JPH08176602A - ペースト用パラジウム粉末の製造方法 - Google Patents

ペースト用パラジウム粉末の製造方法

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JPH08176602A
JPH08176602A JP6325707A JP32570794A JPH08176602A JP H08176602 A JPH08176602 A JP H08176602A JP 6325707 A JP6325707 A JP 6325707A JP 32570794 A JP32570794 A JP 32570794A JP H08176602 A JPH08176602 A JP H08176602A
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Naoki Ishiyama
直希 石山
Isao Takada
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 積層コンデンサー作成時のパラジウムの
酸化に伴って発生する体積変化が少ない、Pdペースト
原料として好適なPd粉末の製造方法の提供を目的とす
る。 【構成】 粒径0.1〜1μm程度のPd粉末と、
アルカリ金属あるいはアルカリ土類金属の酸易溶性塩
と、有機溶媒とを混練し、次いで有機溶媒を揮発除去
し、得られたPd粉末と酸易溶化合物との混合物を30
0℃以上で加熱処理し、次いで放冷し、酸で前記化合物
を溶解し、Pd粉末を回収する。このようにして得られ
たPd粉末は、結晶子径が大きく耐酸化特性に優れると
いう特徴があるため、この粉末をMLCC内部電極用銀
ペーストとして用いた場合にMLCCの最大の欠陥であ
る内部Pd電極と誘電体層の界面で生じるデラミネーシ
ョンを防止する効果が期待出来る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、パラジウム(Pd)粉
末を用いた導電ペースト、特に積層セラミックコンデン
サー(以下MLCCと記す)の内部電極形成に用いられ
るPdペースト用のPd粉末の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】電子部品の軽薄短小化が進み、チップ部
品であるMLCCも小型化、大容量化の進歩がますます
要求されている。MLCCの小型化と大容量化のもっと
も効果的な手段は内部電極と誘電体層を薄くして多層化
をはかることである。
【0003】MLCCは通常次のようにして作成され
る。
【0004】まず、チタン酸バリウム(BaTiO3
等で代表される誘電体粉末とポリビニルブチラール等の
有機バインダーからなる誘電体グリーンシートを作成す
る。次にPdペーストをスクリーン印刷法などを用いて
グリーンシートの表面に印刷して内部電極を作成する。
これを乾燥した後内部電極とグリーンシートとが交互に
重なるように積層し、熱圧着し、次いで所望の大きさに
切断し、約1300℃で焼成してバインダーの除去と、
内部電極と誘電体との焼結を行う。そして、銀(Ag)
等の外部電極を形成する。
【0005】ここで用いられるPdペーストは、電極形
成成分としてのPd粉末と、セルロース系樹脂やアクリ
ル系樹脂、溶剤としてトリメチルベンゼン、ターピネオ
ール等の有機バインダー成分からなり、スリーロールミ
ルによって混練し混合分散して製造される。
【0006】このPd粉末は種々の製造方法が知られて
いる。中でも、Pd水溶液にヒドラジン等の還元剤を作
用させてPd粉末を析出させる湿式還元法はコスト、反
応装置の簡便さから広く用いられている。例えば、特開
平3−277706にはテトラアンミンパラジウム塩水
溶液とヒドラジン化合物水溶液との組み合わせが、特開
平1−225708には硝酸パラジウム水溶液とL−ア
スコルビン酸塩類水溶液との組み合わせが開示されてい
る。
【0007】ところで、これらの方法で作られたPd粉
末を用い、定速昇温で室温から1000℃まで熱重量測
定(TG−DTA)を行うと、焼成過程で約300℃以
上でPdOが生成し始め、約700℃でほぼ100%P
dOに相変化し、約820℃以上で再びPd相に戻るこ
とが確認できる。また空気中500℃の定温下における
時間当たりのの酸化率変化をTG測定した結果による
