JPH08160069A - 加速度センサー - Google Patents
加速度センサーInfo
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- JPH08160069A JPH08160069A JP32147694A JP32147694A JPH08160069A JP H08160069 A JPH08160069 A JP H08160069A JP 32147694 A JP32147694 A JP 32147694A JP 32147694 A JP32147694 A JP 32147694A JP H08160069 A JPH08160069 A JP H08160069A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 小形の圧電要素を用いた場合でも、高い感度
が得られ、しかも一定の特性を有する加速度センサーを
得る。 【構成】 加速度センサーは、板状の圧電体の両面に電
極を有し、撓みにより前記電極に起電力を生じる圧電要
素１４と、対向するＶ字形の溝１６、１６を有し、この
溝１６、１６に圧電要素１４の両端を嵌め込んで支持し
た支持部材１２、１２とを有する。支持部材１２、１２
は圧電要素１４の長手方向に移動自在に支持され、且つ
互いに近接する方向に弾力が加えられている。
が得られ、しかも一定の特性を有する加速度センサーを
得る。 【構成】 加速度センサーは、板状の圧電体の両面に電
極を有し、撓みにより前記電極に起電力を生じる圧電要
素１４と、対向するＶ字形の溝１６、１６を有し、この
溝１６、１６に圧電要素１４の両端を嵌め込んで支持し
た支持部材１２、１２とを有する。支持部材１２、１２
は圧電要素１４の長手方向に移動自在に支持され、且つ
互いに近接する方向に弾力が加えられている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電要素等のセンサー
素子の両端を支持した加速度センサーに関し、特に衝撃
や振動を検知するセンサーに関する。
素子の両端を支持した加速度センサーに関し、特に衝撃
や振動を検知するセンサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】図７に従来におけるこの種の加速度セン
サーを示す。この加速度センサーは、両面をメタライズ
した矩形の圧電セラミック板を直接または金属板を介し
て貼り合わせた、いわゆる圧電バイモルフ等の圧電要素
４を使用し、この両端をハウジング１に固定し、その中
央部を振動できるようにしたものである。従来における
加速度センサーでは、ハウジング１への圧電要素４の両
端の固定は、圧電要素４の両端部を接着剤２でハウジン
グ１の内端部に固定することにより行われていた。
サーを示す。この加速度センサーは、両面をメタライズ
した矩形の圧電セラミック板を直接または金属板を介し
て貼り合わせた、いわゆる圧電バイモルフ等の圧電要素
４を使用し、この両端をハウジング１に固定し、その中
央部を振動できるようにしたものである。従来における
加速度センサーでは、ハウジング１への圧電要素４の両
端の固定は、圧電要素４の両端部を接着剤２でハウジン
グ１の内端部に固定することにより行われていた。
【０００３】このような加速度センサーは、回路基板上
に搭載されて、固定した状態で使用されることが多く、
そのため、リード線を有しないチップ化が進んでいる。
例えば、チップ形の加速度センサーは、立方体形のハウ
ジング１の中に圧電要素４を封入し、この圧電要素４の
両側の電極に接続した端子電極８、８を、ハウジング１
の端面から底面にわたって導出したものである。
に搭載されて、固定した状態で使用されることが多く、
そのため、リード線を有しないチップ化が進んでいる。
例えば、チップ形の加速度センサーは、立方体形のハウ
ジング１の中に圧電要素４を封入し、この圧電要素４の
両側の電極に接続した端子電極８、８を、ハウジング１
の端面から底面にわたって導出したものである。
