JPH0820727B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物Info
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- JPH0820727B2 JPH0820727B2 JP61286045A JP28604586A JPH0820727B2 JP H0820727 B2 JPH0820727 B2 JP H0820727B2 JP 61286045 A JP61286045 A JP 61286045A JP 28604586 A JP28604586 A JP 28604586A JP H0820727 B2 JPH0820727 B2 JP H0820727B2
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- Japan
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- meth
- photosensitive resin
- acrylate
- resin composition
- sulfonic acid
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/008—Azides
- G03F7/012—Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders
- G03F7/0125—Macromolecular azides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binder or the macromolecular additives other than the macromolecular azides
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- General Physics & Mathematics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は染色可能な感光性樹脂組成物に関する。
［従来の技術］ 従来カラービデオカメラ等に使用するカラーフィルタ
ーの製造方式としては、ガラス基板上にレリーフパター
ン状の樹脂層を設け該樹脂層を染料等により染色して着
色樹脂層を形成していく工程をフィルターが必要とする
色数だけ複数回繰り返して作る（この方法を一部ではレ
リーフ染色法と称している）有機系フィルターが一般的
であるが、このレリーフ染色法においてレリーフパター
ンを形成する感光性樹脂としてはゼラチン、カゼイン、
フィッシュグルー、卵白等の天然蛋白質に重クロム酸ナ
トリウム、重クロム酸カリウム、重クロム酸アンモニウ
ム等の重クロム酸塩を添加したものが用いられている。
この天然蛋白系の感光性樹脂は、解像度はほぼ満足でき
る性能があるが感度が低く暗反応を起こし易く、天然物
であるために腐敗し易く、更に人体に有害なクロム化合
物を用いなければならないという欠点がある。
ーの製造方式としては、ガラス基板上にレリーフパター
ン状の樹脂層を設け該樹脂層を染料等により染色して着
色樹脂層を形成していく工程をフィルターが必要とする
色数だけ複数回繰り返して作る（この方法を一部ではレ
リーフ染色法と称している）有機系フィルターが一般的
であるが、このレリーフ染色法においてレリーフパター
ンを形成する感光性樹脂としてはゼラチン、カゼイン、
フィッシュグルー、卵白等の天然蛋白質に重クロム酸ナ
トリウム、重クロム酸カリウム、重クロム酸アンモニウ
ム等の重クロム酸塩を添加したものが用いられている。
この天然蛋白系の感光性樹脂は、解像度はほぼ満足でき
る性能があるが感度が低く暗反応を起こし易く、天然物
であるために腐敗し易く、更に人体に有害なクロム化合
物を用いなければならないという欠点がある。
一方上記欠点を解決するために染色可能な合成樹脂に
アジド化合物やジアゾ化合物を加えた感光性樹脂組成物
が提案されている。例えば特開昭58-199342号公報には
光架橋剤としてジアゾ化合物又はアジド化合物を用い の２式を構成成分とする樹脂組成物が提案されている。
アジド化合物やジアゾ化合物を加えた感光性樹脂組成物
が提案されている。例えば特開昭58-199342号公報には
光架橋剤としてジアゾ化合物又はアジド化合物を用い の２式を構成成分とする樹脂組成物が提案されている。
また、特開昭59-155412号公報には光架橋剤としてビ
スアジド化合物を用い、N-ビニルピロジノン、４級アミ
ンの構造を有する単量体及び （Ｒ＝C1〜C8）で表わされる単量体の３元共重合体から
なる感光性樹脂組成物が提案されている。
スアジド化合物を用い、N-ビニルピロジノン、４級アミ
ンの構造を有する単量体及び （Ｒ＝C1〜C8）で表わされる単量体の３元共重合体から
なる感光性樹脂組成物が提案されている。
これらの合成物はゼラチン等の天然物のように腐敗す
ることがなく、また光架橋剤としては重クロム酸塩、ジ
アゾ化合物、アジド化合物のいずれも使用可能であるが
特にビスアジド化合物を用いた場合には高感度で、しか
も暗反応の少ない安定な感光性樹脂として使用できる。
ることがなく、また光架橋剤としては重クロム酸塩、ジ
アゾ化合物、アジド化合物のいずれも使用可能であるが
特にビスアジド化合物を用いた場合には高感度で、しか
