JPH08190793A - 半導体記憶装置、及びデータ処理装置 - Google Patents

半導体記憶装置、及びデータ処理装置

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JPH08190793A
JPH08190793A JP1647695A JP1647695A JPH08190793A JP H08190793 A JPH08190793 A JP H08190793A JP 1647695 A JP1647695 A JP 1647695A JP 1647695 A JP1647695 A JP 1647695A JP H08190793 A JPH08190793 A JP H08190793A
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JP1647695A
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English (en)
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Kazutomo Ogura
和智 小倉
Tetsuya Uchiumi
哲也 内海
Noriyoshi Watabe
憲佳 渡部
Yukihiro Wada
幸博 和田
Yasuharu Miyawaki
靖治 宮脇
Hiroshi Tamai
博士 玉井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Semiconductor Package and Test Solutions Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は、データ読出し速度の高速化
を図ることにある。 【構成】 互いに異なる列番地に属し、列番地の境界部
で互いに隣接する相補データ線対Di*,Di、及びD
i+1*,Di+1として、相補データ線対を構成する
2本のデータ線が交差されて成るものを適用し、列番地
の境界部で互いに隣接する相補データ線対間の容量を低
減して、それによる電気的な干渉を抑え、メモリセルデ
ータに応じて相補データ線対に生ずる電位差レベルの早
期確定を可能とすることで、データ読出し速度の高速化
を図る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置、さら
にはそれのデータ読出し速度の高速化技術に関し、例え
ばスタティック・ランダム・アクセス・メモリ(SRA
Mと略記する)に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】SRAMは、複数個のスタティック型メ
モリセルをマトリクス配置して成るメモリセルアレイを
含む。一つのメモリセルは、例えばnチャンネル型MO
Sトランジスタと、それの負荷抵抗と、トランスファM
OSとを含む。メモリセルの入出力ノードは、トランス
ファMOSを介して相補データ線(相補ビット線とも称
される)に結合される。この相補データ線は、それに1
対1で結合されたカラム選択スイッチを介して相補コモ
ンデータ線に接続されている。また、上記トランスファ
MOSのゲート電極は選択端子とされ、ワード線に結合
されている。このワード線が選択レベルに駆動される
と、このワード線に結合されたメモリセルが選択される
ことによって、当該メモリセルへのデータ書込み、及び
当該メモリセルからのデータ読出しが可能とされる。S
RAMでは、電源電圧が供給され、しかも入出力ノード
の電位が外部から変更されない限り、メモリセルの記憶
情報がスタティックに保持される。
【0003】尚、SRAMについて記載された文献の例
としては、昭和59年11月30日にオーム社より発行
された「LSIハンドブック(第500頁〜)」があ
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のSRAMにおい
ては、互いに異なる列番地に属し、列番地の境界部で互
いに隣接する相補データ線対間に形成される容量に起因
して、データ読出し時間が不所望に長くなっているの
が、本発明者によって見いだされた。例えばY番地のデ
ータ線と、それに隣接するY+1番地のデータ線との間
に形成される線間容量が比較的大きいため、この線間容
