JPH0818212B2 - 真空吸着式回転ワークホルダー - Google Patents
真空吸着式回転ワークホルダーInfo
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- JPH0818212B2 JPH0818212B2 JP2226271A JP22627190A JPH0818212B2 JP H0818212 B2 JPH0818212 B2 JP H0818212B2 JP 2226271 A JP2226271 A JP 2226271A JP 22627190 A JP22627190 A JP 22627190A JP H0818212 B2 JPH0818212 B2 JP H0818212B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air introduction
- vacuum suction
- air
- rotating
- work holder
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レンズ研磨加工機に装着してワークのレン
ズを真空吸引により吸着保持する回転式ワークホルダー
に関する。
ズを真空吸引により吸着保持する回転式ワークホルダー
に関する。
従来、真空吸着式回転ワークホルダーとしては、第６
図に示す如く、閉鎖端を有する筒形状をした固定部71の
内部にベアリング72,73を介して回転部74が回転自在に
取着されている。この回転部74には軸心を貫通するエア
ー導入路75が穿設されている。回転部74の下端にはワー
クホルダー76が取着されており、エアー導入路75を介し
てワークホルダー76でワーク77を吸着保持できるように
構成されている。そして、固定部71の閉鎖端に設けられ
たエアー導入路78下端と回転部74のエアー導入路75上端
の間にシール材79を介在させてエアーの漏れを防止した
真空吸着式回転ワークホルダーが知られている。
図に示す如く、閉鎖端を有する筒形状をした固定部71の
内部にベアリング72,73を介して回転部74が回転自在に
取着されている。この回転部74には軸心を貫通するエア
ー導入路75が穿設されている。回転部74の下端にはワー
クホルダー76が取着されており、エアー導入路75を介し
てワークホルダー76でワーク77を吸着保持できるように
構成されている。そして、固定部71の閉鎖端に設けられ
たエアー導入路78下端と回転部74のエアー導入路75上端
の間にシール材79を介在させてエアーの漏れを防止した
真空吸着式回転ワークホルダーが知られている。
しかるに、前記従来技術における真空吸着式回転ワー
クホルダーによると、シール材79の下端が常に回転部74
の上端に当接した構成であり、常に摩擦抗力が発生して
回転部74の回転を抑制している。これにより、ワーク77
を吸着保持するワークホルダー76をスムーズに回転させ
ることは困難となる。ひいては、精密な研磨加工および
高速研磨加工の形状品質を安定化することができない欠
点がある。
クホルダーによると、シール材79の下端が常に回転部74
の上端に当接した構成であり、常に摩擦抗力が発生して
回転部74の回転を抑制している。これにより、ワーク77
を吸着保持するワークホルダー76をスムーズに回転させ
ることは困難となる。ひいては、精密な研磨加工および
高速研磨加工の形状品質を安定化することができない欠
点がある。
本発明は前記従来技術における欠点に鑑みて開発され
たもので、ワークの吸引時における充分な吸引力が得ら
れるとともに、研磨加工時における回転部の回転を抑制
しないことによりスムーズな回転が得られる真空吸着式
回転ワークホルダーの提供を目的とする。
たもので、ワークの吸引時における充分な吸引力が得ら
れるとともに、研磨加工時における回転部の回転を抑制
しないことによりスムーズな回転が得られる真空吸着式
回転ワークホルダーの提供を目的とする。
本発明は、閉鎖端を有する筒形状をした固定部の閉鎖
端に設けたワーク吸引・排出用のエアー導入口と、固定
部の内部に回転自在に取着した回転部の回転軸に設けた
エアー導入路と、固定部と回転部との隙間に形成したエ
アー導入路と、当該隙間のエアー導入路内に内設した該
エアー導入路上部開閉用のシール材とを具備したもので
ある。
端に設けたワーク吸引・排出用のエアー導入口と、固定
部の内部に回転自在に取着した回転部の回転軸に設けた
エアー導入路と、固定部と回転部との隙間に形成したエ
アー導入路と、当該隙間のエアー導入路内に内設した該
エアー導入路上部開閉用のシール材とを具備したもので
