JPH08201678A - 光ビ−ム走査装置 - Google Patents
光ビ−ム走査装置Info
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- JPH08201678A JPH08201678A JP2454195A JP2454195A JPH08201678A JP H08201678 A JPH08201678 A JP H08201678A JP 2454195 A JP2454195 A JP 2454195A JP 2454195 A JP2454195 A JP 2454195A JP H08201678 A JPH08201678 A JP H08201678A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】走査のために移動する光ビ−ムを反射する曲面
ミラ−を光学ハウジングに取付，接着するときに縦レジ
スト調整も同時に行い、調整工程に置ける作業時間を低
減する。 【構成】曲面ミラ−６の位置決め突起６１を光学ハウジ
ング１１の一対のＸ方向位置決め支柱１２に嵌合し、両
端部の位置決め部６２の位置決め面６２ａを光学ハウジ
ング１１の位置決め板１３に突き当て、取付基準面６３
を光学ハウジング１１の位置決め基準面１４に突き当て
て曲面ミラ−６の位置決めをする。曲面ミラ−６の曲面
で形成された位置決め面６２ａと取付基準面６３を光学
ハウジング１１の位置決め板１３と位置決め基準面１４
に接触したままで曲面ミラ−６を回動し、曲面ミラ−６
の取付位置にずれを生じさせないで角度調整する。
ミラ−を光学ハウジングに取付，接着するときに縦レジ
スト調整も同時に行い、調整工程に置ける作業時間を低
減する。 【構成】曲面ミラ−６の位置決め突起６１を光学ハウジ
ング１１の一対のＸ方向位置決め支柱１２に嵌合し、両
端部の位置決め部６２の位置決め面６２ａを光学ハウジ
ング１１の位置決め板１３に突き当て、取付基準面６３
を光学ハウジング１１の位置決め基準面１４に突き当て
て曲面ミラ−６の位置決めをする。曲面ミラ−６の曲面
で形成された位置決め面６２ａと取付基準面６３を光学
ハウジング１１の位置決め板１３と位置決め基準面１４
に接触したままで曲面ミラ−６を回動し、曲面ミラ−６
の取付位置にずれを生じさせないで角度調整する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、複写機，レ−ザプリ
ンタ，スキャナ，ファクシミリ装置等に使用する光ビ−
ム走査装置、特に走査のために移動する光ビ−ムを反射
する曲面ミラ−の取付け時の角度調整の容易化に関する
ものである。
ンタ，スキャナ，ファクシミリ装置等に使用する光ビ−
ム走査装置、特に走査のために移動する光ビ−ムを反射
する曲面ミラ−の取付け時の角度調整の容易化に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】レ−ザプリンタ等に使用される光ビ−ム
走査装置においては、光源より出射した光ビ−ムは収束
レンズ群，回転多面鏡，曲面ミラ−等の複数の光学素子
を通過又は反射して感光体に入射する。この感光体の正
確な位置に光ビ−ムを入射させるためには光学ハウジン
グ内で光源から感光体までの各光学素子の取付位置や取
付角度を精度良く保持する必要がある。特に精度の高い
走査を行うためには、走査のために移動する光ビ−ムを
反射する曲面ミラ−の取付位置と取付角度を正確に設定
することが必要である。
走査装置においては、光源より出射した光ビ−ムは収束
レンズ群，回転多面鏡，曲面ミラ−等の複数の光学素子
を通過又は反射して感光体に入射する。この感光体の正
確な位置に光ビ−ムを入射させるためには光学ハウジン
グ内で光源から感光体までの各光学素子の取付位置や取
付角度を精度良く保持する必要がある。特に精度の高い
走査を行うためには、走査のために移動する光ビ−ムを
反射する曲面ミラ−の取付位置と取付角度を正確に設定
することが必要である。
【０００３】しかしながら複数の光学素子を介して感光
体に入射する光ビ−ムの入射位置を各光学素子を保持す
る光学ハウジングの精度だけで精度良くだすことは困難
であり、このため例えば実開昭61−109413号公報や実開
平１−81621号公報に開示されているように、曲面ミラ
−の長手方向の両端部を弾性部材を介して保持し、曲面
