JPH08184570A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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- JPH08184570A JPH08184570A JP6327235A JP32723594A JPH08184570A JP H08184570 A JPH08184570 A JP H08184570A JP 6327235 A JP6327235 A JP 6327235A JP 32723594 A JP32723594 A JP 32723594A JP H08184570 A JPH08184570 A JP H08184570A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 パターン欠陥検査の被検査基板上の任意の形
状の範囲を容易かつ正確・迅速に指定できるようにする
こと。 【構成】 被検査基板上の検査範囲を指定する際に、デ
ィスプレー上に被検査基板上のパターンDGを表示し、
同時に表示されたマウスカーソルMCを、マウスを動か
すことにより移動させ、検査範囲を矩形・多角形・円形
などを使用して任意の位置及び形状に指定していくこと
により、検査範囲の指定を行う。検査範囲を指定する図
形については修正などの編集も可能である。
状の範囲を容易かつ正確・迅速に指定できるようにする
こと。 【構成】 被検査基板上の検査範囲を指定する際に、デ
ィスプレー上に被検査基板上のパターンDGを表示し、
同時に表示されたマウスカーソルMCを、マウスを動か
すことにより移動させ、検査範囲を矩形・多角形・円形
などを使用して任意の位置及び形状に指定していくこと
により、検査範囲の指定を行う。検査範囲を指定する図
形については修正などの編集も可能である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、プリント基板のパタ
ーン検査装置などのように、所定のパターンが形成され
た被検査物についてのパターン欠陥の検査を行う装置に
関するもので、特に、被検査物のうち検査すべき範囲を
指定する方式の改良に関する。
ーン検査装置などのように、所定のパターンが形成され
た被検査物についてのパターン欠陥の検査を行う装置に
関するもので、特に、被検査物のうち検査すべき範囲を
指定する方式の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】プリント配線板や、マスクパターン等
(以下、「被検査基板」という)の欠陥検査方法として
利用されるパターン欠陥検出方法は、比較法(パターン
マッチング法)と特徴抽出法(デザインルール法)が主
である。前者は基準となる画像パターン(基準画像パタ
ーン)と欠陥検査の対象となる画像パターン(検査画像
パターン)とを重ね合わせ、両者の食い違いの部分から
欠陥を判定する方法である。この欠陥検査方法は特公昭
59−2069号公報、特開昭60−61604号公報
等に開示されている。
(以下、「被検査基板」という)の欠陥検査方法として
利用されるパターン欠陥検出方法は、比較法(パターン
マッチング法)と特徴抽出法(デザインルール法)が主
である。前者は基準となる画像パターン(基準画像パタ
ーン)と欠陥検査の対象となる画像パターン(検査画像
パターン)とを重ね合わせ、両者の食い違いの部分から
欠陥を判定する方法である。この欠陥検査方法は特公昭
59−2069号公報、特開昭60−61604号公報
等に開示されている。
【0003】また後者は基準画像パターンに含まれる各
種の特徴(例えば、線幅、角度、特定パターン等)をあ
らかじめ記憶しておき、それらの特徴に含まれないパタ
ーンが検査画像パターン内に見つかれば、その部分を欠
陥と判定する方法である。この欠陥検査方法は、特開昭
57−149905号公報等に開示されている。
種の特徴(例えば、線幅、角度、特定パターン等)をあ
らかじめ記憶しておき、それらの特徴に含まれないパタ
ーンが検査画像パターン内に見つかれば、その部分を欠
陥と判定する方法である。この欠陥検査方法は、特開昭
57−149905号公報等に開示されている。
【0004】ところで、これらいずれのパターン欠陥検
出を行うにも、その前準備作業としてパターン欠陥検出
を行う被検査基板の範囲(以下、「検査範囲」という)
を設定する必要がある。この検査範囲を設定するための
方法として、被検査基板を載せたテーブル上の目盛りを
目視で読み取りながらキーボードで矩形の各頂点の座標
値をキー入力する方法が一般的である。
出を行うにも、その前準備作業としてパターン欠陥検出
を行う被検査基板の範囲(以下、「検査範囲」という)
を設定する必要がある。この検査範囲を設定するための
方法として、被検査基板を載せたテーブル上の目盛りを
目視で読み取りながらキーボードで矩形の各頂点の座標
値をキー入力する方法が一般的である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この従来の
技術による検査範囲の設定方法では、テーブル上の目盛
りを目視で読み取りながら矩形の検査範囲の各頂点の座
標値をキー入力するため、読み取り誤差等により、正確
な検査範囲を設定することが困難である。そのため本来
設定したい範囲よりも少し広めに検査範囲を設定するこ
とが必要になる。この結果、検査する必要の無い領域ま
でが検査範囲として設定され、その領域から欠陥(本来
の欠陥ではないが欠陥と誤認されるもの)が検出される
可能性がある。この欠陥はいわゆる「誤報」と呼ばれ、
後行程の欠陥確認作業時間が長くなることの大きな要因
となる。
技術による検査範囲の設定方法では、テーブル上の目盛
りを目視で読み取りながら矩形の検査範囲の各頂点の座
標値をキー入力するため、読み取り誤差等により、正確
な検査範囲を設定することが困難である。そのため本来
設定したい範囲よりも少し広めに検査範囲を設定するこ
とが必要になる。この結果、検査する必要の無い領域ま
でが検査範囲として設定され、その領域から欠陥(本来
の欠陥ではないが欠陥と誤認されるもの)が検出される
可能性がある。この欠陥はいわゆる「誤報」と呼ばれ、
後行程の欠陥確認作業時間が長くなることの大きな要因
となる。
【0006】また、従来技術では一般的には円形や多角
形の検査範囲を入力することができないため、複雑な形
状の検査範囲を指定する場合にも矩形の組合せだけで表
現せざるを得ない。しかしながらこのような場合に、矩
形を組み合わせて円形や多角形を入力しようとすると、
大量の矩形領域を入力する必要がある。また、キーボー
ドで座標値をキー入力するため、入力作業時間が長くな
る。
形の検査範囲を入力することができないため、複雑な形
状の検査範囲を指定する場合にも矩形の組合せだけで表
現せざるを得ない。しかしながらこのような場合に、矩
形を組み合わせて円形や多角形を入力しようとすると、
大量の矩形領域を入力する必要がある。また、キーボー
ドで座標値をキー入力するため、入力作業時間が長くな
る。
【0007】さらに、多くの検査範囲を設定する場合
は、テーブル上の目盛りを目視しながらキー入力を行う
作業を何度も繰り返すため、入力ミスが発生する危倹性
がある。それにもかかわらず、検査すべき領域に正確に
検査範囲が設定されているかを基板のパターンと照らし
合わせて確認する手段がないため、入力ミスの発見が困
難である。特に、検査すべき領域に検査範囲が設定され
ていないと欠陥が存在しても欠陥として検出しないた
め、致命的な「欠陥見逃し」となる危倹性がある。
は、テーブル上の目盛りを目視しながらキー入力を行う
作業を何度も繰り返すため、入力ミスが発生する危倹性
がある。それにもかかわらず、検査すべき領域に正確に
検査範囲が設定されているかを基板のパターンと照らし
合わせて確認する手段がないため、入力ミスの発見が困
難である。特に、検査すべき領域に検査範囲が設定され
ていないと欠陥が存在しても欠陥として検出しないた
め、致命的な「欠陥見逃し」となる危倹性がある。
【0008】
【発明の目的】この発明は、従来技術における上述の問
題の克服を意図しており、パターン欠陥の検査の対象と
なる被検査物上の任意の形状の範囲を、容易かつ迅速・
正確に指定できるとともに、検査の効率化を達成可能な
欠陥検査装置を提供することを目的とする。
題の克服を意図しており、パターン欠陥の検査の対象と
なる被検査物上の任意の形状の範囲を、容易かつ迅速・
正確に指定できるとともに、検査の効率化を達成可能な
欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の欠陥検査装置は、所定のパターンが形成さ
れた被検査物についてのパターン欠陥の検査を行う装置
を対象とし、第1の構成では、前記被検査物の画像を表
示する表示手段と、前記表示手段に表示された前記被検
査物の画像を観察しつつ、前記画像の任意の範囲を指定
するための範囲指定データを入力する入力手段と、前記
範囲を表現する図形を発生して、前記表示手段上に前記
画像と前記図形とを重ねて表示させる表示制御手段と、
前記範囲についての前記画像のパターン欠陥の検査を行
う検査手段とを備えることを特徴とする。
め、本発明の欠陥検査装置は、所定のパターンが形成さ
れた被検査物についてのパターン欠陥の検査を行う装置