ある。
第１図ａおよびｂは本発明に係る真空吸着式回転ワー
クホルダーの概念図である。
クホルダーの概念図である。
１は閉鎖端２を有する筒形状をした固定部で、この固
定部１の閉鎖端２（以下、上端面という）の軸心部には
エアー導入口３が穿設されている。固定部１の内部には
エアー導入口３より大径でエアー導入口３と連通し、か
つ同軸の貫通孔４が設けられている。さらに、固定部１
の下端面５には貫通孔４に連通し、貫通孔４と同軸でか
つ貫通孔４よりも大径な穴６が穿設されている。
定部１の閉鎖端２（以下、上端面という）の軸心部には
エアー導入口３が穿設されている。固定部１の内部には
エアー導入口３より大径でエアー導入口３と連通し、か
つ同軸の貫通孔４が設けられている。さらに、固定部１
の下端面５には貫通孔４に連通し、貫通孔４と同軸でか
つ貫通孔４よりも大径な穴６が穿設されている。
貫通孔４および穴６には略凸形状の回転部７が回転自
在に嵌合されている。回転部７にはその軸心を貫通する
エアー導入路８が穿設されるとともに、下部にはワーク
９を吸引保持するホルダー10が形成されている。回転部
７の上部外周面には穴６の内周面と接触しないシール材
11が摺動自在に嵌合されている。また、貫通孔４の内周
面と回転部７の上部外周面および穴６の内周面と回転部
７の下部外周面とによりそれぞれエアー導入路12,13が
形成されている。
在に嵌合されている。回転部７にはその軸心を貫通する
エアー導入路８が穿設されるとともに、下部にはワーク
９を吸引保持するホルダー10が形成されている。回転部
７の上部外周面には穴６の内周面と接触しないシール材
11が摺動自在に嵌合されている。また、貫通孔４の内周
面と回転部７の上部外周面および穴６の内周面と回転部
７の下部外周面とによりそれぞれエアー導入路12,13が
形成されている。
以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダー
は、エアー導入口３より真空吸引14してワーク９を吸着
保持する。この時、エアー導入路12のエアーは上方に引
かれ、外気圧15がエアー導入路13を経て隙間16に流入す
る。この流入により、シール材11が上方に移動してエア
ー導入路12を塞ぐ。従って、真空吸引14はエアー導入路
８を経てワーク９の吸着にのみ作用する（第１図ａ参
照）。
は、エアー導入口３より真空吸引14してワーク９を吸着
保持する。この時、エアー導入路12のエアーは上方に引
かれ、外気圧15がエアー導入路13を経て隙間16に流入す
る。この流入により、シール材11が上方に移動してエア
ー導入路12を塞ぐ。従って、真空吸引14はエアー導入路
８を経てワーク９の吸着にのみ作用する（第１図ａ参
照）。
研磨工具17によるワーク９の研磨加工時は、エアー導
入口３にエアー排出18を行う。これにより、エアー導入
路12に流入したエアーがシール材11を押し下げる。従っ
て、固定部１と回転部７との接触が解除され、回転力に
対する研磨抗力は発生しない。エアー排出18は、一度シ
ール材11を固定部１から離した後は停止しても研磨加工
中の回転における摩擦抗力を発生することはない（第１
図ｂ参照）。
入口３にエアー排出18を行う。これにより、エアー導入
路12に流入したエアーがシール材11を押し下げる。従っ
て、固定部１と回転部７との接触が解除され、回転力に
対する研磨抗力は発生しない。エアー排出18は、一度シ
ール材11を固定部１から離した後は停止しても研磨加工
中の回転における摩擦抗力を発生することはない（第１
図ｂ参照）。
以下、本発明に係る真空吸着式回転ワークホルダーの
実施例について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施例について図面を参照しながら詳細に説明する。
（第１実施例） 第２図ａおよびｂは本発明の第１実施例を示し、第２
図ａは縦断面図、第２図ｂは一部を省略した縦断面図で
ある。
図ａは縦断面図、第２図ｂは一部を省略した縦断面図で
ある。
21は上端面22を有する筒形状をした固定部で、この固
定部１の上端面22の軸心部にはエアー導入口23が穿設さ
れている。固定部21の内部にはベアリング24,25を介し
て回転部26が回転自在に嵌合保持されている。回転部26
にはその軸心を貫通する吸引・排出用のエアー導入路27
が穿設されるとともに、下部にはワークホルダー28が取
着され、エアー導入路27を介してワーク29を吸着保持で
きるように構成されている。回転部26の側面上部近傍に
はテーパ段部30が形成され、テーパ段部30の下方には下
側段部31が形成されている。テーパ段部30と下側段部31
