JP2001337999A

JP2001337999A - 図形データ変換方法およびその装置

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Publication number: JP2001337999A
Application number: JP2000156579A
Authority: JP
Inventors: Hisashi Shiba; 尚志斯波
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 2000-05-26
Filing date: 2000-05-26
Publication date: 2001-12-07
Also published as: US20020013933A1

Abstract

(57)【要約】【課題】描画機用のＣＡＤデータを欠陥検査機用の図
形データに変換してもデータ容量が不用意に増大したり
不要な領域分割によって欠陥検査機の処理速度が低下し
たりすることのない図形データ変換方法およびデータ変
換装置を提供すること。【解決手段】ＣＡＤデータ中で領域を分割されている
図形データを統合して元の図形全体を表す図形データを
生成する。その後、この図形データから欠陥検査機用の
ファイルフォーマットで決まる分割領域に合わせて、改
めて、前記欠陥検査機用に最適化した図形データを生成
する。これにより欠陥検査機用のファイルフォーマット
で決まる分割領域内で図形データが不用意に分割される
のを防止して、不必要な図形分割によるデータの増大
と、これを利用する欠陥検査機の処理動作の遅れを解消
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、領域を分割して作
成された描画機用のＣＡＤデータを欠陥検査機用の図形
データに変換する図形データ変換方法および図形データ
変換装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換し、欠陥
検査機で製品を測定して得られた画像データと前記変換
された図形データとを比較することによって製品の良否
を判定するデータベース検査が知られている。

【０００３】半導体製造のリソグラフィーに用いるフォ
トマスク及びレティクルのパターンを記述するＣＡＤデ
ータのファイルフォーマットは、一般的に描画機専用に
作られている。欠陥検査機において、ＣＡＤデータから
参照画像を作成して、これと測定した画像とを比較す
る、いわゆるデータベース検査においては、ＣＡＤデー
タファイルを扱っているものの、検査用にフォーマット
を変換する必要がある。

【０００４】欠陥検査機と描画機でのデータ空間分解能
の違いや、原点の位置等の座標系の違い等については、
例えば特開昭６１−０２２６２４で提案されている手法
のように、比較的容易に変換できるが、それ以外に、描
画機用のＣＡＤデータと検査機用のデータでは領域の区
切り方が異なることに起因して以下のような問題が存在
する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】まず、領域の区切り方
が異なるということを説明する。描画機ではフォトマス
ク及びレティクルを、複数の領域に分割して描画してい
る場合が多いが、この分割の単位はもちろん描画機特有
のデータの単位である。欠陥検査機の側では何らかの手
段によってフォトマスク及びレティクルの１部分をフレ
ーム（部分画像）として切り取って処理する。切り取り
のサイズは一般的な画像処理装置を適用することを考慮
して、例えば５１２×５１２画素といったサイズとな
る。しかしながら、この切り取りの単位は欠陥検査機特
有のデータの単位である。

【０００６】次に、領域の区切り方の違いが原因で発生
する問題点を列挙する。

【０００７】描画機のデータでは一つの図形として表現
できるものが、欠陥検査機のデータではフレーム間の境
界を跨ぐようになった場合、その図形は分割され、複数
の図形になってしまう。また、描画機のデータでは一つ
の繰り返し領域として表現される繰り返しパターンが、
欠陥検査機では複数の繰り返し領域に分割されてしまう
場合がある。

【０００８】これと同様に、欠陥検査機のフレーム内で
は分割する必要の無い図形や繰り返し領域であるのにも
かかわらず、描画機特有の領域の境界に来るため、分割
されてしまう場合がある。

【０００９】また、描画機用のＣＡＤデータでは、上述
の描画機におけるデータ領域の制限以外に、描画特性
や、データフォーマットの制約から、大きな図形が小さ
な基本図形、例えば、四角形に分割されている場合があ
る。電子ビーム描画時にはこの分割は必要ではあるが、
検査時には必要が無い。特開平０３−１５２５４１で
は、複数の図形を一つに統合する手法について提案され
ているが、同じ形状の図形同士にしか適用できないとい
う点で大きな制約がある。

【００１０】更に、欠陥検査機において、フレームの境
界によりこの繰り返し領域が分断される場合、パターン
の繰り返しを多用したＣＡＤデータの圧縮は、圧縮の効
果が大きく低下する懸念がある。従って、欠陥検査機向
けにＣＡＤデータの圧縮方法を見直す必要がある。

【００１１】以上の点については今まで問題視されて来
なかったが、ＯＰＣマスク等でデータサイズが爆発的に
増大する昨今においては、データ容量の増大や処理速度
の低下の面で無視できない問題があり、十分に考慮すべ
きものである。

【００１２】

【発明の目的】そこで、本発明の目的は、前記従来技術
の欠点を解消し、描画機用のＣＡＤデータを欠陥検査機
用の図形データに変換してもデータ容量が不用意に増大
したり不要な領域分割によって欠陥検査機の処理速度が
低下したりすることのない図形データ変換方法およびデ
ータ変換装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の図形データ変換
方法は、領域を分割して作成された描画機用のＣＡＤデ
ータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形データ
変換方法であり、前記目的を達成するため、特に、ＣＡ
Ｄデータ中で領域を分割されている図形データを統合し
て元の図形全体を表す図形データを生成した後、この図
形データから欠陥検査機用のファイルフォーマットで決
まる分割領域に合わせて前記欠陥検査機用の図形データ
を生成することを特徴とした構成を有する。

【００１４】このような構成によれば、ＣＡＤデータ中
における領域の分割状況に関わり無く、元の状態に復元
された図形を欠陥検査機用のファイルフォーマットで決
まる領域に最適化させて出力することができるので、欠
陥検査機の分割領域内で図形が分割されることがなくな
る。従って、図形の分割部を規定する不要なデータが削
除されてデータ容量がコンパクト化され、また、不要な
データが削除されることから、この図形データを参照し
て欠陥検出を行う欠陥検査機の処理動作も高速化され
る。

【００１５】また、欠陥検査機用のファイルフォーマッ
トで決まる分割領域よりも大き目の拡張分割領域を設定
し、この拡張分割領域に合わせて欠陥検査機用の図形デ
ータを生成するようにしてもよい。

【００１６】この場合、欠陥検査機用のファイルフォー
マットで決まる分割領域よりも大き目の拡張分割領域に
含まれる図形データが欠陥検査機に提供されることにな
るので、検査時における欠陥検査機の位置決めに関連し
た誤差が許容されるようになる。また、欠陥検査機で扱
われる分割領域の大きさが実質的に増大するので、この
分割領域を跨ぐことによって切断される図形の数が減少
し、全体として取り扱われる図形の数が減少するため、
データ容量が相対的にコンパクト化される。

【００１７】更に、前述のようにして欠陥検査機用のフ
ァイルフォーマットで決まる分割領域、あるいは、それ
よりも大きな拡張分割領域に合わせて生成された図形デ
ータを、四角形の集合体として再定義するようにしても
よい。

【００１８】この場合、図形データを四角形に分割する
ことにより図形データの数自体は増大するが、形状定義
が簡素化されるため、全体としてのデータ量を削減する
ことが可能である。

【００１９】また、ＣＡＤデータ中で領域を分割されて
いる図形データの繰り返しパターンがある場合には、こ
の繰り返しパターンを統合して全ての繰り返しを含む繰
り返しパターンの図形データを生成した後、この図形デ
ータから欠陥検査機用のファイルフォーマットで決まる
分割領域に合わせて欠陥検査機用の繰り返しパターンの
図形データを生成することで、前記と同様の目的を達成
することができる。

【００２０】欠陥検査機の分割領域内で図形の繰り返し
パターンが分割されることがなくなり、重複した不要な
形状定義データが削除されてデータ容量がコンパクト化
され、また、不要なデータが削除されることから欠陥検
査機の処理動作が高速化するためである。