を対象とし、第1の構成では、前記被検査物の画像を表
示する表示手段と、前記表示手段に表示された前記被検
査物の画像を観察しつつ、前記画像の任意の範囲を指定
するための範囲指定データを入力する入力手段と、前記
範囲を表現する図形を発生して、前記表示手段上に前記
画像と前記図形とを重ねて表示させる表示制御手段と、
前記範囲についての前記画像のパターン欠陥の検査を行
う検査手段とを備えることを特徴とする。
【0010】さらにこの発明の第2の構成では、請求項
1記載の装置において、前記範囲指定手段は、所定のマ
ークを前記表示手段上で移動させるとともに、前記被検
査物の画像上における前記マークの位置を特定して前記
範囲を指定する手動操作手段を有し、前記表示制御手段
が、前記手動操作手段の手動操作に応答して前記図形を
発生する図形発生手段を有することを特徴とする。
1記載の装置において、前記範囲指定手段は、所定のマ
ークを前記表示手段上で移動させるとともに、前記被検
査物の画像上における前記マークの位置を特定して前記
範囲を指定する手動操作手段を有し、前記表示制御手段
が、前記手動操作手段の手動操作に応答して前記図形を
発生する図形発生手段を有することを特徴とする。
【0011】
【作用】請求項1の欠陥検査装置では、パターン欠陥検
査の際の検査範囲の指定に際して表示手段上の被検査画
像と指定中の検査範囲を表現する図形を重ねて表示し、
それを見ながら検査範囲の指定が行えるため、正確な範
囲指定が容易かつ迅速に行える。
査の際の検査範囲の指定に際して表示手段上の被検査画
像と指定中の検査範囲を表現する図形を重ねて表示し、
それを見ながら検査範囲の指定が行えるため、正確な範
囲指定が容易かつ迅速に行える。
【0012】また、請求項2の欠陥検査装置では、表示
手段上に表示された被検査物の画像上の所定のマークを
手動操作手段により移動し、その位置を特定することに
より検査範囲を指定するため、検査範囲の指定を特に正
確かつ迅速に行うことができる。
手段上に表示された被検査物の画像上の所定のマークを
手動操作手段により移動し、その位置を特定することに
より検査範囲を指定するため、検査範囲の指定を特に正
確かつ迅速に行うことができる。
【0013】
【0014】
【1.実施例の概要および装置構成】この実施例の欠陥
検査装置は、プリント基板等の欠陥検査を行う際に、被
検査基板(被検査物)上の検査範囲を指定する際に、デ
ィスプレー(表示手段)上に被検査基板上のパターン
(以下「被検査パターン」という)を表示し、同時に表
示されたマウスカーソルを、マウス(手動操作手段)を
動かすことにより移動させ、検査範囲を任意の位置及び
形状に指定していくことにより、検査範囲の指定を正確
かつ迅速に行うものである。この様子を示したのが図1
である。この図はこの実施例の1例として検査範囲を多
角形の形状に入力していく場合のディスプレー画面の表
示を示している。ディスプレー画面には、被検査パター
ンDGと指定中の検査範囲の外形を表す連続直線DLが
重ねて表示されている。入力点DPa1〜DPa14は検査
範囲を表す多角形の頂点であり、オペレータが入力して
いった位置を表している。
検査装置は、プリント基板等の欠陥検査を行う際に、被
検査基板(被検査物)上の検査範囲を指定する際に、デ
ィスプレー(表示手段)上に被検査基板上のパターン
(以下「被検査パターン」という)を表示し、同時に表
示されたマウスカーソルを、マウス(手動操作手段)を
動かすことにより移動させ、検査範囲を任意の位置及び
形状に指定していくことにより、検査範囲の指定を正確
かつ迅速に行うものである。この様子を示したのが図1
である。この図はこの実施例の1例として検査範囲を多
角形の形状に入力していく場合のディスプレー画面の表
示を示している。ディスプレー画面には、被検査パター
ンDGと指定中の検査範囲の外形を表す連続直線DLが
重ねて表示されている。入力点DPa1〜DPa14は検査
範囲を表す多角形の頂点であり、オペレータが入力して
いった位置を表している。
【0015】図1の状態では14個の頂点が指定されて
いて、次に15番目の頂点を指定しようとしているとこ
ろである。また同時に、ディスプレー画面にはその指定
中の検査範囲が、検査画像に重ねて表示されていて、オ
ペレータは両者の位置関係を確認しながら続けて検査範
囲を指定していく。オペレータがマウスを移動させると
それに応じて十字型のマウス・カーソルMCがディスプ
レー上を移動していく。このときマウス・カーソルMC
の交点と入力点DPa14とを直線の点線が結んでいて、
マウス・カーソルMCの動きにあわせて伸縮する(以下
「ラバーバンド方式」という)。そしてオペレータが被
検査パターンDGの周辺の所望する位置でマウスの左ボ
タンをクリックすると、入力点DPa14とマウス・カー
ソルMCの交点を結んでいた直線が点線から実線にな
り、黒点が表示される。この黒点が入力点DPa15を表
し、それと同時にこの点の座標値が後述するメモリに保
存される。そしてオペレータはこの作業を続けて行って
いき、このDLが閉曲線になった段階で検査範囲の指定
は終了する。
いて、次に15番目の頂点を指定しようとしているとこ
ろである。また同時に、ディスプレー画面にはその指定
中の検査範囲が、検査画像に重ねて表示されていて、オ
ペレータは両者の位置関係を確認しながら続けて検査範
囲を指定していく。オペレータがマウスを移動させると
それに応じて十字型のマウス・カーソルMCがディスプ
レー上を移動していく。このときマウス・カーソルMC
の交点と入力点DPa14とを直線の点線が結んでいて、
マウス・カーソルMCの動きにあわせて伸縮する(以下
「ラバーバンド方式」という)。そしてオペレータが被
検査パターンDGの周辺の所望する位置でマウスの左ボ
タンをクリックすると、入力点DPa14とマウス・カー
ソルMCの交点を結んでいた直線が点線から実線にな
り、黒点が表示される。この黒点が入力点DPa15を表
し、それと同時にこの点の座標値が後述するメモリに保
存される。そしてオペレータはこの作業を続けて行って
いき、このDLが閉曲線になった段階で検査範囲の指定
は終了する。
【0016】図2はこの実施例の欠陥検査装置の構成を
表すブロック図である。この装置の構成を以下に示す。
検査テーブル1は被検査基板を載置するためのテーブル
である。読み取りヘッド2は検査テーブル1上に置かれ
た被検査基板のパターン画像を読み取る。A/D変換・
2値化回路3は読み取った画像信号をデジタル化および
2値化し、メモリ4はデジタル化および2値化された画
像データ(以下「2値化データ」という)や検査範囲デ
ータ等を記憶する。また、比較検査回路5は2値化デー
タの比較法による欠陥検査を行う。DRC回路6は2値
化データの特徴抽出法による欠陥検査を行う。CPU7
は図示の他の回路で実行する以外の各種処理をソフトウ
ェア的に行う。さらに、グラフィック端末9は被検査パ
ターンや、マウス10による検査範囲データの入力結果
をそのディスプレー上に表示するとともに検査範囲デー
タの編集等を行う際の表示を行う。
表すブロック図である。この装置の構成を以下に示す。
検査テーブル1は被検査基板を載置するためのテーブル
である。読み取りヘッド2は検査テーブル1上に置かれ
た被検査基板のパターン画像を読み取る。A/D変換・
2値化回路3は読み取った画像信号をデジタル化および
2値化し、メモリ4はデジタル化および2値化された画
像データ(以下「2値化データ」という)や検査範囲デ
ータ等を記憶する。また、比較検査回路5は2値化デー
タの比較法による欠陥検査を行う。DRC回路6は2値
化データの特徴抽出法による欠陥検査を行う。CPU7
は図示の他の回路で実行する以外の各種処理をソフトウ
ェア的に行う。さらに、グラフィック端末9は被検査パ
ターンや、マウス10による検査範囲データの入力結果
をそのディスプレー上に表示するとともに検査範囲デー
タの編集等を行う際の表示を行う。
【0017】
【2.実施例の処理手順】ここでは、図3に従ってこの
実施例の欠陥検査装置の処理手順を示していく。まずス
テップS1では基板を検査テーブル1上に載せてそのパ
ターンを光電的に読み取るための条件を設定する。具体
的には次のステップS2で行う被検査基板の読み取りの
範囲の設定や2値化のための濃度の閾値の設定、検査テ
ーブル1の上下によるフォーカス設定などである。な
お、ここでの読み取り範囲の設定は検査範囲の設定とは
異なり、被検査基板のうちパターンが形成されていない
外縁部などを除いた全域である。
実施例の欠陥検査装置の処理手順を示していく。まずス
テップS1では基板を検査テーブル1上に載せてそのパ
ターンを光電的に読み取るための条件を設定する。具体
的には次のステップS2で行う被検査基板の読み取りの
範囲の設定や2値化のための濃度の閾値の設定、検査テ
ーブル1の上下によるフォーカス設定などである。な
お、ここでの読み取り範囲の設定は検査範囲の設定とは
異なり、被検査基板のうちパターンが形成されていない
外縁部などを除いた全域である。
【0018】つぎに、ステップS2では、検査テーブル
1上の被検査基板を読み取りへッド2で光電的に読取り
ながら走査し、A/D変換、2値化して画像データ格納
メモリA(図示せず)に格納する。以下、この2値化さ
れた画像データを2値化画像データaと呼ぶ。なお、こ
こで画像データ格納メモリAは図2のメモリ4のメモリ
空間の1部分の領域を指しており、以下に示す各種メモ