量を介して電気的干渉を生じ、そのために相補データ線
が電圧降下を起し、相補データ線対の電位差が減少し読
出し開始時刻から、読み出し動作が可能となる電位差が
データ線対に生ずるまでの遅延時間が長くなってしま
う。そのように、遅延時間が長くなる分、データ読出し
時間がどうしても長くなってしまう。
【0005】本発明の目的は、データ読出し速度の高速
化を図ることにある。
【0006】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0008】すなわち、互いに異なる列番地に属し、列
番地の境界部で互いに隣接する相補データ線対(Di
*,Di、及びDi+1*,Di+1)として、相補デ
ータ線対を構成する2本のデータ線が交差されて成るも
のを適用する。このとき、同一列番地に属する限り、相
補データ線対を構成する2本のデータ線が交差された第
1相補データ線対と、相補データ線対を構成する2本の
データ線が交差されない第2相補データ線対とを、交互
に配置することができる。
【0009】また、上記構成の半導体記憶装置と、それ
をアクセス可能な中央処理装置とを含んでデータ処理装
置を構成するものである。
【0010】
【作用】上記した手段によれば、互いに異なる列番地に
属し、列番地の境界部で互いに隣接する相補データ線対
として、相補データ線対を構成する2本のデータ線が中
央部で交差されて成るものを適用することは、列番地の
境界部で互いに隣接する相補データ線対間の容量による
電気的な干渉を低減して、メモリセルデータに応じて相
補データ線対に生ずる電位差レベルの早期確定を可能と
し、このことが、データ読出し速度の高速化を達成す
る。また、そのような半導体記憶装置を含むデータ処理
装置において、中央処理装置によるアクセス速度の向
上、さらにはデータ処理速度の向上を達成する。
【0011】
【実施例】図4には、本発明の一実施例であるデータ処
理装置が示される。
【0012】このデータ処理装置は、システムバス40
0を介して、CPU(中央処理装置)401、DRAM
制御部403、SRAM406、ROM(リード・オン
リ・メモリ)405、周辺装置制御部407、表示系4
10などが、互いに信号のやり取り可能に結合されるこ
とによって、予め定められたプログラムに従って所定の
データ処理を行うコンピュータシステムとして構成され
る。上記CPU401は、本システムの論理的中核とさ
れ、主として、アドレス指定、情報の読出しと書込み、
データの演算、命令のシーケンス、割り込の受付け、記
憶装置と入出力装置との情報交換の起動等の機能を有
し、演算制御部や、バス制御部、メモリアクセス制御部
などから構成される。上記DRAM制御部403によっ
て制御されるDRAM402や、バックアップ制御部4
04によってバックアップされるSRAM406、及び
ROM405は内部記憶装置として位置付けられてい
る。そして、DRAM402やSRAM406には、C
PU401での計算や制御に必要なプログラムやデータ
が格納される。周辺装置制御部407によって、磁気記
憶装置408の動作制御や、キーボード409などから
の情報入力制御が行われる。また、上記表示系410に
よって、CRTディスプレイ412の情報表示制御が行
われる。
【0013】図2には上記SRAM406の全体的な構
成が示される。
【0014】図2に示されるSRAM406は、特に制
限されないが、公知の半導体集積回路製造技術により、
単結晶シリコン基板などの一つの半導体基板に形成され
ている。
【0015】図2において206は、複数個のスタティ
ック型メモリセルをマトリクス配置したメモリセルアレ
イであり、メモリセルの選択端子はロウ方向(行方向)
毎にワード線に結合され、メモリセルのデータ入出力端
子はカラム方向(列方向)毎に相補データ線に結合され
る。それぞれの相補データ線は、相補データ線(相補ビ
ット線とも称される)に1対1で結合された複数個のス
イッチを含むカラムスイッチ回路209を介して相補コ
モン線に共通接続されている。
【0016】外部より入力されるアドレス信号A0〜A
nのうちA0〜Amは、それに対応して配置されたバッ
ファ201−0〜201−mを介してロウデコーダ20
4に伝達され、アドレス信号Am+1〜Anは、それに
対応して配置されたバッファ201−m+1〜201−
nを介してカラムデコーダ208に伝達される。ワード
ドライバ205はロウデコーダ204のデコード出力に