【００２１】ここでも、欠陥検査機用のファイルフォー
マットで決まる分割領域よりも大き目の拡張分割領域を
設定し、この拡張分割領域に合わせて欠陥検査機用の繰
り返しパターンの図形データを生成することが可能であ
る。

【００２２】これにより、検査時における欠陥検査機の
位置決めに関連した誤差が許容されるようになる。ま
た、欠陥検査機で扱われる分割領域の大きさが実質的に
増大するので、この分割領域を跨ぐことによって切断さ
れる繰り返しパターンの数が減少し、全体として取り扱
われる繰り返しパターンの数が減少するため、データ容
量が相対的にコンパクト化される。

【００２３】更に、前述のようにして欠陥検査機用のフ
ァイルフォーマットで決まる分割領域、あるいは、それ
よりも大きな拡張分割領域に合わせて欠陥検査機用の繰
り返しパターンの図形データを生成した後、共通する繰
り返しパターンの図形データを有する拡張分割領域の有
無を判定し、共通する繰り返しパターンの図形データを
有する拡張分割領域が存在しない場合には当該繰り返し
パターンの図形データを当該拡張分割領域の図形データ
として登録する一方、共通する繰り返しパターンの図形
データを有する拡張分割領域が既に存在する場合には、
当該繰り返しパターンの図形データに代えて、前記共通
する繰り返しパターンの図形データの格納先を登録する
ことによりデータ容量の一層のコンパクト化が可能であ
る。

【００２４】同じ繰り返しパターンの図形データが重複
して登録されることがなくなってデータ容量が軽量化さ
れるためである。

【００２５】本発明の図形データ変換装置は、ＣＡＤデ
ータを読み込むためのＣＡＤデータ読込手段と、ＣＡＤ
データ中で領域を分割されている図形データを統合して
元の図形全体を表す図形データを生成する図形統合手段
と、図形統合手段により統合された図形データから欠陥
検査機用のファイルフォーマットで決まる分割領域に合
わせて欠陥検査機用の図形データを生成する図形分割手
段と、図形分割手段により分割された図形データを欠陥
検査機またはデータ記憶手段に出力するデータ出力手段
とを備えたことを特徴とした構成を有する。

【００２６】この図形データ変換装置は、ＣＡＤシステ
ムの一部として組み込んでも、また、欠陥検査機の一部
として組み込んでもよく、更には、ＣＡＤシステムや欠
陥検査機とは独立させて単体で設けてもよい。このよう
な構成によれば、ＣＡＤデータ中における領域の分割状
況に関わり無く、元の状態に復元された図形を欠陥検査
機用のファイルフォーマットで決まる領域に最適化させ
て出力することができるので、欠陥検査機の分割領域内
で図形が分割されることがなくなる。従って、図形の分
割部を規定する不要なデータが削除されてデータ容量が
コンパクト化され、また、不要なデータが削除されるこ
とから、この図形データを参照して欠陥検出を行う欠陥
検査機の処理動作も高速化される。

【００２７】この図形データ変換装置には、欠陥検査機
用のファイルフォーマットで決まる分割領域よりも大き
目の拡張分割領域を設定するフレーム設定手段と、図形
統合手段により統合された図形データから拡張分割領域
に合わせて欠陥検査機用の図形データを生成する図形分
割手段とを設けることができる。

【００２８】このような構成によれば、欠陥検査機用の
ファイルフォーマットで決まる分割領域よりも大き目の
拡張分割領域に含まれる図形データが欠陥検査機に提供
されることになるので、検査時における欠陥検査機の位
置決めに関連した誤差が許容されるようになる。また、
欠陥検査機で扱われる分割領域の大きさが実質的に増大
するので、この分割領域を跨ぐことによって切断される
図形の数が減少し、全体として取り扱われる図形の数が
減少するため、データ容量が相対的にコンパクト化され
る。

【００２９】更に、図形データ変換装置には、図形分割
手段により分割された拡張分割領域内の多角形の図形デ
ータを四角形の集合体に分解する多角形分割手段を併設
することが可能である。

【００３０】このような構成においては、図形データを
四角形に分割することによって図形データの数自体は増
大するが、形状定義が簡素化されるため、全体としての
データ量を削減することができる。

【００３１】また、ＣＡＤデータ中で領域を分割されて
いる図形データの繰り返しパターンを統合して全ての繰
り返しを含む繰り返しパターンの図形データを生成する
繰り返し領域統合手段と、繰り返し領域統合手段により
生成された図形データから欠陥検査機用のファイルフォ
ーマットで決まる分割領域に合わせて前記欠陥検査機用
の繰り返しパターンの図形データを生成する繰り返し領
域分割手段と、繰り返し領域分割手段により生成された
繰り返しパターンの図形データを欠陥検査機またはデー
タ記憶手段に出力するデータ出力手段とを備えた構成に
よっても前記と同様の目的を達成することができる。

【００３２】欠陥検査機の分割領域内で図形の繰り返し
パターンが分割されることがなくなり、重複した不要な
形状定義データが削除されてデータ容量がコンパクト化
され、また、不要なデータが削除されることから欠陥検
査機の処理動作が高速化するためである。

【００３３】このような構成においても、欠陥検査機用
のファイルフォーマットで決まる分割領域よりも大き目
の拡張分割領域を設定するフレーム設定手段と、前記繰
り返し領域統合手段により生成された図形データから前
記フレーム設定手段により設定された拡張分割領域に合
わせて前記欠陥検査機用の繰り返しパターンの図形デー
タを生成する繰り返し領域分割手段とを設けることが可
能である。

【００３４】これにより、検査時における欠陥検査機の
位置決めに関連した誤差が許容されるようになる。ま
た、欠陥検査機で扱われる分割領域の大きさが実質的に
増大するので、この分割領域を跨ぐことによって切断さ
れる繰り返しパターンの数が減少し、全体として取り扱
われる繰り返しパターンの数が減少するため、データ容
量が相対的にコンパクト化される。

【００３５】更に、この図形データ変換装置には、共通
する繰り返しパターンの図形データを有する拡張分割領
域の有無を判定し、共通する繰り返しパターンの図形デ
ータを有する拡張分割領域が存在しない場合には当該繰
り返しパターンの図形データを当該拡張分割領域の図形
データとして登録するフレーム内繰り返し情報登録手段
と、前記フレーム内繰り返し情報登録手段により共通す
る繰り返しパターンの図形データを有する拡張分割領域
が既に存在すると判定された場合には、当該繰り返しパ
ターンの図形データに代えて、前記共通する繰り返しパ
ターンの図形データの格納先を登録する参照テンプレー
ト設定手段とを併設することが望ましい。

【００３６】このような構成によれば、同じ繰り返しパ
ターンの図形データが重複して登録されることがなくな
るため、データ容量の一層のコンパクト化が達成され
る。

【００３７】そして、最も効果的な図形データ変換装置
の具体的な構成として、ＣＡＤデータを読み込むための
ＣＡＤデータ読込手段と、前記ＣＡＤデータ中で領域を
分割されている図形データを統合して元の図形全体を表
す図形データを生成する図形統合手段と、前記ＣＡＤデ
ータ中で領域を分割されている図形データの繰り返しパ
ターンを統合して全ての繰り返しを含む繰り返しパター
ンの図形データを生成する繰り返し領域統合手段と、欠
陥検査機用のファイルフォーマットで決まる分割領域よ
りも大き目の拡張分割領域を設定するフレーム設定手段
と、前記図形統合手段により統合された図形データを前
記拡張分割領域で分割する図形分割手段と、図形分割手
段により分割された拡張分割領域内の多角形の図形デー
タを四角形の集合体に分解する多角形分割手段と、前記
繰り返し領域統合手段により生成された図形データから
前記フレーム設定手段により設定された拡張分割領域に
合わせて前記欠陥検査機用の繰り返しパターンの図形デ
ータを生成する繰り返し領域分割手段と、共通する繰り
返しパターンの図形データを有する拡張分割領域の有無
を判定し、共通する繰り返しパターンの図形データを有
する拡張分割領域が存在しない場合には当該繰り返しパ
ターンの図形データを当該拡張分割領域の図形データと
して登録するフレーム内繰り返し情報登録手段と、前記
フレーム内繰り返し情報登録手段により共通する繰り返
しパターンの図形データを有する拡張分割領域が既に存
在すると判定された場合には、当該繰り返しパターンの
図形データに代えて、前記共通する繰り返しパターンの
図形データの格納先を登録する参照テンプレート設定手
段と、前記多角形分割手段により分解された図形データ
および前記フレーム内繰り返し情報登録手段と前記参照
テンプレート設定手段により設定されたデータを前記欠
陥検査機またはデータ記憶手段に出力するデータ出力手
段とを備えた図形データ変換装置を提案する。

