JPH08177580A - エンジンの流量制御装置 - Google Patents

エンジンの流量制御装置

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JPH08177580A
JPH08177580A JP6322429A JP32242994A JPH08177580A JP H08177580 A JPH08177580 A JP H08177580A JP 6322429 A JP6322429 A JP 6322429A JP 32242994 A JP32242994 A JP 32242994A JP H08177580 A JPH08177580 A JP H08177580A
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JP
Japan
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valve
egr
flow control
flow
control valve
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Application number
JP6322429A
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English (en)
Inventor
Masahiro Sato
正博 佐藤
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Hitachi Ltd
Hitachi Automotive Systems Engineering Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Automotive Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Car Engineering Co Ltd
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02DCONTROLLING COMBUSTION ENGINES
    • F02D41/00Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
    • F02D41/0025Controlling engines characterised by use of non-liquid fuels, pluralities of fuels, or non-fuel substances added to the combustible mixtures
    • F02D41/0047Controlling exhaust gas recirculation [EGR]
    • F02D41/005Controlling exhaust gas recirculation [EGR] according to engine operating conditions
    • F02D41/0055Special engine operating conditions, e.g. for regeneration of exhaust gas treatment apparatus
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02DCONTROLLING COMBUSTION ENGINES
    • F02D41/00Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
    • F02D41/22Safety or indicating devices for abnormal conditions
    • F02D41/221Safety or indicating devices for abnormal conditions relating to the failure of actuators or electrically driven elements
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y02TCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