ミラ−の取付位置や保持角度を位置調整ねじや角度調整
ねじで調整したり、実開平１−142912号公報に開示され
ているように、光学ハウジングの外側に曲面ミラ−に連
結された位置調整手段を設け、光学ハウジングの外部で
曲面ミラ−の取付位置を調整して、副走査方向の光ビ−
ムの書き出し開始位置を機械的に調整する縦レジスト調
整を行っていた。
体に入射する光ビ−ムの入射位置を各光学素子を保持す
る光学ハウジングの精度だけで精度良くだすことは困難
であり、このため例えば実開昭61−109413号公報や実開
平１−81621号公報に開示されているように、曲面ミラ
−の長手方向の両端部を弾性部材を介して保持し、曲面
ミラ−の取付位置や保持角度を位置調整ねじや角度調整
ねじで調整したり、実開平１−142912号公報に開示され
ているように、光学ハウジングの外側に曲面ミラ−に連
結された位置調整手段を設け、光学ハウジングの外部で
曲面ミラ−の取付位置を調整して、副走査方向の光ビ−
ムの書き出し開始位置を機械的に調整する縦レジスト調
整を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように走査のた
めに移動する光ビ−ムを反射する曲面ミラ−の取付位置
と取付角度の調整は、いずれの調節方法を採用しても、
通常は生産ライン上で手作業で行う必要があり、曲面ミ
ラ−の取付位置や取付角度を正確に調整することは容易
でなく、調整作業に多くの時間を要していた。
めに移動する光ビ−ムを反射する曲面ミラ−の取付位置
と取付角度の調整は、いずれの調節方法を採用しても、
通常は生産ライン上で手作業で行う必要があり、曲面ミ
ラ−の取付位置や取付角度を正確に調整することは容易
でなく、調整作業に多くの時間を要していた。
【０００５】この発明はかかる短所を解消するためにな
されたものであり、曲面ミラ−の角度調整機構を使用せ
ずに曲面ミラ−を光学ハウジングに取り付けるときに簡
単に角度調整を簡単に行うことができる光ビ−ム走査装
置を得ることを目的とするものである。
されたものであり、曲面ミラ−の角度調整機構を使用せ
ずに曲面ミラ−を光学ハウジングに取り付けるときに簡
単に角度調整を簡単に行うことができる光ビ−ム走査装
置を得ることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る光ビ−ム
走査装置は、光ビ−ムを出射する光源と、光源から出射
した光ビ−ムを収束させる収束レンズ群と、収束レンズ
群から送られる光ビ−ムを走査する回転多面鏡と、回転
多面鏡から反射して走査のために移動する光ビ−ムを反
射する曲面ミラ−とを有する光ビ−ム走査装置におい
て、上記曲面ミラ−は長手方向の中央部の後面に長手方
向に対する位置決め部を有し、両端部に光ビ−ムの入射
方向に対する位置決め部を有し、長手方向の中央部の上
下面のいずれか一方の面に長手方向と光ビ−ムの入射方
向とそれぞれ直交する上下方向に対して位置決めする取
付基準面を有し、該取付基準面を上下方向に対して湾曲
した曲面で形成し、両端部の位置決め部の位置決め面を
曲面で形成したことを特徴とする。
走査装置は、光ビ−ムを出射する光源と、光源から出射
した光ビ−ムを収束させる収束レンズ群と、収束レンズ
群から送られる光ビ−ムを走査する回転多面鏡と、回転
多面鏡から反射して走査のために移動する光ビ−ムを反
射する曲面ミラ−とを有する光ビ−ム走査装置におい
て、上記曲面ミラ−は長手方向の中央部の後面に長手方
向に対する位置決め部を有し、両端部に光ビ−ムの入射
方向に対する位置決め部を有し、長手方向の中央部の上
下面のいずれか一方の面に長手方向と光ビ−ムの入射方
向とそれぞれ直交する上下方向に対して位置決めする取
付基準面を有し、該取付基準面を上下方向に対して湾曲
した曲面で形成し、両端部の位置決め部の位置決め面を
曲面で形成したことを特徴とする。
【０００７】上記取付基準面に当接するハウジングの位
置決め基準面を取付基準面と同じ曲率の曲面で形成する
ことが好ましい。
置決め基準面を取付基準面と同じ曲率の曲面で形成する
ことが好ましい。
【０００８】また、上記取付基準面の曲面と取付基準面
に当接するハウジングの位置決め基準面を曲面ミラ−の
光ビ−ムの入射位置を中心とした円弧で形成すると良
い。
に当接するハウジングの位置決め基準面を曲面ミラ−の
光ビ−ムの入射位置を中心とした円弧で形成すると良
い。