【００３８】このような構成により、図形や繰り返しパ
ターンに関連する無駄な情報が効果的に削減され、デー
タ容量のコンパクト化および欠陥検査機の高速化がより
高い次元で達成される。

【００３９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。図１は本発明の図形データ変
換方法を適用した一実施形態の図形データ変換装置の構
成の概略を示したブロック図である。

【００４０】図１に示される通り、この図形データ変換
装置１は、概略において、演算処理用のＣＰＵ２と、そ
の制御プログラム等を格納したＲＯＭ３、および、デー
タの一時記憶等に用いられるＲＡＭ４と、データ記憶媒
体となるハードディスク５、ならびに、データ入力手段
としてのキーボード７とマウス８、および、図形データ
の表示等に用いられるＣＲＴ６によって構成され、更
に、外部装置と接続するためのインターフェイス９を備
える。

【００４１】ハードウェア構成の主要部に関しては通常
のパーソナルコンピュータやＣＡＤシステムあるいは欠
陥検査機を制御する制御装置と同様であり、従って、こ
のデータ変換装置１をＣＡＤシステムや欠陥検査機の一
部として組み込むことも容易である。

【００４２】図２は同実施形態の図形データ変換装置１
に配備されたＣＰＵ２およびＲＯＭ３の制御プログラム
によって達成される機能の概要を簡略化して示した機能
ブロック図である。

【００４３】まず、各機能の概略について簡単に説明す
る。ＣＡＤデータ読込手段１０は実質的に図２のインタ
ーフェイス９に相当し、ＣＡＤデータの入力に使用され
る。なお、このデータ変換装置１がＣＡＤシステムと一
体に構成されている場合には、データ変換装置１および
ＣＡＤシステムに共通のハードディスク５から直にＣＡ
Ｄデータを読み込むことも可能である。

【００４４】読み込まれたＣＡＤデータはデータ記憶手
段１１、つまり、図１に示されるＲＡＭ４に作業対象デ
ータとして保持され、このデータに対して各種の処理が
行われることになる。

【００４５】画像表示手段１２は図１におけるＣＲＴ６
によって構成される。領域指定手段１３，拡張フレーム
設定手段１４，クリッピングフレーム設定手段１５の各
機能はＣＰＵ２による内部処理、あるいは、オペレータ
の手動操作によって達成することが可能であり、オペレ
ータの手動操作による場合には、図１に示されるキーボ
ード７およびマウス８が領域指定手段１３，拡張フレー
ム設定手段１４，クリッピングフレーム設定手段１５の
一部として使用される。

【００４６】図形統合手段１６は、データ記憶手段１１
に保持されたＣＡＤデータを分析し、ＣＡＤデータにお
ける図形の座標値等を用いて、描画機のデータフォーマ
ットの制約等から分割されている本来は一つの図形であ
るべき複数の図形を一つに統合する。このようにして統
合された図形のデータはデータ記憶手段１１内で以前の
ＣＡＤデータに置き換えられる。

【００４７】繰り返し領域統合手段１７は、データ記憶
手段１１に保持されたＣＡＤデータを分析し、ＣＡＤデ
ータにおける図形の座標値等を用いて、描画機のデータ
フォーマットの制約等から分割されている本来は一つの
繰り返し領域であるべき複数の繰り返し領域を一つに統
合する。なお、ここでいう繰り返し領域とは図形データ
の繰り返しパターンが現れる領域のことである。このよ
うにして統合された繰り返し領域のデータはデータ記憶
手段１１内で以前のＣＡＤデータに置き換えられる。

【００４８】拡張フレーム設定手段１４は、画像処理の
際のフレームサイズ、つまり、欠陥検査機用のファイル
フォーマットで決まる分割領域よりも大きな領域（拡張
フレーム）を設定する。画像処理の際のフレームサイズ
よりも大きな領域を設定するのは、画像処理や欠陥検査
機の位置合わせで生じる誤差を吸収するため、および、
不必要な図形データの分割を抑制するための措置であ
る。

【００４９】クリッピングフレーム設定手段１５は、拡
張フレーム内にあって、拡張フレームの外にはみ出る図
形の内、各拡張フレームに図形データとして保存する図
形の最大範囲であるクリッピングフレームを設定する。

【００５０】これらの拡張フレームおよびクリッピング
フレームは拡張分割領域の一種である。

【００５１】繰り返し領域分割手段１８は、予め指定さ
れたサイズの領域、例えば、拡張フレームと、この領域
どうしの重なり具合に基づいて、繰り返し領域を分割す
る。

【００５２】繰り返し領域が拡張フレームと重合し、し
かも、クリッピングフレーム内にある場合には、この繰
り返し領域に関連するデータがフレーム内繰り返し情報
登録手段１９によりフレーム内繰り返し情報リストに登
録される。

【００５３】また、繰り返し領域がクリッピングフレー
ム内にあっても拡張フレームと重合しない場合には、こ
の繰り返し領域はこの拡張フレーム内の情報と無関係な
ものとして無視される。

【００５４】拡張フレームを単位とする繰り返しの表現
では不十分な場合には、テンプレート指定手段２３によ
って更に大きな領域を指定し、その中から繰り返し領域
を抽出して、この領域を単位とした繰り返しの記述が行
われる。また、同一の繰り返しパターンが図形データ全
体の複数箇所に現れる場合には、その度に図形の形状や
繰り返しピッチのデータを保存するのは無駄であるの
で、参照テンプレート設定手段２４によりデータの参照
先を設定し、共通するデータをそのまま参照して利用す
るように設定する。

【００５５】更に、繰り返し領域が拡張フレームと重合
し、かつ、クリッピングフレームからはみ出る場合に
は、拡張フレームあるいはクリッピングフレーム内に存
在する図形部分がこの拡張フレームに関連する単独図形
として扱われることになる。この単独図形は、図形分割
手段２０により拡張フレームあるいはクリッピングフレ
ームを境として分割される。そして、分割された図形が
基本要素である四角形（ＣＡＤが扱う最小の部品要素）
である場合には、図形登録手段２１によって、この拡張
フレームに関連する単独図形として当該拡張フレームの
フレーム内図形リストに登録される。また、分割された
図形が四角形でなければ、更に、多角形分割手段２２に
よって四角形の単位にまで分解され、前記と同様にして
フレーム内図形リストに登録される。

【００５６】図形登録手段２１は、前述の各処理で得ら
れて最終的なデータ、つまり、各フレーム毎のフレーム
内繰り返し情報リストとフレーム内図形リスト、テンプ
レート指定手段２３で指定された領域から抽出された繰
り返しの情報、および、この情報の参照先に関連する情
報等をデータ記憶手段１１内で以前のＣＡＤデータに置
き換える。最終的に、データ記憶手段１１内のデータは
不揮発性の記憶手段であるハードディスク５に保存され
るか、あるいは、データ出力手段２５となるインターフ
ェイス９を介してそのまま欠陥検査機等に出力される。