も暗反応の少ない安定な感光性樹脂として使用できる。
しかし、これらの合成樹脂は耐水性が悪く、現像には
有機溶媒を用いなけれはならず、水で現像するとパター
ンのくずれ、やせなどが見られるという欠点があった。
有機溶媒を用いなけれはならず、水で現像するとパター
ンのくずれ、やせなどが見られるという欠点があった。
［発明が解決しようとする問題点］ 以上のべたように、従来の天然タンパクを用いた方法
では諸問題があり、合成品はその問題の多くを解決する
が、耐水性が天然タンパクに比べ著しく劣り、溶剤現像
しなければならず、作業環境への悪影響をおこすことが
予想される。耐水性をあげるためには、樹脂組成物の分
子量を上げることや疎水性の単量体を増やしたり、ビス
アジド化合物の添加量を多くする方法など挙げられる
が、分子量を上げると解像性が悪くなり、疎水性単量体
をふやすと染色性が悪くなり、ビスアジドをふやすと著
しい着色をきたすという問題がある。
では諸問題があり、合成品はその問題の多くを解決する
が、耐水性が天然タンパクに比べ著しく劣り、溶剤現像
しなければならず、作業環境への悪影響をおこすことが
予想される。耐水性をあげるためには、樹脂組成物の分
子量を上げることや疎水性の単量体を増やしたり、ビス
アジド化合物の添加量を多くする方法など挙げられる
が、分子量を上げると解像性が悪くなり、疎水性単量体
をふやすと染色性が悪くなり、ビスアジドをふやすと著
しい着色をきたすという問題がある。
［問題点を解決するための手段］ 本発明の目的は、着色が少なく、高感度で水現像によ
り５μｍ以下の解像性と高残膜率を有し、染色性が良
く、染色時の膜あれが少ない安定性の良い感光性樹脂組
成物を提供することにある。
り５μｍ以下の解像性と高残膜率を有し、染色性が良
く、染色時の膜あれが少ない安定性の良い感光性樹脂組
成物を提供することにある。
本発明によれば、A.スルホン酸基を少なくとも１つ有
するスルホン酸基含有単量体、B.ジメチルアミノプロピ
ルメタクリルアミド及びその４級塩、３−ジメチルアミ
ノ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート及び
その４級塩、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレー
ト及びその４級塩から選択される含窒素単量体およびC.
アジド化合物と光架橋可能な単量体を構成成分とする共
重合体にビスアジド化合物を添加してなる感光性樹脂組
成物が提供される。
するスルホン酸基含有単量体、B.ジメチルアミノプロピ
ルメタクリルアミド及びその４級塩、３−ジメチルアミ
ノ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート及び
その４級塩、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレー
ト及びその４級塩から選択される含窒素単量体およびC.
アジド化合物と光架橋可能な単量体を構成成分とする共
重合体にビスアジド化合物を添加してなる感光性樹脂組
成物が提供される。
すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は染色性の機能
を有する含窒素単量体と、アジド化合物との架橋にたず
さわる単量体と、水現像可能にする程耐水性を上げるス
ルホン酸基含有単量体を構成成分とする共重合体にビス
アジド化合物を添加してなるものである。
を有する含窒素単量体と、アジド化合物との架橋にたず
さわる単量体と、水現像可能にする程耐水性を上げるス
ルホン酸基含有単量体を構成成分とする共重合体にビス
アジド化合物を添加してなるものである。
本発明者らはスルホン酸基含有単量体を共重合体の構
成成分に加えることで耐水性が向上し現像後のパターン
の膨潤、パターンのくずれエッジの立ち、染色時の膜荒
れ等が著しく改善されることを発見した。
成成分に加えることで耐水性が向上し現像後のパターン
の膨潤、パターンのくずれエッジの立ち、染色時の膜荒
れ等が著しく改善されることを発見した。
スルホン酸基含有単量体としては、アクリルアミド2-
メチルスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレー
ト、スルホエチル（メタ）アクリレート、スルホプロピ
ルイタコン酸、ビニルスルホン酸、アリルスルホン酸、
スチレンスルホン酸、スルホプロピルベタイン等が挙げ
られるが、他の単量体との共重合性、耐水性の面でアク
リルアミド2-メチルスルホン酸、スルホプロピル（メ
タ）アクリレート、スルホエチル（メタ）アクリレー
ト、スルホプロピルイタコン酸が好ましい。このスルホ
ン酸基含有単量体は少なすぎると耐水性が上がらず、多
すぎると他の架橋モノマーや染色モノマーの含量が減少
してしまい、本発明の感光性染色樹脂としての機能を発
揮しないので、共重合の組成比は0.1〜40重量％、さら
に好ましくは５〜20重量％である。
メチルスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレー
ト、スルホエチル（メタ）アクリレート、スルホプロピ
ルイタコン酸、ビニルスルホン酸、アリルスルホン酸、
スチレンスルホン酸、スルホプロピルベタイン等が挙げ
られるが、他の単量体との共重合性、耐水性の面でアク
リルアミド2-メチルスルホン酸、スルホプロピル（メ
タ）アクリレート、スルホエチル（メタ）アクリレー