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  • Electrical Control Of Air Or Fuel Supplied To Internal-Combustion Engine (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】EGR制御装置に異常が発生した時でも戻しバ
ネの力で確実に全閉状態に移行を可能にする。 【構成】流量制御弁を通過する流量を検出するセンサ、
スプリングが内蔵された同期式流量制御弁から構成さ
れ、前記流量制御弁の異常時において、制御弁駆動手段
に特殊駆動周波数信号を与え、バルブ閉弁方向に付勢し
たスプリング力により動作可能な流量制御弁を有する流
量制御装置。 【効果】流体制御用の制御弁異常が発生した時に、正確
に異常を検出でき、的確な動作で流量制御弁を閉弁する
ことができ、エンジンの運転性不調を回避することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、同期式流量制御弁を用
いた流量制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】エンジン制御に関する流量パラメ−タの
制御装置としては、アイドル回転数を一定に維持させる
ために吸気の補助空気量を制御するISC制御装置、吸
気管への排気ガス還流量を制御するEGR制御装置、キ
ャニスタパ−ジ量を制御するエバポ制御装置などがあ
る。
【0003】これら流量制御装置が故障した場合、アイ
ドル回転数の異常上昇、燃焼不安定によるサ−ジングの
発生、空燃比異常(オ−バ−リッチまたはオ−バ−リ−
ン)などによるエンジン不調が発生する。
【0004】特に近年の排気規制や燃費規制に対応する
ために、大量EGRや大量エバポパ−ジが行われてきて
おり、これら制御装置の故障は即エンジンスト−ルにつ
ながり、運転者に不快感を与えるばかりでなく、非常に
危険である。
【0005】従来より一般に、上記の様な故障発生時の
回避制御(フェ−ルセ−フ機能)を設け、故障を検知し
たとき例えばEGR ON−OFFバルブ(カット弁)
を用い制御系を全閉(例えばEGR通路を遮断)に制御
し、運転時の安全性を確保していることが知られてい
る。
【0006】制御装置に電磁弁を用いた場合(カット弁
を用いない場合)の回避制御従来技術は、2系統の流量
制御弁駆動回路(ステップモ−タEGRバルブに例える
とバイポ−ラ方式)を備え、制御弁が所定の推力を発生
しなくなり前記駆動回路による流量制御弁の制御が困難
になったことを検知すると、別系統の駆動回路に切り替
え、制御弁駆動に必要な所定推力を得ることで制御弁の
全閉制御を可能とする流量制御装置が考案されている。
この種の装置として関連するものには、例えば特開平4
−301170号が挙げられるが、上記駆動回路切り換
え方式は制御方法が複雑であり、コスト的にも高い。
【0007】上記カット弁の代用としては制御弁戻りバ
ネなどを取り付ける方法もあり、この例としては特開平
1−316581号が挙げられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の戻りバ
ネ方式は、制御装置が異常になった時のフェ−ルセ−フ
機能として、ネジの摩擦やバルブスラッジ(流量制御弁
のスティックに影響を与える体積物、汚れ)に打ち勝つ
強力な戻りバネを持たなければならず、制御弁制御時の
脱調問題や機構の複雑化(製造コストの増大)の問題が
有った。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明では、流量制御弁
に内蔵されているスプリング(戻しバネ)が組み込まれ
ており、前記流量制御装置が正常機能から逸脱した場
合、閉方向に制御弁を移行させるとときに、共振周波数
振動を与えることにより、上記問題点を解決する事がで
きる。
【0010】
【作用】本発明によれば、流体制御用の制御装置の異常
が発生した時に、制御弁の閉弁を阻害していたネジ機構
の摺動抵抗の影響を排除させることができ、的確な動作
で流量制御弁を閉弁することができ、エンジンの運転性
不調を回避することができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の一実施例となるエンジンの流
量制御について添付の図面を参照しながら詳細に説明す
る。
【0012】図1は本発明にステップモ−タ式EGRを
用いた排気ガス還流装置の制御方法概要の一例である。
【0013】コントロ−ルユニット40はエンジン回転
数や吸入空気量を各種センサ(エンジン状態検出手段)
50から取り込み、目標EGR量を目標EGR量演算手
段51により演算する。