【０００９】さらに、上記取付基準面をハウジングの位
置決め基準面に摺動させるガイド部を曲面ミラ−の中央
部に設けても良い。
置決め基準面に摺動させるガイド部を曲面ミラ−の中央
部に設けても良い。
【００１０】また、上記取付基準面を曲面ミラ−の中央
部の上下面に設け、ガイド部を曲面ミラ−の長手方向に
対する位置決め部としても使用するようにしても良い。
部の上下面に設け、ガイド部を曲面ミラ−の長手方向に
対する位置決め部としても使用するようにしても良い。
【００１１】
【作用】この発明においては、光学ハウジングに対して
曲面ミラ−を取付けるときに、曲面ミラ−の長手方向の
中央部の後面に設けた位置決め部で長手方向の位置決め
をし、両端部に設けた位置決め部で光ビ−ムの入射方向
に対する位置決めをし、長手方向の中央部の上下面のい
ずれか一方に設けた取付基準面で曲面ミラ−の上下方向
の位置決めをする。そして取付基準面と両端部の位置決
め部の位置決め面を曲面で形成し、この曲面を光学ハウ
ジングの位置決め基準面に突き当てた状態で曲面ミラ−
の取付角度を調整する。
曲面ミラ−を取付けるときに、曲面ミラ−の長手方向の
中央部の後面に設けた位置決め部で長手方向の位置決め
をし、両端部に設けた位置決め部で光ビ−ムの入射方向
に対する位置決めをし、長手方向の中央部の上下面のい
ずれか一方に設けた取付基準面で曲面ミラ−の上下方向
の位置決めをする。そして取付基準面と両端部の位置決
め部の位置決め面を曲面で形成し、この曲面を光学ハウ
ジングの位置決め基準面に突き当てた状態で曲面ミラ−
の取付角度を調整する。
【００１２】また、上記取付基準面に当接する光学ハウ
ジングの位置決め基準面を取付基準面と同じ曲率の曲面
で形成し、曲面ミラ−の角度調整するときに取付基準面
と光学ハウジングの位置決め基準面を密着した状態で回
動させて、位置ずれが生じることを防ぐ。
ジングの位置決め基準面を取付基準面と同じ曲率の曲面
で形成し、曲面ミラ−の角度調整するときに取付基準面
と光学ハウジングの位置決め基準面を密着した状態で回
動させて、位置ずれが生じることを防ぐ。
【００１３】また、上記取付基準面の曲面と取付基準面
に当接するハウジングの位置決め基準面を曲面ミラ−の
光ビ−ムの入射位置を中心とした円弧で形成すると良
い。
に当接するハウジングの位置決め基準面を曲面ミラ−の
光ビ−ムの入射位置を中心とした円弧で形成すると良
い。
【００１４】さらに、曲面ミラ−の中央部に角度調整す
るときに使用するガイド部を設け、ガイド部により曲面
ミラ−を回動させる。
るときに使用するガイド部を設け、ガイド部により曲面
ミラ−を回動させる。
【００１５】また、曲面ミラ−の中央部の上下面に取付
基準面を設け、ガイド部を曲面ミラ−の長手方向に対す
る位置決め部としても使用することにより、曲面ミラ−
を上下反転して取り付けて、１個の曲面ミラ−で光ビ−
ムの反射方向を上下に反転可能にする。
基準面を設け、ガイド部を曲面ミラ−の長手方向に対す
る位置決め部としても使用することにより、曲面ミラ−
を上下反転して取り付けて、１個の曲面ミラ−で光ビ−
ムの反射方向を上下に反転可能にする。
【００１６】
【実施例】図１，図２はこの発明の一実施例の光ビ−ム
走査装置を示し、図１は光ビ−ム走査装置の全体構成を
示す斜視図、図２は光ビ−ムの光路を示す断面図であ
る。図に示すように、光ビ−ム走査装置においては、光
源１より出射した光ビ−ム２は収束レンズ群３で収束し
た後、反射ミラ−４で反射して光ビ−ムを走査する回転
多面鏡５に入射する。回転多面鏡５に入射した光ビ−ム
２は、図２に示すように、回転多面鏡５で反射して曲面
ミラ−６及び反射ミラ−７で反射し収束レンズ群８を通
り反射ミラ−９で反射して感光体１０に入射する。
走査装置を示し、図１は光ビ−ム走査装置の全体構成を
示す斜視図、図２は光ビ−ムの光路を示す断面図であ
る。図に示すように、光ビ−ム走査装置においては、光
源１より出射した光ビ−ム２は収束レンズ群３で収束し
た後、反射ミラ−４で反射して光ビ−ムを走査する回転
多面鏡５に入射する。回転多面鏡５に入射した光ビ−ム
２は、図２に示すように、回転多面鏡５で反射して曲面
ミラ−６及び反射ミラ−７で反射し収束レンズ群８を通
り反射ミラ−９で反射して感光体１０に入射する。
【００１７】この光ビ−ム走査装置の光源１から反射ミ
ラ−７までの各光学素子は光学ハウジング１１の所定の