との間にはシール材32が摺動自在に嵌合されている。固
定部21の内周面にはシール材32が接触しないように、テ
ーパ段部33と下側段部34とにより凹部35が形成されてい
る。固定部21の下側段部34は、シール材32が下降して回
転部26の下側段部31に当接して停止した際にシール材32
と接触しないように形成されている。また、固定部21の
側面には空気孔36が穿設されている。
定部１の上端面22の軸心部にはエアー導入口23が穿設さ
れている。固定部21の内部にはベアリング24,25を介し
て回転部26が回転自在に嵌合保持されている。回転部26
にはその軸心を貫通する吸引・排出用のエアー導入路27
が穿設されるとともに、下部にはワークホルダー28が取
着され、エアー導入路27を介してワーク29を吸着保持で
きるように構成されている。回転部26の側面上部近傍に
はテーパ段部30が形成され、テーパ段部30の下方には下
側段部31が形成されている。テーパ段部30と下側段部31
との間にはシール材32が摺動自在に嵌合されている。固
定部21の内周面にはシール材32が接触しないように、テ
ーパ段部33と下側段部34とにより凹部35が形成されてい
る。固定部21の下側段部34は、シール材32が下降して回
転部26の下側段部31に当接して停止した際にシール材32
と接触しないように形成されている。また、固定部21の
側面には空気孔36が穿設されている。
以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダー
は、エアー導入口23より真空吸引37してワーク29を吸着
保持する。この時、固定部21内のエアーは上方に引かれ
る。これにともないシール材32が上方に移動し、固定部
21に形成されたテーパ段部33と回転部26に形成されたテ
ーパ段部30とによりシール材32が確実にホールドされ、
固定部21の内周面と回転部26の上部外周面とで形成され
るエアー導入路38を塞ぐ、従って、ワーク29の吸引・排
出用エアー導入路27への吸引力を充分に確保することが
できる（第２図ａ参照）。
は、エアー導入口23より真空吸引37してワーク29を吸着
保持する。この時、固定部21内のエアーは上方に引かれ
る。これにともないシール材32が上方に移動し、固定部
21に形成されたテーパ段部33と回転部26に形成されたテ
ーパ段部30とによりシール材32が確実にホールドされ、
固定部21の内周面と回転部26の上部外周面とで形成され
るエアー導入路38を塞ぐ、従って、ワーク29の吸引・排
出用エアー導入路27への吸引力を充分に確保することが
できる（第２図ａ参照）。
ワーク29の研磨加工時は、エアー導入口23にエアー排
出39を行う。これにより、エアー導入路38に流入したエ
アーがシール材32を押し下げる。シール材32は回転部26
の下側段部31に当接して停止し、固定側21の下側段部34
には接触しないため、エアーはその隙間40より排出され
るとともに、固定部21と回転部26との相互の接触が解除
される（第２図ｂ参照）。
出39を行う。これにより、エアー導入路38に流入したエ
アーがシール材32を押し下げる。シール材32は回転部26
の下側段部31に当接して停止し、固定側21の下側段部34
には接触しないため、エアーはその隙間40より排出され
るとともに、固定部21と回転部26との相互の接触が解除
される（第２図ｂ参照）。
本実施例によれば、固定部21と回転部26との両方にそ
れぞれテーパ段部33,30を設けたことにより、回転部26
とシール材32とのはめ合いが経時変化で悪化しても高い
気密性を確保することができる。
れぞれテーパ段部33,30を設けたことにより、回転部26
とシール材32とのはめ合いが経時変化で悪化しても高い
気密性を確保することができる。
尚、各テーパ段部33,30により形成されるテーパ角度
は開き角で60゜〜90゜が好適である。
は開き角で60゜〜90゜が好適である。
また、固定部21の下側段部34と固定部26の下側段部31
とが同じ位置、あるいは固定部21の下側段部34が先にシ
ール材32と当たる位置にあると、シール材32が固定部21
と回転部26との各下側段部34,31に相互当接の状態にな
ってしまう。
とが同じ位置、あるいは固定部21の下側段部34が先にシ
ール材32と当たる位置にあると、シール材32が固定部21
と回転部26との各下側段部34,31に相互当接の状態にな
ってしまう。
さらに、回転部26のテーパ段部30と下側段部31とによ
り形成される凹部の深さはシール材32の線径の1/3〜1/
2、固定部21のテーパ段部33と下側段部34とにより形成
される凹部35の深さはシール材32の線径の1/2〜3/5、エ