リB〜Dもメモリ4のメモリ空間内の互いに異なる領域
を表す。つぎに、画像データ格納メモリAに格納した2
値化画像データaに対して8×8画素から1×1画素に
圧縮して、圧縮画像データbを作成し、圧縮画像データ
格納メモリBに格納する。この圧縮画像データbは以下
のようにして作成する。すなわち、2値化画像データa
の8×8画素の中の全64画素に1画素でも「1」があ
れば対応する圧縮画像データbの1×1画素を「1」と
する。逆に64画素が全て「0」であれば、圧縮画像デ
ータbの1×1画素を「0」とする。つまり8×8画素
の論理和演算による圧縮である。
1上の被検査基板を読み取りへッド2で光電的に読取り
ながら走査し、A/D変換、2値化して画像データ格納
メモリA(図示せず)に格納する。以下、この2値化さ
れた画像データを2値化画像データaと呼ぶ。なお、こ
こで画像データ格納メモリAは図2のメモリ4のメモリ
空間の1部分の領域を指しており、以下に示す各種メモ
リB〜Dもメモリ4のメモリ空間内の互いに異なる領域
を表す。つぎに、画像データ格納メモリAに格納した2
値化画像データaに対して8×8画素から1×1画素に
圧縮して、圧縮画像データbを作成し、圧縮画像データ
格納メモリBに格納する。この圧縮画像データbは以下
のようにして作成する。すなわち、2値化画像データa
の8×8画素の中の全64画素に1画素でも「1」があ
れば対応する圧縮画像データbの1×1画素を「1」と
する。逆に64画素が全て「0」であれば、圧縮画像デ
ータbの1×1画素を「0」とする。つまり8×8画素
の論理和演算による圧縮である。
【0019】つぎにステップS3では、圧縮画像データ
格納メモリBの画像データbを読み出し、4×4画素か
ら1×1画素に圧縮して、圧縮画像データcを作成し、
圧縮画像メモリCに格納する。また、圧縮画像データb
を1×1画素から4×4画素に拡大して拡大画像データ
dを作成し、拡大画像メモリDに格納する。
格納メモリBの画像データbを読み出し、4×4画素か
ら1×1画素に圧縮して、圧縮画像データcを作成し、
圧縮画像メモリCに格納する。また、圧縮画像データb
を1×1画素から4×4画素に拡大して拡大画像データ
dを作成し、拡大画像メモリDに格納する。
【0020】このときの画像圧縮および拡大の処理の詳
細は次の通りである。まず、圧縮画像データcの作成方
法は次のとおりである。すなわち圧縮画像データbの4
×4画素の中の中心2×2画素の4画素が全て「1」で
あれば対応する圧縮画像データcの1×1画素を「1」
とする。逆に中心2×2画素の4画素に1画素でも
「0」があれば、圧縮画像データcの1×1画素を
「0」とする。以上の処理を圧縮画像データbの全画素
に対してソフトウェアで1回だけ実行する。つまり4×
4画像の論理積による圧縮である。一方、拡大画像デー
タdの作成にあたっては、圧縮画像データbの1×1画
素が「1」であれば対応する拡大画像データdの4×4
画素を全て「1」とする。逆に「0」であれば、拡大画
像データdの4×4画素を全て「0」とする。つまり画
素の実質的拡大を行う。この処理を圧縮画像データbの
うち拡大してグラフィック端末9のディスプレー(以下
単に「ディスプレー」という)に表示する領域に対して
のみソフトウェアで実行する。ディスプレーに表示する
直前に、表示する領域範囲内の画像データだけをその都
度拡大処理するためディスプレーの表示レスポンスは使
用上問題にはならない。これら、圧縮画像データb、圧
縮画像データc、拡大画像データdのディスプレーの表
示が図4に示されている。
細は次の通りである。まず、圧縮画像データcの作成方
法は次のとおりである。すなわち圧縮画像データbの4
×4画素の中の中心2×2画素の4画素が全て「1」で
あれば対応する圧縮画像データcの1×1画素を「1」
とする。逆に中心2×2画素の4画素に1画素でも
「0」があれば、圧縮画像データcの1×1画素を
「0」とする。以上の処理を圧縮画像データbの全画素
に対してソフトウェアで1回だけ実行する。つまり4×
4画像の論理積による圧縮である。一方、拡大画像デー
タdの作成にあたっては、圧縮画像データbの1×1画
素が「1」であれば対応する拡大画像データdの4×4
画素を全て「1」とする。逆に「0」であれば、拡大画
像データdの4×4画素を全て「0」とする。つまり画
素の実質的拡大を行う。この処理を圧縮画像データbの
うち拡大してグラフィック端末9のディスプレー(以下
単に「ディスプレー」という)に表示する領域に対して
のみソフトウェアで実行する。ディスプレーに表示する
直前に、表示する領域範囲内の画像データだけをその都
度拡大処理するためディスプレーの表示レスポンスは使
用上問題にはならない。これら、圧縮画像データb、圧
縮画像データc、拡大画像データdのディスプレーの表
示が図4に示されている。
【0021】このステップS3の最後にグラフィック端
末9のディスプレーに、圧縮画像データcを表示する。
末9のディスプレーに、圧縮画像データcを表示する。
【0022】つぎにステップS4では、オペレータがグ
ラフィック端末9に前述の3種の画像データ(圧縮画像
データb、圧縮画像データc、拡大画像データd)の表
示を切換えながら、検査範囲座標データ(範囲指定デー
タ)や属性・検査パラメータを入力していく。
ラフィック端末9に前述の3種の画像データ(圧縮画像
データb、圧縮画像データc、拡大画像データd)の表
示を切換えながら、検査範囲座標データ(範囲指定デー
タ)や属性・検査パラメータを入力していく。
【0023】ここで圧縮画像データb、圧縮画像データ
c、拡大画像データdの表示切換えの説明を図4に従っ
て行う。これらの図で十字型の点線はマウス・カーソル
MCを表している。このときのマウス・カーソルMCの
ディスプレー上の座標値と、それに対応する検査テーブ
ル1上の座標値の関係は以下のようになる。すなわち、
ディスプレー上に表示された画像データの1画素のX及
びY方向のサイズをそれぞれSx,Syとし、ディスプレ
ー上に表示された画像データに対して、ディスプレー原
点位置(0,0)の検査テーブル上の座標値を(Ox,
Oy)とし、マウス・カーソルMCのディスプレー上の
座標値M(Mx,My)とすると、デイスプレー上のマウ
ス・カーソル位置に対する検査テーブル上の座標値(以
下「テーブル座標値」という)P(Px,Py)は、 Px=Ox+Sx×Mx , Py=Oy+Sy×My となる。
c、拡大画像データdの表示切換えの説明を図4に従っ
て行う。これらの図で十字型の点線はマウス・カーソル
MCを表している。このときのマウス・カーソルMCの
ディスプレー上の座標値と、それに対応する検査テーブ
ル1上の座標値の関係は以下のようになる。すなわち、
ディスプレー上に表示された画像データの1画素のX及
びY方向のサイズをそれぞれSx,Syとし、ディスプレ
ー上に表示された画像データに対して、ディスプレー原
点位置(0,0)の検査テーブル上の座標値を(Ox,
Oy)とし、マウス・カーソルMCのディスプレー上の
座標値M(Mx,My)とすると、デイスプレー上のマウ
ス・カーソル位置に対する検査テーブル上の座標値(以
下「テーブル座標値」という)P(Px,Py)は、 Px=Ox+Sx×Mx , Py=Oy+Sy×My となる。
【0024】まず最初は圧縮画像データcが表示されて
いる。これにより基板の全体像がディスプレーを一目し
て認識できるので、検査範囲を設定したい領域をディス
プレーから瞬時に見つけ出すことが可能になる。つぎに
ディスプレー上でマウス・カーソルMCが座標値M(テ
ーブル座標値P)の位置にある状態でマウス10の右ボ
タンをクリックすると、テーブル座標Pの圧縮画像デー
タbがマウス・カーソルMCの位置Mに表示される。こ
のことにより表示可能な範囲は1/4倍になり、表示さ
れる画像サイズは4倍になる。また再度同じ位置でマウ
ス10の右ボタンをクリックすると、テーブル座標Pの
拡大画像データdがマウス・カーソルMCの位値Mに表
示される。このことにより表示可能な範囲はさらに1/
4倍になり、表示される画像サイズはさらに4倍にな
り、より細かい部分の位置指定が可能となる。さらに、
拡大画像データdから圧縮画像データbに表示を戻す場
合は、再度マウス10の右ボタンをクリックする。この
ように圧縮画像データbと圧縮画像データcの表示を切
替えながら、検査範囲を指定していく。また、右ボタン
をダブルクリックすれば、拡大画像データdから圧縮画
像データcあるいは圧縮画像データbから圧縮画像デー
タcへ表示を戻すことができる。
いる。これにより基板の全体像がディスプレーを一目し
て認識できるので、検査範囲を設定したい領域をディス
プレーから瞬時に見つけ出すことが可能になる。つぎに
ディスプレー上でマウス・カーソルMCが座標値M(テ
ーブル座標値P)の位置にある状態でマウス10の右ボ
タンをクリックすると、テーブル座標Pの圧縮画像デー
タbがマウス・カーソルMCの位置Mに表示される。こ
のことにより表示可能な範囲は1/4倍になり、表示さ
れる画像サイズは4倍になる。また再度同じ位置でマウ
ス10の右ボタンをクリックすると、テーブル座標Pの
拡大画像データdがマウス・カーソルMCの位値Mに表
示される。このことにより表示可能な範囲はさらに1/
4倍になり、表示される画像サイズはさらに4倍にな
り、より細かい部分の位置指定が可能となる。さらに、
