JPH0818212B2 - Vacuum suction type rotary work holder - Google Patents

Vacuum suction type rotary work holder

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JPH0818212B2
JPH0818212B2 JP2226271A JP22627190A JPH0818212B2 JP H0818212 B2 JPH0818212 B2 JP H0818212B2 JP 2226271 A JP2226271 A JP 2226271A JP 22627190 A JP22627190 A JP 22627190A JP H0818212 B2 JPH0818212 B2 JP H0818212B2
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Japan
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air introduction
vacuum suction
air
rotating
work holder
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元右 三坂
一雄 牛山
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Olympus Corp
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Olympus Optic Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レンズ研磨加工機に装着してワークのレン
ズを真空吸引により吸着保持する回転式ワークホルダー
に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a rotary work holder mounted on a lens polishing machine to suck and hold a lens of a work by vacuum suction.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、真空吸着式回転ワークホルダーとしては、第6
図に示す如く、閉鎖端を有する筒形状をした固定部71の
内部にベアリング72,73を介して回転部74が回転自在に
取着されている。この回転部74には軸心を貫通するエア
ー導入路75が穿設されている。回転部74の下端にはワー
クホルダー76が取着されており、エアー導入路75を介し
てワークホルダー76でワーク77を吸着保持できるように
構成されている。そして、固定部71の閉鎖端に設けられ
たエアー導入路78下端と回転部74のエアー導入路75上端
の間にシール材79を介在させてエアーの漏れを防止した
真空吸着式回転ワークホルダーが知られている。
Conventionally, as the vacuum suction type rotary work holder,
As shown in the figure, a rotating portion 74 is rotatably attached to the inside of a cylindrical fixed portion 71 having a closed end via bearings 72 and 73. An air introduction path 75 penetrating the axis is formed in the rotating portion 74. A work holder 76 is attached to the lower end of the rotating part 74, and the work 77 can be sucked and held by the work holder 76 via the air introduction path 75. Then, a vacuum suction type rotary work holder that prevents air leakage by interposing a sealing material 79 between the lower end of the air introduction path 78 provided at the closed end of the fixed part 71 and the upper end of the air introduction path 75 of the rotating part 74. Are known.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

しかるに、前記従来技術における真空吸着式回転ワー
クホルダーによると、シール材79の下端が常に回転部74
の上端に当接した構成であり、常に摩擦抗力が発生して
回転部74の回転を抑制している。これにより、ワーク77
を吸着保持するワークホルダー76をスムーズに回転させ
ることは困難となる。ひいては、精密な研磨加工および
高速研磨加工の形状品質を安定化することができない欠
点がある。
However, according to the vacuum suction type rotary work holder in the above-mentioned prior art, the lower end of the sealing material 79 is always the rotating part 74.
Is abutted against the upper end of the rotating part 74, and a frictional drag force is always generated to suppress the rotation of the rotating part 74. This allows the work 77
It becomes difficult to smoothly rotate the work holder 76 that sucks and holds the. As a result, there is a drawback that the shape quality of precision polishing and high-speed polishing cannot be stabilized.

本発明は前記従来技術における欠点に鑑みて開発され
たもので、ワークの吸引時における充分な吸引力が得ら
れるとともに、研磨加工時における回転部の回転を抑制
しないことによりスムーズな回転が得られる真空吸着式
回転ワークホルダーの提供を目的とする。
The present invention has been developed in view of the drawbacks of the above-mentioned prior art. A sufficient suction force can be obtained when a workpiece is sucked, and smooth rotation can be obtained by not suppressing the rotation of the rotating portion during polishing. The object is to provide a vacuum suction type rotary work holder.

〔課題を解決するための手段および作用〕[Means and Actions for Solving the Problems]

本発明は、閉鎖端を有する筒形状をした固定部の閉鎖
端に設けたワーク吸引・排出用のエアー導入口と、固定
部の内部に回転自在に取着した回転部の回転軸に設けた
エアー導入路と、固定部と回転部との隙間に形成したエ
アー導入路と、当該隙間のエアー導入路内に内設した該
エアー導入路上部開閉用のシール材とを具備したもので
ある。
According to the present invention, an air inlet for sucking and discharging a work provided at a closed end of a cylindrical fixed part having a closed end, and a rotary shaft of a rotary part rotatably mounted inside the fixed part. An air introduction path, an air introduction path formed in a gap between the fixed portion and the rotating portion, and a sealing material for opening and closing the upper portion of the air introduction path provided inside the air introduction path in the gap are provided.