基づいて、入力アドレス信号に対応するワード線を選択
レベルに駆動する。このワードドライバ205は、ワー
ド線数に対応する複数の駆動回路を含んで成る。所定の
ワード線が駆動されると、このワード線に結合された全
てのメモリセルが選択される。またカラムデコーダ20
8は、これに供給されるアドレス信号に対応するカラム
選択スイッチをオン動作させて、相補データ線を相補コ
モン線に導通する。このとき相補データ線の電位は、デ
ータ入出力回路210に含まれるセンスアンプで増幅さ
れ、さらに出力バッファを介して外部に出力可能とされ
る。データ入出力回路210に含まれる入力バッファに
外部から書込みデータが与えられると、その書込みデー
タに従って相補データ線が駆動され、それにより、所定
のメモリセルにそのデータに応ずる書込みが可能とされ
る。そして外部から与えられる制御信号としてのチップ
セレクト信号CS*(*はローアクティブ又は信号反転
を意味する)、ライトイネーブル信号WE*がそれぞれ
バッファ202、203を介して上記制御部207に取
込まれ、この制御部207により本実施例各部の動作制
御信号が生成されるようになっている。チップセレクト
信号CS*がローレベルにアサートされることによって
チップ選択が行われる。また、そのように選択された状
態で、ライトイネーブル信号WE*がローレベルにアサ
ートされた場合にはメモリセルへのデータ書込みが可能
とされる。
【0017】さらに、冗長構成により、メモリセルアレ
イの欠陥をカラム方向に救済するための冗長救済回路2
11が設けられている。この冗長救済回路211は、特
に制限されないが、ヒューズ回路の熔断により、メモリ
セルアレイ206の欠陥ビットのアドレス情報を記憶可
能な冗長記憶手段や、この冗長記憶手段の記憶アドレス
とバッファ201−m+1〜201−nからのカラムア
ドレスとを比較するための冗長比較手段、さらには、冗
長救済のためにカラムデコーダ208の冗長部を正規部
に代えて活性化するための冗長イネーブル手段等を含
む。メモリセルアレイ206の正規ビットに欠陥を有し
ない場合には、上記冗長救済回路211による冗長救済
は行われない。しかし、メモリセルアレイ206の正規
ビットに欠陥を有し、それをビット単位で救済するため
に上記冗長記憶手段にアドレスの書込みが行われた後に
は、メモリアクセスにおいて、上記冗長比較手段でアド
レス一致が検出される毎に、欠陥を含むビットに代えて
冗長ビットが選択される。
【0018】図1には、上記メモリセルアレイ206の
主要構成が示される。
【0019】ワードドライバ205によって選択的に駆
動される複数のワード線WD0〜WDiが設けられ、そ
れに交差するように、複数の相補データ線対D0*,D
0〜Di+n*,Di+nが設けられている。ワード線
WD0〜WDiと相補データ線対D0*,D0〜Di+
n*,Di+nとの交差箇所には、それぞれスタティッ
ク型メモリセルMCが設けられている。ワード線WD0
〜WDiのうちの一つがワードドライバ205によって
選択レベルに駆動されるとき、そのワード線に結合され
た複数のメモリセルMCのデータ端子(入出力ノード)
が、対応する相補データ線に結合され、それによってメ
モリセルデータの読出し、又はメモリセルへのデータ書
込みが可能とされる。また、複数の相補データ線対D0
*,D0〜Di+n*,Di+nは、それぞれデータ線
負荷回路12、及びカラムスイッチ回路209に結合さ
れている。
【0020】図1においては、カラム系Y番地に属する
相補データ線対D0*,D0、Di*,Diと、それに
隣接するカラム系Y+1番地に属する相補データ線Di
+1*,Di+1、Di+n*,Di+nが、代表的に
示されている。相補データ線対Di*,Diと、相補デ
ータ線対Di+1*,Di+1とは、列番地の境界部で
互いに隣接する相補データ線対とされ、それらは、相補
データ線対を構成する2本のデータ線が中央部で交差さ
れて成る。また、同一列番地においては、Di*,Di
や、Di+1*,Di+1などのように、相補データ線
対を構成する2本のデータ線が中央部で交差された相補
データ線対と、D0*,D0や、Di+n*,Di+n
などのように、2本のデータ線が中央部で交差されない
相補データ線対とが、交互に配置されている。隣接デー
タ線間の容量C2による電気的な干渉を低減するためで
ある。
【0021】図3には、一つのメモリセルMCとデータ