と、Pd粉末は酸化が時間とともに急激に進行すること
が確認されている。これは、Pdは熱力学的に大気中約
820℃以下ではPdOが安定相であり、約820℃以
上ではPdが安定相であるために起きる現象といわれて
いる。
【0008】このため、このようなPd粉を用いたPd
ペーストでは酸化に対し敏感なために、MLCC製造焼
成過程でPd粉末の酸化と還元により、線膨張と急激な
収縮とを起こす。そして、線膨張は理論的には、820
℃近くで15%に及ぶ。
【0009】このようなPdの酸化還元による急激な体
積変化、並びにPdペーストのバインダー成分である高
分子樹脂の燃焼による急激な発熱が内部Pd電極と誘電
体層の界面で起こることが原因となって熱膨張差による
応力を引き起こし、界面で剥離、ふくれ、それによるク
ラックが生じるものと考えられている。これらの欠陥は
デラミネーションと呼ばれ、特に多層のMLCCを製造
するに当たって大きな問題となっている。
【0010】一般に結晶子が大きくなると耐酸化性が向
上することが知られている。したがってPd粉末がML
CC内部電極用材料として結晶子が大きなPd粉がPd
ペースト用として強く要請されている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を解決するためになされたものであり、焼成に伴なって
おこる酸化が少ない、Pdペースト原料として好適なP
d粉末の製造方法の提供を課題とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記Pd粉末
を得るための製造方法として、300℃以上の熱処理を
加えた後も酸に可溶である化合物とPd粉を混合し,こ
の混合物を熱処理しした後,酸によってPd以外の成分
を溶解させPd粉末だけを分別回収する事により耐酸化
性に優れたPd粉末を合成する.具体的には、粒径0.
1〜1μm程度のPd粉末と、酸易溶化合物と、有機溶
媒とを混練し、次いで有機溶媒を揮発除去し、得られた
Pd粉末と酸易溶化合物との混合物を300℃以上で加
熱処理し、次いで放冷し、酸で前記化合物を溶解し、P
d粉末を回収するものである。そして、好ましくは、酸
易溶性化合物として酸化ナトリウム、水酸化ナトリウ
ム、酸化カルシウム、炭酸ナトリウム、炭酸バリウム、
炭酸ストロンチウム、酢酸カルシウム、硝酸カルシウ
ム、塩化ナトリウム、塩化マグネシウム等のアルカリ金
属あるいはアルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、無機
塩、有機塩等を用い、これらをPd粉末と重量比で等量
以上加え、有機溶媒としてエチルアルコール等の低級ア
ルコールやペースト用の溶媒、例えばαテルピネオール
などを用いるものである。
【0013】
【作用】以下に本発明について具体的に説明する。
【0014】本発明において処理対象とするPd粉末は
特に限定しないが、積層コンデンサの内部電極層の厚み
が1〜3μm程度である事を考慮すると粒径0.1〜1
μm程度のPd粉末とすることが望ましい。本発明の方
法では、このPd粉末に酸易溶化合物と有機溶媒とを混
練し、次いで有機溶媒を揮発除去し、得られた混合物を
300℃以上で加熱処理し、次いで放冷し、酸で前記化
合物を溶解し、Pd粉末を回収するが、このようにする
ことによりPd粉末粒子の格子不整などの欠陥が減少
し、結晶性が改善できるからである。
【0015】本発明で用いることのできる酸易溶性化合
物は、300℃以上の熱処理を受けた後でも酸に可溶で
なければならない。この条件に当てはまる化合物として
は、アルカリ金属あるいはアルカリ土類金属の酸化物、
水酸化物、無機塩、有機塩等が挙げられる。具体的に
は、酸化ナトリウム、水酸化ナトリウム、酸化カルシウ
ム、炭酸ナトリウム、炭酸バリウム、炭酸ストロンチウ
ム、酢酸カルシウム、硝酸カルシウム、塩化ナトリウ
ム、塩化マグネシウム等である。これらの化合物とPd
粉末との混合比は熱処理時の燒結防止が可能であればよ
く、この目的が達成できる量であれば良い。好ましくは
重量で1:1以上とすることが望ましい。
【0016】また、使用可能な有機溶媒としては、エチ
ルアルコール等の低級アルコールやペースト用の溶媒、
例えばαテルピネオールなどである。Pd粉末とこれら
化合物との混合・混練にはボールミル、らいかい機、V