ト、スルホプロピルイタコン酸が好ましい。このスルホ
ン酸基含有単量体は少なすぎると耐水性が上がらず、多
すぎると他の架橋モノマーや染色モノマーの含量が減少
してしまい、本発明の感光性染色樹脂としての機能を発
揮しないので、共重合の組成比は0.1〜40重量％、さら
に好ましくは５〜20重量％である。
染色の機能を有する含窒素単量体としてはジメチルア
ミノプロピルメタクリルアミド及びその４級塩、3-ジメ
チルアミノ‐2-ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレー
ト及びその４級塩、ジメチルアミノエチル（メタ）アク
リレート及びその４級塩である。これらの単量体は少な
すぎると充分な染色性が得られず、多すぎるとどうして
も水に弱くなりパターンのくずれを起し易くなるので、
５〜40重量％好ましくは、10〜30重量％である。
ミノプロピルメタクリルアミド及びその４級塩、3-ジメ
チルアミノ‐2-ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレー
ト及びその４級塩、ジメチルアミノエチル（メタ）アク
リレート及びその４級塩である。これらの単量体は少な
すぎると充分な染色性が得られず、多すぎるとどうして
も水に弱くなりパターンのくずれを起し易くなるので、
５〜40重量％好ましくは、10〜30重量％である。
アジド化合物と架橋可能な単量体としては、アミド
基、水酸基、ニトリル基等の官能基をもったものであれ
ばよく、アクリルアミド、N-メチルアクリルアミド、N-
ビニルピロリドン等のアミド基含有モノマー、ヒドロキ
シエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレートのε‐カプロラクトン付加物、ヒドロ
キシブチル（メタ）アクリレート等の水酸基含有モノマ
ー、アクリロニトリル等がある。これらの単量体はアジ
ド化合物との反応性により、適当な添加量は変るが、10
〜40重量％の比率で使用されるのが好ましい。
基、水酸基、ニトリル基等の官能基をもったものであれ
ばよく、アクリルアミド、N-メチルアクリルアミド、N-
ビニルピロリドン等のアミド基含有モノマー、ヒドロキ
シエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレートのε‐カプロラクトン付加物、ヒドロ
キシブチル（メタ）アクリレート等の水酸基含有モノマ
ー、アクリロニトリル等がある。これらの単量体はアジ
ド化合物との反応性により、適当な添加量は変るが、10
〜40重量％の比率で使用されるのが好ましい。
本発明の共重合体は、現像性を調節するために親水性
モノマーや、疎水性モノマーを染色性、現像性を損なわ
ない範囲で共重合組成に加えてもかまわない。親水性モ
ノマーとしてはジメチル（メタ）アクリルアミド、N-モ
ルホリル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルア
ミド等があり、疎水性モノマーとしてはメチル（メタ）
アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、n-プロピ
ル（メタ）アクリレート、i-ブチル（メタ）アクリレー
ト、t-ブチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
モノマーや、疎水性モノマーを染色性、現像性を損なわ
ない範囲で共重合組成に加えてもかまわない。親水性モ
ノマーとしてはジメチル（メタ）アクリルアミド、N-モ
ルホリル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルア
ミド等があり、疎水性モノマーとしてはメチル（メタ）
アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、n-プロピ
ル（メタ）アクリレート、i-ブチル（メタ）アクリレー
ト、t-ブチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
ビスアジド化合物は光架橋剤として用いるがその例と
しては、4,4′ジアジドスチルベン‐2,2′‐ジスルホン
酸ナトリウム、4,4′‐ジアジドカルコン、1,,3-ビス
（４′アジドベンザル）‐2-プロパノン‐２′,2′‐ジ
スルホン酸ナトリウム、2,6-ビス（４′アジドベンザ
ル）シクロヘキサノン‐２′,2′‐ジスルホン酸ナトリ
ウム、2,6-ビス（４′アジドベンザル）メチルシクロヘ
キサノン‐２′,2′‐ジスルホン酸ナトリウム等が挙げ
られ共重合体に対し１〜10重量％添加される。
しては、4,4′ジアジドスチルベン‐2,2′‐ジスルホン
酸ナトリウム、4,4′‐ジアジドカルコン、1,,3-ビス
（４′アジドベンザル）‐2-プロパノン‐２′,2′‐ジ
スルホン酸ナトリウム、2,6-ビス（４′アジドベンザ
ル）シクロヘキサノン‐２′,2′‐ジスルホン酸ナトリ
ウム、2,6-ビス（４′アジドベンザル）メチルシクロヘ
キサノン‐２′,2′‐ジスルホン酸ナトリウム等が挙げ
られ共重合体に対し１〜10重量％添加される。
上記条件で調整される本発明の感光性樹脂は、ガラス
基板にロールコート、スピンコート等で塗布され乾燥後
原版マスクを介して光硬化され、水によって未露光部分
を除去し、レリーフパターンを作ることができる。
基板にロールコート、スピンコート等で塗布され乾燥後