線負荷回路12の構成例が示される。
【0022】抵抗R1,R2及びnチャンネル型MOS
トランジスタDr1,Dr2によって、データをスタテ
ィックに保持するためのフリップフロップが形成され、
そのフリップフロップが、データ転送用のnチャンネル
型MOSトランジスタTr1,Tr2を介して、データ
線対D*,Dに結合されている。データ転送用のnチャ
ンネル型MOSトランジスタTr1,Tr2のゲート電
極はワード線WDiに結合されており、ワード線WDi
がハイレベルに駆動されたときにオンされて、データの
読出し又は書込みが可能とされる。また、相補データ線
D*,Dには、それのフローティングを防止するための
pチャンネル型MOSトランジスタQ10,111、イ
コライズ用のpチャンネル型MOSトランジスタQ1
2,Q13、及びQ14が設けられている。プリチャー
ジ用のpチャンネル型MOSトランジスタQ12,Q1
3、及びデータ線短絡用のpチャンネル型MOSトラン
ジスタQ14は、制御部207からのデータ線負荷回路
活性化信号DEQによって動作制御される。
【0023】図5には、書込み状態から読出し動作にお
ける主要部のタイムチャートが示される。横軸が時間、
縦軸が電圧である。
【0024】時刻t1までの書込み状態では、行番地に
よってワード線WD0が選択され、、列番地はY番地と
される。このとき、選択Y番地のデータ線Diの電位は
0(V)、データ線Di*の電位は高電位側電源Vcc
レベルとされる。Y番地の隣接番地であるY+1番地の
データ線対の電位は、高電位側電源Vccレベル近傍で
あり、データ線Di+1がV1(V)、データ線Di+
1*が高電位側電源Vccレベルとなっている。
【0025】次に、時刻t1のとき、書込み状態が終了
され、ワード線WD0が非選択状態及びデータ線負荷回
路活性化信号DEQがローレベルとなり、データ線負荷
回路のMOSトランジスタQ12,Q13,Q14が導
通状態とされ、それによって、データ線対の電位差がイ
コライズされる。このとき、選択Y番地のデータ線Di
の電位は、0(V)から高電位側電源Vccレベルとな
り、データ線Diに隣接するデータ線Di+1*の電位
は、線間容量C1による電気的な干渉により、高電位側
電源Vccレベル以上のV12(V)となる。
【0026】そして、時刻t2のとき、データ線負荷回
路活性化信号DEQがハイレベルとなる。それにより、
データ線負荷回路のMOSトランジスタQ12,Q1
3,Q14が非導通状態となり、データ線対のイコライ
ズが終了し、データ線対Di*,Diの電位はV13
(V)、データ線対Di+1*,Di+1の電位はV1
4(V)となる。
【0027】次に、時刻t3のとき、ワード線WDiが
選択レベルに駆動されて、読出し開始状態とされる。時
刻t2以降の読み出し動作のとき、選択Y番地のデータ
線対の電位は、高電位側電源Vcc近傍で変化し、デー
タ線Diの電位は、高電位側電源Vccレベル、データ
線Di*の電位はV1(V)になろうとする。しかしな
がら、このときデータ線Diに隣接するデータ線Di+
1*の電位はV14=4.16(V)からV1=3.7
4(V)になろうとするため、V14−V1=0.42
(V)の電圧降下を生ずる。また、データ線Diに隣接
するデータ線D0の電位はV13−Vcc=0.10
(V)の電圧降下を起す。すなわち、データ線Diの隣
接データ線の合計の電圧降下量0.52(V)が線間容
量C1、及びC2を介して電気的干渉を及ぼし、データ
線Diの電圧降下を起す。
【0028】ここで、本実施例との比較のため、図6に
示されるように、列番地の境界部で互いに隣接する相補
データ線対の一方が、相補データ線対を構成する2本の
データ線が中央部で交差されていない場合について説明
する。図6に示される構成では、列番地にかかわらず、
相補データ線対を構成する2本のデータ線が中央部で交
差された相補データ線対と、中央部で交差されない相補
データ線対とが、単に交互に配置されて成るものとされ
る。この場合、データ線Di,Di+1*との間には、
線間容量C1,C2が形成される。そして、その場合の
主要部タイムチャートが図7に示される。
【0029】選択Y番地のデータ線Diの電位は0
(V)から高電位側電源Vccレベルとなり、データ線
Diに隣接するY+1番地のデータ線対Di+1*,D
i+1の電位は、線間容量C1及びC2による電気的干