拡大画像データdから圧縮画像データbに表示を戻す場
合は、再度マウス10の右ボタンをクリックする。この
ように圧縮画像データbと圧縮画像データcの表示を切
替えながら、検査範囲を指定していく。また、右ボタン
をダブルクリックすれば、拡大画像データdから圧縮画
像データcあるいは圧縮画像データbから圧縮画像デー
タcへ表示を戻すことができる。
【0025】また、各画像データの表示中に表示位置を
移動(以下「スクロール」という)させることができ
る。その方法として、一つにはスクロールバーSB(図
4の拡大画像データdに付随して示している)すなわち
表示移動棒をマウス10でクリックしてそれぞれ縦また
は横に移動することによりスクロールさせる操作が可能
である。しかしこの方法では、スクロールバーSBがデ
ィスプレー上の上下左右の端に位置しているため、スク
ロール操作をする度にマウス10をディスプレーの端ま
で移動させる必要がある。また、垂直方向と水平方向を
同時に移動させることができないため、任意の斜め方向
へのスクロール移動ができない。そこで、この実施例の
欠陥検査装置では、スクロールバーSBによるスクロー
ル移動と併用して、マウス10の操作だけによる任意方
向へのスクロール移動をも可能にしている。
移動(以下「スクロール」という)させることができ
る。その方法として、一つにはスクロールバーSB(図
4の拡大画像データdに付随して示している)すなわち
表示移動棒をマウス10でクリックしてそれぞれ縦また
は横に移動することによりスクロールさせる操作が可能
である。しかしこの方法では、スクロールバーSBがデ
ィスプレー上の上下左右の端に位置しているため、スク
ロール操作をする度にマウス10をディスプレーの端ま
で移動させる必要がある。また、垂直方向と水平方向を
同時に移動させることができないため、任意の斜め方向
へのスクロール移動ができない。そこで、この実施例の
欠陥検査装置では、スクロールバーSBによるスクロー
ル移動と併用して、マウス10の操作だけによる任意方
向へのスクロール移動をも可能にしている。
【0026】この操作による画像データ上の表示範囲の
移動状況を示したのが図5である。まず圧縮画像データ
cに対応する図5(a)内の部分範囲A1に相当する圧
縮画像データbの範囲がディスプレー上に表示されてい
る。このときのディスプレー画面上の表示を示したのが
図5(b)である。この状態で、マウス10中央ボタン
(2ボタンマウスの場合は左右のボタンを同時に押すこ
とで代用可能)を押しながらマウス10を右下方向へ移
動させる。するとディスプレー上のマウス・カーソルM
Cの位置は変化しないで、背景のパターンが変化してい
き、図5(c)の表示状態になる。この図5(c)の範
囲に対応するのが圧縮画像データbの部分範囲A2であ
る。この状態でマウス10の中央ボタンを押下状態を開
放すると、マウス10を動かすことによってマウス・カ
ーソルMCをディスプレー画面上を任意に動かせるよう
になる。なお、この例ではスクロールの方向をディスプ
レー画面上の右下方向にとったが、前述のようにこの方
向は任意である。
移動状況を示したのが図5である。まず圧縮画像データ
cに対応する図5(a)内の部分範囲A1に相当する圧
縮画像データbの範囲がディスプレー上に表示されてい
る。このときのディスプレー画面上の表示を示したのが
図5(b)である。この状態で、マウス10中央ボタン
(2ボタンマウスの場合は左右のボタンを同時に押すこ
とで代用可能)を押しながらマウス10を右下方向へ移
動させる。するとディスプレー上のマウス・カーソルM
Cの位置は変化しないで、背景のパターンが変化してい
き、図5(c)の表示状態になる。この図5(c)の範
囲に対応するのが圧縮画像データbの部分範囲A2であ
る。この状態でマウス10の中央ボタンを押下状態を開
放すると、マウス10を動かすことによってマウス・カ
ーソルMCをディスプレー画面上を任意に動かせるよう
になる。なお、この例ではスクロールの方向をディスプ
レー画面上の右下方向にとったが、前述のようにこの方
向は任意である。
【0027】以上により、検査範囲の入力途中でスクロ
ール移動させる度にマウス10をディスプレーの端まで
移動させる必要がなくなり、また任意の方向にスクロー
ル移動できるため、目的の領域を探し出す時間が短縮で
きる。そしてこのように被検査パターンの表示サイズを
3種類に変えながら、検査範囲を入力していく。このよ
うに検査範囲の入力途中でマウスを移動させる等の余計
な操作をすることなく同じ位置の画像表示倍率が変更で
きるので、検査範囲の入力操作そのものがスムーズに進
行できる。
ール移動させる度にマウス10をディスプレーの端まで
移動させる必要がなくなり、また任意の方向にスクロー
ル移動できるため、目的の領域を探し出す時間が短縮で
きる。そしてこのように被検査パターンの表示サイズを
3種類に変えながら、検査範囲を入力していく。このよ
うに検査範囲の入力途中でマウスを移動させる等の余計
な操作をすることなく同じ位置の画像表示倍率が変更で
きるので、検査範囲の入力操作そのものがスムーズに進
行できる。
【0028】つぎに、検査範囲の指定方法について説明
する。それぞれの検査範囲データは、形状に関する検査
範囲座標データおよび属性・検査パラメータの対で構成
される。これらの内検査範囲座標データは検査範囲の位
置を指定するデータであり、次のように指定して登録す
る。ディスプレー画面上に表示された画像データに対し
て、オペレータのマウス操作によりそのディスプレー画
面上をマウス・カーソルMCを希望の位置へ移動させて
マウス10の左ボタンを押すと、そのマウス・カーソル
MCの位置Mに対応するテーブル座標値Pが検査範囲座
標データとして登録される。また属性はそれぞれの領域
が検査範囲なのか検査不要領域なのかを示す情報であ
り、これについてもマウス10の操作によって指定す
る。さらに検査パラメータは比較法(パターンマッチン
グ法)を適用するのか特徴抽出法(デザインルール法)
を適用するのか等を指定するものであり、やはりマウス
10の操作によって指定する。
する。それぞれの検査範囲データは、形状に関する検査
範囲座標データおよび属性・検査パラメータの対で構成
される。これらの内検査範囲座標データは検査範囲の位
置を指定するデータであり、次のように指定して登録す
る。ディスプレー画面上に表示された画像データに対し
て、オペレータのマウス操作によりそのディスプレー画
面上をマウス・カーソルMCを希望の位置へ移動させて
マウス10の左ボタンを押すと、そのマウス・カーソル
MCの位置Mに対応するテーブル座標値Pが検査範囲座
標データとして登録される。また属性はそれぞれの領域
が検査範囲なのか検査不要領域なのかを示す情報であ
り、これについてもマウス10の操作によって指定す
る。さらに検査パラメータは比較法(パターンマッチン
グ法)を適用するのか特徴抽出法(デザインルール法)
を適用するのか等を指定するものであり、やはりマウス
10の操作によって指定する。
【0029】これらのうち座標データは、基板を載せた
検査テーブル1上の座標値に変換して登録する。この変
換のための換算式については既述した。さらに、入力で
きる検査範囲の形状は、多角形、円形、矩形の3種類で
ある。形状の指定は、それぞれの領域を入力する前にオ
ペレータが指定する。このうち多角形は3角形から最大
N角形まで(Nは5以上の所定の整数)である。また、
属性と検査パラメータの指定は、それぞれの領域の入力
が完了する前にオペレータが指定する。入力が完了して
登録された領域を、基板のイメージ画像を背景として属
性別の色で表示することにより、基板上のどのパターン
に対してどのような検査範囲が設定されているか、およ
びどこに検査不要領域が設定されているかが一目して識
別することができる。
検査テーブル1上の座標値に変換して登録する。この変
換のための換算式については既述した。さらに、入力で
きる検査範囲の形状は、多角形、円形、矩形の3種類で
ある。形状の指定は、それぞれの領域を入力する前にオ
ペレータが指定する。このうち多角形は3角形から最大
N角形まで(Nは5以上の所定の整数)である。また、
属性と検査パラメータの指定は、それぞれの領域の入力
が完了する前にオペレータが指定する。入力が完了して
登録された領域を、基板のイメージ画像を背景として属
性別の色で表示することにより、基板上のどのパターン
に対してどのような検査範囲が設定されているか、およ
びどこに検査不要領域が設定されているかが一目して識
別することができる。
【0030】つぎに検査範囲を指定する4種類の方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
【0031】1.多角形の場合 この場合の検査範囲指定の状況は前述の図1に示されて
いる。最初にマウス10の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点DPa1に対応するテーブル座標
値Pa1を多角形の第1点として登録する。その後、マウ
ス・カーソルMCの移動に合わせて、第1点とマウス・
カーソルMCの位置を結ぶ線分がラバーバンド方式で表
示される。次にマウス10の左ボタンが押された時のデ
ィスプレー画面上の入力点DPa2に対応するテーブル座
標値Pa2を第2点として登録する。以上の操作を繰り返
し、最後に登録操作が行われたら、最後に登録された第