位置に保持されている。この光学素子の中で、走査のた
めに回転多面鏡５で反射して移動する光ビ−ムを反射す
る曲面ミラ−６はプラスチックミラ−からなり、図３の
裏側から見た斜視図と図４の断面図に示すように、長手
方向（Ｘ方向）の中央部の後面下部に長手方向に対する
位置決め突起６１を有し、両端部に光ビ−ムの入射方向
（Ｙ方向）に対する位置決め部６２を有し、長手方向の
中央部の下面にＸ方向とＹ方向と直交する上下方向であ
るＺ方向に対して位置決めする一定幅の取付基準面６３
を有する。取付基準面６３はＺ方向に対して湾曲した曲
面で形成され、両端部の位置決め部６２の位置決め面６
２ａも曲面で形成されている。このように取付基準面６
３や位置決め面６２ａを曲面で形成しているが、曲面ミ
ラ−６をプラスチックで成形，形成することにより、各
曲面を精度良く形成することができる。なお、曲面ミラ
−６は光学硝子で形成しても良い。
ラ−７までの各光学素子は光学ハウジング１１の所定の
位置に保持されている。この光学素子の中で、走査のた
めに回転多面鏡５で反射して移動する光ビ−ムを反射す
る曲面ミラ−６はプラスチックミラ−からなり、図３の
裏側から見た斜視図と図４の断面図に示すように、長手
方向（Ｘ方向）の中央部の後面下部に長手方向に対する
位置決め突起６１を有し、両端部に光ビ−ムの入射方向
（Ｙ方向）に対する位置決め部６２を有し、長手方向の
中央部の下面にＸ方向とＹ方向と直交する上下方向であ
るＺ方向に対して位置決めする一定幅の取付基準面６３
を有する。取付基準面６３はＺ方向に対して湾曲した曲
面で形成され、両端部の位置決め部６２の位置決め面６
２ａも曲面で形成されている。このように取付基準面６
３や位置決め面６２ａを曲面で形成しているが、曲面ミ
ラ−６をプラスチックで成形，形成することにより、各
曲面を精度良く形成することができる。なお、曲面ミラ
−６は光学硝子で形成しても良い。
【００１８】曲面ミラ−６を光学ハウジング１１に取付
けるときは、位置決め突起６１を図５の斜視図に示すよ
うに光学ハウジング１１に設けられた一対のＸ方向位置
決め支柱１２に嵌合して曲面ミラ−６のＸ方向の位置決
めをし、両端部の位置決め部６２の位置決め面６２ａを
光学ハウジング１１に設けられた位置決め板１３に突き
当てて曲面ミラ−６のＹ方向の位置決めをし、取付基準
面６３を光学ハウジング１１の位置決め基準面１４に突
き当てて曲面ミラ−６のＺ方向の位置決めして、曲面ミ
ラ−６を正確に位置決めする。
けるときは、位置決め突起６１を図５の斜視図に示すよ
うに光学ハウジング１１に設けられた一対のＸ方向位置
決め支柱１２に嵌合して曲面ミラ−６のＸ方向の位置決
めをし、両端部の位置決め部６２の位置決め面６２ａを
光学ハウジング１１に設けられた位置決め板１３に突き
当てて曲面ミラ−６のＹ方向の位置決めをし、取付基準
面６３を光学ハウジング１１の位置決め基準面１４に突
き当てて曲面ミラ−６のＺ方向の位置決めして、曲面ミ
ラ−６を正確に位置決めする。
【００１９】このように両端部の位置決め部６２の位置
決め面６２ａを光学ハウジング１１の位置決め板１３に
突き当て、取付基準面６３を光学ハウジング１１の位置
決め基準面１４に突き当てた状態で曲面ミラ−６を図４
の矢印Ａ方向に回動して角度調整を行う。この角度調整
を行うときに、曲面ミラ−６の位置決め面６２ａと取付
基準面６３を光学ハウジング１１の位置決め板１３と位
置決め基準面１４に接触したままで曲面ミラ−６を回動
することができ、曲面ミラ−６の位置ずれを生じさせな
いで簡単に角度調整することができる。したがって、従
来のような曲面ミラ−６の角度調整機構を設けることな
しに正確に角度調整することができ、曲面ミラ−６の取
付，接着時に副走査方向の書き出しタイミングの調整に
より行っていた縦レジスト調整も同時に行うことができ
る。
決め面６２ａを光学ハウジング１１の位置決め板１３に
突き当て、取付基準面６３を光学ハウジング１１の位置
決め基準面１４に突き当てた状態で曲面ミラ−６を図４
の矢印Ａ方向に回動して角度調整を行う。この角度調整
を行うときに、曲面ミラ−６の位置決め面６２ａと取付
基準面６３を光学ハウジング１１の位置決め板１３と位
置決め基準面１４に接触したままで曲面ミラ−６を回動
することができ、曲面ミラ−６の位置ずれを生じさせな
いで簡単に角度調整することができる。したがって、従
来のような曲面ミラ−６の角度調整機構を設けることな