アー導入路38の幅をシール材32の線径の1/5〜1/4および
回転部26のテーパ段部30から下側段部31までの長さをシ
ール材32の線径の4/3〜２に設定するとエアーの流れが
理想的となり、良好なシール材32の動作が得られる。
り形成される凹部の深さはシール材32の線径の1/3〜1/
2、固定部21のテーパ段部33と下側段部34とにより形成
される凹部35の深さはシール材32の線径の1/2〜3/5、エ
アー導入路38の幅をシール材32の線径の1/5〜1/4および
回転部26のテーパ段部30から下側段部31までの長さをシ
ール材32の線径の4/3〜２に設定するとエアーの流れが
理想的となり、良好なシール材32の動作が得られる。
また、回転部26に接触したシール材32を固定部21に接
触するように構成することも可能である。その時におけ
る各寸法設定は上述の回転部26と固定部21との設定値を
逆にすれば実現する。しかしながら、回転時部26にシー
ル材32の接触するタイプの方が摺動面が小さいのでスム
ーズな動きに適応しやすい。
触するように構成することも可能である。その時におけ
る各寸法設定は上述の回転部26と固定部21との設定値を
逆にすれば実現する。しかしながら、回転時部26にシー
ル材32の接触するタイプの方が摺動面が小さいのでスム
ーズな動きに適応しやすい。
さらに、固定部21の内周面に下側段部34を形成するた
めの突起を省略し、スラストベアリング24の上面にて下
側段部34の有する機能を代用させることにより、該突起
部の高さ分の寸法を省略することができ、小型化を計る
ことができる。
めの突起を省略し、スラストベアリング24の上面にて下
側段部34の有する機能を代用させることにより、該突起
部の高さ分の寸法を省略することができ、小型化を計る
ことができる。
また、本実施例における外気導入と排気は固定部21の
下側の隙間からと空気孔36とから行われる。この空気孔
36を形成することにより更に通気が容易となってシール
材32の動作が向上し、潤滑油の注入も容易となるので保
守作業も手軽に行えるものであるが、本発明はこれに限
定するものではなく、空気孔36を廃止することもでき
る。
下側の隙間からと空気孔36とから行われる。この空気孔
36を形成することにより更に通気が容易となってシール
材32の動作が向上し、潤滑油の注入も容易となるので保
守作業も手軽に行えるものであるが、本発明はこれに限
定するものではなく、空気孔36を廃止することもでき
る。
（第２実施例） 第３図は本発明に係る真空吸着式回転ワークホルダー
の第２実施例を示す一部を省略した縦断面図である。
の第２実施例を示す一部を省略した縦断面図である。
本実施例における回転保持機構部は前記第１実施例に
おける回転保持機構部と同様な構成であり、回転保持機
構部の説明を省略する。
おける回転保持機構部と同様な構成であり、回転保持機
構部の説明を省略する。
41は上端面42を有する筒形状した固定部で、この固定
部41の上端面42の軸心部にはエアー導入口43が穿設され
ている。固定部41の内部には回転部44が回転自在に嵌合
保持されている。回転部44の側面上部近傍にはテーパ段
部45が形成され、テーパ段部45の下方には下側段部46が
形成されて、回転部44の側面に凹部47が形成されてい
る。この凹部47にはシール材（以下、コマという）48が
摺動自在に嵌合されている。固定部41の内周面にはコマ
48が接触しないようにテーパ段部49が形成され、凹部50
が形成されている。
部41の上端面42の軸心部にはエアー導入口43が穿設され
ている。固定部41の内部には回転部44が回転自在に嵌合
保持されている。回転部44の側面上部近傍にはテーパ段
部45が形成され、テーパ段部45の下方には下側段部46が
形成されて、回転部44の側面に凹部47が形成されてい
る。この凹部47にはシール材（以下、コマという）48が
摺動自在に嵌合されている。固定部41の内周面にはコマ
48が接触しないようにテーパ段部49が形成され、凹部50
が形成されている。
コマ48の上端先端は回転部44のテーパ段部45と固定部
41のテーパ段部49とにより形成される角度と同じか、あ
るいは若干小さな角度に形成されるとともに、下部には
回転部44の下側段部46に当接する切り欠き51が形成され
ている。
41のテーパ段部49とにより形成される角度と同じか、あ
るいは若干小さな角度に形成されるとともに、下部には
回転部44の下側段部46に当接する切り欠き51が形成され
ている。
以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダーを
用いる際、固定部41の凹部50とコマ48との隙間をｂ、固
定部44の側面とコマ48の切り欠き51との隙間をａおよび
回転部44の凹部47とコマ48との隙間をｃとするとき、こ
の関係がｃ＜ａ＜ｂとなるように設定すれば、コマ48の
切り欠き51長さｄだけの摺動で充分な吸引力とスムーズ
な回転が得られる。
用いる際、固定部41の凹部50とコマ48との隙間をｂ、固
定部44の側面とコマ48の切り欠き51との隙間をａおよび
回転部44の凹部47とコマ48との隙間をｃとするとき、こ
の関係がｃ＜ａ＜ｂとなるように設定すれば、コマ48の
切り欠き51長さｄだけの摺動で充分な吸引力とスムーズ
な回転が得られる。
エアー導入口43から真空吸引すると、コマ48は上方に
押し上げられエアー導入路52を塞ぐ。この時、コマ48の
上部先端形状を回転部44のテーパ段部45と固定部41のテ
ーパ段部49とにより形成される角度と同じか、あるいは
若干小さな角度に形成したことにより、高い気密性が得
られる。また、コマ48の摺動長さｄを小さくする事で最
小限のエアー圧でもコマ48の移動をスムーズに行える。
押し上げられエアー導入路52を塞ぐ。この時、コマ48の
上部先端形状を回転部44のテーパ段部45と固定部41のテ
ーパ段部49とにより形成される角度と同じか、あるいは
若干小さな角度に形成したことにより、高い気密性が得
られる。また、コマ48の摺動長さｄを小さくする事で最
小限のエアー圧でもコマ48の移動をスムーズに行える。
一方加工時においては、コマ48がエアー導入路52から
の排気圧によって押し下げられ、固定部41と回転部44と
を非接触状態にして回転部44を回転させることができ
る。
の排気圧によって押し下げられ、固定部41と回転部44と
を非接触状態にして回転部44を回転させることができ
る。
本実施例によれば、コマ48を用いたことで、上述のよ
うに吸引時の高い気密性とレスポンスの良いスムーズな
シール材の動作とを実現することができる。
うに吸引時の高い気密性とレスポンスの良いスムーズな
シール材の動作とを実現することができる。
（第３実施例） 第４図は本発明に係る真空吸着式回転ワーウホルダー
の第３実施例を示す一部を省略した縦断面図である。
の第３実施例を示す一部を省略した縦断面図である。
本実施例における回転保持機構部は前記各実施例にお
ける回転機構部と同様な構成であり、回転保持機構部の
説明を省略する。
ける回転機構部と同様な構成であり、回転保持機構部の
説明を省略する。
53は上端面54を有する筒形状をした固定部で、この固
定部53の上端面54の軸心部にはエアー導入口55が穿設さ
れている。固定部53の内部には回転部56が回転自在に嵌
合保持されている。回転軸56の上部外周面にはシール材
57が摺動自在に嵌合されている。シール材57の摺動面に
は潤滑材58としてのフッ素系樹脂が一体に貼付されてい
る。
定部53の上端面54の軸心部にはエアー導入口55が穿設さ
れている。固定部53の内部には回転部56が回転自在に嵌
合保持されている。回転軸56の上部外周面にはシール材
57が摺動自在に嵌合されている。シール材57の摺動面に
は潤滑材58としてのフッ素系樹脂が一体に貼付されてい
る。
固定部53の内周面にはシール材57が接触しないように
テーパ段部59が形成され、凹部60が形成されている。ま
た、固定部53の側面には空気孔61が穿設されている。
テーパ段部59が形成され、凹部60が形成されている。ま
た、固定部53の側面には空気孔61が穿設されている。
以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダーの
作用は前記第１実施例の作用と同様であり、作用の説明
は省略する。
作用は前記第１実施例の作用と同様であり、作用の説明
は省略する。
本実施例によれば、エアー導入口55からのエアー圧が
小さくても、スムーズなシール材57の移動を簡易に実現
できる。
小さくても、スムーズなシール材57の移動を簡易に実現
できる。
尚、本実施例では好適な潤滑材58としてフッ素系樹脂
を使用したが、本発明はこれに限定するものではなく、
エポキシ系樹脂や金属を用いても充分な効果が得られ
る。
を使用したが、本発明はこれに限定するものではなく、
エポキシ系樹脂や金属を用いても充分な効果が得られ
る。
また、本実施例とは逆に、潤滑材58を摺動スリーブと
し、該摺動スリーブの外周面にゴム系の樹脂を塗布して
シール材を構成する方法も好適である。
し、該摺動スリーブの外周面にゴム系の樹脂を塗布して
シール材を構成する方法も好適である。
（第４実施例） 第５図は本発明に係る真空吸着式回転ワークホルダー
