JPH08184570A - 欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 パターン欠陥検査の被検査基板上の任意の形
状の範囲を容易かつ正確・迅速に指定できるようにする
こと。 【構成】 被検査基板上の検査範囲を指定する際に、デ
ィスプレー上に被検査基板上のパターンＤＧを表示し、
同時に表示されたマウスカーソルＭＣを、マウスを動か
すことにより移動させ、検査範囲を矩形・多角形・円形
などを使用して任意の位置及び形状に指定していくこと
により、検査範囲の指定を行う。検査範囲を指定する図
形については修正などの編集も可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、プリント基板のパタ
ーン検査装置などのように、所定のパターンが形成され
た被検査物についてのパターン欠陥の検査を行う装置に
関するもので、特に、被検査物のうち検査すべき範囲を
指定する方式の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板や、マスクパターン等
（以下、「被検査基板」という）の欠陥検査方法として
利用されるパターン欠陥検出方法は、比較法（パターン
マッチング法）と特徴抽出法（デザインルール法）が主
である。前者は基準となる画像パターン（基準画像パタ
ーン）と欠陥検査の対象となる画像パターン（検査画像
パターン）とを重ね合わせ、両者の食い違いの部分から
欠陥を判定する方法である。この欠陥検査方法は特公昭
５９−２０６９号公報、特開昭６０−６１６０４号公報
等に開示されている。

【０００３】また後者は基準画像パターンに含まれる各
種の特徴（例えば、線幅、角度、特定パターン等）をあ
らかじめ記憶しておき、それらの特徴に含まれないパタ
ーンが検査画像パターン内に見つかれば、その部分を欠
陥と判定する方法である。この欠陥検査方法は、特開昭
５７−１４９９０５号公報等に開示されている。

【０００４】ところで、これらいずれのパターン欠陥検
出を行うにも、その前準備作業としてパターン欠陥検出
を行う被検査基板の範囲（以下、「検査範囲」という）
を設定する必要がある。この検査範囲を設定するための
方法として、被検査基板を載せたテーブル上の目盛りを
目視で読み取りながらキーボードで矩形の各頂点の座標
値をキー入力する方法が一般的である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この従来の
技術による検査範囲の設定方法では、テーブル上の目盛
りを目視で読み取りながら矩形の検査範囲の各頂点の座
標値をキー入力するため、読み取り誤差等により、正確
な検査範囲を設定することが困難である。そのため本来
設定したい範囲よりも少し広めに検査範囲を設定するこ
とが必要になる。この結果、検査する必要の無い領域ま
でが検査範囲として設定され、その領域から欠陥（本来
の欠陥ではないが欠陥と誤認されるもの）が検出される
可能性がある。この欠陥はいわゆる「誤報」と呼ばれ、
後行程の欠陥確認作業時間が長くなることの大きな要因
となる。

【０００６】また、従来技術では一般的には円形や多角
形の検査範囲を入力することができないため、複雑な形
状の検査範囲を指定する場合にも矩形の組合せだけで表
現せざるを得ない。しかしながらこのような場合に、矩
形を組み合わせて円形や多角形を入力しようとすると、
大量の矩形領域を入力する必要がある。また、キーボー
ドで座標値をキー入力するため、入力作業時間が長くな
る。

【０００７】さらに、多くの検査範囲を設定する場合
は、テーブル上の目盛りを目視しながらキー入力を行う
作業を何度も繰り返すため、入力ミスが発生する危倹性
がある。それにもかかわらず、検査すべき領域に正確に
検査範囲が設定されているかを基板のパターンと照らし
合わせて確認する手段がないため、入力ミスの発見が困
難である。特に、検査すべき領域に検査範囲が設定され
ていないと欠陥が存在しても欠陥として検出しないた
め、致命的な「欠陥見逃し」となる危倹性がある。

【０００８】

【発明の目的】この発明は、従来技術における上述の問
題の克服を意図しており、パターン欠陥の検査の対象と
なる被検査物上の任意の形状の範囲を、容易かつ迅速・
正確に指定できるとともに、検査の効率化を達成可能な
欠陥検査装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の欠陥検査装置は、所定のパターンが形成さ
れた被検査物についてのパターン欠陥の検査を行う装置
を対象とし、第１の構成では、前記被検査物の画像を表
示する表示手段と、前記表示手段に表示された前記被検
査物の画像を観察しつつ、前記画像の任意の範囲を指定
するための範囲指定データを入力する入力手段と、前記
範囲を表現する図形を発生して、前記表示手段上に前記
画像と前記図形とを重ねて表示させる表示制御手段と、
前記範囲についての前記画像のパターン欠陥の検査を行
う検査手段とを備えることを特徴とする。

【００１０】さらにこの発明の第２の構成では、請求項
１記載の装置において、前記範囲指定手段は、所定のマ
ークを前記表示手段上で移動させるとともに、前記被検
査物の画像上における前記マークの位置を特定して前記
範囲を指定する手動操作手段を有し、前記表示制御手段
が、前記手動操作手段の手動操作に応答して前記図形を
発生する図形発生手段を有することを特徴とする。