【００５７】以上が構成の概略である。以下、図３ない
し図６のフローチャートを参照して図形データ変換装置
１のＣＰＵ２による実質的な処理動作に関して詳細に説
明する。

【００５８】ＣＰＵ２は、まず、ＣＡＤシステムで生成
された図形データをＣＡＤデータ読込手段１０を介して
データ記憶手段１１に読み込み、このＣＡＤデータをデ
ータ変換の作業対象として選択し（ステップｓ１）、そ
の画像を画像表示手段１２に表示する（ステップｓ
２）。ここでは画像表示手段１２としてＣＲＴ６を使用
しているが液晶プロジェクター等を利用してもよい。表
示倍率はユーザーが任意に設定可能である。このＣＡＤ
データは一般的に部品図形の頂点座標や辺の長さ・向き
等で表わされるが、ＣＡＤデータに固有のフォーマット
のため、これによって表される図形や繰り返し領域には
様々な分割が生じている。

【００５９】そこで、図形統合手段１６となるＣＰＵ２
は、これらのデータを分析し、まず、ＣＡＤデータ中で
分割されている図形を一体化して本来あるべき形に復元
する（ステップｓ３）。

【００６０】この際、オペレータが画像表示手段１２の
画像を参照しながら領域指定手段１３を構成するキーボ
ード７やマウス８を使用してマウスによるラバーバンド
やクリック操作で分割図形をマニュアル選択してもよ
い。このような場合、ＣＰＵ２は隣接して選択された図
形のコーナーの角度から、統合後、四角形となるかどう
かを調べる。図８（ａ）に示される例のように四角形と
なる場合には統合し、また、図７（ａ）の例のように統
合しても四角形とならない場合にはそのまま放置して、
オペレータに対し、統合できない旨、画像表示手段１２
を介して警告メッセージを通知する。図形の統合とは、
例えば図７（ｂ）に示されるように、ＣＡＤデータ上で
複数の四角形のデータが一つの四角形のデータとなるこ
とである。

【００６１】一方、図形統合手段１６としてのＣＰＵ２
によって図形を自動的に統合する場合には、辺が接触し
ている四角形どうしの全ての組み合わせについて、統合
後四角形になるかどうかを調べ、四角形となるものだけ
を自動処理で統合する。

【００６２】例えば、電子ビーム描画機のＣＡＤデータ
フォーマットとして最もよく用いられているＭＥＢＥＳ
フォーマット（MEBES Software Manual, Etec Systems,
Inc. 1998）では、図７（ｃ）の例のように、全図形は
上辺と下辺がともに水平な四角形で表されており、例え
ば、長方形と台形、または平行四辺形どうしの場合のよ
うに、図形名だけで統合出来るか出来ないかを判定でき
る場合がある。また、ＭＥＢＥＳにおいて、上辺と下辺
が共に水平で、図形が横方向または上下方向にしか接触
せず、接触する角の座標が一致し、かつ、接触する角の
角度の和が１８０度ならば、図８（ａ）の例のように、
統合後必ず四角形となる。

【００６３】一般的には統合できるかどうかは例えば以
下のような手順に基づいて判断する。まず、図形間で２
つのコーナーの座標が一致するか否かを判定する。そし
て、更に、２つのコーナーの座標が一致するものに関し
て接触するコーナーの角度の和が１８０度であるか否か
を判定し、この和が１８０度であれば、それらの図形は
統合可能である。よって、このような条件を適用してＣ
ＰＵ２による図形の自動統合を実施することが可能であ
る。

【００６４】このようにして統合可能な図形が全て統合
されると、ＣＰＵ２は、領域指定手段１３によるオペレ
ータからの指示またはＣＡＤデータに基づいて、描画機
用ＣＡＤデータフォーマットの制約や、電子ビームの描
画特性等が原因で本来は一つであるにも関わらず、複数
に分割されている繰り返し領域の隣接する組を検出する
（ステップｓ４）。

【００６５】次いで、繰り返し領域統合手段１７として
のＣＰＵ２は、検出された繰り返し領域の各々の図形の
形状と各繰り返し領域における繰り返しピッチとを領域
間で相互に比較し（ステップｓ５）、図形の形状と繰り
返しピッチが共に一致するか否かを判別する（ステップ
ｓ６）。何れか一方でも不一致があれば両者は同じ特徴
を有する繰り返し領域ではないので、これらの繰り返し
領域を統合することはできない。

【００６６】従って、このような場合は、繰り返し領域
を統合できない旨の警告メッセージを画像表示手段１２
を介してオペレータに通知する（ステップｓ１１）。

【００６７】また、図形の形状と繰り返しピッチが共に
一致した場合には、繰り返し領域統合手段１７としての
ＣＰＵ２は、更に、図８（ｂ）に示されるように、ＣＡ
Ｄのフォーマットで分割された領域の境界を挟んでその
両側に位置する図形の間隔を調べ（ステップｓ７）、こ
の間隔が前述した各領域における図形の繰り返しピッチ
と一致しているか否かを判別する（ステップｓ８）。

【００６８】この間隔が一致していない場合には、これ
らの領域を纏めて１つの図形データと単一の繰り返しピ
ッチで記述することは不可能である。従って、ＣＰＵ２
は、前記と同様に、繰り返し領域を統合できない旨の警
告メッセージを画像表示手段１２を介してオペレータに
通知する（ステップｓ１１）。

【００６９】一方、領域の境界を挟んでその両側に位置
する図形の間隔が図形の繰り返しピッチと一致している
場合には、これらの領域を纏めて１つの図形データと単
一の繰り返しピッチで記述することが可能であるので、
繰り返し領域統合手段１７としてのＣＰＵ２は、これら
の繰り返し領域を統合する（ステップｓ９）。

【００７０】繰り返し領域を統合するとは、例えば、図
９（ａ）に示すように、ＣＡＤデータにおいて、一方の
繰り返し図形の繰り返し始点もしくは繰り返し終点や、
繰り返し回数等で構成される繰り返し情報を変更し、も
う一方の繰り返し情報を消去するということである。つ
まり、ここで必要とされるのは元になる１つの図形の形
状データとその位置、および、複製図形を配置する繰り
返しピッチと、その繰り返し回数である。

【００７１】次いで、繰り返し領域統合手段１７として
のＣＰＵ２は、今回の処理で読み込んだＣＡＤデータの
中に分割された繰り返し領域が他にも存在するかどうか
を確認し（ステップｓ１０）、分割された繰り返し領域
が他にも有れば、前記と同様の処理を繰り返し実行し、
統合可能な全ての繰り返し領域を統合する（ステップｓ
４〜ステップｓ１０）。

【００７２】以上の処理により、ＣＡＤシステムの都合
によって生じるデータ記述上の制限事項が全て解除さ
れ、ＣＡＤデータ内の図形は本来あるべき形状に戻さ
れ、また、繰り返し領域に生じていた不連続性も取り除
かれる。

【００７３】以下の処理は、このようにして本来あるべ
き姿に戻されたデータ記憶手段１１内の図形データおよ
び繰り返し情報に対して行われる。

【００７４】拡張フレーム設定手段１４としてのＣＰＵ
２は、まず、実際に画像処理をするフレーム、つまり、
欠陥検査機のデータフォーマットによって決まる分割領
域のフレームに加え、画像処理によって無効になってし
まう画素を考慮して、画像処理の対象となるフレームサ
イズを実際よりも大き目に確保する。例えば図９（ｂ）
に示すように５×５のマスク処理をする場合、注目画素
から上下左右に２画素分の領域が必要なので、画像の端
から２画素分は無視する必要がある。この際、装置の位
置合わせ誤差も考慮し、例えば、図１０に示すようにし
て、更に広い領域を画像処理の対象として確保する（ス
テップｓ１２）。このようにして、欠陥検査機のデータ
フォーマットによって決まる分割領域に対してより広く
確保したフレームが拡張フレームである。この、拡張フ
レームは、各フレーム毎に設定されるので、拡張フレー
ムどうしはオーバーラップする。