しに正確に角度調整することができ、曲面ミラ−６の取
付，接着時に副走査方向の書き出しタイミングの調整に
より行っていた縦レジスト調整も同時に行うことができ
る。
【００２０】なお、上記実施例は曲面で形成された曲面
ミラ−６の取付基準面６３を突き当てる光学ハウジング
１１の位置決め基準面１４を平坦に形成した場合につい
て説明したが、図６の断面図及び図７の斜視図に示すよ
うに、光学ハウジング１１の位置決め基準面１４を曲面
ミラ−６の取付基準面６３の曲面と同じ曲率の曲面で形
成しても良い。このように曲面ミラ−６の取付基準面６
３と光学ハウジング１１の位置決め基準面１４を同じ曲
率の曲面で形成し、曲面ミラ−６の取付基準面６３と光
学ハウジング１１の位置決め基準面１４の接触面積を大
きくすることにより、曲面ミラ−６を回動するときに曲
面ミラ−６を安定して回動することができ、曲面ミラ−
６の角度調整をより円滑に行うことができるとともに、
曲面ミラ−６を光学ハウジング１１に接着，固定したと
きに接着強度を高めることができる。
ミラ−６の取付基準面６３を突き当てる光学ハウジング
１１の位置決め基準面１４を平坦に形成した場合につい
て説明したが、図６の断面図及び図７の斜視図に示すよ
うに、光学ハウジング１１の位置決め基準面１４を曲面
ミラ−６の取付基準面６３の曲面と同じ曲率の曲面で形
成しても良い。このように曲面ミラ−６の取付基準面６
３と光学ハウジング１１の位置決め基準面１４を同じ曲
率の曲面で形成し、曲面ミラ−６の取付基準面６３と光
学ハウジング１１の位置決め基準面１４の接触面積を大
きくすることにより、曲面ミラ−６を回動するときに曲
面ミラ−６を安定して回動することができ、曲面ミラ−
６の角度調整をより円滑に行うことができるとともに、
曲面ミラ−６を光学ハウジング１１に接着，固定したと
きに接着強度を高めることができる。
【００２１】また、上記曲面ミラ−６の取付基準面６３
と光学ハウジング１１の位置決め基準面１４を、図６の
断面図に示すように、光ビ−ム２の曲面ミラ−６の中央
部における光ビ−ム２の入射位置Ｐを中心とした円弧で
形成された円柱面状の曲面で形成すると、角度調整のた
めに曲面ミラ−６を回動しても、曲面ミラ−６に入射し
て反射する光ビ−ム２の光路長を一定にすることがで
き、ビ−ム径等の光学特性を変えることなしに縦レジス
ル調整を行うことができる。なお、曲面ミラ−６の位置
決め面６２ａの曲面も取付基準面６３の曲面と同心円状
にすると、より安定して角度調整することができる。
と光学ハウジング１１の位置決め基準面１４を、図６の
断面図に示すように、光ビ−ム２の曲面ミラ−６の中央
部における光ビ−ム２の入射位置Ｐを中心とした円弧で
形成された円柱面状の曲面で形成すると、角度調整のた
めに曲面ミラ−６を回動しても、曲面ミラ−６に入射し
て反射する光ビ−ム２の光路長を一定にすることがで
き、ビ−ム径等の光学特性を変えることなしに縦レジス
ル調整を行うことができる。なお、曲面ミラ−６の位置
決め面６２ａの曲面も取付基準面６３の曲面と同心円状
にすると、より安定して角度調整することができる。
【００２２】さらに、曲面ミラ−６の中央部の後面の上
部に、図８の後面下方から見た斜視図に示すように、位
置決め突起６１と同様なガイド突起６４を設け、ガイド
突起６４を把持して曲面ミラ−６の角度調整をすると、
角度調整を円滑に行うことができるとともに角度調整の
自動化を図ることもでき、角度調整の精度をより高める
ことができる。なお、ガイド突起６４の替わりに曲面ミ
ラ−６の上面又は後面に貫通しないガイド孔を設け、ガ
イド孔を利用して角度調整するようにしても良い。
部に、図８の後面下方から見た斜視図に示すように、位
置決め突起６１と同様なガイド突起６４を設け、ガイド
突起６４を把持して曲面ミラ−６の角度調整をすると、
角度調整を円滑に行うことができるとともに角度調整の
自動化を図ることもでき、角度調整の精度をより高める
ことができる。なお、ガイド突起６４の替わりに曲面ミ
ラ−６の上面又は後面に貫通しないガイド孔を設け、ガ
イド孔を利用して角度調整するようにしても良い。
【００２３】また、上記各実施例は曲面ミラ−６の長手
方向の中央部の下面にのみＺ方向の位置決めをする取付
基準面６３を設けた場合について説明したが、図９の斜
視図と図１０の断面図に示すように、曲面ミラ−６の長
手方向の中央部の上下面の両方にＺ方向の位置決めをす