原版マスクを介して光硬化され、水によって未露光部分
を除去し、レリーフパターンを作ることができる。
本発明の感光性樹脂を染色するのに用いられる染料と
してはラナゾールブルー8G（チバガイギー社製）スミラ
イトスプラ、ブリリアントブルーＧ、スミフィクスター
キスブルーGX、スミノールファストレッドＧ、スミノー
ルミリングブリリアントレッド4BS、スミノールミリン
グイエローMR、スミノールファストイエローＧ（以上住
友化学社製）；カヤノールサイアニンＧ、カヤーノール
イエローN5G、カヤノールミリングレッドRS（以上日本
化薬社製）クマシーブリリアントブルーＲ、アリザリン
ルビノールＲ、キシレンファストイエロー2G（以上東京
化成（株）製）等が挙げられ、その染色条件は必要な分
光濃度に応じて染料及び染色温度、時間が決定されるも
のである。
してはラナゾールブルー8G（チバガイギー社製）スミラ
イトスプラ、ブリリアントブルーＧ、スミフィクスター
キスブルーGX、スミノールファストレッドＧ、スミノー
ルミリングブリリアントレッド4BS、スミノールミリン
グイエローMR、スミノールファストイエローＧ（以上住
友化学社製）；カヤノールサイアニンＧ、カヤーノール
イエローN5G、カヤノールミリングレッドRS（以上日本
化薬社製）クマシーブリリアントブルーＲ、アリザリン
ルビノールＲ、キシレンファストイエロー2G（以上東京
化成（株）製）等が挙げられ、その染色条件は必要な分
光濃度に応じて染料及び染色温度、時間が決定されるも
のである。
［実施例］ 次に実施例を挙げて本発明を更に詳しく説明する。
実施例−１ 300ml丸底フラスコに下記の比率で単量体、溶剤、開
始剤を仕込み、窒素ガスを吹きこみながら混合溶解し、
70℃まで昇温し、そのまま５時間かきまぜて重合した。
始剤を仕込み、窒素ガスを吹きこみながら混合溶解し、
70℃まで昇温し、そのまま５時間かきまぜて重合した。
重合液は多量の酢酸エチルに滴下していき、沈殿精製
し、乾燥後樹脂10gに対しメチルセロソルブ90gを加えて
溶解し樹脂液とした。
し、乾燥後樹脂10gに対しメチルセロソルブ90gを加えて
溶解し樹脂液とした。
ヒドロキシエチルメタクリレート 12g（HEMP） ジメチルアミノプロピルメタクリル アミドのメチルクロライド塩 9g（MAPTAC） メタアクリルアミド 9g（DMAA） アクリルアミド２メチル プロパンスルホン酸 12g（AMPS） メチルメタクリレート 18g（MMA） アゾビスイソブチロニトリル 0.15g（AIBN） メチルセロソルブ 140g 上記樹脂液100gに4,4′−ジアジドスチルベンジスル
ホン酸ナトリウムを0.3g添加溶解し感光性樹脂液とし
た。この樹脂液をガラス板状にスピンコートし、80℃20
分間乾燥し、膜厚１μとした。これを超高圧水銀灯にて
マスクを介して露光し純水にて現像した。このレリーフ
パターンは５μｍラインアンドスペースがきれ、膜べり
や膜荒れはみられなかった。またエッジのくずれや膨潤
もなかった。
ホン酸ナトリウムを0.3g添加溶解し感光性樹脂液とし
た。この樹脂液をガラス板状にスピンコートし、80℃20
分間乾燥し、膜厚１μとした。これを超高圧水銀灯にて
マスクを介して露光し純水にて現像した。このレリーフ
パターンは５μｍラインアンドスペースがきれ、膜べり
や膜荒れはみられなかった。またエッジのくずれや膨潤
もなかった。
また、このレリーフパターンを住友化学社製「スミラ
イトスプラターコイスブルーＧ」0.5重量％、酢酸1.0重
量％、水98.5重量％からなる染色槽に５分間染色したと
ころ、あざやかな青色に染まり、膜荒れや、エッジのく
ずれは見られなかった。
イトスプラターコイスブルーＧ」0.5重量％、酢酸1.0重
量％、水98.5重量％からなる染色槽に５分間染色したと
ころ、あざやかな青色に染まり、膜荒れや、エッジのく
ずれは見られなかった。
また同様に、住友化学社製「スミノールミリングブリ
リアントレッド4BS」日本化薬社製「カヤノールイエロ
ーN5G」を用いて染色したところ、それぞれあざやかな
赤及び黄色に染まり、膜荒れやエッジのくずれは見られ
なかった。
リアントレッド4BS」日本化薬社製「カヤノールイエロ
ーN5G」を用いて染色したところ、それぞれあざやかな
赤及び黄色に染まり、膜荒れやエッジのくずれは見られ
なかった。
実施例−２〜７、比較例−１〜２ 実施例−１と同様な処法にて表−１に示した組成の樹
脂の重合、評価を行った。
脂の重合、評価を行った。
第１図に、実施例１及び比較例１におけるイエローの
分光透過率を示す。実施例１、比較例１ともに500nm以
下の透過率は、低くよく染まっているが600nmから700nm
の透過率が比較例１では低く膜あれをおこしていること
がわかる。
分光透過率を示す。実施例１、比較例１ともに500nm以
下の透過率は、低くよく染まっているが600nmから700nm
の透過率が比較例１では低く膜あれをおこしていること
がわかる。
第１図は実施例及び比較例１におけるイエローの分光透
過率を示すグラフである。
過率を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 繁章 奈良県大和郡山市城町1805番地の23 (56)参考文献 特開 昭56−60431（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−147031（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−124729（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−174541（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】A.スルホン酸基を少なくとも１つ有するス