【００１１】

【作用】請求項１の欠陥検査装置では、パターン欠陥検
査の際の検査範囲の指定に際して表示手段上の被検査画
像と指定中の検査範囲を表現する図形を重ねて表示し、
それを見ながら検査範囲の指定が行えるため、正確な範
囲指定が容易かつ迅速に行える。

【００１２】また、請求項２の欠陥検査装置では、表示
手段上に表示された被検査物の画像上の所定のマークを
手動操作手段により移動し、その位置を特定することに
より検査範囲を指定するため、検査範囲の指定を特に正
確かつ迅速に行うことができる。

【００１３】

【実施例】

【００１４】

【１．実施例の概要および装置構成】この実施例の欠陥
検査装置は、プリント基板等の欠陥検査を行う際に、被
検査基板（被検査物）上の検査範囲を指定する際に、デ
ィスプレー（表示手段）上に被検査基板上のパターン
（以下「被検査パターン」という）を表示し、同時に表
示されたマウスカーソルを、マウス（手動操作手段）を
動かすことにより移動させ、検査範囲を任意の位置及び
形状に指定していくことにより、検査範囲の指定を正確
かつ迅速に行うものである。この様子を示したのが図１
である。この図はこの実施例の１例として検査範囲を多
角形の形状に入力していく場合のディスプレー画面の表
示を示している。ディスプレー画面には、被検査パター
ンＤＧと指定中の検査範囲の外形を表す連続直線ＤＬが
重ねて表示されている。入力点ＤＰa1〜ＤＰa14は検査
範囲を表す多角形の頂点であり、オペレータが入力して
いった位置を表している。

【００１５】図１の状態では１４個の頂点が指定されて
いて、次に１５番目の頂点を指定しようとしているとこ
ろである。また同時に、ディスプレー画面にはその指定
中の検査範囲が、検査画像に重ねて表示されていて、オ
ペレータは両者の位置関係を確認しながら続けて検査範
囲を指定していく。オペレータがマウスを移動させると
それに応じて十字型のマウス・カーソルＭＣがディスプ
レー上を移動していく。このときマウス・カーソルＭＣ
の交点と入力点ＤＰa14とを直線の点線が結んでいて、
マウス・カーソルＭＣの動きにあわせて伸縮する（以下
「ラバーバンド方式」という）。そしてオペレータが被
検査パターンＤＧの周辺の所望する位置でマウスの左ボ
タンをクリックすると、入力点ＤＰa14とマウス・カー
ソルＭＣの交点を結んでいた直線が点線から実線にな
り、黒点が表示される。この黒点が入力点ＤＰa15を表
し、それと同時にこの点の座標値が後述するメモリに保
存される。そしてオペレータはこの作業を続けて行って
いき、このＤＬが閉曲線になった段階で検査範囲の指定
は終了する。

【００１６】図２はこの実施例の欠陥検査装置の構成を
表すブロック図である。この装置の構成を以下に示す。
検査テーブル１は被検査基板を載置するためのテーブル
である。読み取りヘッド２は検査テーブル１上に置かれ
た被検査基板のパターン画像を読み取る。Ａ／Ｄ変換・
２値化回路３は読み取った画像信号をデジタル化および
２値化し、メモリ４はデジタル化および２値化された画
像データ（以下「２値化データ」という）や検査範囲デ
ータ等を記憶する。また、比較検査回路５は２値化デー
タの比較法による欠陥検査を行う。ＤＲＣ回路６は２値
化データの特徴抽出法による欠陥検査を行う。ＣＰＵ７
は図示の他の回路で実行する以外の各種処理をソフトウ
ェア的に行う。さらに、グラフィック端末９は被検査パ
ターンや、マウス１０による検査範囲データの入力結果
をそのディスプレー上に表示するとともに検査範囲デー
タの編集等を行う際の表示を行う。

【００１７】

【２．実施例の処理手順】ここでは、図３に従ってこの
実施例の欠陥検査装置の処理手順を示していく。まずス
テップＳ１では基板を検査テーブル１上に載せてそのパ
ターンを光電的に読み取るための条件を設定する。具体
的には次のステップＳ２で行う被検査基板の読み取りの
範囲の設定や２値化のための濃度の閾値の設定、検査テ
ーブル１の上下によるフォーカス設定などである。な
お、ここでの読み取り範囲の設定は検査範囲の設定とは
異なり、被検査基板のうちパターンが形成されていない
外縁部などを除いた全域である。

