JPH08201113A - アブソリュートエンコーダ - Google Patents

アブソリュートエンコーダ

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JPH08201113A
JPH08201113A JP7027330A JP2733095A JPH08201113A JP H08201113 A JPH08201113 A JP H08201113A JP 7027330 A JP7027330 A JP 7027330A JP 2733095 A JP2733095 A JP 2733095A JP H08201113 A JPH08201113 A JP H08201113A
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JP
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signal
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JP7027330A
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Inventor
Motomasa Imai
基勝 今井
Yuji Yamazaki
雄二 山▲崎▼
Yasushi Ono
康 大野
Toru Morita
徹 森田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンパクトでコストが安くしかも検出精度の
良いアブソリュートエンコーダを提供する。 【構成】 m個の検出部14の最小読取単位の幅λの領
域内に相対移動方向に沿って設けられた少なくとも3個
の検出素子14a、14b、14cからなる検出素子群
からの出力信号の比較に基づいて、アブソリュートパタ
ーン13の符号の境界位置を検出し、検出素子群のうち
境界位置と対向しない位置の検出素子からのアブソリュ
ート情報を出力するようにしたので、インクリメンタル
パターンを用いずにアブソリュートパターンからの信号
だけで安定したアブソリュート信号を得ることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、アブソリュートエン
コーダに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のアブソリュートエンコーダにおい
ては、例えばアブソリュートパターンがm次の2進循環
乱数数列で構成される場合、符号板を通過した電磁波等
の信号伝達媒体をm個の検出部により検出してアブソリ
ュート情報であるアブソリュート信号を得ていた。この
ような従来のアブソリュートエンコーダにおいては、前
記アブソリュート信号の変化は前記m個の検出部で同時
に発生するため、変化時に検出素子の時定数のばらつき
などにより、m個中のある検出部では既に切り換わって
いるのに、他の検出部ではまだ切り換わっていないなど
の不安定な出力がなされることがあった。
【0003】このような欠点を解消するための技術とし
て、例えば特開平2−168115号公報に開示された
技術が知られている。図7に示すように、符号板1に
は、m次の2進循環乱数数列から作られ、最小読取単位
の幅がλのアブソリュートパターン2と、このアブソリ
ュートパターン2と平行なピッチλのインクリメンタル
パターン3とが設けられている。ピッチλの1/2の幅
の検出素子群からなるm個の検出部4が、アブソリュー
トパターン2及びインクリメンタルパターン3に対して
にそれぞれ対向配置されている。検出部4の出力信号を
図示しない信号処理部で信号処理し、アブソリュート信
号を得る。
【0004】次に、前記特開平2−168115号公報
に開示されたアブソリュートエンコーダの動作について
説明する。
【0005】アブソリュートパターン2の一個の最小読
取単位の幅λ内に設けられる、アブソリュートパターン
2に対応する検出素子群を、図7に示すように、それぞ
れX群とY群とすると、アブソリュートパターン2を通
過した信号伝達媒体を受信することにより検出部4の検
出素子群から出力される検出信号は、図8に示すよう
に、X群の検出素子、例えばX0 と、Y群の検出素子、
例えばY0 とから出力される検出信号X0 及び検出信号
Y0 の位相がλ/2だけずれたものとなる。この検出部
4のX群とY群の出力信号をインクリメンタルパターン
3に対応する検出部4からの出力信号であるインクリメ
ンタル信号A、Bのうち、例えばA信号の立ち上がり及