n点と第1点とを結んでn角形を登録する。ただし、n
≦Nである。
いる。最初にマウス10の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点DPa1に対応するテーブル座標
値Pa1を多角形の第1点として登録する。その後、マウ
ス・カーソルMCの移動に合わせて、第1点とマウス・
カーソルMCの位置を結ぶ線分がラバーバンド方式で表
示される。次にマウス10の左ボタンが押された時のデ
ィスプレー画面上の入力点DPa2に対応するテーブル座
標値Pa2を第2点として登録する。以上の操作を繰り返
し、最後に登録操作が行われたら、最後に登録された第
n点と第1点とを結んでn角形を登録する。ただし、n
≦Nである。
【0032】2.矩形の場合 この場合の検査範囲指定の状況は図6(a)に示されて
いる。最初にマウス10の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点DPb1に対応するテーブル座標
値Pb1を矩形の4頂点のうちの1点として登録する。そ
の後、マウス・カーソルMCの移動に合わせて、マウス
・カーソルMCの位置を対角座標入力点DPb2とする矩
形をラバーバンド方式で表示する。次にマウス10の左
ボタンが押された時のテーブル座標値Pb2を第1点に対
する対角座標点とする矩形を登録する。
いる。最初にマウス10の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点DPb1に対応するテーブル座標
値Pb1を矩形の4頂点のうちの1点として登録する。そ
の後、マウス・カーソルMCの移動に合わせて、マウス
・カーソルMCの位置を対角座標入力点DPb2とする矩
形をラバーバンド方式で表示する。次にマウス10の左
ボタンが押された時のテーブル座標値Pb2を第1点に対
する対角座標点とする矩形を登録する。
【0033】3.円形の場合(中心点と円周上の1点入
力) この場合の検査範囲指定の状況は図6(b)に示されて
いる。最初にマウス10の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点DPc1に対応するテーブル座標
値Pc1を円形の中心点として記憶する。その後、マウス
・カーソルMCの移動に合わせて、マウス・カーソルM
Cの位置を円周上の1点とする円をラバーバンド方式で
表示する。次にマウス10の左ボタンが押された時のデ
ィスプレー画面上の入力点DPc2に対応するテーブル座
標値Pc2を円周上の1点とする円形の中心座標点と半径
を登録する。
力) この場合の検査範囲指定の状況は図6(b)に示されて
いる。最初にマウス10の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点DPc1に対応するテーブル座標
値Pc1を円形の中心点として記憶する。その後、マウス
・カーソルMCの移動に合わせて、マウス・カーソルM
Cの位置を円周上の1点とする円をラバーバンド方式で
表示する。次にマウス10の左ボタンが押された時のデ
ィスプレー画面上の入力点DPc2に対応するテーブル座
標値Pc2を円周上の1点とする円形の中心座標点と半径
を登録する。
【0034】4.円形の場合(直径の両端点入力) この場合の検査範囲指定の状況は図6(c)に示されて
いる。最初にマウス10の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点DPd1に対応するテーブル座標
値Pd1を円周上の第1点として記憶する。その後、マウ
ス・カーソルMCの移動に合わせて、マウス・カーソル
MCの位置を第1点に対する円の直径の端点とする円を
ラバーバンド方式で表示する。次にマウス10の左ボタ
ンが押された時のテーブル座標値Pd2と第1点を直径と
する円形の中心座標点と半径を登録する。
いる。最初にマウス10の左ボタンが押された時のディ
スプレー画面上の入力点DPd1に対応するテーブル座標
値Pd1を円周上の第1点として記憶する。その後、マウ
ス・カーソルMCの移動に合わせて、マウス・カーソル
MCの位置を第1点に対する円の直径の端点とする円を
ラバーバンド方式で表示する。次にマウス10の左ボタ
ンが押された時のテーブル座標値Pd2と第1点を直径と
する円形の中心座標点と半径を登録する。
【0035】なお、いずれの形状の場合も、取り消し操
作(マウス10の中央ボタンをクリックするかディスプ
レー画面上の取消ボタンイメージをマウス10で指定す
る)により1座標点入力前の状態に戻すことができる。
取り消し操作を操り返すことにより第1点目の入力前の
状態まで戻すことができる。また一括取り消し操作(デ
ィスプレー画面上の一括取消ボタンイメージをマウス1
0で指定する)により第1点目の入力前の状態まで戻す
ことができる。
作(マウス10の中央ボタンをクリックするかディスプ
レー画面上の取消ボタンイメージをマウス10で指定す
る)により1座標点入力前の状態に戻すことができる。
取り消し操作を操り返すことにより第1点目の入力前の
状態まで戻すことができる。また一括取り消し操作(デ
ィスプレー画面上の一括取消ボタンイメージをマウス1
0で指定する)により第1点目の入力前の状態まで戻す
ことができる。
【0036】以上の4種類の方法によって検査範囲を登
録できるが、データバッファ8の検査範囲データを格納
する領域(以下単に「検査領域データバッファ」とい
う)の構成を図7に従って以下に説明する。座標データ
は、固定長レコード部FRと可変長レコード部VRで構
成される。固定長レコード部FRは、属性・検査パラメ
ータを記述する領域F1と、形状(矩形、円形、多角
形)を示す形状番号を記述する領域F2と、2組の座標
値(X,Y)による形状記述座標値を記述する領域F3
と、可変長レコード部へのポインターを記述する領域F
4とから構成される。形状番号は、円形の場合は
「1」、矩形の場合は「2」、多角形の場合はその頂点
数を指定する。2組の座標値は、円形の場合は中心点の
座標値と半径、矩形の場合は2組の対角座標値、多角形
の場合はその多角形を包含する最小矩形の2組の対角座
標値(MIN−MAX点)を指定する。可変長レコード
部へのポインターは多角形の場合のみ使用する。可変長
レコード部VRには、多角形の頂点座標値(X,Y)が
その頂点数だけ連続して領域V1〜Vnに配置されてい
る。
録できるが、データバッファ8の検査範囲データを格納
する領域(以下単に「検査領域データバッファ」とい
う)の構成を図7に従って以下に説明する。座標データ
は、固定長レコード部FRと可変長レコード部VRで構
成される。固定長レコード部FRは、属性・検査パラメ
ータを記述する領域F1と、形状(矩形、円形、多角
形)を示す形状番号を記述する領域F2と、2組の座標
値(X,Y)による形状記述座標値を記述する領域F3
と、可変長レコード部へのポインターを記述する領域F
4とから構成される。形状番号は、円形の場合は
「1」、矩形の場合は「2」、多角形の場合はその頂点
数を指定する。2組の座標値は、円形の場合は中心点の
座標値と半径、矩形の場合は2組の対角座標値、多角形
の場合はその多角形を包含する最小矩形の2組の対角座
標値(MIN−MAX点)を指定する。可変長レコード
部へのポインターは多角形の場合のみ使用する。可変長
レコード部VRには、多角形の頂点座標値(X,Y)が
その頂点数だけ連続して領域V1〜Vnに配置されてい
る。
【0037】さらに、入力が完了して登録された領域に
対して形状や属性などの修正および削除、複写、回転、
移動等の編集作業を行う場合(以降、編集操作と称す)
は、基板のイメージ画像を背景として属性別の色で表示
された検査範囲に対して、下記5つの指定モードのいづ
れかの操作を行うことにより検査範囲を選択することが
できる。また複数の指定モードを組み合わせて複数の検
査範囲を選択できる。
対して形状や属性などの修正および削除、複写、回転、
移動等の編集作業を行う場合(以降、編集操作と称す)
は、基板のイメージ画像を背景として属性別の色で表示
された検査範囲に対して、下記5つの指定モードのいづ
れかの操作を行うことにより検査範囲を選択することが
できる。また複数の指定モードを組み合わせて複数の検
査範囲を選択できる。
【0038】1.ポイント指定モード ポイント指定モードは、被検査基板のイメージ画像を背
景として属性別の色で表示された検査範囲の任意の線上
に、オペレータのマウス操作によりそのディスプレー画
面上を移動するマウス・カーソルMCを位置させマウス
10の左ボタンを押すことにより、編集する検査範囲を
指定する。すなわち、編集操作の対象となる検査範囲を
指定する期間中は、マウス・カーソルの形状を15画素
角程度の矩形に変更し、マウス10の左ボタンが押され
た時のマウス・カーソルの矩形と交差する線分を持つ矩
形、多角形、円形の全ての検査範囲を選択する。
景として属性別の色で表示された検査範囲の任意の線上
に、オペレータのマウス操作によりそのディスプレー画
面上を移動するマウス・カーソルMCを位置させマウス
10の左ボタンを押すことにより、編集する検査範囲を
指定する。すなわち、編集操作の対象となる検査範囲を
指定する期間中は、マウス・カーソルの形状を15画素
角程度の矩形に変更し、マウス10の左ボタンが押され
た時のマウス・カーソルの矩形と交差する線分を持つ矩