【００１８】つぎに、ステップＳ２では、検査テーブル
１上の被検査基板を読み取りへッド２で光電的に読取り
ながら走査し、Ａ／Ｄ変換、２値化して画像データ格納
メモリＡ（図示せず）に格納する。以下、この２値化さ
れた画像データを２値化画像データａと呼ぶ。なお、こ
こで画像データ格納メモリＡは図２のメモリ４のメモリ
空間の１部分の領域を指しており、以下に示す各種メモ
リＢ〜Ｄもメモリ４のメモリ空間内の互いに異なる領域
を表す。つぎに、画像データ格納メモリＡに格納した２
値化画像データａに対して８×８画素から１×１画素に
圧縮して、圧縮画像データｂを作成し、圧縮画像データ
格納メモリＢに格納する。この圧縮画像データｂは以下
のようにして作成する。すなわち、２値化画像データａ
の８×８画素の中の全６４画素に１画素でも「１」があ
れば対応する圧縮画像データｂの１×１画素を「１」と
する。逆に６４画素が全て「０」であれば、圧縮画像デ
ータｂの１×１画素を「０」とする。つまり８×８画素
の論理和演算による圧縮である。

【００１９】つぎにステップＳ３では、圧縮画像データ
格納メモリＢの画像データｂを読み出し、４×４画素か
ら１×１画素に圧縮して、圧縮画像データｃを作成し、
圧縮画像メモリＣに格納する。また、圧縮画像データｂ
を１×１画素から４×４画素に拡大して拡大画像データ
ｄを作成し、拡大画像メモリＤに格納する。

【００２０】このときの画像圧縮および拡大の処理の詳
細は次の通りである。まず、圧縮画像データｃの作成方
法は次のとおりである。すなわち圧縮画像データｂの４
×４画素の中の中心２×２画素の４画素が全て「１」で
あれば対応する圧縮画像データｃの１×１画素を「１」
とする。逆に中心２×２画素の４画素に１画素でも
「０」があれば、圧縮画像データｃの１×１画素を
「０」とする。以上の処理を圧縮画像データｂの全画素
に対してソフトウェアで１回だけ実行する。つまり４×
４画像の論理積による圧縮である。一方、拡大画像デー
タｄの作成にあたっては、圧縮画像データｂの１×１画
素が「１」であれば対応する拡大画像データｄの４×４
画素を全て「１」とする。逆に「０」であれば、拡大画
像データｄの４×４画素を全て「０」とする。つまり画
素の実質的拡大を行う。この処理を圧縮画像データｂの
うち拡大してグラフィック端末９のディスプレー（以下
単に「ディスプレー」という）に表示する領域に対して
のみソフトウェアで実行する。ディスプレーに表示する
直前に、表示する領域範囲内の画像データだけをその都
度拡大処理するためディスプレーの表示レスポンスは使
用上問題にはならない。これら、圧縮画像データｂ、圧
縮画像データｃ、拡大画像データｄのディスプレーの表
示が図４に示されている。

【００２１】このステップＳ３の最後にグラフィック端
末９のディスプレーに、圧縮画像データｃを表示する。

【００２２】つぎにステップＳ４では、オペレータがグ
ラフィック端末９に前述の３種の画像データ（圧縮画像
データｂ、圧縮画像データｃ、拡大画像データｄ）の表
示を切換えながら、検査範囲座標データ（範囲指定デー
タ）や属性・検査パラメータを入力していく。

【００２３】ここで圧縮画像データｂ、圧縮画像データ
ｃ、拡大画像データｄの表示切換えの説明を図４に従っ
て行う。これらの図で十字型の点線はマウス・カーソル
ＭＣを表している。このときのマウス・カーソルＭＣの
ディスプレー上の座標値と、それに対応する検査テーブ
ル１上の座標値の関係は以下のようになる。すなわち、
ディスプレー上に表示された画像データの１画素のＸ及
びＹ方向のサイズをそれぞれＳx，Ｓyとし、ディスプレ
ー上に表示された画像データに対して、ディスプレー原
点位置（０，０）の検査テーブル上の座標値を（Ｏx，
Ｏy）とし、マウス・カーソルＭＣのディスプレー上の
座標値Ｍ（Ｍx，Ｍy）とすると、デイスプレー上のマウ
ス・カーソル位置に対する検査テーブル上の座標値（以
下「テーブル座標値」という）Ｐ（Ｐx，Ｐy）は、 Ｐx＝Ｏx＋Ｓx×Ｍx ， Ｐy＝Ｏy＋Ｓy×Ｍy となる。

【００２４】まず最初は圧縮画像データｃが表示されて
いる。これにより基板の全体像がディスプレーを一目し
て認識できるので、検査範囲を設定したい領域をディス
プレーから瞬時に見つけ出すことが可能になる。つぎに
ディスプレー上でマウス・カーソルＭＣが座標値Ｍ（テ
ーブル座標値Ｐ）の位置にある状態でマウス１０の右ボ
タンをクリックすると、テーブル座標Ｐの圧縮画像デー
タｂがマウス・カーソルＭＣの位置Ｍに表示される。こ
のことにより表示可能な範囲は１／４倍になり、表示さ
れる画像サイズは４倍になる。また再度同じ位置でマウ
ス１０の右ボタンをクリックすると、テーブル座標Ｐの
拡大画像データｄがマウス・カーソルＭＣの位値Ｍに表
示される。このことにより表示可能な範囲はさらに１／
４倍になり、表示される画像サイズはさらに４倍にな
り、より細かい部分の位置指定が可能となる。さらに、
拡大画像データｄから圧縮画像データｂに表示を戻す場
合は、再度マウス１０の右ボタンをクリックする。この
ように圧縮画像データｂと圧縮画像データｃの表示を切
替えながら、検査範囲を指定していく。また、右ボタン
をダブルクリックすれば、拡大画像データｄから圧縮画
像データｃあるいは圧縮画像データｂから圧縮画像デー
タｃへ表示を戻すことができる。