【００７５】また、クリッピングフレーム設定手段１５
としてのＣＰＵ２は、前記拡張フレームを含む更に広い
領域を、クリッピングフレームとして設定する（ステッ
プｓ１３）。拡張フレームとクリッピングフレームとの
関係の一例を図１０に示す。クリッピングフレームどう
しも拡張フレームの場合と同じようにオーバーラップす
る。これらの拡張フレームとクリッピングフレームは一
種の拡張分割領域である。

【００７６】次いで、繰り返し領域分割手段１８として
のＣＰＵ２は、前述した繰り返し領域統合手段１７によ
り統合された繰り返し領域を１つ選択し（ステップｓ１
４）、この繰り返し領域を拡張フレーム単位で分割する
（ステップｓ１５）。そして、繰り返し領域分割手段１
８としてのＣＰＵ２は、その内の１つの拡張フレームに
着目し、少なくとも、繰り返し図形の一部がこの拡張フ
レームの内側の領域と重合しているか否か（ステップｓ
１６）、および、この繰り返し図形の全てがこの拡張フ
レームに付随するクリッピングフレーム内に収まってい
るか否かを判別する（ステップｓ１７）。

【００７７】ここで、繰り返し図形の一部がこの拡張フ
レームの内側の領域と重合し、かつ、この拡張フレーム
に付随するクリッピングフレーム内に収まっている場
合、つまり、ステップｓ１６およびステップｓ１７の判
別結果が共に真となった場合には、フレーム内繰り返し
情報登録手段１９としてのＣＰＵ２は、これらの繰り返
し図形の全てがこの拡張フレームに関連する図形データ
であると判定し、その繰り返し情報を当該拡張フレーム
のフレーム内繰り返し情報リストに登録する（ステップ
ｓ１８）。このように、拡張フレームをはみ出る繰り返
し図形であっても、その全体がクリッピングフレームに
収まる図形に関しては、単一の拡張フレームの図形とし
て扱われることになり、その形状を表すデータが他の拡
張フレームに重複して記憶されることがないので、全体
的なデータ容量の軽減化に役立つ。

【００７８】また、クリッピングフレーム内に繰り返し
図形が存在しても拡張フレームの内側の領域と重合しな
い場合、つまり、ステップｓ１６の判別結果が偽となっ
た場合には、繰り返し領域分割手段１８としてのＣＰＵ
２は、これらの繰り返し図形がこの拡張フレームと無関
係なものであると判定し、フレーム内繰り返し情報リス
トへの登録処理を非実行とする。

【００７９】更に、拡張フレーム内に図形が存在し、か
つ、クリッピングフレームをはみ出る場合、つまり、ス
テップｓ１６の判別結果が真でステップｓ１７の判別結
果が偽となった場合には、繰り返し領域分割手段１８と
してのＣＰＵ２は、この図形を単独図形として保存する
（ステップｓ１９）。なお、この図形は、最終的に、後
述する図形分割手段２０の処理を受け、クリッピングフ
レームの境界または拡張フレームの境界で図１１（ａ）
に示されるようにして分割され、更に、分割されたフレ
ーム内の図形が多角形分割手段２２の処理を受けて図１
１（ｂ）に示されるように四角形の単位にまで分解され
て、この拡張フレームに対応するフレーム内図形リスト
に登録されることになる。

【００８０】このようにして１つの拡張フレームに対す
る処理を終えたＣＰＵ２は、ステップｓ１４の処理で選
択した繰り返し領域の中に未処理の拡張フレームが残っ
ているか否かを判別し（ステップｓ２０）、未処理の拡
張フレームが残っている場合には、改めて次の拡張フレ
ームに着目し、この拡張フレームに対して前記と同様の
処理を繰り返し実行する（ステップｓ１６〜ステップｓ
２０）。

【００８１】そして、ステップｓ１４の処理で選択した
繰り返し領域に属する全ての拡張フレームに対する処理
が完了してステップｓ２０の判別結果が偽となると、Ｃ
ＰＵ２は、ステップｓ１４の処理で未だ作業対象として
選択されていない別の統合済み繰り返し領域が存在する
か否かを判別し（ステップｓ２１）、別の統合済み繰り
返し領域が存在すれば、その統合済み繰り返し領域を新
たな作業対象として、前記と同様の処理を繰り返し実行
する（ステップｓ１４〜ステップｓ２１）。

【００８２】そして、最終的にステップｓ２１の半別結
果が偽となり、統合された繰り返し領域の全てに対して
領域分割の処理が完了すると、繰り返し領域分割手段１
８としてのＣＰＵ２はこのループ処理を抜ける。

【００８３】次いで、図形分割手段２０としてのＣＰＵ
２は、拡張フレームを１つ選択し（ステップｓ２２）、
この拡張フレーム内にある単独図形の１つに着目する
（ステップｓ２３）。ここでいう単独図形には、前述し
たステップｓ１９の処理で単独図形として設定されたも
の、つまり、拡張フレーム内に存在し、かつ、クリッピ
ングフレームをはみ出た繰り返し図形が含まれる。

【００８４】そこで、図形分割手段２０としてのＣＰＵ
２は、まず、着目した単独図形をクリッピングフレーム
の境界で分割し（ステップｓ２４）、分割された内側の
図形つまりクリッピングフレーム内の図形の形状が四角
形であるか否かを判定し（ステップｓ２５）、この図形
が四角形である場合には、この拡張フレームに対応する
フレーム内図形リストにこの図形の情報を登録する（ス
テップｓ２７）。

【００８５】また、ステップｓ２５の判別結果が偽とな
った場合、つまり、クリッピングフレームの境界で分割
された図形が四角形とならなかった場合には、更に、多
角形分割手段２２としてのＣＰＵ２が、この図形を例え
ば図１１（ｂ）に示されるようにして最小の部品要素で
ある四角形の構成単位にまで分解し（ステップｓ２
６）、前記と同様にして、この四角形をこの拡張フレー
ムに対応するフレーム内図形リストに登録する（ステッ
プｓ２７）。

【００８６】ここで、ステップｓ２６の処理における分
割の方針をオペレータが指示する場合には、例えば、領
域指定手段１３の一部を構成するマウス８のドラッグ操
作等によってオペレータが直線を生成し、この線に沿っ
て図形を分解するようにする。また、図形を自動的に分
解する場合には、例えば、図１２（ａ）に示されるよう
にしてＣＰＵ２の内部処理で図形のコーナー部を検出
し、このコーナー毎に水平線を引き、その線に沿って図
形を分解するようにする。

【００８７】このようにして、着目した１つの図形に対
する処理を終えたＣＰＵ２は、この拡張フレームの中に
別の単独図形が存在するか否かを判別し（ステップｓ２
８）、別の単独図形が存在すれば、改めてその図形に着
目し、前記と同様の処理を繰り返し実行する（ステップ
ｓ２３〜ステップｓ２８）。

【００８８】そして、ステップｓ２２の処理で選択した
拡張フレームに含まれる全ての単独図形に関する処理が
完了してステップｓ２８の判別結果が偽となると、ＣＰ
Ｕ２は、ステップｓ２２の処理で未だ作業対象として選
択されていない別の拡張フレームが存在するか否かを判
別し（ステップｓ２９）、別の拡張フレームが存在すれ
ば、その拡張フレームを新たな作業対象として前記と同
様の処理を繰り返し実行する（ステップｓ２２〜ステッ
プｓ２９）。

【００８９】そして、最終的にステップｓ２９の判別結
果が偽となり、全ての拡張フレームに対する単独図形の
検出とその図形の分解および登録処理が完了すると、図
形分割手段２０および多角形分割手段２２としてのＣＰ
Ｕ２は、このループ処理を抜ける。