【０００４】この加速度センサーは、電子機器の回路基
板等の上に搭載され、前記の端子電極８、８により回路
に接続される。この状態で、圧電要素１の厚み方向に加
速度が加わると、圧電要素１が撓み、その両側の電極に
電圧が発生する。そこで、この電圧により加速度を検知
する。
板等の上に搭載され、前記の端子電極８、８により回路
に接続される。この状態で、圧電要素１の厚み方向に加
速度が加わると、圧電要素１が撓み、その両側の電極に
電圧が発生する。そこで、この電圧により加速度を検知
する。
【０００５】
【発明が解決しようとしている課題】このような加速度
センサーは小形化が要求されており、そのため使用する
圧電要素４も小形化されている。しかし、小形の圧電要
素４を使用すると、加速度によって発生する起電力も小
さくなり、感度が低くなってしまう。また、従来の加速
度センサーでは、圧電要素４の両端が接着剤２で固定さ
れているが、この接着剤２によって圧電要素４の両端を
支持する長さが変わると、加速度センサーとしての特性
に変動を生じる。例えば、接着剤２が圧電要素４の中央
側にはみ出すと、圧電要素４の中央部分の振動が接着剤
２で拘束され、圧電要素４が振動しにくくなるため、特
性が悪化する。換言すると、加速度センサーの特性のバ
ラツキを抑え、一定の品質の加速度センサーを得るため
には、接着剤２による圧電要素４の両端の支持寸法の精
度を高くしなければならず、製造工程において細心の注
意と手数を要することになる。
センサーは小形化が要求されており、そのため使用する
圧電要素４も小形化されている。しかし、小形の圧電要
素４を使用すると、加速度によって発生する起電力も小
さくなり、感度が低くなってしまう。また、従来の加速
度センサーでは、圧電要素４の両端が接着剤２で固定さ
れているが、この接着剤２によって圧電要素４の両端を
支持する長さが変わると、加速度センサーとしての特性
に変動を生じる。例えば、接着剤２が圧電要素４の中央
側にはみ出すと、圧電要素４の中央部分の振動が接着剤
２で拘束され、圧電要素４が振動しにくくなるため、特
性が悪化する。換言すると、加速度センサーの特性のバ
ラツキを抑え、一定の品質の加速度センサーを得るため
には、接着剤２による圧電要素４の両端の支持寸法の精
度を高くしなければならず、製造工程において細心の注
意と手数を要することになる。
【０００６】そこで本発明は、小形の圧電要素を用いた
場合でも、高い感度が得られ、しかも一定の特性を有す
る加速度センサーを得ることを目的とする。
場合でも、高い感度が得られ、しかも一定の特性を有す
る加速度センサーを得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では前記の目的を
達成するため、一対の支持部材１２、１２の対向するＶ
字形の溝１６、１６に圧電要素１４の両端を嵌め込んで
支持することにより、圧電要素１４の両端の両角部を支
持することとし、これにより加速度で圧電要素１４を撓
みやすくし、且つ一定の振動モードを得ることとした。
達成するため、一対の支持部材１２、１２の対向するＶ
字形の溝１６、１６に圧電要素１４の両端を嵌め込んで
支持することにより、圧電要素１４の両端の両角部を支
持することとし、これにより加速度で圧電要素１４を撓
みやすくし、且つ一定の振動モードを得ることとした。
【０００８】より具体的に説明すると、本発明による加
速度センサーは、板状の圧電体の両面に電極を有し、撓
みにより前記電極に起電力を生じる圧電要素１４と、こ
の圧電要素１４の両端を支持する支持部材１２、１２と
を有するものにおいて、前記支持部材１２、１２が対向
するＶ字形の溝１６、１６を有し、この溝１６、１６に
圧電要素１４の両端が嵌め込まれて支持されていること
を特徴とする。
速度センサーは、板状の圧電体の両面に電極を有し、撓
みにより前記電極に起電力を生じる圧電要素１４と、こ
の圧電要素１４の両端を支持する支持部材１２、１２と
を有するものにおいて、前記支持部材１２、１２が対向
するＶ字形の溝１６、１６を有し、この溝１６、１６に