【００２５】また、各画像データの表示中に表示位置を
移動（以下「スクロール」という）させることができ
る。その方法として、一つにはスクロールバーＳＢ（図
４の拡大画像データｄに付随して示している）すなわち
表示移動棒をマウス１０でクリックしてそれぞれ縦また
は横に移動することによりスクロールさせる操作が可能
である。しかしこの方法では、スクロールバーＳＢがデ
ィスプレー上の上下左右の端に位置しているため、スク
ロール操作をする度にマウス１０をディスプレーの端ま
で移動させる必要がある。また、垂直方向と水平方向を
同時に移動させることができないため、任意の斜め方向
へのスクロール移動ができない。そこで、この実施例の
欠陥検査装置では、スクロールバーＳＢによるスクロー
ル移動と併用して、マウス１０の操作だけによる任意方
向へのスクロール移動をも可能にしている。

【００２６】この操作による画像データ上の表示範囲の
移動状況を示したのが図５である。まず圧縮画像データ
ｃに対応する図５（ａ）内の部分範囲Ａ１に相当する圧
縮画像データｂの範囲がディスプレー上に表示されてい
る。このときのディスプレー画面上の表示を示したのが
図５（ｂ）である。この状態で、マウス１０中央ボタン
（２ボタンマウスの場合は左右のボタンを同時に押すこ
とで代用可能）を押しながらマウス１０を右下方向へ移
動させる。するとディスプレー上のマウス・カーソルＭ
Ｃの位置は変化しないで、背景のパターンが変化してい
き、図５（ｃ）の表示状態になる。この図５（ｃ）の範
囲に対応するのが圧縮画像データｂの部分範囲Ａ２であ
る。この状態でマウス１０の中央ボタンを押下状態を開
放すると、マウス１０を動かすことによってマウス・カ
ーソルＭＣをディスプレー画面上を任意に動かせるよう
になる。なお、この例ではスクロールの方向をディスプ
レー画面上の右下方向にとったが、前述のようにこの方
向は任意である。

【００２７】以上により、検査範囲の入力途中でスクロ
ール移動させる度にマウス１０をディスプレーの端まで
移動させる必要がなくなり、また任意の方向にスクロー
ル移動できるため、目的の領域を探し出す時間が短縮で
きる。そしてこのように被検査パターンの表示サイズを
３種類に変えながら、検査範囲を入力していく。このよ
うに検査範囲の入力途中でマウスを移動させる等の余計
な操作をすることなく同じ位置の画像表示倍率が変更で
きるので、検査範囲の入力操作そのものがスムーズに進
行できる。

【００２８】つぎに、検査範囲の指定方法について説明
する。それぞれの検査範囲データは、形状に関する検査
範囲座標データおよび属性・検査パラメータの対で構成
される。これらの内検査範囲座標データは検査範囲の位
置を指定するデータであり、次のように指定して登録す
る。ディスプレー画面上に表示された画像データに対し
て、オペレータのマウス操作によりそのディスプレー画
面上をマウス・カーソルＭＣを希望の位置へ移動させて
マウス１０の左ボタンを押すと、そのマウス・カーソル
ＭＣの位置Ｍに対応するテーブル座標値Ｐが検査範囲座
標データとして登録される。また属性はそれぞれの領域
が検査範囲なのか検査不要領域なのかを示す情報であ
り、これについてもマウス１０の操作によって指定す
る。さらに検査パラメータは比較法（パターンマッチン
グ法）を適用するのか特徴抽出法（デザインルール法）
を適用するのか等を指定するものであり、やはりマウス
１０の操作によって指定する。

【００２９】これらのうち座標データは、基板を載せた
検査テーブル１上の座標値に変換して登録する。この変
換のための換算式については既述した。さらに、入力で
きる検査範囲の形状は、多角形、円形、矩形の３種類で
ある。形状の指定は、それぞれの領域を入力する前にオ
ペレータが指定する。このうち多角形は３角形から最大
Ｎ角形まで（Ｎは５以上の所定の整数）である。また、
属性と検査パラメータの指定は、それぞれの領域の入力
が完了する前にオペレータが指定する。入力が完了して
登録された領域を、基板のイメージ画像を背景として属
性別の色で表示することにより、基板上のどのパターン
に対してどのような検査範囲が設定されているか、およ
びどこに検査不要領域が設定されているかが一目して識
別することができる。