【0014】ここでは、エンジン水温、スロットル開
度、エンジン回転数等を各種センサからの情報によりエ
ンジン、車両の運転状態や負荷状態を認識し、運転状態
や負荷状態に応じてEGRの導通(又は増量)、遮断
(又は減量)を制御する。
【0015】また、各種センサ(エンジン状態検出手
段)50にてコントロ−ルユニット40に取り込まれた
スロットル開度とエンジン回転数等及び吸気管圧力で実
際のEGR量を手段54にて推定し、この推定値と目標
EGR量演算手段51における目標EGR量との相関
で、目標EGR量演算手段51により演算された目標E
GR量に補正をかける。(ステップ53) 補正された目標EGR量は目標ステップ数変換手段55
により目標EGR量に相当する目標ステップ数に変換す
る。
【0016】更に、目標ステップ数に応じてEGRバル
ブ41を制御するために駆動出力周期、駆動出力パター
ンを設定するステップモ−タ駆動パルス出力手段57及
びトランジスタ等の駆動段で構成されたバルブ駆動手段
61により、所定の励磁パタ−ンに沿って出力信号が出
力される。
【0017】以上が、基本的な排気ガス還流装置の制御
方法の一例であり、次に本排気ガス還流装置の異常判定
時制御方法について述べる。
【0018】各種センサ(エンジン状態検出手段)50
からの情報は、ステップ56に取り込まれる。ステップ
56はバルブにより制御されているEGR流量に関連す
る流量パラメータ(例えば温度、圧力)はステップ56
−aで算出され、バルブ異常検出手段56−bにて所定
のしきい値と比較され、バルブの異常を検出する。
【0019】一方、EGRバルブのコイル断線やノイズ
混入等の電気的な異常判別は、EGRバルブへの出力信
号(制御量を検出するバルブリフト量も含む)をバルブ
状態検出手段100にて検出し、コントロ−ルユニット
40に入力し、結線状態や動作状態が所定の状態、動作
パターンであるか否かをバルブ異常検出手段56−bで
検出する。
【0020】上記検出結果はステップ55と57との間
にあるバルブ状態切り替え手段59により、正常である
場合には、目標ステップ数変換手段55で変換された目
標ステップ数がそのままステップモ−タ駆動パルス出力
手段57、バルブ駆動手段61へ出力されEGRバルブ
41は通常駆動される。
【0021】一方、判定結果が異常である場合には、切
り替え手段59によりステップ60に切り替えられる。
この異常時パルス出力手段60では、目標ステップ数変
換手段55により変換された目標ステップ数には関係無
く、目標ステップ数を0又はそれに近い値(すなわち全
閉)に強制的な再設定を行い、EGRバルブ41を閉弁
駆動させると共に特殊周波数(共振周波数)を混在さ
せ、摺動抵抗を低下させつつEGRバルブを全閉に導
く。その詳細については後述する。
【0022】図2は本発明に使用される排気ガス還流装
置の制御システムに関する全体構成の一例を示す。
【0023】吸入空気と燃料の混合気は吸気管44を通
り、シリンダ47内で燃焼し排気管45へ排気ガスとな
って排出される。この際、排気ガスの一部は流量制御弁
であるEGRバルブ41を通り吸気管44へ還流され、
前記排出ガスに含まれるNOxの低減、或いは、エンジ
ン46の燃料消費率向上などの効果をもたらす。
【0024】ここで、EGRバルブ41の制御量はエン
ジン46の運転状態を表すパラメ−タであるエンジン回
転数、エンジン水温、吸入空気量、スロットル開度等の
情報をコントロ−ルユニット40に取り込みエンジン4
6の運転状態に対応した制御量を演算し、EGRバルブ
41に出力信号を送信する。
【0025】排気ガスの還流量(すなわちEGR量)
は、吸気管44に取り付けられたブ−スト圧センサ(吸
気管内圧センサ)43、または、EGR配管48に取り
付けられた温度センサ42a、流量センサ42b等によ
って検知することが可能となる。 EGRバルブの電気
的結線状態は、コントロ−ルユニット40からEGRバ
ルブに出力する出力信号の結線異常(断線、短絡、ノイ
ズ混入等)を監視する。
【0026】図3は排気ガス還流装置における流量制御
弁の一例であるステップモ−タ式EGRバルブを示す。
【0027】ステップモ−タ10は、ボビン11に巻か
れたコイル12a、12b及びボビン11の外周に形成
される歯部13a、13bによりステ−タ部14を構成
し、マグネットホルダ15及びマグネットホルダ15の
外周に固定されたマグネット17と2組のベアリング1
8a、18b、マグネットホルダ15内部に形成された
めねじ16によってロ−タ部19を構成する。ステ−タ
部14は、冷却水の循環が可能なように設けられた冷却