形、多角形、円形の全ての検査範囲を選択する。
【0039】2.矩形掛け指定モード 矩形掛け指定モードは、矩形の検査範囲を入力する手順
で矩形を入力し、その矩形の内部に、検査範囲の一部が
包含される全ての検査範囲を選択する。
で矩形を入力し、その矩形の内部に、検査範囲の一部が
包含される全ての検査範囲を選択する。
【0040】3.矩形囲み指定モード 矩形囲み指定モードは、矩形の検査範囲を入力する手順
で矩形を入力し、その矩形の内部に、完全に包含される
全ての検査範囲を選択する。
で矩形を入力し、その矩形の内部に、完全に包含される
全ての検査範囲を選択する。
【0041】4.検査範囲一覧表からの指定モード 検査範囲一覧表からの指定モードは、登録されている検
査範囲の形状(矩形、円形、多角形の別)、座標デー
タ、属性、検査パラメータを一覧表形式で表示し、マウ
ス10により表中の検査範囲を指定することにより検査
範囲を選択する。
査範囲の形状(矩形、円形、多角形の別)、座標デー
タ、属性、検査パラメータを一覧表形式で表示し、マウ
ス10により表中の検査範囲を指定することにより検査
範囲を選択する。
【0042】5.再指定モード 再指定モードは、上記いづれかの方法で指定した検査範
囲に対して下記の編集操作を行った後で、再度同じ編集
領域に対して別の編集操作を行いたい場合に使用する。
すなわち、直前に選択されていた全ての検査範囲を再度
選択状態にする。
囲に対して下記の編集操作を行った後で、再度同じ編集
領域に対して別の編集操作を行いたい場合に使用する。
すなわち、直前に選択されていた全ての検査範囲を再度
選択状態にする。
【0043】以上の各モードあるいはそのいくつかのモ
ードで選択された検査範囲は選択状態を表す色で表示す
る。選択状態の検査範囲を再度選択すると、非選択状態
である元の色に戻る。また、選択された検査範囲の属性
と検査パラメータを表示することにより、登録した検査
範囲を確認することができる。
ードで選択された検査範囲は選択状態を表す色で表示す
る。選択状態の検査範囲を再度選択すると、非選択状態
である元の色に戻る。また、選択された検査範囲の属性
と検査パラメータを表示することにより、登録した検査
範囲を確認することができる。
【0044】以上によって選択した、登録済みの検査範
囲に対する編集操作には、下記の編集モードがある。
囲に対する編集操作には、下記の編集モードがある。
【0045】1.複写 複写は、選択された任意個数の検査範囲を任意方向に等
間隔で任意回数分繰り返し複写する。この時、複写する
方向と間隔を決定するために、複写する回数と下記の2
座標点を、ディスプレー画面上に表示された画像データ
に対して、オペレータのマウス操作によりそのディスプ
レー画面上を移動するマウス・カーソルMCの位置Mで
マウス10の左ボタンを押すことにより指定する。ここ
で基準点は複写される元のパターンの基準となる任意の
座標点であり、複写点は複写する先での元のパターンの
基準点と同じ位置関係にある座標点で、等間隔で連続複
写する場合は、最遠方位置にある複写点を指定する。
間隔で任意回数分繰り返し複写する。この時、複写する
方向と間隔を決定するために、複写する回数と下記の2
座標点を、ディスプレー画面上に表示された画像データ
に対して、オペレータのマウス操作によりそのディスプ
レー画面上を移動するマウス・カーソルMCの位置Mで
マウス10の左ボタンを押すことにより指定する。ここ
で基準点は複写される元のパターンの基準となる任意の
座標点であり、複写点は複写する先での元のパターンの
基準点と同じ位置関係にある座標点で、等間隔で連続複
写する場合は、最遠方位置にある複写点を指定する。
【0046】基板上には、同一パターンがある一定間隔
で複数個作成されていることがある。このような基板で
検査範囲を設定する場合、そのうちの1パターンに対し
てだけ検査範囲を設定すれば、残りの全てのパターンに
対しては複写操作を1回行うことにより同じ検査範囲を
設定できるため入力作業時間の短縮化と入力ミス防止が
期待できる。また、複写点を入力する際に、オペレータ
のマウス操作によりディスプレー画面上を移動するマウ
ス・カーソルMCの位置Mを仮の複写点として生成され
る検査範囲をラバーバンド方式で表示することにより、
ディスプレー上に表示された画像データから目的の複写
点を探し出す時間の短縮化が期待できる。
で複数個作成されていることがある。このような基板で
検査範囲を設定する場合、そのうちの1パターンに対し
てだけ検査範囲を設定すれば、残りの全てのパターンに
対しては複写操作を1回行うことにより同じ検査範囲を
設定できるため入力作業時間の短縮化と入力ミス防止が
期待できる。また、複写点を入力する際に、オペレータ
のマウス操作によりディスプレー画面上を移動するマウ
ス・カーソルMCの位置Mを仮の複写点として生成され
る検査範囲をラバーバンド方式で表示することにより、
ディスプレー上に表示された画像データから目的の複写
点を探し出す時間の短縮化が期待できる。
【0047】2.移動 移動は、複写回数を「1」に固定した場合の複写操作と
ほぼ同一であり、複写される元の検査範囲は削除され
る。複写と同様に下記の2座標点を、ディスプレー画面
上に表示された画像データに対して、オペレータのマウ
ス操作によりそのディスプレー画面上を移動するマウス
・カーソル位置でマウス10の左ボタンを押すことによ
り指定する。ここで基準点は複写される元のパターンの
基準となる任意の座標点であり、複写点は複写する先で
の元のパターンの基準点と同じ位置関係にある座標点で
ある。
ほぼ同一であり、複写される元の検査範囲は削除され
る。複写と同様に下記の2座標点を、ディスプレー画面
上に表示された画像データに対して、オペレータのマウ
ス操作によりそのディスプレー画面上を移動するマウス
・カーソル位置でマウス10の左ボタンを押すことによ
り指定する。ここで基準点は複写される元のパターンの
基準となる任意の座標点であり、複写点は複写する先で
の元のパターンの基準点と同じ位置関係にある座標点で
ある。
【0048】3.回転 回転は、複写回数を「1」に固定した場合の複写操作と
ほぼ同一であり、複写点への複写処理後に、複写点を回
転中心として「90度/180度/270度」の3角度
から選択された角度の回転処理を行う。複写と同様に下
記の2座標点を、ディスプレー画面上に表示された画像
データに対して、オペレータのマウス操作によりそのデ
ィスプレー画面上を移動するマウス・カーソルMCの位
置Mでマウス10の左ボタンを押すことにより指定す
る。ここでの基準点、および複写点は移動の場合と同様
である。
ほぼ同一であり、複写点への複写処理後に、複写点を回
転中心として「90度/180度/270度」の3角度
から選択された角度の回転処理を行う。複写と同様に下
記の2座標点を、ディスプレー画面上に表示された画像
データに対して、オペレータのマウス操作によりそのデ
ィスプレー画面上を移動するマウス・カーソルMCの位
置Mでマウス10の左ボタンを押すことにより指定す
る。ここでの基準点、および複写点は移動の場合と同様
である。
【0049】1枚の基板に複数の同一パターンが作成さ
れている基板には、単位面積当たりのパターン数を高め
るため、180度画転させたパターン同志を組み合わせ
て配置していることがある。このような基板で検査範囲
を設定する場合、そのうちの1パターンに対してだけ検
査範囲を設定すれば、180度回転されているパターン
に対しては回転操作を行うことにより同じ検査範囲を設
定できるため入力作業時間の短締化と入力ミス防止が期
待できる。
れている基板には、単位面積当たりのパターン数を高め
るため、180度画転させたパターン同志を組み合わせ
て配置していることがある。このような基板で検査範囲
を設定する場合、そのうちの1パターンに対してだけ検
査範囲を設定すれば、180度回転されているパターン
に対しては回転操作を行うことにより同じ検査範囲を設
定できるため入力作業時間の短締化と入力ミス防止が期
待できる。
【0050】4.拡大・縮小 拡大・縮小は、選択された任意個数の円形または矩形の
検査範囲に対して、それぞれの重心点を中心に指定され
た倍率の拡大・縮小処理を行う。すなわち、円形に対し
ては、それぞれの円形の半径に、指定された倍率の拡大
・縮小処理を行う。矩形に対しては、それぞれの矩形の
重心点と対角座標点間の距離が指定された倍率になるよ
うに対角座標点を移動する。
検査範囲に対して、それぞれの重心点を中心に指定され
た倍率の拡大・縮小処理を行う。すなわち、円形に対し
ては、それぞれの円形の半径に、指定された倍率の拡大
・縮小処理を行う。矩形に対しては、それぞれの矩形の
重心点と対角座標点間の距離が指定された倍率になるよ
うに対角座標点を移動する。
【0051】5.属性・検査パラメータの変更 属性・検査パラメータの変更は、選択された任意個数の
検査範囲に対して、それぞれの形状に関する座標データ
は変更せずに、属性および検査パラメータを変更する。
検査範囲に対して、それぞれの形状に関する座標データ
は変更せずに、属性および検査パラメータを変更する。
【0052】6.削除 削除は、選択された任意個数の検査範囲を削除する。
【0053】つぎにステップS5では、CPU7により
検査テーブル上の検査範囲を検査範囲定義メモリ上に定
義する処理を行う。検査範囲定義メモリは、比較法で検
