化が可能となった。
【0049】
なお、本発明の実施の形態例においては、センサとして光センサを使用する場合について説明したが、非接触式のセンサなら光センサに限らず渦電流センサ等種々のセンサを使用することが可能なこと、走行体の走行速度等を求めるために使用するセンサは、コイル1箇所に対して2個用いる場合について説明したが、1個であっても実施可能なこと、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ること、等は勿論である。
【0050】
【発明の効果】
本発明の走行体の走行駆動装置によれば、下記のごとき種々の優れた効果を奏し得る。
【0051】
I)永久磁石の数が少く、コイルへの給電も常時行う必要がないため、設備費、運転維持費が安価となる。
【0052】
II)発塵部がないためクリーンルームに使用することができる。
【0053】
III)同期モータをリニア化したためサーボ制御が可能となり、従って走行体の停止精度が向上する。
【0054】
IV)複数のオン信号出力センサで検出したオン信号を種々の用途に使用しているため、オン信号出力センサの数量が削減されると共に制御部の外部制御が簡略化された。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の走行体の走行駆動装置の実施の形態の一例を示す概要図である。
【図2】本発明の走行体の走行駆動装置において、走行体及び検出体並に光センサの配置状態を示す斜視図である。
【図3】走行体の走行速度等を求める際に使用する検出片の正面図である。
【図4】図3の検出片を用いる場合に光センサを2個配置する理由を説明するための概念図である。
【図5】本発明の走行体の走行駆動装置において制御を行う際の信号の状態を示す図である。
【図6】従来の走行体の走行駆動装置の概念図である。
【符号の説明】
1 走行体
2 軌道
4,5 永久磁石
6 コイル
7,8 検出体
9,10 光センサ(パルス信号出力センサ)
11,12,13 光センサ(オン信号出力センサ)
14 制御部
U,V,W オン信号
A,B パルス信号
Claims (1)
- 軌道に沿い走行する走行体に、該走行体走行方向へ向ってN極とS極とが対向するよう配置された複数の永久磁石と、
前記走行体に走行体の走行方向へ延在するよう設けられた第1、第2の検出体と、
前記軌道に沿い所要の間隔を置いて地上側に設置された複数のコイルと、
各コイルの近傍に配置されて前記第1の検出体との協働によりパルス信号を出力し得るようにしたパルス信号出力センサと、
前記各コイルの近傍に設置されて前記第2の検出体との協働によりオン信号を出力し得るよう走行体の走行方向へ向け並べて設置された複数のオン信号出力センサと、
前記複数のコイルのうち所定のコイルに給電を行うようにした制御部とを備え、
該制御部は、
前記オン信号出力センサのうち惰走して来た走行体側に近い第1のオン信号出力センサからの第1のオン信号により走行体に設けられた永久磁石の位置を確認し、
前記第1のオン信号がオフにならない間に惰走して来た走行体側から2番目の第2のオン信号出力センサから出力された第2のオン信号の立上り位置において、パルス信号出力センサからのパルス信号にもとづいて求めた走行体の惰走速度と同一の速度となるよう走行体を同調走行させるに必要な給電を所定のコイルに対して開始し、
前記第1のオン信号がオフになる立下りにより、該立下り位置から走行体が前記パルス信号をもとに求められた所定の距離だけ移動する間に走行体を予め設定された所定の走行速度になるよう加速若しくは減速し、或いは減速して停止させるよう、所定のコイルに給電を行い得るよう構成した
ことを特徴とする走行体の走行駆動装置。
Priority Applications (1)
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JP25672997A JP4015238B2 (ja) | 1997-09-22 | 1997-09-22 | 走行体の走行駆動装置 |
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JP25672997A JP4015238B2 (ja) | 1997-09-22 | 1997-09-22 | 走行体の走行駆動装置 |
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JPH1198878A JPH1198878A (ja) | 1999-04-09 |
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