【００３０】つぎに検査範囲を指定する４種類の方法に
ついて説明する。

【００３１】１．多角形の場合 この場合の検査範囲指定の状況は前述の図１に示されて
いる。最初にマウス１０の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点ＤＰa1に対応するテーブル座標
値Ｐa1を多角形の第１点として登録する。その後、マウ
ス・カーソルＭＣの移動に合わせて、第１点とマウス・
カーソルＭＣの位置を結ぶ線分がラバーバンド方式で表
示される。次にマウス１０の左ボタンが押された時のデ
ィスプレー画面上の入力点ＤＰa2に対応するテーブル座
標値Ｐa2を第２点として登録する。以上の操作を繰り返
し、最後に登録操作が行われたら、最後に登録された第
ｎ点と第１点とを結んでｎ角形を登録する。ただし、ｎ
≦Ｎである。

【００３２】２．矩形の場合 この場合の検査範囲指定の状況は図６（ａ）に示されて
いる。最初にマウス１０の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点ＤＰb1に対応するテーブル座標
値Ｐb1を矩形の４頂点のうちの１点として登録する。そ
の後、マウス・カーソルＭＣの移動に合わせて、マウス
・カーソルＭＣの位置を対角座標入力点ＤＰb2とする矩
形をラバーバンド方式で表示する。次にマウス１０の左
ボタンが押された時のテーブル座標値Ｐb2を第１点に対
する対角座標点とする矩形を登録する。

【００３３】３．円形の場合（中心点と円周上の１点入
力） この場合の検査範囲指定の状況は図６（ｂ）に示されて
いる。最初にマウス１０の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点ＤＰc1に対応するテーブル座標
値Ｐc1を円形の中心点として記憶する。その後、マウス
・カーソルＭＣの移動に合わせて、マウス・カーソルＭ
Ｃの位置を円周上の１点とする円をラバーバンド方式で
表示する。次にマウス１０の左ボタンが押された時のデ
ィスプレー画面上の入力点ＤＰc2に対応するテーブル座
標値Ｐc2を円周上の１点とする円形の中心座標点と半径
を登録する。

【００３４】４．円形の場合（直径の両端点入力） この場合の検査範囲指定の状況は図６（ｃ）に示されて
いる。最初にマウス１０の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点ＤＰd1に対応するテーブル座標
値Ｐd1を円周上の第１点として記憶する。その後、マウ
ス・カーソルＭＣの移動に合わせて、マウス・カーソル
ＭＣの位置を第１点に対する円の直径の端点とする円を
ラバーバンド方式で表示する。次にマウス１０の左ボタ
ンが押された時のテーブル座標値Ｐd2と第１点を直径と
する円形の中心座標点と半径を登録する。

【００３５】なお、いずれの形状の場合も、取り消し操
作（マウス１０の中央ボタンをクリックするかディスプ
レー画面上の取消ボタンイメージをマウス１０で指定す
る）により１座標点入力前の状態に戻すことができる。
取り消し操作を操り返すことにより第１点目の入力前の
状態まで戻すことができる。また一括取り消し操作（デ
ィスプレー画面上の一括取消ボタンイメージをマウス１
０で指定する）により第１点目の入力前の状態まで戻す
ことができる。

【００３６】以上の４種類の方法によって検査範囲を登
録できるが、データバッファ８の検査範囲データを格納
する領域（以下単に「検査領域データバッファ」とい
う）の構成を図７に従って以下に説明する。座標データ
は、固定長レコード部ＦＲと可変長レコード部ＶＲで構
成される。固定長レコード部ＦＲは、属性・検査パラメ
ータを記述する領域Ｆ１と、形状（矩形、円形、多角
形）を示す形状番号を記述する領域Ｆ２と、２組の座標
値（Ｘ，Ｙ）による形状記述座標値を記述する領域Ｆ３
と、可変長レコード部へのポインターを記述する領域Ｆ
４とから構成される。形状番号は、円形の場合は
「１」、矩形の場合は「２」、多角形の場合はその頂点
数を指定する。２組の座標値は、円形の場合は中心点の
座標値と半径、矩形の場合は２組の対角座標値、多角形
の場合はその多角形を包含する最小矩形の２組の対角座
標値（ＭＩＮ−ＭＡＸ点）を指定する。可変長レコード
部へのポインターは多角形の場合のみ使用する。可変長
レコード部ＶＲには、多角形の頂点座標値（Ｘ，Ｙ）が
その頂点数だけ連続して領域Ｖ１〜Ｖｎに配置されてい
る。

【００３７】さらに、入力が完了して登録された領域に
対して形状や属性などの修正および削除、複写、回転、
移動等の編集作業を行う場合（以降、編集操作と称す）
は、基板のイメージ画像を背景として属性別の色で表示
された検査範囲に対して、下記５つの指定モードのいづ
れかの操作を行うことにより検査範囲を選択することが
できる。また複数の指定モードを組み合わせて複数の検
査範囲を選択できる。