渉により、高電位側電源Vccレベル以上のV2(V)
となる。次に、時刻t2の時には、データ線負荷回路活
性化信号DEQがハイレベルとなり、データ線対のイコ
ライズが終了され、データ線Di*,Diの電位はV3
(V)となる。そして、時刻t3のとき、ワード線WD
iが選択レベルに駆動されるが、時刻t2の読出し動作
のとき、選択Y番地のデータ線Di*,Diの電位は高
電位側電源Vccレベル近傍で変化され、データ線Di
の電位は高電位側電源Vccレベル、データ線Di*の
電位はV1=3.74(V)になろうとする。しかしな
がら、このとき、データ線Diに隣接するY+1番地の
データ線Di+1の電位はV4=4.18(V)から高
電位側電源Vccレベルになろうとするため、V4−V
cc=0.18(V)の電圧降下を生ずる。また、デー
タ線Di+1*の電位はV4=4.18(V)からV1
=3.74(V)になろうとするため、V4−V1=
0.44(V)の電圧降下を起す。すなわち、データ線
Diの隣接データ線の合計の電圧降下量0.62(V)
が線間容量C1及びC2を介して電気的干渉を及ぼし、
データ線Diの電圧降下を起し、読出し開始時刻から読
み出し動作が可能となるデータ線対Di*,Diの電位
差ΔVが得られるまでの遅延時間が長くなる。
【0030】それに対して、本実施例回路では、選択Y
番地のデータ線Diに隣接するデータ線の電圧降下量
は、図6に示される回路の場合に比べて、0.62−
0.52=0.10(V)低くなり、読出し開始から読
出し動作が可能となるデータ線対Di*,Diの電位差
ΔVが得られるまでの遅延時間が短くなる。つまり、列
番地の境界部で互いに隣接するデータ線間の線間容量に
起因する干渉を減少させることができる。それによっ
て、データ読出しの高速化を図ることができる。本発明
者の検討によれば、本実施例の場合の遅延時間(t3か
らt11までの時間)は2.9(ns)であり、図6に
示される回路構成の場合の遅延時間(t3〜t21まで
の時間)は3.9(ns)であるから、1.0(ns)
の時間短縮が可能とされる。
【0031】上記実施例によれば、以下の作用効果を得
ることができる。
【0032】(1)互いに異なる列番地に属し、列番地
の境界部で互いに隣接する相補データ線対Di*,D
i、及びDi+1*,Di+1として、相補データ線対
を構成する2本のデータ線が中央部で交差されて成るも
のが適用されているので、列番地の境界部で互いに隣接
する相補データ線対間の上記線間容量による電気的な干
渉が低減され、メモリセルデータに応じて相補データ線
対に生ずる電位差レベルの早期確定が可能とされるの
で、データ読出し速度の高速化を図ることができる。
【0033】(2)同一列番地においては、相補データ
線対を構成する2本のデータ線が中央部で交差された相
補データ線対と、2本のデータ線が中央部で交差されな
い相補データ線対とが、交互に配置されることにより、
同一列番地における相補データ線対間に生ずる線間容量
に起因する電気的な干渉を低減することができる。
【0034】(3)SRAM406には、CPU401
での計算に必要なプログラムやデータが格納されるた
め、SRAM406のアクセス速度を短縮することは、
データ処理速度の向上を図る上で非常に有効とされる。
そのようなSRAM406として、上記(1),(2)
の作用効果を有するSRAMを適用することにより、C
PU401によるSRAM406のアクセス速度の短縮
が可能とされるので、システム全体としてのデータ処理
速度の向上を図ることができる。
【0035】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲におい
て種々変更可能であることは言うまでもない。
【0036】例えば、上記実施例では低電位側電源Vs
sをグランドレベルとしたが、高電位側電源Vccをグ
ランドレベルとすることができる。また、メモリセルア
レイ206を構成するデータ線対の数や、メモリセルの
数や、データ線対の交差する位置や、交差点の数等は、
適宜に設計変更が可能である。
【0037】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるSRA
Mに適用した場合について説明したが、本発明はそれに
限定されるものではなく、ダイナミック型メモリセルを
含んで成るダイナミックRAMや、その他の半導体集積