圧電要素１４の両端が嵌め込まれて支持されていること
を特徴とする。
【０００９】さらに、前記支持部材１２、１２は圧電要
素１４の長手方向に移動自在に支持され、且つ互いに近
接する方向に弾力が加えられている。この支持部材１２
に弾力を加える手段としては、支持部材１２と別体の弾
性部材１３であてもよく、また支持部材１２と一体のバ
ネ性を有する突起２１、２２、２３であってもよい。
素１４の長手方向に移動自在に支持され、且つ互いに近
接する方向に弾力が加えられている。この支持部材１２
に弾力を加える手段としては、支持部材１２と別体の弾
性部材１３であてもよく、また支持部材１２と一体のバ
ネ性を有する突起２１、２２、２３であってもよい。
【００１０】
【作用】本発明による加速度センサーでは、一対の支持
部材１２、１２の対向するＶ字形の溝１６、１６に圧電
要素１４の両端を嵌め込んで支持しているため、圧電要
素１４は、必ずその両端の両角部で支持部材１２、１２
に支持される。このため、圧電要素１４は、その両端で
のみ支持部材１２、１２に支持されるので、加速度によ
り圧電要素１４が撓みやすくなり、より高い起電力が得
られる。しかも、圧電要素１４が支持部材１２、１２で
支持される部位が一定であるので、製造条件に係わら
ず、常に一定の振動モードが得られ、特性のバラツキが
生じない。
部材１２、１２の対向するＶ字形の溝１６、１６に圧電
要素１４の両端を嵌め込んで支持しているため、圧電要
素１４は、必ずその両端の両角部で支持部材１２、１２
に支持される。このため、圧電要素１４は、その両端で
のみ支持部材１２、１２に支持されるので、加速度によ
り圧電要素１４が撓みやすくなり、より高い起電力が得
られる。しかも、圧電要素１４が支持部材１２、１２で
支持される部位が一定であるので、製造条件に係わら
ず、常に一定の振動モードが得られ、特性のバラツキが
生じない。
【００１１】さらに、前記支持部材１２、１２を圧電要
素１４の長手方向に移動自在に支持すると共に、互いに
近接する方向に弾力を加えたものでは、圧電要素１４が
撓むことによりその両端の相対的な距離が変動しても、
支持部材１２、１２がこれに追従する。従って、圧電要
素１４の両端が確実に支持され、安定した特性が得られ
る。
素１４の長手方向に移動自在に支持すると共に、互いに
近接する方向に弾力を加えたものでは、圧電要素１４が
撓むことによりその両端の相対的な距離が変動しても、
支持部材１２、１２がこれに追従する。従って、圧電要
素１４の両端が確実に支持され、安定した特性が得られ
る。
【００１２】
【実施例】次に、図面を参照しながら、本発明の実施例
について具体的且つ詳細に説明する。図１に本発明の実
施例による加速度センサーの構造を示す。この加速度セ
ンターは、直方体形の箱形のハウジング１１と、このハ
ウジング１１の中に収納された一対の支持部材１２、１
２と、この支持部材１２、１２に両端が支持された圧電
要素１４と、前記支持部材１２、１２に弾力を与える弾
性部材１３、１３とを有している。
について具体的且つ詳細に説明する。図１に本発明の実
施例による加速度センサーの構造を示す。この加速度セ
ンターは、直方体形の箱形のハウジング１１と、このハ
ウジング１１の中に収納された一対の支持部材１２、１
２と、この支持部材１２、１２に両端が支持された圧電
要素１４と、前記支持部材１２、１２に弾力を与える弾
性部材１３、１３とを有している。
【００１３】ハウジング１１は、樹脂等からなる直方体
の箱形のもので、その両端面から底面にわたって端子電
極１８が設けられている。支持部材１２、１２は、前記
ハウジング１１の中の両端部に各々収納され、その縦方
向に平面Ｖ字形の溝１６、１６を有している。支持部材
１２、１２は、このＶ字形の溝１６、１６が互いに対向
する方向に向けてハウジング１１に収納され、且つ支持
部材１２、１２のハウジング１１の長手方向への移動は
自由となっている。Ｖ字形の溝１６、１６の底部は、平
坦な面を有する支持台部１９、１９となっている。
の箱形のもので、その両端面から底面にわたって端子電