び立ち下がりでX群の信号とY群の信号とを切り換えて
出力することによりアブソリュート信号ABS0 を得
る。このようにしてX群及びY群の出力信号の立ち上が
り、立ち下がりの不安定領域を回避して安定状態のX群
及びY群の信号を出力することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従来のアブソリュート
エンコーダは上述のように構成されているので、符号板
1にアブソリュートパターン2の他にインクリメンタル
パターン3を形成しなければならず、符号板が大型化し
てしまうという問題があった。
【0007】また、検出部4についても、アブソリュー
トパターン2に対応する検出部の他にインクリメンタル
パターン3に対応する検出部を設けなければならないの
で、大型化するとともに、コストアップの一因になると
いう問題があった。
【0008】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は大型化とコストアップとを招かず
に、安定したアブソリュート情報を出力できるアブソリ
ュートエンコーダを提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項1記載の発明のアブソリュートエンコーダは、
m次の2進循環乱数数列から作られ、最小読取単位の幅
がλのアブソリュートパターンを有する符号板と、前記
符号板のアブソリュートパターンと対向し、前記符号板
に対する相対移動を検出するm個の検出部を有する検出
手段とを備えているアブソリュートエンコーダにおい
て、前記m個の検出部はそれぞれ前記最小読取単位の幅
λの領域内に前記相対移動する方向に少なくとも3個の
検出素子からなる検出素子群を有し、前記検出素子群か
らの出力信号の比較に基づいて、前記アブソリュートパ
ターンの符号の境界位置を検出し、前記検出素子群のう
ち前記境界位置と対向しない位置の検出素子からのアブ
ソリュート情報を出力する信号処理手段を設けた。
【0010】請求項2記載の発明のアブソリュートエン
コーダは、信号処理手段は、前記検出部の検出素子群の
うち中央側に位置する第1の検出素子の出力信号と、そ
の左右いずれかの側に隣接する第2又は第3の検出素子
の出力信号とが一致しているとき、その一致した出力信
号を前記各検出部における出力とする。
【0011】請求項3記載の発明のアブソリュートエン
コーダは、信号処理手段は、前記検出部の検出素子群の
うち中央側に位置する第1の検出素子の出力信号と、そ
の左右いずれかの側に隣接する第2及び第3の検出素子
の出力信号とが一致していないとき、前記第2又は第3
の検出素子の出力信号を前記各検出部における出力とす
る。
【0012】請求項4記載の発明のアブソリュートエン
コーダは、前記信号処理手段は、前記m個の検出部のう
ち少なくとも1つの検出部の検出素子群のうち中央側に
位置する第1の検出素子の出力信号が変化したとき、そ
の出力信号と一致する出力を出力する、前記第1の検出
素子の左右いずれかの側に隣接する第2及び第3の検出
素子の出力信号を前記各検出部における出力とする。
【0013】
【作用】請求項1記載の発明のアブソリュートエンコー
ダでは、m個の検出部の最小読取単位の幅λの領域内に
相対移動方向に沿って設けられた少なくとも3個の検出
素子からなる検出素子群からの出力信号の比較に基づい
て、アブソリュートパターンの符号の境界位置を検出
し、検出素子群のうち境界位置と対向しない位置の検出
素子からのアブソリュート情報を出力するようにしたの
で、インクリメンタルパターンを用いずにアブソリュー
トパターンからの信号だけで安定したアブソリュート信
号を得ることができる。
【0014】請求項2記載の発明のアブソリュートエン
コーダでは、検出部の検出素子群のうち中央側に位置す
る第1の検出素子の出力信号と、その左右いずれかの側
に隣接する第2又は第3の検出素子の出力信号とが一致
しているとき、アブソリュートパターンの符号の境界位
置は第2又は第3の検出素子と対向しており、第1の検
出素子と一致するいずれか一方の検出素子の出力信号
は、m個の検出部の全てで一致して安定しているのであ
るから、この一致した出力信号を各検出部における出力
とすることにより安定したアブソリュート信号が得られ
る。
【0015】請求項3記載の発明のアブソリュートエン
コーダでは、検出部の検出素子群のうち中央側に位置す
る第1の検出素子の出力信号と、その左右いずれかの側
に隣接する第2及び第3の検出素子の出力信号とが一致
していないとき、アブソリュートパターンの符号の境界