査する領域を定義するための比較法検査範囲定義メモリ
および特徴抽出法で検査する領域を定義する特徴抽出法
検査範囲定義メモリで構成されている。検査範囲定義メ
モリの各ビットは、検査テーブルの全領域を欠陥検出ブ
ロックと呼ばれる一定範囲毎に区切った各ブロックと1
対1で対応している。検査範囲定義メモリで「1」と定
義されているビットに対応する検査テーブル上のブロッ
クが、その欠陥検出方法で検査されることになる。検査
範囲データを検査範囲定義メモリのフォーマットに変換
して検査範囲定義メモリに書き込むことにより、登録さ
れた検査範囲に対応する基板の範囲が指定されたパター
ン欠陥検出方法で検査されることになる。以下に検査範
囲データを検査範囲定義メモリのフォーマットに変換す
る手順を図8に従って説明する。
検査テーブル上の検査範囲を検査範囲定義メモリ上に定
義する処理を行う。検査範囲定義メモリは、比較法で検
査する領域を定義するための比較法検査範囲定義メモリ
および特徴抽出法で検査する領域を定義する特徴抽出法
検査範囲定義メモリで構成されている。検査範囲定義メ
モリの各ビットは、検査テーブルの全領域を欠陥検出ブ
ロックと呼ばれる一定範囲毎に区切った各ブロックと1
対1で対応している。検査範囲定義メモリで「1」と定
義されているビットに対応する検査テーブル上のブロッ
クが、その欠陥検出方法で検査されることになる。検査
範囲データを検査範囲定義メモリのフォーマットに変換
して検査範囲定義メモリに書き込むことにより、登録さ
れた検査範囲に対応する基板の範囲が指定されたパター
ン欠陥検出方法で検査されることになる。以下に検査範
囲データを検査範囲定義メモリのフォーマットに変換す
る手順を図8に従って説明する。
【0054】まず、このデータバッファ8のビットマッ
プデータを記憶する領域(以下「ビットマップデータバ
ッファ」と呼ぶ)を全ビット「0」で初期化しておく。
つぎに各欠陥検出ブロックEBに対応するビットマップ
データバッファの領域の内、検査範囲データADの多角
形(この例では多角形だが、矩形、円形、の場合も同
様)の線上を含んだ内側(図8のハッチングによる陰を
付けた部分)を「1」に塗りつぶし、ビットマップデー
タを作成する。その後、その検査範囲の比較検査パラメ
ータが「有効」の場合は、あらかじめ全ビットを「0」
に塗りつぶした比較検査範囲定義メモリと作成したビッ
トマップデータの論理和した結果を比較検査範囲定義メ
モリDMに書き戻す。この様子が図8の比較検査範囲定
義メモリDMに示されている。この比較検査範囲定義メ
モリDMの何も記されていない記憶ビットは「0」の表
記を省略している。これにより指定された検査範囲内に
対応する比較検査範囲定義メモリの各ビットのみが
「1」となる。また、図8では比較検査範囲定義メモリ
の場合を示したが、同様に特徴抽出法検査範囲定義メモ
リについても、その検査範囲の特徴抽出法検査パラメー
タが「有効」の場合は、あらかじめ全ビットを「0」に
塗りつぶした特徴抽出法検査範囲定義メモリと、作成し
たビットマップデータの論理和した結果を特徴抽出法検
査範囲定義メモリに書き戻す。これらの処理を登録され
ている全ての検査範囲に対して繰り返す。
プデータを記憶する領域(以下「ビットマップデータバ
ッファ」と呼ぶ)を全ビット「0」で初期化しておく。
つぎに各欠陥検出ブロックEBに対応するビットマップ
データバッファの領域の内、検査範囲データADの多角
形(この例では多角形だが、矩形、円形、の場合も同
様)の線上を含んだ内側(図8のハッチングによる陰を
付けた部分)を「1」に塗りつぶし、ビットマップデー
タを作成する。その後、その検査範囲の比較検査パラメ
ータが「有効」の場合は、あらかじめ全ビットを「0」
に塗りつぶした比較検査範囲定義メモリと作成したビッ
トマップデータの論理和した結果を比較検査範囲定義メ
モリDMに書き戻す。この様子が図8の比較検査範囲定
義メモリDMに示されている。この比較検査範囲定義メ
モリDMの何も記されていない記憶ビットは「0」の表
記を省略している。これにより指定された検査範囲内に
対応する比較検査範囲定義メモリの各ビットのみが
「1」となる。また、図8では比較検査範囲定義メモリ
の場合を示したが、同様に特徴抽出法検査範囲定義メモ
リについても、その検査範囲の特徴抽出法検査パラメー
タが「有効」の場合は、あらかじめ全ビットを「0」に
塗りつぶした特徴抽出法検査範囲定義メモリと、作成し
たビットマップデータの論理和した結果を特徴抽出法検
査範囲定義メモリに書き戻す。これらの処理を登録され
ている全ての検査範囲に対して繰り返す。
【0055】その後、検査不要範囲の座標データを、検
査範囲定義メモリと同一分解能でビットマップデータに
変換する。すなわち、ビットマップデータバッファは全
ビット「1」で初期化しておき、矩形、円形、多角形の
線上を含んだ内側を「0」に塗りつぶす操作によりビッ
トマップデータを作成する。そして、その検査不要範囲
の比較検査パラメータが「有効」の場合は、検査範囲内
が「1」になっていてその他のビットが「0」になって
いる比較検査範囲定義メモリと作成したビットマップデ
ータを論理積した結果を比較検査範囲定義メモリに書き
戻す。これにより指定された検査範囲内に検査不要範囲
がある場合等にも、比較検査範囲定義メモリの検査不要
範囲内の各ビットが「0」となる。また、その検査不要
範囲の特徴抽出法検査パラメータが「有効」の場合は、
検査範囲内が「1」になっていて、その他のビットが
「0」になっている特徴抽出法検査範囲定義メモリと、
作成したビットマップデータを論理積した結果を特徴抽
出法検査範囲定義メモリに書き戻す。これらの処理を、
登録されている全ての検査不要領域に対して繰り返す。
以上の処理の結果、両検査範囲定義メモリには、前ステ
ップで登録された全ての検査範囲と検査不要範囲から定
義されるビットマップデータが書き込まれる。以上がス
テップS5の処理手順である。
査範囲定義メモリと同一分解能でビットマップデータに
変換する。すなわち、ビットマップデータバッファは全
ビット「1」で初期化しておき、矩形、円形、多角形の
線上を含んだ内側を「0」に塗りつぶす操作によりビッ
トマップデータを作成する。そして、その検査不要範囲
の比較検査パラメータが「有効」の場合は、検査範囲内
が「1」になっていてその他のビットが「0」になって
いる比較検査範囲定義メモリと作成したビットマップデ
ータを論理積した結果を比較検査範囲定義メモリに書き
戻す。これにより指定された検査範囲内に検査不要範囲
がある場合等にも、比較検査範囲定義メモリの検査不要
範囲内の各ビットが「0」となる。また、その検査不要
範囲の特徴抽出法検査パラメータが「有効」の場合は、
検査範囲内が「1」になっていて、その他のビットが
「0」になっている特徴抽出法検査範囲定義メモリと、
作成したビットマップデータを論理積した結果を特徴抽
出法検査範囲定義メモリに書き戻す。これらの処理を、
登録されている全ての検査不要領域に対して繰り返す。
以上の処理の結果、両検査範囲定義メモリには、前ステ
ップで登録された全ての検査範囲と検査不要範囲から定
義されるビットマップデータが書き込まれる。以上がス
テップS5の処理手順である。
【0056】最後にステップS6でステップS5までの
処理で指定された被検査基板の範囲について実際に欠陥
検査が行われ、全体の処理を終了する。
処理で指定された被検査基板の範囲について実際に欠陥
検査が行われ、全体の処理を終了する。
【0057】
【3.変形例】この発明の実施例では請求項2の手動操
作手段としてマウスを用いたが、その代わりにトラック
ボール等の手段を用いることもできる。
作手段としてマウスを用いたが、その代わりにトラック
ボール等の手段を用いることもできる。
【0058】この発明の実施例では、多くの部分をCP
Uでソフトウェア的に処理したが、ハードウェア回路で
行うようにしてもよく、特にステップS2の処理は全て
ハードウェア回路で実行することにより処理時間を短縮
化することができる。
Uでソフトウェア的に処理したが、ハードウェア回路で
行うようにしてもよく、特にステップS2の処理は全て
ハードウェア回路で実行することにより処理時間を短縮
化することができる。
【0059】この発明の実施例の装置にハードディスク
等の外部記憶装置を接続して、登録された検査範囲デー
タと圧縮画像データを外部記憶装置にファイル保存する
こともできる。そして、後日その検査範囲データを変更
する場合でも、保存した圧縮画像データファイルを読み
込むことにより、再度画像データの読み取り作業をしな
くても同じ画像データと検査範囲データを表示すること
ができる。
等の外部記憶装置を接続して、登録された検査範囲デー
タと圧縮画像データを外部記憶装置にファイル保存する
こともできる。そして、後日その検査範囲データを変更
する場合でも、保存した圧縮画像データファイルを読み
込むことにより、再度画像データの読み取り作業をしな
くても同じ画像データと検査範囲データを表示すること
ができる。
【0060】また、この発明は、このプリント基板の検
査装置だけでなく、ICマスクパターンやリードフレー
ム、それに液晶表示用基板におけるパターン検査などに
おいても利用できる。
査装置だけでなく、ICマスクパターンやリードフレー
ム、それに液晶表示用基板におけるパターン検査などに
おいても利用できる。