【００３８】１．ポイント指定モード ポイント指定モードは、被検査基板のイメージ画像を背
景として属性別の色で表示された検査範囲の任意の線上
に、オペレータのマウス操作によりそのディスプレー画
面上を移動するマウス・カーソルＭＣを位置させマウス
１０の左ボタンを押すことにより、編集する検査範囲を
指定する。すなわち、編集操作の対象となる検査範囲を
指定する期間中は、マウス・カーソルの形状を１５画素
角程度の矩形に変更し、マウス１０の左ボタンが押され
た時のマウス・カーソルの矩形と交差する線分を持つ矩
形、多角形、円形の全ての検査範囲を選択する。

【００３９】２．矩形掛け指定モード 矩形掛け指定モードは、矩形の検査範囲を入力する手順
で矩形を入力し、その矩形の内部に、検査範囲の一部が
包含される全ての検査範囲を選択する。

【００４０】３．矩形囲み指定モード 矩形囲み指定モードは、矩形の検査範囲を入力する手順
で矩形を入力し、その矩形の内部に、完全に包含される
全ての検査範囲を選択する。

【００４１】４．検査範囲一覧表からの指定モード 検査範囲一覧表からの指定モードは、登録されている検
査範囲の形状（矩形、円形、多角形の別）、座標デー
タ、属性、検査パラメータを一覧表形式で表示し、マウ
ス１０により表中の検査範囲を指定することにより検査
範囲を選択する。

【００４２】５．再指定モード 再指定モードは、上記いづれかの方法で指定した検査範
囲に対して下記の編集操作を行った後で、再度同じ編集
領域に対して別の編集操作を行いたい場合に使用する。
すなわち、直前に選択されていた全ての検査範囲を再度
選択状態にする。

【００４３】以上の各モードあるいはそのいくつかのモ
ードで選択された検査範囲は選択状態を表す色で表示す
る。選択状態の検査範囲を再度選択すると、非選択状態
である元の色に戻る。また、選択された検査範囲の属性
と検査パラメータを表示することにより、登録した検査
範囲を確認することができる。

【００４４】以上によって選択した、登録済みの検査範
囲に対する編集操作には、下記の編集モードがある。

【００４５】１．複写 複写は、選択された任意個数の検査範囲を任意方向に等
間隔で任意回数分繰り返し複写する。この時、複写する
方向と間隔を決定するために、複写する回数と下記の２
座標点を、ディスプレー画面上に表示された画像データ
に対して、オペレータのマウス操作によりそのディスプ
レー画面上を移動するマウス・カーソルＭＣの位置Ｍで
マウス１０の左ボタンを押すことにより指定する。ここ
で基準点は複写される元のパターンの基準となる任意の
座標点であり、複写点は複写する先での元のパターンの
基準点と同じ位置関係にある座標点で、等間隔で連続複
写する場合は、最遠方位置にある複写点を指定する。

【００４６】基板上には、同一パターンがある一定間隔
で複数個作成されていることがある。このような基板で
検査範囲を設定する場合、そのうちの１パターンに対し
てだけ検査範囲を設定すれば、残りの全てのパターンに
対しては複写操作を１回行うことにより同じ検査範囲を
設定できるため入力作業時間の短縮化と入力ミス防止が
期待できる。また、複写点を入力する際に、オペレータ
のマウス操作によりディスプレー画面上を移動するマウ
ス・カーソルＭＣの位置Ｍを仮の複写点として生成され
る検査範囲をラバーバンド方式で表示することにより、
ディスプレー上に表示された画像データから目的の複写
点を探し出す時間の短縮化が期待できる。

【００４７】２．移動 移動は、複写回数を「１」に固定した場合の複写操作と
ほぼ同一であり、複写される元の検査範囲は削除され
る。複写と同様に下記の２座標点を、ディスプレー画面
上に表示された画像データに対して、オペレータのマウ
ス操作によりそのディスプレー画面上を移動するマウス
・カーソル位置でマウス１０の左ボタンを押すことによ
り指定する。ここで基準点は複写される元のパターンの
基準となる任意の座標点であり、複写点は複写する先で
の元のパターンの基準点と同じ位置関係にある座標点で
ある。

【００４８】３．回転 回転は、複写回数を「１」に固定した場合の複写操作と
ほぼ同一であり、複写点への複写処理後に、複写点を回
転中心として「９０度／１８０度／２７０度」の３角度
から選択された角度の回転処理を行う。複写と同様に下
記の２座標点を、ディスプレー画面上に表示された画像
データに対して、オペレータのマウス操作によりそのデ
ィスプレー画面上を移動するマウス・カーソルＭＣの位
置Ｍでマウス１０の左ボタンを押すことにより指定す
る。ここでの基準点、および複写点は移動の場合と同様
である。