第1図aおよびbは本発明に係る真空吸着式回転ワー
クホルダーの概念図である。
1A and 1B are conceptual views of a vacuum suction type rotary work holder according to the present invention.

1は閉鎖端2を有する筒形状をした固定部で、この固
定部1の閉鎖端2(以下、上端面という)の軸心部には
エアー導入口3が穿設されている。固定部1の内部には
エアー導入口3より大径でエアー導入口3と連通し、か
つ同軸の貫通孔4が設けられている。さらに、固定部1
の下端面5には貫通孔4に連通し、貫通孔4と同軸でか
つ貫通孔4よりも大径な穴6が穿設されている。
Reference numeral 1 denotes a cylindrical fixing portion having a closed end 2, and an air introduction port 3 is bored in a shaft center portion of the closing end 2 (hereinafter, referred to as an upper end surface) of the fixing portion 1. A through hole 4 having a diameter larger than that of the air introduction port 3 and communicating with the air introduction port 3 and coaxial with the air introduction port 3 is provided inside the fixed portion 1. Furthermore, the fixed part 1
A lower end surface 5 is provided with a hole 6 communicating with the through hole 4 and coaxial with the through hole 4 and having a larger diameter than the through hole 4.

貫通孔4および穴6には略凸形状の回転部7が回転自
在に嵌合されている。回転部7にはその軸心を貫通する
エアー導入路8が穿設されるとともに、下部にはワーク
9を吸引保持するホルダー10が形成されている。回転部
7の上部外周面には穴6の内周面と接触しないシール材
11が摺動自在に嵌合されている。また、貫通孔4の内周
面と回転部7の上部外周面および穴6の内周面と回転部
7の下部外周面とによりそれぞれエアー導入路12,13が
形成されている。
A substantially convex rotating portion 7 is rotatably fitted in the through hole 4 and the hole 6. The rotating portion 7 is provided with an air introduction passage 8 penetrating its axis, and a holder 10 for sucking and holding the work 9 is formed in the lower portion. A sealing material that does not come into contact with the inner peripheral surface of the hole 6 on the upper outer peripheral surface of the rotating portion 7.
11 is slidably fitted. Further, the inner peripheral surface of the through hole 4, the upper outer peripheral surface of the rotating portion 7, and the inner peripheral surface of the hole 6 and the lower outer peripheral surface of the rotating portion 7 form air introducing passages 12 and 13, respectively.

以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダー
は、エアー導入口3より真空吸引14してワーク9を吸着
保持する。この時、エアー導入路12のエアーは上方に引
かれ、外気圧15がエアー導入路13を経て隙間16に流入す
る。この流入により、シール材11が上方に移動してエア
ー導入路12を塞ぐ。従って、真空吸引14はエアー導入路
8を経てワーク9の吸着にのみ作用する(第1図a参
照)。
The vacuum suction type rotary work holder having the above structure sucks and holds the work 9 by vacuum suction 14 from the air inlet 3. At this time, the air in the air introduction path 12 is drawn upward, and the external atmospheric pressure 15 flows into the gap 16 through the air introduction path 13. Due to this inflow, the sealing material 11 moves upward and blocks the air introduction path 12. Therefore, the vacuum suction 14 acts only on the suction of the work 9 through the air introduction passage 8 (see FIG. 1A).

研磨工具17によるワーク9の研磨加工時は、エアー導
入口3にエアー排出18を行う。これにより、エアー導入
路12に流入したエアーがシール材11を押し下げる。従っ
て、固定部1と回転部7との接触が解除され、回転力に
対する研磨抗力は発生しない。エアー排出18は、一度シ
ール材11を固定部1から離した後は停止しても研磨加工
中の回転における摩擦抗力を発生することはない(第1
図b参照)。
When the work 9 is polished by the polishing tool 17, air is discharged 18 to the air inlet 3. As a result, the air flowing into the air introduction path 12 pushes down the sealing material 11. Therefore, the contact between the fixed portion 1 and the rotating portion 7 is released, and the polishing drag force against the rotating force is not generated. The air discharge 18 does not generate a frictional drag force during rotation during the polishing process even if the air discharge 18 is stopped after the seal material 11 is once separated from the fixed portion 1 (first
(See Figure b).

〔実 施 例〕〔Example〕

以下、本発明に係る真空吸着式回転ワークホルダーの
実施例について図面を参照しながら詳細に説明する。
Hereinafter, embodiments of the vacuum suction type rotary work holder according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(第1実施例) 第2図aおよびbは本発明の第1実施例を示し、第2
図aは縦断面図、第2図bは一部を省略した縦断面図で
ある。
(First Embodiment) FIGS. 2A and 2B show a first embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. A is a vertical sectional view, and FIG. 2b is a vertical sectional view with a part omitted.

21は上端面22を有する筒形状をした固定部で、この固
定部1の上端面22の軸心部にはエアー導入口23が穿設さ
れている。固定部21の内部にはベアリング24,25を介し
て回転部26が回転自在に嵌合保持されている。回転部26
にはその軸心を貫通する吸引・排出用のエアー導入路27
が穿設されるとともに、下部にはワークホルダー28が取
着され、エアー導入路27を介してワーク29を吸着保持で
きるように構成されている。回転部26の側面上部近傍に
はテーパ段部30が形成され、テーパ段部30の下方には下
側段部31が形成されている。テーパ段部30と下側段部31
との間にはシール材32が摺動自在に嵌合されている。固
定部21の内周面にはシール材32が接触しないように、テ
ーパ段部33と下側段部34とにより凹部35が形成されてい
る。固定部21の下側段部34は、シール材32が下降して回
転部26の下側段部31に当接して停止した際にシール材32
と接触しないように形成されている。また、固定部21の
側面には空気孔36が穿設されている。
Reference numeral 21 is a cylindrical fixing portion having an upper end surface 22, and an air introduction port 23 is bored in the axial center portion of the upper end surface 22 of the fixing portion 1. A rotating portion 26 is rotatably fitted and held in the fixed portion 21 via bearings 24 and 25. Rotating part 26
The air introduction passage 27 for suction and discharge that penetrates the axis of the
And a work holder 28 is attached to the lower part thereof, so that the work 29 can be sucked and held via the air introduction path 27. A taper step portion 30 is formed in the vicinity of the upper side surface of the rotating portion 26, and a lower step portion 31 is formed below the taper step portion 30. Taper step 30 and lower step 31
A seal member 32 is slidably fitted between the above and. A concave portion 35 is formed by the taper step portion 33 and the lower step portion 34 so that the seal material 32 does not come into contact with the inner peripheral surface of the fixed portion 21. The lower step portion 34 of the fixed portion 21 is sealed by the seal material 32 when the sealing material 32 descends and comes into contact with the lower step portion 31 of the rotating portion 26 and stops.
It is formed so as not to contact with. Further, an air hole 36 is formed on the side surface of the fixed portion 21.

以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダー
は、エアー導入口23より真空吸引37してワーク29を吸着
保持する。この時、固定部21内のエアーは上方に引かれ
る。これにともないシール材32が上方に移動し、固定部
21に形成されたテーパ段部33と回転部26に形成されたテ
ーパ段部30とによりシール材32が確実にホールドされ、
固定部21の内周面と回転部26の上部外周面とで形成され
るエアー導入路38を塞ぐ、従って、ワーク29の吸引・排
出用エアー導入路27への吸引力を充分に確保することが
できる(第2図a参照)。
The vacuum suction type rotary work holder having the above structure sucks and holds the work 29 by vacuum suction 37 from the air introduction port 23. At this time, the air in the fixed portion 21 is drawn upward. Along with this, the sealing material 32 moves upward,
The seal member 32 is securely held by the taper step portion 33 formed on the 21 and the taper step portion 30 formed on the rotating portion 26,
The air introduction passage 38 formed by the inner peripheral surface of the fixed portion 21 and the upper outer peripheral surface of the rotating portion 26 is closed, and therefore, a sufficient suction force for the suction / exhaust air introduction passage 27 of the work 29 is ensured. (See FIG. 2a).

ワーク29の研磨加工時は、エアー導入口23にエアー排
出39を行う。これにより、エアー導入路38に流入したエ
アーがシール材32を押し下げる。シール材32は回転部26
の下側段部31に当接して停止し、固定側21の下側段部34
には接触しないため、エアーはその隙間40より排出され
るとともに、固定部21と回転部26との相互の接触が解除
される(第2図b参照)。
When the work 29 is polished, air 39 is discharged to the air inlet 23. As a result, the air flowing into the air introduction passage 38 pushes down the sealing material 32. The sealing material 32 is the rotating part 26.
The lower step 34 of the fixed side 21 is stopped by abutting against the lower step 31 of the
Therefore, the air is discharged from the gap 40, and the fixed portion 21 and the rotating portion 26 are released from mutual contact (see FIG. 2b).

本実施例によれば、固定部21と回転部26との両方にそ
れぞれテーパ段部33,30を設けたことにより、回転部26
とシール材32とのはめ合いが経時変化で悪化しても高い
気密性を確保することができる。
According to this embodiment, since the taper step portions 33 and 30 are provided on both the fixed portion 21 and the rotating portion 26, the rotating portion 26
Even if the fit between the sealing material 32 and the sealing material 32 deteriorates over time, high airtightness can be ensured.

尚、各テーパ段部33,30により形成されるテーパ角度
は開き角で60゜〜90゜が好適である。
The taper angle formed by each taper step portion 33, 30 is preferably an opening angle of 60 ° to 90 °.

また、固定部21の下側段部34と固定部26の下側段部31
とが同じ位置、あるいは固定部21の下側段部34が先にシ
ール材32と当たる位置にあると、シール材32が固定部21
と回転部26との各下側段部34,31に相互当接の状態にな
ってしまう。
Further, the lower step portion 34 of the fixed portion 21 and the lower step portion 31 of the fixed portion 26.
Are the same position, or the lower step 34 of the fixed portion 21 is in contact with the seal material 32 first, the seal material 32 is fixed.
Therefore, the lower step portions 34 and 31 of the rotating portion 26 and the rotating portion 26 are in mutual contact with each other.

さらに、回転部26のテーパ段部30と下側段部31とによ
り形成される凹部の深さはシール材32の線径の1/3〜1/
2、固定部21のテーパ段部33と下側段部34とにより形成
される凹部35の深さはシール材32の線径の1/2〜3/5、エ
アー導入路38の幅をシール材32の線径の1/5〜1/4および
回転部26のテーパ段部30から下側段部31までの長さをシ
ール材32の線径の4/3〜2に設定するとエアーの流れが
理想的となり、良好なシール材32の動作が得られる。
Further, the depth of the recess formed by the tapered step portion 30 and the lower step portion 31 of the rotating portion 26 is 1/3 to 1/1 of the wire diameter of the seal material 32.
2, the depth of the recess 35 formed by the taper step portion 33 and the lower step portion 34 of the fixed portion 21 is 1/2 to 3/5 of the wire diameter of the seal material 32, and the width of the air introduction passage 38 is sealed. If the wire diameter of the material 32 is 1/5 to 1/4 and the length from the taper step 30 to the lower step 31 of the rotating part 26 is set to 4/3 to 2 of the wire diameter of the sealing material 32, The flow is ideal and good sealing material 32 operation is obtained.

また、回転部26に接触したシール材32を固定部21に接
触するように構成することも可能である。その時におけ
る各寸法設定は上述の回転部26と固定部21との設定値を
逆にすれば実現する。しかしながら、回転時部26にシー
ル材32の接触するタイプの方が摺動面が小さいのでスム
ーズな動きに適応しやすい。
Further, it is also possible to configure the sealing material 32 that comes into contact with the rotating portion 26 so as to come into contact with the fixed portion 21. Each dimension setting at that time is realized by reversing the setting values of the rotating unit 26 and the fixed unit 21 described above. However, the type in which the seal member 32 is in contact with the rotating portion 26 has a smaller sliding surface, and thus it is easier to adapt to smooth movement.

さらに、固定部21の内周面に下側段部34を形成するた
めの突起を省略し、スラストベアリング24の上面にて下
側段部34の有する機能を代用させることにより、該突起
部の高さ分の寸法を省略することができ、小型化を計る
ことができる。
Furthermore, by omitting the projection for forming the lower step portion 34 on the inner peripheral surface of the fixed portion 21 and substituting the function of the lower step portion 34 on the upper surface of the thrust bearing 24, The size of the height can be omitted, and the size can be reduced.

また、本実施例における外気導入と排気は固定部21の
下側の隙間からと空気孔36とから行われる。この空気孔
36を形成することにより更に通気が容易となってシール
材32の動作が向上し、潤滑油の注入も容易となるので保
守作業も手軽に行えるものであるが、本発明はこれに限
定するものではなく、空気孔36を廃止することもでき
る。
In addition, in the present embodiment, the introduction and discharge of outside air are performed through the gap below the fixed portion 21 and through the air hole 36. This air hole
By forming 36, ventilation is further facilitated, the operation of the sealing material 32 is improved, and lubricating oil is also easily injected, so that maintenance work can be performed easily, but the present invention is not limited to this. Alternatively, the air holes 36 can be eliminated.

(第2実施例) 第3図は本発明に係る真空吸着式回転ワークホルダー
の第2実施例を示す一部を省略した縦断面図である。
(Second Embodiment) FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing a second embodiment of a vacuum suction type rotary work holder according to the present invention with a part thereof omitted.

本実施例における回転保持機構部は前記第1実施例に
おける回転保持機構部と同様な構成であり、回転保持機
構部の説明を省略する。
The rotation holding mechanism portion in this embodiment has the same structure as the rotation holding mechanism portion in the first embodiment, and the description of the rotation holding mechanism portion will be omitted.

41は上端面42を有する筒形状した固定部で、この固定
部41の上端面42の軸心部にはエアー導入口43が穿設され
ている。固定部41の内部には回転部44が回転自在に嵌合
保持されている。回転部44の側面上部近傍にはテーパ段
部45が形成され、テーパ段部45の下方には下側段部46が
形成されて、回転部44の側面に凹部47が形成されてい
る。この凹部47にはシール材(以下、コマという)48が
摺動自在に嵌合されている。固定部41の内周面にはコマ
48が接触しないようにテーパ段部49が形成され、凹部50
が形成されている。
Reference numeral 41 is a cylindrical fixing portion having an upper end surface 42, and an air introduction port 43 is bored in the axial center portion of the upper end surface 42 of the fixing portion 41. A rotating portion 44 is rotatably fitted and held inside the fixed portion 41. A tapered step portion 45 is formed near the upper portion of the side surface of the rotating portion 44, a lower step portion 46 is formed below the tapered step portion 45, and a recess 47 is formed on the side surface of the rotating portion 44. A seal material (hereinafter referred to as a top) 48 is slidably fitted in the recess 47. On the inner surface of the fixed part 41,
The tapered step 49 is formed so that the 48 does not come into contact with the recess 50.
Are formed.

コマ48の上端先端は回転部44のテーパ段部45と固定部
41のテーパ段部49とにより形成される角度と同じか、あ
るいは若干小さな角度に形成されるとともに、下部には
回転部44の下側段部46に当接する切り欠き51が形成され
ている。
The top end of the top 48 is fixed to the taper step 45 of the rotating part 44.
The angle formed by the taper step portion 49 of 41 is the same as or slightly smaller than that of the taper step portion 49, and a notch 51 that abuts the lower step portion 46 of the rotating portion 44 is formed in the lower portion.

以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダーを
用いる際、固定部41の凹部50とコマ48との隙間をb、固
定部44の側面とコマ48の切り欠き51との隙間をaおよび
回転部44の凹部47とコマ48との隙間をcとするとき、こ
の関係がc<a<bとなるように設定すれば、コマ48の
切り欠き51長さdだけの摺動で充分な吸引力とスムーズ
な回転が得られる。
When the vacuum suction type rotary work holder having the above structure is used, the gap between the concave portion 50 of the fixed portion 41 and the top 48 is b, the gap between the side surface of the fixed portion 44 and the notch 51 of the top 48 is a and the rotary portion. When the gap between the recess 47 of the 44 and the top 48 is c, if this relationship is set to be c <a <b, sliding of the notch 51 of the top 48 by the length d is sufficient for the suction force. And smooth rotation is obtained.

エアー導入口43から真空吸引すると、コマ48は上方に
押し上げられエアー導入路52を塞ぐ。この時、コマ48の
上部先端形状を回転部44のテーパ段部45と固定部41のテ
ーパ段部49とにより形成される角度と同じか、あるいは
若干小さな角度に形成したことにより、高い気密性が得
られる。また、コマ48の摺動長さdを小さくする事で最
小限のエアー圧でもコマ48の移動をスムーズに行える。
When vacuum suction is performed from the air introduction port 43, the top 48 is pushed up and closes the air introduction path 52. At this time, the top end shape of the top piece 48 is formed at the same angle as or slightly smaller than the angle formed by the taper step portion 45 of the rotating portion 44 and the taper step portion 49 of the fixed portion 41, so that the airtightness is high. Is obtained. Further, by reducing the sliding length d of the top 48, the top 48 can be moved smoothly even with the minimum air pressure.

一方加工時においては、コマ48がエアー導入路52から
の排気圧によって押し下げられ、固定部41と回転部44と
を非接触状態にして回転部44を回転させることができ
る。
On the other hand, at the time of processing, the top 48 is pushed down by the exhaust pressure from the air introduction path 52, so that the fixed portion 41 and the rotating portion 44 are brought into non-contact with each other and the rotating portion 44 can be rotated.

本実施例によれば、コマ48を用いたことで、上述のよ
うに吸引時の高い気密性とレスポンスの良いスムーズな
シール材の動作とを実現することができる。
According to the present embodiment, by using the top 48, it is possible to realize high airtightness at the time of suction and smooth operation of the sealing material with good response as described above.

(第3実施例) 第4図は本発明に係る真空吸着式回転ワーウホルダー
の第3実施例を示す一部を省略した縦断面図である。
(Third Embodiment) FIG. 4 is a vertical cross-sectional view showing a third embodiment of the vacuum suction type rotary wow holder according to the present invention with a part omitted.

本実施例における回転保持機構部は前記各実施例にお
ける回転機構部と同様な構成であり、回転保持機構部の
説明を省略する。
The rotation holding mechanism section in this embodiment has the same structure as the rotation holding mechanism section in each of the above-mentioned embodiments, and the description of the rotation holding mechanism section will be omitted.

53は上端面54を有する筒形状をした固定部で、この固
定部53の上端面54の軸心部にはエアー導入口55が穿設さ
れている。固定部53の内部には回転部56が回転自在に嵌
合保持されている。回転軸56の上部外周面にはシール材
57が摺動自在に嵌合されている。シール材57の摺動面に
は潤滑材58としてのフッ素系樹脂が一体に貼付されてい
る。
Reference numeral 53 is a cylindrical fixing portion having an upper end surface 54, and an air introduction port 55 is bored in the axial center portion of the upper end surface 54 of the fixing portion 53. A rotating portion 56 is rotatably fitted and held inside the fixed portion 53. Sealing material on the upper peripheral surface of the rotating shaft 56
57 is slidably fitted. On the sliding surface of the seal material 57, a fluororesin as a lubricant 58 is integrally attached.

固定部53の内周面にはシール材57が接触しないように
テーパ段部59が形成され、凹部60が形成されている。ま
た、固定部53の側面には空気孔61が穿設されている。
A taper step portion 59 is formed on the inner peripheral surface of the fixed portion 53 so that the sealing material 57 does not come into contact with the recessed portion 60. Further, an air hole 61 is formed on the side surface of the fixed portion 53.

以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダーの
作用は前記第1実施例の作用と同様であり、作用の説明
は省略する。
The operation of the vacuum suction type rotary work holder having the above structure is the same as that of the first embodiment, and the description of the operation will be omitted.

本実施例によれば、エアー導入口55からのエアー圧が
小さくても、スムーズなシール材57の移動を簡易に実現
できる。
According to this embodiment, even if the air pressure from the air inlet 55 is small, the smooth movement of the seal material 57 can be easily realized.

尚、本実施例では好適な潤滑材58としてフッ素系樹脂
を使用したが、本発明はこれに限定するものではなく、
エポキシ系樹脂や金属を用いても充分な効果が得られ
る。
In this embodiment, a fluorine-based resin is used as the suitable lubricant 58, but the present invention is not limited to this,
Even if an epoxy resin or metal is used, a sufficient effect can be obtained.

また、本実施例とは逆に、潤滑材58を摺動スリーブと
し、該摺動スリーブの外周面にゴム系の樹脂を塗布して
シール材を構成する方法も好適である。
Further, contrary to the present embodiment, it is also preferable to use a lubricant 58 as a sliding sleeve and apply a rubber-based resin to the outer peripheral surface of the sliding sleeve to form a sealing material.

(第4実施例) 第5図は本発明に係る真空吸着式回転ワークホルダー
の第4実施例を示す一部を省略した縦断面図である。
(Fourth Embodiment) FIG. 5 is a vertical cross-sectional view showing a fourth embodiment of the vacuum suction type rotary work holder according to the present invention with a part thereof omitted.

本実施例における回転保持機構部は前記各実施例にお
ける回転保持機構部と同様な構成であり、回転保持機構
部の説明を省略する。
The rotation holding mechanism portion in this embodiment has the same structure as the rotation holding mechanism portion in each of the above embodiments, and the description of the rotation holding mechanism portion will be omitted.

62は上端面63を有する筒形状をした固定部で、この固
定部62の上端面63の軸心部にはエアー導入口64が穿設さ
れている。固定部62の内周面上部近傍には段部65が形成
されている。固定部63の内部には、その軸心部に吸気孔
66が穿設された回転部67が回転自在に嵌合保持されてい
る。回転部67の上部近傍には弾性材料(例えば、ゴム
等)を用いて形成されたつば形状あるいは吸盤形状のシ
ール材68が固定されている。シール材68の下端面には切
り欠き部69が形成されている。
Reference numeral 62 denotes a cylindrical fixing portion having an upper end surface 63, and an air introduction port 64 is formed in the axial center portion of the upper end surface 63 of the fixing portion 62. A step portion 65 is formed near the upper portion of the inner peripheral surface of the fixed portion 62. Inside the fixed part 63, there is an air intake hole in the axial center part.
A rotating portion 67 having 66 formed therein is rotatably fitted and held. In the vicinity of the upper portion of the rotating portion 67, a brim-shaped or sucker-shaped sealing material 68 formed of an elastic material (for example, rubber) is fixed. A notch 69 is formed on the lower end surface of the sealing material 68.

以上の構成から成る真空吸着式回転ワークホルダー
は、エアー導入口64から吸引圧が発生すると、シール材
68の外周部が固定部63の段部65に当て付き密着すること
によって、エアー導入口64からの吸引圧を隙間70から吸
引もれすることなく吸気孔66につなげることができる。
また、シール材68に切り欠き部69を形成したことで、よ
り動作を柔らかくすることが可能となり、小さな吸引圧
にも対応できる。
The vacuum suction type rotary work holder configured as described above is provided with a sealing material when suction pressure is generated from the air inlet 64.
Since the outer peripheral part of 68 abuts against and is in close contact with the stepped part 65 of the fixed part 63, the suction pressure from the air introduction port 64 can be connected to the intake hole 66 without being leaked from the gap 70.
Further, since the notch 69 is formed in the sealing material 68, the operation can be made softer and a small suction pressure can be dealt with.

本実施例によれば、常に復元しようとする力が働くた
めに、吸引圧を止めるだけで固定部63と回転部67との接
触をなくすことができる。
According to the present embodiment, since a force that always tries to restore acts, it is possible to eliminate the contact between the fixed portion 63 and the rotating portion 67 simply by stopping the suction pressure.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明に係る真空吸着式回転ワ
ークホルダーによれば、ワークの研磨加工中における回
転摺動が、回転部を保持するベアリングによるもの以外
はほとんど無くなりスムーズな回転を実現できる。同時
に、ワーク吸着時における高い気密性が得られることに
より充分な真空圧力を得て確実なワークの吸着を可能に
する。これにより、レンズの精密な研磨加工および高速
研磨加工の形状品質を安定化させることができる。
As described above, according to the vacuum suction type rotary work holder according to the present invention, rotary sliding during polishing of the work is almost eliminated except for the bearing holding the rotary part, and smooth rotation can be realized. At the same time, high airtightness is obtained at the time of adsorbing the work, so that a sufficient vacuum pressure is obtained and the work can be securely adsorbed. This makes it possible to stabilize the shape quality of the lens for precision polishing and high-speed polishing.

【図面の簡単な説明】 第1図aおよびbは本発明に係る真空吸着式回転ワーク
ホルダーの概念図、第2図aおよびbは同第1実施例を
示し、第2図aは縦断面図、第2図bは一部を省略した
縦断面図、第3図は同第2実施例を示す一部を省略した
縦断面図、第4図は同第3実施例を示す一部を省略した
縦断面図、第5図は同第4実施例を示す一部を省略した
縦断面図、第6図は従来例を示す縦断面図である。 1,21,41,53,62……固定部 2,22,42,54,63……上端面 3,23,43,55,64……エアー導入口 4……貫通口 5……下端面 6……穴 7,26,44,56,67……回転部 8,12,13,27,38,52……エアー導入路 9,29……ワーク 10……ホルダー 11,32,48,57,68……シール材 14……真空吸引 15……外気圧 16,40,70……隙間 17……研磨工具 18,39……エアー排出 24,25……ベアリング 28……ワークホルダー 30,33,45,49,59……テーパ段部 31,34,46……下側段部 35,47,50,60……凹部 36,61……空気孔 37……真空吸引 51……切り欠き 58……潤滑材 65……段部 66……吸気孔 69……切り欠き部
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIGS. 1a and 1b are conceptual views of a vacuum suction type rotary work holder according to the present invention, FIGS. 2a and 2b show the same first embodiment, and FIG. 2a is a longitudinal section. Fig. 2b is a vertical sectional view with a part omitted, Fig. 3 is a vertical sectional view with a part omitted, showing the second embodiment, and Fig. 4 is a partial sectional view showing the third embodiment. An omitted vertical sectional view, FIG. 5 is a partially omitted vertical sectional view showing the fourth embodiment, and FIG. 6 is a vertical sectional view showing a conventional example. 1,21,41,53,62 …… Fixing part 2,22,42,54,63 …… Upper end surface 3,23,43,55,64 …… Air inlet 4 …… Through hole 5 …… Lower end surface 6 …… Hole 7,26,44,56,67 …… Rotating part 8,12,13,27,38,52 …… Air introduction path 9,29 …… Workpiece 10 …… Holder 11,32,48,57 , 68 …… Seal material 14 …… Vacuum suction 15 …… External pressure 16,40,70 …… Gap 17 …… Abrasion tool 18,39 …… Air exhaust 24,25 …… Bearing 28 …… Work holder 30,33 , 45,49,59 …… Tapered step 31,34,46 …… Lower step 35,47,50,60 …… Concave 36,61 …… Air hole 37 …… Vacuum suction 51 …… Notch 58 ...... Lubricant 65 …… Step 66 …… Intake hole 69 …… Notch

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】閉鎖端を有する筒形状をした固定部の閉鎖
端に設けたワーク吸引・排出用のエアー導入口と、固定
部の内部に回転自在に取着した回転部の回転軸に設けた
エアー導入路と、固定部と回転部との隙間に形成したエ
アー導入路と、当該隙間のエアー導入路内に内設した該
エアー導入路上部開閉用のシール材とを具備したことを
特徴とする真空吸着式回転ワークホルダー。
1. An air inlet for sucking and discharging a workpiece, which is provided at a closed end of a cylindrical fixed part having a closed end, and a rotary shaft of a rotary part which is rotatably mounted inside the fixed part. An air introduction path, an air introduction path formed in a gap between the fixed part and the rotating part, and a sealing material for opening and closing the upper part of the air introduction path provided inside the air introduction path in the gap. Vacuum suction type rotating work holder.
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