【0061】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明で
は、指定中の検査の範囲を表現する図形と被検査物の画
像とを重ねて表示し、両者の位置関係を確認しながら指
定できるため、検査範囲の指定が容易かつ迅速に行える
とともに、検査範囲の指定ミスが簡単に発見できる。
は、指定中の検査の範囲を表現する図形と被検査物の画
像とを重ねて表示し、両者の位置関係を確認しながら指
定できるため、検査範囲の指定が容易かつ迅速に行える
とともに、検査範囲の指定ミスが簡単に発見できる。
【0062】さらにそれにより検査範囲の設定ミスによ
る致命的な「欠陥見逃し」を防止することができる。こ
のため、検査範囲の指定が正確となる。
る致命的な「欠陥見逃し」を防止することができる。こ
のため、検査範囲の指定が正確となる。
【0063】また、検査範囲の中に文字などの検査不要
パターンが存在する場合は、これを検査不要領域として
正確に設定することができ、検査不要領域での誤報の発
生を防止することによる欠陥確認作業を効率化できる。
パターンが存在する場合は、これを検査不要領域として
正確に設定することができ、検査不要領域での誤報の発
生を防止することによる欠陥確認作業を効率化できる。
【0064】また、請求項2の発明では、被検査物の画
像が表示されている表示装置上の所定のマークを手動操
作手段によって移動させ、その位置を特定することによ
り検査範囲を指定できるため、指定しようとしている位
置の座標を読み取ったり、キー入力する手間が省け、検
査範囲を微細かつ正確にすばやく指定することができ
る。したがって特に検査範囲の入力作業が迅速となる。
像が表示されている表示装置上の所定のマークを手動操
作手段によって移動させ、その位置を特定することによ
り検査範囲を指定できるため、指定しようとしている位
置の座標を読み取ったり、キー入力する手間が省け、検
査範囲を微細かつ正確にすばやく指定することができ
る。したがって特に検査範囲の入力作業が迅速となる。
【図1】実施例の欠陥検査装置の多角形の座標指定によ
る検査範囲の入力の説明図である。
る検査範囲の入力の説明図である。
【図2】実施例の欠陥検査装置の回路構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図3】実施例の欠陥検査装置の処理手順を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図4】実施例の欠陥検査装置の圧縮画像データb、圧
縮画像データc、拡大画像データdの表示切換えの説明
図である。
縮画像データc、拡大画像データdの表示切換えの説明
図である。
【図5】実施例の欠陥検査装置のマウスによる画像デー
タの表示範囲の移動の説明図である。
タの表示範囲の移動の説明図である。
【図6】実施例の欠陥検査装置の矩形、円形による検査
範囲指定の説明図である。
範囲指定の説明図である。
【図7】実施例の欠陥検査装置の検査範囲データバッフ
ァの記憶構成を示す説明図である。
ァの記憶構成を示す説明図である。
【図8】実施例の欠陥検査装置の検査範囲データの比較
検査範囲定義メモリへのフォーマット変換を示す説明図
である。
検査範囲定義メモリへのフォーマット変換を示す説明図
である。
1 検査テーブル 2 読み取りヘッド 3 A/D変換・2値化回路 4 メモリ 5 比較検査回路 6 DRC回路 7 CPU 8 データバッファ 9 グラフィック端末 10 マウス DPa1〜DPd2 入力点 DL 検査範囲の外形 MC マウス・カーソル M マウス・カーソルMCのディスプレー上の座標値
(Mx,My) P 検査テーブル上の座標値(Px,Py)
(Mx,My) P 検査テーブル上の座標値(Px,Py)
Claims (2)
- 【請求項1】 所定のパターンが形成された被検査物に
ついてのパターン欠陥の検査を行う装置であって、 前記被検査物の画像を表示する表示手段と、 前記表示手段に表示された前記被検査物の画像を観察し
つつ、前記画像の任意の範囲を指定するための範囲指定
データを入力する入力手段と、 前記範囲を表現する図形を発生して、前記表示手段上に
前記画像と前記図形とを重ねて表示させる表示制御手段
と、 前記範囲についての前記画像のパターン欠陥の検査を行
う検査手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装
置。 - 【請求項2】 請求項1記載の装置において、 前記範囲指定手段は、 所定のマークを前記表示手段上で移動させるとともに、
前記被検査物の画像上における前記マークの位置を特定
して前記範囲を指定する手動操作手段を有し、 前記表示制御手段が、 前記手動操作手段の手動操作に応答して前記図形を発生
する図形発生手段を有することを特徴とする欠陥検査装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6327235A JP3005440B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6327235A JP3005440B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08184570A true JPH08184570A (ja) | 1996-07-16 |
JP3005440B2 JP3005440B2 (ja) | 2000-01-31 |
Family
ID=18196840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6327235A Expired - Fee Related JP3005440B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3005440B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002181731A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Saki Corp:Kk | 部品検査方法 |
JP2003016463A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-17 | Toshiba Corp | 図形の輪郭の抽出方法、パターン検査方法、パターン検査装置、プログラムおよびこれを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
WO2006059662A1 (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | 表示デバイスの検査装置および検査方法 |
JP2007093305A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 金属箔張り積層板の検査装置 |
JPWO2020095909A1 (ja) * | 2018-11-07 | 2021-09-02 | 株式会社東芝 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
-
1994
- 1994-12-28 JP JP6327235A patent/JP3005440B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002181731A (ja) * | 2000-12-12 | 2002-06-26 | Saki Corp:Kk | 部品検査方法 |
JP2003016463A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-17 | Toshiba Corp | 図形の輪郭の抽出方法、パターン検査方法、パターン検査装置、プログラムおよびこれを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
WO2006059662A1 (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | 表示デバイスの検査装置および検査方法 |
US8060329B2 (en) | 2004-11-30 | 2011-11-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Display-device inspection apparatus and inspection method |
JP2007093305A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 金属箔張り積層板の検査装置 |
JPWO2020095909A1 (ja) * | 2018-11-07 | 2021-09-02 | 株式会社東芝 | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム |
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---|---|
JP3005440B2 (ja) | 2000-01-31 |
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