字型ブレンダー、3本ロールミル等が使用可能である。
【0017】熱処理に際しては、あらかじめ有機溶媒を
除去しておく。急激な加熱による突沸などを防止するた
めである。また、熱処理時にはPdが酸化しないように
酸素分圧を低くすることが望ましい。熱処理温度は少な
くとも300℃以上にすることが必要であり、300℃
以下の温度で熱処理しても耐酸化性向上が殆ど期待出来
ない。本発明の方法では、基本的に300℃以上になっ
たという熱履歴が重要であり、加熱時間の影響はさほど
受けない。
【0018】熱処理後に混合物を溶解するための酸はP
dを溶解しないものであればよく、塩酸が好適である。
溶解方法は特にこだわらず、酸溶液中に熱処理後の混合
物を投入することがもっとも簡便である。溶解後、固液
分離し、乾燥してPd粉のみを得る。
【0019】
【実施例】次に本発明の実施例について述べる。
【0020】(実施例1) (Pd粉末の製造)住友金属鉱山株式会社製Pd粉(製
品名 SFP−801P、平均粒径0.8μm)30g
と、関東化学株式会社製炭酸カルシウム粉末(試薬特
級)30gと、さらに溶媒としてαテルピネオール10
gを加え時計皿中でよく混練しペースト状にした。さら
にこのペースト状混合物を3本ロールミルにて混練し、
Pdペーストを得た。このPdペーストをガラス製ビー
カに移し、真空乾燥器中で約12時間乾燥させ溶媒を揮発
させ、Pd粉末と炭酸カルシウム粉末の混合物を得た。
【0021】次に、この混合物を磁器製坩堝に入れ、雰
囲気調整が可能な電気炉にいれた。電気炉内を真空にし
た後、電気炉内に窒素ガスを導入し、表1に示した条件
で熱処理を行った。なお、炉内の酸素分圧はジルコニア
センサーで計測した。
【0022】熱処理後炉内より混合物を取り出し、この
混合物を500mlの10%塩酸溶液中に投入し、混合
物中のCaOを溶解した。投入後30分間撹拌し、ろ過
し、Pd粉を分離回収した。回収したPd粉を再び50
0mlの10%塩酸溶液中に投入し、ろ過し500ml
の蒸留水で3回リパルプ洗浄し、次いで純水で3回の掛
け水洗浄し、80℃の熱風乾燥を行ないPd粉末を得
た。
【0023】(Pd粉末の評価)得られたPd粉末より
ランダムに50個の粒子を選択し、走査型電子顕微鏡に
より粒子径を測定した。そして、平均を求め、これをP
d粉末の平均粒径とした。
【0024】また。残留カルシウムはICP分析法で測
定した。
【0025】Pd粉末の酸化特性は熱重量分析装置(T
G−DTA)により最大酸化重量増加量(W(%))で
評価した。最大酸化重量増加量(%)は次式に従った。
【0026】 W(%)=(Woxd−Wint)×100/Wint ここにおいて、Wは最大酸化重量増加量であり、Woxd
は測定中に測定された最大重量、Wintは測定前の重量
である。そして、測定条件は、試料量 20mg、昇温
速度 20℃/min、測定温度範囲 25℃から125
0℃、空気流量 100ml/minである。
【0027】なお、パラジウムの最大重量増加量は理論
的には15%である。
【0028】結晶子径の測定は粉末X線回折装置(理学
電機株式会社製 RAD−rVD)を使用し、Cuター
ゲットとDS(発散スリット)1deg.、RS(受光
スリット)0.3mm、SS(散乱スリット)1de
g.のスリットを使用し、電圧40kV、150mA、
スキャンスピード2deg./min.で測定した。測
定面はPd(111)ピークを測定し、コンピュータソ
フト(RAD−Bシステムアプリケーションソフト K
α1,Kα2のピーク分離プログラム)により分離した
Kα1プロファイルを用いてScherrer法により
結晶子径を算出した。なお、Scherrerの式 R=
0.9・λ/(B・cosθ)ノおけるBはB2=Bm2−Bs2を
採用し、Rは結晶子径、λはX線の波長、θは回折角、
Bmは測定したピークの半値幅、Bsは標準試料により
あらかじめ求めた光学系による拡がりである。標準試料
には粒径約0.25μmのαー石英を約800℃でアニ
ールしたものを使用した。なおこの方法は結晶子径が1
000オンク゛ストローム以上になると誤差が大きく正確な値は
求められない。
【0029】得られた結果を表1に併せて記載した。比
較のために未処理品である住友金属鉱山株式会社製SF
P−801P、SFP−501Pの値も記載した。この