水循環パイプ24を有する軸受ハウジング23にモ−タ
結合ねじ25により結合される。マグネットホルダ15
上部に結合されたベアリング18aはベアリング予圧ば
ね20により予圧され、下部のベアリング18bは、軸
受ハウジング23により保持される。ロ−タ部19の回
転運動を出力軸21の直線運動に変換するためにマグネ
ットホルダ15の内部にめねじ16、出力軸21には、
おねじ22が形成される。出力軸21は、軸受ハウジン
グ23に結合され、出力軸21の回転を抑制するよう貫
通面が半月形となった軸ブッシュ26を貫通する。弁軸
36の一方は軸継ぎ手30により出力軸21に連結さ
れ、一方はガスシ−ル33、空気の通過を許容するよう
に空間35を有するモ−タホルダ34を貫通し弁座2を
開閉可能なバルブ1に結合されスプリング31a、31
bによりバルブ閉弁方向に力が作用する。弁座2を有し
流路を形成するボディ3は、軸受ハウジング23に結合
されたモ−タホルダ34にボディ結合ねじ5により結合
される。
【0028】コイル12a、12bに電気パルス信号を
励磁することによりマグネット17が誘導回転しロ−タ
部19が回転することになる。この回転はおねじ22
と、めねじ16によって出力軸21の直線運動に変換さ
れ軸継ぎ手30を介し弁軸36の直線運動となり弁軸3
6に固定されたバルブ1の直線運動に変換されバルブ1
と弁座2の空間により循環通路6を通過する排気ガスの
流量が制御される。
【0029】ここでバルブ1の閉弁方向に作用するスプ
リング31a、31bは、コイル12に電気パルス信号
を励磁することにより発生する推力がない状態で全閉可
能な荷重に設定すると、コイルの反力等により前記スプ
リング荷重を強くしなければならず、バルブ駆動時の前
記スプリング荷重に対する前記コイル推力の余裕代が狭
くなる(不足する)ので、流量制御装置が正常時に於い
ても雰囲気温度、振動等の外乱によって、所定のバルブ
目標制御量から実制御量が逸脱しやすい。また流量制御
弁駆動周波数を上げても同様に逸脱しやすくなり、前記
コイル推力無しで全閉となるスプリング荷重に設定でき
なくなる。(脱調発生回避の為にはスプリング力を小さ
くするしか現状致し方ないが、バルブ異常時にスプリン
グ力だけでバルブを全閉にすることができなくなり、バ
ルブ故障時の安全性を考慮すると最善の方法とは言えな
い。) 図4、図5はそれぞれステップモ−タ式EGRバルブの
ユニポ−ラ駆動に於ける結線状態と励磁パタ−ンを示
す。
【0030】図4において端子、はバッテリ(駆動
電源)に接続されており、端子、、、の電位を
コントロ−ルユニット40内のバルブ駆動手段61でア
−ス短絡することにより、図5の様な励磁パタ−ンを発
生可能とし、励磁パターンを切り換えることにより、ロ
ーター部19を回転させネジ変換にて制御バルブを上下
方向(開閉方向)に駆動する。
【0031】次に、EGR還流系統が通常の機能から逸
脱した場合、すなわちバルブのスティック、コイル断
線、系の詰まりや漏れ等の場合のバルブ閉方向駆動時に
かかる力の釣合を図6を用いて説明する。
【0032】図6において、立て軸にはバルブを閉弁せ
しめる力(バルブ閉弁力)と、バルブを閉弁させるとき
の抵抗力(バルブ閉弁抵抗)を示す。エンジンオフライ
ン時(新車状態)では、バルブ閉弁力は戻しバネによる
閉弁力Sとコイル励磁による閉弁力Pの和により、初期
バルブ閉弁抵抗R1を上回り充分にバルブの閉弁動作を
可能にする。但し、Sはステップモーターの脱調を考慮
するとあまり強力にはできない。
【0033】一方、長期間の使用状態ではバルブシャフ
トの軸受けの摩耗やローターの回転を軸方向に変換する
ネジ部の摺動抵抗の増加等により、バルブ閉弁抵抗はR
2へと増加してしまい、バルブ閉弁力とのクリアランス
(余裕代)が減少し、ついにはR2がP+Sを超過して
しまうことになりバルブ閉弁駆動が困難になる。(図6
ではR3であるが、実際にはこの様にならない。) また、閉弁抵抗がR2の状態であっても、バルブに異常
が発生した場合、すなわちコイルの劣化による駆動力低
下やコイルの何れかの相の断線等の時には必要な閉弁力
を維持できなくなり、コイル励磁による閉弁力はPから
P’に低下してしまいバルブを閉弁駆動できなくなる。
(戻しバネの劣化も若干ある。) 今回の発明では、バルブ閉弁抵抗の大半が機構的な要因
(ネジの摺動抵抗、シャフト軸受けの抵抗等)であるこ
とに着目し、共振周波数(バルブ固有の固有振動モー
ド)で駆動することによりバルブを一次的に共振させ上
記機構的要因による閉弁抵抗を排除(ネジ部のバックラ
ッシュを振動させることにより拡大し、摺動抵抗を低
減)し、図6のR2からR4に引き下げることでEGR