【００９０】次いで、テンプレート指定手段２３として
のＣＰＵ２は、キーボード７やマウス８等の領域指定手
段１３を用いたオペレータからの指定操作、あるいは、
予め設定されたプログラムに基く内部処理により、拡張
フレームやクリッピングフレームよりも大きく設定され
た所定の大きさの繰り返し領域を抽出し、その一部を繰
り返しパターンのテンプレートとして設定する。これ
は、前述したステップｓ１６〜ステップｓ２０の処理で
拡張フレームやクリッピングフレームをはみ出したため
にフレーム内繰り返し情報リストに登録されなかった繰
り返し領域の繰り返し情報を抽出するための処理であ
る。

【００９１】ここで、オペレータがテンプレートを設定
する場合は、キーボード７やマウス８等の領域指定手段
１３をテンプレート指定手段２３として使用し、適当な
大きさの矩形領域を指定して、この矩形領域をテンプレ
ートとしてテンプレートのリストに登録することにな
る。

【００９２】また、テンプレートを自動的に設定する場
合には、予め与えられた大きさのテンプレートサイズに
基づいて、ＣＰＵ２がＣＡＤデータにおける座標値を用
いてテンプレートサイズのN倍（Nは予め与えられた整
数）以上の繰り返し領域を探し出し（ステップｓ３
０）、テンプレート指定手段２３としてのＣＰＵ２がそ
の領域の中からテンプレートサイズの領域を切り出して
テンプレートとする（ステップｓ３１）。テンプレート
サイズとしては、例えば、拡張フレームサイズ等が適当
である。

【００９３】ここで、テンプレート自身が繰り返し図形
で構成されている場合には、テンプレートの情報は例え
ば図１２（ｂ）のようになる。また、テンプレート自身
が繰り返し図形で構成されていない場合のテンプレート
情報は例えば図１２（ｃ）のようになる。

【００９４】次いで、ＣＰＵ２は、今回新たに求められ
たテンプレートの繰り返し情報が既にテンプレートとし
て登録されているか否かを判別し（ステップｓ３２）、
登録されていなければ、この繰り返し情報をテンプレー
トリストに登録する（ステップｓ３３）。

【００９５】また、ステップｓ３２の判別結果が真とな
った場合、つまり、このテンプレートの繰り返し情報が
既にテンプレートとして登録されている場合には、参照
テンプレート設定手段２４としてのＣＰＵ２は、この情
報を重複してテンプレートに登録することはせず、同一
情報を登録された既存のテンプレートを参照するように
設定する（ステップｓ３４）。

【００９６】例えば、ある拡張フレームが図１３（ａ）
のように繰り返し情報で表されており、その拡張フレー
ムを含む繰り返し領域内で既に図１３（ｃ）のようなテ
ンプレートが設定され、テンプレートリストに登録され
ているならば、この拡張フレームの繰り返し情報は、例
えば図１３（ｂ）のように簡略化され、図１３（ｃ）の
テンプレートの内容が参照される。なお、Ｄはテンプレ
ートの記憶先のアドレスを示す値である。

【００９７】このようにして１つの新規テンプレートの
登録あるいは既存のテンプレートの参照先を設定したＣ
ＰＵ２は、今回選択した繰り返し領域の中にテンプレー
トサイズとなる別の拡張フレームが存在するか否かを判
別し（ステップｓ３５）、別の拡張フレームが存在すれ
ば、この拡張フレームをテンプレートとして前記と同様
の処理を繰り返し実行する（ステップｓ３１〜ステップ
ｓ３５）。

【００９８】そして、ステップｓ３０の処理で選択した
繰り返し領域に含まれる全ての拡張フレームに関する処
理が完了してステップｓ３５の判別結果が偽となると、
ＣＰＵ２は、ステップｓ３０の処理で未だ作業対象とし
て選択されていない別の繰り返し領域が存在するか否か
を判別し（ステップｓ３６）、別の繰り返し領域が存在
すれば、その繰り返し領域を新たな作業対象として前記
と同様の処理を繰り返し実行する（ステップｓ３０〜ス
テップｓ３６）。

【００９９】そして、最終的にステップｓ３６の判別結
果が偽となり、全ての繰り返し領域に対するテンプレー
トの登録または参照設定の処理が完了すると、テンプレ
ート指定手段２３および参照テンプレート設定手段２４
としてのＣＰＵ２は、このループ処理を抜け、図形登録
手段２１としてのＣＰＵ２が、これまでに生成されたデ
ータ、つまり、フレーム毎のフレーム内繰り返し情報リ
ストやフレーム内図形リストおよびテンプレート情報等
をＣＡＤデータに置き換えてデータ記憶手段１１に保存
し、データ変換に関する処理を終了する（ステップｓ３
７）。

【０１００】このデータは、そのまま保存することが可
能であり、また、必要とあれば、データ出力手段２５と
なるインターフェイス９を介して欠陥検査機等に出力す
ることができる。

【０１０１】以上に述べた通り、本実施形態の図形デー
タ変換装置１によれば、ＣＡＤデータ中の図形データや
繰り返しパターンのデータが元の形状や全体の繰り返し
を含む元の繰り返しパターンに一旦復元された後、改め
て欠陥検査機のファイルフォーマットに適合した分割領
域、あるいは、それよりも大きめに設定された拡張フレ
ームの領域に合わせて切り出されるようになっているの
で、欠陥検査機のデータフォーマット上の分割領域（フ
レーム）内で不用意に図形が分割されることがなくな
る。従って、欠陥検査機の側で実際に取り扱わなくては
ならない図形の個数は従来装置に比べて大幅に減少し、
必要とされるメモリの容量が軽減化され、また、欠陥検
査機による欠陥検出作業で必要とされる測定データとの
比較処理も簡略化されるため、欠陥検出作業の高速化が
可能である。

【０１０２】また、拡張フレームからはみ出す繰り返し
パターン等であっても、その拡張フレームに付随するク
リッピングフレーム内に収まる繰り返しパターンに関し
ては、その拡張フレームに関連する図形として登録され
るようにし、更に、同じ繰り返しパターンを有する拡張
フレームに関してはテンプレートを参照して図形に関す
る情報を得るようにしているので、繰り返しパターンを
構成する元図形の形状が複数の拡張フレームに対応して
重複登録されることがなく、データ保存時のメモリ容量
を大幅に削減できるようになり、実質的なデータ圧縮効
果が向上する。

【０１０３】また、拡張フレームやクリッピングフレー
ムは欠陥検査機のファイルフォーマットに適合した分割
領域に比べて大きめに設定するようにしているので、検
査時における欠陥検査機の位置決めに関連した誤差も許
容され、位置決めに支障を来たしたような場合であって
も、例えば、隣接するフレームのデータをわざわざ読み
出して測定データとの比較を行う必要もなく、欠陥検査
機の処理動作の高速化が達成される。また、図形や繰り
返しパターンが欠陥検査機の画像処理フレームに比べて
大き目の拡張フレームやクリッピングフレームで分割さ
れることになるので、図形や繰り返しパターンが分割さ
れる割合が確率的に減少する。つまり、図形や繰り返し
パターンが不用意に分割されることがなくなり、取り扱
う図形の個数が実質的に減少することから、データ容量
の一層のコンパクト化が可能となる。

【０１０４】単独図形は最終的に四角形にまで分割され
て図形データとして保存されるため、元の図形形状が他
の多角形である場合、実質的にデータとして保存される
図形の個数は増大することになるが、四角形の場合、そ
の形状定義の情報が極めて簡潔であるため、例え、図形
の保存個数が増えたとしても、他の多角形を形状定義し
て保存する場合と比べ、確実に全体的なデータ量を削減
することができる。