極１８が設けられている。支持部材１２、１２は、前記
ハウジング１１の中の両端部に各々収納され、その縦方
向に平面Ｖ字形の溝１６、１６を有している。支持部材
１２、１２は、このＶ字形の溝１６、１６が互いに対向
する方向に向けてハウジング１１に収納され、且つ支持
部材１２、１２のハウジング１１の長手方向への移動は
自由となっている。Ｖ字形の溝１６、１６の底部は、平
坦な面を有する支持台部１９、１９となっている。
【００１４】圧電要素１４は、両面をメタライズした矩
形の圧電セラミック板を直接または金属板を介して貼り
合わせた、いわゆる圧電バイモルフが一般に使用され
る。この圧電要素１４の両端部に硬質樹脂等のコーティ
ング１５が施され、この圧電要素１４の両端部が前記支
持部材１２、１２の対向するＶ字形の溝１６、１６に嵌
め込まれ、且つその両端底面部が支持台部１９、１９の
上に載せられている。これにより、圧電要素１４は、そ
の両端部の角部と底面部とが支持部材１２、１２に支持
されている。この圧電要素１４の両面の電極は横向き、
つまりハウジング１１の内側面に向けてあるが、この電
極にリード線１７、１７が接続され、このリード線１
７、１７は、前記ハウジング１１の端子電極１８、１８
に各々接続されている。
形の圧電セラミック板を直接または金属板を介して貼り
合わせた、いわゆる圧電バイモルフが一般に使用され
る。この圧電要素１４の両端部に硬質樹脂等のコーティ
ング１５が施され、この圧電要素１４の両端部が前記支
持部材１２、１２の対向するＶ字形の溝１６、１６に嵌
め込まれ、且つその両端底面部が支持台部１９、１９の
上に載せられている。これにより、圧電要素１４は、そ
の両端部の角部と底面部とが支持部材１２、１２に支持
されている。この圧電要素１４の両面の電極は横向き、
つまりハウジング１１の内側面に向けてあるが、この電
極にリード線１７、１７が接続され、このリード線１
７、１７は、前記ハウジング１１の端子電極１８、１８
に各々接続されている。
【００１５】弾性部材１３、１３はゴムや発泡樹脂或は
バネ等からなるもので、ハウジング１１の内端面と支持
部材１２、１２との間に挿入され、支持部材１２、１２
にそれらを互いに近づける方向に弾力を与えている。こ
の弾性部材１３、１３は固めのものを使用するのがよ
い。
バネ等からなるもので、ハウジング１１の内端面と支持
部材１２、１２との間に挿入され、支持部材１２、１２
にそれらを互いに近づける方向に弾力を与えている。こ
の弾性部材１３、１３は固めのものを使用するのがよ
い。
【００１６】このような加速度センサーでは、ハウジン
グ１１が加速度を受けると、圧電要素１４が撓み、この
撓みにより圧電要素１４の両面の電極に起電力が生じ、
この起電力が端子電極１８、１８における電位差として
検出される。このとき、圧電要素１４はその両端部の角
部と底面部とでのみ支持部材１２、１２に支持されてい
るので、圧電要素１４の両端寄りの部分が拘束されてお
らず、支持部材１２、１２は圧電要素１４の撓みに抵抗
を与えない。また、圧電要素１４の撓みにより、その両
端の距離が変動すると、弾性部材１２、１２の弾力によ
り支持部材１２、１２が前記圧電要素１４の両端の動き
に追随し、僅かであるが圧電要素１４の長手方向に変動
する。この点でも圧電要素１４はより自由に撓みやすく
なる。
グ１１が加速度を受けると、圧電要素１４が撓み、この
撓みにより圧電要素１４の両面の電極に起電力が生じ、
この起電力が端子電極１８、１８における電位差として
検出される。このとき、圧電要素１４はその両端部の角
部と底面部とでのみ支持部材１２、１２に支持されてい
るので、圧電要素１４の両端寄りの部分が拘束されてお
らず、支持部材１２、１２は圧電要素１４の撓みに抵抗
を与えない。また、圧電要素１４の撓みにより、その両
端の距離が変動すると、弾性部材１２、１２の弾力によ
り支持部材１２、１２が前記圧電要素１４の両端の動き
に追随し、僅かであるが圧電要素１４の長手方向に変動
する。この点でも圧電要素１４はより自由に撓みやすく
なる。