ルホン酸基含有単量体、B.ジメチルアミノプロピルメタ
クリルアミド及びその４級塩、３−ジメチルアミノ−２
−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート及びその４
級塩、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート及び
その４級塩から選択される含窒素単量体およびC.アジド
化合物と光架橋可能な単量体を構成成分とする共重合体
にビスアジド化合物を添加してなる感光性樹脂組成物。 - 【請求項２】スルホン酸基含有単量体が、アクリルアミ
ド２−メチルプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メ
タ）アクリレート、スルホエチル（メタ）アクリレー
ト、又はスルホプロピルイタコン酸である特許請求の範
囲第１項記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項３】スルホン酸基含有単量体が0.1〜40重量
％、含窒素含有単量体が５〜40重量％、アジド化合物と
架橋可能な単量体が10〜40重量％である特許請求の範囲
第１又は２項いずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項４】共重合体に対しビスアジド化合物が１〜10
重量％添加される特許請求の範囲第１項記載の感光性樹
脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61286045A JPH0820727B2 (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61286045A JPH0820727B2 (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63139342A JPS63139342A (ja) | 1988-06-11 |
| JPH0820727B2 true JPH0820727B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=17699255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61286045A Expired - Fee Related JPH0820727B2 (ja) | 1986-12-02 | 1986-12-02 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820727B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2643307B2 (ja) * | 1988-05-28 | 1997-08-20 | 凸版印刷株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
| JP2555741B2 (ja) * | 1989-09-14 | 1996-11-20 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
| JPH03257402A (ja) * | 1990-03-07 | 1991-11-15 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JP5842463B2 (ja) * | 2010-09-15 | 2016-01-13 | Jsr株式会社 | 塩基性着色剤、着色組成物、カラーフィルタ及び表示素子 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54147031A (en) * | 1978-05-11 | 1979-11-16 | Toray Industries | Photosensitive material |
| JPS5660431A (en) * | 1979-10-24 | 1981-05-25 | Hitachi Ltd | Photosensitive composition and pattern forming method |
| JPS57124729A (en) * | 1981-01-27 | 1982-08-03 | Unitika Ltd | Photosensitive resin composition |
| JPS61174541A (ja) * | 1985-01-29 | 1986-08-06 | Toyobo Co Ltd | 画像複製材料用感光性組成物 |
-
1986
- 1986-12-02 JP JP61286045A patent/JPH0820727B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63139342A (ja) | 1988-06-11 |
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