【０１０５】

【発明の効果】本発明の図形データ変換方法および図形
データ変換装置によれば、ＣＡＤデータ中における領域
の分割状況に関わり無く、欠陥検査機用のファイルフォ
ーマットで決まる分割領域に最適化させて図形を出力す
ることができるので、欠陥検査機の分割領域内で不用意
に図形が分割されることがなくなり、図形の分割部を規
定する不要なデータもなくなってデータ容量がコンパク
ト化され、また、不要なデータが削除されることから、
この図形データを参照して欠陥検出を行う欠陥検査機の
処理動作も高速化させることができる。

【０１０６】しかも、欠陥検査機用のファイルフォーマ
ットで決まる分割領域よりも大き目の拡張分割領域を設
定し、この拡張分割領域に合わせて欠陥検査機用の図形
データを生成するようにしているので、検査時における
欠陥検査機の位置決めに関連した誤差が許容され、ま
た、欠陥検査機で扱われる分割領域の大きさが実質的に
増大するので、この分割領域を跨ぐことによって切断さ
れる図形の数も減少し、全体として取り扱われる図形の
数が減少するため、データ容量を相対的にコンパクト化
することができる。

【０１０７】更に、図形データは最終的に四角形の単位
にまで分解してから保存するようにしているので、図形
に関する形状定義が簡素化され、全体としてのデータ量
を削減することが可能である。

【０１０８】また、ＣＡＤデータ中で領域を分割されて
いる図形データの繰り返しパターンがある場合には、こ
の繰り返しパターンを統合して全ての繰り返しを含む繰
り返しパターンの図形データを生成した後、この図形デ
ータから欠陥検査機用のファイルフォーマットで決まる
分割領域に合わせて欠陥検査機用の繰り返しパターンの
図形データを生成するようにしたので、欠陥検査機の分
割領域内で図形の繰り返しパターンが分割されることが
なくなり、重複した不要な形状定義データが削除されて
データ容量がコンパクト化され、また、不要なデータが
削除されることから欠陥検査機の処理動作も高速化され
る。

【０１０９】この際、欠陥検査機用のファイルフォーマ
ットで決まる分割領域よりも大き目の拡張分割領域を設
定し、この拡張分割領域に合わせて欠陥検査機用の繰り
返しパターンの図形データを生成することもできるの
で、検査時における欠陥検査機の位置決めに関連した誤
差も許容され、また、欠陥検査機で扱われる分割領域の
大きさが実質的に増大するので、この分割領域を跨ぐこ
とによって切断される繰り返しパターンの数が減少し、
全体として取り扱われる繰り返しパターンの数が減少す
るため、データ容量を相対的にコンパクト化することが
できる。

【０１１０】しかも、共通する繰り返しパターンの図形
データが存在する場合には、同一データを重複して保存
することを避け、共通する繰り返しパターンの図形デー
タの格納先を登録することでデータを流用するようにし
ているので、データ容量の一層のコンパクト化が可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の図形データ変換方法を適用した一実施
形態の図形データ変換装置の構成の概略を示したブロッ
ク図である。

【図２】同実施形態の図形データ変換装置に配備された
ＣＰＵやＲＯＭによって達成される機能の概要を簡略化
して示した機能ブロック図である。

【図３】同実施形態の図形データ変換装置に配備された
ＣＰＵによって実施される処理の概略を示したフローチ
ャートである。

【図４】同実施形態の図形データ変換装置に配備された
ＣＰＵによって実施される処理の概略を示したフローチ
ャートの続きである。

【図５】同実施形態の図形データ変換装置に配備された
ＣＰＵによって実施される処理の概略を示したフローチ
ャートの続きである。

【図６】同実施形態の図形データ変換装置に配備された
ＣＰＵによって実施される処理の概略を示したフローチ
ャートの続きである。

【図７】図７（ａ）は四角形に統合できない図形の一例
を示した概念図、図７（ｂ）は図形の統合によるデータ
の変化を示した概念図、図７（ｃ）はＭＥＢＥＳフォー
マットで表される図形の例を示した概念図である。

【図８】図８（ａ）は四角形に統合できる図形の一例を
示した概念図、図８（ｂ）は繰り返し領域を統合できな
図形の一例を示した概念図である。

【図９】図９（ａ）は繰り返し領域の統合によるデータ
の変化を示した概念図、図９（ｂ）は画像処理上で無視
される画素の一例を示した概念図である。

【図１０】拡張フレームとクリッピングフレームとの関
係の一例を示した概念図である。

【図１１】図１１（ａ）はクリッピングフレームや拡張
フレームで分割された図形を例示した概念図、図１１
（ｂ）は多角形の分解例について示した概念図である。

【図１２】図１２（ａ）は自動処理による多角形の分解
例について示した概念図、図１２（ｂ）は繰り返し図形
で構成されたテンプレートの一例を示した概念図、図１
２（ｃ）は繰り返し図形で構成されないテンプレートの
一例を示した概念図である。

【図１３】図１３（ａ）はテンプレートの内容の一例を
示した概念図、図１３（ｂ）はテンプレートの参照例を
示した概念図、図１３（ｃ）は参照されるテンプレート
の一例を示した概念図である。