【００４９】１枚の基板に複数の同一パターンが作成さ
れている基板には、単位面積当たりのパターン数を高め
るため、１８０度画転させたパターン同志を組み合わせ
て配置していることがある。このような基板で検査範囲
を設定する場合、そのうちの１パターンに対してだけ検
査範囲を設定すれば、１８０度回転されているパターン
に対しては回転操作を行うことにより同じ検査範囲を設
定できるため入力作業時間の短締化と入力ミス防止が期
待できる。

【００５０】４．拡大・縮小 拡大・縮小は、選択された任意個数の円形または矩形の
検査範囲に対して、それぞれの重心点を中心に指定され
た倍率の拡大・縮小処理を行う。すなわち、円形に対し
ては、それぞれの円形の半径に、指定された倍率の拡大
・縮小処理を行う。矩形に対しては、それぞれの矩形の
重心点と対角座標点間の距離が指定された倍率になるよ
うに対角座標点を移動する。

【００５１】５．属性・検査パラメータの変更 属性・検査パラメータの変更は、選択された任意個数の
検査範囲に対して、それぞれの形状に関する座標データ
は変更せずに、属性および検査パラメータを変更する。

【００５２】６．削除 削除は、選択された任意個数の検査範囲を削除する。

【００５３】つぎにステップＳ５では、ＣＰＵ７により
検査テーブル上の検査範囲を検査範囲定義メモリ上に定
義する処理を行う。検査範囲定義メモリは、比較法で検
査する領域を定義するための比較法検査範囲定義メモリ
および特徴抽出法で検査する領域を定義する特徴抽出法
検査範囲定義メモリで構成されている。検査範囲定義メ
モリの各ビットは、検査テーブルの全領域を欠陥検出ブ
ロックと呼ばれる一定範囲毎に区切った各ブロックと１
対１で対応している。検査範囲定義メモリで「１」と定
義されているビットに対応する検査テーブル上のブロッ
クが、その欠陥検出方法で検査されることになる。検査
範囲データを検査範囲定義メモリのフォーマットに変換
して検査範囲定義メモリに書き込むことにより、登録さ
れた検査範囲に対応する基板の範囲が指定されたパター
ン欠陥検出方法で検査されることになる。以下に検査範
囲データを検査範囲定義メモリのフォーマットに変換す
る手順を図８に従って説明する。

【００５４】まず、このデータバッファ８のビットマッ
プデータを記憶する領域（以下「ビットマップデータバ
ッファ」と呼ぶ）を全ビット「０」で初期化しておく。
つぎに各欠陥検出ブロックＥＢに対応するビットマップ
データバッファの領域の内、検査範囲データＡＤの多角
形（この例では多角形だが、矩形、円形、の場合も同
様）の線上を含んだ内側（図８のハッチングによる陰を
付けた部分）を「１」に塗りつぶし、ビットマップデー
タを作成する。その後、その検査範囲の比較検査パラメ
ータが「有効」の場合は、あらかじめ全ビットを「０」
に塗りつぶした比較検査範囲定義メモリと作成したビッ
トマップデータの論理和した結果を比較検査範囲定義メ
モリＤＭに書き戻す。この様子が図８の比較検査範囲定
義メモリＤＭに示されている。この比較検査範囲定義メ
モリＤＭの何も記されていない記憶ビットは「０」の表
記を省略している。これにより指定された検査範囲内に
対応する比較検査範囲定義メモリの各ビットのみが
「１」となる。また、図８では比較検査範囲定義メモリ
の場合を示したが、同様に特徴抽出法検査範囲定義メモ
リについても、その検査範囲の特徴抽出法検査パラメー
タが「有効」の場合は、あらかじめ全ビットを「０」に
塗りつぶした特徴抽出法検査範囲定義メモリと、作成し
たビットマップデータの論理和した結果を特徴抽出法検
査範囲定義メモリに書き戻す。これらの処理を登録され
ている全ての検査範囲に対して繰り返す。

【００５５】その後、検査不要範囲の座標データを、検
査範囲定義メモリと同一分解能でビットマップデータに
変換する。すなわち、ビットマップデータバッファは全
ビット「１」で初期化しておき、矩形、円形、多角形の
線上を含んだ内側を「０」に塗りつぶす操作によりビッ
トマップデータを作成する。そして、その検査不要範囲
の比較検査パラメータが「有効」の場合は、検査範囲内
が「１」になっていてその他のビットが「０」になって
いる比較検査範囲定義メモリと作成したビットマップデ
ータを論理積した結果を比較検査範囲定義メモリに書き
戻す。これにより指定された検査範囲内に検査不要範囲
がある場合等にも、比較検査範囲定義メモリの検査不要
範囲内の各ビットが「０」となる。また、その検査不要
範囲の特徴抽出法検査パラメータが「有効」の場合は、
検査範囲内が「１」になっていて、その他のビットが
「０」になっている特徴抽出法検査範囲定義メモリと、
作成したビットマップデータを論理積した結果を特徴抽
出法検査範囲定義メモリに書き戻す。これらの処理を、
登録されている全ての検査不要領域に対して繰り返す。
以上の処理の結果、両検査範囲定義メモリには、前ステ
ップで登録された全ての検査範囲と検査不要範囲から定
義されるビットマップデータが書き込まれる。以上がス
テップＳ５の処理手順である。