【００１７】例えば、図８（ａ）はこの実施例による加
速度センサーの圧電要素１４の振動モードを示してお
り、この図のように、圧電要素１４はその支点となる両
端にわたってその全体が撓んで振動する。図８（ｂ）は
前述の図７に示した加速度センサーにおける圧電要素１
４の振動モードを示しているが、この従来例では圧電要
素１４の両端が接着剤２、２に埋め込まれた状態で拘束
されているので、同端部の撓みが抑えられ、ごく中央部
でのみ撓むようになっている。このため、圧電要素１４
全体の撓み量が小さく、感度が悪い。
速度センサーの圧電要素１４の振動モードを示してお
り、この図のように、圧電要素１４はその支点となる両
端にわたってその全体が撓んで振動する。図８（ｂ）は
前述の図７に示した加速度センサーにおける圧電要素１
４の振動モードを示しているが、この従来例では圧電要
素１４の両端が接着剤２、２に埋め込まれた状態で拘束
されているので、同端部の撓みが抑えられ、ごく中央部
でのみ撓むようになっている。このため、圧電要素１４
全体の撓み量が小さく、感度が悪い。
【００１８】なお、図１に示した本発明の実施例による
加速度センサーと図７に示した従来例の加速度センサー
において、同じ寸法の圧電要素１４、４を各々使用した
場合、前者の方が後者に比べて共振周波数が低くなる。
或る例では、後者の共振周波数が４６ＫＨｚであるのに
対し、それと同じ寸法の圧電要素１４を使用した前者の
ものでは２０ＫＨｚとなったことが確認されている。こ
のことは、本発明による加速度センサーにおいては、よ
り小形の圧電要素１４を使用しても、従来の加速度セン
サーと同等の共振周波数が得られることを意味する。
加速度センサーと図７に示した従来例の加速度センサー
において、同じ寸法の圧電要素１４、４を各々使用した
場合、前者の方が後者に比べて共振周波数が低くなる。
或る例では、後者の共振周波数が４６ＫＨｚであるのに
対し、それと同じ寸法の圧電要素１４を使用した前者の
ものでは２０ＫＨｚとなったことが確認されている。こ
のことは、本発明による加速度センサーにおいては、よ
り小形の圧電要素１４を使用しても、従来の加速度セン
サーと同等の共振周波数が得られることを意味する。
【００１９】次に、図２の実施例について説明すると、
この実施例では支持部材１２の背面、つまりＶ字形の溝
１６の反対側の面の上下側から、突起２１、２１が一体
に突設され、この突起２１、２１がハウジング１１の内
端面に当っている。この突起２１、２１はバネ性を有
し、その弾力で支持部材１２、１２を互いに近接する方
向に押している。従って、この場合も前記図１の実施例
における弾性部材１３、１３を設けたのと同様にして、
支持部材１２、１２が圧電要素１４の撓みに追随し、そ
の長手方向に変動する。
この実施例では支持部材１２の背面、つまりＶ字形の溝
１６の反対側の面の上下側から、突起２１、２１が一体
に突設され、この突起２１、２１がハウジング１１の内
端面に当っている。この突起２１、２１はバネ性を有
し、その弾力で支持部材１２、１２を互いに近接する方
向に押している。従って、この場合も前記図１の実施例
における弾性部材１３、１３を設けたのと同様にして、
支持部材１２、１２が圧電要素１４の撓みに追随し、そ
の長手方向に変動する。
【００２０】なお、図２ではバネ性を有する突起２１、
２１が支持部材１２の上下側から突設されているが、図
３で示すように、突起２２を両側から突設してもよい。
さらに図示してないが、図３で示すような突起２２が中
央で一体に連なっていてもよい。
２１が支持部材１２の上下側から突設されているが、図
３で示すように、突起２２を両側から突設してもよい。
さらに図示してないが、図３で示すような突起２２が中
央で一体に連なっていてもよい。
【００２２】次に、図４及び図５に示す実施例について
説明すると、この実施例では支持部材１２の両側からそ
の背面に向けて腕状の突起２３、２３を突設し、その先
端部をハウジング１１の内端面に当てると共に、その中
間部をハウジング１１の内端面に近い内側面に当ててい