位置は第1の検出素子と対向しているので、第2又は第
3の検出素子の出力信号を各検出部における出力とする
ことにより、安定したアブソリュート信号が得られる。
【0016】請求項4記載の発明のアブソリュートエン
コーダでは、m個の検出部のうち少なくとも1つの検出
部の検出素子群のうち中央側に位置する第1の検出素子
の出力信号が変化したとき、アブソリュートパターンの
符号の境界位置は第1の検出素子と第2の検出素子との
間又は第1の検出素子と第3の検出素子との間と対向し
ているので、第2及び第3の検出素子のうち変化時の第
1の検出素子の出力信号と一致する出力を出力する検出
素子、すなわち第2及び第3の検出素子のうちアブソリ
ュートパターンの符号の境界位置と対向していない位置
の検出素子の出力信号を各検出部における出力とするこ
とにより、安定したアブソリュート信号が得られる。
【0017】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0018】図1はこの発明の一実施例の光学式アブソ
リュートエンコーダの符号板と検出装置を示す斜視図、
図2は1個の検出部を示す拡大斜視図、図3は検出部の
各検出素子から出力される信号の組み合わせを示す図、
図4は符号板と検出装置の全体的構成を示す斜視図、図
5は検出部の各検出素子から出力される検出信号の波形
を示す波形図、図6はこの実施例の光学式アブソリュー
トエンコーダの動作を示すフローチャートである。
【0019】図4に示すように、符号板11には、m次
の2進循環乱数数列から作られ、最小読取単位の幅がλ
のアブソリュートパターン13が設けられている。符号
板11の一方の側には図示しない光源が、符号板11の
他方の側には図1に示すように8個の(図4ではそのう
ちの3個だけが描かれている)検出部14を有する検出
装置12が、それぞれ配置されている。検出装置12は
符号板11に対する相対移動を検出する。
【0020】検出部14には、アブソリュートパターン
13の最小読取単位の幅λと等しい領域内に、図2に示
すように、3個の光電素子である検出素子14a、14
b、14cが検出装置12の相対移動方向に沿って配置
されている。なお、以下これらの各検出素子14a、1
4b、14cから出力される出力信号を、図2、図4及
び図5に示すように、それぞれX、S、Yで表すことと
する。検出装置12の検出部14の出力端には、波形整
形回路、出力選択回路等からなる図示しない信号処理部
が接続され、各検出部14の検出素子14a、14b、
14cからの出力信号X、S、Yが入力され、アブソリ
ュート情報として処理されて出力される。
【0021】次に、この実施例のアブソリュートエンコ
ーダの動作について説明する。
【0022】光源から符号板11に照射された平行光束
はアブソリュートパターン13を透過し、平行光束の一
部はアブソリュートパターン13で遮光される。アブソ
リュートパターン13を透過して検出装置12に入射し
た光束は、検出装置12のアブソリュートパターン13
の透過部と対応する検出部14の検出素子14a、14
b、14cで検出され、各検出素子の出力端から電気信
号として出力される。この検出素子14a、14b、1
4cからの検出信号は、信号処理部に入力され、信号処
理部で二値信号波形に波形整形される。この波形整形さ
れた二値信号は、各検出素子14a、14b、14cに
対応するX信号、S信号、Y信号の組み合わせとして、
図3に示す6個のパターンに分類できる。なお、図3で
数値0は検出素子への入射光が存在するときの出力信
号、数値1は検出素子への入射光が存在しないときの出
力信号を表す。
【0023】次に、この実施例の信号処理部の動作を図
5の波形図及び図6のフローチャートを参照しながら説
明する。
【0024】電源が投入されて8個の検出部14の検出
素子14a、14b、14cから、二値信号に波形整形
されたときに図5に示す波形となる検出信号X0 、S0
、Y0 、X1 、S1 、Y1 、X2 、S2 、Y2 (図5
では3個の検出部14の検出信号だけを示す)が信号処
理部に入力されると、信号処理部はまず全ての検出素子
からの検出信号を読み取り(ステップS1 )、全ての検
出部14において検出信号S、X、Yが一致しているか
否かを判断し(ステップS2 )、一致しているとき、す
なわちアブソリュートパターンの符号の境界位置が検出
素子14a、14b、14cのどれにも対向していない
ときは、各検出信号が安定しているので、検出信号X又
はYをアブソリュート信号として出力し(ステップS3
)、後述するステップ7に進む。