【００５６】最後にステップＳ６でステップＳ５までの
処理で指定された被検査基板の範囲について実際に欠陥
検査が行われ、全体の処理を終了する。

【００５７】

【３．変形例】この発明の実施例では請求項２の手動操
作手段としてマウスを用いたが、その代わりにトラック
ボール等の手段を用いることもできる。

【００５８】この発明の実施例では、多くの部分をＣＰ
Ｕでソフトウェア的に処理したが、ハードウェア回路で
行うようにしてもよく、特にステップＳ２の処理は全て
ハードウェア回路で実行することにより処理時間を短縮
化することができる。

【００５９】この発明の実施例の装置にハードディスク
等の外部記憶装置を接続して、登録された検査範囲デー
タと圧縮画像データを外部記憶装置にファイル保存する
こともできる。そして、後日その検査範囲データを変更
する場合でも、保存した圧縮画像データファイルを読み
込むことにより、再度画像データの読み取り作業をしな
くても同じ画像データと検査範囲データを表示すること
ができる。

【００６０】また、この発明は、このプリント基板の検
査装置だけでなく、ＩＣマスクパターンやリードフレー
ム、それに液晶表示用基板におけるパターン検査などに
おいても利用できる。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明で
は、指定中の検査の範囲を表現する図形と被検査物の画
像とを重ねて表示し、両者の位置関係を確認しながら指
定できるため、検査範囲の指定が容易かつ迅速に行える
とともに、検査範囲の指定ミスが簡単に発見できる。

【００６２】さらにそれにより検査範囲の設定ミスによ
る致命的な「欠陥見逃し」を防止することができる。こ
のため、検査範囲の指定が正確となる。

【００６３】また、検査範囲の中に文字などの検査不要
パターンが存在する場合は、これを検査不要領域として
正確に設定することができ、検査不要領域での誤報の発
生を防止することによる欠陥確認作業を効率化できる。

【００６４】また、請求項２の発明では、被検査物の画
像が表示されている表示装置上の所定のマークを手動操
作手段によって移動させ、その位置を特定することによ
り検査範囲を指定できるため、指定しようとしている位
置の座標を読み取ったり、キー入力する手間が省け、検
査範囲を微細かつ正確にすばやく指定することができ
る。したがって特に検査範囲の入力作業が迅速となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の欠陥検査装置の多角形の座標指定によ
る検査範囲の入力の説明図である。

【図２】実施例の欠陥検査装置の回路構成を示すブロッ
ク図である。

【図３】実施例の欠陥検査装置の処理手順を示すフロー
チャートである。

【図４】実施例の欠陥検査装置の圧縮画像データｂ、圧
縮画像データｃ、拡大画像データｄの表示切換えの説明
図である。

【図５】実施例の欠陥検査装置のマウスによる画像デー
タの表示範囲の移動の説明図である。

【図６】実施例の欠陥検査装置の矩形、円形による検査
範囲指定の説明図である。

【図７】実施例の欠陥検査装置の検査範囲データバッフ
ァの記憶構成を示す説明図である。

【図８】実施例の欠陥検査装置の検査範囲データの比較
検査範囲定義メモリへのフォーマット変換を示す説明図
である。

【符号の説明】

１ 検査テーブル ２ 読み取りヘッド ３ Ａ／Ｄ変換・２値化回路 ４ メモリ ５ 比較検査回路 ６ ＤＲＣ回路 ７ ＣＰＵ ８ データバッファ ９ グラフィック端末 １０ マウス ＤＰa1〜ＤＰd2 入力点 ＤＬ 検査範囲の外形 ＭＣ マウス・カーソル Ｍ マウス・カーソルＭＣのディスプレー上の座標値
（Ｍx，Ｍy） Ｐ 検査テーブル上の座標値（Ｐx，Ｐy）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定のパターンが形成された被検査物に
   ついてのパターン欠陥の検査を行う装置であって、 前記被検査物の画像を表示する表示手段と、 前記表示手段に表示された前記被検査物の画像を観察し
   つつ、前記画像の任意の範囲を指定するための範囲指定
   データを入力する入力手段と、 前記範囲を表現する図形を発生して、前記表示手段上に
   前記画像と前記図形とを重ねて表示させる表示制御手段
   と、 前記範囲についての前記画像のパターン欠陥の検査を行
   う検査手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の装置において、 前記範囲指定手段は、 所定のマークを前記表示手段上で移動させるとともに、
   前記被検査物の画像上における前記マークの位置を特定
   して前記範囲を指定する手動操作手段を有し、 前記表示制御手段が、 前記手動操作手段の手動操作に応答して前記図形を発生
   する図形発生手段を有することを特徴とする欠陥検査装
   置。