系の異常時でも戻しバネの力で確実に全閉状態に移行可
能にすることを目的とする。
【0034】図7は上記共振駆動を用いた閉弁駆動方法
を示すフローチャート(図1のステップ60の一実施
例)であり、図8はその時のタイムチャートである。
【0035】図7についてまず説明する。ステップ56
で異常判定された場合、駆動方向設定手段70にて閉弁
方向駆動に切り換える。この時のパルス出力の出力周期
(周波数)は通常のパルス周期であり、駆動力を確保と
安全性を考慮した速やかな閉弁を確保し、タイマ計測手
段71にて時間Tを計測し、T経過後に次のステップ7
2へ移行する。
【0036】センサ出力の取り込み手段72ではバルブ
の閉弁状態(開度情報)を検知するためのもので、バル
ブのリフトセンサやEGR還流通路に取り付けられた温
度センサ、圧力センサ、流量センサ等を用いる。
【0037】ステップ73にて全閉状態を検知した場合
は、本フローを終了するが、全閉状態に移行しきれてい
ない場合はステップ74に移行し、パルス出力周期を共
振周波数相当に設定し、閉弁駆動を行なう。タイマ計測
手段75で共振駆動時間Eを計測し、E経過するまで共
振周波数にて閉弁駆動する。
【0038】再びステップ70に移行し、前記駆動を行
い、全閉状態に移行するまで本フローを繰り返す。(ス
テップ75とステップ70の間にステップ72、ステッ
プ73の全閉判定を更に実行させても良い。)全閉状態
は流量パラメータやバルブリフト量から容易に判定でき
る。
【0039】図8は、上記図7の動作を示しており、時
間t1からt2間、t3からt4間、t5からt6が通
常パルス周波数で駆動する計測時間Tの区間、時間t2
からt3間、t4からt5間が共振周波数で駆動する計
測時間Eの区間である。バルブ位置のK部はバルブのネ
ジやシャフト摺動抵抗等によりバルブがひっかかりを起
こした状態であり、図7のフローを繰り返してバルブを
全閉状態に戻していく。
【0040】また、図7においてステップ70の代替え
として無励磁状態にして、戻しバネだけで閉弁させても
良く、ステップ72、73の全閉状態検出を生産コスト
低減の為に削除し、図7のフローチャートを設定回数だ
け繰り返させても良い。
【0041】図9、図10、11は図2における異常判
定手段56の一例を示す。
【0042】まず図9から説明する。ステップ80では
図2のバルブ駆動手段61からの出力が実際にバルブに
正確に印加されているかどうかを見るために、ステップ
モータの各コイルの印加電圧(パルス)をバルブ駆動手
段61の出力タイミングで取り込む。次のステップ81
でバルブ駆動手段61の出力タイミングと同期している
か(または電位のハイ、ローが合致しているか)を判定
する。
【0043】同期していればステップ82を通過して正
常と判定する。(ステップ56中の正常判定手段84) ステップ82で同期していないと判定されると、ステッ
プ56中の異常判定手段83にて異常判定が行われる。
【0044】図10も同様にバルブ異常を検知するため
のフローであるが、図10は図9に対しバルブシャフト
部またはローター部に移動量(リフト量)センサーを取
り付け、エンジンの運転領域毎に予め設定された(また
は演算され割り出された)目標バルブリフト量と実リフ
ト量との比較により異常検出するものである。
【0045】なお、戻しバネを備えたバルブの異常の検
知は、異常時に駆動力が低下するので戻しバネに相反す
る開弁方向で行なうとより顕著に検知可能になる。
【0046】図11はEGR還流経路の詰まりや漏れな
どの異常を検地するものであり、各運転状態(領域)毎
にEGRガスが流れているかを検知(診断)するもので
ある。
【0047】運転状態(領域)は図2のステップ53に
より行われ、それと同時に該当領域がEGRガス還流領
域(EGRガスを還流させる領域)かどうかをステップ
90にて判定する。
【0048】ステップ91は、EGRの流量、温度、圧
力等のセンサからの出力を取り込む手段であり、該当領
域内での上記センサに対応し予めメモリ内に設定されて
いる値をステップ92で読みだし、ステップ93にて両
者を比較(例えば差を算出)する。ステップ94で上記
相関値(差分)が予め設定されている所定値以内であれ
ばEGR系は正常(ステップ56中のステップ84)、
ステップ94で上記相関値(差分)が所定値以外であれ
ばEGR系は異常(ステップ56中のステップ83)と
し、EGR系の判定を行なう 以上述べた手法を用い、EGR系の異常を検知した場合
には、正確にバルブを閉弁駆動でき、エンジン(車両)
の安全性を確保することができる。
【0049】また、本発明は異常警報装置(ブザー、警