【0025】全ての検出部14において検出信号S、
X、Yが一致していないときは、全ての検出部14にお
いて検出信号Sと検出信号X又はYとが一致しているか
否かをチェックする(ステップS4 )。この結果全ての
検出部14の検出素子14bからの検出信号Sと、検出
素子14aからの検出信号X又は検出素子14cからの
検出信号Yとが一致していれば、検出信号Sと一致して
いる検出信号X又はYをアブソリュート信号として出力
する(ステップS5 )。
【0026】このときアブソリュートパターンの符号の
境界位置は検出素子14a又は検出素子14cと対向し
ている。例えば境界位置が検出素子14aと対向してい
る場合、検出信号SとXとが不一致で、検出信号SとY
とが一致している。したがって、この場合は検出信号Y
がアブソリュート信号として出力される。
【0027】一方、全ての検出部14の検出信号Sと検
出信号X又はYとが一致していないときには、信号処理
部は、検出信号X又はYのうち予め定めた方をアブソリ
ュート信号として出力する(ステップS4 )。このとき
アブソリュートパターンの符号の境界位置は検出素子1
4bと対向している。符号板11が右回転のとき、検出
信号Sが切り換わる前に検出信号Xが切り換わるので、
安定状態にある検出信号Xがアブソリュート信号として
出力され、符号板11が左回転のときは逆に検出信号Y
がアブソリュート信号として出力される。
【0028】次に、符号板11が回転して全ての検出部
14からの検出信号Sのうち少なくとも1個の検出信号
Sが変化すると(ステップS7 )、その検出信号Sと一
致する出力を出力する検出素子14aの検出信号X又は
検出素子14cの検出信号Yを、各検出部14の出力と
する(ステップS8 )。このときアブソリュートパター
ンの符号の境界位置は、検出素子14aと検出素子14
bとの間、又は検出素子14bと検出素子14cとの間
と対向している。
【0029】図5を参照すると、符号板11が右回転の
ときには、検出信号S0 が変化したときには検出信号X
0 が検出信号S0 と同一レベルであるから、検出信号X
0 が選択され、他の検出部14においても、検出信号S
1 、S2 が変化したとき検出信号X1 、X2 が検出信号
S1 、S2 と同一の信号レベルであるから検出信号X1
、X2 が選択され、それぞれアブソリュート信号AB
S0 、ABS1 、ABS2 として出力される。符号板1
1が左回転の時には、同様にして、検出信号Yが選択さ
れ、アブソリュート信号ABS0 、ABS1 、ABS2
として出力される。
【0030】この実施例のアブソリュートエンコーダに
よれば、第2及び第3の検出素子のうちアブソリュート
パターンの符号の境界位置と対向していない位置の検出
素子の出力信号を前記各検出部における出力とすること
によって、インクリメンタルパターンを用いずに安定し
たアブソリュート情報を得ることができるので、検出精
度を低下させることなく小型化とコスト低減とを実現す
ることができる。
【0031】また、この実施例では、3個の検出素子1
4a、14b、14cを用いた場合について述べたが、
検出素子の数は4以上でもよい。
【0032】なお、この発明は光学式のアブソリュート
エンコーダに限定されず、磁気式又は静電式等の他の方
式によるアブソリュートエンコーダにも適用することが
できる。また、ロータリーエンコーダに限定されるもの
ではなく、リニアエンコーダ等の他の方式のエンコーダ
にも適用できる。更に、この発明によれば出力信号の不
安定さを除去できるので、グレイコードパターンを用い
ていたエンコーダに適用して、グレイコードを用いずに
バイナリーコードのパターンから直接に安定した高精度
のバイナリーコードの出力を得るようにすることもでき
る。
【0033】なお、1個の検出部内に少なくとも3個の
検出素子群を設けることはコストアップを招くことには
ならない。検出素子群はIC中に一体化して形成するこ
とができ、各検出部の面積は広くなる訳ではないしま
た、ICの1個のウエハーから取れるチップの数は従来
と変わりがないからである。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように請求項1記載の発明
のアブソリュートエンコーダによれば、インクリメンタ
ルパターンを用いずにアブソリュートパターンからの信
号だけで安定したアブソリュート情報を得ることができ
るので、検出精度を低下させることなく小型化とコスト
低減とを実現することができる。
【0035】また、請求項2、2又は3記載の発明のア
ブソリュートエンコーダによれば、第2及び第3の検出