の第４実施例を示す一部を省略した縦断面図である。
の第４実施例を示す一部を省略した縦断面図である。
本実施例における回転保持機構部は前記各実施例にお
ける回転保持機構部と同様な構成であり、回転保持機構
部の説明を省略する。
ける回転保持機構部と同様な構成であり、回転保持機構
部の説明を省略する。
62は上端面63を有する筒形状をした固定部で、この固
定部62の上端面63の軸心部にはエアー導入口64が穿設さ
れている。固定部62の内周面上部近傍には段部65が形成
されている。固定部63の内部には、その軸心部に吸気孔
66が穿設された回転部67が回転自在に嵌合保持されてい
る。回転部67の上部近傍には弾性材料（例えば、ゴム
等）を用いて形成されたつば形状あるいは吸盤形状のシ
ール材68が固定されている。シール材68の下端面には切
り欠き部69が形成されている。
定部62の上端面63の軸心部にはエアー導入口64が穿設さ
れている。固定部62の内周面上部近傍には段部65が形成
されている。固定部63の内部には、その軸心部に吸気孔
66が穿設された回転部67が回転自在に嵌合保持されてい
る。回転部67の上部近傍には弾性材料（例えば、ゴム
等）を用いて形成されたつば形状あるいは吸盤形状のシ
ール材68が固定されている。シール材68の下端面には切
り欠き部69が形成されている。
以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダー
は、エアー導入口64から吸引圧が発生すると、シール材
68の外周部が固定部63の段部65に当て付き密着すること
によって、エアー導入口64からの吸引圧を隙間70から吸
引もれすることなく吸気孔66につなげることができる。
また、シール材68に切り欠き部69を形成したことで、よ
り動作を柔らかくすることが可能となり、小さな吸引圧
にも対応できる。
は、エアー導入口64から吸引圧が発生すると、シール材
68の外周部が固定部63の段部65に当て付き密着すること
によって、エアー導入口64からの吸引圧を隙間70から吸
引もれすることなく吸気孔66につなげることができる。
また、シール材68に切り欠き部69を形成したことで、よ
り動作を柔らかくすることが可能となり、小さな吸引圧
にも対応できる。
本実施例によれば、常に復元しようとする力が働くた
めに、吸引圧を止めるだけで固定部63と回転部67との接
触をなくすことができる。
めに、吸引圧を止めるだけで固定部63と回転部67との接
触をなくすことができる。
以上説明したように、本発明に係る真空吸着式回転ワ
ークホルダーによれば、ワークの研磨加工中における回
転摺動が、回転部を保持するベアリングによるもの以外
はほとんど無くなりスムーズな回転を実現できる。同時
に、ワーク吸着時における高い気密性が得られることに
より充分な真空圧力を得て確実なワークの吸着を可能に
する。これにより、レンズの精密な研磨加工および高速
研磨加工の形状品質を安定化させることができる。
ークホルダーによれば、ワークの研磨加工中における回
転摺動が、回転部を保持するベアリングによるもの以外
はほとんど無くなりスムーズな回転を実現できる。同時
に、ワーク吸着時における高い気密性が得られることに
より充分な真空圧力を得て確実なワークの吸着を可能に
する。これにより、レンズの精密な研磨加工および高速
研磨加工の形状品質を安定化させることができる。
【図面の簡単な説明】 第１図ａおよびｂは本発明に係る真空吸着式回転ワーク
ホルダーの概念図、第２図ａおよびｂは同第１実施例を
示し、第２図ａは縦断面図、第２図ｂは一部を省略した
縦断面図、第３図は同第２実施例を示す一部を省略した
縦断面図、第４図は同第３実施例を示す一部を省略した
縦断面図、第５図は同第４実施例を示す一部を省略した
縦断面図、第６図は従来例を示す縦断面図である。 1,21,41,53,62……固定部 2,22,42,54,63……上端面 3,23,43,55,64……エアー導入口 ４……貫通口 ５……下端面 ６……穴 7,26,44,56,67……回転部 8,12,13,27,38,52……エアー導入路 9,29……ワーク 10……ホルダー 11,32,48,57,68……シール材 14……真空吸引 15……外気圧 16,40,70……隙間 17……研磨工具 18,39……エアー排出 24,25……ベアリング 28……ワークホルダー 30,33,45,49,59……テーパ段部 31,34,46……下側段部 35,47,50,60……凹部 36,61……空気孔 37……真空吸引 51……切り欠き 58……潤滑材 65……段部 66……吸気孔 69……切り欠き部