告灯、コントロールユニット外部との通信等)とを併用
してもかまわない。
【0050】なお、以上述べた本実施例は、EGR制御
のみならず、ISC制御やエバポ制御等への応用も可能
である。
【0051】
【発明の効果】本発明によれば、流量制御弁にスプリン
グ(戻しバネ)を組み込み、前記流量制御装置が正常機
能から逸脱した場合には閉方向に制御弁に移行させると
共に、共振周波数振動を与えることにより、制御弁の閉
弁を阻害していたネジ機構の摺動抵抗の影響を排除させ
ることができ、的確な動作で流量制御弁を閉弁すること
ができ、流量制御装置異常時におけるエンジンの運転性
不調を回避し、高い安全性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の排気ガス還流装置の制御方法概要の一
例。
【図2】本発明の排気ガス還流装置の制御システムに関
する全体構成の一例。
【図3】排気ガス還流装置における流量制御弁の一例で
あるステップモ−タ式EGRバルブを示す図。
【図4】ステップモ−タ式EGRバルブの結線図。
【図5】ステップモ−タ式EGRバルブの励磁パタ−
ン。
【図6】バルブ閉弁力とバルブ閉弁抵抗の関係を示す
図。
【図7】共振駆動を用いた閉弁駆動方法を示すフローチ
ャートの一例。
【図8】図7のフローチャートを実行したときのタイム
チャート。
【図9】図1における異常判定手段のフロ−の一例。
【図10】図1における異常判定手段のフロ−の一例。
【図11】図1における異常判定手段のフロ−の一例。
【符号の説明】
1・・バルブ 3・・ボディ 10・・ステップモ−タ 12a、12b・・コイル 14・・ステ−タ部 16・・めねじ 17・・マグネット 19・・ロ−タ部 22・・おねじ 31a、31b・・スプリング 36・・弁軸 40・・コントロ−ルユニット 41・・EGRバルブ 42a・・温度センサ 42b・・流量センサ 43・・ブ−スト圧センサ 44・・吸気管 45・・排気管 46・・エンジン 47・・シリンダ 48・・EGR配管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 F02M 25/07 580 F F16K 31/04 A

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】エンジンの運転パラメ−タに応じてエンジ
    ン制御にかかわる流体の制御パラメ−タを演算する弁開
    度演算手段、前記弁開度演算手段の制御パラメ−タに応
    じた出力信号により制御量の調整を行う同期式流量制御
    弁から構成されるエンジンの流量制御装置に於いて、前
    記流量制御弁を閉弁方向に移行させる時に前記流量制御
    弁に共振周波数振動を付加する手段を有することを特徴
    とする流量制御装置。
  2. 【請求項2】請求項1の流量制御装置において、前記流
    量制御弁を閉方向に移行させる時に前記共振周波数振動
    に、通常の制御周波数振動を混在させて付加させたこと
    を特徴とする流量制御装置。
  3. 【請求項3】請求項1および2の流量制御装置は、前記
    流量制御弁の開閉状態検出手段として、流体温度、流体
    圧力、流体流量の内少なくとも何れか1つに対して設定
    された所定の値と実際の測定値を比較することにより、
    流量制御装置が正常機能から逸脱したことを検出するも
    のであることを特徴とする流体制御装置。
  4. 【請求項4】請求項1の流量制御弁において、前記流量
    制御装置の異常を検出する検出手段を有し、異常検出時
    に、前記流量制御弁に閉方向に移行させる弁駆動方向設
    定手段と、前記弁駆動を所定期間実施するための所定期
    間計測手段とを有すると共に、前記流量制御弁は所定期
    間の間、流量制御弁の共振周波数振動を付加され、全閉
    状態もしくは所定の閉状態まで、前記共振周波数振動付
    加が繰り返されることを特徴とする流体制御装置。
  5. 【請求項5】エンジンの運転パラメータに応じてエンジ
    ン制御にかかわる流体の制御パラメータをえんざんする
    弁開度演算手段の制御パラメータに応じた出力信号によ
    り制御量の調整を行なう同期式流量制御弁から構成され
    るエンジンの流量制御装置において、流量制御弁の閉弁
    に対する摺動抵抗を低下させる振動を前記流量制御弁に
    付加させる手段を有することを特徴とする流体制御装
    置。
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