る取付基準面６３を設けても良い。このように、曲面ミ
ラ−６の中央部の上下面の両方に取付基準面６３を設
け、曲面ミラ−６を上下反転して光学ハウジング１１に
取り付けることにより、１個の曲面ミラ−６で光ビ−ム
２の反射方向を上下に反転することができる。このよう
に曲面ミラ−６を上下反転して光学ハウジング１１に取
り付けるときに、ガイド突起６４を位置決め突起６１と
全く同じ形状に形成しておくと、ガイド突起６４を利用
して曲面ミラ−６のＸ方向の位置決めを行うとともに、
位置決め突起６１を利用して曲面ミラ−６の角度調整を
行うことができる。
方向の中央部の下面にのみＺ方向の位置決めをする取付
基準面６３を設けた場合について説明したが、図９の斜
視図と図１０の断面図に示すように、曲面ミラ−６の長
手方向の中央部の上下面の両方にＺ方向の位置決めをす
る取付基準面６３を設けても良い。このように、曲面ミ
ラ−６の中央部の上下面の両方に取付基準面６３を設
け、曲面ミラ−６を上下反転して光学ハウジング１１に
取り付けることにより、１個の曲面ミラ−６で光ビ−ム
２の反射方向を上下に反転することができる。このよう
に曲面ミラ−６を上下反転して光学ハウジング１１に取
り付けるときに、ガイド突起６４を位置決め突起６１と
全く同じ形状に形成しておくと、ガイド突起６４を利用
して曲面ミラ−６のＸ方向の位置決めを行うとともに、
位置決め突起６１を利用して曲面ミラ−６の角度調整を
行うことができる。
【００２４】なお、上記各実施例は曲面ミラ−６の取付
基準面６３の曲面を凸状に形成した場合について説明し
たが、取付基準面６３の曲面を凹状に形成し、光学ハウ
ジング１１の位置決め基準面１４を凸状に形成しても上
記実施例と同様な作用を奏することができる。
基準面６３の曲面を凸状に形成した場合について説明し
たが、取付基準面６３の曲面を凹状に形成し、光学ハウ
ジング１１の位置決め基準面１４を凸状に形成しても上
記実施例と同様な作用を奏することができる。
【００２５】また、上記各実施例は曲面ミラ−６の両端
部の位置決め部６２の位置決め面６２ａを凸状の曲面で
形成した場合について説明したが、位置決め面６２ａを
突き当てる光学ハウジング１１の位置決め板１３の突き
当て面に凸状の曲面を設け、位置決め面６２ａを平坦に
形成しても良い。
部の位置決め部６２の位置決め面６２ａを凸状の曲面で
形成した場合について説明したが、位置決め面６２ａを
突き当てる光学ハウジング１１の位置決め板１３の突き
当て面に凸状の曲面を設け、位置決め面６２ａを平坦に
形成しても良い。
【００２６】
【発明の効果】この発明は以上説明したように、光学ハ
ウジングに対して曲面ミラ−を取付けるときに、曲面ミ
ラ−の長手方向の中央部の後面に設けた位置決め部で長
手方向の位置決めをし、両端部に設けた位置決め部で光
ビ−ムの入射方向に対する位置決めをし、長手方向の中
央部の上下面のいずれか一方に設けた取付基準面で曲面
ミラ−の上下方向の位置決めするから、曲面ミラ−を所
定の位置に精度良く取り付けることができる。
ウジングに対して曲面ミラ−を取付けるときに、曲面ミ
ラ−の長手方向の中央部の後面に設けた位置決め部で長
手方向の位置決めをし、両端部に設けた位置決め部で光
ビ−ムの入射方向に対する位置決めをし、長手方向の中
央部の上下面のいずれか一方に設けた取付基準面で曲面
ミラ−の上下方向の位置決めするから、曲面ミラ−を所
定の位置に精度良く取り付けることができる。
【００２７】また、曲面ミラ−の取付基準面と両端部の
位置決め部の位置決め面を曲面で形成し、この曲面を光
学ハウジングの位置決め基準面に突き当てた状態で曲面
ミラ−の取付角度を調整するから、曲面ミラ−の角度調
整機構を設けることなしに正確に角度調整することがで
き、曲面ミラ−の取付，接着時に縦レジスト調整も同時
に行うことができ、調整工程に置ける作業時間を大幅に
低減することができる。
位置決め部の位置決め面を曲面で形成し、この曲面を光
学ハウジングの位置決め基準面に突き当てた状態で曲面
ミラ−の取付角度を調整するから、曲面ミラ−の角度調
整機構を設けることなしに正確に角度調整することがで
き、曲面ミラ−の取付，接着時に縦レジスト調整も同時
に行うことができ、調整工程に置ける作業時間を大幅に
低減することができる。
【００２８】また、上記取付基準面に当接する光学ハウ
ジングの位置決め基準面を取付基準面と同じ曲率の曲面
で形成し、曲面ミラ−の角度調整するときに取付基準面