る。そのため、支持部材１２、１２は、圧電要素１４の
長手方向にだけではなく、その幅方向にも突起２３、２
３の弾力に抗して遊動することが可能である。
説明すると、この実施例では支持部材１２の両側からそ
の背面に向けて腕状の突起２３、２３を突設し、その先
端部をハウジング１１の内端面に当てると共に、その中
間部をハウジング１１の内端面に近い内側面に当ててい
る。そのため、支持部材１２、１２は、圧電要素１４の
長手方向にだけではなく、その幅方向にも突起２３、２
３の弾力に抗して遊動することが可能である。
【００２３】次に、図６に示す実施例について説明する
と、この実施例では圧電要素１４の両側面にある電極２
４、２４を互いに絶縁した状態で各々別の端面側に導出
させ、この両端を各々導電性の支持部材１２、１２で支
持している。さらに、この支持部材１２、１２は、ハウ
ジング１１の両端下部に各々設けられた端子電極１８、
１８に接触し、導通している。このような支持部材１
２、１２の形状は基本的に図１に示したものと同様であ
るが、導電性樹脂や軽金属等の導電体からなる点で図１
の実施例と異なる。弾性部材１３、１３は必ずしも導電
体である必要はないが、電極２４、２４と端子電極１
８、１８との導通を確実にするため、導電体を用いても
よい。この場合は、導電性樹脂等で弾性のあるものから
なる弾性部材１３、１３を使用する。
と、この実施例では圧電要素１４の両側面にある電極２
４、２４を互いに絶縁した状態で各々別の端面側に導出
させ、この両端を各々導電性の支持部材１２、１２で支
持している。さらに、この支持部材１２、１２は、ハウ
ジング１１の両端下部に各々設けられた端子電極１８、
１８に接触し、導通している。このような支持部材１
２、１２の形状は基本的に図１に示したものと同様であ
るが、導電性樹脂や軽金属等の導電体からなる点で図１
の実施例と異なる。弾性部材１３、１３は必ずしも導電
体である必要はないが、電極２４、２４と端子電極１
８、１８との導通を確実にするため、導電体を用いても
よい。この場合は、導電性樹脂等で弾性のあるものから
なる弾性部材１３、１３を使用する。
【００２４】なお、前述の実施例は、何れも圧電要素１
４の電極を横向きに対向させているが、圧電要素１４の
電極を縦向きに対向する場合もある。この場合、支持部
材１２、１２のＶ字形の溝１６、１６は、横向きに設け
ることは言うまでもない。
４の電極を横向きに対向させているが、圧電要素１４の
電極を縦向きに対向する場合もある。この場合、支持部
材１２、１２のＶ字形の溝１６、１６は、横向きに設け
ることは言うまでもない。
【００２５】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、圧
電要素１４がその両端でのみ支持部材１２、１２に支持
されるので、加速度により圧電要素１４が撓みやすくな
り、より高い起電力が得られる。しかも、圧電要素１４
が支持部材１２、１２で支持される部位が一定であるの
で、製造条件に係わらず、常に一定の振動モードが得ら
れ、特性のバラツキが生じない。
電要素１４がその両端でのみ支持部材１２、１２に支持
されるので、加速度により圧電要素１４が撓みやすくな
り、より高い起電力が得られる。しかも、圧電要素１４
が支持部材１２、１２で支持される部位が一定であるの
で、製造条件に係わらず、常に一定の振動モードが得ら
れ、特性のバラツキが生じない。
【００２６】さらに、前記支持部材１２、１２を圧電要
素１４の長手方向に移動自在に支持すると共に、互いに
近接する方向に弾力が加えたものでは、圧電要素１４が
撓むことによりその両端の相対的な距離が変動しても、
圧電要素１４の両端を確実に支持するため、安定した特
性が得られる。
素１４の長手方向に移動自在に支持すると共に、互いに
近接する方向に弾力が加えたものでは、圧電要素１４が
撓むことによりその両端の相対的な距離が変動しても、
圧電要素１４の両端を確実に支持するため、安定した特
性が得られる。
【図１】本発明の実施例による加速度センサーの横断平
面図と縦断側面図である。