素子のうちアブソリュートパターンの符号の境界位置と
対向していない位置の検出素子の出力信号を各検出部に
おける出力とすることにより、安定したアブソリュート
信号が得られるので、検出精度を低下させることなく小
型化とコスト低減とを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の一実施例の光学式アブソリュ
ートエンコーダの符号板と検出装置を示す斜視図であ
る。
【図2】図2は1個の検出部を示す拡大斜視図である。
【図3】図3は検出部の各検出素子から出力される信号
の組み合わせを示す図である。
【図4】図4は符号板と検出装置の全体的構成を示す斜
視図である。
【図5】図5は検出部の各検出素子から出力される検出
信号の波形を示す波形図である。
【図6】図6は図1の光学式アブソリュートエンコーダ
の動作を示すフローチャートである。
【図7】図7は従来の光学式アブソリュートエンコーダ
の符号板と検出部を示す斜視図である。
【図8】図8は図7の光学式アブソリュートエンコーダ
の検出信号の波形を示す波形図である。
【符号の説明】
1,11 符号板 2,13 アブソリュートパターン 4,12 検出装置 14 検出部 14a,14b,14c 検出素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 徹 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 株 式会社ニコン内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 m次の2進循環乱数数列から作られ、最
    小読取単位の幅がλのアブソリュートパターンを有する
    符号板と、 前記符号板のアブソリュートパターンと対向し、前記符
    号板に対する相対移動を検出するm個の検出部を有する
    検出手段とを備えているアブソリュートエンコーダにお
    いて、 前記m個の検出部はそれぞれ前記最小読取単位の幅λの
    領域内に前記相対移動する方向に少なくとも3個の検出
    素子からなる検出素子群を有し、 前記検出素子群からの出力信号の比較に基づいて、前記
    アブソリュートパターンの符号の境界位置を検出し、前
    記検出素子群のうち前記境界位置と対向しない位置の検
    出素子からのアブソリュート情報を出力する信号処理手
    段を設けたことを特徴とするアブソリュートエンコー
    ダ。
  2. 【請求項2】 前記信号処理手段は、前記検出部の検出
    素子群のうち中央側に位置する第1の検出素子の出力信
    号と、その左右いずれかの側に隣接する第2又は第3の
    検出素子の出力信号とが一致しているとき、その一致し
    た出力信号を前記各検出部における出力とすることを特
    徴とする請求項1記載のアブソリュートエンコーダ。
  3. 【請求項3】 前記信号処理手段は、前記検出部の検出
    素子群のうち中央側に位置する第1の検出素子の出力信
    号と、その左右いずれかの側に隣接する第2及び第3の
    検出素子の出力信号とが一致していないとき、前記第2
    又は第3の検出素子の出力信号を前記各検出部における
    出力とすることを特徴とする請求項1又は2記載のアブ
    ソリュートエンコーダ。
  4. 【請求項4】 前記信号処理手段は、前記m個の検出部
    のうち少なくとも1つの検出部の検出素子群のうち中央
    側に位置する第1の検出素子の出力信号が変化したと
    き、その出力信号と一致する出力を出力する、前記第1
    の検出素子の左右いずれかの側に隣接する第2及び第3
    の検出素子の出力信号を前記各検出部における出力とす
    ることを特徴とする請求項1、2又は3記載のアブソリ
    ュートエンコーダ。
JP7027330A 1995-01-23 1995-01-23 アブソリュートエンコーダ Withdrawn JPH08201113A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015219180A (ja) * 2014-05-20 2015-12-07 三菱電機株式会社 絶対位置検出装置
CN114838742A (zh) * 2022-05-27 2022-08-02 成都唐源智控技术有限责任公司 一种容许大偏差的精确行程定位系统

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