と光学ハウジングの位置決め基準面を密着した状態で回
動させるから、角度調整のときに位置ずれが生じること
を防ぐことができ、安定して角度調整を行うことができ
るとともに、曲面ミラ−を光学ハウジングに接着，固定
したときの接着強度を高めることもできる。
ジングの位置決め基準面を取付基準面と同じ曲率の曲面
で形成し、曲面ミラ−の角度調整するときに取付基準面
と光学ハウジングの位置決め基準面を密着した状態で回
動させるから、角度調整のときに位置ずれが生じること
を防ぐことができ、安定して角度調整を行うことができ
るとともに、曲面ミラ−を光学ハウジングに接着，固定
したときの接着強度を高めることもできる。
【００２９】また、上記取付基準面の曲面と取付基準面
に当接するハウジングの位置決め基準面を曲面ミラ−の
光ビ−ムの入射位置を中心とした円弧で形成することに
より、角度調整による光ビ−ムの光路長の変化を防止す
ることができ、他の光学特性を変えること無しに縦レジ
スト調整を行うことができる。
に当接するハウジングの位置決め基準面を曲面ミラ−の
光ビ−ムの入射位置を中心とした円弧で形成することに
より、角度調整による光ビ−ムの光路長の変化を防止す
ることができ、他の光学特性を変えること無しに縦レジ
スト調整を行うことができる。
【００３０】さらに、曲面ミラ−の中央部に角度調整す
るときに使用するガイド部を設け、ガイド部を治具で把
持して曲面ミラ−を回動させることにより、角度調整の
自動化を図ることもでき、角度調整の精度をより高める
ことができる。
るときに使用するガイド部を設け、ガイド部を治具で把
持して曲面ミラ−を回動させることにより、角度調整の
自動化を図ることもでき、角度調整の精度をより高める
ことができる。
【００３１】また、曲面ミラ−の中央部の上下面に取付
基準面を設け、ガイド部を曲面ミラ−の長手方向に対す
る位置決め部としても使用することにより、曲面ミラ−
を上下反転して取り付けて、１個の曲面ミラ−で光ビ−
ムの反射方向を上下に反転させることができ、曲面ミラ
−を異なる光ビ−ム走査装置で共通に使用することがで
きる。
基準面を設け、ガイド部を曲面ミラ−の長手方向に対す
る位置決め部としても使用することにより、曲面ミラ−
を上下反転して取り付けて、１個の曲面ミラ−で光ビ−
ムの反射方向を上下に反転させることができ、曲面ミラ
−を異なる光ビ−ム走査装置で共通に使用することがで
きる。
【図１】この発明の実施例の光ビ−ム走査装置の全体構
成を示す斜視図である。
成を示す斜視図である。
【図２】上記実施例の光ビ−ムの光路を示す断面図であ
る。
る。
【図３】上記実施例の曲面ミラ−を裏側から見た斜視図
である。
である。
【図４】上記曲面ミラ−の断面図である。
【図５】光学ハウジングの位置決め支柱と位置決め基準
面を示す斜視図である。
面を示す斜視図である。
【図６】第２の実施例の曲面ミラ−の取付状態を示す断
面図である。
面図である。
【図７】第２の実施例の曲面ミラ−と光学ハウジングの
位置決め支柱と位置決め基準面を示す斜視図である。
位置決め支柱と位置決め基準面を示す斜視図である。
【図８】第３の実施例の曲面ミラ−を後面下方から見た
斜視図である。
斜視図である。
【図９】第４の実施例の曲面ミラ−を示す斜視図であ
る。
る。
【図１０】第４の実施例の曲面ミラ−の取付状態を示す
断面図である。
断面図である。
１ 光源 ５ 回転多面鏡 ６ 曲面ミラ− １１ 光学ハウジング １２ 位置決め支柱 １３ 位置決め板 １４ 位置決め基準面 ６１ 位置決め突起 ６２ 位置決め部 ６３ 取付基準面 ６４ ガイド突起
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｂ 26/10 １０２
Claims (6)
- 【請求項１】 光ビ−ムを出射する光源と、光源から出
射した光ビ−ムを収束させる収束レンズ群と、収束レン
ズ群から送られる光ビ−ムを走査する回転多面鏡と、回
転多面鏡で反射して走査のために移動する光ビ−ムを反
射する曲面ミラ−とを有する光ビ−ム走査装置におい
て、上記曲面ミラ−は長手方向の中央部の後面に長手方
向に対する位置決め部を有し、両端部に光ビ−ムの入射
方向に対する位置決め部を有し、長手方向の中央部の上
下面のいずれか一方の面に長手方向と光ビ−ムの入射方
向とそれぞれ直交する上下方向に対して位置決めする取