表1からも分かるように残留カルシウムはほとんど認め
られず、結晶子径もいずれも900オンク゛ストローム以上であ
り最大酸化率も未処理品に比較し40%近く減少してい
ることが分かる。
【0030】 (実施例2)Pd粉末(SFP-801P)30gと炭酸カルシウ
ム(関東化学製 試薬特級),炭酸ストロンチウム(関東
化学製 試薬特級)、炭酸バリウム(関東化学 試薬特
級)とエチルアルコール100gを表2の配合に従いミキ
サーに投入し30分混合し混合スラリー作製した。この
スラリーを容器に移し真空乾燥器で80℃で一時間乾燥
させPd粉末と炭酸塩の混合体を得た。この混合物を表
2に記載した温度条件で熱処理を行い、実施例1と同様
な条件で洗浄を行いPd粉末を得た。
【0031】得られたPd粉末を実施例1と同様にして
粒子径とアルカリ土類金属含有量と最大酸化重量増加量
を求めた。アルカリ土類金属含有量はいずれも<0.0
5%であり、粒径はNo15が1.1μmであったのみ
で、他はいずれも0.8μmであった。得られた結果を
表2に併せ示した。
【0032】 表2より、本実施例によるPd粉も結晶性が極めて高
く、結晶子径は800オンク゛ストローム以上であり、最大酸化
量も9%以下できわめて優れた耐酸化性を示すことが分
かる。
【0033】
【発明の効果】以上の結果から、本発明によって得られ
たPd粉末は、結晶子径が大きく耐酸化特性に優れると
いう特徴があるために、この粉末をMLCC内部電極用
銀ペーストとして用いた場合にMLCCの最大の欠陥で
ある内部Pd電極と誘電体層の界面で生じるデラミネー
ションを防止する効果が期待出来る。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 粒径0.1〜1μm程度のPd粉末
    と、酸易溶化合物と、有機溶媒とを混練し、次いで有機
    溶媒を揮発除去し、得られたPd粉末と酸易溶化合物と
    の混合物を300℃以上で加熱処理し、次いで放冷し、
    酸で前記化合物を溶解し、Pd粉末を回収することを特
    徴とするペースト用パラジウム粉末の製造方法。
  2. 【請求項2】 酸易溶化合物としてアルカリ金属ある
    いはアルカリ土類金属の酸化物、水酸化物、無機塩、有
    機塩のなかの少なくとも1種を用い、有機溶媒として低
    級アルコール、テルピネオールの少なくとも1種を用い
    ることを特徴とする請求項1記載の製造方法。
  3. 【請求項3】 酸易溶性化合物が酸化ナトリウム、水
    酸化ナトリウム、酸化カルシウム、炭酸ナトリウム、炭
    酸バリウム、炭酸ストロンチウム、酢酸カルシウム、硝
    酸カルシウム、塩化ナトリウム、塩化マグネシウムの内
    の少なくとも1種であり、これらをPd粉末に、重量比
    でPd粉末の等量以上加えることを特徴とする請求項1
    または2記載の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001060531A (ja) * 1999-08-20 2001-03-06 Tdk Corp 積層セラミック電子部品の製造方法
KR20170045202A (ko) * 2014-08-19 2017-04-26 헤레우스 도이칠란트 게엠베하 운트 코. 카게 활성 팔라듐(0) 분말을 제조하기 위한 방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001060531A (ja) * 1999-08-20 2001-03-06 Tdk Corp 積層セラミック電子部品の製造方法
JP4513932B2 (ja) * 1999-08-20 2010-07-28 Tdk株式会社 積層セラミック電子部品の製造方法
KR20170045202A (ko) * 2014-08-19 2017-04-26 헤레우스 도이칠란트 게엠베하 운트 코. 카게 활성 팔라듐(0) 분말을 제조하기 위한 방법
JP2017532435A (ja) * 2014-08-19 2017-11-02 ヘレウス ドイチェラント ゲーエムベーハー ウント カンパニー カーゲー 活性パラジウム(0)粉末の製造方法

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