回路、さらにはそれを含むシングルチップマイクロコン
ピュータなどの各種データ処理装置に広く適用すること
ができる。
【0038】本発明は、少なくともデータ線対を含むこ
と条件に適用することができる。
【0039】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0040】すなわち、互いに異なる列番地に属し、列
番地の境界部で互いに隣接する相補データ線対として、
相補データ線対を構成する2本のデータ線が交差されて
成るものを適用することにより、列番地の境界部で互い
に隣接する相補データ線対間の容量による電気的な干渉
が低減され、メモリセルデータに応じて相補データ線対
に生ずる電位差レベルの早期確定が可能とされるので、
データ読出し速度の高速化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるSRAMの主要部構成
例ブロック図である。
【図2】上記SRAMの全体的な構成例ブロック図であ
る。
【図3】上記SRAMに含まれるメモリセルの構成例回
路図である。
【図4】上記SRAMを含むデータ処理装置の全体的な
構成例ブロック図である。
【図5】上記SRAMの書込み状態から読出し動作にお
ける主要部のタイムチャートである。
【図6】上記SRAMの作用効果の比較対象とされるS
RAMにおける主要部のブロック図である。
【図7】図6に示されるSRAMの書込み状態から読出
し動作における主要部のタイムチャートである。
【符号の説明】
MC メモリセル D0*,D0、Di*,Di、Di+1*,Di+1、
Di+n*,Di+nデータ線対 WD0〜WDi ワード線 C1,C2 線間容量 12 データ線負荷回路 201−0〜201−n,202,203 バッファ 204 ロウデコーダ 205 ワードドライバ 206 メモリセルアレイ 207 制御部 208 カラムデコーダ 209 カラムスイッチ回路 210 データ入出力回路 211 冗長救済回路 401 CPU 402 DRAM 403 DRAM制御部 404 バックアップ制御部 405 ROM 406 SRAM 407 周辺装置制御部 408 磁気記憶装置 409 キーボード 410 表示系
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡部 憲佳 北海道亀田郡七飯町字中島145番地 日立 北海セミコンダクタ株式会社内 (72)発明者 和田 幸博 北海道亀田郡七飯町字中島145番地 日立 北海セミコンダクタ株式会社内 (72)発明者 宮脇 靖治 北海道亀田郡七飯町字中島145番地 日立 北海セミコンダクタ株式会社内 (72)発明者 玉井 博士 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 それぞれメモリセルに結合され、ワード
    線に交差するように形成された複数の相補データ線対を
    含む半導体記憶装置において、 互いに異なる列番地に属し、列番地の境界部で互いに隣
    接する相補データ線対は、相補データ線対を構成する2
    本のデータ線が交差されて成ることを特徴とする半導体
    記憶装置。
  2. 【請求項2】 同一列番地に属する限り、相補データ線
    対を構成する2本のデータ線が交差された第1相補デー
    タ線対と、相補データ線対を構成する2本のデータ線が
    交差されない第2相補データ線対とが、交互に配置され
    て成る請求項1記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載の半導体記憶装置
    と、上記半導体記憶装置をアクセス可能な中央処理装置
    とを含むことを特徴とするデータ処理装置。
JP1647695A 1995-01-06 1995-01-06 半導体記憶装置、及びデータ処理装置 Withdrawn JPH08190793A (ja)

Priority Applications (1)

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JP1647695A JPH08190793A (ja) 1995-01-06 1995-01-06 半導体記憶装置、及びデータ処理装置

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