付基準面を有し、該取付基準面を上下方向に対して湾曲
した曲面で形成し、両端部の位置決め部の位置決め面を
曲面で形成したことを特徴とする光ビ−ム走査装置。 - 【請求項２】 上記取付基準面に当接するハウジングの
位置決め基準面を取付基準面と同じ曲率の曲面で形成し
た請求項１記載の光ビ−ム走査装置。 - 【請求項３】 上記取付基準面の曲面が光ビ−ムの入射
位置を中心とした円弧で形成されている請求項１又は２
記載の光ビ−ム走査装置。 - 【請求項４】 上記取付基準面をハウジングの位置決め
基準面に摺動させるガイド部を曲面ミラ−の中央部に設
けた請求項１，２又は３記載の光ビ−ム走査装置。 - 【請求項５】 上記取付基準面を曲面ミラ−の中央部の
上下面に設けた請求項１記載の光ビ−ム走査装置。 - 【請求項６】 上記取付基準面をハウジングの位置決め
基準面に摺動させるガイド部を曲面ミラ−の長手方向に
対する位置決め部としても使用する請求項４又は５記載
の光ビ−ム走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2454195A JPH08201678A (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | 光ビ−ム走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2454195A JPH08201678A (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | 光ビ−ム走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08201678A true JPH08201678A (ja) | 1996-08-09 |
Family
ID=12141018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2454195A Pending JPH08201678A (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | 光ビ−ム走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08201678A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006018083A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Sekinosu Kk | 非球面ミラー部材及びそれを用いた背面投写型映像表示装置 |
| JP2006337746A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Olympus Corp | 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡 |
| JP2012053310A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 光走査光学装置 |
-
1995
- 1995-01-20 JP JP2454195A patent/JPH08201678A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006018083A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Sekinosu Kk | 非球面ミラー部材及びそれを用いた背面投写型映像表示装置 |
| JP2006337746A (ja) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Olympus Corp | 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡 |
| JP2012053310A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Konica Minolta Business Technologies Inc | 光走査光学装置 |
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