【符号の説明】

１図形データ変換装置２ＣＰＵ３ＲＯＭ４ＲＡＭ５ハードディスク６ＣＲＴ７キーボード８マウス９インターフェイス１０ＣＡＤデータ読込手段１１データ記憶手段１２画像表示手段１３領域指定手段１４拡張フレーム設定手段１５クリッピングフレーム設定手段１６図形統合手段１７繰り返し領域統合手段１８繰り返し領域分割手段１９フレーム内繰り返し情報登録手段２０図形分割手段２１図形登録手段２２多角形分割手段２３テンプレート指定手段２４参照テンプレート設定手段２５データ出力手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形
データ変換方法であって、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形データ
を統合して元の図形全体を表す図形データを生成した
後、この図形データから欠陥検査機用のファイルフォー
マットで決まる分割領域に合わせて前記欠陥検査機用の
図形データを生成することを特徴とした図形データ変換
方法。
【請求項２】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形
データ変換方法であって、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形データ
を統合して元の図形全体を表す図形データを生成すると
共に、欠陥検査機用のファイルフォーマットで決まる分
割領域よりも大き目の拡張分割領域を設定し、前記生成
された図形データから前記拡張分割領域に合わせて前記
欠陥検査機用の図形データを生成することを特徴とした
図形データ変換方法。
【請求項３】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形
データ変換方法であって、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形データ
を統合して元の図形全体を表す図形データを生成すると
共に、欠陥検査機用のファイルフォーマットで決まる分
割領域よりも大き目の拡張分割領域を設定し、前記生成
された図形データを前記拡張分割領域で分割し、分割さ
れた拡張分割領域内の多角形の図形データを四角形の集
合体として再定義することを特徴とした図形データ変換
方法。
【請求項４】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形
データ変換方法であって、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形データ
の繰り返しパターンを統合して全ての繰り返しを含む繰
り返しパターンの図形データを生成した後、この図形デ
ータから欠陥検査機用のファイルフォーマットで決まる
分割領域に合わせて前記欠陥検査機用の繰り返しパター
ンの図形データを生成することを特徴とした図形データ
変換方法。
【請求項５】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形
データ変換方法であって、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形データ
の繰り返しパターンを統合して全ての繰り返しを含む繰
り返しパターンの図形データを生成すると共に、欠陥検
査機用のファイルフォーマットで決まる分割領域よりも
大き目の拡張分割領域を設定し、前記生成された図形デ
ータから前記拡張分割領域に合わせて前記欠陥検査機用
の繰り返しパターンの図形データを生成することを特徴
とした図形データ変換方法。
【請求項６】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形
データ変換方法であって、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形データ
の繰り返しパターンを統合して全ての繰り返しを含む繰
り返しパターンの図形データを生成すると共に、欠陥検
査機用のファイルフォーマットで決まる分割領域よりも
大き目の拡張分割領域を設定し、前記生成された図形デ
ータから前記拡張分割領域に合わせて前記欠陥検査機用
の繰り返しパターンの図形データを生成した後、共通す
る繰り返しパターンの図形データを有する拡張分割領域
の有無を判定し、共通する繰り返しパターンの図形デー
タを有する拡張分割領域が存在しない場合には当該繰り
返しパターンの図形データを当該拡張分割領域の図形デ
ータとして登録する一方、共通する繰り返しパターンの
図形データを有する拡張分割領域が既に存在する場合に
は、当該繰り返しパターンの図形データに代えて、前記
共通する繰り返しパターンの図形データの格納先を登録
することを特徴とした図形データ変換方法。
【請求項７】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形
データ変換装置であって、前記ＣＡＤデータを読み込むためのＣＡＤデータ読込手
段と、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形
データを統合して元の図形全体を表す図形データを生成
する図形統合手段と、図形統合手段により統合された図
形データから欠陥検査機用のファイルフォーマットで決
まる分割領域に合わせて前記欠陥検査機用の図形データ
を生成する図形分割手段と、図形分割手段により分割さ
れた図形データを前記欠陥検査機またはデータ記憶手段
に出力するデータ出力手段とを備えたことを特徴とした
図形データ変換装置。
【請求項８】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形
データ変換装置であって、前記ＣＡＤデータを読み込むためのＣＡＤデータ読込手
段と、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形
データを統合して元の図形全体を表す図形データを生成
する図形統合手段と、欠陥検査機用のファイルフォーマ
ットで決まる分割領域よりも大き目の拡張分割領域を設
定するフレーム設定手段と、前記図形統合手段により統
合された図形データから前記拡張分割領域に合わせて前
記欠陥検査機用の図形データを生成する図形分割手段
と、図形分割手段により分割された図形データを前記欠
陥検査機またはデータ記憶手段に出力するデータ出力手
段とを備えたことを特徴とした図形データ変換装置。
【請求項９】領域を分割して作成された描画機用のＣ
ＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図形
データ変換装置であって、前記ＣＡＤデータを読み込むためのＣＡＤデータ読込手
段と、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形
データを統合して元の図形全体を表す図形データを生成
する図形統合手段と、欠陥検査機用のファイルフォーマ
ットで決まる分割領域よりも大き目の拡張分割領域を設
定するフレーム設定手段と、前記図形統合手段により統
合された図形データを前記拡張分割領域で分割する図形
分割手段と、図形分割手段により分割された拡張分割領
域内の多角形の図形データを四角形の集合体に分解する
多角形分割手段と、多角形分割手段により分解された図
形データを前記欠陥検査機またはデータ記憶手段に出力
するデータ出力手段とを備えたことを特徴とした図形デ
ータ変換装置。
【請求項１０】領域を分割して作成された描画機用の
ＣＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図
形データ変換装置であって、前記ＣＡＤデータを読み込むためのＣＡＤデータ読込手
段と、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形
データの繰り返しパターンを統合して全ての繰り返しを
含む繰り返しパターンの図形データを生成する繰り返し
領域統合手段と、繰り返し領域統合手段により生成され
た図形データから欠陥検査機用のファイルフォーマット
で決まる分割領域に合わせて前記欠陥検査機用の繰り返
しパターンの図形データを生成する繰り返し領域分割手
段と、繰り返し領域分割手段により生成された繰り返し
パターンの図形データを前記欠陥検査機またはデータ記
憶手段に出力するデータ出力手段とを備えたことを特徴
とした図形データ変換装置。
【請求項１１】領域を分割して作成された描画機用の
ＣＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図
形データ変換装置であって、前記ＣＡＤデータを読み込むためのＣＡＤデータ読込手
段と、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形
データの繰り返しパターンを統合して全ての繰り返しを
含む繰り返しパターンの図形データを生成する繰り返し
領域統合手段と、欠陥検査機用のファイルフォーマット
で決まる分割領域よりも大き目の拡張分割領域を設定す
るフレーム設定手段と、前記繰り返し領域統合手段によ
り生成された図形データから前記フレーム設定手段によ
り設定された拡張分割領域に合わせて前記欠陥検査機用
の繰り返しパターンの図形データを生成する繰り返し領
域分割手段と、繰り返し領域分割手段により生成された
繰り返しパターンの図形データを前記欠陥検査機または
データ記憶手段に出力するデータ出力手段とを備えたこ
とを特徴とした図形データ変換装置。
【請求項１２】領域を分割して作成された描画機用の
ＣＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図
形データ変換装置であって、前記ＣＡＤデータを読み込むためのＣＡＤデータ読込手
段と、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形
データの繰り返しパターンを統合して全ての繰り返しを
含む繰り返しパターンの図形データを生成する繰り返し
領域統合手段と、欠陥検査機用のファイルフォーマット
で決まる分割領域よりも大き目の拡張分割領域を設定す
るフレーム設定手段と、前記繰り返し領域統合手段によ
り生成された図形データから前記フレーム設定手段によ
り設定された拡張分割領域に合わせて前記欠陥検査機用
の繰り返しパターンの図形データを生成する繰り返し領
域分割手段と、共通する繰り返しパターンの図形データ
を有する拡張分割領域の有無を判定し、共通する繰り返
しパターンの図形データを有する拡張分割領域が存在し
ない場合には当該繰り返しパターンの図形データを当該
拡張分割領域の図形データとして登録するフレーム内繰
り返し情報登録手段と、前記フレーム内繰り返し情報登
録手段により共通する繰り返しパターンの図形データを
有する拡張分割領域が既に存在すると判定された場合に
は、当該繰り返しパターンの図形データに代えて、前記
共通する繰り返しパターンの図形データの格納先を登録
する参照テンプレート設定手段と、前記フレーム内繰り
返し情報登録手段および前記参照テンプレート設定手段
により設定されたデータを前記欠陥検査機またはデータ
記憶手段に出力するデータ出力手段とを備えたことを特
徴とした図形データ変換装置。
【請求項１３】領域を分割して作成された描画機用の
ＣＡＤデータを欠陥検査機用の図形データに変換する図
形データ変換装置であって、前記ＣＡＤデータを読み込むためのＣＡＤデータ読込手
段と、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割されている図形
データを統合して元の図形全体を表す図形データを生成
する図形統合手段と、前記ＣＡＤデータ中で領域を分割
されている図形データの繰り返しパターンを統合して全
ての繰り返しを含む繰り返しパターンの図形データを生
成する繰り返し領域統合手段と、欠陥検査機用のファイ
ルフォーマットで決まる分割領域よりも大き目の拡張分
割領域を設定するフレーム設定手段と、前記図形統合手
段により統合された図形データを前記拡張分割領域で分
割する図形分割手段と、図形分割手段により分割された
拡張分割領域内の多角形の図形データを四角形の集合体
に分解する多角形分割手段と、前記繰り返し領域統合手
段により生成された図形データから前記フレーム設定手
段により設定された拡張分割領域に合わせて前記欠陥検
査機用の繰り返しパターンの図形データを生成する繰り
返し領域分割手段と、共通する繰り返しパターンの図形
データを有する拡張分割領域の有無を判定し、共通する
繰り返しパターンの図形データを有する拡張分割領域が
存在しない場合には当該繰り返しパターンの図形データ
を当該拡張分割領域の図形データとして登録するフレー
ム内繰り返し情報登録手段と、前記フレーム内繰り返し
情報登録手段により共通する繰り返しパターンの図形デ
ータを有する拡張分割領域が既に存在すると判定された
場合には、当該繰り返しパターンの図形データに代え
て、前記共通する繰り返しパターンの図形データの格納
先を登録する参照テンプレート設定手段と、前記多角形
分割手段により分解された図形データおよび前記フレー
ム内繰り返し情報登録手段と前記参照テンプレート設定
手段により設定されたデータを前記欠陥検査機またはデ
ータ記憶手段に出力するデータ出力手段とを備えたこと
を特徴とした図形データ変換装置。