面図と縦断側面図である。
【図２】本発明の他の実施例による加速度センサーの横
断平面図と縦断側面図である。
断平面図と縦断側面図である。
【図３】本発明のさらに他の実施例による加速度センサ
ーの要部斜視図である。
ーの要部斜視図である。
【図４】本発明のさらに他の実施例による加速度センサ
ーの横断平面図と縦断側面図である。
ーの横断平面図と縦断側面図である。
【図５】同実施例による加速度センサーの要部斜視図で
ある。
ある。
【図６】本発明のさらに他の実施例による加速度センサ
ーの横断平面図と縦断側面図である。
ーの横断平面図と縦断側面図である。
【図７】加速度センサーの従来例の横断平面図である。
【図８】前記実施例による加速度センサーと従来例であ
る加速度センサーとの圧電要素の振動モードを示す概念
図である。
る加速度センサーとの圧電要素の振動モードを示す概念
図である。
１４ 圧電要素 １２ 支持部材 １６ 支持部材のＶ字形の溝 １３ 弾性部材 ２１ 支持部材の突起 ２２ 支持部材の突起 ２３ 支持部材の突起
Claims (4)
- 【請求項１】 板状の圧電体の両面に電極を有し、撓み
により前記電極に起電力を生じる圧電要素（１４）と、
この圧電要素（１４）の両端を支持する支持部材（１
２）、（１２）とを有する加速度センサーにおいて、前
記支持部材（１２）、（１２）が対向するＶ字形の溝
（１６）、（１６）を有し、この溝（１６）、（１６）
に圧電要素（１４）の両端が嵌め込まれて支持されてい
ることを特徴とする加速度センサー。 - 【請求項２】 支持部材（１２）、（１２）が圧電要素
（１４）の長手方向に移動自在に支持され、且つ互いに
近接する方向に弾力が加えられていることを特徴とする
請求項２に記載の加速度センサー。 - 【請求項３】 前記弾力は支持部材（１２）と別体の弾
性部材（１３）により加えられている請求項２に記載の
加速度センサー。 - 【請求項４】 前記弾力は支持部材（１２）と一体のバ
ネ性を有する突起（２１）、（２２）、（２３）により
加えられている請求項２に記載の加速度センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32147694A JP3282934B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 加速度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32147694A JP3282934B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 加速度センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08160069A true JPH08160069A (ja) | 1996-06-21 |
| JP3282934B2 JP3282934B2 (ja) | 2002-05-20 |
Family
ID=18132995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32147694A Expired - Fee Related JP3282934B2 (ja) | 1994-11-30 | 1994-11-30 | 加速度センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3282934B2 (ja) |
-
1994
- 1994-11-30 JP JP32147694A patent/JP3282934B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3282934B2 (ja) | 2002-05-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020115 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |