JPH08178106A - 混合ガスの無瞬断供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 人工空気等の混合ガスを病院等に跡絶えるこ
となく供給する装置で、小型な単位ガス混合器を適宜自
動的に並列運転して、ガス使用量の増大に対し安価な設
備で対応可能とし、これを上回る使用量には、高い信頼
性で備蓄のバックアップ混合ガスを無瞬断で切替え供給
可能とする。 【構成】 複数種の原料ガスＧ₁ 、Ｇ₂ が供与される複
数の単位ガス混合器１ａ、１ｂを並列に配設し、バッフ
ァタンク５から需要先へ供給される混合ガスＭＧの流量
増加か圧力降下を混合ガス流量計７か圧力スイッチ１１
で検知し、その検知結果による電気制御系９からの出力
により自動開閉弁４ｂをも開通して、単位ガス混合器１
ａ、１ｂ２台の並列運転で需要増に対応する。全単位ガ
ス混合器でも需要を賄えないときは、これにより混合ガ
スＭＧの圧力が低下するから、バックアップ混合ガスＢ
Ｇが連結部６ｂから自在により需要先へ無瞬断で供給さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は酸素と窒素とを混合して
得られる人工空気などの医療ガスその他の混合ガスにつ
き、これを病院その他の需要側へ供与するに当り、複数
の単位ガス混合器を並列運転可能に構成して、病院側等
における負荷変動により、混合ガスの使用量が急激に増
加した場合にあっても、並列配置の単位ガス混合器を適
時並列運転に参入させ得るようにして、当該混合ガスの
安定供給を確保できるようにし、しかも、上記並列配置
の単位ガス混合器を全部稼動させても、需要を賄いきれ
ないような負荷増大に対し、これをバックアップ混合ガ
ス源から、無瞬断状態にて、バックアップ混合ガスを供
給可能とし、これにより需要者側における病人等の安全
を保証し得るようにした装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】特に医療ガスなどにあっては、瞬時たり
とも当該混合ガスの供給が停止されてはならないことか
ら、人工空気などの混合ガスを需要先に供給する装置で
は、急激な負荷の増加に対応できるよう可成り大きな混
合ガス製造容量のガス混合器１台を設置するようにして
いる。このため、製造容量を大きくしなければならない
ことから、その製作コストが可成り高価となり、また、
このようにガス混合器１台で需要を賄うようにした場合
には、当該ガス混合器自体に異常事態が発生し、かつ、
その復旧に時間を要するといった場合には、需要先への
供給を停止しなければならなくなり大変な問題となって
しまう。

【０００３】そこで、既に図４に示す如く、異種の原料
ガスＧ₁ 、Ｇ₂ が導入されるガス混合器を含む混合ガス
供給装置ａに、上記の如き異常事態、すなわち酸素濃度
の異常、ガス供給圧の低下、制御系やガス混合器の故障
などが生じたときは、バックアップ混合ガス供給源ｂが
備えられていて、これより適時バックアップ混合ガスＢ
Ｇが、上記の混合ガス供給装置ａによる混合ガスＭＧに
替えて、アウトレットＣ側から需要先に供給されるよう
配慮されている。

【０００４】しかし、旧来におけるバックアップ混合ガ
スの供給装置にあっては、図４における混合ガス供給装
置ａから導出される混合ガス供給配管ｄに、図示しない
手動式切替弁を介設しておき、前記の異常発生を知得し
た監視者が、手動によって上記の手動式切替弁を操作
し、これにより、需要側へバックアップ混合ガスを供給
するようにしていた。

【０００５】ところが、上記の旧来装置によるときは、
人手による操作に、前同切替弁の作動が委ねられている
ので、ヒューマンエラーによる誤操作等が生じ易いだけ
でなく、異常事態が発生した場合、無瞬断の切替えが実
際上不可能となって、タイムラグを生ずることとなるか
ら、ガスの種類と用途によっては、使用できないことと
なる。

【０００６】そこで、手動式でなく同上図４に明示の如
く自動式切替弁ｅを採択するようにした混合ガスのバッ
クアップ供給装置も既に知られており、その構成は混合
ガス供給装置ａの混合ガス供給配管ｄにあって、そのア
ウトレットｃ側に、上記の自動式切替弁ｅを介設すると
共に、当該自動切替弁ｅに、バックアップ混合ガス供給
源ｂのバックアップ混合ガス供給配管ｆを連結するよう
にしている。さらに、上記混合ガス供給装置ａには、混
合ガスの供給圧などを検知するための図示しないセンサ
が設けられ、当該センサにて異常の発生が検知される
と、リレー等による電気制御系ｇに異常信号が入力され
るようにしてあり、これによって当該電気制御系ｇから
発する出力により、電磁弁などによる自動式切替弁ｅが
作動して、混合ガスＭＧの供給が遮断されると同時に、
バックアップ混合ガス供給源ｂからのバックアップ混合
ガスＢＧが、バックアップ混合ガス供給配管ｆと自動式
切替弁ｅとを介してアウトレットｃから、図示しない需
要側へと供給されることになる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記の自動式切替弁ｅ
を用いる混合ガスのバックアップ供給装置によるとき
は、確かに、人為的なミスによる事故はなくなり、か
つ、正常ガスの供給が跡絶えることのない無瞬断切替え
も可能となるのであるが、自動式切替弁ｅは電気制御系
ｇからの出力によって、混合ガスＭＧの流通を遮断する
と同時に、バックアップガスＢＧの流通を許容する複雑
な機械的作動を不可欠としている。

【０００８】ところが、上記の如き異常事態の発生は、
もちろん、その頻度が低いものであり、従って、自動式
切替弁の上記の如き機械的作動が、実際に稼動するのは
極めて稀であり、このため、異常発生時に正常な作動が
なされるかどうかについて、高い信頼性を保証し難いこ
とになる。このため、１台の大容量であるガス混合器に
異常が発生したような場合、バックアップ混合ガスの無
瞬断な供給を、高い信頼性をもって保証することができ
ず、また、自動式切替弁自体も高価なものとなる。

【０００９】本発明は上記のように、需要先の混合ガス
使用量が急増した際のことを考慮して大容量化したガス
混合器を設置し、このため当該設備が高価となってしま
うこと、そして、当該ガス混合器が異常発生により運転
不能となってしまったときの対応策として、バックアッ
プ混合ガスの自動切替供給を行うようにしたとしても、
従来における混合ガスのバックアップ混合ガス供給装置
の信頼度が低いことに着目したものである。

【００１０】上記の着想に基づき、本発明では大容量で
ある１台のガス混合器に依存することを止め、請求項１
にあっては、通常負荷容量をもった比較的小型にして安
価に製作できる単位ガス混合器を複数台用意して、これ
を並列運転可能なるよう構成する。さらに、急激な負荷
増大が発生したときは、流量を混合ガス流量計により検
知し、これによる混合ガス流量値信号を電気制御系に入
力させ、これに基づく電気制御系の出力によって、それ
まで稼動していた単位ガス混合器に加えて、他の単位ガ
ス混合器をも並列運転に参入させるようにし、これによ
り安価な設備費で、大きな負荷についても対応できるよ
うにするだけでなく、１台の単位ガス混合器が故障して
も、他の単位ガス混合器により急場をしのぐことができ
るようにするのが、第１の目的である。

【００１１】さらに、本発明では、全単位ガス混合器に
よるパラレルランニングによっても、需要側の使用量を
賄うことができなくなった際、バックアップ混合ガスの
供給を可能とするが、前記従来例の如き自動式切替弁を
使用するのではなく、単に混合ガス供給配管にバックア
ップ混合ガス供給配管を連結しておくだけとする。しか
もこの際混合ガスの圧力をバックアップ混合ガスの圧力
よりも高くしておき、需要側の使用量急増により混合ガ
スの圧力が低下した際には、バックアップ混合ガスの自
在によって、無瞬断なバックアップ混合ガスの供給を始
動可能とし、これにより、自動切替弁を用いる従来装置
では充足し得なかった信頼性の向上を図り、人命にかか
わるような混合ガスの供給にも、高い安全性をもって使
用できるようにするのが、第２の目的である。

【００１２】さらに、請求項２にあっては、上記請求項
１の構成に加えて、混合ガス供給配管とバックアップ混
合ガス供給配管とに夫々逆止弁を介設することにより、
当該両配管の間におけるバックアップ混合ガスと混合ガ
スの混入を完全に阻止し、混合ガスの供給からバックア
ップ混合ガスへの供給を、より円滑に切り替え得るよう
にしている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、請求項１にあっては、複数種の原料ガスが
供与される単位ガス混合器を、所要複数台だけ並列に配
設し、これら各単位ガス混合器とバッファタンクとを連
結した各単位送出管には、夫々の自動開閉弁を介接し、
上記バッファタンクから導出の混合ガス供給配管には、
混合ガス流量計を介接すると共に、バックアップ混合ガ
ス供給源から導出されたバックアップ混合ガス供給配管
が連結部にて連通状態にあり、かつ、上記バックアップ
混合ガス供給配管内のバックアップ混合ガス圧力が、前
記混合ガス供給配管内の混合ガス圧力よりも低く設定さ
れ、前記混合ガス流量計からの混合ガス流量値信号と、
バッファタンクからの混合ガス圧力値信号の一方または
双方を電気制御系に入力し、これに基づく夫々混合ガス
流量の増加と、混合ガス圧力降下の一方または双方の程
度に応じて当該電気制御系から送信される出力により、
所要単位ガス混合器の自動開閉弁を開通することで、単
位ガス混合器の並列運転台数が追増されるようにしたこ
とを特徴とする混合ガスの無瞬断供給装置を提供しよう
とするものである。

【００１４】請求項２の場合には、上記請求項１の構成
にあって、混合ガス供給配管には、その混合ガス流量計
に次いで、混合ガス側逆止弁を介設し、この混合ガス側
逆止弁のアウトレット側に連結されているバックアップ
混合ガス供給配管には、バックアップ混合ガス側逆止弁
を介設するようにしている。

【００１５】

【作用】請求項１に係る混合ガスの無瞬断供給装置によ
るときは、複数台の単位ガス混合器に対し、その何れに
も酸素と窒素等である複数種の原料ガスが供給されてお
り、その中の１台である単位ガス混合器に係る自動開閉
弁を、電気制御系により開通状態としておけば、ここで
得られた混合ガスは、単位送出管を介してバッファタン
クに流入し、ここに貯留された混合ガスは当該バッファ
タンクから混合ガス供給配管を介して需要先へ供給され
る。

【００１６】このとき、需要側における混合ガスの使用
量が通常使用状態から急激に増えるようなことがあれ
ば、混合ガス供給配管に介接の混合ガス流量計が、この
増量値を測知して、混合ガス流量値信号を電気制御系に
入力することになる。これにより電気制御系は、混合ガ
ス使用量の増加割合に対応して、他の１台または２台の
単位ガス混合器に係る自動開閉弁に出力を発し、これに
より２台とか３台の単位ガス混合器による並列運転が始
動されることになる。

【００１７】このようにして、全部の単位ガス混合器に
よるパラレルランニングにより、需要先の使用量を充足
させていた際などにあって、さらに、その使用量が増大
したときには、当該負荷の増大を満足させ得なくなるこ
とで、混合ガス供給配管における混合ガスの圧力が低下
することになる。このため、それまではバックアップ混
合ガスの圧力よりも高圧であった混合ガスが、逆に低圧
化し、これにより自動的にバックアップ混合ガスが混合
ガスに替って需要先へ供給されることになる。

【００１８】

【実施例】本発明につき、太線で示す配管系と細線で示
す電気系を有している図１乃至図３によって、以下詳記
すると、図示例では３台の単位ガス混合器１ａ、１ｂ、
１ｃが並列に配設され、これらは何れも、需要側におけ
る通常の混合ガス使用量を賄うのに必要かつ充分な容量
をもった、比較的小容量のものであり、Ｏ₂ 、Ｎ₂等の
原料ガスＧ₁ 、Ｇ₂ が、原料供給配管２によって各単位
ガス混合器１ａ、１ｂ、１ｃに供給される。

【００１９】上記の単位ガス混合器１ａ、１ｂ、１ｃか
らは、夫々の単位送出管３ａ、３ｂ、３ｃが、これに設
けられた自動開閉弁４ａ、４ｂ、４ｃを介して、何れも
バッファタンク５に連結されている。このバッファタン
ク５から導出の混合ガス供給配管６には、図示の場合、
需要先と連結されるアウトレット６ａにむけて順次連結
部６ｂ、混合ガス流量計７が設けられており、この連結
部６ｂには、バックアップ混合ガス供給源８から導出の
バックアップ混合ガス供給配管８ａが連結されること
で、混合ガス供給配管６と連通状態になっている。

【００２０】ここで、上記の混合ガス流量計７は、混合
ガス供給配管６を流れる混合ガスＭＧの流量を測知し、
これにより得られた混合ガス流量値信号Ｓ₁ を、電気制
御系９に入力するよう入力ラインＩＬが結線されてお
り、さらに、当該電気制御系９の出力ラインＯＬ₁ 、Ｏ
Ｌ₂ 、ＯＬ₃ が、夫々前記の自動開閉弁４ａ、４ｂ、４
ｃを開閉作動可能なるよう結線されている。

【００２１】従って、図１の自動開閉弁４ａ、４ｂ、４
ｃには電磁式のものが用いられるが、図２の実施例では
電磁式のものを用いることなく、空圧式とか油圧式を採
択するようにし、別途電磁式開閉弁１０ａを、図示しな
い空気、酸素、窒素または油の供給源に連結の空圧また
は油圧用の作動配管１０ｂに介設し、この作動配管１０
ｂの端管部を、上記の自動開閉弁４ａに連結するよう構
成している。

【００２２】従って、当該実施例によるときは、電気制
御系９からの出力が、出力ラインＯＬ₁ を介して電磁式
開閉弁１０ａを開通状態とし、これにより空圧または油
圧が、作動配管１０ｂによって自動開閉弁４ａに作用
し、この結果、当該自動開閉弁４ａが開閉作動すること
になる。このように空気式または油圧式の自動開閉弁４
ａ、４ｂ、４ｃを用いるようにすれば、電磁式のものを
採択した際には、その開閉作動時に生じ得る引火の問題
を解消することができる。

【００２３】さらに、本発明にあっては前記の連結部６
ｂに関し、以下のような配慮がなされている。すなわ
ち、混合ガス供給配管６における混合ガスＭＧの圧力Ｐ
₁ が、例えば４ｋｇ／ｃｍ² Ｇに設定されたとすれば、
バックアップ混合ガス供給源８からバックアップ混合ガ
スＢＧが連結部６ｂから混合ガス供給配管６に送られて
くる圧力Ｐ₂ は、３．５ｋｇ／ｃｍ² Ｇにするといった
ように、予めＰ₁ ＞Ｐ₂となるよう当該両ガスＭＧ、Ｂ
Ｇの圧力に差圧を設定しておくのである。

【００２４】図１にあって、１１はバッファタンク５内
における混合ガスにつき、その圧力変化によって作動す
る圧力スイッチを示しており、当該圧力スイッチ１１か
らの圧力変動に伴う混合ガス圧力値信号Ｓ₂ が前記の電
気制御系９に入力され、これに基づき送信される電気制
御系９からの出力も、前同様にして出力ラインＯＬ₁、
ＯＬ₂ 、ＯＬ₃ を介して、自動開閉弁４ａ、４ｂ、４ｃ
へ供与されて、これらを夫々開閉作動させ得るようにし
てある。

【００２５】そこで、実際上原料ガスＧ₁ 、Ｇ₂ に夫々
Ｎ₂ 、Ｏ₂ を使用し、これらの単位ガス混合器１ａ、１
ｂ、１ｃに対する導入圧を６ｋｇ／ｃｍ² Ｇとして運転
した場合には、バッファタンク５における混合ガスの内
圧が、４．５ｋｇ／ｃｍ² Ｇまで降下したとき、これを
上記の圧力スイッチ１１により測知し、これにより、混
合ガス圧力値信号Ｓ₂ が電気制御系９に入力されると、
１台の単位ガス混合器１ａの自動開閉弁４ａが、電気制
御系９からの出力によって開通状態とする。

【００２６】この結果、バッファタンク５の内圧が上昇
して行き、５．０ｋｇ／ｃｍ² Ｇに達すると、これまた
圧力スイッチ１１による混合ガス圧力値信号Ｓ₂ に基づ
く電気制御系９からの出力により、単位ガス混合器１ａ
の稼動が停止されるようにし、次に、またバッファタン
ク５の内圧が前記のように低下したときには、単位ガス
混合器１ｂを運転状態とするといったサイクルにより、
２台、３台の単位ガス混合器を交替に運転するのがよ
く、これにより、需要側の混合ガス使用量が通常状態で
あれば、病院等への混合ガス搬送圧を４ｋｇ／ｃｍ² Ｇ
に保持（ＪＩＳ規格では３．５〜４．５ｋｇ／ｃｍ² Ｇ
内）することができる。

【００２７】上記の如き通常運転を行っている際、人工
空気などの使用量が増大し、遂に単位ガス混合器１台の
許容製造能力を超過したときには、以下のようにして、
それまで単位ガス混合器１ａのみで運転していたもの
を、これに単位ガス混合器１ｂを参入させ、２台による
パラレルランニングを行わせる。このため、本発明で
は、バッファタンク５の下流に設けた混合ガス流量計７
から、電気制御系９へ送られる混合ガス流量値信号Ｓ₁
によるか、バッファタンク５から電気制御系９へ入力さ
れる混合ガス圧力値信号Ｓ₂ の何れか一方または双方に
よって、当該使用量の増大か圧力降下の一方または双方
を検出するのであり、これにより、上記の各信号Ｓ₁ 、
Ｓ₂ が電気制御系９に入力されると、当該使用量または
圧力降下の程度に応じて、電気制御系９が単位ガス混合
器１ｂを、そして、さらに単位ガス混合器１ｃを夫々自
動開閉弁４ｂ、４ｃの開通作動により並列運転に参画さ
せることになる。

【００２８】上記のように、本発明にあって、混合ガス
流量計７による混合ガスの使用量を検知し、この検知結
果を電気制御系９によって所定の自動開閉弁にフィード
バックさせるようとする場合は、実際上最大流量が４０
０Ｌ／ＭＩＮに達したときの混合ガス流量値信号Ｓ₁ に
より、新規単位ガス混合器を参入させるようにした。ま
たバッファタンク５内の混合ガス圧力を検知し、その降
下に基づいて単位ガス混合器の稼動台数を追増させる際
には、下限圧力４．２ｋｇ／ｃｍ² にて圧力スイッチ１
１から混合ガス圧力値信号Ｓ₂ が送信されるようにし
た。そして、上記各信号Ｓ₁ 、Ｓ₂ の一方だけでなく、
これをＯＲ回路にて使用するのが望ましいが、もちろん
ＡＮＤ回路によって用いるようにしてもよい。

【００２９】すべての単位ガス混合器による並列運転を
行っても、さらに人工空気の使用量が増大して、需要を
満足させ得なくなったときは、前記の如く３．５ｋｇ／
ｃｍ² Ｇにて混合ガスＭＧの圧力と差圧をもたせて待機
させるようにしていたバックアップ混合ガス供給源８か
らのバックアップ混合ガスＢＧが、その自圧によって、
バックアップ混合ガス供給配管８ａより連結部６ｂを介
して、混合ガス供給配管６に流入することとなり、その
アウトレット６ａからＪＩＳ規格に適合した３．５ｋｇ
／ｃｍ² Ｇのバックアップ混合ガスＢＧを需要側へ供給
することができる。

【００３０】次に、請求項２にあっては、上記の混合ガ
ス流量計７と連結部６ｂとの間にあって、混合ガス供給
配管６に混合ガス側逆止弁１２ａを、そして、バックア
ップ混合ガス供給配管８ａにはバックアップ側逆止弁１
２ｂが夫々介設されている。従って、この場合には、混
合ガスＭＧが混合ガス供給配管６により需要側に供給さ
れている際、当該混合ガスＭＧがバックアップ混合ガス
ＢＧ側へ混入することを阻止すると共に、バックアップ
混合ガスＢＧが、混合ガスＭＧ側へ混入して来ることも
阻止されることとなり、異常事態の発生時におけるバッ
クアップ混合ガスＢＧの無瞬断な供給につき、その信頼
性を、さらに向上することができる。

【００３１】

【発明の効果】本発明は以上のようにして構成されるも
のであるから、請求項１によるときは、従来の大型化し
た１台のガス混合器に依存する従来例に比し、複数台の
小型化した単位ガス混合器を並列運転可能に設置したか
ら、１台の単位ガス混合器が故障しても、残余の単位ガ
ス混合器の稼動により、急場をしのぐことができる。

【００３２】さらに、需要例における混合ガスの使用量
が増大するようなことがあっても、複数台の単位ガス混
合器による並列運転を、混合ガスの流量検知またはバッ
ファタンクの混合ガス圧力検知、もしくは当該両検知結
果のフィードバックによって保証し、これにより高い信
頼性をもって、需要側への混合ガス供給を無瞬断で確保
することができる。

【００３３】しかも、全単位ガス混合器のパラレルラン
ニングによっても、需要を満足することができなくなっ
たような場合にあっても、自動式切替弁によって混合ガ
スとバックアップ混合ガスを切り替えるようにした従来
装置のように、長期不使用により作動しなくなる虞れの
ある切替弁を使用しないので、不使用が継続しても、そ
の作動につき高い信頼性を得ることができる。

【００３４】また、当該発明によるときは、混合ガス側
とバックアップ混合ガス側との連結部を、単なる連通構
成とし、かつ混合ガス圧力よりもバックアップ混合ガス
圧力を低くして、両着間に差圧を設定するようにしたか
ら、混合ガスの無瞬断供給装置の正常運転時は、混合ガ
スが優先的に需要者側へ供給され、需要の大幅な増大に
よる混合ガス圧力の低下により、混合ガスとバックアッ
プ混合ガスの供給切り替えが、無瞬断にしてタイムラグ
なく、しかも誤操作の生ずる余地なく、かつ、誤作動に
ついても高い信頼性をもって安全確実なバックアップ混
合ガスの供給を保証し得ることになる。

【００３５】請求項２にあっては、請求項１の構成に混
合ガス側逆止弁とバックアップ側逆止弁を付設したの
で、混合ガスとバックアップ混合ガスの不本意な相互間
における混入現象が阻止され、これにより、さらに高い
信頼性を与えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る混合ガスの無瞬断供給装置につ
き、その請求項１に係る一実施例を示した配管系と電気
系の全体構成図である。

【図２】同上装置に係る異種実施例を示した配管系と電
気系の部分構成図である。

【図３】同上装置につき、その請求項２に係る一実施例
を示した配管系と電気系の全体構成図である。

【図４】従来における混合ガスの無瞬断供給装置につ
き、その一例を示した配管系と電気系の全体構成図であ
る。

【符号の説明】

１ａ 単位ガス混合器 １ｂ 単位ガス混合器 １ｃ 単位ガス混合器 ３ａ 単位送出管 ３ｂ 単位送出管 ３ｃ 単位送出管 ４ａ 自動開閉弁 ４ｂ 自動開閉弁 ４ｃ 自動開閉弁 ５ バッファタンク ６ 混合ガス供給配管 ６ｂ 連結部 ７ 混合ガス流量計 ８ バックアップ混合ガス供給源 ８ａ バックアップ混合ガス供給配管 ９ 電気制御系 １２ａ 混合ガス側逆止弁 １２ｂ バックアップ側逆止弁 Ｇ₁ 原料ガス Ｇ₂ 原料ガス Ｓ₁ 混合ガス流量値信号 Ｓ₂ 混合ガス圧力値信号

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数種の原料ガスが供与される単位ガス
   混合器を、所要複数台だけ並列に配設し、これら各単位
   ガス混合器とバッファタンクとを連結した各単位送出管
   には、夫々の自動開閉弁を介接し、上記バッファタンク
   から導出の混合ガス供給配管には、混合ガス流量計を介
   接すると共に、バックアップ混合ガス供給源から導出さ
   れたバックアップ混合ガス供給配管が連結部にて連通状
   態にあり、かつ、上記バックアップ混合ガス供給配管内
   のバックアップ混合ガス圧力が、前記混合ガス供給配管
   内の混合ガス圧力よりも低く設定され、前記混合ガス流
   量計からの混合ガス流量値信号と、バッファタンクから
   の混合ガス圧力値信号の一方または双方を電気制御系に
   入力し、これに基づく夫々混合ガス流量の増加と、混合
   ガス圧力降下の一方または双方の程度に応じて当該電気
   制御系から送信される出力により、所要単位ガス混合器
   の自動開閉弁を開通することで、単位ガス混合器の並列
   運転台数が追増されるようにしたことを特徴とする混合
   ガスの無瞬断供給装置。
2. 【請求項２】 複数種の原料ガスが供与される単位ガス
   混合器を、所要複数台だけ並列に配設し、これら各単位
   ガス混合器とバッファタンクとを連結した各単位送出管
   には、夫々の自動開閉弁を介接し、上記バッファタンク
   から導出の混合ガス供給配管には、そのアウトレット側
   へ向け順次混合ガス流量計と混合ガス側逆止弁と連結部
   とが直列に介接されていると共に、この連結部にはバッ
   クアップ混合ガス供給源から導出されて、バックアップ
   側逆止弁の介接されたバックアップ混合ガス供給配管が
   連結状態にあり、かつ、上記バックアップ混合ガス供給
   配管内のバックアップ混合ガス圧力が、前記混合ガス供
   給配管内の混合ガス圧力よりも低く設定され、前記混合
   ガス流量計からの混合ガス流量値信号と、バッファタン
   クからの混合ガス圧力値信号の一方または双方を電気制
   御系に入力し、これに基づく夫々混合ガス流量の増加
   と、混合ガス圧力降下の一方または双方の程度に応じて
   当該電気制御系から送信される出力により、所要単位ガ
   ス混合器の自動開閉弁を開通することで、単位ガス混合
   器の並列運転台数が追増されるようにしたことを特徴と
   する混合ガスの無瞬断供給装置。