ホルダーの概念図、第２図ａおよびｂは同第１実施例を
示し、第２図ａは縦断面図、第２図ｂは一部を省略した
縦断面図、第３図は同第２実施例を示す一部を省略した
縦断面図、第４図は同第３実施例を示す一部を省略した
縦断面図、第５図は同第４実施例を示す一部を省略した
縦断面図、第６図は従来例を示す縦断面図である。 1,21,41,53,62……固定部 2,22,42,54,63……上端面 3,23,43,55,64……エアー導入口 ４……貫通口 ５……下端面 ６……穴 7,26,44,56,67……回転部 8,12,13,27,38,52……エアー導入路 9,29……ワーク 10……ホルダー 11,32,48,57,68……シール材 14……真空吸引 15……外気圧 16,40,70……隙間 17……研磨工具 18,39……エアー排出 24,25……ベアリング 28……ワークホルダー 30,33,45,49,59……テーパ段部 31,34,46……下側段部 35,47,50,60……凹部 36,61……空気孔 37……真空吸引 51……切り欠き 58……潤滑材 65……段部 66……吸気孔 69……切り欠き部
Claims (1)
- 【請求項１】閉鎖端を有する筒形状をした固定部の閉鎖
端に設けたワーク吸引・排出用のエアー導入口と、固定
部の内部に回転自在に取着した回転部の回転軸に設けた
エアー導入路と、固定部と回転部との隙間に形成したエ
アー導入路と、当該隙間のエアー導入路内に内設した該
エアー導入路上部開閉用のシール材とを具備したことを
特徴とする真空吸着式回転ワークホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2226271A JPH0818212B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 真空吸着式回転ワークホルダー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2226271A JPH0818212B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 真空吸着式回転ワークホルダー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04105835A JPH04105835A (ja) | 1992-04-07 |
| JPH0818212B2 true JPH0818212B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=16842593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2226271A Expired - Fee Related JPH0818212B2 (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 真空吸着式回転ワークホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818212B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101489829B1 (ko) * | 2007-04-09 | 2015-02-05 | 유겐가이샤 코지마 엔지니어링 | 렌즈가공장치의 렌즈유지기구 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040008272A (ko) * | 2002-07-18 | 2004-01-31 | 주식회사 환웅 오티에스 | 광학렌즈용 구심연마기의 연마부 구조 |
-
1990
- 1990-08-28 JP JP2226271A patent/JPH0818212B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101489829B1 (ko) * | 2007-04-09 | 2015-02-05 | 유겐가이샤 코지마 엔지니어링 | 렌즈가공장치의 렌즈유지기구 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04105835A (ja) | 1992-04-07 |
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Legal Events
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